JP2005271266A - Manufacturing method and manufacturing equipment for droplet ejection head, droplet ejection head, and droplet ejector - Google Patents

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JP2005271266A JP2004084633A JP2004084633A JP2005271266A JP 2005271266 A JP2005271266 A JP 2005271266A JP 2004084633 A JP2004084633 A JP 2004084633A JP 2004084633 A JP2004084633 A JP 2004084633A JP 2005271266 A JP2005271266 A JP 2005271266A
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Masaki Kai
雅紀 甲斐
Shinichi Ashizawa
信一 芦澤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cleaning method and a cleaning device for removing foreign matter in an ink channel of a liquid ejection head, and to provide a droplet ejection head and a droplet ejector. <P>SOLUTION: The inside of the ink channel of the droplet ejection head 1 is decompressed by exhausting air, and cleaned by combining cleaning by a cleaning fluid with cleaning by nitrogen gas while maintaining this decompressed state. Cleaning by pure water and the cleaning by the nitrogen gas are performed in the state of being combined with each other. Additionally, the cleaning method and the cleaning device can repeat the cleaning by the cleaning fluid, the cleaning by the pure water and the cleaning by the nitrogen gas a plurality of times. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドのインク流路内の洗浄方法、製造装置、及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置に関するものである。   The present invention relates to a method for cleaning an ink flow path of a droplet discharge head of a droplet discharge device, a manufacturing apparatus, a droplet discharge head, and a droplet discharge device.

近年、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドは液滴を発生(吐出)させるためのメカニズムに応じて各種の方式のものが知られている。例えば、ヒータを加熱して液体を沸騰させ、それによって生じる気泡圧で液滴を吐出する形式の液滴吐出ヘッドがある。また、液体を貯留した圧力室に貼り付けられた圧電素子に電圧を印加することにより圧力室の容積を膨張および収縮させて、液滴を吐出する形式の液滴吐出ヘッドがある。さらに、静電気力を利用して液体を貯留した圧力室の容積を変化させて、液滴の吐出を行う形式のものもある。いずれの形式の液滴吐出ヘッドにおいても、圧力室の圧力変動を利用して液滴をノズルから吐出させるようになっている。   2. Description of the Related Art In recent years, various types of droplet discharge heads of a droplet discharge apparatus are known depending on a mechanism for generating (discharge) droplets. For example, there is a droplet discharge head of a type in which a heater is heated to boil a liquid and a droplet is discharged with a bubble pressure generated thereby. In addition, there is a droplet discharge head of a type that discharges droplets by expanding and contracting the volume of a pressure chamber by applying a voltage to a piezoelectric element attached to a pressure chamber that stores liquid. Further, there is a type in which droplets are discharged by changing the volume of a pressure chamber in which liquid is stored using electrostatic force. In any type of liquid droplet ejection head, liquid droplets are ejected from a nozzle by utilizing the pressure fluctuation in the pressure chamber.

これらの型式の液滴吐出ヘッドは、インクが取り入れられるインク取り入れ口と、インクが吐出されるノズルとを連通するインク流路を有している。また、このインク流路には微小なインク供給口が形成されていて、このインク供給口は数十μmの大きさの穴が設けられていた。また、液滴吐出ヘッド製造過程では、異物がこのインク流路内に混入することがあって、この異物がインク流路内に詰まることによって、液滴吐出ヘッドがインクを吐出する時に、吐出不具合を発生するという可能性があった。このことによって、液滴吐出装置は高精度な印刷品質が得られないことがある。   These types of droplet discharge heads have an ink flow path that connects an ink intake port through which ink is taken in and a nozzle through which ink is discharged. In addition, a minute ink supply port is formed in the ink flow path, and the ink supply port is provided with a hole having a size of several tens of μm. Also, in the manufacturing process of the droplet discharge head, foreign matter may be mixed in the ink flow path, and when this foreign matter is clogged in the ink flow path, the discharge failure occurs when the droplet discharge head discharges ink. There was a possibility of generating. As a result, the droplet discharge device may not be able to obtain high-precision print quality.

例えば、特許文献1に開示されているように、このような現象を解消するために、液滴吐出ヘッドのインク流路内の異物の除去を行う洗浄方法が提案されていた(例えば、特許文献1参照)。   For example, as disclosed in Patent Document 1, in order to eliminate such a phenomenon, a cleaning method for removing foreign matters in the ink flow path of the droplet discharge head has been proposed (for example, Patent Document 1). 1).

特開平6−8471号公報JP-A-6-8471

ところが、この洗浄方法は洗浄液を排出しながら液滴吐出ヘッドのインク流路内の異物を除去する方法であって、液滴吐出ヘッドの一部に洗浄液排出口を設けた構造であった。小型で高密度化されたフェイスインクジェットタイプの液滴吐出ヘッドでは、ノズル孔が従来に比べてより小さくなり、しかも、隣り合うノズルの間隔がより狭く形成されたので、液滴吐出ヘッドの一部に洗浄液排出口を設けるスペースがなかった。このため、小型で高密度化に対応した液滴吐出ヘッドのインク流路内の洗浄方法と洗浄装置とが求められていた。   However, this cleaning method is a method of removing foreign matter in the ink flow path of the droplet discharge head while discharging the cleaning solution, and has a structure in which a cleaning liquid discharge port is provided in a part of the droplet discharge head. In a small and high-density face inkjet type droplet discharge head, the nozzle holes are smaller than before, and the interval between adjacent nozzles is narrower, so part of the droplet discharge head There was no space to provide a cleaning liquid outlet. For this reason, there has been a demand for a cleaning method and a cleaning device in the ink flow path of the droplet discharge head that is small and can cope with high density.

本発明の目的は、液滴吐出ヘッドのインク流路内の異物の除去を行う洗浄方法、洗浄装置、及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a cleaning method, a cleaning device, a droplet discharge head, and a droplet discharge device that remove foreign matters in an ink flow path of the droplet discharge head.

本発明の液滴吐出ヘッド洗浄装置は、インクが取り入れられるインク取り入れ口と、前記インクが吐出されるノズルとを連通するインク流路を備えた液滴吐出ヘッドを洗浄する液滴吐出ヘッド洗浄装置において、前記ノズルに接続して、前記インク流路内を排気することで所定の圧力まで減圧し、この減圧状態を保持する減圧部と、前記インク取り入れ口に接続して、前記インク流路内に液体を加圧しながら供給する液体供給部と、前記インク流路内に気体を加圧しながら供給する気体供給部と、前記液体を加圧しながら回収する液体回収部と、前記減圧部と、前記液体供給部と、前記気体供給部と、前記液体回収部とを制御する制御部を備え、前記制御部は、前記液体供給部と前記気体供給部とを交互に複数繰り返し、前記気体供給部と前記減圧部とを交互に複数繰り返すことを特徴とする。   The droplet discharge head cleaning device of the present invention is a droplet discharge head cleaning device that cleans a droplet discharge head having an ink flow path that communicates an ink intake port through which ink is introduced and a nozzle from which the ink is discharged. In the ink flow path, the pressure in the ink flow path is reduced to a predetermined pressure by evacuating the ink flow path, and the pressure reduction section that maintains this pressure reduction state is connected to the ink intake port. A liquid supply unit that supplies liquid while pressurizing the liquid, a gas supply unit that supplies gas while applying pressure to the ink flow path, a liquid recovery unit that recovers the liquid while applying pressure, the decompression unit, A controller that controls the liquid supply unit, the gas supply unit, and the liquid recovery unit, wherein the control unit alternately repeats the liquid supply unit and the gas supply unit a plurality of times; and Previous And repeating a plurality of pressure reducing portion alternately.

この発明によれば、ノズル側を減圧して液体と気体(ガス)とを用いて、これら液体と気体とを加圧しながら液滴吐出ヘッドのインク流路内に交互に導入することによって、この液滴吐出ヘッドのインク流路内に介在する異物を、ノズル孔から外部へ確実に排出することができる。このことによって、インク流路内を清浄に保つことが可能な液滴吐出ヘッドを形成できる。   According to the present invention, the nozzle side is depressurized and liquid and gas (gas) are used, and these liquid and gas are alternately introduced into the ink flow path of the droplet discharge head while being pressurized. Foreign matter present in the ink flow path of the droplet discharge head can be reliably discharged from the nozzle hole to the outside. This makes it possible to form a droplet discharge head that can keep the ink flow path clean.

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、インクが取り入れられるインク取り入れ口と、前記インクが吐出されるノズルとを連通するインク流路を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記ノズルに接続して、前記インク流路内を排気することで所定の圧力まで減圧し、この減圧状態を保持する第1の減圧工程と、前記インク流路内に液体を加圧しながら供給して、前記液体で洗浄する洗浄工程と、前記インク流路内に気体を加圧しながら供給して、前記気体で洗浄する第1の洗浄工程とを交互に複数回繰り返し行う第1の工程と、前記気体で洗浄する第2の洗浄工程と、前記減圧する第2の減圧工程とを交互に少なくとも1回繰り返し行う第2の工程とを備えていることを特徴とする。   According to another aspect of the invention, there is provided a method for manufacturing a droplet discharge head, comprising: an ink intake port through which an ink is taken in; and a nozzle through which the ink is discharged. Connecting, evacuating the ink flow path to a predetermined pressure, and maintaining the pressure-reduced state, supplying the liquid while pressurizing the liquid in the ink flow path, A first step of alternately repeating a cleaning step of cleaning with a liquid and a first cleaning step of supplying the gas in the ink flow path while pressurizing and cleaning with the gas; A second cleaning step for cleaning and a second step for alternately repeating the second pressure reducing step for reducing pressure at least once are provided.

