JP2005240747A - Vane rotary type vacuum pump - Google Patents

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Kiyoshi Sawai
澤井  清
Noboru Iida
飯田  登
Atsushi Sakuta
作田  淳
Ryuichi Ono
竜一 大野
Hiroyuki Fukuhara
弘之 福原
Hideki Murakami
秀樹 村上
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To dissolve a problem that a shaft rattles in an axial direction, noise is increased due to rattling of a roll bearing, and the noise is increased due to rattling of a rotor around the shaft. <P>SOLUTION: A motor shaft 222 and a mechanical shaft 123 are supported by first and second rolling bearings 155 and 235. The first rolling bearing 155 is constituted that a motor shaft 222 is pressed in an inner ring 155a and fixed, a spring 241 is situated between a inner ring 235a of the second rolling bearing 235 and a fastener 223 situated on the motor shaft 222, and rattling is prevented from occurring by exerting pressurization in a direction in which inner rings 135a and 235a of the two rolling bearings 155 and 235 are repulsive. Or, rattling is prevented from occurring in a way that a power is transmitted through a key 124 made of resin interposed between the shaft 123 and a rotor 121. These constitutions reduce the generation of noise. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、オイルレスで使用するベーンロータリ型真空ポンプに関するものである。   The present invention relates to a vane rotary type vacuum pump used without oil.

従来、この種のオイルレスで使用するベーンロータリ型真空ポンプにおいては、ロータはシャフトに対して軸方向に自由に動くことができる構成になっている。(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, in a vane rotary type vacuum pump used without oil of this type, the rotor can be freely moved in the axial direction with respect to the shaft. (For example, refer to Patent Document 1).

図5は、特許文献1に記載された従来のベーンロータリ型の回転真空ポンプを側面から見た図であり、一部を断面で示した図で、図6は、図5のロータ回りを拡大して示す要部の断面図である。図5及び図6において、ポンプ機構部のケーシングは、平板状のベース331と、ベース331の他面側に位置するシリンダ部材60と、シリンダ部材60をベース331とともに挟み込む蓋部材70とを含み、ロータ80とケーシングとの間、特に、ロータ80の両端面の部分に特定のスペーサ部材500,500’を配置している。   FIG. 5 is a side view of a conventional vane rotary type rotary vacuum pump described in Patent Document 1, and a part of the rotary vacuum pump is shown in cross section. FIG. 6 is an enlarged view around the rotor of FIG. It is sectional drawing of the principal part shown. 5 and 6, the casing of the pump mechanism unit includes a flat base 331, a cylinder member 60 positioned on the other surface side of the base 331, and a lid member 70 that sandwiches the cylinder member 60 together with the base 331, Specific spacer members 500, 500 ′ are arranged between the rotor 80 and the casing, in particular, at both end surfaces of the rotor 80.

ロータ80を支持する回転駆動軸32は、断面D形状に部分的にカットされた一面部分を有し、それに適合するロータ80の中心孔とキー結合している。そのため、回転駆動軸32上において、ロータ80は軸心方向に移動可能であるが、回転方向に対しては回転駆動軸32と一体である。   The rotary drive shaft 32 that supports the rotor 80 has a surface portion that is partially cut into a D-shaped cross section, and is key-coupled to the center hole of the rotor 80 that fits into it. Therefore, the rotor 80 can move in the axial direction on the rotational drive shaft 32, but is integral with the rotational drive shaft 32 in the rotational direction.

また、スペーサ部材500,500’は、ロータ80とケーシングとの間に適正なクリアランスを確保するとともに、軸方向に動こうとするロータ80に対するストッパとして機能するものとなっている。
特開2002−195178号公報
The spacer members 500 and 500 ′ function as a stopper for the rotor 80 that attempts to move in the axial direction while ensuring an appropriate clearance between the rotor 80 and the casing.
JP 2002-195178 A

しかしながらこのような従来の構成では、ロータが回転する時、ロータが中心穴とシャフト間の隙間でがたつき、騒音が大きくなるという課題を有していた。また、転がり軸受で支承されるシャフトも、転がり軸受のガタの範囲で軸方向に自由に動くことができる構成になっており、シャフトが転がり軸受内で軸方向にがたつくことにより、同様に騒音が大きくなるという課題を有していた。   However, such a conventional configuration has a problem that when the rotor rotates, the rotor rattles in the gap between the center hole and the shaft, and noise increases. In addition, the shaft supported by the rolling bearing is also configured to be able to move freely in the axial direction within the range of the looseness of the rolling bearing, and noise is similarly caused by the shaft rattling in the axial direction within the rolling bearing. It had the problem of becoming larger.

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、ポンプ機構部を構成する部品において組立て上の隙間があっても、運転時の騒音を抑制できるベーンロータリ型真空ポンプを提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-described conventional problems, and an object thereof is to provide a vane rotary type vacuum pump that can suppress noise during operation even if there are gaps in the assembly of components constituting the pump mechanism. To do.

