JP2005273478A - Vane rotary type vacuum pump - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、空気圧縮機あるいは真空ポンプとして使用される回転式流体機械に関するものである。 The present invention relates to a rotary fluid machine used as an air compressor or a vacuum pump.
従来、この種ベーンロータリ型ポンプとしては、例えば、特許文献1に記載されているようなものがあった。図5は、特許文献1に記載された従来のベーンロータリ型ポンプの構成を示すものである。 Conventionally, as this kind of vane rotary type pump, there existed what was described in patent documents 1, for example. FIG. 5 shows a configuration of a conventional vane rotary pump described in Patent Document 1. As shown in FIG.
図において、アルミニウム製のシリンダ100が、内壁に鉄系薄膜100aを設け、また、吸入ポート101、吐出ポート102が配設されている。ロータ103には、このロータ103に設けたスリット103a内をアルミニウム製のベーン104が摺動自在に動くように構成されている。アルミニウム製のベーン104は、その先端をアルミニウム製のシリンダ100の内壁に当接して摺動し、前記シリンダ100とフロントプレートならびにエンドプレート(ともに図示せず)の間で形成されるポンプ空間105を仕切ることになる。このような構成において、ロータ103に外部より動力が伝達され、ロータ103が回転し、吸入ポート101より冷媒を吸入して前記ポンプ空間105内で冷媒が圧縮されて吐出ポート102より吐出される。
しかしながら、前記従来の構成では、機器の摺動部の潤滑性は、冷媒中に溶け込んだ潤滑油を利用し、アルミニウムシリンダ100の内壁とアルミニウムベーン104の先端の間ならびにアルミニウムベーン104の側面とロータ103のスリット103aの間の円滑な摺動を保っているが、潤滑油が欠乏していた場合、アルミニウムベーン104が前記部分で焼き付きを起こし、ポンプが運転不可能になる問題を有している。
However, in the above-described conventional configuration, the lubricity of the sliding portion of the device uses lubricating oil dissolved in the refrigerant, and between the inner wall of the
本発明は、前記課題を解決し、長期の運転においても性能低下が少なく、静音で、長寿命なベーンロータリ型真空ポンプを提供することを目的とする。 An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a vane rotary type vacuum pump that is less likely to deteriorate in performance even during long-term operation, is quiet, and has a long service life.
上記の目的を達成するために、本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、ポンプ機構部と、前記ポンプ機構部と結合し、共通のシャフトを介して前記ポンプ機構部を駆動するモータ部とを備えたベーンロータリ型真空ポンプであって、前記ポンプ機構部は、シリンダと、前記シリンダ内で回転し、シリンダとの間でポンプ空間を形成するロータと、前記ロータのスリットに摺動自在に保持されて前記ポンプ空間を可変的に区画する板状のベーンと、前記シリンダの軸方向両端を閉塞するフロントプレートならびにエンドプレートとを有し、前記ベーンとロータのスリットの間をオイルレスとすると共に、前記ベーンの材質に自己潤滑性を有する高硬度カーボンもしくは炭素繊維強化プラスチックを用いたことを特徴とする。 To achieve the above object, a vane rotary vacuum pump according to the present invention includes a pump mechanism unit and a motor unit that is coupled to the pump mechanism unit and drives the pump mechanism unit via a common shaft. The vane rotary vacuum pump is configured to be slidably held in a cylinder, a rotor that rotates in the cylinder and forms a pump space with the cylinder, and a slit of the rotor. A plate-like vane that variably divides the pump space, a front plate and an end plate that close both ends of the cylinder in the axial direction, and between the vane and the slit of the rotor is oilless, The vane is made of high-hardness carbon or carbon fiber reinforced plastic having self-lubricating property.
また、ベーンを形成する高硬度カーボンの硬度を80〜120とすると好適である。 Further, it is preferable that the hardness of the high-hardness carbon forming the vanes is 80 to 120.
また、ベーンを形成する高硬度カーボンの結晶構造の積層方向をロータの回転中心軸方向に一致するようにすると、ベーンの先端部ならびに側面部の摩耗低減に好適である。 Further, if the stacking direction of the crystal structure of the high-hardness carbon forming the vane is made to coincide with the direction of the rotation center axis of the rotor, it is suitable for reducing wear on the tip and side portions of the vane.
さらに、ベーンを形成する高硬度カーボンの結晶構造の積層をロータのスリットの対向する2面に平行に配列すると、ベーンの先端部の摩耗低減に一層好適である。 Furthermore, it is more suitable for reducing the wear of the tip of the vane if the laminated layer of the crystal structure of the high hardness carbon forming the vane is arranged in parallel with the two opposing surfaces of the slit of the rotor.