この発明によれば、液体と気体(ガス)とを用いて、これら液体と気体とを加圧しながら液滴吐出ヘッドのインク流路内に交互に導入することによって、この液滴吐出ヘッドのインク流路内に介在する異物を、ノズル孔から外部へより確実に排出することができる。このことによって、インク流路内をより清浄に保つことが可能な液滴吐出ヘッドを形成できる。   According to the present invention, by using liquid and gas (gas) and alternately introducing the liquid and gas into the ink flow path of the droplet discharge head while pressurizing the liquid and gas, Foreign matter present in the flow path can be more reliably discharged from the nozzle hole to the outside. This makes it possible to form a droplet discharge head that can keep the ink flow path cleaner.

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、前記洗浄工程で用いられる前記液体は洗浄液であって、第2の減圧工程の後に、前記インク流路内の洗浄液を液体で洗い流すリンス工程を備えていることが望ましい。   The method for manufacturing a droplet discharge head according to the present invention includes a rinsing step in which the liquid used in the cleaning step is a cleaning liquid, and the cleaning liquid in the ink flow path is washed away with the liquid after the second decompression step. It is desirable.

この発明によれば、洗浄液を洗い流すことによって、インク流路内をより清浄にすることができる。このことによって、インク流路内をより清浄に保つことが可能な液滴吐出ヘッドを形成できる。   According to the present invention, the inside of the ink flow path can be further cleaned by washing away the cleaning liquid. This makes it possible to form a droplet discharge head that can keep the ink flow path cleaner.

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、前記第1の工程と前記第2の工程とを1サイクルとするサイクル工程を2回行い、第1のサイクル工程と第2のサイクル工程では液体が異なることが望ましい。   In the method for manufacturing a droplet discharge head according to the present invention, the cycle process in which the first process and the second process are performed as one cycle is performed twice, and the liquid is discharged in the first cycle process and the second cycle process. It is desirable to be different.

この発明によれば、各サイクル毎に洗浄液を選択することができるので、より洗浄効果が高まり、インク流路内を清浄に保つことが可能な液滴吐出ヘッドを提供することができる。   According to the present invention, since the cleaning liquid can be selected for each cycle, it is possible to provide a droplet discharge head that has a higher cleaning effect and can keep the ink flow path clean.

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、前記第1のサイクル工程の液体が洗浄液で、前記第2のサイクル工程の液体がリンス液であることが望ましい。   In the method for manufacturing a droplet discharge head according to the present invention, it is desirable that the liquid in the first cycle step is a cleaning liquid and the liquid in the second cycle step is a rinse liquid.

この発明によれば、洗浄液とリンス液とを用いるので、より洗浄効果が高まり、インク流路内を清浄に保つことが可能な液滴吐出ヘッドを提供することができる。   According to this invention, since the cleaning liquid and the rinsing liquid are used, it is possible to provide a liquid droplet ejection head that has a higher cleaning effect and can keep the ink flow path clean.

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、前記第1の工程は、前記洗浄工程で洗浄後の洗浄液を回収する回収工程とを備え、前記第2の工程は、前記洗浄工程で洗浄後のリンス液を排液する排液工程とを備え、前記第1サイクルにおける前記第2の工程と、前記第2サイクルにおける第1の工程の間に液体の排出先を回収容器側から、排液側へ切替える切替え工程とを備えていることを特徴とする。   In the method for manufacturing a droplet discharge head according to the present invention, the first step includes a recovery step of recovering the cleaning liquid after the cleaning in the cleaning step, and the second step is performed after the cleaning in the cleaning step. A draining step for draining the rinsing liquid, and the liquid discharge destination from the recovery container side to the draining side between the second step in the first cycle and the first step in the second cycle And a switching step of switching to the above.

この発明によれば、切替え工程があることによって、洗浄液を回収することができるので、何回でも洗浄液を使用可能となり、経済的である。よって、コストのかかりにくい液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。   According to this invention, since there is a switching step, the cleaning liquid can be recovered, so that the cleaning liquid can be used any number of times and is economical. Therefore, it is possible to provide a method for manufacturing a droplet discharge head that is less costly.

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、インクが取り入れられるインク取り入れ口と、前記インクが吐出されるノズルとを連通するインク流路を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記ノズルに接続して、前記インク流路内を排気することで所定の圧力まで減圧し、この減圧状態を保持する第1の減圧工程と、前記インク流路内に液体を加圧しながら供給して、前記液体で洗浄する洗浄工程と、前記インク流路内に気体を加圧しながら供給して、前記気体で洗浄する第1の洗浄工程とを交互に複数回繰り返し行う第1の工程と、前記第1の工程と前記第2の工程とを1サイクルとするサイクル工程を2回行い、第1のサイクル工程と第2のサイクル工程では液体が異なり、前記第1の工程は、前記洗浄工程で洗浄後の洗浄液を回収する回収工程とを備え、前記第1及び第2の工程は、前記洗浄工程で洗浄後のリンス液を排液する排液工程とを備え、前記第1サイクルにおける前記第2の工程と、前記第2サイクルにおける第1の工程の間に液体の排出先を回収容器側から、排液側へ切替える切替え工程とを備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。   According to another aspect of the invention, there is provided a method for manufacturing a droplet discharge head, comprising: an ink intake port through which an ink is taken in; and a nozzle through which the ink is discharged. Connecting, evacuating the ink flow path to a predetermined pressure, and maintaining the pressure-reduced state, supplying the liquid while pressurizing the liquid in the ink flow path, A first step of alternately repeating a cleaning step of cleaning with a liquid and a first cleaning step of supplying a gas into the ink flow path while pressurizing and cleaning with the gas; and The cycle process in which the process and the second process are performed as one cycle is performed twice. The liquid is different in the first cycle process and the second cycle process, and the first process is performed after the cleaning in the cleaning process. Collect the cleaning solution A recovery step, wherein the first and second steps include a draining step of draining the rinse liquid after the cleaning in the cleaning step, the second step in the first cycle, and the first step A method of manufacturing a droplet discharge head, comprising: a switching step of switching a liquid discharge destination from a collection container side to a drainage side during a first step in two cycles.

この発明によれば、減圧しながら、液体と気体(ガス)とを用いて、これら液体と気体とを加圧しながら液滴吐出ヘッドのインク流路内に、導入することによって、液滴吐出ヘッドのインク流路内に介在する異物または洗浄液の残さを、ノズル孔から外部へ確実に排出することができる。このことによって、インク流路内を清浄に保つことが可能な液滴吐出ヘッドを提供することができる。しかも、洗浄工程で使用した液体の回収もできる。   According to the present invention, the liquid droplet discharge head is introduced by using the liquid and the gas (gas) while reducing the pressure and introducing the liquid and the gas into the ink flow path of the liquid droplet discharge head while pressurizing the liquid and the gas. It is possible to reliably discharge the foreign matter or the cleaning liquid remaining in the ink flow path from the nozzle hole to the outside. Accordingly, it is possible to provide a droplet discharge head that can keep the inside of the ink flow path clean. In addition, the liquid used in the cleaning process can be recovered.

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、前記液体で洗浄する洗浄工程の前に粗洗浄工程を備えていることが望ましい。   The manufacturing method of the droplet discharge head of the present invention preferably includes a rough cleaning step before the cleaning step of cleaning with the liquid.

この発明によれば、インク流路内をあらかじめ洗浄することによって、大きな異物を除去できるので、より早くインク流路内を清浄できる。よって、インク吐出不具合を発生することの少ない液滴吐出ヘッドを提供することができる。   According to the present invention, since the large foreign matter can be removed by cleaning the inside of the ink channel in advance, the inside of the ink channel can be cleaned more quickly. Therefore, it is possible to provide a droplet discharge head that is less likely to cause ink discharge defects.

本発明の液滴吐出ヘッドは、前述の液滴吐出ヘッド製造方法で製造されたことが望ましい。   The droplet discharge head of the present invention is desirably manufactured by the above-described droplet discharge head manufacturing method.

この発明によれば、インク流路内の異物を除去できて、インク流路内が清浄になるので、インク吐出不具合を発生することの少ない液滴吐出ヘッドを提供することができる。   According to the present invention, since the foreign matter in the ink flow path can be removed and the inside of the ink flow path becomes clean, it is possible to provide a liquid droplet ejection head that is less likely to cause ink ejection problems.

本発明の液滴吐出装置は、前述の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であることが望ましい。   The droplet discharge device of the present invention is desirably a droplet discharge device including the above-described droplet discharge head.

この発明によれば、液滴吐出装置は前述の液滴吐出ヘッドを備えているので、高精度な印刷品質を確保可能な液滴吐出装置を提供できる。   According to this invention, since the droplet discharge device includes the above-described droplet discharge head, it is possible to provide a droplet discharge device that can ensure high-precision print quality.

以下、本発明の液滴吐出ヘッドの検査方法、液滴吐出ヘッドの検査装置、及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置について実施形態を挙げ、添付図面に沿って詳細に説明する。
(第1実施形態)
Hereinafter, embodiments of a droplet discharge head inspection method, a droplet discharge head inspection apparatus, a droplet discharge head, and a droplet discharge apparatus including the droplet discharge head according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Explained.
(First embodiment)

図1は本発明の第1実施形態としての液滴吐出ヘッド1の分解斜視図である。また、図2は液滴吐出ヘッド1の断面図である。   FIG. 1 is an exploded perspective view of a droplet discharge head 1 as a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the droplet discharge head 1.

