JP2005251781A - 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】生産露光装置における光学系のより正確な熱変形量を得ることができ、信頼性や歩留まりがいっそう向上する半導体製造装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】恒温チャンバー10内において、照明系11、フォトマスクとしてのレチクル12を保持するレチクルステージ13が配備され、さらに、投影光学系14、ウェハステージ機構16、アライメント機構17が配備されている。露光光が投影光学系14を通過する前及び通過した後の位置に被温度測定部材181,182がそれぞれ設けられている。温度計測機構19は、被温度測定部材181,182それぞれの温度を測定する。演算制御機構20は、温度計測機構19で計測された温度差から投影光学系14の熱吸収量を求める。レンズ間距離駆動制御機構21は、温度計測機構19の計測結果から演算制御機構20を介して光学配置を補正する。
【選択図】 図1
【解決手段】恒温チャンバー10内において、照明系11、フォトマスクとしてのレチクル12を保持するレチクルステージ13が配備され、さらに、投影光学系14、ウェハステージ機構16、アライメント機構17が配備されている。露光光が投影光学系14を通過する前及び通過した後の位置に被温度測定部材181,182がそれぞれ設けられている。温度計測機構19は、被温度測定部材181,182それぞれの温度を測定する。演算制御機構20は、温度計測機構19で計測された温度差から投影光学系14の熱吸収量を求める。レンズ間距離駆動制御機構21は、温度計測機構19の計測結果から演算制御機構20を介して光学配置を補正する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置の製造に係り、特に露光装置における光学系の熱吸収量の測定を可能とした半導体製造装置及びこれを利用する半導体装置の製造方法に関する。
露光装置は、レチクル等のマスクパターンを照明光(露光光)で照射し、半導体ウェハ等の感光基板上に結像させる。これにより、LSI製造に必要なパターンを半導体ウェハに転写する。LSI製造に必要なパターンは微細化される一方である。これに伴い、露光装置の投影光学系の精度維持にも様々な補正方法が用いられている。
露光装置において、投影光学系が照明光の熱を吸収し、結像特性が変動することは周知である。このため、投影光学系に蓄積される露光光の熱エネルギーを計算し、結像特性の変動量との相関関係により投影光学系のレンズ間圧力を調整する技術がある。また、レチクルのマスクパターンも熱により膨張するため、結像すべきパターン像が変形する。対策として、実際に露光する際のNAとは異なった投影光学系のレンズNA(開口数)と照明系NAを用いてマスクパターンの存在率をより正確に求める。求められたマスクパターンの存在率から照明光の吸収によるマスクの熱変形量を演算する。さらにマスクの熱変形量とマスクパターンの基板への結像状態の変化量との相関を演算により求め、結像状態の補正に利用する(例えば、特許文献1参照)。
特開平8−321459号公報(6〜8頁、図1〜4)
上述したように、マスクの熱変形量を演算によって求める手法は、2つのNAを工夫するとはいえ、必ずしも実際の熱吸収量に則しているとはいえないと考えられる。このため、実際の熱変形量とは異なる値が得られる可能性がある。
本発明は上記のような事情を考慮してなされたもので、露光装置における光学系のより正確な熱変形量を得ることができ、信頼性や歩留まりがいっそう向上する半導体製造装置及び半導体装置の製造方法を提供しようとするものである。
本発明に係る半導体製造装置は、露光光を発しフォトマスクに導く照明光学系と、前記露光光が照射され前記フォトマスクのパターン像を基板上の感光性被覆層に投影する投影光学系と、前記感光性被覆層が設けられた基板を保持し移動制御させるステージ機構と、少なくとも前記露光光が前記投影光学系を通過する前及び通過した後の位置に設けられた被温度測定部材と、前記被温度測定部材それぞれの温度差を算出する温度計測機構と、前記温度計測機構に応じて前記投影光学系の光学配置を補正する補正機構と、を含む。
上記本発明に係る半導体製造装置によれば、被温度測定部材の温度差から投影光学系の熱吸収量を導き出す。被温度測定部材の温度差の変化を常に監視することもできる。被温度測定部材の温度測定は接触型または非接触型どちらでもよい。得られる熱吸収量が実際に則したものであるため、光学系のより正確な熱変形量を得ることができる。
なお、上記本発明に係る半導体製造装置において、それぞれ次のようないずれかの構成を有することによって、光学系の熱変形量が求められ易く、好ましい。
前記被温度測定部材は、前記フォトマスクと前記投影光学系の間、及び前記投影光学系と前記基板の間の所定位置にそれぞれ設けられている。
前記被温度測定部材は、前記照明光学系と前記フォトマスクの間、前記フォトマスクと前記投影光学系の間、及び前記投影光学系と前記基板の間の所定位置にそれぞれ設けられている。
前記被温度測定部材は、前記フォトマスクまたは前記投影光学系と同等の材質でなる。
前記被温度測定部材は、前記フォトマスクと前記投影光学系の間、及び前記投影光学系と前記基板の間の所定位置にそれぞれ設けられている。
前記被温度測定部材は、前記照明光学系と前記フォトマスクの間、前記フォトマスクと前記投影光学系の間、及び前記投影光学系と前記基板の間の所定位置にそれぞれ設けられている。
前記被温度測定部材は、前記フォトマスクまたは前記投影光学系と同等の材質でなる。
