KR101463027B1 - Apparatus for cleaning ink jet head and cleaning method thereof - Google Patents

Apparatus for cleaning ink jet head and cleaning method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR101463027B1
KR101463027B1 KR1020070135707A KR20070135707A KR101463027B1 KR 101463027 B1 KR101463027 B1 KR 101463027B1 KR 1020070135707 A KR1020070135707 A KR 1020070135707A KR 20070135707 A KR20070135707 A KR 20070135707A KR 101463027 B1 KR101463027 B1 KR 101463027B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cleaning liquid
tank
cleaning
inkjet head
discharge
Prior art date
Application number
KR1020070135707A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20090067890A (en
Inventor
서황운
김봉철
이승현
이휘재
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020070135707A priority Critical patent/KR101463027B1/en
Publication of KR20090067890A publication Critical patent/KR20090067890A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101463027B1 publication Critical patent/KR101463027B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/165Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
    • B41J2/16517Cleaning of print head nozzles
    • B41J2/16552Cleaning of print head nozzles using cleaning fluids
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/165Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
    • B41J2/16517Cleaning of print head nozzles
    • B41J2/1652Cleaning of print head nozzles by driving a fluid through the nozzles to the outside thereof, e.g. by applying pressure to the inside or vacuum at the outside of the print head
    • B41J2/16532Cleaning of print head nozzles by driving a fluid through the nozzles to the outside thereof, e.g. by applying pressure to the inside or vacuum at the outside of the print head by applying vacuum only
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/165Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
    • B41J2002/16594Pumps or valves for cleaning

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 잉크젯 헤드에 연동하는 세정액 공급장치 및 세정액 흡입·배출장치를 통해 잉크젯 헤드 내의 이물을 포함한 세정액을 흡입하여 세정하려는 잉크젯 헤드 세정장치에 관한 것으로서, 잉크를 분사시키는 분사노즐이 구비된 잉크젯 헤드와; 상기 잉크젯 헤드의 일측에 연결되어 세정액을 공급하는 공급 장치와; 상기 잉크젯 헤드의 타측에 연결되고, 주입된 세정액을 흡입하여 배출시키는 흡입·배출장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Figure R1020070135707

세정액 공급장치, 흡입·배출장치, 잉크젯 헤드, 진공 탱크, 펌핑장치

The present invention relates to an ink jet head cleaning apparatus for sucking and cleaning a cleaning liquid including foreign substances in an ink jet head through a cleaning liquid supply apparatus interlocked with an ink jet head and a cleaning liquid suction and discharge apparatus, Wow; A supply device connected to one side of the inkjet head to supply a cleaning liquid; And a suction / discharge device connected to the other side of the inkjet head for sucking and discharging the injected cleaning liquid.

Figure R1020070135707

A cleaning liquid supply device, a suction / discharge device, an ink jet head, a vacuum tank,

Description

잉크젯 헤드 세정장치 및 세정방법{APPARATUS FOR CLEANING INK JET HEAD AND CLEANING METHOD THEREOF}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an inkjet head cleaning apparatus,

본 발명은 잉크젯 헤드 세정장치 및 잉크젯 헤드 세정방법에 관한 것으로서, 더 자세하게는 잉크젯 헤드에 연동하는 세정액 공급장치 및 세정액 흡입·배출장치를 통해 잉크젯 헤드 내의 이물을 포함한 세정액을 흡입하여 세정하려는 잉크젯 헤드 세정장치 및 잉크젯 헤드 세정방법에 관련된다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inkjet head cleaning apparatus and an inkjet head cleaning method, and more particularly, to an inkjet head cleaning apparatus and an inkjet head cleaning method for cleaning an inkjet head to be cleaned by sucking a cleaning liquid including foreign substances in the inkjet head through a cleaning liquid supply apparatus interlocked with the inkjet head, Device and an ink jet head cleaning method.

최근, 전자산업의 발달과 함께 TV 브라운관 등에 제한적으로 사용되었던 디스플레이 장치가 개인용 컴퓨터, 노트북, 무선 단말기, 자동차 계기판, 전광판 등에 까지 확대 사용되고, 정보통신 기술의 발달과 함께 대용량의 화상정보를 전송할 수 있게 됨에 따라 이를 처리하여 구현할 수 있는 차세대 디스플레이 장치의 중요성이 커지고 있다.In recent years, with the development of the electronic industry, display devices which have been limitedly used in TV CRTs have been widely used in personal computers, notebook computers, wireless terminals, automobile instrument panels, electronic billboards, and the like, The importance of a next-generation display device that can be implemented by processing the display device is increasing.

이와 같은 차세대 디스플레이 장치는 경박단소, 고휘도, 대화면, 저소비전력 및 저가격화를 실현할 수 있어야 하는데, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판표시장치가 연구되 어 왔고, 그 중 하나로 최근에 액정표시장치가 주목을 받고 있다.In recent years, a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP), an electro luminescent display (ELD), and the like have been developed in response to the demand for a next generation display device. , And VFD (Vacuum Fluorescent Display) have been studied. One of them is liquid crystal display (LCD).

상기 액정표시장치는 다른 평판표시장치보다 해상도가 뛰어나고, 동화상을 구현할 때 그 품질이 브라운관에 비할 만큼 응답 속도가 빠른 특성을 나타내고 있다.The liquid crystal display device has a higher resolution than other flat panel display devices and exhibits a faster response speed compared to a cathode ray tube when a moving image is implemented.

또한, 상기 액정표시장치는 고휘도, 고 대조비, 저소비전력성 등이 우수한 특성을 가지므로 데스크탑 컴퓨터 모니터, 노트북 컴퓨터 모니터, TV 수상기, 차량 탑재용 TV 수상기, 네비게이션 등 광범위한 분야에서 활용되고 있다.In addition, since the liquid crystal display device has excellent characteristics such as high brightness, high contrast ratio, and low power consumption, it is utilized in a wide range of fields such as a desktop computer monitor, a notebook computer monitor, a TV receiver, a TV receiver for vehicle, and navigation.

