JP2006194163A - Rotary vane air pump - Google Patents

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Tatsuya Nakamoto
達也 中本
Kiyoshi Sawai
澤井  清
Noboru Iida
飯田  登
Atsushi Sakuta
作田  淳
Ryuichi Ono
竜一 大野
Hiroyuki Fukuhara
弘之 福原
Hideki Murakami
秀樹 村上
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a rotary vane air pump in which the surface roughness in vane and cylinder inner peripheral surfaces is prevented from worsening to implement the low noise and low input not only at an operation initial stage but after an elapse of time. <P>SOLUTION: The inner peripheral surface of the cylinder is surface-treated with a nickel phosphorous polytetrafluorethylene resin based coating and the average surface roughness is within the range of not less than 0.05 μm to 0.15 μm so that the surface roughness can be prevented from worsening to enable the low noise and low input not only at the operation initial stage but after the elapse of time. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、燃料電池を用いたモバイル用情報端末機器の空気供給装置に使用されるベーンロータリ型空気ポンプに関するものである。   The present invention relates to a vane rotary type air pump used for an air supply device of a mobile information terminal device using a fuel cell.

従来、この種のベーンロータリ型ポンプは、ベーンに自己潤滑性を有する表面処理を施しているものがあった(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, there has been a vane rotary pump of this type in which a vane is subjected to a surface treatment having self-lubricating properties (see, for example, Patent Document 1).

図6および図7は前記文献に記載された従来のベーンロータリ型ポンプを示すものである。両端がフロントプレート1およびエンドプレート2で閉鎖された筒状内壁を有するシリンダ3を有している。シリンダ3の内部には、外周の一部がシリンダ3の内壁と小隙間を形成するロータ4が配設されている。   6 and 7 show a conventional vane rotary pump described in the above document. A cylinder 3 having a cylindrical inner wall closed at both ends by a front plate 1 and an end plate 2 is provided. Inside the cylinder 3, a rotor 4 is arranged in which a part of the outer periphery forms a small gap with the inner wall of the cylinder 3.

ロータ4の外周面には、複数のスリット5が形成され、各スリット5にベーン6の一端が摺動自在に挿入されている。そして、ベーン6はシリンダ3、ロータ4、フロントプレート1、エンドプレート2とともにポンプ空間7を形成している。ベーンの母材はマグネシウムもしくはフェノール樹脂であり、表面に固体潤滑材が含浸されている。
特開2003−113785号公報
A plurality of slits 5 are formed on the outer peripheral surface of the rotor 4, and one end of a vane 6 is slidably inserted into each slit 5. The vane 6 forms a pump space 7 together with the cylinder 3, the rotor 4, the front plate 1, and the end plate 2. The base material of the vane is magnesium or phenol resin, and the surface is impregnated with a solid lubricant.
JP 2003-113785 A

しかしながら、前記従来の構成では長時間の運転において、ベーンの摺動によってシリンダ内周面の面粗度が悪化した場合、ベーンジャンピングが発生し騒音が増大するという課題を有していた。また、面粗度の悪化したシリンダ内周面がベーン先端の面粗度をさらに悪化させるため、加速度的にベーンとシリンダ内周面の面粗度が悪化し、双方の摺動による騒音が増大してくるという課題を有していた。   However, the conventional configuration has a problem in that, when the surface roughness of the inner peripheral surface of the cylinder is deteriorated due to the sliding of the vane during long-time operation, vane jumping occurs and noise increases. In addition, since the cylinder inner peripheral surface with deteriorated surface roughness further deteriorates the surface roughness of the vane tip, the surface roughness of the vane and the cylinder inner peripheral surface deteriorates at an accelerated rate, and noise due to sliding of both increases. It had a problem of coming.

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、ベーンとシリンダ内周面の面粗度の悪化を抑制し、運転初期だけでなく経時後においても低騒音かつ低入力を実現したベーンロータリ型空気ポンプの提供を目的とすることである。   The present invention solves the above-mentioned conventional problem, and suppresses deterioration of the surface roughness of the vane and the inner peripheral surface of the cylinder, and realizes low noise and low input not only in the initial operation but also after the lapse of time. The purpose is to provide an air pump.

