JP2005276522A - 印刷層の平坦化方法、およびその装置。 - Google Patents

Abstract

【課題】この発明は、第１のパターンが印刷されている基板の所定領域に印刷される印刷層の表面を平坦にする時間を短縮できる印刷層の平坦化方法、およびその装置を提供することを課題とする。
【解決手段】第１のパターンを印刷して遮光層１１が形成される前面基板１０を用意し、この遮光層１１の第１のパターンの上に第２のパターンを印刷して蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを形成し、この蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが印刷された前面基板１０を加圧チャンバ２０１ａ内に配置して加圧ポンプ２０１ｂにより加圧チャンバ２０１ａ内を加圧状態にし、この加圧状態の中で加熱手段２０２により提供される熱により蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを乾燥させ、遮光層１１および蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂの表面すなわち蛍光体スクリーン１６の表面を平坦にする。
【選択図】 図５

Description

この発明は、例えば、平面表示装置に組み込まれる基板に印刷される印刷層の平坦化方法およびその装置に関する。

近年、陰極線管（以下、ＣＲＴと称する）に代わる次世代の軽量、薄型の表示装置として様々な平面型の表示装置が注目されている。例えば、平面表示装置として用いられるフィールド・エミッション・ディスプレイ（以下、ＦＥＤと称する）の一種として、表面伝導型電子放出装置（以下、ＳＥＤと称する）の開発が進められている。

このＳＥＤは、所定の間隔をおいて対向配置された前面基板および背面基板を備え、これらの基板は矩形枠状の側壁を介して周辺部を互いに接合することにより真空外囲器を構成している。前面基板の内面には３色の蛍光体層が形成され、背面基板の内面には、蛍光体を励起発光させるための電子源として、各画素に対応する多数の電子放出素子が配列されている。各電子放出素子は、電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の電極等で構成されている。

上記のようなＳＥＤにおいて、前面基板および背面基板間の空間、すなわち真空外囲器内は、高い真空度に維持され、面方向に一定の高さを有することが重要となる。

例えば、熱風を当てることによって、配向膜の粘性を下げ、印刷された配向膜表面上の凹凸をなくす技術が開示されている（特許文献１参照）。
特開２００３−５７６２５号公報。

しかしながら、上述のＳＥＤに用いられる前面基板および背面基板の間に形成される空間は、極めて薄い。このため、両基板の内面に凹凸があると、両基板間の高さが一定に維持されない問題がある。

通常、基板の表面に印刷した層をレベリングする場合、印刷層を形成した面を上に向けて、基板を一定時間大気中に放置し、印刷層の表面を平坦にする方法がとられる。しかしながら、粘性を有する材質からなる印刷層が平坦になるには時間がかかり、例えば表示装置に搭載される平面基板に形成される蛍光体層とブラックマトリックス層からなる蛍光体スリーンの表面が平坦になるまでには、３０分ないし６０分ほどの放置時間を要する。これにより、製造時間が長くなる問題がある。

また、粘性を有する蛍光体層の中には気泡が存在する可能性があり、この気泡により印刷層の表面に凹凸が形成される虞がある。平坦にするための放置時間が経過することにより、若干の気泡は抜けるが、まだ気泡が存在する可能性がある。さらに、蛍光体層に気泡が存在する場合、放置時間が経過して蛍光体層が乾燥されると、気泡を抜くことは困難となる。

例えば、蛍光体層に気泡が形成されると、蛍光体の密度にバラツキが生じ、発光量が変化する問題が生じる。

この発明は、以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、短時間で、基板の表面に形成した印刷層を平坦にする印刷層の平坦化方法、およびその装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の印刷層の平坦化装置は、一方の面に第１のパターンを有する第１層および前記第１のパターンと異なる第２のパターンを有する第２層を印刷した基板を保持し、密閉された空間を形成するチャンバと、このチャンバ内において、前記第１層および第２層の少なくとも一方を平坦化するための圧力を調整する圧力調節手段と、前記第１層および第２層の少なくとも一方を乾燥させる乾燥手段を備えている。

また、本発明の印刷層の平坦化方法は、表面に第１のパターンを印刷して第１層を形成した基板を用意する工程と、前記表面に第１のパターンと異なる第２のパターンを印刷して第２層を形成する印刷工程と、前記第１層および第２層の少なくとも一方を平坦化するための圧力を与える圧力付与工程と、前記第１層および第２層の少なくとも一方を乾燥させる乾燥工程と、を備えている。

