JP2005268818A - 露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 投影光学系4とウエハWの間に厚さと屈折率が等しい2枚の平行平面板5a,5bを配し、調整手段9によりこの2枚の平行平面板を光学系4の光軸に対して互いに逆方向に同じ量だけ傾けることにより、露光により光学系4に生じた非点収差を補正する。露光により光学系4に生じた非点収差の量は、演算手段8が、光量センサ7の出力に基づいて得られる光学系4に入射した光の単位時間当たりの光量に基づいて計算する。
【選択図】 図1
Description
△AS=△AS1+△AS2
△AS1=α・(y/x)・T・Q・S・DT
△AS2=−△AS’exp(−k・t)
で計算される。ここで、DTは単位時間当たりで露光が行われていた時間の割合を示し、△AS’は1つ前の単位時間に計算された非点収差の値、kは投影光学系4の熱伝達を表すパラメータである。この式、またはこれらの式の線形結合で表わした式による予測計算によって、非点収差の予測値は図3に示すように包絡線が自然対数の関数で表せるような曲線を描いて変化していく。
2 照明光学系
3 レチクルステージ
4 投影光学系
5a,5b 平行平面板
6 ウエハステージ
7 光量センサ
8 演算手段
9 調整手段
10 照度測定器
R レチクル
W ウエハ
Claims (5)
- レチクルのパターンの像を基板に投影する投影光学系を備える露光装置において、
前記投影光学系は、屈折率と厚さが互いに等しく且つ当該投影光学系の光軸に対し互いに逆方向に傾いた2枚の透明平板と、前記2枚の透明平板を一体的に傾ける調整手段とを有すること特徴とする露光装置。 - 前記調整手段は、前記2枚の透明平板が前記光軸に対し互いに逆方向に互いに同じ角度だけ傾いている時に、前記2枚の透明平板の傾き角度を互いに逆方向に互いに同じ量だけ変えること特徴とする請求項1記載の露光装置。
- レチクルのパターンの像を基板に投影する投影光学系を備える露光装置において、
前記投影光学系は、屈折率と厚さが互いに等しく且つ当該投影光学系の光軸に対し互いに逆方向に互いに同じ角度だけ傾いた2枚の透明平板と、前記2枚の透明平板の傾き角度を互いに逆方向に互いに同じ量だけ変える調整手段とを有すること特徴とする露光装置。 - 前記2枚の透明平板は、前記投影光学系の基板側に配置されていることを特徴とする請求項1又は3記載の露光装置。
- 請求項1〜4のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、当該露光した基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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JP2012059733A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-22 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
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