일반적으로 액정표시장치는 일측에 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을, 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.In general, in a liquid crystal display, two substrates each having electrodes formed on one side thereof are arranged so as to face each other with the two electrodes formed thereon, a liquid crystal material is injected between the two substrates, and a voltage is applied to the two substrates The liquid crystal molecules are caused to move by the electric field generated by the liquid crystal molecules.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 일정 공간을 가지고 합착된 박막트랜지스터 어레이기판(혹은 하부기판) 및 컬러필터기판(혹은 상부기판)과, 상기 두 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.Such a liquid crystal display device can be roughly divided into a liquid crystal panel for displaying an image and a driving part for applying a driving signal to the liquid crystal panel. The liquid crystal panel is a thin film transistor array substrate ) And a color filter substrate (or an upper substrate), and a liquid crystal layer injected between the two substrates.

통상 상기 액정 패널은 두 개의 유리 기판 또는 투명한 플라스틱 기판 사이에 액정을 채운 구조로 되어 있다. 이 액정에 전압을 인가할 수 있도록 기판에는 투명 전극(공통 전극, 화소 전극)이 형성되어 있다. 이 투명 전극은 상기 액정에 전압을 인가하여 온/오프(on/off)를 제어하는 역할을 한다.Usually, the liquid crystal panel has a structure in which liquid crystal is filled between two glass substrates or transparent plastic substrates. A transparent electrode (common electrode, pixel electrode) is formed on the substrate so that a voltage can be applied to the liquid crystal. The transparent electrode functions to control on / off by applying a voltage to the liquid crystal.

즉, 액정표시장치의 광 투과량은 상기 투명 전극에 인가되는 전압에 의해 제어되고, 광 셔터(shutter) 효과에 의해 문자/화상을 표시하게 된다.That is, the light transmittance of the liquid crystal display device is controlled by the voltage applied to the transparent electrode, and a character / image is displayed by an optical shutter effect.

특히 액정 패널의 상부 기판과 하부 기판을 제조하는 공정은 여러 번의 마스크 공정을 진행하여 제조되는데, 마스크 공정이 끝난 다음 기판을 합착하기 전에 상기 상부 기판과 하부 기판상에 배향막을 인쇄하는 공정을 진행한다.In particular, the process of manufacturing the upper substrate and the lower substrate of the liquid crystal panel is performed by performing a plurality of mask processes. After the mask process is completed, a process of printing an alignment film on the upper substrate and the lower substrate is performed .

상기 배향막은 액정 분자를 일정한 방향으로 배열시키는 배향막 공정은 기판 상에 배향막을 인쇄한 다음, 기판상에 핀 홀 불량이 발생되었는지를 검사한 다음 소성 공정을 진행하여 형성한다.The alignment layer process for aligning the liquid crystal molecules in the alignment direction of the alignment layer is performed by printing an alignment layer on the substrate, inspecting whether or not a pinhole defect has occurred on the substrate, and then performing a firing process.

최근, 액정표시장치 제조 공정에서는 배향막을 잉크젯 방식을 적용하여 복수개의 헤드에서 배향액을 분사하여 배향막을 형성하고 있다.In recent years, in an LCD manufacturing process, an alignment film is formed by jetting an alignment liquid from a plurality of heads by applying an inkjet method to the alignment film.

도 1은 일반적인 잉크젯 방식 배향막장비를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing a general inkjet alignment film equipment.

도 1에 도시된 바와 같이, 잉크젯 방식에 따라 배향막을 도포하는 배향막 챔버는 배향막을 도포하기 위하여 기판(120)이 안착되는 인쇄 테이블(100)과, 상기 인쇄 테이블(100) 상에 배향막 형성 공정을 진행할 기판(120)이 배치되어 있다.As shown in FIG. 1, an alignment film chamber for applying an alignment film according to an inkjet method includes a printing table 100 on which a substrate 120 is placed to apply an alignment film, and an alignment film formation process on the printing table 100 A substrate 120 to be advanced is disposed.

상기 기판(120)상에는 기판(120)의 일측을 횡단하는 방향으로 복수 개의 잉크젯 헤드(110)가 나란히 배열되어 있고, 상기 복수 개의 잉크젯 헤드(110) 각각에는 제2배향액 탱크(102)가 연결되어 있다. 상기 제2배향액 탱크(102)는 제1배향액 탱크(101)로부터 배향액을 공급받아 일정한 압력과 양으로 상기 잉크젯 헤드(110)에 배향액을 공급한다.A plurality of ink jet heads 110 are arranged in parallel to one side of the substrate 120 on the substrate 120. A second alignment liquid tank 102 is connected to each of the plurality of ink jet heads 110 . The second alignment liquid tank 102 receives the alignment liquid from the first alignment liquid tank 101 and supplies the alignment liquid to the inkjet head 110 at a predetermined pressure and amount.

따라서, 상기 제2배향액 탱크(102)는 상기 제1배향액 탱크(101)에 비하여 소 정 거리만큼 이격되어 배치되어 있다.Accordingly, the second alignment liquid tank 102 is disposed at a predetermined distance from the first alignment liquid tank 101. [

상기 제1배향액 탱크(101)로부터 공급되는 배향액의 양을 조절함으로써, 상기 제2배향액 탱크(102)의 배향액 높이를 조절하고, 상기 제2배향액 탱크(102)의 조절된 배향액 높이에 따라 상기 복수 개의 잉크젯 헤드들(110)에 공급되는 배향액 양을 조절한다. The height of the alignment liquid in the second alignment liquid tank 102 is adjusted by adjusting the amount of the alignment liquid supplied from the first alignment liquid tank 101 and the controlled orientation of the second alignment liquid tank 102 And adjusts the amount of the alignment liquid supplied to the plurality of inkjet heads 110 according to the liquid level.

