JP2005308599A - X線透視装置 - Google Patents
X線透視装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005308599A JP2005308599A JP2004127575A JP2004127575A JP2005308599A JP 2005308599 A JP2005308599 A JP 2005308599A JP 2004127575 A JP2004127575 A JP 2004127575A JP 2004127575 A JP2004127575 A JP 2004127575A JP 2005308599 A JP2005308599 A JP 2005308599A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- image receiving
- receiving unit
- fluoroscopic
- ray image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【課題】 透視対象物の透視位置を変更すべきX線光軸平面上で互いに直交する2軸方向への移動を、対象物保持部と、X線照射装置およびX線受像部とに分担させて各軸方向への位置決め精度を向上させ、しかもコスト上昇を抑制することのできるX線透視装置を提供する。
【解決手段】 X線光軸に直交する平面上で互いに直交するx,y軸方向のうち、y軸方向への移動は対象物保持部3で行い、x軸方向にはX線照射装置1とX線受像部2で行うとともに、X線照射装置1とX線受像部2のx軸方向への移動機構のうち、一方については位置検出手段17の出力を用いたフィードバック制御機構とし、他方はオープンループ制御とする。そして、X線照射装置1またはX線受像部2のいずれかに光軸ガイド6を設けて、X線透過画像に現れる光軸ガイド6の影の面積から、X線照射装置1とX線受像部2の中心線のずれ量を求め、X線透視画像上の位置情報の補正等に供する。
【選択図】 図1
【解決手段】 X線光軸に直交する平面上で互いに直交するx,y軸方向のうち、y軸方向への移動は対象物保持部3で行い、x軸方向にはX線照射装置1とX線受像部2で行うとともに、X線照射装置1とX線受像部2のx軸方向への移動機構のうち、一方については位置検出手段17の出力を用いたフィードバック制御機構とし、他方はオープンループ制御とする。そして、X線照射装置1またはX線受像部2のいずれかに光軸ガイド6を設けて、X線透過画像に現れる光軸ガイド6の影の面積から、X線照射装置1とX線受像部2の中心線のずれ量を求め、X線透視画像上の位置情報の補正等に供する。
【選択図】 図1
Description
本発明はX線透視装置に関し、特に、透視対象物のX線透視像から特定の部位間の距離を正確に知ることのできるX線透視装置に関する。
X線透視装置においては、一般に、X線照射装置とX線受像部を対向配置するとともに、これらの間に透視対象物を保持するための対象物保持部を設けた構成を採り、対象物保持部は、透視対象物の透視位置を変化させるために、X線光軸に直交する平面上で互いに直交する2軸方向に移動可能とされる(例えば特許文献1参照)。
図4にこの種のX線透視装置の要部構成例を模式的に示す。この例において、X線照射装置41とX線受像部42が鉛直方向に対向配置されており、これらの間に透視対象物Wを保持するための対象物保持部43が設けられている。対象物保持部43は、透視対象物WをX線光軸Lに直交する平面上で互いに直交する2軸方向(x,y軸方向)に移動させるために、ベース44上にy軸方向に伸びるガイド43aに沿って移動するテーブル43bと、そのテーブル43b上でx軸方向に沿って伸びるガイド43cと、そのガイド43cに沿って移動するテーブル43dを備えてなるx−yステージなどが用いられる。
特開平7−43320号公報
ところで、以上のようなx−yステージを主体とする対象物保持部43では、y軸方向に移動するテーブル34b上にx軸方向に移動するテーブル43dを積み重ねた構造であるが故に、機構的に安定しているとは言い難く、位置決め精度を高くするのは容易ではない。
