JP2005268466A - 光起電力装置 - Google Patents

光起電力装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005268466A
JP2005268466A JP2004077585A JP2004077585A JP2005268466A JP 2005268466 A JP2005268466 A JP 2005268466A JP 2004077585 A JP2004077585 A JP 2004077585A JP 2004077585 A JP2004077585 A JP 2004077585A JP 2005268466 A JP2005268466 A JP 2005268466A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive layer
collector electrode
photoelectric conversion
conversion unit
main surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004077585A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasushi Tsunomura
泰史 角村
Eiji Maruyama
英治 丸山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP2004077585A priority Critical patent/JP2005268466A/ja
Publication of JP2005268466A publication Critical patent/JP2005268466A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

【課題】遮光損失が大幅に増大するのを抑制しながら、集電極の光電変換部からの剥離を抑制することが可能な光起電力装置を提供する。
【解決手段】この光起電力装置は、光電変換部1と、光電変換部1の上面に取り付けられ、銅線からなる集電極2と、集電極2を光電変換部1の上面に対して接着するための導電性の接着層3とを備え、接着層3は、集電極2の端部を光電変換部1の上面に対して接着する端部接着層3aと、集電極2の端部以外の部分を光電変換部1の上面に対して接着する中間部接着層3bとを含み、端部接着層3aの幅は、中間部接着層3bの幅よりも大きい。
【選択図】図1

Description

本発明は、光起電力装置に関し、特に、光電変換部の主表面に金属線からなる集電極が接着層によって接着された光起電力装置に関する。
従来、光電変換部の主表面に金属線からなる集電極が接着層によって接着された光起電力装置が種々知られている(たとえば、特許文献1参照)。
図13は、従来の一例による光起電力装置の構成を示した上面図である。図14は、図13に示した従来の一例による光起電力装置の500−500線に沿った断面図である。
図13を参照して、従来の一例による光起電力装置では、光電変換部101の上面上に金属線からなる集電極102が導電性の接着層103により接着されている。この集電極102および接着層103は、光電変換部101の上面上に互いに平行な方向へ延びるように、所定の間隔を隔てて複数設けられている。また、集電極102は、50μmの直径を有するとともに、接着層103は、60μmの幅を有している。また、光電変換部101の上面上には、集電極102および接着層103の延びる方向に対して直交する方向に延びるように、2つのバスバー電極104が所定の間隔を隔てて形成されている。
また、光電変換部101では、図14に示すように、n型単結晶シリコン基板105の上面上に、実質的に真性のi型非晶質シリコン層106と、p型非晶質シリコン層107と、透明導電膜108とが順次形成されている。この透明導電膜108の上面上に、上記の接着層103を介して集電極102が接着されているとともに、バスバー電極104(図13参照)が形成されている。また、n型単結晶シリコン基板105の下面上には、実質的に真性のi型非晶質シリコン層109と、n型非晶質シリコン層110と、透明導電膜111とが順次形成されている。また、透明導電膜111の下面上には、所定の間隔を隔てて互いに平行な方向に延びるように形成された複数のフィンガー電極部112aと、フィンガー電極部112aにより収集された電流を集合させるバスバー電極部(図示せず)とからなる裏面電極112が形成されている。
特開平3−6867号公報
しかしながら、図13に示した従来の光起電力装置では、接着層103の幅(60μm)が、集電極102の直径(50μm)よりも若干大きいだけであるので、光電変換部101の上面に対する接着層103の接着面積が小さくなることにより、接着層103の光電変換部101に対する接着強度が小さくなる場合があるという不都合がある。その結果、集電極102が、光電変換部101から剥離するのを抑制するのが困難であるという問題点がある。
そこで、上記の問題点を解消するために、集電極102の延びる方向の全体にわたって形成された接着層103の幅を大きくすることにより、接着層103の光電変換部101の上面に対する接着面積を増加させることによって、接着層103の接着強度を大きくすることも考えられる。しかしながら、この場合には、接着層103によって遮光される面積が大幅に増加するので、接着層103による遮光損失が大幅に増大するという問題点がある。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、遮光損失が大幅に増大するのを抑制しながら、集電極の光電変換部からの剥離を抑制することが可能な光起電力装置を提供することである。
課題を解決するための手段および発明の効果
上記目的を達成するために、この発明の第1の局面における光起電力装置は、光電変換部と、光電変換部の主表面に取り付けられ、金属線からなる集電極と、集電極を光電変換部の主表面に対して接着するための導電性の接着層とを備え、接着層は、集電極の端部を光電変換部の主表面に対して接着するための第1接着層と、集電極の端部以外の部分を光電変換部の主表面に対して接着するための導電性の第2接着層とを含み、第1接着層の幅および上端部の高さの少なくとも一方は、第2接着層の対応する幅および上端部の高さよりも大きい。
この第1の局面による光起電力装置では、上記のように、第1接着層の幅および上端部の高さの少なくとも一方を第2接着層の対応する幅および上端部の高さよりも大きくすることによって、第1接着層の光電変換部の上面に対する接着面積、および、第1接着層と集電極の端部との接着面積の少なくとも一方を大きくすることができるので、第1接着層による集電極の端部の接着強度を大きくすることができる。これにより、光電変換部からの剥離の起点となりやすい集電極の端部の剥離を、第1接着層によって抑制することができる。このため、集電極の光電変換部からの剥離を抑制することができる。また、集電極の光電変換部からの剥離を抑制するために、集電極の端部に対応する第1接着層のみの幅および厚みの少なくとも一方を大きくすればよいので、集電極の剥離を抑制するために、第1接着層および第2接着層の全体の幅を大きくする場合と異なり、遮光面積が大幅に増加するのを抑制することができる。これらの結果、遮光損失が大幅に増大するのを抑制しながら、集電極の光電変換部からの剥離を抑制することができる。