さらに、本発明の印刷層の平坦化方法は、表面に第１のパターンを印刷して第１層を形成した基板を用意する工程と、前記表面に第１のパターンと異なる第２のパターンを印刷して第２層を形成する印刷工程と、前記第１層および第２層を有する基板を、密閉された空間内に配置する工程と、前記第１層および第２層の少なくとも一方を平坦化するための圧力を与えるため、前記空間を真空にする真空工程と、前記第１層および第２層の少なくとも一方に空気を送って乾燥させる乾燥工程と、を備えている。

この発明は、印刷層の表面を平坦にする時間を短縮できる。

以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態について詳細に説明する。始めに、本発明の実施の形態に係る印刷層の平坦化方法およびその装置により製造される基板を備えた表示装置の一例として、ＳＥＤについて説明する。

図１ないし図３に示すように、ＳＥＤは、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板１０および背面基板１２を備え、これらの基板は一定の間隔を有する隙間をおいて対向配置されている。この基板間の距離は、約１．０〜２．０ｍｍであることが好ましい。そして、前面基板１０および背面基板１２は、ガラスからなる矩形枠状の側壁１４を介して周縁部同志が接合され、内部が真空の扁平な真空外囲器１５を構成している。

図２に示すとおり、前面基板１０の内面には画像表示面として機能する蛍光体スクリーン１６が形成されている。

この蛍光体スクリーン１６は、赤、青、緑の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ、および遮光層１１（図３参照）を並べて構成され、これらの蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂはストライプ状あるいはドット状に形成されている。また、蛍光体スクリーン１６上には、アルミニウム等からなるメタルバック１７が形成されている。

詳細に説明すると、前面基板１０の表面に第１のパターンの遮光層（第１層）１１を印刷し、さらに第１のパターンと異なる第２のパターンの蛍光体層（第２層）Ｒ、Ｇ、Ｂを印刷して、蛍光体スクリーン１６を形成する。すなわち、蛍光体スクリーン１６は、前面基板１０と反対側の面で凹凸面を有する遮光層１１と、この遮光層１１の凹凸面の上の所定の領域に形成されている蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを有する。蛍光体スクリーン１６の表面は平坦である、従って、メタルバック１７の下地は平坦である。

背面基板１２の内面には、蛍光体スクリーン１６の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを励起発光させるための電子源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子１８が設けられている。これらの電子放出素子１８は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子１８は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板１２の内面上には、電子放出素子１８に電位を供給する多数本の配線２１がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器１５の外部に引出されている。

接合部材として機能する側壁１４は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材２０により、前面基板１０の周縁部および背面基板１２の周縁部に封着され、これらの基板同志を接合している。

図２および図３に示すように、ＳＥＤは、前面基板１０および背面基板１２の間に配設されたスペーサ構体２２を備えている。本実施の形態において、スペーサ構体２２は、矩形状の金属板からなるグリッド２４と、グリッド２４の両面に一体的に立設された多数の柱状のスペーサとで構成されている。

詳細に述べると、グリッド２４は前面基板１０の内面と対向した第１表面２４ａおよび背面基板１２の内面と対向した第２表面２４ｂを有し、これらの基板と平行に配置されている。そして、グリッド２４には、エッチング等により多数の電子ビーム通過孔２６が形成されている。電子ビーム通過孔２６は、それぞれ電子放出素子１８と対向して配列され、電子放出素子から放出された電子ビームを透過する。

グリッド２４は、例えば鉄−ニッケル系の金属板により厚さ０．１〜０．２５ｍｍに形成されているとともに、その表面には、金属板を構成する元素からなる酸化膜、例えば、Ｆｅ３Ｏ４、ＮｉＦｅ２Ｏ４からなる酸化膜が形成されている。

グリッド２４の第１表面２４ａ上には、第１スペーサ３０ａが一体的に立設され、隣接する電子ビーム通過孔２６間に位置している。第１スペーサ３０ａの延出端は、メタルバック１７、および蛍光体スクリーン１６の遮光層１１を介して前面基板１０の内面に当接している。また、グリッド２４の第２表面２４ｂ上には第２スペーサ３０ｂが一体的に立設され、隣接する電子ビーム通過孔２６間に位置している。第２スペーサ３０ｂの延出端は、背面基板１２の内面に当接している。ここで、各第２スペーサ３０ｂの延出端は、背面基板１２の内面上に設けられた配線２１上に位置している。