xおよびy軸方向への位置決め精度を向上させるためには、これらのx,y軸方向のうち、対象物保持部43の移動を一方の軸方向に限るとともに、他方の軸方向への移動はX線照射装置41とX線受像部42とを移動させる構成の採用が有効である。その構成例を図5に模式的に示す。
この図5の例では、互いに対向するX線照射装置51とX線受像部52をx軸方向に移動させ、対象物保持部53はy軸方向にのみ移動させるようにしている。すなわち、ベッド54上にy軸方向に伸びるガイド53aを設けて対象物保持部53をそのガイド53aに沿ったy軸方向にのみ移動させる一方、X線照射装置51はベッド54の下側に設けたx軸方向に伸びるガイド51aに沿って移動させるとともに、X線受像部52についてもベッド54上に設けた門型フレーム55に敷設したx軸方向に伸びるガイド52aに沿って移動させるようにしている。
この図5に例示するような構成によるとx軸方向への移動とy軸方向への移動を対象物保持部53と、X線照射装置51およびX線受像部52とに分担させるために、各軸方向への位置決め精度をそれぞれに高精度化することが容易となる。その反面、X線照射装置51とX線受像部52の双方をx軸方向に高精度に移動させる必要が生じるため、図示のように、X線照射装置51とX線受像部52の移動のためのガイド51a,52aのそれぞれに沿って直線位置検出センサ51b,52bを設けて、X線照射装置51およびX線受像部52のx軸方向位置を刻々と検出し、その検出出力を用いたフィードバック制御によりX線照射装置51とX線受像部52を個別に高精度に位置制御する必要が生じ、結果としてコストが上がるという問題が生じる。
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、透視対象物の透視位置を変更すべくX線光軸に直交する平面上で互いに直交する2軸方向(x,y軸方向)への移動を、対象物保持部と、X線照射装置およびX線受像部とに分担させて各軸方向への位置決め精度を高精度化しながらも、コストの上昇を抑え、かつ、X線照射装置とX線受像部の中心線相互のずれ量を把握することのできるX線透視装置の提供をその課題としている。
上記の課題を解決するため、本発明のX線透視装置は、互いに対向配置されたX線照射装置とX線受像部の間に、透視対象物を保持する対象物保持部が配置されてなるX線透視装置において、上記X線受像部による視野を変更すべく、上記X線照射装置およびX線受像部に対する対象物保持部のX線光軸に直交する平面上での相対的位置を変更する位置変更手段が、この平面上で互いに直交する2軸方向のうちの一方の軸方向に上記対象物保持部を移動させる保持部移動機構と、他方の軸方向に上記X線照射装置とX線受像部とをそれぞれ移動させるX線照射装置移動機構およびX線受像部移動機構によって構成され、かつ、このX線照射装置移動機構およびX線受像部移動機構のうちのいずれか一方が、位置検出手段の出力に基づくフィードバック制御により駆動制御され、他方がオープンループ制御により駆動制御されているとともに、上記X線受像部によるX線透視画像に基づいて、上記X線照射装置とX線受像部の中心線の上記他方の軸方向へのずれ量を求めるずれ量検出手段を備えていることによって特徴づけられる(請求項1)。
ここで、本発明においては、上記X線照射装置の照射口前面に、上記他方の軸方向両側においてX線を部分的に遮蔽する光軸ガイドが装着されているとともに、上記ずれ量検出手段は、上記X線受像部によるX線透視画像の上記他方の軸方向両側に現れる上記光軸ガイドによる遮蔽領域の面積から当該他方の軸方向へのX線照射装置とX線受像部の中心線のずれ量を検出する構成(請求項2)を採用することができる。
また、本発明においては、上記X線受像部の受像面から前方に所定距離だけ離れた位置に、上記他方の軸方向両側においてX線を部分的に遮蔽する光軸ガイドが装着されているとともに、上記ずれ量検出手段は、当該X線受像部によるX線透視画像の上記他方の軸法後梁側に現れる上記光軸ガイドによる遮蔽領域の面積から当該他方の軸方向へのX線照射装置とX線受像部の中心線のずれ量を検出する構成(請求項3)を採用してもよい。
更に、本発明においては、上記ずれ量検出手段による検出結果に基づき、上記X線受像部によるX線透視画像上の透視対象物の位置情報を補正する透視位置情報補正手段を備えた構成(請求項4)を採用することができる。