上記第1の局面による光起電力装置において、好ましくは、第1接着層の上端部の高さは、集電極の上端部の高さよりも大きい。このように構成すれば、第1接着層と集電極の端部との接着面積を容易に大きくすることができるので、第1接着層による集電極の端部の接着強度を容易に大きくすることができる。また、第1接着層の上端部の高さを集電極の上端部の高さよりも大きくすることによって、集電極を接着層によって光電変換部の主表面に接着した後、光電変換部の主表面にスクリーン印刷法によりバスバー電極を形成する場合にも、スクリーン印刷に用いるスクリーン版を光電変換部の上方から被せる際に、スクリーン版が第1接着層の上端部に当接するので、集電極の上端部がスクリーン版に衝突するのを抑制することができる。これにより、集電極の上端部によってスクリーン版が損傷するのを抑制することができる。
この場合において、好ましくは、第1接着層は、集電極の端部の周面を覆うように形成されている。このように構成すれば、第1接着層と集電極の端部との接着面積をより大きくすることができるので、第1接着層による集電極の端部の接着強度をより大きくすることができる。
上記第1の局面による光起電力装置において、好ましくは、第1接着層は、第2接着層よりも優れた光透過性を有する。このように構成すれば、第1接着層の幅を第2接着層の幅よりも大きくすることにより、集電極の端部において第1接着層により遮光される面積が増大する場合にも、第1接着層による遮光損失が増大するのを抑制することができる。
上記第1の局面による光起電力装置において、好ましくは、第1接着層は、第2接着層よりも大きな接着強度を有する接着剤を含む。このように構成すれば、集電極の端部に設けられる大きな接着強度を有する第1接着層によって、光電変換部から集電極の端部が剥離するのをより確実に抑制することができる。
上記第1の局面による光起電力装置において、好ましくは、第1接着層は、集電極の両方の端部に対応して2つ設けられ、2つの第1接着層は、集電極の両方の端部を光電変換部の主表面に対して接着している。このように構成すれば、集電極の両方の端部の光電変換部からの剥離を抑制することができるので、集電極が光電変換部から剥離するのをより確実に抑制することができる。
上記第1の局面による光起電力装置において、好ましくは、集電極は、複数設けられ、集電極の端部以外の第2接着層に対応する領域に、集電極の延びる方向と交差する方向に延びるように設けられ、複数の集電極を互いに接続するバスバー電極をさらに備えている。このように構成すれば、複数の集電極が集電極の端部以外の領域で、バスバー電極によって互いに接続された構成を有する光起電力装置において、遮光損失が大幅に増大するのを抑制しながら、集電極の光電変換部からの剥離を抑制することができる。
上記第1の局面による光起電力装置において、好ましくは、光電変換部は、半導体層と、半導体層上に形成されるとともに、集電極の端部に対応する領域に設けられた開口部を有する透明導電膜とを含み、半導体層の主表面は、開口部内に露出されており、第1接着層は、開口部内に露出された半導体層の主表面に対して集電極の端部を接着している。このように構成すれば、第1接着層と半導体層との接着強度は、第1接着層と透明導電膜との接着強度に比べて大きいので、第1接着層を透明導電膜上に形成する場合に比べて、第1接着層が剥離しにくくなる。すなわち、半導体層の表面に形成される自然酸化膜は、透明導電膜に比べて親水性が高いので、半導体層と第1接着層との接着強度が高くなると考えられ、その結果、第1接着層が剥離しにくくなると考えられる。これにより、第1接着層により接着される集電極の端部が、光電変換部から剥離するのをより確実に抑制することができる。
この発明の第2の局面における光起電力装置は、光電変換部と、光電変換部の主表面に取り付けられ、金属線からなる集電極と、集電極を光電変換部の主表面に対して接着するための導電性の接着層とを備え、接着層は、集電極の端部を光電変換部の主表面に対して接着するための第1接着層と、集電極の端部以外の部分を光電変換部の主表面に対して接着するための導電性の第2接着層とを含み、第1接着層の光電変換部の主表面および集電極の表面の少なくとも一方に対する接着面積は、第2接着層の光電変換部の主表面および集電極の表面に対する接着面積よりも大きい。
この第2の局面による光起電力装置では、上記のように、第1接着層の光電変換部の主表面および集電極の表面の少なくとも一方に対する接着面積を、第2接着層の光電変換部の主表面および集電極の表面に対する接着面積よりも大きくすることによって、第1接着層による集電極の端部の接着強度を大きくすることができる。これにより、光電変換部からの剥離の起点となりやすい集電極の端部の剥離を、第1接着層によって抑制することができる。このため、集電極の光電変換部からの剥離を抑制することができる。また、集電極の光電変換部からの剥離を抑制するために、集電極の端部に対応する第1接着層のみの光電変換部の主表面および集電極の表面の少なくとも一方に対する接着面積を大きくすればよいので、集電極の剥離を抑制するために、第1接着層および第2接着層の全体の光電変換部の主表面に対する接着面積を大きくする場合と異なり、遮光面積が大幅に増加するのを抑制することができる。これらの結果、遮光損失が大幅に増大するのを抑制しながら、集電極の光電変換部からの剥離を抑制することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態による光起電力装置の構成を示した上面図である。図2は、図1に示した第1実施形態による光起電力装置の接着層の構成を示した上面図である。図3は、図1に示した第1実施形態による光起電力装置の100−100線に沿った断面図である。図4は、図1に示した第1実施形態による光起電力装置の150−150線に沿った断面図である。図5は、図1に示した第1実施形態による光起電力装置の200−200線に沿った断面図である。まず、図1〜図5を参照して、本発明の第1実施形態による光起電力装置の構成について説明する。
第1実施形態による光起電力装置では、図1に示すように、光電変換部1の上面上に約50μmの直径を有する銅線(金属線)からなる集電極2が、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト(銀(Ag)ペースト)からなる導電性の接着層3により接着されている。この集電極2および接着層3は、互いに平行な方向へ延びるように、光電変換部1の上面上に所定の間隔を隔てて複数設けられている。
ここで、第1実施形態では、図2に示すように、接着層3は、集電極2の両端部を光電変換部1の上面に対して接着する端部接着層3aと、集電極2の両端部間の中間部分を光電変換部1の上面に対して接着する中間部接着層3bとによって構成されている。なお、この端部接着層3aは、本発明の「第1接着層」の一例であり、中間部接着層3bは、本発明の「第2接着層」の一例である。また、端部接着層3aは、図2および図3に示すように、約80μm〜約200μmの幅と、約10μmの厚みとを有するように構成されている。また、中間部接着層3bは、図2および図4に示すように、約60μmの幅と、約10μmの厚みとを有するように構成されている。すなわち、端部接着層3aの幅は、中間部接着層3bの幅よりも大きくなるように構成されている。
また、第1実施形態では、図1に示すように、光電変換部1の中間部接着層3bに対応する領域上に、集電極2の延びる方向に対して直交する方向に延びるように、2つのバスバー電極4が所定の間隔を隔てて形成されている。このバスバー電極4は、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト(銀(Ag)ペースト)からなるとともに、約1.5mmの幅を有している。また、集電極2および中間部接着層3bと、バスバー電極4とが交差する領域では、図5に示すように、集電極2と中間部接着層3bとを覆うように、バスバー電極4が形成されている。このバスバー電極4により、複数の集電極2が互いに接続されている。