図1及び図2に示すように、液滴吐出ヘッド1は、インク液滴23を基板の上面に設けたノズル21から吐出させるフェイスインクジェットタイプであり、静電駆動方式のものである。液滴吐出ヘッド1は、ノズルプレート4、キャビティプレート3、ガラス基板2が、この順序で重ね合された積層構造をしている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the droplet discharge head 1 is a face inkjet type that discharges ink droplets 23 from a nozzle 21 provided on the upper surface of a substrate, and is of an electrostatic drive type. The droplet discharge head 1 has a stacked structure in which a nozzle plate 4, a cavity plate 3, and a glass substrate 2 are stacked in this order.

キャビティプレート3は、例えばシリコン基板であり、図1に示すように、このキャビティプレート3の表面には底壁が振動板部5として機能する圧力室6を構成することになる凹部7が形成されている。   The cavity plate 3 is, for example, a silicon substrate. As shown in FIG. 1, the cavity plate 3 is formed with a recess 7 on the surface of which the bottom wall constitutes a pressure chamber 6 that functions as the vibration plate portion 5. ing.

この凹部7の後部に設けられたインク供給口8を構成することになる細溝9と、各々の圧力室6にインクを供給するためのインクリザーバ10を構成することになる凹部11とがエッチングによって形成されている。このキャビティプレート3の下面は鏡面研磨によって平滑化されており、ガラス基板2に対する取付け部とされている。   Etching is performed between the narrow groove 9 that constitutes the ink supply port 8 provided in the rear portion of the recess 7 and the recess 11 that constitutes the ink reservoir 10 for supplying ink to each pressure chamber 6. Is formed by. The lower surface of the cavity plate 3 is smoothed by mirror polishing and serves as a mounting portion for the glass substrate 2.

図1及び図2に示すように、このキャビティプレート3の上面(溝形成側の基板表面)に接合されるノズルプレート4において、圧力室6の上面を規定する壁部分には各圧力室6に連通する複数のノズル21が形成されている。この複数のノズル21から液滴23が吐出されることになる。   As shown in FIGS. 1 and 2, in the nozzle plate 4 joined to the upper surface of the cavity plate 3 (substrate surface on the groove forming side), the wall portion defining the upper surface of the pressure chamber 6 is provided in each pressure chamber 6. A plurality of nozzles 21 communicating with each other are formed. The droplets 23 are discharged from the plurality of nozzles 21.

このノズルプレート4およびキャビティプレート3を相互に重ね合わせることにより、ノズルプレート4とキャビティプレート3との間に、圧力室6、インク供給口8、およびインクリザーバ10とが区画形成される。ここで、この区画形成された圧力室6とインク供給口8とインクリザーバ10とで構成された部分を吐出室と言い、この吐出室とノズル21とインク取り入れ口31とで構成された空間部分にインクを流すことができるようにになっていて、この空間部分をインク流路と呼ぶ(図2参照)。   By overlapping the nozzle plate 4 and the cavity plate 3 with each other, the pressure chamber 6, the ink supply port 8, and the ink reservoir 10 are partitioned between the nozzle plate 4 and the cavity plate 3. Here, a portion formed by the partitioned pressure chamber 6, ink supply port 8, and ink reservoir 10 is called a discharge chamber, and a space portion formed by the discharge chamber, the nozzle 21, and the ink intake port 31. Ink can be allowed to flow through, and this space portion is called an ink flow path (see FIG. 2).

図3はインク流路部200の断面図である。
ここで、図3に示すように、インク流路部200はインク流路構成部材230とインク流路洗浄装置300の一部である吐出部材250とで構成されている。インク流路構成部材230は液滴吐出ヘッド1と接続部材220とで構成されている。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the ink flow path section 200.
Here, as shown in FIG. 3, the ink flow path unit 200 is configured by an ink flow path constituting member 230 and an ejection member 250 which is a part of the ink flow path cleaning device 300. The ink flow path constituting member 230 is constituted by the droplet discharge head 1 and the connection member 220.

接続部材220は、インク流入室208、インク流入路209が設けられた流路部材211と、ダンパ室202とをインクが流入するインク流入口203とが設けられたカバーダンパ201と、ダンパ204と、キャリッジ205と、カバー207とで構成されている。   The connection member 220 includes a cover damper 201 provided with an ink inflow chamber 208, a flow path member 211 provided with an ink inflow passage 209, an ink inlet 203 through which ink flows into the damper chamber 202, and a damper 204. , A carriage 205 and a cover 207.

流路部材211のインク流入室208にはフィルタ206が設けられていて、異物除去可能な機能を有している。また、インク流入路209はインク流入口203とインク取り入れ口31と連通している。   A filter 206 is provided in the ink inflow chamber 208 of the flow path member 211 and has a function of removing foreign matter. The ink inflow path 209 communicates with the ink inlet 203 and the ink intake 31.

接続部材220は、流路部材211とカバーダンパ201との間にダンパ204が挿入されており、流路部材211とカバーダンパ201とが接着剤により接合されている。この接続部材220と液滴吐出ヘッド1とキャリッジ205とカバー207とが接着剤により接合されている。また、カバー207は液滴吐出ヘッド1のノズル21側の一部を覆うように組み込まれている(図3参照)。   In the connection member 220, the damper 204 is inserted between the flow path member 211 and the cover damper 201, and the flow path member 211 and the cover damper 201 are joined by an adhesive. The connecting member 220, the droplet discharge head 1, the carriage 205, and the cover 207 are joined together with an adhesive. The cover 207 is incorporated so as to cover a part of the droplet discharge head 1 on the nozzle 21 side (see FIG. 3).

液滴吐出ヘッド1のキャビティプレート3のインクリザーバ10の天面に対応する壁部分にはインク取り入れ口31が形成されている。このインク取り入れ口31はインクリザーバ10、ガラス基板2、流路部材211と、カバーダンパ201と連通していて、このカバーダンパ201の外側には接続パイプ210とインクが外部から流入することができるインク流入口203とが形成されている。   An ink intake port 31 is formed in a wall portion corresponding to the top surface of the ink reservoir 10 of the cavity plate 3 of the droplet discharge head 1. The ink intake port 31 communicates with the ink reservoir 10, the glass substrate 2, the flow path member 211, and the cover damper 201, and the connection pipe 210 and ink can flow from the outside to the outside of the cover damper 201. An ink inlet 203 is formed.

この接続パイプ210と吐出部材250との構成を図3に示す。吐出部材250はインク流路洗浄装置300に接続されている。ここで、接続パイプ210と吐出部材250とを接続して、液体または気体(ガス)などを外部から供給することによって、液滴吐出ヘッド1のインク流路内を洗浄する構成になっている。また、液滴吐出ヘッド1を製造する工程において、印字検査前と、印字検査後との2種類の状態の液滴吐出ヘッド1の洗浄を行うことがある。   The configuration of the connection pipe 210 and the discharge member 250 is shown in FIG. The ejection member 250 is connected to the ink flow path cleaning device 300. Here, the connection pipe 210 and the discharge member 250 are connected, and the inside of the ink flow path of the droplet discharge head 1 is cleaned by supplying liquid or gas (gas) from the outside. In the process of manufacturing the droplet discharge head 1, the droplet discharge head 1 in two types of states, that is, before the print inspection and after the print inspection may be cleaned.

一方、この接続パイプ210は、図示しないチューブを介してインクタンク101(図9を参照)のインク供給源に接続されていて、液滴吐出装置100が運転することによって、印字可能となっている。このインクタンク101から接続パイプ210と接続部材220とインク取り入れ口31とを介してインクリザーバ10にインクが供給可能となっている。 On the other hand, the connection pipe 210 is connected to an ink supply source of the ink tank 101 (see FIG. 9) via a tube (not shown), and printing is possible when the droplet discharge device 100 is operated. . Ink can be supplied from the ink tank 101 to the ink reservoir 10 through the connection pipe 210, the connection member 220, and the ink intake port 31.

吐出部材250は、吐出口251とOリング252とで構成されている(図3参照)。
この吐出部材250と接続パイプ210とを接続して、液体または気体(ガス)などを外部から供給する時に、この接続部分から漏れないように、Oリング252を吐出部材250に設けた構成になっていて、気密性を確保している(図3参照)。
The discharge member 250 includes a discharge port 251 and an O-ring 252 (see FIG. 3).
When the discharge member 250 and the connection pipe 210 are connected and liquid or gas (gas) is supplied from the outside, an O-ring 252 is provided in the discharge member 250 so as not to leak from the connection portion. And airtightness is ensured (see FIG. 3).

なお、吐出部材250は図4に示すインク流路洗浄装置300に搭載されている。この吐出部材250と、接続パイプ210とを接続して、吐出部材250側からインク流路構成部材230側に、洗浄液と純水とN2ガスとが供給される構成になっている。これら洗浄液と純水とN2ガスとがインク流路構成部材230に供給されて、インク流入口203とインク流入路209とインク取り入れ口31とを通過して、ノズル21から排液されることによって、液滴吐出ヘッド1のインク流路内が洗浄される構成になっている。   The ejection member 250 is mounted on the ink flow path cleaning device 300 shown in FIG. The discharge member 250 and the connection pipe 210 are connected, and the cleaning liquid, pure water, and N 2 gas are supplied from the discharge member 250 side to the ink flow path component 230 side. The cleaning liquid, pure water, and N 2 gas are supplied to the ink flow path component 230, pass through the ink inlet 203, the ink inlet 209, and the ink intake 31, and are discharged from the nozzle 21. The ink flow path of the droplet discharge head 1 is cleaned.

図4は液滴吐出ヘッド洗浄装置の概略図であり、図5は配管系統図である。   FIG. 4 is a schematic view of a droplet discharge head cleaning device, and FIG. 5 is a piping system diagram.