이와 같이, 복수 개의 잉크젯 헤드(110)들은 인쇄 테이블(100) 상부에서 일정한 방향으로 스캔하면서 배향액을 분사하여 기판상에 배향막을 도포한다. 즉, 잉크젯 방식에서는 복수 개의 잉크젯 헤드(110)들에서 배향액을 분사하면서 배향막을 인쇄한다.In this manner, the plurality of inkjet heads 110 scan the alignment mark on the print table 100 in a predetermined direction, and spray the alignment liquid to apply the alignment film on the substrate. That is, in the inkjet method, the alignment film is printed while ejecting the alignment liquid from a plurality of inkjet heads 110.

그리고, 이와 같은 배향 인쇄 공정이 끝나게 되면, 복수 개의 잉크젯 헤드(110)들에 대한 세정공정이 이루어지게 된다.When the alignment printing process is completed, a cleaning process for the plurality of inkjet heads 110 is performed.

도 2는 종래 기술에 따른 잉크젯 헤드의 세정 공정을 나타내기 위한 도면이고, 도 3은 도 2의 노즐의 단면도이다.2 is a view showing a cleaning process of an inkjet head according to the related art, and Fig. 3 is a sectional view of the nozzle of Fig.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 잉크젯 헤드(110)의 일측에서는 배관을 통하여 세정액이 주입된다. 이때 물론 세정액을 잉크젯 헤드(110)에 주입하기 위한 세정액 탱크가 구비되고, 잉크젯 헤드(110)의 타측에는 질소(N2) 가압장치가 구비된다. As shown in Figs. 2 and 3, a cleaning liquid is injected through a pipe at one side of the inkjet head 110. Fig. At this time, of course, a cleaning liquid tank for injecting the cleaning liquid into the inkjet head 110 is provided, and a nitrogen (N2) pressurizing device is provided on the other side of the inkjet head 110.

먼저, 잉크젯 헤드(110)에 세정액을 주입한 다음, 이어 잉크젯 헤드(110)에 주입된 세정액 유입을 차단한 후 질소(N2) 가압장치를 동작시켜 세정액을 노즐부(101)를 통해 외부로 분사시켜 이물을 제거하게 된다.First, the cleaning liquid is injected into the inkjet head 110, then the introduction of the cleaning liquid injected into the inkjet head 110 is blocked, and then the nitrogen (N2) pressurizing device is operated to eject the cleaning liquid through the nozzle 101 So that the foreign object is removed.

그런데, 도 3에 도시된 바와 같이 폴리이미드 등의 배향 물질은 대기와 접촉하는 접촉 면에서 고형화되는데, 이때 그 고형화된 물질이 점점 성장하게 되면 노즐부(101)의 필터(102) 구멍보다 크기가 커지게 됨으로써 외부로 순조롭게 방출되지 않는 문제점이 발생하고 있다. 3, the alignment material such as polyimide is solidified on the contact surface in contact with the atmosphere. At this time, as the solidified material gradually grows, the size of the alignment material becomes larger than the hole of the filter 102 of the nozzle unit 101 So that it is not smoothly discharged to the outside.

이와 같이, 잉크젯 헤드들에 잔존하는 고형분의 물질이 제거되지 않게 되면 배향막 도포 공정에서 핀 홀(pin hole) 불량이 다량 발생하여 액정패널의 수율을 감소시키게 된다.If the solid matter remaining in the ink-jet heads is not removed as described above, a large number of pin hole defects are generated in the alignment film coating process, thereby reducing the yield of the liquid crystal panel.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로서, 더 자세하게는 잉크젯 헤드에 주입되는 세정액을 이물과 함께 흡입하기 위하여 잉크젯 헤드에 연결되는 별도의 흡입·배출장치를 구성하고, 이를 통해 노즐의 이물을 종래와 다른 방식으로 제거하려는 잉크젯 헤드 세정장치 및 잉크젯 헤드 세정방법을 제공함에 있다. Disclosure of Invention Technical Problem [8] Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and an object of the present invention is to provide a separate suction and discharge device connected to an ink jet head for sucking a cleaning liquid, An inkjet head cleaning apparatus and an inkjet head cleaning method for removing foreign matters in a manner different from conventional ones.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 세정장치는 잉크를 분사시키는 분사노즐이 구비된 잉크젯 헤드; 세정액이 충진되어 있는 세정액 탱크; 상기 세정액 탱크로부터 세정액을 공급받아 상기 잉크젯 헤드에 균일하게 주입하는 송액장치; 및 상기 송액장치의 타측에 연결된 배출탱크, 상기 배출탱크에 연결된 진공탱크 및 상기 진공탱크의 내부를 진공상태로 만드는 펌핑장치를 구비하는 흡입·배출장치를 포함하고, 상기 송액장치로부터 제공된 세정액에 의해 상기 잉크젯 헤드의 세정이 완료되고, 상기 흡입·배출장치의 상기 펌핑장치에 의해 상기 진공탱크가 진공상태가 되면, 상기 잉크젯 헤드에 주입된 세정액이 상기 배출탱크로 흡입되어 배출되는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided an inkjet head cleaning apparatus comprising: an inkjet head having an ejection nozzle for ejecting ink; A cleaning liquid tank filled with a cleaning liquid; A liquid supply device for supplying the cleaning liquid from the cleaning liquid tank and uniformly injecting the cleaning liquid into the ink jet head; And a suction and discharge device having a discharge tank connected to the other side of the liquid delivery device, a vacuum tank connected to the discharge tank, and a pumping device for making the inside of the vacuum tank into a vacuum state, When the cleaning of the inkjet head is completed and the vacuum tank is evacuated by the pumping device of the suction / discharge device, the cleaning liquid injected into the inkjet head is sucked into the discharge tank and discharged.