また、光電変換部1では、図3〜図5に示すように、約1Ω・cmの抵抗率と約300μmの厚みとを有するとともに、(100)面を有するn型単結晶シリコン基板5の上面上に、約5nmの厚みを有する実質的に真性のi型非晶質シリコン層6が形成されている。また、i型非晶質シリコン層6上には、約5nmの厚みを有するp型非晶質シリコン層7と、約80nm〜約100nmの厚みを有する透明導電膜8とが順次形成されている。また、透明導電膜8は、約5質量%のSnOを含有するInOからなるITO(Indium Tin Oxide)膜によって構成されている。
また、n型単結晶シリコン基板5の下面上には、約5nmの厚みを有する実質的に真性のi型非晶質シリコン層9と、約5nmの厚みを有するn型非晶質シリコン層10と、約80nm〜約100nmの厚みを有する透明導電膜11とが順次形成されている。また、透明導電膜11の下面上には、所定の間隔を隔てて互いに平行な方向に延びるように形成された複数のフィンガー電極部12aと、フィンガー電極部12aにより収集された電流を集合させるバスバー電極部(図示せず)とからなる裏面電極12が形成されている。
図6は、光電変換部上に転写された導電性ペーストに銅線(集電極)を接触させる際に用いる集電極貼付け装置の構成を示した斜視図である。次に、図1〜図6を参照して、本発明の第1実施形態による光起電力装置の製造プロセスについて説明する。
まず、約1Ω・cmの抵抗率と約300μmの厚みとを有するとともに、(100)面を有するn型単結晶シリコン基板5(図3参照)を洗浄することにより不純物を除去する。そして、RFプラズマCVD法を用いて、周波数:約13.56MHz、形成温度:約100℃〜約300℃、反応圧力:約5Pa〜約100Pa、RFパワー:約1mW/cm〜約500mW/cmの条件下で、n型単結晶シリコン基板5上に、約5nmの厚みを有するi型非晶質シリコン層6と、約5nmの厚みを有するp型非晶質シリコン層7とを順次形成する。なお、p型非晶質シリコン層7を形成する際のp型ドーパントとしては、3族元素であるB、Al、Ga、Inが挙げられる。p型非晶質シリコン層7の形成時に、SiH(シラン)ガスなどの原料ガスに、上記したp型ドーパントの少なくとも1つを含む化合物ガスを混合することによって、p型非晶質シリコン層7を形成することが可能である。
次に、上記i型非晶質シリコン層6およびp型非晶質シリコン層7と同様のプロセスにより、n型単結晶シリコン基板5の下面上に約5nmの厚みを有するi型非晶質シリコン層9と、約5nmの厚みを有するn型非晶質シリコン層10とを順次形成する。なお、n型非晶質シリコン層10を形成する際のn型ドーパントとしては、5族元素であるP、N、As、Sbが挙げられる。n型非晶質シリコン層10の形成時に、原料ガスに上記したn型ドーパントの少なくとも1つを含む化合物ガスを混合することによって、n型非晶質シリコン層10を形成することが可能である。
次に、スパッタリング法を用いて、p型非晶質シリコン層7およびn型非晶質シリコン層10の各々の上に、ITO膜からなる透明導電膜8および11をそれぞれ形成する。この透明導電膜8および11の形成時には、SnO粉末を約5質量%含むIn粉末の焼結体からなるターゲットを、スパッタリング装置(図示せず)のチャンバ(図示せず)内のカソード(図示せず)に設置する。この場合、SnO粉末の量を変化させることにより、ITO膜中のSn量を変化させることが可能である。Inに対するSnの量は、約1質量%〜約10質量%が好ましい。
そして、p型非晶質シリコン層7およびn型非晶質シリコン層10が形成されたn型単結晶シリコン基板5をカソードと平行に対向配置する。そして、チャンバ(図示せず)を真空排気した後、加熱ヒータ(図示せず)を用いて、基板温度が約200℃になるまで加熱する。そして、基板温度を約200℃にした状態で、ArガスとOガスとの混合ガスを流して圧力を約0.4Pa〜約1.3Paに保持するとともに、カソードに約0.5kW〜約2kWのDC電力を投入することにより放電を開始する。このようにして、透明導電膜8および11をそれぞれp型非晶質シリコン層7の上面上およびn型非晶質シリコン層10の下面上の各々に約80nm〜約100nmの厚みになるまで形成する。
次に、第1実施形態では、スクリーン印刷法を用いて、透明導電膜8の上面上の所定領域に接着層3を構成するエポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト(銀(Ag)ペースト)を転写する。この際、端部接着層3aが約80μm〜約200μmの幅と、約500μmの長さと、約10μmの厚みとを有するとともに、中間部接着層3bが約60μmの幅と、約10μmの厚みとを有するように、接着層3を構成する導電性ペーストを転写する。また、この接着層3を構成する導電性ペーストは、透明導電膜8上に所定の間隔を隔てて、複数形成する。
次に、図6に示すような集電極貼付け装置13の固定台14上に、接着層3を構成する導電性ペーストが転写された光電変換部1を固定する。そして、銅線15が巻かれたボビン16から所定の長さの銅線15を引き出した後、配列機構17により、銅線15を所定の間隔に配列する。この銅線15の間隔は、光電変換部1上の導電性ペーストからなる複数の接着層3の各々の間隔と同じ間隔に設定する。そして、銅線15の一方端側を一方の固定機構18aで挟むことにより固定する。そして、銅線15が直線状になるように張力を付与しながら、銅線15の他方端側をもう一方の固定機構18bで挟むことにより固定する。その後、固定機構18aおよび18bと一体の支持枠19を固定台14上の光電変換部1に嵌め合わせることにより、光電変換部1上の導電性ペーストからなる接着層3に対して位置を合わせながら銅線15を接触させる。この後、この状態を保持しながら、ランプヒータにより約200℃で約30分間加熱することにより、導電性ペーストからなる接着層3を硬化させる。これにより、接着層3により銅線15からなる集電極2が光電変換部1の透明導電膜8上に接着される。
次に、図1に示すように、スクリーン印刷法を用いて、光電変換部1上の端部接着層3aが設けられた側の両端部から約25mm内側の位置に、集電極2および接着層3の延びる方向に対して直交する方向に延びるように、2つの導電性ペーストを所定の間隔を隔てて転写する。なお、この導電性ペーストとしては、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト(銀(Ag)ペースト)を用いる。この後、加熱炉内で約200℃で約1時間加熱することにより導電性ペーストを硬化させる。これにより、光電変換部1上の中間部接着層3bに対応する領域に、複数の集電極2を互いに接続するバスバー電極4が形成される。なお、このバスバー電極4が集電極2および中間部接着層3bと交差する位置では、図5に示すように、集電極2および中間部接着層3b上を覆うようにバスバー電極4が形成される。
最後に、スクリーン印刷法を用いて、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト(銀(Ag)ペースト)を裏面側の透明導電膜11の所定領域上に転写した後、加熱炉内で加熱することにより導電性ペーストを硬化させて裏面電極12を形成する。これにより、透明導電膜11の下面上に所定の間隔を隔てて互いに平行に延びるように形成された複数のフィンガー電極部12aと、フィンガー電極部12aにより収集された電流を集合させるバスバー電極部(図示せず)とからなる裏面電極12が形成される。このようにして、図1に示した第1実施形態による光起電力装置が作製される。