図4及び図5に示すように、インク流路洗浄装置300は架台301、筐体302、脱着式ドレンパン303、ワークセット部304、排液回収パッド305、ワーク抜け用ハンドバルブ306との構成になっている。ここで、架台301の上に筐体302と脱着式ドレンパン303が固定されていて、筐体302の上には後述する制御部360が搭載され、かつ、固定されている。また、ワークセット部304はインク流路構成部材230をセットすることができる構成になっている。排液回収パッド305はインク流路構成部材230の下方に配置されていて、排液が回収できるような構成になっている。ワーク抜け用ハンドバルブ306はワークセット部304からインク流路構成部材230を外す時に用いるものであって、手動操作できるような構成になっている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the ink flow path cleaning device 300 has a structure including a gantry 301, a casing 302, a removable drain pan 303, a work setting unit 304, a drainage recovery pad 305, and a work removal hand valve 306. It has become. Here, a housing 302 and a detachable drain pan 303 are fixed on the gantry 301, and a control unit 360 to be described later is mounted and fixed on the housing 302. Further, the work setting unit 304 is configured to be able to set the ink flow path constituting member 230. The drainage recovery pad 305 is disposed below the ink flow path constituting member 230 so that the drainage can be recovered. The workpiece removal hand valve 306 is used when the ink flow path constituting member 230 is removed from the workpiece setting unit 304, and is configured to be manually operated.

また、インク流路洗浄装置300は減圧部310、洗浄液供給部320、洗浄液回収部330、純水供給部340、窒素ガス供給部350、制御部360との構成になっている。   The ink flow path cleaning apparatus 300 includes a decompression unit 310, a cleaning liquid supply unit 320, a cleaning liquid recovery unit 330, a pure water supply unit 340, a nitrogen gas supply unit 350, and a control unit 360.

減圧部310は減圧ポンプ311、エアーバルブ312、エアーバルブ313との構成になっている。減圧ポンプ311はワークセット部304に設置されたインク流路構成部材230のインク流路内を減圧する機能を有している。この減圧ポンプ311は700mHgまで減圧することが可能である。また、エアーバルブ312は減圧ポンプ311と接続されていて、制御部360からの制御信号を受けて洗浄液を外部へ排液、または洗浄液回収タンク331へ切換えるバルブである。また、エアーバルブ313は減圧ポンプ311と洗浄液回収タンク331との間に接続されていて、回収された洗浄液を洗浄液回収タンク331に供給するバルブである。   The decompression unit 310 includes a decompression pump 311, an air valve 312, and an air valve 313. The decompression pump 311 has a function of decompressing the ink flow path of the ink flow path constituting member 230 installed in the work setting unit 304. The decompression pump 311 can depressurize to 700 mHg. The air valve 312 is connected to the decompression pump 311 and receives a control signal from the control unit 360 to discharge the cleaning liquid to the outside or switch it to the cleaning liquid recovery tank 331. The air valve 313 is connected between the decompression pump 311 and the cleaning liquid recovery tank 331, and supplies the recovered cleaning liquid to the cleaning liquid recovery tank 331.

洗浄液供給部320は洗浄液供給タンク321、エアーバルブ322、プレフィルタ323、レギュレータ324、エアーバルブ325、逆止弁326、エアーバルブ327とが、この順序で接続された構成になっている。   The cleaning liquid supply unit 320 has a configuration in which a cleaning liquid supply tank 321, an air valve 322, a prefilter 323, a regulator 324, an air valve 325, a check valve 326, and an air valve 327 are connected in this order.

洗浄液供給タンク321は加圧式であって、その圧力が0.4MPaである。また、この洗浄液供給タンク321の容積は約20Lである。また、エアーバルブ322は洗浄液供給タンク321とプレフィルタ323との間に接続されていて、洗浄液を外部へ排液するバルブである。また、プレフィルタ323は供給する洗浄液の清浄性を高めるために設けられており、5μm以上の大きさの異物を除去することが可能である。レギュレータ324は洗浄液供給タンク321から洗浄液を供給するときの圧力を調整するものであって、洗浄液の供給圧力を任意に設定できる。また、エアーバルブ325は洗浄液の供給と停止を切替えるバルブであって、制御部360からの制御信号を受けて作動する。また、逆止弁326は洗浄液が逆流しないように設けられた逆止弁である。また、エアーバルブ327は、洗浄液供給タンク321に対して外部から窒素ガスを供給するためのバルブである。   The cleaning liquid supply tank 321 is a pressure type, and its pressure is 0.4 MPa. The volume of the cleaning liquid supply tank 321 is about 20L. The air valve 322 is connected between the cleaning liquid supply tank 321 and the prefilter 323, and is a valve for discharging the cleaning liquid to the outside. The prefilter 323 is provided to improve the cleanliness of the supplied cleaning liquid, and can remove foreign matters having a size of 5 μm or more. The regulator 324 adjusts the pressure when supplying the cleaning liquid from the cleaning liquid supply tank 321, and can arbitrarily set the supply pressure of the cleaning liquid. The air valve 325 is a valve that switches between supply and stop of the cleaning liquid, and operates in response to a control signal from the control unit 360. The check valve 326 is a check valve provided so that the cleaning liquid does not flow backward. The air valve 327 is a valve for supplying nitrogen gas to the cleaning liquid supply tank 321 from the outside.

洗浄液回収部330は洗浄液回収タンク331とエアーバルブ332と移送用フィルタ333とエアーバルブ334とが、この順序で接続されている。また、洗浄液回収タンク331から分岐してエアーバルブ335が接続されている構成になっている。   In the cleaning liquid recovery unit 330, a cleaning liquid recovery tank 331, an air valve 332, a transfer filter 333, and an air valve 334 are connected in this order. Further, the air valve 335 is branched from the cleaning liquid recovery tank 331 and connected thereto.

洗浄液回収タンク331は加圧式であって、その圧力が0.4MPaである。また、この洗浄液回収タンク331の容積は約20Lである。エアーバルブ332は洗浄液回収タンク331と移送用フィルタ333との間に接続されていて、回収された洗浄液を移送用フィルタ333側に供給するためのバルブである。移送用フィルタ333は回収された洗浄液の清浄性を高めるために設けられており、20μm以上の大きさの異物を除去することが可能である。エアーバルブ334は移送用フィルタ333と洗浄液供給タンク321との間に接続されていて、回収された洗浄液を洗浄液供給タンク321側に供給するためのバルブである。エアーバルブ335は洗浄液回収タンク331に対して外部から窒素ガスを供給するためのバルブである。   The cleaning liquid recovery tank 331 is a pressure type, and its pressure is 0.4 MPa. The volume of the cleaning liquid recovery tank 331 is about 20L. The air valve 332 is connected between the cleaning liquid recovery tank 331 and the transfer filter 333 and is a valve for supplying the recovered cleaning liquid to the transfer filter 333 side. The transfer filter 333 is provided to improve the cleanliness of the recovered cleaning liquid, and can remove foreign matters having a size of 20 μm or more. The air valve 334 is connected between the transfer filter 333 and the cleaning liquid supply tank 321 and is a valve for supplying the recovered cleaning liquid to the cleaning liquid supply tank 321 side. The air valve 335 is a valve for supplying nitrogen gas to the cleaning liquid recovery tank 331 from the outside.

純水供給部340はプレフィルタ341とレギュレータ342とエアーバルブ343と逆止弁344とが、この順序で接続されている構成になっている。また、純水供給部340には外部から純水が供給可能な、図示しない純水導入部を有している。   The pure water supply unit 340 has a configuration in which a pre-filter 341, a regulator 342, an air valve 343, and a check valve 344 are connected in this order. The pure water supply unit 340 includes a pure water introduction unit (not shown) that can supply pure water from the outside.

図示しない外部から純水が供給され、この供給された純水は0.14MPaの圧力が加わっている。この純水は、プレフィルタ341を通してレギュレータ342側に通過する。プレフィルタ341は純水の清浄性を高めるために設けられており、5μm以上の大きさの異物を除去することが可能である。レギュレータ342は純水を供給するときの圧力を設定するものであって、純水の供給圧力を設定できる。エアーバルブ343は純水の供給と停止とを切替えるバルブである。逆止弁344は純水が逆流しないように設けられた逆止弁である。   Pure water is supplied from the outside (not shown), and a pressure of 0.14 MPa is applied to the supplied pure water. The pure water passes through the prefilter 341 to the regulator 342 side. The prefilter 341 is provided to improve the cleanliness of pure water, and can remove foreign matters having a size of 5 μm or more. The regulator 342 sets the pressure when supplying pure water, and can set the supply pressure of pure water. The air valve 343 is a valve for switching between supply and stop of pure water. The check valve 344 is a check valve provided so that pure water does not flow backward.

窒素ガス供給部350はプレフィルタ351とレギュレータ352とエアーバルブ353と差圧計354とファイナルフィルタ355とが、この順序で接続されている構成になっている。また、窒素ガス供給部350には外部から窒素ガスが供給可能な、図示しない窒素ガス導入部を有している。   The nitrogen gas supply unit 350 has a configuration in which a pre-filter 351, a regulator 352, an air valve 353, a differential pressure gauge 354, and a final filter 355 are connected in this order. The nitrogen gas supply unit 350 includes a nitrogen gas introduction unit (not shown) that can supply nitrogen gas from the outside.