前記従来の課題を解決するために、本発明のベーンロータリ型空気ポンプは、シリンダ内周面に平均表面粗さを0.05μm以上0.15μm以下の範囲とし、微小な溝を設けたニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂系の表面処理を施したものである。このシリンダの表面処理により、ベーンとシリンダの摺動による面粗度悪化の抑制を目的とする。   In order to solve the above-described conventional problems, a vane rotary type air pump according to the present invention has a nickel phosphor having an average surface roughness in a range of 0.05 μm or more and 0.15 μm or less on a cylinder inner peripheral surface and provided with minute grooves. This is a polytetrafluoroethylene resin-based surface treatment. The purpose of this surface treatment of the cylinder is to suppress deterioration of surface roughness due to sliding of the vane and the cylinder.

本発明のベーンロータリ型ポンプは、ベーンとシリンダの摺動による面粗度の悪化を抑制することにより、運転初期だけでなく経時後においても低騒音かつ低入力を実現することができる。   The vane rotary pump of the present invention can realize low noise and low input not only in the initial operation but also after the lapse of time by suppressing the deterioration of surface roughness due to sliding of the vane and the cylinder.

第1の発明は、シリンダ内周面の平均表面粗さを0.05μm以上0.15μm以下の範囲に設定することにより、シリンダ内周面とベーン先端の摺動によって発生する騒音を抑制し、運転初期の騒音を抑制することができる。同時に、ベーン先端のカーボンを適度
に摩耗させることができるため、シリンダ内周面とベーン先端の摺動状態を改善でき、入力を
低減することができる。
The first invention suppresses noise generated by sliding between the cylinder inner peripheral surface and the vane tip by setting the average surface roughness of the cylinder inner peripheral surface in the range of 0.05 μm to 0.15 μm, Noise during the initial operation can be suppressed. At the same time, since the carbon at the vane tip can be worn moderately, the sliding state between the cylinder inner peripheral surface and the vane tip can be improved, and the input can be reduced.

第2の発明は、特に、第1の発明のシリンダ内周面にベーンの摺動軌跡と同一方向の溝を設けることにより、シリンダ内周面とベーン先端の摺動によって発生する騒音を効果的に抑制し、運転初期の騒音をさらに低減することができる。   In the second invention, in particular, by providing a groove in the same direction as the sliding track of the vane on the inner peripheral surface of the cylinder of the first invention, noise generated by sliding between the inner peripheral surface of the cylinder and the tip of the vane is effective. It is possible to further reduce noise at the beginning of operation.

第3の発明は、特に、第2の発明の溝を、ロータの回転と同一方向に加工し、材料のせん断方向とベーン先端の移動方向を一致させることにより、加工時の「ばり」に起因したシリンダ内周面とベーン先端の摺動による騒音を抑制し、運転初期の騒音をさらに低減することができる。   In particular, the third invention is caused by “burrs” at the time of machining by machining the groove of the second invention in the same direction as the rotation of the rotor and matching the shear direction of the material and the moving direction of the vane tip. The noise caused by the sliding between the inner peripheral surface of the cylinder and the tip of the vane can be suppressed, and the noise in the initial operation can be further reduced.

第4の発明は、第1から第3の発明のシリンダ内周面にニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂系の表面処理を施すことにより、ポリテトラフルオロエチレン樹脂がシリンダ内周面とベーン先端の摺動状態をさらに改善し、ベーン先端の摩耗と面粗度悪化を抑制し、経時後の騒音と入力の増大を抑えることができる。   According to a fourth aspect of the invention, a nickel phosphorus polytetrafluoroethylene resin-based surface treatment is applied to the cylinder inner peripheral surface of the first to third inventions so that the polytetrafluoroethylene resin slides between the cylinder inner peripheral surface and the vane tip. The dynamic state can be further improved, wear of the vane tip and deterioration of the surface roughness can be suppressed, and increase in noise and input after time can be suppressed.