更にまた、本発明においては、上記ずれ量検出手段による検出結果に基づき、上記X線照射装置とX線受像部の中心線が一致するよう、当該X線照射装置および/またはX線受像部を上記他方の軸方向に移動させる位置決め制御手段を備えた構成(請求項4)を採用するか、もしくは、上記ずれ量検出手段による検出結果に基づき、次回のX線照射装置とX線受像部の上記他方の軸方向への移動時に、当該X線照射装置および/またはX線受像部の移動量を調節する移動量調節手段を備えた構成(請求項6)を採用することが好ましい。
本発明は、X線光軸に直交する平面上で互いに直交する2軸方向(x,y軸方向)への移動を、対象物保持部とX線照射装置およびX線受像部の対とに分担させることにより、これらの各軸方向への位置決め精度の高精度化を容易にするとともに、X線照射装置およびX線受像部のうちの一方の駆動機構については、位置検出手段の出力に基づくフィードバック制御により位置決め精度を高精度のものとするが、他方の駆動機構についてはオープンループ制御としてコスト上昇を抑制し、これにより生じる可能性のあるX線照射装置とX線受像部とのずれを、X線透視画像から検出することによって、コスト抑制に基づく不具合を解消して所期の目的を達成しようとするものである。
すなわち、本発明においては、X線光軸に直交する平面上で互いに直交する2軸のうちの一方の軸、例えばy軸方向への移動は対象物保持部で、他方のx軸方向への移動はX線照射装置およびX線受像部で行うとともに、X線照射装置とX線受像部のうちの一方、例えばX線照射装置については位置検出手段の出力に基づくフィードバック制御により高精度に位置決めを行うが、他方、例えばX線受像部についてはオープンループ制御とする代わりに、X線透視画像からX線照射装置とX線受像部の中心線どうしのずれ量を検出する。このX線照射装置とX線受像部の中心線どうしのずれ量を知ることができれば、例えばX線透視画像から透視対象物上の2点間の距離を求める場合においても、簡単な計算によりソフト的にそのずれに起因する誤差分を補正することができる。
X線透視画像からX線照射装置とX線受像部の中心線どうしのずれ量を検出する具体的構成としては、請求項2に係る発明のように、X線照射装置の照射口前面に、当該X線照射装置の移動方向(例えばx軸方向)両側においてX線を部分的に遮蔽する光軸ガイドを設けるか、あるいは請求項3に係る発明のように、X線受像部の受像面から前方(X線照射装置側)に所定距離だけ離れた位置に、同じく当該X線受像部の移動方向(例えばx軸方向)両側においてX線を部分的に遮蔽する光軸ガイドを設ける。このような光軸ガイドの配置により、X線透視画像のx軸方向両側に光軸ガイドによる遮蔽領域を出現させ、この両側の遮蔽領域の面積から、x軸方向へのX線照射装置とX線受像部のx軸方向への中心線間のずれ量を求めることができる。
そして、以上のようにして求めたX線照射装置とX線受像部の中心線どうしのずれ量は、請求項4に係る発明のように、X線透視画像上の透視対象物の位置情報の補正に供することにより、X線照射装置とX線受像部の中心線間のずれがあっても、X線透視画像から正確な位置を求めることができる。
また、請求項5に係る発明のように、上記のずれ量の検出結果に基づいてX線照射装置とX線受像部の中心線が一致するようにこれらのいずれかもしくは両方を移動させるか、あるいは請求項6に係る発明のように、ずれ量の検出結果に基づいて次回の移動時に移動量を調節すれば、これらのうちのいずれかがオープンループ制御であるにも係わらず、実質的にこれら両者の中心線が常に一致するかその近傍に位置した状態でX線透視画像を得ることができる。
本発明によれば、透視対象物の透視位置を変更するべく、X線照射装置およびX線受像部に対して対象物保持部をX線光軸に直交する平面上で相対的に移動させる機構を、その平面上で互いに直交するx,y軸方向のうち、一方を対象物保持部に、他方をX線照射装置およびX線受像部に、それぞれ分担させて設けているので、x,y軸方向ともに対象物保持部を移動させるべくこれらの各軸方向への移動機構を積み重ねた従来のX線透視装置に比して、x,y軸方向への位置決め精度を向上させることができ、しかも、X線照射装置およびX線受像部の移動機構は、いずれか一方のみをフィードバック制御によって高精度の位置決め精度を行い、他方についてはオープンループ制御で行うため、コスト上昇を抑制することができ、更にX線照射装置とX線受像部との中心線のずれ量をX線透視画像からソフト的に求めるため、これら両者のうちの一方をオープンループ制御とすることによる当該両者間のずれに伴う不具合、例えばX線透視画像から透視対象物上の2点間の距離を計測する場合の誤差の発生等を簡単なソフトの追加により解消することができる。