第１および第２スペーサ３０ａ、３０ｂは、それぞれ所定の間隔をおいて配列され、グリッド２４の各表面の全域に渡って設けられている。また、各第１および第２スペーサ３０ａ、３０ｂは、グリッド２４を間に挟んで互いに整列して位置し、グリッド２４と一体に形成されている。

上記のように構成されたスペーサ構体２２は前面基板１０および背面基板１２間に配設されている。そして、第１および第２スペーサ３０ａ、３０ｂは、前面基板１０および背面基板１２の内面に当接することにより、これらの基板に作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持している。

ＳＥＤは、グリッド２４および前面基板１０のメタルバック１７に電圧を印加する図示しない電圧供給部を備え、例えば、グリッド２４に１２ｋＶ、メタルバック１７に１０ｋＶの電圧が印加される。

そして、上記ＳＥＤにおいて、画像を表示する場合、配線２１を介して電子放出素子１８を駆動し、任意の電子放出素子から電子ビームを放出するとともに、蛍光体スクリーン１６およびメタルバック１７にアノード電圧を印加する。電子放出素子１８から放出された電子ビームは、アノード電圧により加速され、グリッド２４の電子ビーム通過孔２６を通った後、蛍光体スクリーン１６に衝突する。これにより、蛍光体スクリーン１６の蛍光体層が励起されて発光し、画像を表示する。

（第１の実施の形態）
次に、上記のように構成されたＳＥＤの製造方法のうち、蛍光体スクリーン１６を平坦にする方法およびその装置の一例について説明する。

図５に示すとおり、表面処理装置タイプＡは、第１，第２，第３の作業機構１００，２００，３００を有する。

第１の作業機構１００は、塗布手段（印刷手段）１０１と搬送手段１０２を有し、遮光層１１（第１層）を有する前面基板１０に蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ（第２層）を形成する蛍光体層形成工程（印刷工程）が実行される。この蛍光体層形成工程は、遮光層１１が印刷された前面基板１０を用意し、この前面基板１０に印刷手段１０１を用いて各色の蛍光体を含むスラリ1６ａを印刷する工程である。なお蛍光体スラリ１６ａとしては、各色毎にそれぞれ所定の材質を含み、例えばＺｎＳ系、Ｙ２Ｏ３系、Ｙ２Ｏ２Ｓ系等を含むものが利用できる。なお、蛍光体層形成工程において、各色の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは、スプレー法や塗布法により形成されてもよい。

また、この蛍光体層形成工程において、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは、遮光層１１のパターンの間、すなわち遮光層１１が形成されていない前面基板１０の表面の所定の領域に印刷されることが好ましいが、この印刷領域は極めて小さいため、遮光層１１の上に蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが重なる箇所、あるいは重ならない箇所等が形成され、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂの表面は平坦でない。

第２の作業機構２００は、加圧機構２０１と、加熱手段２０２と、搬送手段２０３を有し、遮光層１１および蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが印刷される前面基板１０の印刷層の表面を平坦にする工程（圧力付与工程）が実行される。

加圧機構２０１は、密閉された空間を形成する加圧チャンバ２０１ａと、所定量の空気を送り込むことにより所定の圧力を与え、密閉されている加圧チャンバ２０１ａ内の圧力を変化させる加圧ポンプ２０１ｂと、この加圧チャンバ２０１ａと加圧ポンプ２０１ｂとを接続する加圧バルプ２０１ｃとを有する。加圧チャンバ２０１ａは、第１の作業機構１００から搬送される前面基板１０が通過できる入口と第３の作業機構３００に搬送される前面基板１０が通過できる出口を有し、この出入り口は、加圧ポンプ２０１ｂから空気が送り込まれる際には閉じられる。

加熱手段２０２は、例えば赤外線を放射するランプ等からなり、遮光層１１と蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが形成される前面基板１０に直接、熱を与える。この加熱手段２０２により蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは乾燥される。なお、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂとしては、熱により粘性が低下する材質を含むものが利用されてもよい。

上述のとおり、第２の作業機構２００は、第１のパターンが印刷されて形成される遮光層１１と、第１のパターンと異なる第２のパターンが印刷されて形成される蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを有する前面基板１０を用意し、この前面基板１０を加圧すると同時に加熱する加圧・加熱工程を実施する。

