JP2009032717A - 自動整合機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空に保持された空間内にベローズを介して相互に変位可能に配置された一対の電極を有するコンデンサ11,13と、コイル12とを備え、前記一対の電極の一方を他方に対して変位させて、前記コンデンサとコイルにより構成される整合回路のインピーダンスを調整する自動整合機において、前記電極の変位に伴う前記ベローズの伸縮量および伸縮回数の累積値をもとに自動整合機の寿命の経過量を算出する。
【選択図】図6
Description
本発明は、これらの問題点に鑑みてなされたもので、可変真空コンデンサの寿命を予測し、稼働中における装置の停止を回避することのできる自動整合機を提供するものである。
例えば、図8に示すように、ベローズの伸縮量を20〜18mm、18〜16mm、16〜14mm、14〜12mm、12〜10mm、10mm以下の6つの範囲に分ける。それぞれの伸縮量の範囲において、ベローズが破断するまでの伸縮回数(ベローズの伸縮量が20〜18mmの場合はa回)で除算した値だけ寿命が短くなったものとして寿命加算値を算出する。例えば、伸縮量が20mm〜18mmの場合、伸縮量20mmにおけるベローズ破断までの伸縮回数はa回であるため、寿命加算値は1/aとする。伸縮量が18〜16mm、16〜14mm、14〜12mm、12〜10mmの場合についても同様に、その伸縮量の範囲で最も長い伸縮量におけるベローズ破断までの伸縮回数分の1を寿命加算値とする。図8は、それぞれの伸縮量に対する寿命加算値を示している。
12 コイル
14,23 モータ
15,22 ロータリーエンコーダ
17 入力装置
18 表示装置
19 通信装置
20 記憶装置
21 自動整合機のコントローラ
24 RFセンサ
31 プラズマ処理装置のコントローラ
32 ソースRF電源
34 ソースRF用自動整合機
35 アンテナ電極
36 真空容器
37 プラズマ
38 被処理基板
39 排気手段
40 試料台
41 反応性ガス
42 バイアスRF用自動整合機
43 バイアスRF電源
44 記憶装置
45 入出力端末
Claims (6)
- 真空に保持された空間内にベローズを介して相互に変位可能に配置された一対の電極を有するコンデンサと、コイルとを備え、前記一対の電極の一方を他方に対して変位させて、前記コンデンサとコイルにより構成される整合回路のインピーダンスを調整する自動整合機において、
前記電極の変位に伴う前記ベローズの伸縮量および伸縮回数の累積値をもとに自動整合機の寿命の経過量を算出することを特徴とする自動整合機。 - 真空に保持された空間内にベローズを介して相互に変位可能に配置された一対の電極を有するコンデンサと、コイルとを備え、前記一対の電極の一方を他方に対して変位させて、前記コンデンサとコイルにより構成される整合回路のインピーダンスを調整する自動整合機において、
前記電極位置の変位量毎に予め寿命加算値を設定しておき、
前記電極位置の変位の連続して観測される極大値と極小値の差毎に前記予め設定した寿命加算値を累積し、該累積値をもとに自動整合機の寿命の経過量を算出することを特徴とする自動整合機。 - 請求項1記載の自動整合機において、
前記算出された寿命の経過量が予め設定した値に達したとき警報を発することを特徴とする自動整合機。 - 請求項1記載の自動整合機において、
前記算出された寿命の経過量の履歴を記憶する記憶手段、および表示装置を備え、前記記憶した寿命の経過量の履歴を前記表示手段に表示することを特徴とする自動整合機。 - 請求項1記載の自動整合機において、
該整合機を介してプラズマ処理装置の高周波電源とプラズマ生成用のアンテナ電極とを接続したことを特徴とする自動整合機。 - 真空に保持された空間内にベローズを介して相互に変位可能に配置された一対の電極を有するコンデンサと、コイルとを備え、前記一対の電極の一方を他方に対して変位させて、前記コンデンサとコイルにより構成される整合回路のインピーダンスを調整する自動整合機の寿命判定方法において、
前記電極位置の変位量毎に予め寿命加算値を設定しておき、
前記電極位置の変位の連続して観測される極大値と極小値の差毎に前記予め設定した寿命加算値を累積し、該累積値をもとに自動整合機の寿命の経過量を算出し、算出した寿命の経過量が予め設定された期待寿命の所定割合に達したとき警報を発することを特徴とする自動整合機の寿命判定方法。
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