第1実施形態では、上記のように、接着層3の端部接着層3aの幅を中間部接着層3bの幅よりも大きくすることによって、端部接着層3aの光電変換部1の上面に対する接着面積を大きくすることができるので、端部接着層3aによる集電極2の端部の接着強度を大きくすることができる。これにより、光電変換部1からの剥離の起点となりやすい集電極2の端部の剥離を端部接着層3aによって抑制することができる。このため、集電極2の光電変換部1からの剥離を抑制することができる。また、集電極2の光電変換部1からの剥離を抑制するために、集電極2の端部に対応する端部接着層3aのみの幅を大きくしているので、集電極2の剥離を抑制するために、端部接着層3aおよび中間部接着層3bからなる接着層3の全体の幅を大きくする場合と異なり、遮光面積が大幅に増加するのを抑制することができる。これらの結果、遮光損失が大幅に増大するのを抑制しながら、集電極2の光電変換部1からの剥離を抑制することができる。
また、第1実施形態では、端部接着層3aを集電極2の両方の端部に対応して2つ設けるとともに、2つの端部接着層3aにより集電極2の両方の端部を光電変換部1の上面に対して接着することによって、集電極2の両方の端部の光電変換部1からの剥離を抑制することができるので、集電極2が光電変換部1から剥離するのをより確実に抑制することができる。
次に、上記した第1実施形態による効果を確認するために行った実験(実施例1)について説明する。この実験では、接着層の端部接着層の幅を変化させて実施例1−1〜1−3および比較例1−1による光起電力装置を作製するとともに、その作製した光起電力装置について集電極の剥離強度を測定した。
(実施例1−1)
この実施例1−1では、スクリーン印刷法を用いて、光電変換部の表面側の透明導電膜上に、端部接着層の幅が100μmになるとともに、中間部接着層の幅が60μmになるように、接着層を構成する導電性ペーストを転写した。その後、導電性ペーストからなる接着層を硬化させることにより、銅線からなる集電極を表面側の透明導電膜上に接着した。そして、端部接着層から外側に5cmの位置で、集電極を切断した。これ以外は、上記第1実施形態と同様にして、実施例1−1による光起電力装置を作製した。
(実施例1−2)
この実施例1−2では、光電変換部の表面側の透明導電膜上に、端部接着層の幅が150μmになるとともに、中間部接着層の幅が60μmになるように、接着層を構成する導電性ペーストを転写した。これ以外は、上記実施例1−1と同様にして、実施例1−2による光起電力装置を作製した。
(実施例1−3)
この実施例1−3では、光電変換部の表面側の透明導電膜上に、端部接着層の幅が200μmになるとともに、中間部接着層の幅が60μmになるように、接着層を構成する導電性ペーストを転写した。これ以外は、上記実施例1−1と同様にして、実施例1−3による光起電力装置を作製した。
(比較例1−1)
この比較例1−1では、上記した従来の一例による光起電力装置(図13参照)と同様に構成した。具体的には、光電変換部の表面側の透明導電膜上に、端部接着層および中間部接着層の幅が、共に60μmになるように、接着層を構成する導電性ペーストを転写した。これ以外は、上記実施例1−1と同様にして、比較例1−1による光起電力装置を作製した。
次に、上記のようにして作製した実施例1−1〜実施例1−3および比較例1−1による光起電力装置について、集電極の剥離強度を測定した。具体的には、図7に示すように、光電変換部1を固定するとともに、5cmの長さを有する集電極2の一方の端部を光電変換部1の上面に対して垂直な方向に折り曲げた後、その折り曲げた端部を測定装置21のクリップ22で挟んだ。その後、集電極2を上方へ引張ることにより、集電極2が光電変換部1から剥離する際のピーク強度を測定装置21で測定した。このようにして、集電極の剥離強度を測定した。以下の表1に、その測定結果を示す。なお、この表1には、端部接着層の幅が60μmの比較例1による剥離強度で規格化した規格化剥離強度を示している。
Figure 2005268466
上記表1の結果から、実施例1−1〜1−3の規格化剥離強度(実施例1−1:1.2、実施例1−2:1.4、実施例1−3:1.7)は、従来構造による比較例1−1の規格化剥離強度(比較例1−1:1)に比べて大きいことがわかる。すなわち、実施例1−1〜1−3では、比較例1−1に比べて、集電極の剥離を抑制できることがわかった。これは、従来構造による比較例1−1の端部接着層の幅(60μm)に比べて、実施例1−1〜1−3による端部接着層の幅(実施例1−1:100μm、実施例1−2:150μm、実施例1−3:200μm)が大きいことにより、実施例1−1〜1−3による端部接着層の接着強度が、比較例1−1による端部接着層の接着強度に比べて大きくなったことによると考えられる。これにより、集電極の剥離を抑制するために、端部接着層の幅を大きくすることが好ましいことが判明した。
また、上記表1の結果から、端部接着層の幅が60μmから200μmへ徐々に増加するのに応じて、規格化剥離強度も1から1.7へ徐々に増加することもわかった。これにより、接着層の端部接着層の幅を増加させるのに対応して、集電極の剥離をより抑制できることが判明した。
次に、端部接着層の幅を60μmから200μmへ増加させた場合において、光電変換部に光が入射しない無効領域(遮光領域)の面積の増加率を計算した。なお、以下の計算において、光電変換部のサイズは、100mm×100mmとする。また、光電変換部上に集電極(接着層)は50個設けられているとともに、バスバー電極は2つ設けられているとする。また、接着層の長さは98mmとするとともに、端部接着層の長さは0.5mmとする。また、中間部接着層の幅は60μmとする。また、バスバー電極の長さは98mmとするとともに、幅は1.5mmとする。
まず、以下の式(1)に示すように、光電変換部の面積(セル面積)を算出した。
光電変換部の面積=100mm×100mm=10mm・・・(1)
次に、以下の式(2)に示すように、端部接着層の幅が60μmの場合の接着層およびバスバー電極によって遮光される領域の面積(無効領域の面積)を算出した。
無効領域の面積=接着層の面積+バスバー電極の面積−接着層とバスバー電極との重なり部分の面積・・・(2)
ここで、接着層の面積は、接着層が60μm(0.06mm)の幅と98mmの長さとを有するとともに、光電変換部上に50個設けられていることにより、以下の式(3)に示すように算出される。
接着層の面積=0.06mm×98mm×50個=294mm・・・(3)
また、バスバー電極の面積は、バスバー電極が1.5mmの幅および98mmの長さを有するとともに、光電変換部上に2つ設けられていることにより、以下の式(4)に示すように算出される。
バスバー電極の面積=1.5mm×98mm×2個=294mm・・・(4)
また、接着層とバスバー電極との重なり部分は、1つの接着層毎に2箇所存在するので、50個の接着層で合計100箇所存在する。これにより、接着層とバスバー電極との重なり部分の面積は、以下の式(5)に示すように算出される。
接着層とバスバー電極との重なり部分の面積-=0.06mm×1.5mm×100箇所=9mm・・・(5)
したがって、無効領域の面積は、上記式(2)、(3)、(4)および(5)から、以下の式(6)に示すように算出される。
無効領域の面積=294mm+294mm−9mm=579mm・・・(6)
また、上記式(1)および(6)から、光電変換部に光が入射される有効領域(受光領域)の面積は、以下の式(7)に示すように算出される。
有効領域の面積=光電変換部の面積−無効領域の面積=10mm−579mm=9.421×10mm・・・(7)
また、端部接着層の幅を60μmから200μmに増加させた場合の無効領域の増加分の面積は、以下の式(8)に示すように算出される。
無効領域の増加分の面積=端部接着層の幅の増加分×端部接着層の長さ×端部接着層の数=(0.2mm−0.6mm)×0.5mm×100箇所=7mm・・・(8)
したがって、上記式(7)および(8)から、有効領域の面積に対する無効領域の面積の増加率は、以下の式(9)に示すように算出される。