また、請求項2および3に係る発明のように、X線照射装置およびX線受像部の移動方向両側においてX線の一部を遮蔽する光軸ガイドを設けて、X線透視画像上に現れる光軸ガイドによる遮蔽領域の面積からX線照射装置とX線受像部の中心線のずれ量を求めるように構成すれば、簡単な演算により上記の作用効果を実現することができる。
そして、X線透視画像から求めたX線照射装置とX線受像部との中心線のずれ量は、請求項4に係る発明のように、X線透視画像上の位置情報の補正に供すれば、X線透視画像を用いて透視対象物上の2点間の距離を正確に求めることができるなど、X線照射装置とX線受像部とが実質的にずれていない場合と同じ処理結果を得ることができる。また、請求項5係る発明のように、ずれ量の検出結果からX線照射装置とX線受像部間のずれが解消されるようにこれら両者を正確に位置決めすることにより、実質的にずれの存在しない状態でのX線透視画像が得られ、また、請求項6に係る発明のように、X線透視画像から求めたずれ量に基づき、次回のX線照射装置とX線受像部の移動時に移動量を調節すれば、ずれが蓄積されることなく、両者の中心線を常に互いに近い位置に維持することができる。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の実施の形態の構成図で、装置の正面図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図であり、図2は側面図である。
図1は本発明の実施の形態の構成図で、装置の正面図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図であり、図2は側面図である。
この実施の形態は、図5に示したものと同様に、X線光軸Lが鉛直方向(z軸方向)に沿うように配置されたX線照射装置1と、これにz軸方向に対向するように配置されたX線受像部2との間に、対象物保持部3を配置した構造を持ち、X線光軸Lに直交する平面上で互いに対向するx,y軸のうち、x軸方向にX線照射装置1およびX線受像部2を移動させるとともに、y軸方向に対象物保持部3を移動させるようにしている。
X線照射装置1はベッド4の下側に設けられたx軸方向に伸びるガイド1aに沿って摺動自在に支持されている。ベッド4上には門型フレーム5が配置されており、この門型フレーム5に設けられたx軸方向に伸びるガイド2aに沿ってX線受像部2が摺動自在に支持されている。また、透視対象物Wを保持する対象物保持部3は、ベッド4上にy軸方向に伸びるガイド3aに沿って摺動自在に支持されている。
X線照射装置1には、その前面、つまりX線照射方向前方に、光軸ガイド6が装着されている。この光軸ガイド6は、X線照射装置1から照射されるX線の一部を、x軸方向両側において遮蔽する形状を有している。この光軸ガイド6の存在により、図3に模式的に示すように、本来のX線の照射領域Aがx軸方向両側において一部遮蔽される結果、X線受像部2の受像面Pにはx軸方向両側所定領域に光軸ガイド6による影S1,S2が生じる。ここで、光軸ガイド6によるx軸方向両側の遮蔽領域は、適宜に調節できるようになっている。
X線受像部2の出力は画像取込み回路11を介してコンピュータ12に取り込まれる。コンピュータ12では、このX線受像部2からの出力を用いて透視対象物WのX線透視画像を構築し、表示器13に表示する。
コンピュータ12には、キーボードやマウス、あるいはジョイスティック等からなる操作部14が接続されており、オペレータはこの操作部14を操作することによって、以下に示すように、X線照射装置1とX線受像部2をx軸方向に、また、対象物保持部3をy軸方向に、それぞれ随時に移動させることができる。