図示しない外部から窒素ガスが供給され、この供給された窒素ガスは0.4MPaの圧力が加わっている。この窒素ガスは、プレフィルタ351を通してレギュレータ352側に通過する。プレフィルタ351は窒素ガスの清浄性を高めるために設けられており、5μm以上の大きさの異物を除去することが可能である。レギュレータ352は窒素ガスを供給するときの圧力を調整するものであって、窒素ガスの供給圧力を設定できる。なお、エアーバルブ353は窒素ガスの供給と停止とを制御部360の制御信号によって切替えることができるバルブである。   Nitrogen gas is supplied from the outside (not shown), and a pressure of 0.4 MPa is applied to the supplied nitrogen gas. The nitrogen gas passes through the prefilter 351 to the regulator 352 side. The prefilter 351 is provided in order to improve the cleanliness of nitrogen gas, and can remove foreign matters having a size of 5 μm or more. The regulator 352 adjusts the pressure when supplying nitrogen gas, and can set the supply pressure of nitrogen gas. The air valve 353 is a valve capable of switching between supply and stop of nitrogen gas by a control signal of the control unit 360.

ファイナルフィルタ355がこれら洗浄液と純水と窒素ガスとの清浄性を高めるために設けられており、5μm以上の大きさの異物を除去することが可能である。また、差圧計354はこのファイナルフィルタ355の目詰まりを確認するために設けられたものである。   A final filter 355 is provided to improve the cleanliness of the cleaning liquid, pure water, and nitrogen gas, and can remove foreign matters having a size of 5 μm or more. Further, the differential pressure gauge 354 is provided for checking the clogging of the final filter 355.

ここで、インク流路洗浄装置300は制御部360によって制御される。この制御部360は電装ボックス361と操作パネル362とで構成されている。また、操作パネル362には図示しないブザーを有している。また、制御部360は減圧部310、洗浄液供給部320、洗浄液回収部330、純水供給部340、窒素ガス供給部350とを制御する機能を有している。   Here, the ink flow path cleaning device 300 is controlled by the control unit 360. The control unit 360 includes an electrical box 361 and an operation panel 362. The operation panel 362 has a buzzer (not shown). The control unit 360 also has a function of controlling the decompression unit 310, the cleaning liquid supply unit 320, the cleaning liquid recovery unit 330, the pure water supply unit 340, and the nitrogen gas supply unit 350.

インク流路洗浄装置300は制御部360に外部から電源供給可能になっている。電装ボックス361及び操作パネル362を操作して、このインク流路洗浄装置300を運転する。   The ink flow path cleaning apparatus 300 can supply power to the control unit 360 from the outside. The ink flow path cleaning device 300 is operated by operating the electrical box 361 and the operation panel 362.

第1実施形態における液滴吐出ヘッド1、及び製造装置、並びに液滴吐出装置100の構成は以上のようであって、図4〜図6、図9を参照しながら、液滴吐出ヘッド1のインク流路内の洗浄方法と液滴吐出装置100について説明する。   The configurations of the droplet discharge head 1, the manufacturing apparatus, and the droplet discharge device 100 in the first embodiment are as described above, and the configuration of the droplet discharge head 1 is described with reference to FIGS. 4 to 6 and 9. A cleaning method in the ink flow path and the droplet discharge device 100 will be described.

図9に示すように、液滴吐出装置100は、プラテン103により記録紙104を搬送させつつ、キャリッジ102を移動させて、記録紙104と液滴吐出ヘッド1との相対位置を制御しながら、インクをインクタンク101から供給して、液滴吐出ヘッド1からインク液滴23を吐出させることにより、任意の文字や画像を記録紙104に印刷する。   As shown in FIG. 9, the droplet discharge device 100 controls the relative position between the recording sheet 104 and the droplet discharge head 1 by moving the carriage 102 while conveying the recording sheet 104 by the platen 103. By supplying ink from the ink tank 101 and ejecting ink droplets 23 from the droplet ejection head 1, arbitrary characters and images are printed on the recording paper 104.

ここで、図6は第1実施形態の洗浄工程を示すフローチャートである。なお、この洗浄工程はインク流路内にインクが入っていない時の液滴吐出ヘッド1のインク流路内洗浄を行うものであって、液滴吐出ヘッド1の組み立て後に行う。   Here, FIG. 6 is a flowchart showing the cleaning process of the first embodiment. This cleaning step is for cleaning the ink flow path of the droplet discharge head 1 when no ink is in the ink flow path, and is performed after the droplet discharge head 1 is assembled.

図4、図5に示すように、最初に、インク流路部200をインク流路洗浄装置300に設けられているワークセット部304にセットする。操作パネル362にある操作開始ボタンを押し、インク流路洗浄装置300側の吐出部材250が下降して、インク流路構成部材230のインク接続パイプ210と接続し、さらに吐出部材250とインク流路構成部材230とが接続された状態で下降し、インク流路構成部材230のノズル21と排液回収パッド305とを接続させる。そうすることにより、インク取り入れ口31と、ノズル21とが気密状態に、減圧ポンプ311により封止される。その後運転開始する(図6のS1)。   As shown in FIGS. 4 and 5, first, the ink flow path unit 200 is set in the work setting unit 304 provided in the ink flow path cleaning device 300. When the operation start button on the operation panel 362 is pressed, the discharge member 250 on the ink flow path cleaning device 300 side is lowered and connected to the ink connection pipe 210 of the ink flow path constituting member 230. Further, the discharge member 250 and the ink flow path are connected. The component member 230 is lowered in a connected state, and the nozzle 21 of the ink flow path component member 230 and the drainage recovery pad 305 are connected. By doing so, the ink intake port 31 and the nozzle 21 are sealed by the decompression pump 311 in an airtight state. Thereafter, the operation is started (S1 in FIG. 6).

図6にインク流路洗浄装置300が液滴吐出ヘッド1のインク流路内の洗浄を開始(スタート)してから終了(エンド)するまでの工程を示す。   FIG. 6 shows steps from the start (start) to the end (end) of cleaning of the ink flow path of the droplet discharge head 1 by the ink flow path cleaning apparatus 300.

インク流路構成部材230をインク流路洗浄装置300にセットする。ここで、外部から電源供給されて、インク流路洗浄装置300が作動し始めると、インク接続パイプ210と吐出部材250と排液回収パッド305とを接続する。工程S1では(図示せず)減圧ポンプ311が作動する。この減圧ポンプ311が作動することによって、吐出室の大気が排気されて、液滴吐出ヘッド1のインク流路内が減圧される。なお、この減圧動作は図6に示すインク流路内洗浄の流路内減圧(S1)から流路内減圧停止(S15)まで続く。   The ink flow path component 230 is set in the ink flow path cleaning device 300. Here, when power is supplied from the outside and the ink flow path cleaning device 300 starts to operate, the ink connection pipe 210, the ejection member 250, and the drainage recovery pad 305 are connected. In step S1, the decompression pump 311 is activated (not shown). By operating the decompression pump 311, the atmosphere in the ejection chamber is exhausted, and the inside of the ink flow path of the droplet ejection head 1 is decompressed. This pressure reduction operation continues from the pressure reduction (S1) in the ink flow path cleaning shown in FIG. 6 to the pressure reduction stop (S15) in the flow path.

工程S2では液滴吐出ヘッド1のインク流路内が減圧された状態で、吐出部材250側から接続部材220を通して液滴吐出ヘッド1のインク流路内(吐出室)に外部から(図示せず)純水を供給する。この時、制御部360からの制御信号を受けて、タイマにより設定された時間だけエアーバルブ343が作動して、純水が供給され、液滴吐出ヘッド1のインク流路内を純水で置換して、このインク流路内を洗浄する。   In step S2, the inside of the ink flow path of the droplet discharge head 1 is depressurized, and from the discharge member 250 side to the inside of the ink flow path (discharge chamber) of the droplet discharge head 1 through the connection member 220 (not shown). ) Supply pure water. At this time, in response to a control signal from the control unit 360, the air valve 343 is operated for a time set by the timer to supply pure water, and the ink flow path of the droplet discharge head 1 is replaced with pure water. Then, the inside of the ink flow path is washed.

工程S3ではこのインク流路内が純水で置換されたら制御部360からの制御信号を受けて、エアーバルブ343が作動して、純水の供給を停止する。   In step S3, when the inside of the ink flow path is replaced with pure water, a control signal is received from the control unit 360, and the air valve 343 is operated to stop the supply of pure water.

工程S4では吐出部材250側から接続部材220を通して液滴吐出ヘッド1のインク流路内に、外部から(図示せず)窒素ガスを供給する。この時、制御部360からの制御信号を受けて、タイマにより設定された時間だけエアーバルブ353が作動して、このインク流路内に溜まった純水をこの窒素ガスで排液する。   In step S4, nitrogen gas is supplied from the outside (not shown) into the ink flow path of the droplet discharge head 1 through the connection member 220 from the discharge member 250 side. At this time, in response to a control signal from the control unit 360, the air valve 353 is operated for a time set by the timer, and the pure water accumulated in the ink flow path is discharged with the nitrogen gas.

工程S5では制御部360からの制御信号を受けて、エアーバルブ353が作動して、窒素ガスの供給を停止する。   In step S5, in response to a control signal from the control unit 360, the air valve 353 is activated to stop the supply of nitrogen gas.

工程S6では制御部360からの制御信号を受けて、タイマにより設定された時間だけエアーバルブ343が作動して、外部から(図示せず)インク流路内(吐出室)に純水を供給して、インク流路内を洗浄する。   In step S6, in response to a control signal from the control unit 360, the air valve 343 is operated for a time set by a timer to supply pure water from the outside (not shown) into the ink flow path (discharge chamber). Then, the inside of the ink flow path is washed.

工程S7では制御部360からの制御信号を受けて、エアーバルブ343が作動して、純水の供給を停止する。   In step S7, in response to a control signal from the control unit 360, the air valve 343 is operated to stop the supply of pure water.