前記従来の課題を解決するために、本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、シャフトを第1と第2の転がり軸受で支承し、第1の転がり軸受はその内輪にシャフトを圧入して固定し、第2の転がり軸受の内輪にはシャフトを隙間嵌めの状態で挿入するととともに、この第2の転がり軸受の内輪とシャフトをバネで係合させて、第1の転がり軸受の内輪と第2の転がり軸受の内輪とを互いに軸方向に反発させる与圧を印加する、という構成としたものである。   In order to solve the above-described conventional problems, the vane rotary type vacuum pump of the present invention supports the shaft with the first and second rolling bearings, and the first rolling bearing press-fits and fixes the shaft to the inner ring. The inner ring of the second rolling bearing is inserted into the inner ring with a clearance fit, and the inner ring of the second rolling bearing and the shaft are engaged by a spring, so that the inner ring of the first rolling bearing and the second ring are engaged with each other. The configuration is such that a pressurizing force that repels the inner ring of the rolling bearing in the axial direction is applied.

これによって、シャフトはバネの力を受けて第1の転がり軸受の方向に押し付けられるとともに、第1の転がり軸受の内輪と第2の転がり軸受の内輪はこのバネの力で互いに反
対方向に押されるので、転がり軸受内の内輪と外輪の隙間が無くなって、運転時にシャフトと転がり軸受ががたつかなくなり、騒音が低くなる。
As a result, the shaft receives the force of the spring and is pressed in the direction of the first rolling bearing, and the inner ring of the first rolling bearing and the inner ring of the second rolling bearing are pushed in opposite directions by the force of the spring. Therefore, there is no gap between the inner ring and the outer ring in the rolling bearing, the shaft and the rolling bearing do not rattle during operation, and noise is reduced.

また、本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、シャフトとロータ間に樹脂製のキーを介在させて動力を伝達する構成としたものである。   The vane rotary vacuum pump of the present invention is configured to transmit power by interposing a resin key between the shaft and the rotor.

これによって、ポンプ機構部のロータの中心穴とシャフト間に隙間があっても、運転時のがたつきによって発生する衝撃音が樹脂製のキーによって緩和されて、騒音が低くなる。   As a result, even if there is a gap between the central hole of the rotor of the pump mechanism and the shaft, the impact sound generated by rattling during operation is mitigated by the resin key, and the noise is reduced.

本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、ポンプ機構部の隙間から生じるがたつき音を低減することにより、運転時の騒音を低くすることができる。   The vane rotary vacuum pump of the present invention can reduce noise during operation by reducing rattling noise generated from the gap of the pump mechanism.

第1の発明は、筒状内壁を有するシリンダ内に、円筒形状のロータをシリンダの中心軸から偏心させた状態で配置し、ロータにはその中心軸方向に複数の溝を設け、これらの溝には自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンを摺動可能な状態で嵌合させ、ロータとベーンを挟み込むようにフロントプレートとリアプレートをシリンダの端面に配置して複数のポンプ空間を形成し、ロータの中心部にはシャフトを備えてポンプ機構部を構成し、リアプレートのポンプ機構部とは反対側にモータを配置してシャフトを駆動するベーンロータリ型真空ポンプにおいて、リアプレート内に第1の転がり軸受を備え、モータを収納するモータケーシング内に第2の転がり軸受を備え、これら第1と第2の転がり軸受でシャフトを支承し、第1の転がり軸受はその内輪にシャフトを圧入して固定し、第2の転がり軸受の内輪には前記シャフトを隙間嵌めの状態で挿入するととともに、この第2の転がり軸受の内輪とシャフトをバネで係合させて、第1の転がり軸受の内輪と第2の転がり軸受の内輪とを互いに軸方向に反発させる与圧を印加する構成とすることにより、シャフトはバネの力を受けて第1の転がり軸受の方向に押し付けられるとともに、第1の転がり軸受の内輪と第2の転がり軸受の内輪はこのバネの力で互いに反対方向に押されるので、転がり軸受内の内輪と外輪の隙間が無くなって、運転時にシャフトと転がり軸受ががたつかなくなり、騒音を低くすることができる。   According to a first aspect of the present invention, a cylindrical rotor is disposed in a cylinder having a cylindrical inner wall in a state of being eccentric from the central axis of the cylinder, and the rotor is provided with a plurality of grooves in the direction of the central axis. A plate-like vane made of a self-lubricating material is fitted in a slidable state, and a front plate and a rear plate are arranged on the end face of the cylinder so as to sandwich the rotor and vane, thereby providing a plurality of pump spaces. In the vane rotary type vacuum pump in which a shaft is provided at the center of the rotor to form a pump mechanism and a motor is disposed on the opposite side of the rear plate from the pump mechanism to drive the shaft. Provided with a first rolling bearing, a second rolling bearing provided in a motor casing for housing the motor, the shaft being supported by these first and second rolling bearings, The bearing is fixed by press-fitting the shaft into the inner ring, and the shaft is inserted into the inner ring of the second rolling bearing with a clearance fit, and the inner ring of the second rolling bearing and the shaft are engaged by a spring. Thus, by applying a pressurizing force that causes the inner ring of the first rolling bearing and the inner ring of the second rolling bearing to repel each other in the axial direction, the shaft receives the force of the spring and receives the force of the first rolling bearing. Since the inner ring of the first rolling bearing and the inner ring of the second rolling bearing are pushed in opposite directions by the force of this spring, there is no gap between the inner ring and the outer ring in the rolling bearing. The shaft and the rolling bearing do not rattle, and noise can be reduced.