X線照射装置1は、サーボモータ15の駆動によりねじ16を回転させることによってx軸方向に移動する。このX線照射装置1のx軸方向への位置は、直線位置検出センサ17により刻々と検出される。この直線位置検出センサ17による検出出力はコンピュータ12に取り込まれる。コンピュータ12では、操作部14の操作により発生する移動目標値信号と、直線位置検出センサ17の出力との差を例えばPID(比例・積分・微分)演算して動作信号を算出した後、その信号をD−A変換器18を介してサーボアンプ19に供給し、サーボモータ15を駆動制御する。すなわち、X線照射装置1は、直線位置検出センサ17の出力を用いたフィードバック制御のもとに、操作部14の操作内容に従って正確に位置決め制御される。
一方、X線受像部2は、パルスモータ20の駆動によりねじ21を回転させることによってx軸方向に移動する。このパルスモータ20は、操作部14の操作に基づいてコンピュータ12から供給される信号により動作するパルスドライバ22からの駆動パルスにより駆動制御される。すなわち、X線受像部2は、パルスモータ20を用いたオープンループ制御のもとに駆動制御される。
対象物保持部3は、図示を省略するが、前記したX線照射装置1と同様に、y軸方向に伸びる直線位置検出センサの出力を用いてサーボモータをフィードバック制御することによって、正確に位置決め制御される。
以上の本発明の実施の形態を用いるとき、使用に先立ち、まず、例えばX線照射装置1とX線受像部2をそれぞれ基準位置のストッパに当接させる等によって、それぞれの中心線を正しく一致させた状態で、光軸ガイド6を調節してX線受像部6の出力に基づくX線透視画像のx,y軸方向両側に互いに等しい面積の影S1,S2が写るように設定する。
以上の設定の後、例えばプリント基板を透視対象物Wとして、そこに形成された2つのマーク間の距離をX線透視画像から計測する場合の例について述べると、まず、一方のマークがX線受像部2の視野内に入るようにX線照射装置1およびX線受像部2をx軸方向に、対象物保持部3をy軸方向に移動させる。このとき、コンピュータ12はX線透視画像上の光軸ガイド6の影S1,S2の面積を算出し、その相違量からX線照射装置1に対するX線受像部2のx軸方向へのずれ量xi を求める。このずれ量xi は、X線照射装置1のX線焦点と光軸ガイド6とのz軸方向への距離z1 と、同じくX線焦点とX線受像部2の受像面Pとのz軸方向への距離z2 、およびS1,S2の面積の差とから簡単な幾何学計算によって求めることができる。そして、このずれ量xi から、透視対象物Wのx軸方向への位置情報に含まれる誤差量xa を求め、一方のマークの位置情報に反映させる。この誤差量xa は、X線照射装置1のX線焦点とX線受像部2の受像面Pとのz軸方向への距離z2 と、X線焦点と対象物保持部3の表面とのz軸方向への距離z3 とから、同じく簡単な幾何学計算によって求めることができる。
次に、他方のマークがX線受像部2の視野内に入っていれば、同様にしてずれ量xi を反映させた他方のマークの位置情報を求める。他方のマークがX線受像部2の視野内に入っていなければ、X線照射装置1およびX線受像部2、並びに対象物保持部3を適宜に移動させて他方のマークをX線受像部2の視野内に入れ、上記と同様にして新たにX線照射装置1とX線受像部2の中心線のx軸方向へのずれ量を求め、他方のマークの位置情報に反映させる。このようにしてずれ量を反映させた2つのマークの位置情報から、これらのマーク間の正確な距離を求めることができる。
ここで、以上の実施の形態においては、X線照射装置1とX線受像部2とのx軸方向へのずれ量を求めて、これをX線透視画像上の透視対象物Wの位置情報に反映させるに止めたが、上記と同様にして求めたずれ量xi に基づき、その量が0となるようにX線照射装置1および/またはX線受像部2をx軸方向に駆動して、これら両者の中心軸を一致させるように再位置決めを行ってもよい。この場合、再位置決め後においては、透視対象物WのX線透視画像上での位置情報の補正は不要となる。
また、上記と同様にしてX線照射装置1とX線受像部2とのx軸方向へのずれ量を求めて、先の例と同様にして透視対象物WのX線透視画像上での位置情報を補正した後、次回にX線照射装置1とX線受像部2を移動させる場合に、先に求めたずれ量相当分を解消するように、X線照射装置1および/またはX線受像部2の移動量を調節してもよい。この場合、これらを移動させた後に新たにずれが生じる可能性があるが、ずれが蓄積されないという利点がある。