また、ベーンを形成する炭素繊維強化プラスチックの繊維の積層方向をロータの回転中心軸方向に一致させると、高硬度カーボンの場合同様の効果が得られる。 Further, when the lamination direction of the fibers of the carbon fiber reinforced plastic forming the vanes is made to coincide with the rotation center axis direction of the rotor, the same effect can be obtained in the case of high hardness carbon.
さらに、ベーンを形成する炭素繊維強化プラスチックの繊維の積層方向をロータのスリットの対向する2面に平行にしても同様の好適な結果が得られる。 Further, the same preferable result can be obtained even if the lamination direction of the fibers of the carbon fiber reinforced plastic forming the vanes is parallel to the two opposing surfaces of the slits of the rotor.
ベーン材質に高硬度カーボンを用いることにより、潤滑油を必要とせず、ベーン先端とシリンダの内壁およびベーンの側面とロータのスリットの円滑な摺動が可能になり、ベーンの焼き付きによるポンプロックを防止できる。また、ベーンの摩耗量も抑えることができ、ベーンの長寿命化とベーンの摺動時に削られるカーボン量の抑制が可能となる。そして、ポンプから吐出される排気汚染を抑制することができるものである。 By using high-hardness carbon for the vane material, lubrication is not required, and the vane tip, the inner wall of the cylinder, the side surface of the vane, and the slit of the rotor can slide smoothly, preventing pump lock due to vane seizure. it can. Further, the amount of wear of the vane can be suppressed, and the life of the vane can be extended and the amount of carbon scraped when the vane slides can be suppressed. And the exhaust pollution discharged from a pump can be suppressed.
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1、2は、本実施形態におけるベーンロータリ型真空ポンプの断面図を示すものである。図において、ベーンロータリ型真空ポンプ1は、ポンプ機構部2とモータ部3と冷却回路部4より構成されている。ポンプ機構部2は、材質をアルミニウムとする筒状内壁を有するシリンダ5と、円筒形状のロータ6と、このロータ6に形成されたスリット7に摺動自在に保持されたベーン8と、これらを挟み込んで、複数のポンプ空間9を形成するフロントプレート10ならびにエンドプレート11から構成されている。前記ベーン8は、結晶構造の方向性が規定された高硬度カーボンで構成され、この結晶構造の方向は、図3に示すように、ロータ6の回転中心軸の方向に配列されている。ロータ6は、回転中心軸としてのシャフト12に固定されており、このシャフト12がモータ部3の回転中心軸と共通してポンプ機構部2と連結している。ロータ6は、その中心軸とシリンダ5の中心軸とを偏心させた状態で配置され、このロータ6の中心軸方向に設けられた複数のスリット7にベーン8が摺動自在に保持されている。
1 and 2 are cross-sectional views of a vane rotary type vacuum pump in the present embodiment. In the figure, the vane rotary type vacuum pump 1 includes a
モータ部3は、ステータ13と、モータロータ14と、モータケーシング15から構成されている。ステータ13は、前記ポンプ機構部2のエンドプレート11とモータケーシング15で挟み込まれ、その内部に、モータロータ14が配置されている。モータロータ14は、前記共通のシャフト12に固定され、シャフト12は、軸受16、17により軸支されている。前記軸受16、17は、グリス封入型のボールベアリングが用いられる。なお、シャフト12は、ポンプ機構部2ならびにモータ部3のシャフト部が一体に形成され、モータロータ14の回転が直接ロータ6に伝達される。
The
冷却回路部4は、冷却ファン18ならびにエアガイド19を備えており、冷却ファン18は、シャフト12のモータ部3側に取付けられており、冷却ファン18の周りをエアガイド19が包囲している。そして、モータケーシング15の軸方向端面には、複数の貫通孔15aが設けられ、冷却ファン18で形成した気流をモータ部3に導き、モータ部3を冷却している。
The cooling circuit unit 4 includes a
上記構成のベーンロータリ型真空ポンプ1において、モータ部3に通電され、モータロータ14が回転すると、この回転力がシャフト12に伝達され、ポンプ機構部2のロータ6も一体になって回転する。これに伴って、ベーン8がその先端をシリンダ5の内壁面に当接しながら、ロータ6のスリット7内を摺動することにより、ポンプ空間9が仕切られ、吸入、圧縮、吐出の各行程を実行してポンプ機能を果たしている。
In the vane rotary type vacuum pump 1 configured as described above, when the
次に、ベーン8の材質について述べる。すなわち、ベーン8は、ショア硬さ80以上120以下の高硬度カーボンが用いられる。これにより、ベーン8自身の摩耗量の低減が可能となる。同時に、上記カーボンは摺動する相手材であるアルミニウムより柔らかいため、ベーン8の先端と摺動するシリンダ5の内壁や、ベーン8の側面と摺動するロータ6のスリット7の表面の摩耗を低減し、これらの部分の表面粗さの悪化を抑制する。そして、摺動音の悪化を低減し、ベーン8の先端とシリンダ5の内面の密着性の低下による空気漏れを低減すると共に、摺動のよって発生したアルミニウム粉がベーン8に悪作用することで発生するベーン8の異常摩耗も防止できる。
Next, the material of the
