JP2005276730A - Manufacturing method of organic el display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機EL(Electro Luminescence)表示装置の製造方法に関し、特に、有機EL表示装置の製造工程におけるエージング処理に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an organic EL (Electro Luminescence) display device, and particularly to an aging process in a manufacturing process of an organic EL display device.
有機EL発光素子を画素部に使用した有機EL表示装置は、液晶表示装置と比較して視野角が広く、また、応答速度も速く、有機物が有する発光性の多様性から、次世代の表示装置として期待されている。有機EL表示装置は、一般に、複数の有機EL発光素子が形成された有機EL素子基板と、有機EL素子基板上の複数の有機EL発光素子を封止するための対向基板とを備えている。有機EL発光素子は、ガラス基板と、ガラス基板上に形成された陽極と、陽極の上に積層され、有機発光層を含む薄膜状の有機化合物(有機EL層)と、有機EL層の上に陽極に対向するように形成された陰極を備えている。 An organic EL display device using an organic EL light emitting element in a pixel portion has a wider viewing angle and a faster response speed than a liquid crystal display device, and is a next-generation display device due to a variety of light-emitting properties of organic substances. As expected. In general, an organic EL display device includes an organic EL element substrate on which a plurality of organic EL light emitting elements are formed, and a counter substrate for sealing the plurality of organic EL light emitting elements on the organic EL element substrate. An organic EL light emitting element includes a glass substrate, an anode formed on the glass substrate, a thin film organic compound (organic EL layer) laminated on the anode and including an organic light emitting layer, and an organic EL layer. A cathode formed so as to face the anode is provided.
有機EL発光素子は、対向して設けられた陽極と陰極との間に配置された有機EL層に電流が供給されると自発光する電流駆動型の表示素子である。有機EL表示装置は半導体発光ダイオードに似た特性を有しているので有機LEDと呼ばれることもある。有機EL発光素子の陽極に高電位を供給し、所定の電圧を両電極間に印加し有機EL層に電流を供給することによって、有機EL発光素子は発光する。逆に、陰極側を高電位にした場合には有機EL層に電流はほとんど流れず、有機EL発光素子は発光しない。有機EL発光素子を駆動する場合には、一般に定電流駆動法が用いられる。すなわち、所定の発光輝度を得るために、定電流回路を備えた駆動回路が、有機EL発光素子に定電流を供給する。 The organic EL light-emitting element is a current-driven display element that emits light when a current is supplied to an organic EL layer disposed between an anode and a cathode that are provided to face each other. Since the organic EL display device has characteristics similar to those of a semiconductor light emitting diode, it is sometimes called an organic LED. The organic EL light emitting element emits light by supplying a high potential to the anode of the organic EL light emitting element, applying a predetermined voltage between both electrodes and supplying a current to the organic EL layer. Conversely, when the cathode side is set at a high potential, almost no current flows through the organic EL layer, and the organic EL light emitting element does not emit light. When driving an organic EL light emitting element, a constant current driving method is generally used. That is, in order to obtain a predetermined light emission luminance, a drive circuit including a constant current circuit supplies a constant current to the organic EL light emitting element.
広く知られた有機EL表示装置の構造の一つにおいて、陽極に接続されるかまたは陽極そのものを形成する複数の陽極配線がガラス基板上に平行して配置され、陽極配線と直交する方向に、陰極に接続されるかまたは陰極そのものを形成する複数の陰極配線が平行して配置され、陽極と陰極の両電極間に有機EL層が扶持される。陽極配線と陰極配線とがマトリクス状に配置された有機EL表示装置において、陽極配線と陰極配線との交点が画素(有機発光素子)となり、画素がマトリクス状に配置されている。一般に、陰極配線は金属で形成され、陽極配線はITO(インジウム・錫・酸化物)などの透明導電膜で形成される。 In one of the well-known structures of organic EL display devices, a plurality of anode wirings connected to the anode or forming the anode itself are arranged in parallel on the glass substrate, and in a direction perpendicular to the anode wiring, A plurality of cathode wirings connected to the cathode or forming the cathode itself are arranged in parallel, and an organic EL layer is held between both the anode and the cathode. In an organic EL display device in which anode wiring and cathode wiring are arranged in a matrix, intersections between the anode wiring and the cathode wiring serve as pixels (organic light emitting elements), and the pixels are arranged in a matrix. In general, the cathode wiring is formed of metal, and the anode wiring is formed of a transparent conductive film such as ITO (indium / tin / oxide).