또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 세정방법은 잉크젯 헤드, 세정액 탱크, 송액장치 및 흡입·배출장치를 포함하고, 상기 흡입·배출장치는 배출탱크, 진공탱크 및 펌핑장치를 구비하는 잉크젯 헤드 세정장치에 있어서, 상기 흡입·배출장치의 경로를 차단한 상태에서, 상기 세정액 탱크로부터 상기 송액장치를 통해 상기 잉크젯 헤드에 세정액을 주입하여 상기 잉크젯 헤드를 세정하는 단계; 상기 세정액 탱크로부터 상기 잉크젯 헤드에 주입되는 세정액을 차단하는 단계; 상기 흡입·배출장치의 펌핑장치를 가동하여 상기 진공탱크를 진공으로 만드는 단계; 및 상기 흡입·배출장치의 경로를 개방하여 상기 잉크젯 헤드에 주입된 세정액을 흡입하여 배출시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. The inkjet head cleaning method according to the present invention includes an inkjet head, a cleaning liquid tank, a liquid delivery device, and a suction / discharge device, wherein the suction / discharge device includes an exhaust tank, a vacuum tank and a pumping device Injecting a cleaning liquid from the cleaning liquid tank into the inkjet head through the liquid delivery device to clean the inkjet head while the path of the suction and discharge device is shut off; Blocking the cleaning liquid injected into the ink jet head from the cleaning liquid tank; Operating the pumping device of the suction / discharge device to vacuum the vacuum tank; And opening the path of the suction / discharge device to suck and discharge the cleaning liquid injected into the inkjet head.

상기의 구성 결과, 본 발명은 잉크젯 헤드에 구비된 노즐부로부터 이물을 양호하게 제거할 수 있게 됨으로써 배향막 형성시 이물에 의한 핀 홀을 방지할 수 있고, 또 이로 인해 액정패널의 불량을 방지하여 수율을 증가시킬 수 있다.As a result of the above-described configuration, the present invention is capable of satisfactorily removing foreign matter from the nozzle portion provided in the ink-jet head, thereby preventing pinholes due to foreign substances at the time of forming an alignment film, Can be increased.

이하, 도면을 참조하여 상기 구성 및 방법에 관하여 좀더 구체적으로 살펴보고자 한다. Hereinafter, the configuration and method will be described in more detail with reference to the drawings.

도 4는 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 세정장치의 구성도이다. 4 is a configuration diagram of an ink jet head cleaning apparatus according to the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 바닥면의 상측에는 배향막 인쇄공정에서 폴리이미드와 같은 배향액 분사하고 난 후 세정을 준비하는 잉크젯 헤드(240)가 구비되어 있다. 이때, 잉크젯 헤드(240)는 세정액을 분사하기 위한 분사노즐(241)을 포함하고 있다.As shown in Fig. 4, on the upper side of the bottom surface, an ink jet head 240 for preparing cleaning liquid after spraying alignment liquid such as polyimide in an alignment film printing process is provided. At this time, the ink jet head 240 includes a jetting nozzle 241 for jetting the cleaning liquid.

본 발명에 따른 잉크젯 헤드 세정장치는 크게 잉크젯 헤드(240)를 기준으로 하여 그 일측에 위치하여 세정액을 공급하기 공급장치(200, 210)들과, 타측에 위치하여 공급장치(200, 210)로부터 공급된 세정액과 잉크젯 헤드(240) 혹은 기타 배관들에 잔여하는 이물을 포함하여 흡입, 배출시키는 흡입·배출장치(310, 320, 330)로 구성되어 있다. The ink jet head cleaning apparatus according to the present invention is roughly composed of the supply apparatuses 200 and 210 which are located at one side of the ink jet head 240 and supply the cleaning liquid to the supply apparatuses 200 and 210 And suction and discharge devices 310, 320, and 330 for sucking and discharging the supplied cleaning liquid, including foreign matter remaining in the inkjet head 240 or other piping.

먼저, 잉크젯 헤드(240)에 연결되어 그 상측에는 잉크젯 헤드(240)로 세정액을 송액 혹은 집배(manifold)하는 송액 장치(230)가 추가적으로 구비되어 있다. 이 와 같은 송액 장치(230)는 세정액을 제공받아 잉크젯 헤드(240)에 균일하게 공급하는 역할을 하고 있다.First, a liquid-feeding device 230 connected to the ink-jet head 240 and feeding or rinsing the cleaning liquid with the ink-jet head 240 is additionally provided on the upper side thereof. The liquid delivery device 230 serves to uniformly supply the cleaning liquid to the inkjet head 240.

그리고, 그 송액 장치(230)의 일측에는 세정액을 공급하고 차단할 수 있는 배관을 통해 상호 연결된 세정액 탱크(210)가 구비되어 있다. 이때, 세정액 탱크(210)는 세정액을 임시로 저장하였다가 그 세정액을 외부에 연결되어 있는 질소(N2) 가압장치에 의해 송액 장치(230)에 공급하고 있다.One side of the liquid delivery device 230 is provided with a cleaning liquid tank 210 which is connected to each other through a piping that can supply and block the cleaning liquid. At this time, the cleaning liquid tank 210 temporarily stores the cleaning liquid, and supplies the cleaning liquid to the liquid supply device 230 by a nitrogen (N2) pressurizing device connected to the outside.