第2の発明は、特に、第1の発明のベーンロータリ型真空ポンプにおいて、第1の転がり軸受の外輪がリアプレートに圧入固定あるいは接着剤で固定される構成とすることにより、第1の転がり軸受の外輪がリアプレートに密着しするので、転がり軸受とリアプレート間の隙間が無くなり、その結果、隙間を通じてモータ部からポンプ機構部への空気の漏れこみが無くなることとなり、真空ポンプの体積効率(性能)を高くすることができる。   In particular, the second invention is the vane rotary type vacuum pump according to the first invention, wherein the outer ring of the first rolling bearing is fixed to the rear plate by press-fitting or fixed with an adhesive. Since the outer ring of the bearing is in close contact with the rear plate, there is no gap between the rolling bearing and the rear plate. As a result, there is no air leakage from the motor to the pump mechanism through the gap. (Performance) can be increased.

第3の発明は、特に、第1または第2の発明のベーンロータリ型真空ポンプにおいて、第2の転がり軸受の外輪がモータケーシングに圧入固定あるいは接着剤で固定される構成とすることにより、第2の転がり軸受の外輪がモータケーシングに密着するので、その外輪とモータケーシングとのすべりが無くなることとなり、その結果、第2の転がり軸受の収納部での摩耗がなくなり、真空ポンプを長寿命化することができる。   According to a third aspect of the invention, in particular, in the vane rotary type vacuum pump of the first or second aspect, the outer ring of the second rolling bearing is fixed to the motor casing by press-fitting or adhesive. Since the outer ring of the second rolling bearing is in close contact with the motor casing, there is no slip between the outer ring and the motor casing. As a result, there is no wear in the housing part of the second rolling bearing and the life of the vacuum pump is extended. can do.

第4の発明は、筒状内壁を有するシリンダ内に、円筒形状のロータをシリンダの中心軸から偏心させた状態で配置し、ロータにはその中心軸方向に複数の溝を設け、これらの溝には自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンを摺動可能な状態で嵌合させ、ロータとベーンを挟み込むようにフロントプレートとリアプレートをシリンダの端面に配置して複数のポンプ空間を形成し、ロータの中心部にはシャフトを備えてポンプ機構部を構成し、リアプレートのポンプ機構部とは反対側にモータを配置してシャフトを駆動するベーン
ロータリ型真空ポンプにおいて、シャフトとロータ間に樹脂製の樹脂キーを介在させて動力を伝達する構成とすることにより、ポンプ機構部のロータの中心穴とシャフト間に隙間があっても、運転時のがたつきによって発生する衝撃音が樹脂キーによって緩和されることとなり、その結果騒音を低くすることができる。
According to a fourth aspect of the present invention, a cylindrical rotor is disposed in a cylinder having a cylindrical inner wall in a state of being eccentric from the central axis of the cylinder, and the rotor is provided with a plurality of grooves in the direction of the central axis. A plate-like vane made of a self-lubricating material is fitted in a slidable state, and a front plate and a rear plate are arranged on the end face of the cylinder so as to sandwich the rotor and the vane, thereby providing a plurality of pump spaces. In a vane rotary vacuum pump in which a shaft is provided at the center of the rotor to form a pump mechanism, and a motor is disposed on the opposite side of the rear plate from the pump mechanism to drive the shaft. By using a resin key in between to transmit power, even if there is a gap between the center hole of the rotor of the pump mechanism and the shaft, there will be rattling during operation. Thus will the impact sound generated is reduced by the resin key can lower the resulting noise.

第5の発明は、特に、第4の発明のベーンロータリ型真空ポンプにおいて、樹脂キーは円盤とその外周部に備えた複数の柱状突起物から構成され、この樹脂キーがメカシャフトの端面とフロントプレート間に配置される構成とすることにより、複数の柱状突起物のキーによりメカシャフトからロータに確実に力を伝達するとともに、複数の樹脂製のキーで衝撃を分担して受けることにより衝撃を緩和し、樹脂キーの長寿命化を図ることができる。   According to a fifth aspect of the invention, in particular, in the vane rotary type vacuum pump according to the fourth aspect of the invention, the resin key is composed of a disk and a plurality of columnar protrusions provided on the outer peripheral portion thereof. By adopting a configuration that is arranged between the plates, the force is reliably transmitted from the mechanical shaft to the rotor by the keys of the plurality of columnar protrusions, and the impact is received by sharing the impact with the plurality of resin keys. The life of the resin key can be extended by relaxing.