陽極配線と陰極配線とがマトリクス状に配置された有機EL表示装置を単純マトリクス駆動法によって駆動する場合、陽極配線と陰極配線とのうちのいずれか一方を走査電極とし、他方をデータ電極とする。そして、定電圧回路を備えた走査電極駆動回路を走査電極に接続し、走査電極を定電圧駆動する。そして、走査電極のうちの1本を所定の期間毎に順次に走査して選択状態とし、他の走査電極を非選択状態にする。一般に、平行して配置されている複数の走査電極のうちの一方の端に位置する走査電極から他方の端に位置する走査電極に向かって走査を行い、一定の期間の間にすべての走査電極を順次選択状態にする。 When an organic EL display device in which anode wiring and cathode wiring are arranged in a matrix is driven by a simple matrix driving method, one of the anode wiring and the cathode wiring is used as a scanning electrode, and the other is used as a data electrode. . Then, a scan electrode driving circuit including a constant voltage circuit is connected to the scan electrode, and the scan electrode is driven at a constant voltage. Then, one of the scan electrodes is sequentially scanned every predetermined period to be in a selected state, and the other scan electrodes are in a non-selected state. In general, scanning is performed from a scanning electrode located at one end of a plurality of scanning electrodes arranged in parallel toward a scanning electrode located at the other end, and all the scanning electrodes are performed during a certain period. Are sequentially selected.
データ電極には、出力段に定電流回路が備えられたデータ電極駆動回路を接続する。そして、選択状態にある走査電極に対応する行の表示データに応じた電流を、走査に同期して各データ電極に供給する。定電流回路からデータ電極に供給された電流は、選択状態にある走査電極とデータ電極との交点に位置する有機EL層を通って、選択状態にある走査電極に流れる。画素は、その画素を形成する走査電極が選択状態にあり、かつ、データ電極から電流が供給されている期間において発光する。また、データ電極からの電流の供給が停止すると発光も停止する。なお、駆動を行う際に、有機EL表示装置の陽極配線を走査電極にしてもよいしデータ電極にしてもよい。 A data electrode driving circuit having a constant current circuit at the output stage is connected to the data electrode. Then, a current corresponding to the display data of the row corresponding to the scan electrode in the selected state is supplied to each data electrode in synchronization with the scan. The current supplied from the constant current circuit to the data electrode flows through the organic EL layer located at the intersection of the scan electrode and the data electrode in the selected state to the scan electrode in the selected state. The pixel emits light in a period in which the scan electrode forming the pixel is in a selected state and current is supplied from the data electrode. Further, when the supply of current from the data electrode is stopped, the light emission is also stopped. When driving, the anode wiring of the organic EL display device may be a scanning electrode or a data electrode.
有機EL発光素子を定電流で駆動していると、時間が経つにしたがって輝度が低下していく。初期輝度が高いほど輝度低下の割合は大きく、例えば、初期輝度が倍になれば、輝度が半減するまでの時間はおおよそ半分程度になる。さらに、発光していた時間が長い画素(有機EL発光素子)ほど暗くなるので、画素によって輝度が異なるという現象を引き起こす。この現象を「焼き付き」と呼ぶ。隣接している画素であれば3〜5%程度の輝度差があれば、輝度差があることが視認されてしまう。 When the organic EL light emitting element is driven with a constant current, the luminance decreases with time. The higher the initial luminance, the larger the rate of luminance decrease. For example, if the initial luminance is doubled, the time until the luminance is halved is approximately half. Furthermore, since the pixels (organic EL light emitting elements) that have been emitting light are darker, the phenomenon that the luminance varies depending on the pixels is caused. This phenomenon is called “burn-in”. If adjacent pixels have a luminance difference of about 3 to 5%, it is visually recognized that there is a luminance difference.
技術開発によって、有機EL表示素子の輝度半減寿命は、初期輝度100cd/m2程度で数万時間まで達している、しかし、焼き付きは3〜5%程度の輝度低下で起こるため、数十〜数百時間で発生してしまう。このことは、液晶表示装置などの他のフラットパネル型の表示装置に対する有機EL表示装置の短所になっている。 Due to technological development, the luminance half-life of the organic EL display element reaches several tens of thousands of hours at an initial luminance of about 100 cd / m 2 , but burn-in occurs with a luminance drop of about 3 to 5%. It will occur in a hundred hours. This is a disadvantage of the organic EL display device relative to other flat panel display devices such as a liquid crystal display device.
