JP2005317920A - 薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成装置及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 熱処理装置1の制御部100は、装置内部に付着物が付着すると、反応管2内を所定の温度に加熱するとともに処理ガス導入管17からクリーニングガスを供給して付着物を除去する。続いて、反応管2内を450℃に維持するとともに処理ガス導入管17からフッ素とフッ化水素を含む平坦化ガスを供給する。
【選択図】 図1
Description
また、本発明は、装置内部に付着した付着物を除去するとともに、デポレートの低下を抑制することができる薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成装置及びプログラムを提供することを目的とする。
さらに、本発明は、パーティクルの発生を抑制することができる薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成装置及びプログラムを提供することを目的とする。
また、本発明は、稼働率の低下を抑制しつつ、装置内部に付着した付着物を除去するとともに、装置内部を平坦化することができる薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成装置及びプログラムを提供することを目的とする。
薄膜形成装置の反応室内に処理ガスを供給して被処理体に薄膜を形成した後、装置内部に付着した付着物を除去する薄膜形成装置の洗浄方法であって、
所定の温度に加熱された反応室内にクリーニングガスを供給して該クリーニングガスを活性化させ、該活性化したクリーニングガスにより前記付着物を除去して装置内部をクリーニングするクリーニング工程と、
前記クリーニング工程によりクリーニングされた反応室内を300℃より高い温度から800℃に維持し、当該温度に維持した反応室内にフッ素とフッ化水素とを含むガスを供給して装置内部を平坦化させる平坦化工程と、
を備える、ことを特徴とする。
前記平坦化工程では、前記反応室内にフッ素とフッ化水素との流量比が1:3〜10:1の範囲内のガスを供給して装置内部を平坦化させることが好ましい。
前記装置内部の材料に石英を用いることが好ましい。
前記クリーニングガスに、フッ素とフッ化水素とを含むガスを用いることが好ましい。
被処理体が収容された反応室内に処理ガスを供給して被処理体に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、
前記反応室内を所定の温度に加熱する加熱手段と、
前記反応室内に、装置内部に付着した付着物を除去するクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給手段と、
前記反応室内にフッ素とフッ化水素とを含む平坦化ガスを供給する平坦化ガス供給手段と、
薄膜形成装置の各部を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記加熱手段を制御して反応室内を所定の温度に加熱した状態で、当該反応室内にクリーニングガスを供給して該クリーニングガスを活性化させ、該活性化したクリーニングガスにより前記付着物を除去して装置内部をクリーニングするように前記クリーニングガス供給手段を制御し、
前記加熱手段を制御して反応室内を300℃より高い温度から800℃に維持した状態で、当該反応室内に平坦化ガスを供給するように前記平坦化ガス供給手段を制御する、ことを特徴とする。
前記クリーニングガス供給手段は、フッ素とフッ化水素とを含むクリーニングガスを前記反応室内に供給することが好ましい。
前記被処理体に形成される薄膜としては、例えば、窒化珪素膜がある。
薄膜形成装置の反応室内に処理ガスを供給して被処理体に薄膜を形成した後、装置内部に付着した付着物を除去する薄膜形成装置の洗浄方法を実行させるためのプログラムであって、
コンピュータに、
所定の温度に加熱された反応室内にクリーニングガスを供給して該クリーニングガスを活性化させ、該活性化したクリーニングガスにより前記付着物を除去して装置内部をクリーニングするクリーニング手順、
前記クリーニング工程によりクリーニングされた反応室内を300℃より高い温度から800℃に維持し、当該温度に維持した反応室内にフッ素とフッ化水素とを含むガスを供給して装置内部を平坦化させる平坦化手順、
を実行させることを特徴とする。
圧力計(群)123は、反応管2内及び排気管5内の各部の圧力を測定し、測定値を制御部100に通知する。
バス116は、各部の間で情報を伝達する。
2 反応管
3 頂部
4 排気口
5 排気管
6 蓋体
7 保温筒
8 ヒータ
9 支持体
10 回転テーブル
11 ウエハボート
12 回転支柱
13 回転機構
14 回転軸
15 回転導入部
16 昇温用ヒータ
17 処理ガス導入管
18 パージガス供給管
100 制御部
111 レシピ記憶部
112 ROM
113 RAM
114 I/Oポート
115 CPU
116 バス
121 操作パネル
122 温度センサ
123 圧力計
124 ヒータコントローラ
125 MFC
126 バルブ制御部
127 真空ポンプ
128 ボートエレベータ
W 半導体ウエハ
Claims (15)
- 薄膜形成装置の反応室内に処理ガスを供給して被処理体に薄膜を形成した後、装置内部に付着した付着物を除去する薄膜形成装置の洗浄方法であって、
