JP2005303215A - 可変容量コンデンサ及びこの可変容量コンデンサを備えたインピーダンス整合器 - Google Patents
可変容量コンデンサ及びこの可変容量コンデンサを備えたインピーダンス整合器 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 第1可変容量コンデンサVC1は、所定間隔を隔てて離間しながら相対移動自在に設けられた可動側電極24及び固定側電極25と、可動側電極24がベローズ23を介して接続された第1電極端子部21と、固定側電極25が接続された第2電極端子部22と、第1電極端子部21及び第2電極端子部22との間に介在された外殻26とを有し、外殻26の周囲に、外部において発生される磁界を遮蔽するためのシールド部材19が設けられている。
【選択図】 図3
Description
図1は、本願発明の第1実施例にかかる可変容量コンデンサを含むインピーダンス整合器の内部が一部透視された斜視図である。インピーダンス整合器3は、上述したように、その入力端から高周波電源装置1(図10参照)側を見た入力インピーダンスと、その入力端から負荷L側を見た負荷インピーダンスとを整合させるためのものである。
図4は、本願発明の第2実施例にかかる可変容量コンデンサが適用されたインピーダンス整合器の要部構成図である。第1実施例に示した可変容量コンデンサでは、シールド部材19が第2電極端子部22に接合されて設けられていたが、第2実施例にかかる可変容量コンデンサは、磁界を遮蔽するためのシールド部材19が第1電極端子部21に接合されて設けられている。
図5は、本願発明の第3実施例にかかる可変容量コンデンサが適用されたインピーダンス整合器の要部構成図である。第1又は第2実施例に示した可変容量コンデンサでは、シールド部材19が第1又は第2電極端子部21,22に接合されて設けられていたが、第3実施例にかかる可変容量コンデンサは、磁界を遮蔽するためのシールド部材19が第1及び第2電極端子部21,22に接合されるのではなく、両電極端子部21,22からフローティング状態とされて設けられている。
図8は、本願発明の第4実施例にかかる可変容量コンデンサが適用されたインピーダンス整合器の要部構成図である。第1ないし第3実施例に示した可変容量コンデンサでは、シールド部材19が外殻26を覆うように設けられていたが、この第4実施例にかかる可変容量コンデンサでは、シールド部材19に代えて、外殻26の外周面に、磁界を遮蔽するための導電性のシールド層39が設けられている。
図9は、本願発明の第5実施例にかかる可変容量コンデンサが適用されたインピーダンス整合器の要部構成図である。第1ないし第4実施例に示した可変容量コンデンサでは、シールド部材19が外殻26を覆うように設けられていたり、外殻26の外周面に導電性のシールド部材19が設けられていたりしたが、この第5実施例にかかる可変容量コンデンサでは、磁界を遮蔽するためのシールド部材40が外殻26の内部に設けられている。その他の構成については、第1実施例と略同様である。
14 入力側伝送ライン
16 出力側伝送ライン
18 駆動用モータ
19 シールド部材
21 第1電極端子部
22 第2電極端子部
23 ベローズ
24 可動側電極
25 固定側電極
39 シールド層
VC1 第1可変容量コンデンサ
VC2 第2可変容量コンデンサ
L 負荷
Claims (10)
- 所定間隔を隔てて離間しながら相対移動自在に設けられた第1の電極及び第2の電極と、
前記第1の電極及び第2の電極の一方が収縮部材を介して接続された第1の電極端子部と、
前記第1の電極及び第2の電極の他方が接続された第2の電極端子部と、
前記第1の電極端子部及び前記第2の電極端子部との間に介在された絶縁部材とを有する可変容量コンデンサであって、
前記絶縁部材の周囲に、外部において発生される磁界を遮蔽するためのシールド部材を設けたことを特徴とする、可変容量コンデンサ。 - 前記シールド部材は、前記絶縁部材の少なくとも一部を覆うように設けられた導体片によって構成されている、請求項1に記載の可変容量コンデンサ。
- 前記シールド部材は、前記絶縁部材の外表面の少なくとも一部又は内表面の少なくとも一部に形成された導体層によって構成されている、請求項1に記載の可変容量コンデンサ。
- 前記シールド部材は、前記絶縁部材の内部に設けられた導体片によって構成されている、請求項1に記載の可変容量コンデンサ。
- 前記シールド部材は、第1の電極端子部又は第2の電極端子部のいずれか一方に電気的に接続されている、請求項1ないし4のいずれかに記載の可変容量コンデンサ。
- 前記シールド部材は、第1の電極端子部及び第2の電極端子部に電気的に非接続とされている、請求項1ないし4のいずれかに記載の可変容量コンデンサ。
- 前記第1の電極端子部、前記第2の電極端子部、及び前記絶縁部材によって外形が概略形成され、かつ前記絶縁部材の内側に前記収縮部材が配置されている、請求項1ないし6のいずれかに記載の可変容量コンデンサ。
- 前記第1の電極と第2の電極との間の静電容量を形成するための空間が真空になっている、請求項1ないし7のいずれかに記載の可変容量コンデンサ。
- 所定間隔を隔てて離間しながら相対移動自在に設けられた第1の電極及び第2の電極と、前記第1の電極及び第2の電極の一方が収縮部材を介して接続された第1の電極端子部と、前記第1の電極及び第2の電極の他方が接続された第2の電極端子部と、前記第1の電極端子部及び前記第2の電極端子部との間に介在された絶縁部材とを有する可変容量コンデンサを備えたインピーダンス整合器であって、
前記可変容量コンデンサの前記絶縁部材の周囲に、前記可変容量コンデンサの外部において発生される磁界を遮蔽するためのシールド部材を設けたことを特徴とする、インピーダンス整合器。 - 前記可変容量コンデンサを複数個備え、前記複数の可変容量コンデンサの少なくとも2つが略平行に配置されている、請求項9に記載のインピーダンス整合器。
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2004
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