通電によって、有機EL発光素子の輝度は、初期に大きく低下し、その後は緩やかに低下することが多い。輝度がそのように低下する場合には、有機EL発光素子をしばらく駆動して輝度低下したものを新たに初期状態とすると、その後の低下の仕方が緩やかになる。このため、有機EL表示装置が実際の使用に供される前に、有機EL発光素子をしばらく駆動して輝度低下させる処理が一般に行われている。この処理は、エージング処理と呼ばれる。 In many cases, the luminance of the organic EL light-emitting element greatly decreases in the initial stage due to energization, and then gradually decreases. In the case where the luminance is reduced as described above, when the organic EL light emitting element is driven for a while to reduce the luminance to a new initial state, the method of subsequent reduction becomes moderate. For this reason, before the organic EL display device is actually used, a process of driving the organic EL light emitting element for a while to lower the luminance is generally performed. This process is called an aging process.
エージング処理において、例えば、有機EL素子基板の陽極配線同士がリード線で短絡され、リード線が電圧印加装置に接続される。また、陰極配線同士がリード線で短絡され、リード線が電圧印加装置に接続される。そして、電圧印加装置は、陽極電配線士を接続するリード線と陰極配線同士を接続するリード線との間に電圧パルスを印加する。これによって、基板上の各有機発光素子に同時にDC電圧が供給され、エージング処理が実行される。 In the aging process, for example, the anode wirings of the organic EL element substrate are short-circuited by the lead wires, and the lead wires are connected to the voltage application device. Further, the cathode wirings are short-circuited by the lead wires, and the lead wires are connected to the voltage application device. And a voltage application apparatus applies a voltage pulse between the lead wire which connects an anode electric wiring person, and the lead wire which connects cathode wiring. Accordingly, a DC voltage is simultaneously supplied to each organic light emitting element on the substrate, and an aging process is executed.
一方、電極や有機EL層の薄膜形成の際に発生するゴミやチリ等が原因となり、電極や有機EL層に欠陥部が生じることがある。有機EL発光素子において、電極間の有機EL層が極めて薄いことから、この欠陥部が微小なものであっても容易に電流が集中して陽極配線と陰極配線とが短絡し、素子特性の劣化や非発光にいたるという問題がある。上述のエージング処理を用いることにより、このような欠陥部を除去することもできる(例えば、特許文献1参照)。エージング処理の際に生じるジュール熱によって当該欠陥部の短絡部分を破壊する。この破壊された欠陥部は局所的な非発光部となるが、もともと欠陥部は視認できない程度の微小なものであり、表示品質には影響しない。 On the other hand, due to dust, dust or the like generated when forming a thin film of an electrode or an organic EL layer, a defective portion may occur in the electrode or the organic EL layer. In an organic EL light emitting device, since the organic EL layer between electrodes is extremely thin, even if this defective portion is minute, current is easily concentrated and the anode wiring and the cathode wiring are short-circuited, resulting in deterioration of device characteristics. There is a problem that leads to non-light emission. By using the above-described aging process, such a defective portion can be removed (see, for example, Patent Document 1). The short-circuit portion of the defective portion is destroyed by Joule heat generated during the aging process. Although the destroyed defective portion becomes a local non-light emitting portion, the defective portion is originally a minute one that cannot be visually recognized, and does not affect the display quality.
図4は、従来の有機EL表示装置の製造工程を説明するための工程図である。まず、有機EL素子基板形成工程(S401)において、一枚のガラス基板上に複数の有機EL素子基板部が形成される。各有機EL素子基板部がガラス基板から切断され、有機EL表示装置の有機EL素子基板として使用される。本工程においては、1枚のガラス基板上に、各有機EL素子基板部のための配線群および有機EL層が形成される。 FIG. 4 is a process diagram for explaining a manufacturing process of a conventional organic EL display device. First, in the organic EL element substrate forming step (S401), a plurality of organic EL element substrate portions are formed on a single glass substrate. Each organic EL element board | substrate part is cut | disconnected from a glass substrate, and is used as an organic EL element board | substrate of an organic EL display apparatus. In this step, a wiring group and an organic EL layer for each organic EL element substrate portion are formed on one glass substrate.
次に、封止工程(S402)において、各有機EL素子基板部に対して、ガラスなどで形成された対向基板が封止材によって接着される。対向基板によって有機EL素子基板部の有機EL層が封止されため、これを外部の水分などから守ることができる。尚、複数の有機EL素子基板部が形成された基板には、複数の対向基板部が形成された一枚の基板が接着され、各有機EL素子基板部が一括に封止される。 Next, in the sealing step (S402), a counter substrate made of glass or the like is bonded to each organic EL element substrate portion with a sealing material. Since the organic EL layer of the organic EL element substrate portion is sealed by the counter substrate, it can be protected from external moisture and the like. In addition, one board | substrate with which the some counter substrate part was formed is adhere | attached on the board | substrate with which the several organic EL element board | substrate part was formed, and each organic EL element board | substrate part is sealed collectively.