第6の発明は、特に、第4あるいは第5の発明のベーンロータリ型真空ポンプにおいて、樹脂キーの材質をポリオキシメチレン(ポリ・アセタール樹脂)とすることにより、樹脂キーの機械強度を上げることができるとともに、樹脂キーの射出成型が可能となり、その結果、造りやすい真空ポンプを提供することができる。   In the sixth invention, in particular, in the vane rotary type vacuum pump of the fourth or fifth invention, the resin key is made of polyoxymethylene (polyacetal resin) to increase the mechanical strength of the resin key. In addition, the resin key can be injection-molded, and as a result, an easy-to-make vacuum pump can be provided.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1におけるベーンロータリ型真空ポンプの断面図で、図2は、実施の形態1におけるベーンロータリ型真空ポンプのポンプ機構部断面図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional view of a vane rotary type vacuum pump according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of a pump mechanism part of the vane rotary type vacuum pump according to Embodiment 1.

図1及び図2において、本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、ポンプ機構部100と、ポンプ機構部100を駆動するモータ部200と、モータ部200を冷却する冷却回路部300とにより構成されている。   1 and 2, the vane rotary vacuum pump of the present invention includes a pump mechanism unit 100, a motor unit 200 that drives the pump mechanism unit 100, and a cooling circuit unit 300 that cools the motor unit 200. Yes.

ポンプ機構部100は、筒状内壁を有するシリンダ111と、円筒形状のロータ121と、自己潤滑性材質よりなるベーン131と、これらを挟み込んで複数のポンプ空間161を形成させるフロントプレート141とリアプレート151から構成されている。ロータ121はシリンダ111の中心軸から偏心した状態で配置され、このロータ121の中心軸方向に設けられた複数の溝122に、ベーン131が摺動可能な状態で嵌合されている。そしてこれらの両側には、フロントプレート141とリアプレート151が隣接配置され、ポンプ空間161を形成している。またロータ121の中心軸にはメカシャフト123が備えられており、このメカシャフト123が回転することで、ロータ121が回転し、それに伴ってベーン131がロータ溝122の内部で移動する。運転中はベーン131の先端がシリンダ111の内壁と接触摺動することにより、ポンプ空間161が仕切られ、吸入・圧縮・吐出を繰り返し、ポンプ機能を果たしている。   The pump mechanism unit 100 includes a cylinder 111 having a cylindrical inner wall, a cylindrical rotor 121, a vane 131 made of a self-lubricating material, and a front plate 141 and a rear plate that sandwich these to form a plurality of pump spaces 161. 151. The rotor 121 is arranged in a state of being eccentric from the central axis of the cylinder 111, and the vane 131 is slidably fitted in a plurality of grooves 122 provided in the direction of the central axis of the rotor 121. On both sides thereof, a front plate 141 and a rear plate 151 are arranged adjacent to each other to form a pump space 161. In addition, a mechanical shaft 123 is provided at the central axis of the rotor 121, and the rotor 121 rotates as the mechanical shaft 123 rotates, and accordingly the vane 131 moves inside the rotor groove 122. During operation, the tip of the vane 131 slides in contact with the inner wall of the cylinder 111, so that the pump space 161 is partitioned, and suction, compression, and discharge are repeated to perform the pump function.

図2において、吸入ポート142、吐出ポート143はともにフロントプレート141に設けられており、吸入ポート142から吸い込まれた作動流体はポンプ空間161に至り、ベーン131によって閉じ込められた後、回転とともに圧縮され、吐出ポート143より排気される。このサイクルにおいて、ベーン131がシリンダ111の内壁から離れてしまう、いわゆるベーンジャンピング現象を抑制するために、フロントプレート141に背圧溝144を設け、ベーン131のベーン背面132に圧力を印加し、強制的にベーン先端をシリンダ111の内壁に押さえつけている。この背圧溝144は複数に分割されており、ベーン131の回転位相により、背圧を変えることで、各回転位置で最適な背圧を与えている。   In FIG. 2, both the suction port 142 and the discharge port 143 are provided on the front plate 141, and the working fluid sucked from the suction port 142 reaches the pump space 161, is confined by the vane 131, and then compressed with rotation. The air is exhausted from the discharge port 143. In this cycle, in order to suppress the so-called vane jumping phenomenon in which the vane 131 moves away from the inner wall of the cylinder 111, a back pressure groove 144 is provided in the front plate 141, and pressure is applied to the vane back surface 132 of the vane 131 to force In particular, the vane tip is pressed against the inner wall of the cylinder 111. The back pressure groove 144 is divided into a plurality of portions, and an optimum back pressure is applied at each rotational position by changing the back pressure according to the rotational phase of the vane 131.