第5の発明は、特に、第4の発明の表面処理のニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂皮膜の膜厚を3μm以上10μm以下の範囲とすることにより、表面処理に起因する表面形状の悪化が防止でき、シリンダ内周面とベーン先端を良好な摺動状態に保持することができ、ベーン先端の摩耗と面粗度悪化を抑制し、経時後の騒音と入力の増大を効果的に抑えることができる。   In the fifth aspect of the invention, in particular, by making the film thickness of the surface-treated nickel phosphorus polytetrafluoroethylene resin film of the fourth aspect in the range of 3 μm or more and 10 μm or less, deterioration of the surface shape caused by the surface treatment is prevented. It is possible to keep the inner peripheral surface of the cylinder and the vane tip in a good sliding state, to suppress the wear of the vane tip and deterioration of the surface roughness, and to effectively suppress the increase in noise and input after time. it can.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

(実施の形態1)
図1、図2は、本発明の実施の形態1におけるベーンロータリ型空気ポンプの断面図である。
(Embodiment 1)
1 and 2 are sectional views of a vane rotary type air pump according to Embodiment 1 of the present invention.

図1、図2において、このベーンロータリ型空気ポンプは、ポンプ機構部8と直流モータ9で構成している。   1 and 2, the vane rotary type air pump includes a pump mechanism unit 8 and a DC motor 9.

筒状内壁を有するシリンダ3内に、円筒形状のロータ4をシリンダ3の中心軸から偏心させた状態で配置し、ロータ4にはその中心軸方向に複数のスリット5を設け、これらのスリット5には自己潤滑性を有するカーボン材質よりなる板状のベーン6を摺動可能な状態で嵌合させ、フロントプレート1とエンドプレート2をロータ4とベーン6を挟み込むようにシリンダ3の端面に配置して複数のポンプ空間7を形成し、ロータ4の中心軸にはエンドプレート2の反メカ側に配置された直流モータ9のモータシャフトを兼ねるメカシャフト10が結合されており、フロントプレート1に圧入されたボール軸受け11およびエンドプレート2に圧入されたボール軸受け12で回転可能に支持することでポンプ機構部8を構成している。   A cylindrical rotor 4 is disposed in a cylinder 3 having a cylindrical inner wall in a state of being eccentric from the central axis of the cylinder 3, and the rotor 4 is provided with a plurality of slits 5 in the direction of the central axis. Is fitted with a slidable plate-like vane 6 made of a self-lubricating carbon material, and the front plate 1 and the end plate 2 are arranged on the end face of the cylinder 3 so as to sandwich the rotor 4 and the vane 6 therebetween. A plurality of pump spaces 7 are formed, and a mechanical shaft 10 that also serves as a motor shaft of a DC motor 9 disposed on the opposite side of the end plate 2 is coupled to the central axis of the rotor 4. The pump mechanism unit 8 is configured to be rotatably supported by the press-fitted ball bearing 11 and the ball bearing 12 press-fitted into the end plate 2.

直流モータ9はモータロータ13の外周にステータ14を配置し、モータシャフトを兼ねるメカシャフト10は軸受け15および軸受け16で支持されている。   In the DC motor 9, a stator 14 is disposed on the outer periphery of a motor rotor 13, and a mechanical shaft 10 that also serves as a motor shaft is supported by a bearing 15 and a bearing 16.

かかる構成によれば、モータロータ13とステータ14間の磁気作用によりモータロータ13は回転トルクを得て回転運動する。モータロータ13と一体的に構成されたモータシャフトを兼ねるメカシャフト10が軸受け11および12によって回転可能に支持され
ることで、ポンプ機構部8に回転力を伝達することができる。
According to this configuration, the motor rotor 13 obtains rotational torque and rotates by the magnetic action between the motor rotor 13 and the stator 14. The mechanical shaft 10 serving as a motor shaft integrally formed with the motor rotor 13 is rotatably supported by the bearings 11 and 12, so that the rotational force can be transmitted to the pump mechanism unit 8.