工程S8では制御部360からの制御信号を受けて、タイマにより設定された時間だけエアーバルブ353が作動して、吐出部材250側から接続部材220を通して液滴吐出ヘッド1のインク流路内に、外部から(図示せず)窒素ガスを供給して、インク流路内を洗浄する。   In step S8, upon receiving a control signal from the control unit 360, the air valve 353 is operated for a time set by the timer, and from the discharge member 250 side through the connection member 220 into the ink flow path of the droplet discharge head 1. Nitrogen gas is supplied from outside (not shown) to clean the inside of the ink flow path.

工程S9では制御部360からの制御信号を受けて、窒素ガスを停止して、インク流路内を減圧する。   In step S9, in response to a control signal from the control unit 360, the nitrogen gas is stopped and the inside of the ink flow path is decompressed.

工程S10では工程S6から工程S9までの工程を繰り返す。この繰り返し回数を1〜m回まで設定できる。インク流路内の洗浄が不充分であった場合(NOの場合)には、工程S6から工程S9までを1〜m回繰り返す。工程S6から工程S10までは、場合によっては工程を省略することもある。   In step S10, the steps from step S6 to step S9 are repeated. The number of repetitions can be set from 1 to m times. If the ink flow path is insufficiently washed (in the case of NO), Steps S6 to S9 are repeated 1 to m times. Steps S6 to S10 may be omitted depending on circumstances.

工程S11ではインク流路内を減圧する。   In step S11, the inside of the ink flow path is depressurized.

工程S12では制御部360からの制御信号を受けて、タイマにより設定された時間だけエアーバルブ353が作動して、窒素ガスの供給を行い、インク流路内を洗浄する。   In step S12, in response to a control signal from the control unit 360, the air valve 353 is operated for a time set by the timer to supply nitrogen gas and clean the inside of the ink flow path.

工程S13では窒素ガスの供給が停止して、インク流路内が減圧される。この時、制御部360からの制御信号を受けて、吐出部材250が接続パイプ210から外れる。   In step S13, the supply of nitrogen gas is stopped and the inside of the ink flow path is depressurized. At this time, in response to a control signal from the control unit 360, the discharge member 250 is detached from the connection pipe 210.

このことによって、工程S14では大気が接続部材220のインク流入口203を通してインク流入路209に流れ込み、さらに、大気がインク取り入れ口31を通して液滴吐出ヘッド1に流れ込み、液滴吐出ヘッド1のインク流路内を乾燥する。 Accordingly, in step S14, the atmosphere flows into the ink inflow path 209 through the ink inlet 203 of the connection member 220, and further, the atmosphere flows into the droplet discharge head 1 through the ink intake port 31, and the ink flow of the droplet discharge head 1 is increased. Dry the street.

工程S15ではインク流路洗浄装置300が停止することで、インク流路内の減圧動作が終了する。   In step S15, the ink flow path cleaning device 300 stops, and the pressure reducing operation in the ink flow path is completed.

純水と窒素ガスとの組み合わせにおける、液滴吐出ヘッド1の組み立て後の洗浄方法について図6に示す。ここで、図6に示すように、純水供給部340から純水の供給が始まり、液滴吐出ヘッド1のインク流路内を純水で置換して、流路内を洗浄する。インク流路内が純水による置換が終わると、窒素ガス供給部350から窒素ガスの供給が始まり、液滴吐出ヘッド1のインク流路内の純水が排出される。次に、再度、純水供給部340から純水を供給して、液滴吐出ヘッド1のインク流路内を洗浄する。再度、窒素ガス供給部350から窒素ガスを供給して、液滴吐出ヘッド1のインク流路内を洗浄する。ここで、純水と、窒素ガスとの洗浄を繰り返して行うことができるので、工程S10で流路内洗浄の結果がNOであれば、あらかじめ繰り返し洗浄回数を設定しておくことによって(この場合m回まで設定可能)、インク流路内の繰り返し洗浄ができる。   FIG. 6 shows a cleaning method after assembling the droplet discharge head 1 in a combination of pure water and nitrogen gas. Here, as shown in FIG. 6, the supply of pure water starts from the pure water supply unit 340, the inside of the ink flow path of the droplet discharge head 1 is replaced with pure water, and the inside of the flow path is cleaned. When the replacement of the ink channel with pure water is completed, the supply of nitrogen gas starts from the nitrogen gas supply unit 350 and the pure water in the ink channel of the droplet discharge head 1 is discharged. Next, pure water is supplied again from the pure water supply unit 340 to wash the ink flow path of the droplet discharge head 1. Again, nitrogen gas is supplied from the nitrogen gas supply unit 350 to clean the ink flow path of the droplet discharge head 1. Here, since cleaning with pure water and nitrogen gas can be performed repeatedly, if the result of cleaning in the flow path is NO in step S10, the number of times of cleaning is set in advance (in this case) m can be set up to m times), and the ink channel can be repeatedly washed.

ここで、インク流路内洗浄が設定したm回分終わると、窒素ガスでインク流路内に溜まった純水を排液して、窒素ガスの供給が止まり、インク流路内が減圧状態になる。次に、吐出部材250が接続パイプ210から外れる。このことによって、大気がインク流路内に導入されて液滴吐出ヘッド1のインク流路内が乾燥する(S14)。その後、インク流路内の減圧が停止する(S15)。   Here, when the cleaning in the ink flow path is completed for the set m times, the pure water accumulated in the ink flow path is drained with nitrogen gas, the supply of the nitrogen gas is stopped, and the pressure in the ink flow path is reduced. . Next, the discharge member 250 is detached from the connection pipe 210. As a result, the atmosphere is introduced into the ink flow path, and the ink flow path of the droplet discharge head 1 is dried (S14). Thereafter, the pressure reduction in the ink flow path stops (S15).

以上のような第1実施形態では、次のような効果が得られる。
(1)洗浄液と窒素ガスとの組み合わせ、または純水と窒素ガスとの組み合わせを採用して、液滴吐出ヘッド1のインク流路内を減圧しながら洗浄することができる。
(2)洗浄液と窒素ガスの組み合わせによる繰り返し洗浄と、純水と窒素ガスとの組み合わせによる繰り返し洗浄とができる。
(3)従って、液滴吐出ヘッド1の組み立て後のインク流路内に介在する異物を、ノズル21から外部へより確実に排出することができる。従って、液滴吐出ヘッド1のインク流路内が清浄になる。よって、より安定した印字品質が可能な液滴吐出ヘッドと液滴吐出装置とを提供することができる。また、このような方式の洗浄方法と製造装置とを提供することができる。
(4)また、この洗浄方法と製造装置は、洗浄液を回収することができる機能を有しているので、この回収した洗浄液で液滴吐出ヘッド1の洗浄ができる。従って、経済的である。
(第2実施形態)
In the first embodiment as described above, the following effects are obtained.
(1) By using a combination of a cleaning liquid and nitrogen gas, or a combination of pure water and nitrogen gas, the inside of the ink flow path of the droplet discharge head 1 can be cleaned while decompressing.
(2) Repeated cleaning by a combination of cleaning liquid and nitrogen gas and repeated cleaning by a combination of pure water and nitrogen gas can be performed.
(3) Accordingly, the foreign matter present in the ink flow path after the assembly of the droplet discharge head 1 can be more reliably discharged from the nozzle 21 to the outside. Accordingly, the ink flow path of the droplet discharge head 1 is cleaned. Therefore, it is possible to provide a droplet discharge head and a droplet discharge device that are capable of more stable printing quality. In addition, a cleaning method and a manufacturing apparatus of this type can be provided.
(4) Further, since the cleaning method and the manufacturing apparatus have a function of recovering the cleaning liquid, the droplet discharge head 1 can be cleaned with the recovered cleaning liquid. Therefore, it is economical.
(Second Embodiment)

図7及び図8は第2実施形態の洗浄工程を示すフローチャートである。
なお、インク流路部200の完成後、液滴吐出装置本体に(インクジェットプリンタ)、液滴吐出ヘッド1を組み付ける前に印字検査を行い、この印字検査後に洗浄を行う。この時、インク流路部200のインク流路内にインクが残った状態にある。この残留インクを取り除くことが出荷前に必要である。
7 and 8 are flowcharts showing the cleaning process of the second embodiment.
After the ink flow path unit 200 is completed, a print inspection is performed before the droplet discharge head 1 is assembled to the droplet discharge apparatus main body (inkjet printer), and cleaning is performed after the print inspection. At this time, the ink remains in the ink flow path of the ink flow path portion 200. It is necessary to remove this residual ink before shipment.

工程S51ではインク流路内を減圧する。この減圧方法は前述の工程S1と同様である。なお、この減圧動作は図7、図8に示すインク流路内洗浄の流路内減圧(S51)から流路内減圧停止(S72)まで続く。   In step S51, the pressure inside the ink flow path is reduced. This decompression method is the same as that in the above-described step S1. This decompression operation continues from the in-channel pressure reduction (S51) of the ink channel cleaning shown in FIGS. 7 and 8 to the in-channel decompression stop (S72).

工程S52ではインク流路内が減圧された状態で、制御部360からの制御信号を受けて、洗浄液供給タンク321が作動して、吐出部材250側から液滴吐出ヘッド1のインク流路内(吐出室)に洗浄液を供給して、インク流路内を洗浄液で置換して洗浄する。ここで用いられる洗浄液は、アルカリ性洗浄液を用いた。   In step S52, in a state where the inside of the ink flow path is decompressed, the cleaning liquid supply tank 321 operates in response to a control signal from the control unit 360, and the inside of the ink flow path (from the ejection member 250 side) A cleaning liquid is supplied to the discharge chamber, and the inside of the ink flow path is replaced with the cleaning liquid for cleaning. The cleaning liquid used here was an alkaline cleaning liquid.

工程S53では制御部360からの制御信号を受けて、洗浄液供給タンク321の運転を停止して、洗浄液供給を停止する。   In step S53, in response to a control signal from the control unit 360, the operation of the cleaning liquid supply tank 321 is stopped and the supply of the cleaning liquid is stopped.