モータ部200は、ステータ211とモータロータ221とモータケーシング231から構成されている。ステータ211はエンドプレート151とモータケーシング231で両側から挟み込まれ、その内部にモータロータ221を備えている。モータロータ221の中心軸にはモータシャフト222が備えられており、その一端はリアプレート151内に設けられた第1の転がり軸受155で支承され、他端はモータケーシング231内に設けられた第2の転がり軸受235により支承されている。ここで用いられる転がり軸受としては、グリス封入タイプのボールベアリングが望ましい。またモータシャフト222とメカシャフト123は一体型のシャフトとなっており、モータロータ221の回転が直接ロータ121の回転となるため、動力の伝達ロスは発生しない。   The motor unit 200 includes a stator 211, a motor rotor 221, and a motor casing 231. The stator 211 is sandwiched between the end plate 151 and the motor casing 231 from both sides, and includes a motor rotor 221 therein. A motor shaft 222 is provided on the central axis of the motor rotor 221, one end of which is supported by a first rolling bearing 155 provided in the rear plate 151, and the other end is a second provided in the motor casing 231. Are supported by a rolling bearing 235. As the rolling bearing used here, a grease-enclosed ball bearing is desirable. Further, the motor shaft 222 and the mechanical shaft 123 are integrated shafts, and the rotation of the motor rotor 221 directly becomes the rotation of the rotor 121, so that no power transmission loss occurs.

冷却回路部300は、冷却ファン311とエアーガイド321から構成されている。モータシャフト222のポンプ機構とは反対側の端部に冷却ファン311を取り付け、その周りをエアーガイド321で囲い、風の分散を防いでいる。またモータケーシング231の軸方向端面には複数の貫通穴が設けられており、風回路を形成することでモータ部200の冷却を行っている。   The cooling circuit unit 300 includes a cooling fan 311 and an air guide 321. A cooling fan 311 is attached to the end of the motor shaft 222 opposite to the pump mechanism, and the periphery of the cooling fan 311 is surrounded by an air guide 321 to prevent wind from being dispersed. In addition, a plurality of through holes are provided in the axial end surface of the motor casing 231, and the motor unit 200 is cooled by forming a wind circuit.

さて、第1の発明に対応して、第1の転がり軸受155は、その内輪155aにモータシャフト222を圧入して固定し、第2の転がり軸受235の内輪235aにはモータシャフト222を隙間嵌めの状態で挿入している。また、この第2の転がり軸受235の内輪235aとモータシャフト222に設けた止め具223との間にはバネ241を設置し、第1の転がり軸受155の内輪155aと第2の転がり軸受235の内輪235aとを互いに軸方向に反発させる与圧を印加している。なお、本実施の形態ではバネ241にコイルバネを使用しているが、波型バネでも良い。   Corresponding to the first invention, the first rolling bearing 155 has the motor shaft 222 press-fitted and fixed to the inner ring 155a, and the motor shaft 222 is fitted into the inner ring 235a of the second rolling bearing 235 with a gap. It is inserted in the state of. Further, a spring 241 is installed between the inner ring 235a of the second rolling bearing 235 and the stopper 223 provided on the motor shaft 222, and the inner ring 155a of the first rolling bearing 155 and the second rolling bearing 235 are arranged. A pressure is applied to repel the inner ring 235a in the axial direction. In this embodiment, a coil spring is used as the spring 241; however, a wave spring may be used.

この構成により、モータシャフト222(メカシャフト123)は、バネ241の力で常にポンプ機構部100方向へと押し付けられることになり、運転中に軸方向にがたつくことが無くなる。また、同時に、このバネ241の力により、第1の転がり軸受155の内輪155aはポンプ機構部100方向に、一方第2の転がり軸受235の内輪235aは冷却回路300方向に押し付けられることになり、それぞれの内外輪間に存在するボールのがたつきが抑制されることとなる。このようにモータシャフト222と第1と第2の転がり軸受155,235は、運転中にがたつくことが無くなり、騒音が低くなるという効果が得られる。   With this configuration, the motor shaft 222 (mechanical shaft 123) is always pressed in the direction of the pump mechanism 100 by the force of the spring 241 and does not rattle in the axial direction during operation. At the same time, due to the force of the spring 241, the inner ring 155a of the first rolling bearing 155 is pressed toward the pump mechanism 100, while the inner ring 235a of the second rolling bearing 235 is pressed toward the cooling circuit 300, Shaking of the ball existing between the inner and outer rings is suppressed. As described above, the motor shaft 222 and the first and second rolling bearings 155 and 235 do not rattle during operation, and an effect that noise is reduced can be obtained.