更に、以上の実施の形態においては、X線照射装置1側に光軸ガイド6を設けた例を示したが、同様な光軸ガイドをX線受像部2側に設けてもよい。この場合、X線受像部2の受光面Pから所定の距離だけX線照射装置1側に光軸ガイドを設けることによって、上記した例と全く同様の手法によってX線照射装置1とX線受像部2とのx軸方向へのずれ量を求めることができる。
1 X線照射装置
1a ガイド
2 X線受像部
2a ガイド
3 対象物保持部
3a ガイド
4 ベッド
5 門型フレーム
6 光軸ガイド
11 画像取込み回路
12 コンピュータ
13 表示器
14 操作部
15 サーボモータ
16 ねじ
17 直線位置検出センサ
18 D−A変換器
19 サーボアンプ
20 パルスモータ
21 ねじ
22 パルスドライバ
W 透視対象物
1a ガイド
2 X線受像部
2a ガイド
3 対象物保持部
3a ガイド
4 ベッド
5 門型フレーム
6 光軸ガイド
11 画像取込み回路
12 コンピュータ
13 表示器
14 操作部
15 サーボモータ
16 ねじ
17 直線位置検出センサ
18 D−A変換器
19 サーボアンプ
20 パルスモータ
21 ねじ
22 パルスドライバ
W 透視対象物
Claims (6)
- 互いに対向配置されたX線照射装置とX線受像部の間に、透視対象物を保持する対象物保持部が配置されてなるX線透視装置において、
上記X線受像部による視野を変更すべく、上記X線照射装置およびX線受像部に対する対象物保持部のX線光軸に直交する平面上での相対的位置を変更する位置変更手段が、この平面上で互いに直交する2軸方向のうちの一方の軸方向に上記対象物保持部を移動させる保持部移動機構と、他方の軸方向に上記X線照射装置とX線受像部とをそれぞれ移動させるX線照射装置移動機構およびX線受像部移動機構によって構成され、かつ、このX線照射装置移動機構およびX線受像部移動機構のうちのいずれか一方が、位置検出手段の出力に基づくフィードバック制御により駆動制御され、他方がオープンループ制御により駆動制御されているとともに、上記X線受像部によるX線透視画像に基づいて、上記X線照射装置とX線受像部の中心線の上記他方の軸方向へのずれ量を求めるずれ量検出手段を備えていることを特徴とするX線透視装置。 - 上記X線照射装置の照射口前面に、上記他方の軸方向両側においてX線を部分的に遮蔽する光軸ガイドが装着されているとともに、上記ずれ量検出手段は、上記X線受像部によるX線透視画像の上記他方の軸方向両側に現れる上記光軸ガイドによる遮蔽領域の面積から当該他方の軸方向へのX線照射装置とX線受像部の中心線のずれ量を検出することを特徴とする請求項1に記載のX線透視装置。
- 上記X線受像部の受像面から前方に所定距離だけ離れた位置に、上記他方の軸方向両側においてX線を部分的に遮蔽する光軸ガイドが装着されているとともに、上記ずれ量検出手段は、当該X線受像部によるX線透視画像の上記他方の軸方向両側に現れる上記光軸ガイドによる遮蔽領域の面積から当該他方の軸方向へのX線照射装置とX線受像部の中心線のずれ量を検出することを特徴とする請求項1に記載のX線透視装置。
- 上記ずれ量検出手段による検出結果に基づき、上記X線受像部によるX線透視画像上の透視対象物の位置情報を補正する透視位置情報補正手段を備えていることを特徴とする請求項1、2または3に記載のX線透視装置。
- 上記ずれ量検出手段による検出結果に基づき、上記X線照射装置とX線受像部の中心線が一致するよう、当該X線照射装置および/またはX線受像部を上記他方の軸方向に移動させる位置決め制御手段を備えていることを特徴とする請求項1、2、3または4に記載のX線透視装置。
- 上記ずれ量検出手段による検出結果に基づき、次回のX線照射装置とX線受像部の上記他方の軸方向への移動時に、当該X線照射装置および/またはX線受像部の移動量を調節する移動量調節手段を備えていることを特徴とする請求項1、2、3または4に記載のX線透視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004127575A JP2005308599A (ja) | 2004-04-23 | 2004-04-23 | X線透視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004127575A JP2005308599A (ja) | 2004-04-23 | 2004-04-23 | X線透視装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005308599A true JP2005308599A (ja) | 2005-11-04 |
