JP4388846B2 - 可変容量コンデンサ及びこの可変容量コンデンサを備えたインピーダンス整合器 - Google Patents
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Description
図1は、本願発明の第1実施例にかかる可変容量コンデンサを含むインピーダンス整合器の内部が一部透視された斜視図である。インピーダンス整合器3は、上述したように、その入力端から高周波電源装置1(図10参照)側を見た入力インピーダンスと、その入力端から負荷L側を見た負荷インピーダンスとを整合させるためのものである。
図4は、本願発明の第2実施例にかかる可変容量コンデンサが適用されたインピーダンス整合器の要部構成図である。第1実施例に示した可変容量コンデンサでは、シールド部材19が第2電極端子部22に接合されて設けられていたが、第2実施例にかかる可変容量コンデンサは、磁界を遮蔽するためのシールド部材19が第1電極端子部21に接合されて設けられている。
図5は、本願発明の第3実施例にかかる可変容量コンデンサが適用されたインピーダンス整合器の要部構成図である。第1又は第2実施例に示した可変容量コンデンサでは、シールド部材19が第1又は第2電極端子部21,22に接合されて設けられていたが、第3実施例にかかる可変容量コンデンサは、磁界を遮蔽するためのシールド部材19が第1及び第2電極端子部21,22に接合されるのではなく、両電極端子部21,22からフローティング状態とされて設けられている。
図8は、本願発明の第4実施例にかかる可変容量コンデンサが適用されたインピーダンス整合器の要部構成図である。第1ないし第3実施例に示した可変容量コンデンサでは、シールド部材19が外殻26を覆うように設けられていたが、この第4実施例にかかる可変容量コンデンサでは、シールド部材19に代えて、外殻26の外周面に、磁界を遮蔽するための導電性のシールド層39が設けられている。
図9は、本願発明の第5実施例にかかる可変容量コンデンサが適用されたインピーダンス整合器の要部構成図である。第1ないし第4実施例に示した可変容量コンデンサでは、シールド部材19が外殻26を覆うように設けられていたり、外殻26の外周面に導電性のシールド部材19が設けられていたりしたが、この第5実施例にかかる可変容量コンデンサでは、磁界を遮蔽するためのシールド部材40が外殻26の内部に設けられている。その他の構成については、第1実施例と略同様である。
14 入力側伝送ライン
16 出力側伝送ライン
18 駆動用モータ
19 シールド部材
21 第1電極端子部
22 第2電極端子部
23 ベローズ
24 可動側電極
25 固定側電極
39 シールド層
VC1 第1可変容量コンデンサ
VC2 第2可変容量コンデンサ
L 負荷
Claims (10)
- 基部の周縁から垂直に延びるフランジ部を有する第1の電極端子部と、
基部の周縁から垂直に延びるフランジ部を有する第2の電極端子部と、
前記第1の電極端子部のフランジ部と前記第2の電極端子部のフランジ部とを接続する筒状の絶縁部材と、
前記第2の電極端子部の前記第1の電極端子部に対向する面に支持された固定電極と、
前記固定電極に対向配置されて容量を形成し、前記第1の電極端子部の前記第2の電極端子部に対向する面に移動可能に支持された可動電極と、
前記可動電極を前記第1の電極端子部に電気的に接続する導電性の伸縮部材と、
を備え、前記可動電極を移動させて前記固定電極との対向部分を変化させることにより前記容量が変化する可変容量コンデンサであって、
前記第2の電極端子部の外側面に、基部が前記第2の電極端子部の基部よりも広く、基部の周縁から垂直に少なくとも前記絶縁部材の一部を覆う位置まで伸びる延接部を有する導電性のシールド部材が、前記第1の電極端子部と接触しないように取り付けられていることを特徴とする可変容量コンデンサ。 - 基部の周縁から垂直に延びるフランジ部を有する第1の電極端子部と、
基部の周縁から垂直に延びるフランジ部を有する第2の電極端子部と、
前記第1の電極端子部のフランジ部と前記第2の電極端子部のフランジ部とを接続する筒状の絶縁部材と、
前記第2の電極端子部の前記第1の電極端子部に対向する面に支持された固定電極と、
前記固定電極に対向配置されて容量を形成し、前記第1の電極端子部の前記第2の電極端子部に対向する面に移動可能に支持された可動電極と、
前記可動電極を前記第1の電極端子部に電気的に接続する導電性の伸縮部材と、
を備え、前記可動電極を移動させて前記固定電極との対向部分を変化させることにより前記容量が変化する可変容量コンデンサであって、