また、ポンプ機構部100においては、ロータ12の回転によりポンプ空間161の圧力が大気圧力より低下するので、モータ部200近傍に存在する空気は、第1の転がり軸受155の外輪155b周りの隙間、その後メカシャフト123とリアプレート151中心穴間の隙間を経て、ポンプ空間161に流れ込もうとする。この時、本実施の形態では、第1の転がり軸受155がリアプレート151内でポンプ機構部100側へ常に押されるので、外輪155bの端面はリアプレート151に密着することになり、前記空気の流れ込みが遮断される。これにより、吸入ポート142から吸い込まれる空気の量が増加して、真空ポンプの体積効率(性能)が高くなる。さらに、モータ部200近傍の空気が流れ込まなくなることから、モータステータ211に含まれる臭い物質がポンプ空間161に流れ込むこともなくなり、吐出ポート143から吐き出される空気の臭いの問題も無くなるという効果も得られる。   Further, in the pump mechanism unit 100, the pressure in the pump space 161 is lower than the atmospheric pressure due to the rotation of the rotor 12, so that the air present in the vicinity of the motor unit 200 is a gap around the outer ring 155b of the first rolling bearing 155, After that, it tries to flow into the pump space 161 through a gap between the mechanical shaft 123 and the center hole of the rear plate 151. At this time, in the present embodiment, the first rolling bearing 155 is constantly pushed toward the pump mechanism unit 100 in the rear plate 151, so that the end surface of the outer ring 155b is in close contact with the rear plate 151, and the air Inflow is cut off. Thereby, the amount of air sucked from the suction port 142 is increased, and the volumetric efficiency (performance) of the vacuum pump is increased. Further, since the air in the vicinity of the motor unit 200 does not flow, the odorous substance contained in the motor stator 211 does not flow into the pump space 161, and the problem of the odor of the air discharged from the discharge port 143 is also obtained. .

第2の発明に対応して、第1の転がり軸受155の外輪155bはリアプレート151に圧入固定あるいは接着剤で固定されている。これにより、第1の転がり軸受151の外輪155bがリアプレート155に密着しするので、第1の転がり軸受155とリアプレート151間の隙間が無くなり、その結果、隙間を通じてモータ部200からポンプ機構部100への空気の漏れこみが無くなることとなり、真空ポンプの体積効率(性能)を一
層高くすることができる。また、前記と同様にモータステータ部211に起因する臭いの問題も解決することが出来る。
Corresponding to the second invention, the outer ring 155b of the first rolling bearing 155 is fixed to the rear plate 151 by press fitting or adhesive. As a result, the outer ring 155b of the first rolling bearing 151 comes into close contact with the rear plate 155, so that there is no gap between the first rolling bearing 155 and the rear plate 151. As a result, the motor mechanism 200 and the pump mechanism section are passed through the gap. Air leakage into 100 is eliminated, and the volumetric efficiency (performance) of the vacuum pump can be further increased. Moreover, the problem of the odor resulting from the motor stator part 211 can be solved similarly to the above.

第3の発明に対応して、第2の転がり軸受235の外輪235bはモータケーシング231に圧入固定あるいは接着剤で固定されている。これにより、第2の転がり軸受235の外輪235bがモータケーシング235に密着するので、外輪235bとモータケーシング235とのすべりが無くなることとなり、その結果、第2の転がり軸受235の収納部の摩耗がなくなり、ひいては真空ポンプの長寿命化を図ることが出来る。   Corresponding to the third aspect of the invention, the outer ring 235b of the second rolling bearing 235 is fixed to the motor casing 231 by press-fitting or adhesive. As a result, the outer ring 235b of the second rolling bearing 235 comes into close contact with the motor casing 235, so that there is no slip between the outer ring 235b and the motor casing 235. As a result, wear of the storage portion of the second rolling bearing 235 is eliminated. As a result, the life of the vacuum pump can be extended.

(実施の形態2)
図3および図4は、本発明の実施の形態2におけるベーンロータリ型真空ポンプの断面図である。
(Embodiment 2)
3 and 4 are cross-sectional views of the vane rotary type vacuum pump according to the second embodiment of the present invention.

本実施の形態は、第4〜6の発明に係わり、実施の形態1で示したベーンロータリ型真空ポンプにおいて、メカシャフト123とロータ121間に樹脂製の樹脂キー124を介在させて動力を伝達する構成としている。一般には、ポンプ機構部100のロータ121の中心穴とメカシャフト123間にはロータ121が軸方向に自由に動くことができるように微小な隙間が設けてあるので、運転時には、ロータ121はメカシャフト123の周りを微小振動(がたつき)して衝撃音が発生する。しかしながら、本実施の形態では、樹脂キー124を介在させているのでその衝撃音が樹脂で緩和されることとなり、その結果、騒音を低くすることができる。   This embodiment relates to the fourth to sixth inventions. In the vane rotary vacuum pump shown in the first embodiment, power is transmitted by interposing a resin key 124 made of resin between the mechanical shaft 123 and the rotor 121. It is configured to do. In general, a minute gap is provided between the center hole of the rotor 121 of the pump mechanism 100 and the mechanical shaft 123 so that the rotor 121 can freely move in the axial direction. Impact sound is generated by minute vibrations (shaking) around the shaft 123. However, in this embodiment, since the resin key 124 is interposed, the impact sound is relieved by the resin, and as a result, the noise can be reduced.