또한, 세정액 탱크(210)에 연결되어서는 세정액을 수시로 제공하기 위한 세정액 용기(200)가 구비되어 있다. 이때, 세정액 용기(200)는 외부에 연결되어 있는 별도의 질소(N2) 가압장치를 통해 세정액을 세정액 탱크(210)로 제공하고 있다. In addition, a cleaning liquid container 200 is provided for supplying the cleaning liquid from time to time in connection with the cleaning liquid tank 210. At this time, the cleaning liquid container 200 provides the cleaning liquid to the cleaning liquid tank 210 through a separate nitrogen (N2) pressurizing device connected to the outside.

반면, 상기 송액 장치(230)의 타측에는 세정액 공급장치(200, 210)로부터 잉크젯 헤드(240)에 제공된 세정액의 배출시 분사노즐(241)을 포함한 잉크젯 헤드(240)의 내부에 잔존하는 이물 및 배관의 이물을 함께 배출시켜 담기 위한 배출 탱크(300)(drain tank)가 구비되어 있다. On the other hand, foreign matters remaining in the ink jet head 240 including the jetting nozzles 241 during the discharge of the cleaning liquid supplied to the ink jet head 240 from the cleaning liquid supplying devices 200 and 210, And a drain tank 300 for discharging the foreign substances of the pipe together.

이때, 송액 장치(230)와 배출 탱크(300)를 상호 연결하는 배관상에는 세정액 공급시 그 공급되는 세정액이 곧바로 배출되지 않도록 차단하고, 또 이물을 포함하는 세정액의 배출시 채널을 개방되는 밸브가 구비되어 있다.At this time, on the piping connecting the liquid-delivery unit 230 and the discharge tank 300, a valve is opened to block the supply of the cleaning liquid when the cleaning liquid is supplied, and to open the channel when discharging the cleaning liquid containing foreign matter .

또한, 배출 탱크(300)의 일측에는 배출되어 담겨있는 이물을 포함한 세정액을 외부로 반출시키는 별도의 배관 및 배관상의 밸브가 형성되어 있다. 이로 인해 배출 탱크(300)에 이물을 포함한 세정액이 충만될 때 외부로 폐기시키거나, 혹은 수시로 이물을 포함하는 세정액을 외부로 폐기시킬 수 있다.Further, on one side of the discharge tank 300, there are formed separate piping and valves on the piping for discharging the cleaning liquid including the discharged foreign material to the outside. As a result, when the cleaning liquid containing foreign matters is filled in the discharge tank 300, the cleaning liquid can be discarded to the outside, or the cleaning liquid containing foreign matters can be discarded from time to time.

그리고, 그 배출 탱크(300)와는 배관을 통해 상호 연결되는 진공 탱크(310)가 구비되어 있다. 이때에도 물론 배출 탱크(300)와 진공 탱크(310)를 연결하는 배관상에는 밸브가 포함되어 있다. 여기에서, 진공 탱크(310)는 명칭 그대로 외부의 펌핑 장치(320)를 통해 진공 상태가 되는 탱크를 의미하는 것이다. A vacuum tank 310, which is connected to the discharge tank 300 through a pipe, is provided. At this time, of course, a valve is included on the pipe connecting the discharge tank 300 and the vacuum tank 310. Here, the vacuum tank 310 refers to a tank that is vacuumed through an external pumping device 320 as the name implies.

따라서, 진공 탱크(310)로부터 송액 장치(230)로 연결되는 모든 경로, 즉 모든 밸브를 열어주게 되면 송액 장치(230) 및 잉크젯 헤드(240)에 주입되어 있던 세정액과 이물이 모두 배출 탱크(300)로 배출된다.Accordingly, if all the paths from the vacuum tank 310 to the liquid delivering apparatus 230, that is, all the valves are opened, both the cleaning liquid and the foreign matter injected into the liquid delivering apparatus 230 and the ink jet head 240 are discharged to the discharge tank 300 ).

그리고, 배관을 통해 진공 탱크(310)에 상호 연결되는 펌핑 장치(320)가 구비되어 있다. 이때, 진공 탱크(310)와 펌핑 장치(320)를 연결하는 배관상에는 밸브가 구비되어 있는데, 밸브를 개방시키고 펌핑 장치(320)를 가동시켜 진공 탱크(310)의 내부를 진공상태로 만들게 된다.A pumping device 320 is connected to the vacuum tank 310 through a pipe. At this time, a valve is provided on the pipe connecting the vacuum tank 310 and the pumping device 320, and the valve is opened and the pumping device 320 is operated to vacuum the inside of the vacuum tank 310.

여기에서, 펌핑 장치(320)는 예컨대 0.1Pa까지 진공이 가능한 로터리 펌프(rotary pump), 10-3 내지 10-6 Pa까지 진공이 가능한 기름 확산 펌프, 또는 10-7 내지 10-9 Pa까지 진공이 가능한 터보 펌프(turbo pump) 등이 바람직할 수 있다. Here, the pumping apparatus 320, for example to a vacuum pump capable of rotary (rotary pump), to 10 -3 to 10 -6 oil diffusion vacuum pump is available from Pa, or 10 -7 to 10 -9 Pa vacuum 0.1Pa A turbo pump or the like may be preferable.