無効領域の面積の増加率=7mm/(9.421×10mm)=7.4302×10−4≒0.07%・・・(9)
上記の式(9)から、接着層の端部接着層の幅を60μmから200μmへ増加させた場合の光電変換部の無効領域の増加率は、0.07%程度であるので、この場合には、大きな遮光損失は発生しないと考えられる。
上記した集電極の剥離強度の測定結果および無効領域(遮光領域)の増加率の算出結果から、接着層の端部接着層の幅のみを60μmから200μmまで増加させた場合には、遮光損失を大幅に増加させることなく、集電極の剥離を抑制することができることが判明した。
(第2実施形態)
図8は、本発明の第2実施形態による光起電力装置の構成を説明するための断面図である。なお、図8には、第2実施形態による光起電力装置の端部接着層に対応する領域の断面が示されている。図8を参照して、本発明の第2実施形態による光起電力装置の構成について説明する。
第2実施形態による光起電力装置では、上記第1実施形態による光起電力装置と異なり、接着層33の端部接着層33aの上端部の高さが、集電極2の上端部の高さよりも大きくなるように構成されている。具体的には、接着層33の端部接着層33aは、透明導電膜8の上面から上端部までの高さが約100μmになるように構成されている。これにより、約50μmの直径を有する集電極2の上端部の高さよりも、端部接着層33aの上端部の高さが大きくなるように構成されている。また、端部接着層33aは、約200μmの幅を有するように構成されており、集電極2の端部の周面を覆うように形成されている。第2実施形態による光起電力装置の上記以外の構成は、上記第1実施形態による光起電力装置の構成と同様である。
次に、第2実施形態による光起電力装置の製造プロセスについて説明する。この第2実施形態では、スクリーン印刷法を用いて、光電変換部1の表側の透明導電膜8上に、端部接着層33aが約10μmの厚みと約200μmの幅とを有するとともに、中間部接着層3b(図2参照)が約10μmの厚みと約60μmの幅とを有するように、接着層33を構成するエポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト(銀(Ag)ペースト)を転写する。そして、その導電性ペーストからなる接着層33に対して銅線からなる集電極2を接触させた状態で、ディスペンサを用いて、端部接着層33aに接触する集電極2の端部のみを覆うように、上記の導電性ペーストをさらに塗布する。この後、導電性ペーストからなる接着層33を加熱することにより硬化させる。これにより、接着層33により集電極2が光電変換部1の透明導電膜8上に接着される。このようにして、端部接着層33aの上端部の高さが集電極2の上端部の高さよりも大きくなるように、接着層33が形成される。第2実施形態による光起電力装置の上記以外の製造プロセスは、上記第1実施形態による光起電力装置の製造プロセスと同様である。
第2実施形態では、上記のように、端部接着層33aの上端部の高さを集電極2の上端部の高さよりも大きくすることによって、端部接着層33aを集電極2の端部の周面を覆うように形成することができるので、端部接着層33aと集電極2の端部との接着面積をより大きくすることができる。これにより、端部接着層33aによる集電極2の端部の接着強度をより大きくすることができる。
また、第2実施形態では、図9に示すように、集電極2を接着層33によって接着した後、光電変換部1の上面にスクリーン印刷法によりバスバー電極4(図1参照)を形成する工程において、スクリーン印刷に用いるスクリーン版23を光電変換部1の上方から被せる際に、スクリーン版23が端部接着層33aの上端部に当接する。これにより、集電極2の先端が端部接着層33aから突出するとともに、上方にわずかに浮き上がっている場合にも、集電極2の先端がスクリーン版23に衝突するのを抑制することができる。その結果、集電極2の先端によってスクリーン版23が損傷するのを抑制することができる。
第2実施形態による上記以外の効果は、上記第1実施形態による効果と同様である。
(第3実施形態)
図10は、本発明の第3実施形態による光起電力装置の構成を示した上面図である。図11は、図10に示した第3実施形態による光起電力装置の250−250線に沿った断面図である。次に、図10および図11を参照して、本発明の第3実施形態による光起電力装置の構成について説明する。
第3実施形態による光起電力装置では、図10および図11に示すように、上記第1実施形態による光起電力装置と異なり、透明導電膜8の集電極2の両端部に対応する領域に、平面的に見て矩形状の開口部8aが設けられているとともに、その開口部8a内にp型非晶質シリコン層7の上面が露出されている。なお、このp型非晶質シリコン層7は、本発明の「半導体層」の一例である。そして、開口部8a内に露出されたp型非晶質シリコン層7の上面に対して、集電極2の端部が接着層3の端部接着層3aにより接着されている。なお、開口部8a内に露出されたp型非晶質シリコン層7の上面には、透明導電膜8よりも親水性の高い自然酸化膜が形成されているので、その上面に形成される接着層3の端部接着層3aの接着強度は、透明導電膜8上に形成される場合の接着強度よりも大きくなっていると考えられる。第3実施形態による光起電力装置の上記以外の構造は、上記第1実施形態による光起電力装置の構造と同様である。
次に、図10および図11を参照して、第3実施形態による光起電力装置の製造プロセスについて説明する。第3実施形態では、n型単結晶シリコン基板5の上面上にi型非晶質シリコン層6およびp型非晶質シリコン層7を順次形成した後、n型単結晶シリコン基板5の下面上にi型非晶質シリコン層9およびn型非晶質シリコン層10を順次形成する。その後、第3実施形態では、メタルマスクを用いて、p型非晶質シリコン層7の上面上に、平面的に見て矩形状の開口部8aを有する透明導電膜8を形成する。そして、この開口部8a内に露出されたp型非晶質シリコン層7の上面上に端部接着層3aが位置するように接着層3を形成する。第3実施形態による光起電力装置の上記以外の製造プロセスは、上記第1実施形態による光起電力装置の製造プロセスと同様である。
第3実施形態では、上記のように、透明導電膜8の開口部8a内に露出されたp型非晶質シリコン層7の上面に対して端部接着層3aにより集電極2の端部を接着することによって、端部接着層3aとp型非晶質シリコン層7との接着強度は、端部接着層3aと透明導電膜8との接着強度に比べて大きいので、端部接着層3aを透明導電膜8上に形成する場合に比べて、端部接着層3aが剥離しにくくなる。これにより、端部接着層3aにより接着される集電極2の端部が、光電変換部1から剥離するのをより確実に抑制することができる。
第3実施形態による上記以外の効果は、上記第1実施形態による効果と同様である。
次に、上記した第3実施形態による効果を確認するために行った実験(実施例2)について説明する。この実験では、接着層の端部接着層をp型非晶質シリコン層上または透明導電膜上に形成することにより実施例2−1、2−2および比較例2−1による光起電力装置を作製するとともに、その作製した光起電力装置について集電極の剥離強度を測定した。
(実施例2−1)
この実施例2−1では、上記実施例1−3と同様にして、実施例2−1による光起電力装置を作製した。すなわち、光電変換部の表面側の透明導電膜上に、端部接着層の幅が200μmになるとともに、中間部接着層の幅が60μmになるように、接着層を形成した。そして、その接着層により集電極を透明導電膜上に接着した。
(実施例2−2)
この実施例2−2では、メタルマスクを用いて、p型非晶質シリコン層の上面上に、平面的に見て矩形状の開口部を有する透明導電膜を形成した。そして、この開口部内に露出されたp型非晶質シリコン層の上面上に200μmの幅を有する端部接着層を形成した。これ以外は、上記実施例2−1と同様にして実施例2−2による光起電力装置を作製した。