直流モータ9によって出力された回転力はモータシャフトを兼ねるメカシャフト10と結合されたロータ4に伝達される。回転力を得たロータ4の回転にともない、ベーン6が遠心力によってロータ4の中心軸方向に設けられたスリット5に沿って飛び出すことで、ポンプ空間7を形成する。同時に吸入ポート17より吸入された空気は、直接ポンプ空間7に流入する経路、シリンダ3に設けられた貫通穴18を通じてエンドプレート2に設けられた段落ち部19からポンプ空間7に流入する経路、貫通穴18を通じてシリンダ中央部に設けられた連通路20からポンプ空間7に流入する経路の3箇所からポンプ空間7に流入する。   The rotational force output by the DC motor 9 is transmitted to the rotor 4 coupled to the mechanical shaft 10 that also serves as the motor shaft. Along with the rotation of the rotor 4 that has obtained the rotational force, the vane 6 jumps out along the slit 5 provided in the central axis direction of the rotor 4 by the centrifugal force, thereby forming the pump space 7. At the same time, the air sucked from the suction port 17 flows directly into the pump space 7, the route flows into the pump space 7 from the stepped portion 19 provided in the end plate 2 through the through hole 18 provided in the cylinder 3, It flows into the pump space 7 from three places of the path flowing into the pump space 7 from the communication passage 20 provided in the center of the cylinder through the through hole 18.

流入した空気は、ロータ4の回転にともないポンプ空間7内で圧縮され、吐出ポート21を経て吐出口22より吐出される。   The inflowing air is compressed in the pump space 7 as the rotor 4 rotates, and is discharged from the discharge port 22 through the discharge port 21.

図3は、シリンダ3の断面の斜視図である。本実施の形態では、シリンダ3の内周面にはニッケルリン層23、およびその上にニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂層24を積層している。ニッケルリン層23によってシリンダ内周面の耐食性を向上させ、ニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂層24によって、ベーン6の先端とシリンダ3の内周面の摺動性を向上させることができるため、ベーン6の先端の摩耗と面粗度悪化を抑制し、経時後の騒音と入力の増大を抑えることができる。   FIG. 3 is a perspective view of a cross section of the cylinder 3. In the present embodiment, a nickel phosphorous layer 23 is laminated on the inner peripheral surface of the cylinder 3, and a nickel phosphorous polytetrafluoroethylene resin layer 24 is laminated thereon. The nickel phosphorus layer 23 can improve the corrosion resistance of the inner peripheral surface of the cylinder, and the nickel phosphorus polytetrafluoroethylene resin layer 24 can improve the sliding property of the tip of the vane 6 and the inner peripheral surface of the cylinder 3. 6 can suppress wear of the tip and deterioration of surface roughness, and can suppress an increase in noise and input after the passage of time.

さらに、ニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂層24を厚く積層させると層の表面にうねりが発生し、ベーン6の先端とシリンダ3の内周面が非接触となる場合が発生し、吐出付近の高圧が吸入側へ漏れ出し、体積効率を低下させる可能性がある。同時に、ベーン6とシリンダ3が再び接触するときに音が発生しポンプ運転時の騒音が増大する可能性もある。そのため、ニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂層24の積層厚を10μm以下とし、最低必要な積層厚は3μmとしている。   Further, when the nickel phosphorus polytetrafluoroethylene resin layer 24 is laminated thickly, undulation is generated on the surface of the layer, and the tip of the vane 6 and the inner peripheral surface of the cylinder 3 are not in contact with each other. May leak to the suction side and reduce volumetric efficiency. At the same time, a noise may be generated when the vane 6 and the cylinder 3 come into contact again, and the noise during the pump operation may increase. Therefore, the lamination thickness of the nickel phosphorus polytetrafluoroethylene resin layer 24 is 10 μm or less, and the minimum necessary lamination thickness is 3 μm.