도 5는 도 4의 잉크젯 헤드 세정장치의 세정방법을 나타내는 도면이다. Fig. 5 is a view showing a cleaning method of the ink jet head cleaning apparatus of Fig. 4;

도 5를 도 4와 함께 참조하면, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 세정장치의 세정방법은 분사노즐(241)이 구비된 잉크젯 헤드(240)의 일측에 연결되어 세정액을 공급하는 공급 장치(210, 220)와, 상기 잉크젯 헤드(240)의 타측에 연결되어 주입된 세정액을 흡입하여 배출시키는 흡입·배출장치(210, 220)를 포함하여 구성되는 잉 크젯 헤드 세정장치에 있어서, 상기 흡입·배출장치(210, 220)의 경로를 차단한 상태에서, 상기 세정액 공급장치(210, 220)로부터 잉크젯 헤드(240)에 세정액을 주입하는 단계와; 상기 세정액 공급장치(210, 220)로부터 잉크젯 헤드(240)에 주입되는 세정액을 차단하는 단계; 및 상기 잉크젯 헤드(240)의 타측에 구비된 흡입·배출장치(210, 220)를 가동하여 잉크젯 헤드(240)에 주입된 세정액을 흡입하여 배출시키는 단계를 포함하여 이루어지고 있다.5, a cleaning method of an ink jet head cleaning apparatus according to the present invention includes supplying devices 210 and 220 connected to one side of an ink jet head 240 equipped with an injection nozzle 241, And a suction / discharge device (210, 220) connected to the other side of the inkjet head (240) for sucking and discharging the injected cleaning liquid, characterized in that the suction / Injecting a cleaning liquid into the ink jet head 240 from the cleaning liquid supply devices 210 and 220 while cutting off the paths of the cleaning liquids 210 and 220; Blocking the cleaning liquid injected into the ink jet head 240 from the cleaning liquid supply devices 210 and 220; And the suction and discharge devices 210 and 220 provided at the other side of the inkjet head 240 to operate to suck and discharge the cleaning liquid injected into the inkjet head 240.

먼저, 잉크젯 헤드(240), 더 정확하게는 잉크젯 헤드(240)상에 구비되어 있는 송액 장치(230)의 일측에 구비된 세정액 공급장치(210, 220)로부터 세정액을 주입하는 단계가 이루어진다(S101). First, a step of injecting the cleaning liquid from the cleaning liquid supply devices 210 and 220 provided at one side of the inkjet head 240, more precisely, the liquid supply device 230 provided on the inkjet head 240 is performed (S101) .

이때 물론 세정액 탱크(210)에는 세정액 용기(200)로부터 충진시킨 세정액이 담겨있다. 이와 같은 상황에서 송액 장치(230)와 세정액 탱크(210)간 상호 연결하는 배관의 밸브를 오픈시킴과 동시에 가압장치를 통해 세정액 탱크(210)에 질소(N2)를 가압하게 되면 세정액 탱크(210)로부터 세정액이 송액 장치(230)로 주입된다.At this time, of course, the cleaning liquid tank 210 contains the cleaning liquid filled from the cleaning liquid container 200. In such a situation, when the valve of the piping interconnecting between the liquid delivery device 230 and the cleaning liquid tank 210 is opened and the nitrogen N 2 is pressurized to the cleaning liquid tank 210 through the pressurizing device, The cleaning liquid is injected into the liquid transfer device 230.

반면, 이러한 세정액 주입시 잉크젯 헤드(240)의 타측에 구비되어 있는 세정액 흡입·배출 장치(300, 310, 320)의 모든 밸브는 차단(혹은 폐쇄)시키게 된다.On the other hand, when the cleaning liquid is injected, all the valves of the cleaning liquid sucking and discharging devices 300, 310, and 320 provided on the other side of the ink jet head 240 are blocked (or closed).

이어, 잉크젯 헤드(240)로 주입되는 세정액을 차단시키는 단계가 이루어진다(S102). 다시 말해, 이와 같은 단계는 세정액 공급장치(210, 220) 가운데 송액 장치(230)와 세정액 탱크(210)간 상호 연결되는 배관의 밸브를 차단시키는 것이다.Next, a step of blocking the cleaning liquid injected into the inkjet head 240 is performed (S102). In other words, such a step is to block the valves of the piping interconnected between the liquid supply device 230 and the cleaning liquid tank 210 among the cleaning liquid supply devices 210 and 220.

그 다음에는 잉크젯 헤드(240)의 타측에 구비되어 있는 펌핑 장치(320)를 가 동하여 잉크젯 헤드(240)에 공급되어 있는 세정액과, 그 세정액에 포함되어 있는 이물을 배출시키기 단계가 이루어진다(S103).Thereafter, a step of discharging the cleaning liquid supplied to the inkjet head 240 and the foreign matters contained in the cleaning liquid is performed by moving the pumping device 320 provided on the other side of the inkjet head 240 (S103 ).

다시 말해, 세정액이 공급되는 세정액 공급장치(210)를 차단시킨 상태에서 세정액 흡입·배출장치(300, 310, 320)를 가동시키게 되는데, 펌핑 장치(320)에 연결되는 모든 경로, 즉 배관의 밸브를 개방시킴과 동시에 진공 탱크(310)의 진공 상태를 이용하여 잉크젯 헤드(240)에 공급되어 있는 세정액과, 그 세정액에 포함되어 있는 이물을 배출 탱크(300)로 빨아들이게 된다.In other words, the cleaning liquid sucking and discharging apparatuses 300, 310 and 320 are operated in a state in which the cleaning liquid supply apparatus 210 to which the cleaning liquid is supplied is shut off. In other words, all the paths connected to the pumping apparatus 320, The cleaning liquid supplied to the ink jet head 240 and the foreign matter contained in the cleaning liquid are sucked into the discharge tank 300 by using the vacuum state of the vacuum tank 310. [

도 1은 일반적인 잉크젯 방식 배향막장비를 개략적으로 도시한 도면1 schematically shows a general inkjet alignment film equipment

도 2는 종래 기술에 따른 잉크젯 헤드의 세정공정을 나타내기 위한 도면2 is a view showing a cleaning process of the inkjet head according to the related art

도 3은 도 2의 노즐부의 단면도Figure 3 is a cross-sectional view of the nozzle section of Figure 2

도 4는 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 세정장치의 구성도4 is a schematic diagram of an inkjet head cleaning apparatus according to the present invention

도 5는 도 4의 잉크젯 헤드 세정장치를 이용한 잉크젯 헤드 세정방법을 나타내는 흐름도Fig. 5 is a flowchart showing an inkjet head cleaning method using the inkjet head cleaning apparatus of Fig.