所定の温度に加熱された反応室内にクリーニングガスを供給して該クリーニングガスを活性化させ、該活性化したクリーニングガスにより前記付着物を除去して装置内部をクリーニングするクリーニング工程と、
前記クリーニング工程によりクリーニングされた反応室内を300℃より高い温度から800℃に維持し、当該温度に維持した反応室内にフッ素とフッ化水素とを含むガスを供給して装置内部を平坦化させる平坦化工程と、
を備える、ことを特徴とする薄膜形成装置の洗浄方法。 - 前記平坦化工程では、前記反応室内を400℃〜600℃に維持して装置内部を平坦化させる、ことを特徴とする請求項1に記載の薄膜形成装置の洗浄方法。
- 前記平坦化工程では、前記反応室内にフッ素とフッ化水素との流量比が1:3〜10:1の範囲内のガスを供給して装置内部を平坦化させる、ことを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜形成装置の洗浄方法。
- 前記平坦化工程では、前記反応室内を20000Pa〜53200Paに維持する、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の薄膜形成装置の洗浄方法。
- 前記装置内部の材料に石英を用いる、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の薄膜形成装置の洗浄方法。
- 前記クリーニングガスに、フッ素とフッ化水素とを含むガスを用いる、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の薄膜形成装置の洗浄方法。
- 前記被処理体に形成される薄膜は、窒化珪素膜であり、
前記クリーニング工程では、前記被処理体に前記薄膜を形成することにより薄膜形成装置の内部に付着した窒化珪素を、前記クリーニングガスで除去する、ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の薄膜形成装置の洗浄方法。 - 被処理体が収容された反応室内に処理ガスを供給して被処理体に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、
前記反応室内を所定の温度に加熱する加熱手段と、
前記反応室内に、装置内部に付着した付着物を除去するクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給手段と、
前記反応室内にフッ素とフッ化水素とを含む平坦化ガスを供給する平坦化ガス供給手段と、
薄膜形成装置の各部を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記加熱手段を制御して反応室内を所定の温度に加熱した状態で、当該反応室内にクリーニングガスを供給して該クリーニングガスを活性化させ、該活性化したクリーニングガスにより前記付着物を除去して装置内部をクリーニングするように前記クリーニングガス供給手段を制御し、
前記加熱手段を制御して反応室内を300℃より高い温度から800℃に維持した状態で、当該反応室内に平坦化ガスを供給するように前記平坦化ガス供給手段を制御する、ことを特徴とする薄膜形成装置。 - 前記制御手段は、加熱手段を制御して反応室内を400℃〜600℃に維持した状態で、当該反応室内に平坦化ガスを供給するように前記平坦化ガス供給手段を制御する、ことを特徴とする請求項8に記載の薄膜形成装置。
- 前記制御手段は、前記反応室内にフッ素とフッ化水素との流量比が1:3〜10:1の範囲内のガスを供給するように前記平坦化ガス供給手段を制御する、ことを特徴とする請求項8または9に記載の薄膜形成装置。
- 前記制御手段は、前記反応室内を20000Pa〜53200Paに維持した状態で、当該反応室内に平坦化ガスを供給するように前記平坦化ガス供給手段を制御する、ことを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 少なくとも前記平坦化ガスに晒される装置内部の材料は石英である、ことを特徴とする請求項8乃至11のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 前記クリーニングガス供給手段は、フッ素とフッ化水素とを含むクリーニングガスを前記反応室内に供給する、ことを特徴とする請求項8乃至12のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 前記被処理体に形成される薄膜は、窒化珪素膜である、ことを特徴とする請求項8乃至13のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 薄膜形成装置の反応室内に処理ガスを供給して被処理体に薄膜を形成した後、装置内部に付着した付着物を除去する薄膜形成装置の洗浄方法を実行させるためのプログラムであって、
コンピュータに、
所定の温度に加熱された反応室内にクリーニングガスを供給して該クリーニングガスを活性化させ、該活性化したクリーニングガスにより前記付着物を除去して装置内部をクリーニングするクリーニング手順、
前記クリーニング工程によりクリーニングされた反応室内を300℃より高い温度から800℃に維持し、当該温度に維持した反応室内にフッ素とフッ化水素とを含むガスを供給して装置内部を平坦化させる平坦化手順、
を実行させるためのプログラム。
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