前記第1の電極端子部の外側面に、基部が前記第1の電極端子部の基部よりも広く、基部の周縁から垂直に少なくとも前記絶縁部材の一部を覆う位置まで伸びる延接部を有する導電性のシールド部材が、前記第2の電極端子部と接触しないように取り付けられていることを特徴とする可変容量コンデンサ。 - 基部の周縁から垂直に延びるフランジ部を有する第1の電極端子部と、
基部の周縁から垂直に延びるフランジ部を有する第2の電極端子部と、
前記第1の電極端子部のフランジ部と前記第2の電極端子部のフランジ部とを接続する筒状の絶縁部材と、
前記第2の電極端子部の前記第1の電極端子部に対向する面に支持された固定電極と、
前記固定電極に対向配置されて容量を形成し、前記第1の電極端子部の前記第2の電極端子部に対向する面に移動可能に支持された可動電極と、
前記可動電極を前記第1の電極端子部に電気的に接続する導電性の伸縮部材と、
を備え、前記可動電極を移動させて前記固定電極との対向部分を変化させることにより前記容量が変化する可変容量コンデンサであって、
前記絶縁部材の外側に、前記絶縁部材の外径よりも大きい内径を有する筒状の導電性のシールド部材が接続用部材を用いて、前記第1および第2の電極端子部と接触しないように取り付けられていることを特徴とする可変容量コンデンサ。 - 基部の周縁から垂直に延びるフランジ部を有する第1の電極端子部と、
基部の周縁から垂直に延びるフランジ部を有する第2の電極端子部と、
前記第1の電極端子部のフランジ部と前記第2の電極端子部のフランジ部とを接続する筒状の絶縁部材と、
前記第2の電極端子部の前記第1の電極端子部に対向する面に支持された固定電極と、
前記固定電極に対向配置されて容量を形成し、前記第1の電極端子部の前記第2の電極端子部に対向する面に移動可能に支持された可動電極と、
前記可動電極を前記第1の電極端子部に電気的に接続する導電性の伸縮部材と、
を備え、前記可動電極を移動させて前記固定電極との対向部分を変化させることにより前記容量が変化する可変容量コンデンサであって、
前記絶縁部材の外周面もしくは内周面又は両周面に、導電性の層からなるシールド部材が、前記第1電極端子部と前記第2電極端子部とが電気的に接触しないように設けられていることを特徴とする可変容量コンデンサ。 - 基部の周縁から垂直に延びるフランジ部を有する第1の電極端子部と、
基部の周縁から垂直に延びるフランジ部を有する第2の電極端子部と、
前記第1の電極端子部のフランジ部と前記第2の電極端子部のフランジ部とを接続する筒状の絶縁部材と、
前記第2の電極端子部の前記第1の電極端子部に対向する面に支持された固定電極と、
前記固定電極に対向配置されて容量を形成し、前記第1の電極端子部の前記第2の電極端子部に対向する面に移動可能に支持された可動電極と、
前記可動電極を前記第1の電極端子部に電気的に接続する導電性の伸縮部材と、
を備え、前記可動電極を移動させて前記固定電極との対向部分を変化させることにより前記容量が変化する可変容量コンデンサであって、
前記絶縁部材の内部に、導電性のシールド部材が、前記第1電極端子部と前記第2電極端子部とが電気的に接触しないように設けられていることを特徴とする可変容量コンデンサ。 - 前記シールド部材の高さ方向のサイズは、前記絶縁部材の高さ方向のサイズと略同一である、請求項3〜5のいずれかに記載の可変容量コンデンサ。
- 前記絶縁部材は、少なくとも前記伸縮部材の一部を覆うように前記第1の電極端子部のフランジ部と前記第2の電極端子部のフランジ部を接続する、請求項1ないし6のいずれかに記載の可変容量コンデンサ。
- 前記第1および第2の電極端子部と前記絶縁部材とによって形成される空間は真空である、請求項1ないし7のいずれかに記載の可変容量コンデンサ。
- 高周波を入力するための入力端子と高周波を出力するための出力端子とが設けられた筐体と、前記筐体内の前記入力端子と前記筐体との間および前記入力端子と前記出力端子との間にそれぞれ配設される可変容量コンデンサと、を備えたインピーダンス整合器であって、
前記可変容量コンデンサが請求項1ないし8のいずれかに記載の可変容量コンデンサで構成されていることを特徴とする、インピーダンス整合器。 - 前記入力端子と前記筐体との間に配設される第1の可変容量コンデンサと前記入力端子と前記出力端子との間に配設される第2の可変容量コンデンサは、前記筐体の一側面に平行に配設された導体板に前記第1および第2の可変容量コンデンサの第1の電極端子部が接続され、前記第1の可変容量コンデンサの伸縮部材と前記第2の可変容量コンデンサの伸縮部材とが略平行になるように配置されている、請求項9に記載のインピーダンス整合器。
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