よって、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは、外側から作用する圧力により、表面が平坦化されると同時に、乾燥される。このため、大気中に放置した場合と比較して、平坦化（レべリング）時間および乾燥時間が短縮される。また、この加圧および加熱により、遮光層１１の上に重なっている蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは、遮光層１１となじむ。言い換えると、この加圧および加熱により、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂの表面は、印刷された直後に比べ凹凸差が減少する。また、遮光層１１も若干平坦化される。なお、本実施の形態においては、上述した加圧・加熱工程の結果、遮光層１１および蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを満足のいくレベルまで平坦化するのに３分程度の時間しか、かからなかった。

また、加圧機構２０１は、加圧により、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂに形成される気泡あるいは、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが印刷される際にできる気泡を消すことができる。この場合、加熱温度あるいは加熱タイミングを調整することにより、気泡が除去される前に乾燥されることが防止される。

第３の作業機構３００は、搬送手段３０１を有し、第２の作業機構２００によって表面が平坦化され乾燥された蛍光体層スクリーン１６を有する前面基板１０を保持できる。第３の作業機構３００では、第２の作業機構２００で加熱された前面基板１０を冷却し、遮光層１１および蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを定着させる。

なお、熱により粘性が低下する材質を含む蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを利用することにより、加熱手段２０２により加熱されて、表面がより平坦になりやすくなることは言うまでもない。また、本発明の平坦化する対象は、同一平面上に印刷される第１層（遮光層１１）および第２層（蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ）の少なくとも一方であればよく、例えば、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂだけ平坦にされる場合、遮光層１１および蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂの両方が平坦にされる場合もある。さらに、本発明の平坦化する対象は、３層以上の印刷層であってもよい。

上に説明したとおり、本実施の形態により、蛍光体スクリーン１６を平坦化する時間（レべリング時間）が短縮され、生産性が向上できる。また、蛍光体スクリーン１６の上には、前に説明したとおり、メタルバック１７が形成されるが、蛍光体スクリーン１６の表面が平坦にされることにより、表面が平坦なメタルバック１７を形成することが容易となる。これにより、メタルバック１７の反射率が均一になるため、表示ムラをなくすことができる。さらに、メタルバック１７の表面は、一定の高さに制御される第１スペーサ３０ａが配置されるが、表面が平坦であることにより、グリッド２４と前面基板１０との間に、面方向に一定の高さを有する空間を形成できる。また、表面に凹凸がある蛍光体スクリーン１６にメタルバック１７が形成されて、皺の発生部分に亀裂が生じることを防止できる。さらに、気泡が除去されるため、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂの密度を均一にし、発光量が変化することを防止できる。

従って、良好な表示性能を有するＳＥＤが形成できると同時に、歩留まりを向上できる。

なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。

例えば、上述した実施の形態では、第２の作業機構２００として、図５に示したような加圧機構２０１を用いた場合について説明したが、本発明はこれに限らず、圧力を変化させることにより蛍光体スクリーン１６（蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ）を平坦にするものであれば良い。

例えば、図６に示すとおり、第２の作業機構２１０は、真空機構２１１と、加熱手段２１２を有し、遮光層１１と蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが印刷される前面基板１０の印刷層の表面を平坦にする工程（真空工程）が実行される。

真空機構２１１は、加圧チャンバ２０１ａと同様な出入り口を有し、密閉された空間を形成する真空チャンバ２１１ａと、真空チャンバ２１１ａ内の空気を排出する真空ポンプ２１１ｂと、この真空チャンバ２１１ａと真空ポンプ２１１ｂとを接続する排気バルプ２１１ｃとを有する。遮光層１１と蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが印刷された前面基板１０が加熱手段２１２上に配置された状態で、真空ポンプ２１１ｂを作動させ、真空チャンバ２１１ａ内が所定の真空度になるまで排気した後、排気バルブ２１１ｃを閉じる。このようにして真空チャンバ２１１ａ内の真空が維持された状態において、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ内の気泡は、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂと前面基板１０（あるいは遮光層１１）との間、あるいは蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ中から押し出される。また、遮光層１１と蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは平坦化され、前面基板１０には、表面が平坦な蛍光体スクリーン１６が形成される。さらに、遮光層１１と蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂと前面基板１０は、互いに密着する。