(比較例2−1)
この比較例2−1では、上記比較例1−1と同様にして、比較例2−1による光起電力装置を作製した。
次に、上記のようにして作製した光起電力装置について、集電極の剥離強度を測定した。この集電極の剥離強度の測定は、上記実施例1による剥離強度の測定と同様にして行った。その測定結果を以下の表2に示す。なお、この表2には、比較例2−1による剥離強度で規格化した規格化剥離強度を示している。
Figure 2005268466
上記表2の結果から、実施例2−1による規格化剥離強度(1.7)は、従来構造による比較例1−1の規格化剥離強度(1)に比べて大きいとともに、実施例2−2による規格化剥離強度(2.5)は、実施例2−1による規格化剥離強度(1.7)よりもさらに大きいことがわかる。すなわち、実施例2−1では、比較例2−1よりも集電極の剥離を抑制できるとともに、実施例2−2では、さらに集電極の剥離を抑制できることがわかった。これは、従来構造による比較例2−1の端部接着層の幅(60μm)に比べて、実施例2−1および2−2による端部接着層の幅(200μm)を大きくしたことに加えて、実施例2−2では、端部接着層をp型非晶質シリコン層上に形成したことにより、端部接着層の接着強度が大きくなったことによると考えられる。これにより、集電極の剥離をより抑制するために、端部接着層をp型非晶質シリコン層上に形成するのが好ましいことが判明した。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
たとえば、上記実施形態では、2つの端部接着層により、集電極の両方の端部を光電変換部の主表面に対して接着する例について説明したが、本発明はこれに限らず、1つの端部接着層により、集電極の一方の端部のみを光電変換部の主表面に対して接着してもよい。
また、上記第2実施形態では、端部接着層の上端部の高さを集電極の上端部の高さよりも大きくするとともに、端部接着層の幅(約100μ〜約200μm)を中間部接着層の幅(約60μm)よりも大きくすることにより、端部接着層が集電極の端部の周面を覆うように構成したが、本発明はこれに限らず、図12に示すように、端部接着層3aの上端部の高さを集電極2の上端部の高さよりも大きくするとともに、端部接着層3aの幅を中間部接着層(図示せず)の幅(60μm)と同じにすることにより、端部接着層3aが集電極2の端部の周面を覆うように構成してもよい。この場合にも、集電極2の端部と端部接着層3aとの接着面積を大きくすることができるので、集電極2の光電変換部1からの剥離を抑制することができる。また、端部接着層3aの幅が従来構造による構成(図13および図14参照)と同様に、中間部接着層(図示せず)の幅と同じであるので、遮光損失も増大しない。
また、上記実施形態では、n型単結晶シリコン基板上にi型非晶質シリコン層を介してp型非晶質シリコン層を形成した光起電力装置を例にとって説明したが、本発明はこれに限らず、単結晶シリコン系、多結晶シリコン系、薄膜シリコン系、化合物半導体系、色素増感系、有機系などの種々の光起電力装置について本発明を適用することができる。
また、上記実施形態では、接着層、バスバー電極および裏面電極の材料として、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペーストを用いたが、本発明はこれに限らず、接着層、バスバー電極および裏面電極の材料として、エポキシ系以外の樹脂材料を含む導電性ペーストを用いてもよい。たとえば、ポリエステル系、アクリル系、ポリビニル系、ポリウレタン系およびフェノール系などの樹脂材料を含む導電性ペーストを用いてもよい。ただし、この場合には、各樹脂に適応した硬化条件を用いることによって導電性ペーストを硬化させる。
また、上記実施形態では、端部接着層と中間部接着層とを同じ材料の導電性ペーストを用いて形成したが、本発明はこれに限らず、端部接着層と中間部接着層とを異なる材料の接着剤を用いて形成してもよい。たとえば、端部接着層に中間部接着層よりも高い接着強度を有する接着剤を用いてもよい。このように構成すれば、端部接着層の接着強度をより向上させることができるので、集電極の光電変換部からの剥離をより確実に抑制することができる。また、端部接着層に中間部接着層よりも優れた光透過性を有する接着剤を用いてもよい。この場合には、上記実施形態のように端部接着層の幅を中間部接着層の幅よりも大きくすることにより、端部接着層によって遮光される面積が増大する場合にも、端部接着層による遮光損失が大幅に増大するのを抑制することができる。また、導電性を有さない接着剤を用いて端部接着層を形成してもよい。
また、上記実施形態では、スクリーン印刷法により、1回の工程で導電性ペーストを光電変換部上に転写したが、本発明はこれに限らず、上記以外の種々の方法により、光電変換部上に導電性ペーストを塗布してもよい。たとえば、端部接着層のみをディスペンサを用いて塗布することなどにより、複数回の工程で導電性ペーストを塗布してもよい。また、光電変換部側に導電性ペーストを塗布せずに、予め適当な長さに引き伸ばされた導電性ペーストを金属線(集電極)側に塗布するようにしてもよい。また、金属線(集電極)には、所定量の導電性ペーストを塗布するとともに、光電変換部上には、端部接着層のみに導電性ペーストを塗布するなどの方法により、金属線(集電極)側と光電変換部側とのそれぞれに塗布するようにしてもよい。また、導電性ペーストを必ずしも金属線(集電極)と光電変換部の透明導電膜との全ての接触部分に塗布する必要はない。たとえば、所定の間隔を隔ててドット状に導電性ペーストを塗布してもよい。
また、上記実施形態では、集電極として約50μmの直径を有する円形の断面の銅線を用いたが、本発明はこれに限らず、集電極として種々の構成の金属線を用いることができる。たとえば、約50μm以外の直径を有する金属線や、矩形などの円形以外の断面形状を有する金属線や、銅線以外の金属や合金などからなる金属線や、表面の一部または全部に金属または合金のメッキを施した金属線などを集電極として用いることができる。また、集電極を配置する数および間隔についても、種々の構成を適用することができる。
また、上記実施形態では、約1.5mmの幅を有する2本のバスバー電極をそれぞれ光電変換部の両側の端部から約25mmの位置に互いに平行な方向に延びるように形成したが、本発明はこれに限らず、バスバー電極の数、幅および形成位置として上記以外の種々の構成を適用することができる。
また、上記実施形態では、バスバー電極と集電極とが交差する領域において、バスバー電極が集電極上を覆うように構成したが、本発明はこれに限らず、バスバー電極と集電極とが電気的に接続されていれば、集電極の上面の少なくとも一部が露出されるように、バスバー電極を設けてもよい。
また、上記実施形態では、裏面電極を光電変換部の表面側の接着層を形成した後に形成したが、本発明はこれに限らず、透明導電膜を形成した後、接着層を形成する前に裏面電極を形成してもよい。また、接着層に集電極を接触させた後に裏面電極を形成してもよい。
また、上記実施形態では、導電性ペースト(銀(Ag)ペースト)を加熱して硬化させることにより裏面電極を形成しているが、本発明はこれに限らず、上記以外の方法により裏面電極を形成してもよい。たとえば、Alなどを蒸着することにより裏面電極を形成したり、表面側の集電極と同様に、金属線を接着層により接着することによって裏面電極を形成してもよい。
また、上記実施形態では、裏面側の透明導電膜の下面上にバスバー電極部とフィンガー電極部とからなる裏面電極を形成したが、本発明はこれに限らず、裏面側の透明導電膜の下面上の全体を覆うように裏面電極を形成してもよい。