また、本実施形態では、図3に示すように、ベーン8の高硬度カーボンの結晶構造の積層方向をロータ6の回転中心軸方向と一致させており、これにより、ベーン8のカーボン結晶の積層方向と垂直方向に摺動する面をベーン8の先端部およびベーン8の側面部とすることができ、これらの面の摩耗量をさらに低減でき、ベーン8の長寿命化とベーン8の摺動時に削られるカーボン量の抑制が可能となり、ポンプから吐出される排気汚染を抑制することが可能になる。
Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 3, the stacking direction of the crystal structure of the high hardness carbon of the
また、ベーン8の側面に働く圧力差によって、ベーン8を曲げようとする力が積層方向に沿って働くが、本実施形態では、この方向の曲げに強く、ベーン8の破損ならびにポンプロックの防止に寄与する。
Further, a force to bend the
図4は、本発明の他の実施形態を示し、この場合は、ベーン8の結晶構造の積層をロータ6のスリット7の対向する2面と平行に配列し、これにより、ベーン8のカーボン結晶の積層と垂直方向に摺動する面をベーン8の先端部とすることで、ベーン8の先端の摩耗量を低減できる。
FIG. 4 shows another embodiment of the present invention. In this case, the crystal structure stack of the
また、ベーン8の側面に働く圧力差によって、ベーン8を曲げようとする力や、ベーン8の下面と上面に働く摩擦力の差によってベーン8を曲げようとする力がベーン8の積層方向に沿って働くが、本実施形態でも、この方向の曲げに強く、ベーン8の破損防止に効果を発揮する。
Further, a force for bending the
なお、本発明のいずれの実施形態においても、ベーン8の材質として、高硬度カーボンに代えて、炭素繊維強化プラスチックを用いても同様の効果が発揮される。
In any of the embodiments of the present invention, the same effect can be obtained by using a carbon fiber reinforced plastic instead of high hardness carbon as the material of the
本発明にかかるベーンロータリ型真空ポンプは、ベーン材質として、高硬度カーボンもしくは炭素繊維強化プラスチックを使用することで潤滑油を必要とせず、さらにベーンの摩耗量を抑えることで排出される気体の汚染低減が必要な家庭用健康器具や医療用治療器具等の用途にも広く適用できる。 The vane rotary vacuum pump according to the present invention does not require lubricating oil by using high-hardness carbon or carbon fiber reinforced plastic as a vane material, and further, contamination of gas discharged by suppressing the amount of vane wear. It can be widely applied to uses such as household health appliances and medical treatment appliances that need to be reduced.
1 ベーンロータリ型空気ポンプ
2 ポンプ機構部
3 モータ部
4 シャフト
5 シリンダ
6 ロータ
7 スリット
8 ベーン
9 ポンプ空間
10 フロントプレート
11 エンドプレート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vane rotary
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004084911A JP2005273478A (en) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | Vane rotary type vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004084911A JP2005273478A (en) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | Vane rotary type vacuum pump |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005273478A true JP2005273478A (en) | 2005-10-06 |
Family
ID=35173430
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004084911A Pending JP2005273478A (en) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | Vane rotary type vacuum pump |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005273478A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101865135A (en) * | 2010-07-21 | 2010-10-20 | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 | Axial float positioning device for rotor shaft of vacuum pump |
CN102678560A (en) * | 2011-03-18 | 2012-09-19 | Ulvac机工株式会社 | Oil rotary vacuum pump |
JP2016519702A (en) * | 2013-03-22 | 2016-07-07 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | Polymer sliding material with dry operation capability and mechanical seal with dry operation capability |
-
2004
- 2004-03-23 JP JP2004084911A patent/JP2005273478A/en active Pending
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