第5の発明に対応して、第4図に示すように、樹脂キー124は円盤125とその外周部に備えた3つのの柱状突起物126から構成され、この樹脂キー124がメカシャフト123の端面とフロントプレート151間に配置されている。この構成により、3つの柱状突起物126のキーによりメカシャフト123からロータ121に確実に力が伝達されるとともに、3つのの樹脂製のキーが衝撃を分担して受けることにより衝撃を緩和し、樹脂キー124の長寿命化を図ることができる。なお、樹脂キー124の形状は、前記の円盤+複数の柱状突起物に限定されるものではなく、通常の直方体のキー(平行キー)であってもその材質が樹脂であれば、騒音低減効果は得られる。   Corresponding to the fifth aspect of the invention, as shown in FIG. 4, the resin key 124 is composed of a disk 125 and three columnar protrusions 126 provided on the outer periphery thereof. It is arranged between the end face and the front plate 151. With this configuration, force is reliably transmitted from the mechanical shaft 123 to the rotor 121 by the keys of the three columnar protrusions 126, and the three resin keys share and receive the impact, thereby reducing the impact. The life of the resin key 124 can be extended. The shape of the resin key 124 is not limited to the above-mentioned disk + plurality of columnar projections, and even if it is a normal rectangular parallelepiped key (parallel key), if the material is resin, the noise reduction effect is achieved. Is obtained.

第6の発明に対応して、樹脂キー124の材質をポリオキシメチレン(ポリ・アセタール樹脂)にしている。例えば、ポリプラスチックス(株)のジュラコン(登録商標)が好適であり、ポリオキシメチレンの中でも、アセタール・コポリマーが熱的に安定して望ましい。これにより樹脂キーの機械強度を上げることができるとともに、樹脂キーの射出成型が可能となり、製造が容易な真空ポンプを提供することができる。
なお、実施の形態1の発明と、実施の形態2の発明とを組み合わせることはもちろん可能であり、より騒音を低減することができる。
Corresponding to the sixth invention, the material of the resin key 124 is polyoxymethylene (polyacetal resin). For example, Duracon (registered trademark) of Polyplastics Co., Ltd. is suitable, and among polyoxymethylenes, an acetal copolymer is desirable because it is thermally stable. As a result, the mechanical strength of the resin key can be increased, the resin key can be injection-molded, and a vacuum pump that is easy to manufacture can be provided.
Of course, the invention of Embodiment 1 and the invention of Embodiment 2 can be combined, and noise can be further reduced.

以上のように、本発明にかかるベーンロータリ型真空ポンプは、シャフトおよび転がり軸受のがたつきを防止すると共に、ロータとシャフト間のがたつきによる衝撃音を緩和することにより、騒音低減を図ることができるので、家庭用健康器具や医療用治療器具等の用途にも適用できる。   As described above, the vane rotary type vacuum pump according to the present invention aims to reduce noise by preventing rattling of the shaft and the rolling bearing and reducing impact noise caused by rattling between the rotor and the shaft. Therefore, it can also be applied to uses such as household health appliances and medical treatment appliances.

本発明の実施の形態1におけるベーンロータリ型真空ポンプの断面図Sectional drawing of the vane rotary type vacuum pump in Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態1におけるベーンロータリ型真空ポンプのポンプ機構部断面図Sectional drawing of the pump mechanism part of the vane rotary type vacuum pump in Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態2におけるベーンロータリ型真空ポンプの断面図Sectional drawing of the vane rotary type vacuum pump in Embodiment 2 of this invention 本発明の実施の形2におけるベーンロータリ型真空ポンプのキーとその嵌め合い部の斜視図The perspective view of the key and its fitting part of the vane rotary type | mold vacuum pump in Embodiment 2 of this invention 従来のベーンロータリ型の回転真空ポンプを側面から見た図であり、一部を断面で示した図It is the figure which looked at the conventional vane rotary type rotary vacuum pump from the side, and the figure which showed a part in section 図5のロータ回りを拡大して示す要部の断面図Sectional drawing of the principal part which expands and shows the rotor periphery of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

100 ポンプ機構部
111 シリンダ
121 ロータ
122 ロータ溝
123 メカシャフト
124 樹脂キー
125 円盤
126 柱状突起物
131 ベーン
141 フロントプレート
151 リアプレート
155 第1の転がり軸受
155a 内輪
155b 外輪
161 ポンプ空間
200 モータ部
222 モータシャフト
231 モータケーシング
235 第2の転がり軸受
235a 内輪
235b 外輪
241 バネ

DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Pump mechanism part 111 Cylinder 121 Rotor 122 Rotor groove 123 Mechanical shaft 124 Resin key 125 Disk 126 Columnar protrusion 131 Vane 141 Front plate 151 Rear plate 155 1st rolling bearing 155a Inner ring 155b Outer ring 161 Pump space 200 Motor part 222 Motor shaft 231 Motor casing 235 Second rolling bearing 235a Inner ring 235b Outer ring 241 Spring

Claims (6)