加熱手段２１２は、例えばホットプレート等からなり、前面基板１０のうち蛍光体スクリーン１６が形成されていない側から、前面基板１０を通して、蛍光体スクリーン１６に熱を与える。なお、加熱手段２１２は、所定の搬送手段を含む構成であってもよい。このように、前面基板１０と接触して所定の熱を与える加熱手段２１２は、比較的緩やかな速度で前面基板１０を加熱できるため、乾燥のための熱量を容易に調整できる。

これにより、遮光層１１および蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは、気泡が除去されながら表面が平坦化されると同時に、乾燥されるため、大気中に放置した場合と比較して、平坦化（レべリング）時間および乾燥時間が短縮される。

また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。

例えば、第２の作業機構は、加圧機構２０１と加熱手段２１２を有するものであってもよく、真空機構２１１と加熱手段２０２を有するものであってもよい。

また、図５を用いて説明した搬送手段１０２，２０３，３０１はなくてもよい。

（第２の実施の形態）
次に、本発明の印刷層の平坦化方法、およびその装置の他の例について説明する。また、第１の実施の形態と同様に本実施の形態においても、平坦化する対象である蛍光体スクリーン１６であって、蛍光体スクリーン１６は、前面基板１０の上に印刷される遮光層１１（第１層）と、遮光層１１の上に印刷される蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ（第２層）の２層を有する。

図７に示すとおり、表面処理装置タイプＢは、第４，第５，第６，第７の作業機構４００，５００，６００，７００と、移動手段８００を有する。

第４の作業機構４００は、所定の印刷手段４０１と載置台４０２を有し、遮光層１１（第１層）を有する前面基板１０に蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ（第２層）を印刷する蛍光体層形成工程（印刷工程）が実行される。この蛍光体層形成工程は、遮光層１１が印刷される前面基板１０を用意し、この前面基板１０に印刷手段４０１を用いて各色の蛍光体を含むスラリを印刷して蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを形成する工程である。

また、蛍光体層形成工程では、遮光層１１の第１のパターンに応じた第２のパターンを用いて、各色の蛍光体スラリが印刷されるが、各色の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは、スプレー法や塗布法により形成されてもよい。

第５の作業機構５００は、遮光層１１と蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが印刷される前面基板１０の印刷層の表面を平坦にする工程（圧力付与工程）を実行し、また、図５で説明した加圧機構２０１と同様の構成および機能を有するため、詳細な説明は省略する。すなわち、第５の作業機構５００は、加圧チャンバ５０１と、加圧ポンプ５０２と、加圧バルプ５０３とを有する。なお、第５の作業機構５００は、第２の作業機構２００が有する加熱手段２０２のような加熱手段は含まない。

第６の作業機構６００は、例えば赤外線を放射するランプ等からなる加熱手段６０１と、載置台６０２を有し、載置台６０２に載置される遮光層１１と蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが印刷される前面基板１０に熱を提供する工程（乾燥工程）を実行する。この加熱手段６０１により蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは乾燥される。

第７の作業機構７００は、載置台７０１を有し、第５の作業機構５００により表面が平坦にされ、第６の作業機構６００により乾燥された蛍光体層スクリーン１６を有する前面基板１０を保持できる。また、第７の作業機構７００では、第６の作業機構６００で加熱された前面基板１０を冷却し、遮光層１１および蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを定着させる。

移動手段８００は、例えば操作ロボットであって、第４の作業機構４００から第７の作業機構７００まで数字の順番通りに、前面基板１０を移動する。

すなわち、第４の作業機構４００により印刷された蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを有する前面基板１０は、移動手段８００により移動されて、第５の作業機構５００で圧力により表面が平坦にされて、第６の作業機構６００で熱により乾燥され、第７の作業機構７００に載置される。

上に説明したとおり、本実施の形態においても、第１の実施の形態と同様な効果が得られる。

なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。

例えば、上述した実記の形態では、第５の作業機構５００として、加圧ポンプ５０２を用いた場合いついて説明したが、本発明はこれに限らず、圧力を変化させることにより蛍光体スクリーン１６（蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ）を平坦にするものであればよく、例えば、図６に示したような真空機構２１１を有するものであってもよい。

また、第６の作業機構６００としては、加熱手段６０１を用いた場合について説明したが、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを乾燥できる構成であればよく、例えば、図６に示したようなホットプレートを用いた加熱手段２１２であってもよく、また、所定の送風手段を備え、遮光層１１および蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂに空気を送って乾燥させる構成であってもよい。

