JP2005294855A - エッチング表面の親水性化方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フロロカーボンを主とするデポジション膜のポリマー中にOを侵入させてH2Oと水素結合することによって親水性化することができると考え、ポリマー中へのO2の投入方法として、UV(紫外線)や、H2O2を用いた酸洗処理などが適用可能であり、いずれもポリマー膜における少なくとも表面を親水性化しうることを知見した。
【選択図】 なし
Description
Claims (2)
- エッチング工程とデポジション工程を含むドライエッチング法にて処理されたシリコン半導体基板に、酸素含有雰囲気でUV(紫外線)照射処理して先に形成されたフロロカーボンを主とするデポジション膜の少なくとも表面を親水性化するエッチング表面の親水性化方法。
- エッチング工程とデポジション工程を含むドライエッチング法にて処理されたシリコン半導体基板に、酸洗処理して先に形成されたフロロカーボンを主とするデポジション膜の少なくとも表面を親水性化するエッチング表面の親水性化方法。
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JP2005131267A JP2005294855A (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | エッチング表面の親水性化方法 |
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