図4に、シリンダ3の内周面の平均表面粗さと騒音および入力の関係を示す。シリンダ3の内面の平均表面粗さの値が大きいほど、運転初期の騒音値は高い値を示すため、騒音低減の観点から見れば平均表面粗さの値は小さいほうが望ましい。一方、シリンダ3の内面の平均表面粗さの値を小さくするほど、ベーン6の摩耗が抑制され、自己潤滑作用が働きにくくなり、運転初期の入力は高い値を示すため、入力低減の観点から見れば平均表面粗さの値は大きいほうが望ましい。低入力と低騒音を両立できる平均表面粗さは0.05μm以上0.15μm以下の範囲であり、ニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂層24の平均表面粗さを0.10μmとしている。   FIG. 4 shows the relationship between the average surface roughness of the inner peripheral surface of the cylinder 3, noise, and input. The larger the average surface roughness value of the inner surface of the cylinder 3, the higher the noise value at the initial stage of operation. Therefore, it is desirable that the average surface roughness value is smaller from the viewpoint of noise reduction. On the other hand, as the average surface roughness value of the inner surface of the cylinder 3 is decreased, the wear of the vane 6 is suppressed, the self-lubricating action is less likely to work, and the input at the initial stage of operation shows a higher value. From the viewpoint, it is desirable that the average surface roughness is large. The average surface roughness that can achieve both low input and low noise is in the range of 0.05 μm or more and 0.15 μm or less, and the average surface roughness of the nickel phosphorus polytetrafluoroethylene resin layer 24 is 0.10 μm.

(実施の形態2)
図5は、本発明の実施の形態2におけるベーンロータリ型空気ポンプのシリンダ断面の斜視図である。本実施の形態では、10μmの膜厚のニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂層24の表面にベーンの摺動軌跡と同一方向の溝25を複数設けている。溝25の加工方向27はロータ4の回転方向26と同一方向である。ロータ4が時計方向に回転すると、ベーン6は遠心力によりシリンダ3の内周面と接触しながら摺動するため、溝25加工時の材料のせん断方向とベーン6の先端の移動方向を一致させることにより、加工時の「ばり」に起因したシリンダ3の内周面とベーン6の先端の摺動による騒音を抑制し、運転初期の騒音をさらに低減することができる。
(Embodiment 2)
FIG. 5 is a perspective view of a cylinder cross section of the vane rotary type air pump according to the second embodiment of the present invention. In the present embodiment, a plurality of grooves 25 in the same direction as the vane sliding locus are provided on the surface of the nickel phosphorus polytetrafluoroethylene resin layer 24 having a thickness of 10 μm. The processing direction 27 of the groove 25 is the same as the rotation direction 26 of the rotor 4. When the rotor 4 rotates in the clockwise direction, the vane 6 slides in contact with the inner peripheral surface of the cylinder 3 by centrifugal force. Therefore, the shear direction of the material when the groove 25 is processed and the moving direction of the tip of the vane 6 are matched. Thus, it is possible to suppress noise due to sliding between the inner peripheral surface of the cylinder 3 and the tip of the vane 6 due to “burr” during processing, and noise in the initial stage of operation can be further reduced.

以上のように、本発明にかかるベーンロータリ型空気ポンプは、低騒音かつ低入力であるため、家庭用健康器具や医療用治療器具等の用途にも適用できる。   As described above, since the vane rotary type air pump according to the present invention has low noise and low input, it can be applied to uses such as household health appliances and medical treatment appliances.

本発明の実施の形態1におけるベーンロータリ型空気ポンプの軸方向の断面図Sectional drawing of the axial direction of the vane rotary type | mold air pump in Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態1におけるベーンロータリ型空気ポンプの半径方向の断面図Sectional drawing of radial direction of vane rotary type air pump in Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態1におけるシリンダの断面の斜視図The perspective view of the section of the cylinder in Embodiment 1 of the present invention 本発明の実施の形態1におけるシリンダ内周面の平均表面粗さと騒音および入力の関係を示す特性図The characteristic view which shows the relationship between the average surface roughness of the cylinder internal peripheral surface in Embodiment 1 of this invention, noise, and an input 本発明の実施の形態2におけるシリンダの断面の斜視図The perspective view of the section of the cylinder in Embodiment 2 of the present invention. 従来のベーンロータリ型空気ポンプの軸方向の断面図A sectional view in the axial direction of a conventional vane rotary type air pump 従来のベーンロータリ型空気ポンプの半径方向の断面図Radial sectional view of a conventional vane rotary air pump

符号の説明Explanation of symbols

1 フロントプレート
2 エンドプレート
3 シリンダ
4 ロータ
5 スリット
6 ベーン
7 ポンプ空間
8 ポンプ機構部
9 直流モータ
10 メカシャフト
13 モータロータ
14 ステータ
23 ニッケルリン層
24 ニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂層
25 溝
26 ロータの回転方向
27 溝の加工方向