工程S54では外部から(図示せず)窒素ガスを吐出部材250側から液滴吐出ヘッド1のインク流路内に供給する。この時、制御部360からの制御信号を受けて、タイマにより設定された時間だけエアーバルブ353が作動して、このインク流路内に溜まった洗浄液をこの窒素ガスで排出する。   In step S54, nitrogen gas (not shown) is supplied from the outside to the ink flow path of the droplet discharge head 1 from the discharge member 250 side. At this time, in response to a control signal from the control unit 360, the air valve 353 is operated for a time set by the timer, and the cleaning liquid accumulated in the ink flow path is discharged with the nitrogen gas.

工程S55では制御部360からの制御信号を受けて、エアーバルブ353が作動して、窒素ガスの供給を停止する。   In step S55, in response to a control signal from the control unit 360, the air valve 353 is operated to stop the supply of nitrogen gas.

工程S56では制御部360からの制御信号を受けて、洗浄液供給タンク321の運転を開始して、吐出部材250から液滴吐出ヘッド1のインク流路内に洗浄液を供給して、インク流路内を洗浄する。   In step S56, in response to the control signal from the control unit 360, the operation of the cleaning liquid supply tank 321 is started, the cleaning liquid is supplied from the discharge member 250 into the ink flow path of the droplet discharge head 1, and the ink flow path Wash.

工程S57では制御部360からの制御信号を受けて、洗浄液供給タンク321の運転を停止して、洗浄液供給を停止する。   In step S57, in response to a control signal from the control unit 360, the operation of the cleaning liquid supply tank 321 is stopped and the supply of the cleaning liquid is stopped.

工程S58では吐出部材250側から液滴吐出ヘッド1のインク流路内に外部から(図示せず)窒素ガスを供給する。この時、制御部360からの制御信号を受けて、タイマにより設定された時間だけエアーバルブ353が作動して、インク流路内を洗浄する。   In step S58, nitrogen gas is supplied from the outside (not shown) into the ink flow path of the droplet discharge head 1 from the discharge member 250 side. At this time, in response to a control signal from the control unit 360, the air valve 353 is operated for a time set by the timer to clean the ink flow path.

工程S59では制御部360からの制御信号を受けて、エアーバルブ353が作動して、窒素ガスを停止することによってインク流路内を減圧する。   In step S59, in response to a control signal from the control unit 360, the air valve 353 is operated to stop the nitrogen gas, thereby depressurizing the ink flow path.

工程S60では工程S56から工程S59までの工程を繰り返す。この繰り返し回数を1〜n回まで設定できる。インク流路内の洗浄が不充分であった場合(NOの場合)には、工程S56から工程S59までを1〜n回繰り返す。工程S56からS60までは、場合によっては工程を省略することもある。   In step S60, steps from step S56 to step S59 are repeated. The number of repetitions can be set from 1 to n times. If the ink flow path is insufficiently washed (in the case of NO), steps S56 to S59 are repeated 1 to n times. Steps S56 to S60 may be omitted in some cases.

工程S61ではインク流路内の洗浄液を回収して、この回収された洗浄液は洗浄液回収タンク331に回収される。ここまでの工程S51からS61までがAとなる。   In step S61, the cleaning liquid in the ink flow path is recovered, and the recovered cleaning liquid is recovered in the cleaning liquid recovery tank 331. Steps S51 to S61 so far are A.

ここで、A以降について説明する。図8に示すように、工程S62からS72までを行い、インク流路洗浄装置300は運転を停止する。なお、この工程S62からS72までの工程は、図6に示す、S6から工程S15までの工程と同一であるので、これら洗浄方法についての説明は省略する。   Here, A and the following will be described. As shown in FIG. 8, steps S62 to S72 are performed, and the ink flow path cleaning device 300 stops its operation. In addition, since the process from this process S62 to S72 is the same as the process from S6 to process S15 shown in FIG. 6, description about these washing | cleaning methods is abbreviate | omitted.

洗浄液と純水と窒素ガスとの組み合わせにおける、液滴吐出ヘッド1の印字検査後の洗浄方法について図7、図8に示す。ここで、図7、図8に示すように、洗浄液供給部320から洗浄液の供給が始まり、液滴吐出ヘッド1のインク流路内を洗浄する。この洗浄液による洗浄が終わると、窒素ガス供給部350から窒素ガスの供給が始まり、液滴吐出ヘッド1のインク流路内の洗浄液を排出して窒素ガスの供給が止まる。再度、洗浄液供給部320から洗浄液を供給して、液滴吐出ヘッド1のインク流路内を洗浄する。再度、窒素ガス供給部350から窒素ガスを供給して、液滴吐出ヘッド1のインク流路内を洗浄する。   FIG. 7 and FIG. 8 show a cleaning method after the print inspection of the droplet discharge head 1 in the combination of the cleaning liquid, pure water, and nitrogen gas. Here, as shown in FIGS. 7 and 8, the supply of the cleaning liquid from the cleaning liquid supply unit 320 starts, and the inside of the ink flow path of the droplet discharge head 1 is cleaned. When the cleaning with the cleaning liquid is finished, the supply of nitrogen gas starts from the nitrogen gas supply unit 350, the cleaning liquid in the ink flow path of the droplet discharge head 1 is discharged, and the supply of nitrogen gas is stopped. The cleaning liquid is supplied again from the cleaning liquid supply unit 320 to clean the ink flow path of the droplet discharge head 1. Again, nitrogen gas is supplied from the nitrogen gas supply unit 350 to clean the ink flow path of the droplet discharge head 1.

ここで、洗浄液と窒素ガスとの洗浄を繰り返して行うことができるので、工程S60で流路内洗浄の結果がNOであれば、あらかじめ繰り返し洗浄回数を設定しておくことによって(この場合n回まで設定可能)、インク流路内の繰り返し洗浄ができる。   Here, since the cleaning with the cleaning liquid and the nitrogen gas can be performed repeatedly, if the result of cleaning in the flow path is NO in step S60, the number of times of cleaning is set in advance (in this case, n times). Can be repeatedly cleaned in the ink flow path.

洗浄液によるインク流路内の洗浄が終了すると、洗浄液の回収工程に切り替わり(S61)、洗浄液が洗浄液回収タンク331に回収される。ここで、工程S61以降では、工程S62から工程S72までは純水と窒素ガスとを用いた洗浄工程であって、図6に示す工程S6から工程S15までの洗浄方法と同じになるので、詳細な説明は省略する。   When the cleaning of the ink flow path using the cleaning liquid is completed, the process switches to a cleaning liquid recovery step (S61), and the cleaning liquid is recovered in the cleaning liquid recovery tank 331. Here, in step S61 and subsequent steps, steps S62 to S72 are cleaning steps using pure water and nitrogen gas, and are the same as the cleaning methods from step S6 to step S15 shown in FIG. The detailed explanation is omitted.

従って、これらの洗浄方法を採用することによって、液滴吐出ヘッド1インク流路内の異物の存在が少なくなり、液滴吐出ヘッド1が清浄になる。   Accordingly, by adopting these cleaning methods, the presence of foreign matter in the ink flow path of the droplet discharge head 1 is reduced, and the droplet discharge head 1 is cleaned.

以上のような第2実施形態では、第1実施形態で得られた効果以外に、次のような効果が得られる。
(5)液滴吐出ヘッド1の印字検査後に洗浄を行うことができるので、インク流路部200のインク流路内に残った残留インクを取り除くことができる。従がって、製品の出荷前に洗浄をすることによって、安定した印字品質が可能な液滴吐出ヘッドと液滴吐出装置とを提供することができる。
In the second embodiment as described above, the following effects can be obtained in addition to the effects obtained in the first embodiment.
(5) Since cleaning can be performed after the print inspection of the droplet discharge head 1, residual ink remaining in the ink flow path of the ink flow path section 200 can be removed. Therefore, it is possible to provide a droplet discharge head and a droplet discharge device capable of stable printing quality by washing before shipping the product.

なお、本発明は前述の第1及び第2実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。以下に変形例を示す。   The present invention is not limited to the first and second embodiments described above, but includes modifications and improvements as long as the object of the present invention can be achieved. A modification is shown below.

(変形例)実施形態で、インク流路構成部材230側から液滴吐出ヘッド1のインク取り入れ口31を通過させて洗浄液、純水、窒素ガスを供給して、液滴吐出ヘッド1のノズル21側に排出するように配置したが、本発明はこれにこだわるものではない。例えば、液滴吐出ヘッド1のノズル21側から洗浄液、純水、窒素ガスを供給して、液滴吐出ヘッド1のインク取り入れ口31を通過させてインク流路構成部材230側に排出するように配置してもよい。   (Modification) In the embodiment, the cleaning liquid, pure water, and nitrogen gas are supplied from the ink flow path constituting member 230 side through the ink intake port 31 of the droplet discharge head 1 to supply the nozzle 21 of the droplet discharge head 1. Although it arrange | positions so that it may discharge | emit to the side, this invention does not stick to this. For example, cleaning liquid, pure water, and nitrogen gas are supplied from the nozzle 21 side of the droplet discharge head 1, pass through the ink intake 31 of the droplet discharge head 1, and are discharged to the ink flow path component 230 side. You may arrange.

このようにすれば、ノズル21の穴の大きさに比べてインク取り入れ口31の穴の大きさの方が大きいので、異物が液滴吐出ヘッド1のインク流路内から出やすくなる。よって、液滴吐出ヘッド1のインク流路内をより清浄に洗浄できる。   By doing so, the size of the hole of the ink intake port 31 is larger than the size of the hole of the nozzle 21, so that foreign matters are likely to come out from the ink flow path of the droplet discharge head 1. Therefore, the inside of the ink flow path of the droplet discharge head 1 can be cleaned more cleanly.