Family
ID=35437540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004127575A Pending JP2005308599A (ja) | 2004-04-23 | 2004-04-23 | X線透視装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005308599A (ja) |
-
2004
- 2004-04-23 JP JP2004127575A patent/JP2005308599A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101110145B1 (ko) | X선 투시 장치 | |
EP3091405B1 (en) | Method, device and system for improving system accuracy of x-y motion platform | |
TWI577483B (zh) | Laser processing machine, laser processing machine workpiece skew correction method | |
US7499180B2 (en) | Alignment stage, exposure apparatus, and semiconductor device manufacturing method | |
CN101128776A (zh) | 一种图像绘制方法、图像绘制装置、图像绘制系统以及校正方法 | |
US6718057B1 (en) | Position error measurement method and device using positioning mark, and machining device for correcting position based on result of measuring position error using positioning mark | |
TWI667090B (zh) | 雷射加工裝置 | |
JP2008233638A (ja) | 描画装置および描画方法 | |
JP2007085912A (ja) | 位置測定方法及び位置測定装置並びに位置測定システム | |
JPH0523877A (ja) | レーザ加工機 | |
JP2008065034A (ja) | 描画装置およびアライメント方法 | |
JPH07325623A (ja) | Xyステージの制御方法および装置 | |
JP2005308599A (ja) | X線透視装置 | |
JP2012133122A (ja) | 近接露光装置及びそのギャップ測定方法 | |
WO2015052618A1 (ja) | 描画装置及び描画方法 | |
JP3417773B2 (ja) | チップ部品の位置検出方法 | |
JP2006100590A (ja) | 近接露光装置 | |
JP2006315086A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
JP2003233424A (ja) | Xyステージの位置補正方法、装置、及び、これを用いた位置決め方法、装置 | |
JP2006052971A (ja) | 微小寸法測定機 | |
JP4487700B2 (ja) | 近接露光装置 | |
JPH04356389A (ja) | レーザ加工機の加工ポイント補正方法及びその装置 | |
JP4487688B2 (ja) | ステップ式近接露光装置 | |
JP2011209375A (ja) | パターン描画装置およびパターン描画方法 | |
JP2014153223A (ja) | 計測装置 |