JP2005317791A - 微小部品貼り合わせ装置及び微小部品貼り合わせ方法 - Google Patents
微小部品貼り合わせ装置及び微小部品貼り合わせ方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本微小部品貼り合せ装置は、第1の微小部品11を載置する載置プレート2と、第1の微小部品11に配置される接合部材13と、第2の微小部品12を第1の微小部品11と対向するように保持する保持部14と、保持部14を移動させて第1の微小部品11と第2の微小部品12とを接合部材13を介して接触させるZ移動機構103と、第1の微小部品11と第2の微小部品12とを接合部材13を介して接触させる際にかかる荷重を変化させることで、載置プレート2と保持部14の相対距離を制御するVCM102と、載置プレート2と保持部14の相対距離を検出する距離センサ6と、距離センサ6を所望の温度に保つチラー7とから構成される。
【選択図】図1
Description
図1に本発明の第1の実施形態に係る微小部品貼り合わせ装置の構成を示す。図1は、第1の実施形態における微小部品貼り合わせ装置の左側面図である。なお、図1では載置ブロックの周辺のみ断面を示してある。
図3に本発明の第2の実施形態に係る微小部品貼り合わせ装置の構成を示す。図3は、第2の実施形態における微小部品貼り合わせ装置の要部である載置ブロック周辺の断面図である。なお、この他の構成については第1の実施形態と同様であるので図示を省略している。
図5に本発明の第3の実施形態に係る微小部品貼り合わせ装置の構成を示す。図5は、第3の実施形態における微小部品貼り合わせ装置の要部である載置ブロック周辺の断面図である。なお、この他の構成については第1の実施形態と同様であるので図示を省略している。
Claims (8)
- 第1の微小部品を載置する載置部と、
上記第1の微小部品に配置される接合部材と、
第2の微小部品を上記第1の微小部品と対向するように保持する保持部と、
上記載置部または上記保持部の少なくとも一方を移動させて上記載置部に載置された上記第1の微小部品と上記保持部に保持された上記第2の微小部品とを上記接合部材を介して接触させる駆動部と、
上記第1の微小部品と上記第2の微小部品とを上記接合部材を介して接触させる際にかかる荷重を変化させることで、上記載置部と上記保持部の相対距離を制御する荷重設定部と、
上記相対距離を検出する間隔検出部と、
上記間隔検出部を所望の温度に保つ温度安定化部と、
を具備することを特徴とする微小部品貼り合わせ装置。 - 上記間隔検出部は、上記載置部の上記第1の微小部品を載置する側の面と上記保持部の上記第2の微小部品を保持する側の面との距離を測定することで上記載置部と上記保持部の相対距離を検出する距離センサであり、
上記温度安定化部が、熱交換媒体循環部と熱交換媒体温度調節部とにより構成されることを特徴とする請求項1に記載の微小部品貼り合わせ装置。 - 上記間隔検出部の温度を測定する温度検出部と、
上記温度検出部の出力値に基づいて、上記温度安定化部の温度補正量を演算し、この温度補正量に基づいて上記温度安定化部に上記間隔検出部の温度を所望の温度に保つように指令を送る温度安定化演算部と、
を更に具備することを特徴とする請求項1又は2に記載の微小部品貼り合わせ装置。 - 上記間隔検出部において検出した上記載置部と上記保持部の相対距離に基づき、上記第1の微小部品と上記第2の微小部品のそれぞれ対向する面間の距離を演算する面間距離演算部と、
上記面間距離演算部で演算した上記第1の微小部品と上記第2の微小部品のそれぞれ対向する面間の距離が所望の値となるように、上記駆動部及び上記荷重設定部の少なくともいずれか1つの駆動補正量を演算する駆動演算部と、
を更に具備することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1つに記載の微小部品貼り合わせ装置。 - 上記間隔検出部の温度変化による上記間隔検出部の温度検出結果の変化を検出する変動補正用間隔検出部と、
上記変動補正用間隔検出部の検出結果に基づき、上記面間距離演算部で演算した上記第1の微小部品と上記第2の微小部品のそれぞれ対向する面間の距離の補正量と、上記温度安定化部の温度補正量の少なくともいずれか一方を演算する変動補正量演算部と、
を更に具備することを特徴とする請求項4に記載の微小部品貼り合わせ装置。 - 第1の微小部品と第2の微小部品との接合時にかかる荷重を設定する荷重設定工程と、
上記載置部と上記保持部との相対距離を検出する間隔検出部の温度を所望の温度に安定化させる間隔検出部温度設定工程と、
上記第1の微小部品と上記第2の微小部品の接合時の間隔が所望の値となるように貼り合わせ固定する貼り合わせ工程と、
を備えることを特徴とする微小部品貼り合わせ方法。 - 上記間隔検出部温度設定工程が、
上記間隔検出部の温度を検出する温度検出工程と、
上記温度検出工程において検出した温度に基づいて上記間隔検出部の温度を安定化させるための温度補正量を演算し、この演算した温度補正量に基づいて上記間隔検出部の温度を安定化させる温度補正工程と、
を含むことを特徴とする請求項6に記載の微小部品貼り合わせ方法。 - 上記間隔検出部温度設定工程が、
上記間隔検出部の温度変化による上記間隔検出部の温度検出結果の変化を検出する変動検出工程と、
上記変動検出工程において検出した上記温度検出結果の変化に基づいて、上記第1の微小部品と上記第2の微小部品の接合時の間隔と、上記間隔検出部の温度の少なくともいずれか一方を補正する変動補正工程と、
を含むことを特徴とする請求項7に記載の微小部品貼り合わせ方法。
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