本発明の実施形態としての液滴吐出ヘッド1の分解斜視図。1 is an exploded perspective view of a droplet discharge head 1 as an embodiment of the present invention. 液滴吐出ヘッド1の断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the droplet discharge head 1. インク流路部200の断面図。FIG. 6 is a cross-sectional view of the ink flow path section 200. 液滴吐出ヘッド洗浄装置の概略図。Schematic of a droplet discharge head cleaning device. 液滴吐出ヘッド洗浄装置の配管系統図。The piping system diagram of a droplet discharge head cleaning device. 第1実施形態の洗浄工程を示すフローチャート。The flowchart which shows the washing | cleaning process of 1st Embodiment. 第2実施形態の洗浄工程を示すフローチャート。The flowchart which shows the washing | cleaning process of 2nd Embodiment. 第2実施形態の洗浄工程を示すフローチャート。The flowchart which shows the washing | cleaning process of 2nd Embodiment. 液滴吐出ヘッド1を搭載した液滴吐出装置。A droplet discharge device equipped with a droplet discharge head 1.

符号の説明Explanation of symbols

1…液滴吐出ヘッド、100…液滴吐出装置、300…インク流路洗浄装置、310…減圧部、311…減圧ポンプ、320…洗浄液供給部、330…洗浄液回収部、340…純水供給部、350…窒素ガス供給部、360…制御部。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge head, 100 ... Droplet discharge apparatus, 300 ... Ink flow path cleaning apparatus, 310 ... Decompression unit, 311 ... Decompression pump, 320 ... Cleaning liquid supply part, 330 ... Cleaning liquid collection part, 340 ... Pure water supply part 350 ... nitrogen gas supply unit, 360 ... control unit.

Claims (10)

インクが取り入れられるインク取り入れ口と、前記インクが吐出されるノズルとを連通するインク流路を備えた液滴吐出ヘッドを洗浄する液滴吐出ヘッド洗浄装置において、
前記ノズルに接続して、前記インク流路内を排気することで所定の圧力まで減圧し、この減圧状態を保持する減圧部と、
前記インク取り入れ口に接続して、前記インク流路内に液体を加圧しながら供給する液体供給部と、
前記インク流路内に気体を加圧しながら供給する気体供給部と、
前記液体を回収する液体回収部と、
前記減圧部と、前記液体供給部と、前記気体供給部と、前記液体回収部とを制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記液体供給部と前記気体供給部とを交互に複数繰り返し、
前記気体供給部と前記減圧部とを交互に複数繰り返すことを特徴とする液滴吐出ヘッド洗浄装置。
In a droplet discharge head cleaning device for cleaning a droplet discharge head having an ink flow path that communicates an ink intake port through which ink is introduced and a nozzle from which the ink is discharged,
A pressure reducing unit connected to the nozzle and depressurizing to a predetermined pressure by exhausting the inside of the ink flow path, and maintaining this reduced pressure state;
A liquid supply unit connected to the ink intake port and supplying the liquid while pressurizing the liquid in the ink flow path;
A gas supply unit configured to supply gas while pressurizing the ink flow path;
A liquid recovery unit for recovering the liquid;
A controller that controls the decompression unit, the liquid supply unit, the gas supply unit, and the liquid recovery unit;
The control unit repeats the liquid supply unit and the gas supply unit alternately a plurality of times,
A droplet discharge head cleaning apparatus, wherein the gas supply unit and the decompression unit are alternately repeated a plurality of times.
インクが取り入れられるインク取り入れ口と、前記インクが吐出されるノズルとを連通するインク流路を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記ノズルに接続して、前記インク流路内を排気することで所定の圧力まで減圧し、この減圧状態を保持する第1の減圧工程と、
前記インク流路内に液体を加圧しながら供給して、前記液体で洗浄する洗浄工程と、
前記インク流路内に気体を加圧しながら供給して、前記気体で洗浄する第1の洗浄工程とを交互に複数回繰り返し行う第1の工程と、
前記気体で洗浄する第2の洗浄工程と、
前記減圧する第2の減圧工程とを交互に少なくとも1回繰り返し行う第2の工程とを備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
In a manufacturing method of a droplet discharge head having an ink flow path that communicates an ink intake port through which ink is taken in and a nozzle from which the ink is discharged,
A first depressurization step of connecting to the nozzle and depressurizing to a predetermined pressure by exhausting the inside of the ink flow path, and maintaining this depressurized state;
A cleaning step of supplying liquid while pressurizing the ink flow path and cleaning with the liquid;
A first step of alternately supplying a plurality of times to the first cleaning step of supplying the gas into the ink flow path while pressurizing and cleaning with the gas;
A second cleaning step of cleaning with the gas;
A method of manufacturing a droplet discharge head, comprising: a second step of alternately repeating the second pressure reduction step of reducing the pressure at least once.
請求項2に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記洗浄工程で用いられる前記液体は洗浄液であって、第2の減圧工程の後に、前記インク流路内の洗浄液を液体で洗い流すリンス工程を備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。   3. The method of manufacturing a liquid droplet ejection head according to claim 2, wherein the liquid used in the cleaning step is a cleaning liquid, and a rinsing step of rinsing the cleaning liquid in the ink flow path with the liquid after the second pressure reducing step. A method of manufacturing a droplet discharge head, comprising: 請求項2又は請求項3に記載の液滴吐出ヘッド製造方法において、
前記第1の工程と前記第2の工程とを1サイクルとするサイクル工程を2回行い、第1のサイクル工程と第2のサイクル工程では液体が異なることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
In the droplet discharge head manufacturing method according to claim 2 or claim 3,
A liquid droplet ejection head manufacturing method, wherein a cycle process in which the first process and the second process are performed as one cycle is performed twice, and the liquid is different between the first cycle process and the second cycle process. Method.
請求項2〜請求項4のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド製造方法において、前記第1のサイクル工程の液体が洗浄液で、前記第2のサイクル工程の液体がリンス液であることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。   5. The liquid droplet ejection head manufacturing method according to claim 2, wherein the liquid in the first cycle step is a cleaning liquid, and the liquid in the second cycle step is a rinse liquid. A manufacturing method of a droplet discharge head characterized by the above. 請求項2〜請求項5のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド製造方法において、
前記第1の工程は、前記洗浄工程で洗浄後の洗浄液を回収する回収工程とを備え、
前記第2の工程は、前記洗浄工程で洗浄後のリンス液を排液する排液工程とを備え、前記第1サイクルにおける前記第2の工程と、前記第2サイクルにおける第1の工程の間に液体の排出先を回収容器側から、排液側へ切替える切替え工程とを備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
In the droplet discharge head manufacturing method according to any one of claims 2 to 5,
The first step includes a recovery step of recovering the cleaning liquid after cleaning in the cleaning step,
The second step includes a draining step of draining the rinse liquid after the cleaning in the cleaning step, and between the second step in the first cycle and the first step in the second cycle. And a switching step of switching the liquid discharge destination from the collection container side to the liquid discharge side.
インクが取り入れられるインク取り入れ口と、前記インクが吐出されるノズルとを連通するインク流路を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記ノズルに接続して、前記インク流路内を排気することで所定の圧力まで減圧し、この減圧状態を保持する第1の減圧工程と、
前記インク流路内に液体を加圧しながら供給して、前記液体で洗浄する洗浄工程と、
前記インク流路内に気体を加圧しながら供給して、前記気体で洗浄する第1の洗浄工程とを交互に複数回繰り返し行う第1の工程と、
前記第1の工程と前記第2の工程とを1サイクルとするサイクル工程を2回行い、第1のサイクル工程と第2のサイクル工程では液体が異なり、
前記第1の工程は、前記洗浄工程で洗浄後の洗浄液を回収する回収工程とを備え、
前記第1及び第2の工程は、前記洗浄工程で洗浄後のリンス液を排液する排液工程とを備え、前記第1サイクルにおける前記第2の工程と、前記第2サイクルにおける第1の工程の間に液体の排出先を回収容器側から、排液側へ切替える切替え工程とを備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
In a manufacturing method of a droplet discharge head having an ink flow path that communicates an ink intake port through which ink is taken in and a nozzle from which the ink is discharged,
A first depressurization step of connecting to the nozzle and depressurizing to a predetermined pressure by exhausting the inside of the ink flow path, and maintaining this depressurized state;
A cleaning step of supplying liquid while pressurizing the ink flow path and cleaning with the liquid;
A first step of alternately supplying a plurality of times to the first cleaning step of supplying the gas into the ink flow path while pressurizing and cleaning with the gas;
The cycle process with the first process and the second process as one cycle is performed twice, and the liquid is different between the first cycle process and the second cycle process,
The first step includes a recovery step of recovering the cleaning liquid after cleaning in the cleaning step,
The first and second steps include a draining step of draining the rinse liquid after cleaning in the cleaning step, the second step in the first cycle, and the first step in the second cycle. And a switching step of switching a liquid discharge destination from the collection container side to the drainage side during the step.
請求項2〜請求項7のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド製造方法において、前記液体で洗浄する洗浄工程の前に粗洗浄工程を備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。   8. The method of manufacturing a droplet discharge head according to claim 2, further comprising a rough cleaning step before the cleaning step of cleaning with the liquid. Production method. 請求項2〜請求項8のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド製造方法で製造されたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。   A droplet discharge head manufactured by the method for manufacturing a droplet discharge head according to any one of claims 2 to 8. 請求項9に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
A droplet discharge apparatus comprising the droplet discharge head according to claim 9.
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