また、上記第3実施形態では、透明導電膜に矩形状の開口部を形成したが、本発明はこれに限らず、透明導電膜に形成する開口部の形状は、矩形状以外の他の形状であってもよい。端部接着層を透明導電膜の下側に形成された半導体層に接触させることが可能であれば、開口部がどのような形状であっても上記第3実施形態と同様の効果を得ることができる。また、透明導電膜の集電極の一方の端部に対応する領域のみに開口部を形成して、その開口部を介して端部接着層により半導体層と集電極とを接着するようにしてもよい。
また、上記実施形態では、半導体材料として、シリコン(Si)を用いたが、本発明はこれに限らず、SiGe、SiGeC、SiC、SiN、SiGeN、SiSn、SiSnN、SiSnO、SiO、Ge、GeC、GeNのうちのいずれかの半導体を用いてもよい。この場合、これらの半導体は、結晶質、または、水素およびフッ素の少なくともいずれか一方を含む非晶質または微結晶であってもよい。
また、上記実施形態では、透明導電膜を構成する材料として、Snをドープした酸化インジウム(ITO)を用いたが、本発明はこれに限らず、ITO膜以外の材料からなる透明導電膜を用いてもよい。たとえば、Zn、As、Ca、Cu、F、Ge、Mg、S、SiおよびTeの少なくとも1つを化合物粉末として適量、酸化インジウム粉末(In)に混ぜて焼結することにより作製したターゲットを用いて形成した透明導電膜を用いてもよい。
また、上記実施形態では、RFプラズマCVD法を用いて非晶質シリコン層を形成したが、本発明はこれに限らず、蒸着法、スパッタリング法、マイクロ波プラズマCVD法、ECR法、熱CVD法、LPCVD(減圧CVD)法など他の方法を用いて、非晶質シリコン層を形成してもよい。
また、上記実施形態では、透明導電膜を構成するITO膜のスパッタリング時に、Arガスを用いたが、本発明はこれに限らず、He、Ne、Kr、Xeの他の不活性ガスまたはこれらの混合気体を用いることも可能である。
また、上記実施形態では、スパッタリング時の放電動作を、DC電力を用いて行ったが、本発明はこれに限らず、パルス変調DC放電や、RF放電、VHF放電、マイクロ波放電などを用いてもよい。
本発明の第1実施形態による光起電力装置の構成を示した上面図である。 図1に示した第1実施形態による光起電力装置の接着層の構成を示した上面図である。 図1に示した第1実施形態による光起電力装置の100−100線に沿った断面図である。 図1に示した第1実施形態による光起電力装置の150−150線に沿った断面図である。 図1に示した第1実施形態による光起電力装置の200−200線に沿った断面図である。 光電変換部上に転写された導電性ペーストに銅線(集電極)を接触させる際に用いる集電極貼付け装置の構成を示した斜視図である。 集電極の剥離強度を測定する方法を説明するための模式図である。 本発明の第2実施形態による光起電力装置の構成を説明するための断面図である。 本発明の第2実施形態による光起電力装置の効果について説明するための図である。 本発明の第3実施形態による光起電力装置の構成を示した上面図である。 図10に示した第3実施形態による光起電力装置の250−250線に沿った断面図である。 本発明の変形例による光起電力装置の端部接着層の構成を示した断面図である。 従来の一例による光起電力装置の構成を示した上面図である。 図13に示した従来の一例による光起電力装置の500−500線に沿った断面図である。
符号の説明
1 光電変換部
2 集電極
3、33 接着層
3a、33a 端部接着層(第1接着層)
3b 中間部接着層(第2接着層)
4 バスバー電極
7 p型非晶質シリコン層(半導体層)
8 透明導電膜
8a 開口部

Claims (9)

  1. 光電変換部と、
    前記光電変換部の主表面に取り付けられ、金属線からなる集電極と、
    前記集電極を前記光電変換部の主表面に対して接着するための導電性の接着層とを備え、
    前記接着層は、前記集電極の端部を前記光電変換部の主表面に対して接着するための第1接着層と、前記集電極の端部以外の部分を前記光電変換部の主表面に対して接着するための導電性の第2接着層とを含み、
    前記第1接着層の幅および上端部の高さの少なくとも一方は、前記第2接着層の対応する幅および上端部の高さよりも大きい、光起電力装置。
  2. 前記第1接着層の上端部の高さは、前記集電極の上端部の高さよりも大きい、請求項1に記載の光起電力装置。
  3. 前記第1接着層は、前記集電極の端部の周面を覆うように形成されている、請求項2に記載の光起電力装置。
  4. 前記第1接着層は、前記第2接着層よりも優れた光透過性を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光起電力装置。
  5. 前記第1接着層は、前記第2接着層よりも大きな接着強度を有する接着剤を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光起電力装置。
  6. 前記第1接着層は、前記集電極の両方の端部に対応して2つ設けられ、
    前記2つの第1接着層は、前記集電極の両方の端部を前記光電変換部の主表面に対して接着している、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光起電力装置。
  7. 前記集電極は、複数設けられ、
    前記集電極の端部以外の前記第2接着層に対応する領域に、前記集電極の延びる方向と交差する方向に延びるように設けられ、複数の前記集電極を互いに接続するバスバー電極をさらに備えた、請求項1〜6のいずれか1項に記載の光起電力装置。
  8. 前記光電変換部は、半導体層と、前記半導体層上に形成されるとともに、前記集電極の端部に対応する領域に設けられた開口部を有する透明導電膜とを含み、
    前記半導体層の主表面は、前記開口部内に露出されており、
    前記第1接着層は、前記開口部内に露出された前記半導体層の主表面に対して前記集電極の端部を接着している、請求項1〜7のいずれか1項に記載の光起電力装置。
  9. 光電変換部と、
    前記光電変換部の主表面に取り付けられ、金属線からなる集電極と、
    前記集電極を前記光電変換部の主表面に対して接着するための導電性の接着層とを備え、
    前記接着層は、前記集電極の端部を前記光電変換部の主表面に対して接着するための第1接着層と、前記集電極の端部以外の部分を前記光電変換部の主表面に対して接着するための導電性の第2接着層とを含み、
    前記第1接着層の前記光電変換部の主表面および前記集電極の表面の少なくとも一方に対する接着面積は、前記第2接着層の前記光電変換部の主表面および前記集電極の表面に対する接着面積よりも大きい、光起電力装置。
JP2004077585A 2004-03-18 2004-03-18 光起電力装置 Pending JP2005268466A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004077585A JP2005268466A (ja) 2004-03-18 2004-03-18 光起電力装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004077585A JP2005268466A (ja) 2004-03-18 2004-03-18 光起電力装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005268466A true JP2005268466A (ja) 2005-09-29

Family