Claims (12)

잉크를 분사시키는 분사노즐이 구비된 잉크젯 헤드; 1. An inkjet head comprising: an inkjet head having an ejection nozzle for ejecting ink; 세정액이 충진되어 있는 세정액 탱크;A cleaning liquid tank filled with a cleaning liquid; 상기 세정액 탱크로부터 세정액을 공급받아 상기 잉크젯 헤드에 균일하게 주입하는 송액장치; 및A liquid supply device for supplying the cleaning liquid from the cleaning liquid tank and uniformly injecting the cleaning liquid into the ink jet head; And 상기 송액장치의 타측에 연결된 배출탱크, 상기 배출탱크에 연결된 진공탱크 및 상기 진공탱크의 내부를 진공상태로 만드는 펌핑장치를 구비하는 흡입·배출장치를 포함하고,A suction and discharge device having a discharge tank connected to the other side of the liquid delivery device, a vacuum tank connected to the discharge tank, and a pumping device for making the inside of the vacuum tank into a vacuum state, 상기 송액장치로부터 제공된 세정액에 의해 상기 잉크젯 헤드의 세정이 완료되고, 상기 흡입·배출장치의 상기 펌핑장치에 의해 상기 진공탱크가 진공상태가 되면, 상기 잉크젯 헤드에 주입된 세정액이 상기 배출탱크로 흡입되어 배출되는 잉크젯 헤드 세정장치.When the cleaning of the inkjet head is completed by the cleaning liquid supplied from the liquid delivery device and the vacuum tank is evacuated by the pumping device of the suction and discharge device, the cleaning liquid injected into the inkjet head is sucked into the discharge tank And then discharged. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 세정액 탱크와 상기 송액장치 사이의 배관에 구비되어 세정액을 공급 및 차단할 수 있도록 하는 밸브를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정장치.The inkjet head cleaning apparatus according to claim 1, further comprising: a valve provided in a pipe between the cleaning liquid tank and the liquid delivery device to supply and block the cleaning liquid. 제1항에 있어서, 상기 세정액 탱크에 세정액을 공급하는 세정액 용기와, 상기 세정액 용기와 상기 세정액 탱크 사이의 배관에 구비되어 세정액을 공급 및 차단할 수 있도록 하는 밸브를 더 포함하여 구성되는 잉크젯 헤드 세정장치.The inkjet head cleaning apparatus according to claim 1, further comprising: a cleaning liquid container for supplying a cleaning liquid to the cleaning liquid tank; and a valve provided in a pipe between the cleaning liquid container and the cleaning liquid tank to supply and block the cleaning liquid, . 제4항에 있어서, 상기 세정액 탱크 및 상기 세정액 용기는 상기 배관을 통해 세정액을 공급할 수 있는 질소(N2) 가압장치를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정장치.The apparatus of claim 4, wherein the cleaning liquid tank and the cleaning liquid container further comprise a nitrogen (N2) pressurizing device capable of supplying a cleaning liquid through the pipe. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 배출 탱크와 상기 송액장치 사이의 배관에 구비되어 세정액의 배출을 차단하거나 개방하는 밸브를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정장치.The inkjet head cleaning apparatus of claim 1, further comprising a valve provided in a pipe between the discharge tank and the liquid delivery device to shut off or open the discharge of the cleaning liquid. 제1항에 있어서, 상기 배출 탱크는 흡입된 세정액 중 이물이 포함된 세정액을 외부로 폐기시키는 배관 및 밸브를 더 포함할 수 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정장치.The inkjet head cleaning apparatus according to claim 1, wherein the discharge tank may further include a pipe and a valve for discharging the cleaning liquid containing the foreign substance out of the sucked cleaning liquid. 제1항에 있어서, 상기 진공 탱크와 상기 배출탱크 사이의 배관에 구비된 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정장치.The apparatus of claim 1, further comprising a valve provided in a pipe between the vacuum tank and the discharge tank. 제1항에 있어서, 상기 펌핑 장치와 상기 진공 탱크 사이의 배관에 형성된 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정장치.The apparatus of claim 1, further comprising a valve formed in a pipe between the pumping device and the vacuum tank. 제1항에 있어서, 상기 펌핑 장치는 0.1Pa까지 진공이 가능한 로터리 펌프(rotary pump), 10-3 내지 10-6 Pa까지 진공이 가능한 기름 확산 펌프, 또는 10-7 내지 10-9 Pa까지 진공이 가능한 터보 펌프(turbo pump) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정장치.The method of claim 1 wherein said pumping apparatus includes a vacuum until the vacuum is 0.1Pa possible rotary pump (rotary pump), to 10 -3 to 10 -6 oil diffusion vacuum pump is available from Pa, or 10 -7 to 10 -9 Pa And a turbo pump capable of rotating the ink jet head. 잉크젯 헤드, 세정액 탱크, 송액장치 및 흡입·배출장치를 포함하고, 상기 흡입·배출장치는 배출탱크, 진공탱크 및 펌핑장치를 구비하는 잉크젯 헤드 세정장치에 있어서,An inkjet head, a cleaning liquid tank, a liquid delivery device, and a suction / discharge device, wherein the suction / discharge device includes a discharge tank, a vacuum tank, and a pumping device, 상기 흡입·배출장치의 경로를 차단한 상태에서, 상기 세정액 탱크로부터 상기 송액장치를 통해 상기 잉크젯 헤드에 세정액을 주입하여 상기 잉크젯 헤드를 세정하는 단계;Cleaning the inkjet head by injecting a cleaning liquid into the inkjet head through the liquid supply device from the cleaning liquid tank while shutting off the path of the suction and discharge device; 상기 세정액 탱크로부터 상기 잉크젯 헤드에 주입되는 세정액을 차단하는 단계; Blocking the cleaning liquid injected into the ink jet head from the cleaning liquid tank; 상기 흡입·배출장치의 펌핑장치를 가동하여 상기 진공탱크를 진공으로 만드는 단계; 및Operating the pumping device of the suction / discharge device to vacuum the vacuum tank; And 상기 흡입·배출장치의 경로를 개방하여 상기 잉크젯 헤드에 주입된 세정액을 흡입하여 배출시키는 단계를 포함하여 이루어지는 잉크젯 헤드의 세정방법.Ejecting the cleaning liquid injected into the inkjet head by opening the path of the suction / ejection device.
KR1020070135707A 2007-12-21 2007-12-21 Apparatus for cleaning ink jet head and cleaning method thereof KR101463027B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070135707A KR101463027B1 (en) 2007-12-21 2007-12-21 Apparatus for cleaning ink jet head and cleaning method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070135707A KR101463027B1 (en) 2007-12-21 2007-12-21 Apparatus for cleaning ink jet head and cleaning method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090067890A KR20090067890A (en) 2009-06-25
KR101463027B1 true KR101463027B1 (en) 2014-11-19