次に、エージング端子露出工程(S403)において、複数の対向基板部が形成された基板の端面の一部が切除され、エージング処理のために形成され、各有機EL素子基板部に接続された共通配線の端子が露出される。続いて、エージング処理(S404)において、露出した端子にエージングのための電圧印加装置が接続され、エージングが実行される。エージング処理(S404)が終了すると、切断工程(S405)においてガラス基板が切断され、複数の有機ELパネルに分離される。光学フィルム貼付工程(S406)において、各有機ELパネルには反射防止のために円偏光板などの光学フィルムを貼り付けられる。最後に、実装工程(S407)において、駆動回路などの周辺回路が実装される。 Next, in the aging terminal exposure step (S403), a part of the end surface of the substrate on which the plurality of counter substrate portions are formed is cut out, formed for aging treatment, and connected to each organic EL element substrate portion. The wiring terminals are exposed. Subsequently, in the aging process (S404), a voltage applying device for aging is connected to the exposed terminal, and aging is executed. When the aging process (S404) is finished, the glass substrate is cut and separated into a plurality of organic EL panels in the cutting step (S405). In the optical film attaching step (S406), an optical film such as a circularly polarizing plate is attached to each organic EL panel to prevent reflection. Finally, in the mounting step (S407), peripheral circuits such as a drive circuit are mounted.
従来の有機EL表示装置の製造工程において、エージング工程は、封止工程の後に実行されている。上記のように、エージング処理においては塵芥による短絡部を除去することが必要である。そのため、封止された有機ELパネルには所定量の酸素を封入することが必要とされる。酸素を有機ELパネル内に封入するために、対向基板と有機EL素子基板との間に所定サイズ以上の空間を形成することが必要となる。あるいは、封止後にエージング処理を行うために、製造工程において、ガラス基板の端部を切除し、エージング用の電圧印加装置と接続されるエージングのための電極を露出させる工程が必要とされる。この工程は、有機EL表示装置製造効率を低下させる原因となっている。 In the conventional manufacturing process of an organic EL display device, the aging process is performed after the sealing process. As described above, in the aging process, it is necessary to remove the short-circuit portion due to dust. Therefore, it is necessary to enclose a predetermined amount of oxygen in the sealed organic EL panel. In order to enclose oxygen in the organic EL panel, it is necessary to form a space of a predetermined size or more between the counter substrate and the organic EL element substrate. Or in order to perform an aging process after sealing, the process of cutting off the edge part of a glass substrate and exposing the electrode for aging connected with the voltage application apparatus for aging is required in a manufacturing process. This process is a cause of reducing the manufacturing efficiency of the organic EL display device.
本発明は上記事情を背景としてなされたものであって、有機EL素子基板のエージング処理を効率的に実行することである。 The present invention has been made against the background of the above circumstances, and is to efficiently perform an aging process on an organic EL element substrate.
本発明の第1の態様に係る有機EL表示装置の製造方法は、基板上に有機発光層を形成するステップと、前記有機発光層に信号を伝送する配線層を形成するステップと、前記有機発光層と前記配線層が露出した状態において、前記配線層に信号を供給することによって前記有機発光層を発光させ、エージング処理を実行するステップを有する。有機発光層と配線層が露出した状態においてエージング処理を実行することによって、有機EL表示装置の製造を効率化することができる。 The method for manufacturing an organic EL display device according to the first aspect of the present invention includes a step of forming an organic light emitting layer on a substrate, a step of forming a wiring layer for transmitting a signal to the organic light emitting layer, and the organic light emitting In a state where the layer and the wiring layer are exposed, the organic light emitting layer is caused to emit light by supplying a signal to the wiring layer, and an aging process is performed. By performing the aging process in a state where the organic light emitting layer and the wiring layer are exposed, the manufacturing of the organic EL display device can be made efficient.
対向基板を前記エージング処理された基板に固着し、前記有機発光層を封止するステップをさらに有することが好ましい。対向基板を固着することによって、外部から水分の浸入を効果的に抑制し、有機発光層を水分から保護することができる。あるいは、前記エージング処理は酸素雰囲気中で実行されることが好ましい。これによって、エージングによる短絡部分の破壊を効果的に行うことができる。 It is preferable that the method further includes a step of fixing the counter substrate to the aged substrate and sealing the organic light emitting layer. By fixing the counter substrate, it is possible to effectively prevent moisture from entering from the outside and protect the organic light emitting layer from moisture. Alternatively, the aging treatment is preferably performed in an oxygen atmosphere. As a result, the short-circuited portion can be effectively destroyed by aging.