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Front plate 2 End plate 3 Cylinder 4 Rotor 5 Slit 6 Vane 7 Pump space 8 Pump mechanism part 9 DC motor 10 Mechanical shaft 13 Motor rotor 14 Stator 23 Nickel phosphorus layer 24 Nickel phosphorus polytetrafluoroethylene resin layer 25 Groove 26 Rotor rotation Direction 27 Groove processing direction

Claims (5)

円筒形状の内壁を有するシリンダ内に、円柱形状のロータをシリンダの円筒状内壁の中心線をシリンダの中心軸から偏心させた状態で配置し、前記ロータにはその中心軸方向に複数のスリットを設け、これらのスリットには自己潤滑性を有するカーボン材質よりなる板状のベーンを摺動可能な状態で嵌合させ、吸入ポートを備えたフロントプレートとエンドプレートとを前記ロータと前記ベーンを挟み込むように前記シリンダの端面に配置してポンプ空間を形成し、前記ロータの中心軸にはメカシャフトを備えてポンプ機構部を構成し、前記エンドプレートの反メカ側にはモータを配置し、このモータが前記メカシャフトを駆動することにより、前記ロータが回転し、前記ベーンが前記スリット内を往復運動しつつ、そのベーン先端が前記シリンダの内壁に沿って摺動することで、前記ポンプ空間が伸縮作用を生じ、空気の吸入・圧縮・吐出を繰り返すオイルレス空気ポンプであって、前記シリンダ内周面の平均表面粗さを0.05μm以上0.15μm以下の範囲としたことを特徴とするベーンロータリ型空気ポンプ。 A cylindrical rotor is disposed in a cylinder having a cylindrical inner wall with the center line of the cylindrical inner wall of the cylinder being eccentric from the central axis of the cylinder, and the rotor has a plurality of slits in the direction of the central axis. A plate-like vane made of a self-lubricating carbon material is slidably fitted in these slits, and a front plate and an end plate having a suction port are sandwiched between the rotor and the vane. As described above, a pump space is formed by arranging on the end face of the cylinder, a pump shaft is formed by providing a mechanical shaft on the central axis of the rotor, and a motor is disposed on the opposite side of the end plate. When the motor drives the mechanical shaft, the rotor rotates, and the vane tip reciprocates in the slit while the vane tip is moved to the shaft. The oilless air pump that repeatedly expands and contracts the air by causing the pump space to expand and contract by sliding along the inner wall of the cylinder. The average surface roughness of the inner peripheral surface of the cylinder is 0 A vane rotary air pump characterized by having a range of 0.05 μm or more and 0.15 μm or less. 前記ベーンの摺動軌跡と同一方向の溝を前記シリンダ内周部に備えたことを特徴とする請求項1に記載のベーンロータリ型空気ポンプ。 The vane rotary type air pump according to claim 1, wherein a groove in the same direction as a sliding locus of the vane is provided in the inner peripheral portion of the cylinder. 前記溝を前記ロータの回転方向と同一方向に加工したことを特徴とする請求項2に記載のベーンロータリ型空気ポンプ。 The vane rotary type air pump according to claim 2, wherein the groove is machined in the same direction as the rotation direction of the rotor. 前記シリンダ内周面にニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂系の表面処理を施したことを特徴とする請求項1から請求項3に記載のベーンロータリ型空気ポンプ。 The vane rotary type air pump according to any one of claims 1 to 3, wherein a nickel phosphorus polytetrafluoroethylene resin-based surface treatment is applied to the inner peripheral surface of the cylinder. 前記ニッケルリンポリテトラフルオロエチレン樹脂系の表面処理の膜厚を3μm以上10μm以下の範囲としたことを特徴とする請求項4に記載のベーンロータリ型空気ポンプ。
5. The vane rotary air pump according to claim 4, wherein a film thickness of the surface treatment of the nickel phosphorus polytetrafluoroethylene resin system is in a range of 3 μm to 10 μm.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2551107A (en) * 2016-04-27 2017-12-13 Edwards Ltd Vacuum pump component

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