筒状内壁を有するシリンダ内に、円筒形状のロータを前記シリンダの中心軸から偏心させた状態で配置し、前記ロータにはその中心軸方向に複数の溝を設け、これらの溝には自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンを摺動可能な状態で嵌合させ、前記ロータとベーンを挟み込むようにフロントプレートとリアプレートを前記シリンダの端面に配置して複数のポンプ空間を形成し、前記ロータの中心部にはシャフトを備えてポンプ機構部を構成し、前記リアプレートのポンプ機構部とは反対側にモータを配置し、前記モータが前記シャフトを駆動することにより、前記ポンプ空間が伸縮作用を生じるベーンロータリ型真空ポンプであって、
前記リアプレート内に第1の転がり軸受を備え、前期モータを収納するモータケーシング内に第2の転がり軸受を備え、これら第1と第2の転がり軸受で前記シャフトを支承し、前記第1の転がり軸受はその内輪に前記シャフトを圧入して固定し、前記第2の転がり軸受の内輪には前記シャフトを隙間嵌めの状態で挿入するととともに、この第2の転がり軸受の内輪と前記シャフトをバネで係合させて、前記第1の転がり軸受の内輪と第2の転がり軸受の内輪とを互いに軸方向に反発させる与圧を印加してなるベーンロータリ型真空ポンプ。
A cylindrical rotor is disposed in a cylinder having a cylindrical inner wall in an eccentric state from the central axis of the cylinder, and the rotor is provided with a plurality of grooves in the direction of the central axis, and these grooves are self-lubricated. A plate-like vane made of a flexible material is slidably fitted, and a front plate and a rear plate are arranged on the end face of the cylinder so as to sandwich the rotor and vane to form a plurality of pump spaces. A pump mechanism portion is provided with a shaft at the center of the rotor, a motor is disposed on the opposite side of the rear plate from the pump mechanism portion, and the motor drives the shaft, thereby the pump space. Is a vane rotary vacuum pump that generates expansion and contraction,
A first rolling bearing is provided in the rear plate, a second rolling bearing is provided in a motor casing that houses the previous motor, the shaft is supported by the first and second rolling bearings, and the first rolling bearing is provided. In the rolling bearing, the shaft is press-fitted and fixed to the inner ring, the shaft is inserted into the inner ring of the second rolling bearing with a clearance fit, and the inner ring and the shaft of the second rolling bearing are spring-loaded. The vane rotary vacuum pump is applied by applying a pressurizing force that causes the inner ring of the first rolling bearing and the inner ring of the second rolling bearing to repel each other in the axial direction.
前記第1の転がり軸受の外輪は、前記リアプレートに圧入固定あるいは接着剤で固定されてなる請求項1に記載のベーンロータリ型真空ポンプ。 2. The vane rotary vacuum pump according to claim 1, wherein an outer ring of the first rolling bearing is fixed to the rear plate by press-fitting or adhesive. 前記第2の転がり軸受の外輪は、前記モータケーシングに圧入固定あるいは接着剤で固定されてなる請求項1または2に記載のベーンロータリ型真空ポンプ。 The vane rotary vacuum pump according to claim 1 or 2, wherein an outer ring of the second rolling bearing is fixed to the motor casing by press-fitting or adhesive. 筒状内壁を有するシリンダ内に、円筒形状のロータを前記シリンダの中心軸から偏心させた状態で配置し、前記ロータにはその中心軸方向に複数の溝を設け、これらの溝には自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンを摺動可能な状態で嵌合させ、前記ロータとベーンを挟み込むようにフロントプレートとリアプレートを前記シリンダの端面に配置して複数のポンプ空間を形成し、前記ロータの中心部にはシャフトを備えてポンプ機構部を構成し、前記リアプレートのポンプ機構部とは反対側にモータを配置し、前記モータが前記シャフトを駆動することにより、前記ポンプ空間が伸縮作用を生じるベーンロータリ型真空ポンプであって、
前記シャフトと前記ロータ間に樹脂製の樹脂キーを介在させて動力を伝達してなるベーンロータリ型真空ポンプ。
A cylindrical rotor is disposed in a cylinder having a cylindrical inner wall in an eccentric state from the central axis of the cylinder, and the rotor is provided with a plurality of grooves in the direction of the central axis, and these grooves are self-lubricated. A plate-like vane made of a flexible material is slidably fitted, and a front plate and a rear plate are arranged on the end face of the cylinder so as to sandwich the rotor and vane to form a plurality of pump spaces. A pump mechanism portion is provided with a shaft at the center of the rotor, a motor is disposed on the opposite side of the rear plate from the pump mechanism portion, and the motor drives the shaft, thereby the pump space. Is a vane rotary vacuum pump that generates expansion and contraction,
A vane rotary vacuum pump in which power is transmitted by interposing a resin key made of resin between the shaft and the rotor.
前記樹脂キーは円盤とその外周部に備えた複数の柱状突起物から構成され、前記樹脂キーが前記シャフトの端面と前記フロントプレート間に配置されてなる請求項4に記載のベーンロータリ型真空ポンプ。 5. The vane rotary vacuum pump according to claim 4, wherein the resin key includes a disk and a plurality of columnar protrusions provided on an outer periphery of the disk, and the resin key is disposed between an end surface of the shaft and the front plate. . 前記樹脂キーは、その材質がポリオキシメチレン(ポリ・アセタール樹脂)よりなる請求項4または5に記載のベーンロータリ型真空ポンプ。

6. The vane rotary vacuum pump according to claim 4, wherein the resin key is made of polyoxymethylene (polyacetal resin).

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