本発明の第2の態様に係る有機EL表示装置の製造方法は、有機発光層、陽極配線及び陰極配線を含む複数の有機EL素子基板部を、一つの基板に形成するステップと、前記複数の有機EL素子基板部の陽極配線に接続された陽極共通接続配線を形成するステップと、前記複数の有機EL素子基板部の陰極配線に接続された陰極共通接続配線を形成するステップと、前記複数の有機EL素子基板部、前記陽極共通接続配線及び前記陰極共通接続配線が露出した状態において、前記陽極共通接続配線及び前記陰極共通接続配線に信号を供給することによって前記複数の有機EL素子基板部を発光させ、エージング処理するステップと、を有する。有機発光層と配線層が露出した状態においてエージング処理を実行することによって、有機EL表示装置の製造を効率化することができる。さらに、複数の有機EL素子基板部を一体的に形成することで有機EL表示装置の製造をより効率化することができる According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an organic EL display device comprising: forming a plurality of organic EL element substrate portions including an organic light emitting layer, an anode wiring, and a cathode wiring on a single substrate; Forming an anode common connection wiring connected to the anode wiring of the organic EL element substrate portion; forming a cathode common connection wiring connected to the cathode wiring of the plurality of organic EL element substrate portions; With the organic EL element substrate portion, the anode common connection wiring, and the cathode common connection wiring exposed, the plurality of organic EL element substrate portions are formed by supplying signals to the anode common connection wiring and the cathode common connection wiring. And emitting light and performing an aging process. By performing the aging process in a state where the organic light emitting layer and the wiring layer are exposed, the manufacturing of the organic EL display device can be made efficient. Furthermore, the production of the organic EL display device can be made more efficient by integrally forming a plurality of organic EL element substrate portions.
前記複数の有機EL素子基板部に対応する複数の対向基板部を備える一つの基板を、前記複数の有機EL素子基板部が形成された基板に固着することによって、前記複数の有機EL素子基板部を封止するステップと、前記封止された複数の有機EL素子基板部のそれぞれを切り離すステップと、をさらに有することが好ましい。対向基板を固着することによって、外部から水分の浸入を効果的に抑制し、有機発光層を水分から保護することができる。 The plurality of organic EL element substrate portions are fixed by fixing one substrate having a plurality of counter substrate portions corresponding to the plurality of organic EL element substrate portions to the substrate on which the plurality of organic EL element substrate portions are formed. Preferably, the method further includes a step of sealing and a step of separating each of the plurality of sealed organic EL element substrate portions. By fixing the counter substrate, it is possible to effectively prevent moisture from entering from the outside and protect the organic light emitting layer from moisture.
本発明によれば、有機EL表示装置の製造工程において、エージング処理を効率的に実行することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, an aging process can be performed efficiently in the manufacturing process of an organic electroluminescence display.
以下に、本発明を適用可能な実施の形態が説明される。以下の説明は、本発明の実施形態を説明するものであり、本発明が以下の実施形態に限定されるものではない。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、当業者であれば、以下の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。尚、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略されている。 Hereinafter, embodiments to which the present invention can be applied will be described. The following description is to describe the embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to the following embodiment. For clarity of explanation, the following description and drawings are omitted and simplified as appropriate. Moreover, those skilled in the art can easily change, add, and convert each element of the following embodiments within the scope of the present invention. In addition, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same element and the duplication description is abbreviate | omitted as needed for clarification of description.
図1は、本形態における有機EL(Electro Luminescence)表示装置の製造工程を示す工程フロー図である。図1に示すように、本形態の有機EL表示装置の製造工程は、有機EL素子基板形成工程(S101)、エージング工程(S102)、封止工程(S103)、切断工程(S104)、光学フィルム貼付工程(S105)及び実装工程(S106)を含んでいる。これらの各処理工程は、上記の順に実行される。本形態において、特に、エージング工程(S102)は、封止工程(S103)の前に実行される。これによって、従来必要とされたエージング用の端子を露出するための基板切除工程を省略することができる。また、有機ELパネル内にエージングのための酸素を封止することを不要とすることができる。 FIG. 1 is a process flow diagram showing a manufacturing process of an organic EL (Electro Luminescence) display device according to this embodiment. As shown in FIG. 1, the manufacturing process of the organic EL display device of this embodiment includes an organic EL element substrate forming process (S101), an aging process (S102), a sealing process (S103), a cutting process (S104), and an optical film. A pasting step (S105) and a mounting step (S106) are included. Each of these processing steps is performed in the order described above. In this embodiment, in particular, the aging process (S102) is performed before the sealing process (S103). As a result, the substrate cutting step for exposing the terminal for aging, which has been conventionally required, can be omitted. Moreover, it is not necessary to seal oxygen for aging in the organic EL panel.