Family

ID=40995556

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070135707A KR101463027B1 (en) 2007-12-21 2007-12-21 Apparatus for cleaning ink jet head and cleaning method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101463027B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101976838B1 (en) * 2016-12-30 2019-05-10 (주)아이블럭 Circulation type cleaning device
KR102565342B1 (en) * 2021-06-03 2023-08-08 조선영 Cleaning repairing device for inkjet print head

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11291522A (en) * 1998-04-09 1999-10-26 Toyobo Co Ltd Ink jet printer
JP2000225713A (en) 1999-02-05 2000-08-15 Keyence Corp Ink jet recorder
JP2005271266A (en) * 2004-03-23 2005-10-06 Seiko Epson Corp Manufacturing method and manufacturing equipment for droplet ejection head, droplet ejection head, and droplet ejector
JP2006150639A (en) 2004-11-26 2006-06-15 Hitachi Industries Co Ltd Coating device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11291522A (en) * 1998-04-09 1999-10-26 Toyobo Co Ltd Ink jet printer
JP2000225713A (en) 1999-02-05 2000-08-15 Keyence Corp Ink jet recorder
JP2005271266A (en) * 2004-03-23 2005-10-06 Seiko Epson Corp Manufacturing method and manufacturing equipment for droplet ejection head, droplet ejection head, and droplet ejector
JP2006150639A (en) 2004-11-26 2006-06-15 Hitachi Industries Co Ltd Coating device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090067890A (en) 2009-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI221426B (en) Film forming apparatus, head cleaning method, device manufacturing system, and device
TWI228079B (en) Cleaning unit for liquid droplet ejection head; liquid droplet ejection apparatus equipped therewith; electro-optical device; method of manufacturing the same; and electronic device
US7703412B2 (en) Liquid discharging apparatus, method of cleaning head, electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device, and electronic apparatus
CN104226525B (en) Treatment fluid discharger
KR100704256B1 (en) Method and apparatus for manufacturing liquid crystal display device, liquid crystal display device and electronic apparatus
US8888548B2 (en) Apparatus of dispensing liquid crystal using the ultrasonic wave
TW200538299A (en) Droplet discharge device, method of discharging droplet, method of manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electro equipment
US20060158488A1 (en) Initial filling method for functional liquid droplet ejection head, initial filling apparatus for functional liquid droplet ejection head, functional liquid droplet ejection head, functional liquid supplying apparatus, liquid droplet ejection apparatus, manufacturing method for electro-optic device, electro-optic device, and electronic apparatus
JP3915789B2 (en) Manufacturing method of color filter substrate
KR101463027B1 (en) Apparatus for cleaning ink jet head and cleaning method thereof
KR100704257B1 (en) Method and apparatus for manufacturing liquid crystal display device, liquid crystal display device, and electronic apparatus
TWI255352B (en) Droplet discharge apparatus, manufacturing apparatus for color filter, color filter, method of manufacturing therefor, liquid crystal apparatus, and electronic apparatus
KR100958573B1 (en) Fabrication apparatus and method of liquid crystal display panel
CN101024331A (en) Droplet ejection apparatus, method for recovering droplet ejection head, method for forming thin film, and liquid crystal display
JP2006212500A (en) Liquid drop delivery apparatus, delivery performance maintaining method of nozzle in liquid drop delivery apparatus, production method for electric optical apparatus, electric optical apparatus and electronic equipment
KR101252481B1 (en) In-line apparatus for developing having a cleaning device and method of fabricating liquid crystal display device using thereof
KR101397446B1 (en) A jetting system of fluid for a liquid crystal display device and method for jetting the same
CN100435979C (en) Droplet discharge method, electro-optical device, and electronic device
WO2010070989A1 (en) Droplet jetting apparatus and droplet jetting method
KR101239822B1 (en) apparatus for dropping sealant of liquid crystal display device and forming method of seal pattern using the same
KR100673299B1 (en) Method for removing bubble of liquid pump module
KR20110013917A (en) Ink-jet printing apparatus and ink-jet printing method
JP2005305269A (en) Droplet discharge apparatus, method of cleaning head, method of manufacturing electro-optic device, electro-optic device and electronic apparatus
KR20140093545A (en) Cleaning apparatus for substrate
JP2004306546A (en) Suction cleaning method for nozzle face and suction cleaning device, liquid droplet discharging device, manufacturing method for electro-optical device, electro-optical device, and electronic equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171016

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181015

Year of fee payment: 5