なお、本発明に係る平坦にする対象は、蛍光体スクリーン１６に限られず、例えば、メタルバック１７の下地として、蛍光体スクリーン１６とメタルバック１７の間に形成されるコーティング層であってもよい。また、平坦にする対象の第１層および第２層は、液体に微細な固体を分散した懸濁液あるいは所定の粘性を有する物質からなるスラリ層であってもよい。さらに、第１層および第２層が形成される媒体（基板）は、ガラスからなる表示画面部に限られず、例えば、マトリックス状に形成される電極基板をであってもよい。

この発明の実施の形態に係る表面が平坦な印刷層が形成される基板を備えたＳＥＤを示す外観斜視図。 図１のＳＥＤを線分II-IIに沿って切断した断面図。 図１のＳＥＤを部分的に拡大して示す断面図。 図１のＳＥＤに組み込まれたスペーサ構体を示す外観斜視図。 図３の前面基板に印刷される蛍光体スクリーンを平坦化する本発明に係る印刷層の平坦化装置の一例を説明するための概略図。 図５の第２の作業機構の他の例を説明するための概略図。 図３の前面基板に印刷される蛍光体スクリーンを平坦化する本発明に係る印刷層の平坦化装置の他の例を説明するための概略図。

符号の説明

１０…前面基板、
１２…背面基板、
１４…側壁、
１５…真空外囲器、
１６…蛍光体層、
１８…電子放出素子、
２２…スペーサ構体、
２４…グリッド、
１００…第１の作業機構、
２００…第２の作業機構、
３００…第３の作業機構、
４００…第４の作業機構、
５００…第５の作業機構、
６００…第６の作業機構、
７００…第７の作業機構。

Claims (11)

1. 一方の面に第１のパターンを有する第１層および前記第１のパターンと異なる第２のパターンを有する第２層を印刷した基板を保持し、密閉された空間を形成するチャンバと、
   このチャンバ内において、前記第１層および第２層の少なくとも一方を平坦化するための圧力を調整する圧力調節手段と、
   前記第１層および第２層の少なくとも一方を乾燥させる乾燥手段を有することを特徴とする印刷層の平坦化装置。
2. 前記乾燥手段は前記チャンバ内に設けられ、前記第１層および第２層の少なくとも一方は、圧力が作用されると同時に、乾燥されることを特徴とする請求項１に記載の印刷層の平坦化装置。
3. 前記圧力調節手段は、加圧機構を有し、前記チャンバ内の前記第１層および第２層の少なくとも一方に圧力を与えることを特徴とする請求項１または２に記載の印刷層の平坦化装置。
4. 前記圧力調節手段は、真空機構を有し、前記チャンバ内を真空にすることを特徴とする請求項１または２に記載の印刷層の平坦化装置。
5. 前記乾燥手段は、前記第１層および第２層の少なくとも一方に直接熱を与える赤外線放射機構を有することを特徴とする請求項１または２に記載の印刷層の平坦化装置。
6. 前記乾燥手段は、前記基板を通して前記第１層および第２層の少なくとも一方に熱を与える熱伝導機構を有することを特徴とする請求項１または２に記載の印刷層の平坦化装置。
7. 前記乾燥手段は、送風機構を有することを特徴とする請求項１または２に記載の印刷層の平坦化装置。
8. 前記第１層は、遮光層であり、前記第２層は、蛍光体層であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の印刷層の平坦化装置。
9. 表面に第１のパターンを印刷して第１層を形成した基板を用意する工程と、
   前記表面に第１のパターンと異なる第２のパターンを印刷して第２層を形成する印刷工程と、
   前記第１層および第２層の少なくとも一方を平坦化するための圧力を与える圧力付与工程と、
   前記第１層および第２層の少なくとも一方を乾燥させる乾燥工程と、
   を有することを特徴とする印刷層の平坦化方法。
10. 前記圧力付与工程と前記乾燥工程は、同時に実行されることを特徴とする請求項９に記載の印刷層の平坦化方法。
11. 表面に第１のパターンを印刷して第１層を形成した基板を用意する工程と、
    前記表面に第１のパターンと異なる第２のパターンを印刷して第２層を形成する印刷工程と、
    前記第１層および第２層を有する基板を、密閉された空間内に配置する工程と、
    前記第１層および第２層の少なくとも一方を平坦化するための圧力を与えるため、前記空間を真空にする真空工程と、
    前記第１層および第２層の少なくとも一方に空気を送って乾燥させる乾燥工程と、
    を有することを特徴とする印刷層の平坦化方法。

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