各処理工程について説明する。有機EL素子基板形成工程(S101)は、1枚のガラス基板上に配線群および有機EL層を形成することによって、複数の有機EL素子基板部を形成し、マルチ状態の有機EL素子基板を形成する。図2は、有機EL素子基板形成工程(S101)によって形成されるマルチ状態の有機EL素子基板(マルチ有機EL素子基板)200の概略構成を示す斜視図である。 Each processing step will be described. In the organic EL element substrate forming step (S101), a plurality of organic EL element substrate portions are formed by forming a wiring group and an organic EL layer on one glass substrate, thereby forming a multi-state organic EL element substrate. To do. FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of a multi-state organic EL element substrate (multi-organic EL element substrate) 200 formed by the organic EL element substrate forming step (S101).
マルチ有機EL素子基板200は、一枚のガラス基板201に複数の有機EL素子基板部202を備えている。後の製造工程において、各有機EL素子基板部202は、基板201から切り離される。図3は、マルチ有機EL素子基板200の一部構成を示す平面図である。尚、本形態においては、陽極配線と陰極配線とがマトリクス状に配置され、単純マトリクス駆動法によって駆動される有機EL表示装置を例として説明される。
The multi-organic
図2、3に示すように、マルチ有機EL素子基板200において、1枚のガラス基板201に、それぞれが表示領域203を含む複数の有機EL素子基板部202が形成される。表示領域203は、複数の画素(有機発光素子)を含む。各有機発光素子は、ガラス基板上201に形成された有機発光層を含む有機物層と、有機物層を挟むように形成された陽極及び陰極とを備えている。また、各有機EL素子基板部202は、ガラス基板201の一部であるガラス基板部と、有機発光層を挟むように形成され陽極配線204と陰極配線205を備えている。本例において、陽極配線204と陰極配線205は、各有機EL発光素子の陽極及び陰極とを含んでいる。
As shown in FIGS. 2 and 3, in the multi-organic
各有機EL素子基板部202における各陽極配線204は、陽極接続配線206で陽極用共通配線としての第1の共通配線207に接続される。従って、すべての有機EL表示素子における各陽極配線204に、第1の共通配線207から同じ信号を供給することができる。また、各有機EL素子基板部202における各陰極配線205は、陰極接続配線208で陰極用共通配線としての第2の共通配線209に接続される。
Each
従って、すべての有機EL素子基板部202における各陰極配線205に、第2の共通配線209から同じ信号を供給することができる。共通配線207、209を介して信号を供給することによって、各有機EL素子基板部202を同時にエージングすることができる。この点については後に説明される。尚、図1において、第1の共通配線207を破線で示し、第2の共通配線209を実線で示す。
Therefore, the same signal can be supplied from the second
有機EL素子基板形成工程(S101)について詳細に説明する。まず、ガラス基板201上にITOを成膜し、ITOをエッチングして陽極配線204と、陽極接続配線206および陰極接続配線208とを形成する。次に、金属膜を成膜し、成膜された金属膜をエッチングして各有機EL素子基板部202内の引き回し配線と、第1の共通配線207および第2の共通配線209とを形成する。その上に、絶縁膜を塗布し露光現像等を行って各画素の発光部となる開口部を形成する。さらに、その上に、有機EL層としての有機薄膜を積層する。有機薄膜として、順に、第1正孔輸送層、第2正孔輸送層、発光層、陰極界面層を形成する。最後に、陰極配線205として、アルミニウム等の金属で走査電極を形成し、陰極引き回し配線に接続する。
The organic EL element substrate forming step (S101) will be described in detail. First, an ITO film is formed on the
有機EL素子基板形成工程(S101)が終了すると、ガラス基板201上に形成された複数の単純マトリクス型の有機EL素子基板部202におけるそれぞれの陽極配線204がガラス基板201上で陽極接続配線206を介して第1の共通配線207に電気的に接続され、複数の有機EL素子基板部202におけるそれぞれの陰極配線205がガラス基板201上で陰極接続配線208を介して第2の共通配線209に電気的に接続された構造を有するマルチ状態の有機EL素子基板200が形成される。
When the organic EL element substrate forming step (S101) is completed, each
尚、上記例において、陽極用共通配線207および陰極用共通配線209は金属で形成され、陽極接続配線206および陰極接続配線208として透明導電膜が用いられているが、陽極接続配線206および陰極接続配線208を、陽極配線204が形成されるときに同時に形成することができる。また、有機EL層が積層される前に、陽極用共通配線207および陰極用共通配線209を同時に形成することができる。
In the above example, the anode
次に、エージング工程(S102)において、有機EL素子基板形成工程(S101)によって形成されたマルチ有機EL素子基板200のエージング処理が実行される。エージング工程(S102)は、封止工程(S103)の前に実行される。封止前において、基板上の有機発光層を含むEL発光素子及び各配線は露出した状態であるので、エージング用の端子を露出させるために基板端部を切除することなく、エージング処理を実行することができる。
Next, in the aging process (S102), an aging process is performed on the multi-organic
エージング工程(S102)において実行されるエージング処理において、陽極配線204および陰極配線205にエージングのための信号を供給する(通電処理)ために、第1の共通配線207および第2の共通配線209にエージング用の電圧印加装置を接続される。エージング工程により、陽極配線204と陰極配線205が短絡した欠陥部を破壊し除去するため、エージング処理は、チャンバ内において、所定濃度の酸素雰囲気中において実行される。エージング処理は、真空脱気され、所定濃度の酸素が導入されたチャンバ内で行うことができる。あるいは、窒素などの気体と酸素を導入し、減圧もしくは常圧状態においてエージング処理を行うことも可能である。