ID=35092710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004077585A Pending JP2005268466A (ja) 2004-03-18 2004-03-18 光起電力装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005268466A (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010029880A1 (ja) * 2008-09-10 2010-03-18 三洋電機株式会社 光起電力装置及び光起電力装置の製造方法
WO2011155052A1 (ja) * 2010-06-11 2011-12-15 株式会社アルバック 結晶系太陽電池セル及びその製造方法
WO2012043670A1 (ja) * 2010-09-30 2012-04-05 三洋電機株式会社 太陽電池および太陽電池モジュール
WO2012073802A1 (ja) * 2010-11-29 2012-06-07 三洋電機株式会社 太陽電池セル及び太陽電池モジュール
WO2013140615A1 (ja) * 2012-03-23 2013-09-26 三洋電機株式会社 太陽電池
JP2014011305A (ja) * 2012-06-29 2014-01-20 Mitsubishi Chemicals Corp 太陽電池モジュール
JP2016035983A (ja) * 2014-08-04 2016-03-17 信越ポリマー株式会社 半導体ウェーハ用サポート治具及びその製造方法
JPWO2014002249A1 (ja) * 2012-06-29 2016-05-30 パナソニックIpマネジメント株式会社 太陽電池、太陽電池モジュール、及び太陽電池の製造方法
KR101788166B1 (ko) * 2016-07-22 2017-11-15 엘지전자 주식회사 태양 전지 모듈
US11417787B2 (en) 2015-09-08 2022-08-16 Lg Electronics Inc. Solar cell module and method for manufacturing the same
WO2022255337A1 (ja) * 2021-05-31 2022-12-08 出光興産株式会社 光電変換素子、太陽電池モジュール及びパドル

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010029880A1 (ja) * 2008-09-10 2010-03-18 三洋電機株式会社 光起電力装置及び光起電力装置の製造方法
WO2011155052A1 (ja) * 2010-06-11 2011-12-15 株式会社アルバック 結晶系太陽電池セル及びその製造方法
JPWO2011155052A1 (ja) * 2010-06-11 2013-08-01 株式会社アルバック 結晶系太陽電池セル及びその製造方法
WO2012043670A1 (ja) * 2010-09-30 2012-04-05 三洋電機株式会社 太陽電池および太陽電池モジュール
WO2012073802A1 (ja) * 2010-11-29 2012-06-07 三洋電機株式会社 太陽電池セル及び太陽電池モジュール
JP2012119394A (ja) * 2010-11-29 2012-06-21 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池セル及び太陽電池モジュール
CN104205351A (zh) * 2012-03-23 2014-12-10 三洋电机株式会社 太阳电池
WO2013140615A1 (ja) * 2012-03-23 2013-09-26 三洋電機株式会社 太陽電池
JPWO2013140615A1 (ja) * 2012-03-23 2015-08-03 パナソニックIpマネジメント株式会社 太陽電池
CN104205351B (zh) * 2012-03-23 2016-10-12 松下知识产权经营株式会社 太阳电池
JP2014011305A (ja) * 2012-06-29 2014-01-20 Mitsubishi Chemicals Corp 太陽電池モジュール
JPWO2014002249A1 (ja) * 2012-06-29 2016-05-30 パナソニックIpマネジメント株式会社 太陽電池、太陽電池モジュール、及び太陽電池の製造方法
JP2016035983A (ja) * 2014-08-04 2016-03-17 信越ポリマー株式会社 半導体ウェーハ用サポート治具及びその製造方法
US11417787B2 (en) 2015-09-08 2022-08-16 Lg Electronics Inc. Solar cell module and method for manufacturing the same
KR101788166B1 (ko) * 2016-07-22 2017-11-15 엘지전자 주식회사 태양 전지 모듈
WO2022255337A1 (ja) * 2021-05-31 2022-12-08 出光興産株式会社 光電変換素子、太陽電池モジュール及びパドル

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7772486B2 (en) Photovoltaic device
EP0751575B1 (en) Photovoltaic cell and method of making the same
JP3672436B2 (ja) 太陽電池セルの製造方法
JP6189971B2 (ja) 太陽電池セルおよび太陽電池モジュール
EP2400561A2 (en) Photovoltaic module
JPH11186572A (ja) 光起電力素子モジュール
JPH04276665A (ja) 集積型太陽電池
JP5710024B2 (ja) 太陽電池の製造方法
KR20150088784A (ko) 광발전 장치
EP1542290B1 (en) Photovoltaic device
JP2007134387A (ja) 光電変換素子およびその電極形成方法
JP2005268466A (ja) 光起電力装置
JP4493514B2 (ja) 光起電力モジュールおよびその製造方法
JP4222991B2 (ja) 光起電力装置
JP4549271B2 (ja) 光起電力装置
JP2016164969A (ja) 太陽電池素子およびその製造方法
JP4854105B2 (ja) 薄膜太陽電池モジュール及びその製造方法
JP4958958B2 (ja) 光起電力装置の製造方法
JP3006711B2 (ja) 太陽電池モジュール
JP4219264B2 (ja) 光起電力装置
JPWO2018207859A1 (ja) 光電変換装置およびそれを備える太陽電池モジュール
JP6495713B2 (ja) 太陽電池素子およびその製造方法
JP4219238B2 (ja) 光起電力装置およびその製造方法
JP2016046362A (ja) 光電変換装置
JP2005136148A (ja) 太陽電池素子および太陽電池素子の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080812

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080819

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081017

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081216

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090407