In the aging process executed in the aging step (S102), the first
エージング工程(S102)では、複数の有機EL素子基板部202が形成されているガラス基板201の周囲温度を室温以上、好ましくは80℃以上の高温に設定して通電処理を行う。高温で通電処理を行うことによって、短い時間で所望の輝度低下をさせることができる。通電処理を行う際の温度は、有機EL発光素子が変質しない範囲で、できるだけ高い温度にすることが好ましい。高温にしても、円偏光板などの光学フィルムを貼り付ける光学フィルム貼付工程より前の工程での処理であるから、光学フィルムに熱による悪影響を与えることはない。
In the aging step (S102), the energization process is performed by setting the ambient temperature of the
また、より短い時間で所望の輝度低下をさせるために、エージング工程での各画素の輝度が、有機EL表示装置として定格の表示動作をしているときの輝度よりも高くなるように通電の条件を設定する。例えば、有機EL表示装置としての輝度仕様が200cd/m2であれば、400cd/m2で発光するように通電する。有機EL表示装置としての輝度仕様に対して2倍の高輝度で発光させることによって、有機EL表示装置としての輝度仕様でエージングを行う場合に比べて、約半分の時間でエージング工程が完了する。 Further, in order to reduce the desired luminance in a shorter time, the energization conditions are set so that the luminance of each pixel in the aging process is higher than the luminance when the rated display operation is performed as the organic EL display device. Set. For example, luminance level of the organic EL display device as long as 200 cd / m 2, is energized to emit light at 400 cd / m 2. By emitting light with a luminance twice as high as the luminance specification as the organic EL display device, the aging process is completed in about half the time compared to when aging is performed with the luminance specification as the organic EL display device.
さらに、エージング工程(S102)では、陽極配線204および陰極配線205に対して常時通電するスタティック駆動(1/1デューティ)を行う。この際に、電流密度を、最終製品としての有機EL表示装置として稼働しているときの電流密度よりも高くする必要はない。例えば、1/50デューティでマルチプレクス駆動する有機EL表示装置の電流密度が300mA/cm2であっても、エージングではスタティック駆動で12mA/cm2あれば、時間平均の輝度は2倍になるからである。
Further, in the aging step (S102), static driving (1/1 duty) is performed in which the
エージング工程(S102)により、陽極配線204と陰極配線205が短絡した欠陥部を、破壊し除去することができる。陽極接続配線206と陰極接続配線208の抵抗値が、所定の値に形成されているため、有機EL素子に流れる電流が一定となり、精度よく欠陥部を除去することができる。
By the aging step (S102), the defective portion where the
エージング処理が施されたマルチ有機EL素子基板200は、有機EL層を水分などから守るために、ガラスなどで形成された対向基板で有機EL素子基板部202ごとに外気から隔離する封止工程(S103)に送られる。封止工程では、有機EL素子形成工程(S101)でガラス基板201上に形成された有機EL層を水分から守るために、他のガラス基板1枚をガラス基板201に対して対向配置し、間隙材としての周辺シール材によって双方のガラス基板を接合する。
The multi-organic
他のガラス基板には、各有機EL素子基板部202に対応した対向基板部が形成されており、各有機EL素子基板部202と各対向基板部とが周辺シール材によって接着される。各対向基板部は凹部が形成されており、そこに乾燥剤が固定されている。これによって、有機EL素子を水分から効果的に守ることができる。2枚のガラス基板と周辺シール材とによって形成された封止空間の内部には、乾燥窒素ガスを封入される。
On the other glass substrate, a counter substrate portion corresponding to each organic EL
封止工程(S103)が終了すると、ガラス基板201と接着固定された基板を切断して、複数の有機ELパネルに分離する切断工程(S104)を実施する。有機ELパネルは、複数の有機EL発光素子が形成された有機EL素子基板と、有機EL素子基板にシール材によって接着された対向基板とを備えている。切断工程では、有機EL素子基板部202を囲むように切断線(不図示)を設定する。切断線は、例えば、陽極接続配線206および陰極接続配線208上にかかるように設けられる。この切断線に沿って、ガラス基板201及び対向配置された基板を切断して、複数の有機ELパネルに分離する。すなわち、それぞれの陽極配線204とそれぞれの陰極配線205とを、第1の共通配線207および第2の共通配線209から分離する。なお、切断線は、陽極配線204および陰極配線205にかかっていてもよい。
When the sealing step (S103) is completed, a cutting step (S104) is performed in which the
次いで、光学フィルム貼付工程(S105)で、反射防止のために偏光板や、1/4λ板などの光学フィルムを有機ELパネルの視認側に貼り付ける。そして、実装工程(S106)で、駆動回路などの周辺回路を各有機ELパネルに実装して、有機EL表示装置を得る。尚、上記のように複数の有機ELパネルを一括に製造することが効率の点から好ましいが、本発明は有機ELパネルを一枚ずつ製造する工程に適用することがもちろん可能である。上記例においては対向基板を接着することによって有機EL素子基板(あるいはその有機発光層)を封止しているが、薄膜を付着することによって封止することも可能である。 Next, in the optical film attaching step (S105), an optical film such as a polarizing plate or a 1 / 4λ plate is attached to the viewing side of the organic EL panel to prevent reflection. In the mounting step (S106), peripheral circuits such as a drive circuit are mounted on each organic EL panel to obtain an organic EL display device. Although it is preferable from the viewpoint of efficiency to manufacture a plurality of organic EL panels as described above, the present invention can of course be applied to a process of manufacturing organic EL panels one by one. In the above example, the organic EL element substrate (or its organic light emitting layer) is sealed by bonding the counter substrate, but it is also possible to seal by attaching a thin film.
200 素子基板、201 ガラス基板、202 有機EL素子基板部、
203 表示領域、204 陽極配線、205 陰極配線、
206 陽極接続配線、207 陽極用共通配線、208 陰極接続配線、
209 陰極用共通配線
200 element substrate, 201 glass substrate, 202 organic EL element substrate part,
203 display area, 204 anode wiring, 205 cathode wiring,
206 anode connection wiring, 207 anode common wiring, 208 cathode connection wiring,
209 Common wiring for cathode
Claims (5)
前記有機発光層に信号を伝送する配線層を形成するステップと、
前記有機発光層と前記配線層が露出した状態において、前記配線層に信号を供給することによって前記有機発光層を発光させ、エージング処理を実行するステップと、
を有する、有機EL表示装置の製造方法。 Forming an organic light emitting layer on a substrate;
Forming a wiring layer for transmitting a signal to the organic light emitting layer;
In a state where the organic light emitting layer and the wiring layer are exposed, the organic light emitting layer emits light by supplying a signal to the wiring layer, and an aging process is performed.
A method for manufacturing an organic EL display device having:
前記複数の有機EL素子基板部の陽極配線に接続された陽極共通接続配線を形成するステップと、
前記複数の有機EL素子基板部の陰極配線に接続された陰極共通接続配線を形成するステップと、
前記複数の有機EL素子基板部、前記陽極共通接続配線及び前記陰極共通接続配線が露出した状態において、前記陽極共通接続配線及び前記陰極共通接続配線に信号を供給することによって前記複数の有機EL素子基板部を発光させ、エージング処理するステップと、
を有する、有機EL表示装置の製造方法。 Forming a plurality of organic EL element substrate portions including an organic light emitting layer, an anode wiring and a cathode wiring on one substrate;
Forming anode common connection wiring connected to anode wiring of the plurality of organic EL element substrate parts;
Forming a cathode common connection wiring connected to the cathode wiring of the plurality of organic EL element substrate parts;
The plurality of organic EL elements by supplying a signal to the anode common connection wiring and the cathode common connection wiring in a state where the plurality of organic EL element substrate portions, the anode common connection wiring, and the cathode common connection wiring are exposed. Causing the substrate portion to emit light and aging treatment;
A method for manufacturing an organic EL display device having:
前記封止された複数の有機EL素子基板部のそれぞれを切り離すステップと、
をさらに有する、請求項4に記載の有機EL表示装置の製造方法。
The plurality of organic EL element substrate portions are fixed by fixing one substrate having a plurality of counter substrate portions corresponding to the plurality of organic EL element substrate portions to the substrate on which the plurality of organic EL element substrate portions are formed. Sealing the step;
Separating each of the sealed plurality of organic EL element substrate parts;
The method for producing an organic EL display device according to claim 4, further comprising:
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