本発明に係る半導体製造装置は、露光光を発しフォトマスクに導く第1照明光学系と、前記露光光が照射され前記フォトマスクのパターン像を基板上の感光性被覆層に投影する投影光学系と、前記感光性被覆層が設けられた基板を保持し移動制御させるステージ機構と、少なくとも前記露光光が通過する前記投影光学系と前記基板の間の位置に設けられた光透過部材と、前記露光光とは異なる検出光を発し、少なくとも前記光透過部材を介して前記基板側に導く第2照明光学系と、前記検出光に関し前記光透過部材を通過する前と後での位相差を検出する位相差検出機構と、前記位相差検出機構で算出される光路の変化から前記光透過部材の熱膨張率を求め前記投影光学系の熱吸収量を導き出す演算制御機構と、前記演算制御機構に応じて前記投影光学系の光学配置を補正する補正機構と、を含む。
上記本発明に係る半導体製造装置によれば、所定部に光透過部材を配し、露光光とは異なる、露光に影響しない検出光を通過させる。これにより、露光光の照射により熱膨張した光透過部材に対し、検出光の通過前と後での位相差を検出する。検出光は位相差検出のための適度な波長を有する必要がある。位相差検出の変化から光路変化を伴う光透過部材の変位量(熱膨張量)を求め、投影光学系の熱吸収量を導き出す。定期的に監視することで、得られる熱吸収量が実際に則したものであるため、光学系のより正確な熱変形量を得ることができる。
なお、上記本発明に係る半導体製造装置において、前記光透過部材は、前記フォトマスクまたは前記投影光学系と同等の材質となっていれば、光学系の熱変形量が求められ易く、好ましい。
なお、上記本発明に係る半導体製造装置において、前記光透過部材は、前記フォトマスクまたは前記投影光学系と同等の材質となっていれば、光学系の熱変形量が求められ易く、好ましい。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、フォトマスクを照明し、投影光学系により前記フォトマスクのパターンを基板上の感光性被覆層に投影露光する露光工程を有する半導体装置の製造方法において、少なくとも前記露光光が前記投影光学系を通過する前及び通過した後の光路上にそれぞれ被温度測定部材が設けられ、前記露光工程の繰り返し間に、該被温度測定部材を用いて温度差を算出し、前記投影光学系の熱吸収量を求めて前記投影光学系の光学配置の補正に反映させる。
上記本発明に係る半導体製造装置によれば、被温度測定部材の温度差から投影光学系の熱吸収量を導き出す。被温度測定部材の温度差の変化を常に監視することもできる。露光工程の繰り返し間に、投影光学系の熱吸収量に応じて投影光学系の光学配置の補正をするようにする。実際に則したものであるため、光学系のより正確な熱変形量に対する補正が実現できる。
なお、前記被温度測定部材を前記フォトマスクの前段に設けて温度差を算出し、前記フォトマスク及び前記投影光学系の熱吸収量を求めて前記投影光学系の光学配置の補正に反映させることもできる。
なお、前記被温度測定部材を前記フォトマスクの前段に設けて温度差を算出し、前記フォトマスク及び前記投影光学系の熱吸収量を求めて前記投影光学系の光学配置の補正に反映させることもできる。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、フォトマスクを照明し、投影光学系により前記フォトマスクのパターンを基板上の感光性被覆層に投影露光する露光工程を有する半導体装置の製造方法において、少なくとも前記露光光が前記投影光学系を通過した後の光路上に光透過部材が設けられ、前記露光工程の繰り返し間に、前記露光光とは異なる検出光を通過させ、前記検出光の通過前後の位相差から前記光透過部材の熱膨張率を算出し、前記投影光学系の熱吸収量に換算して前記投影光学系の光学配置の補正に反映させる。
上記本発明に係る半導体製造装置によれば、所定部に光透過部材を配し、露光工程の繰り返し間において、露光光とは異なる、露光に影響しない検出光を通過させる。これにより、露光光の照射により熱膨張した光透過部材に対し、検出光の通過前と後での位相差を検出する。検出光は位相差検出のための適度な波長を有する必要がある。位相差検出の変化から光路変化を伴う光透過部材の変位量(熱膨張量)を求め、投影光学系の熱吸収量を導き出す。定期的に監視することで、得られる熱吸収量が実際に則したものであるため、光学系のより正確な熱変形量を得ることができる。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体製造装置で、露光装置の要部を示す構成図である。恒温チャンバー10内において、露光光を発しフォトマスクに導く照明光学系11が併設されている。また、フォトマスクとしてのレチクル12を保持して位置決めするレチクルステージ13が配備されている。投影光学系14は、露光光が照射されレチクル12のパターン像を半導体基板15上の感光性被覆層に投影する。ウェハステージ機構16は、半導体基板15を保持し、かつ移動制御する。また、アライメント機構17は、レチクル12の位置合わせ処理や露光領域の重ね合わせ処理の精度を得るために利用される。
恒温チャンバー10内にはさらに、露光光が投影光学系14を通過する前及び通過した後の位置に被温度測定部材181,182が設けられている。この例では、被温度測定部材181は、レチクル12と投影光学系14の間、被温度測定部材182は、投影光学系14と基板15の間に配備されている。被温度測定部材181,182は、例えば平面ガラス板で、投影光学系14を構成するレンズと同等の材質を有することが好ましい。また、厚さも投影光学系14中一つのレンズの厚さとして換算し易い厚さが好ましい。温度計測機構19は、被温度測定部材181,182それぞれの温度を測定する。その温度測定方法は、接触型または非接触型どちらでもよい。非接触型は、例えば熱の放射を測定する放射温度計等が考えられる。演算制御機構20は、温度計測機構19で計測された温度差から投影光学系14の熱吸収量を求める。
レンズ間距離駆動制御機構21は、投影光学系の光学配置を補正する補正機構の一つである。レンズ間距離駆動制御機構21は、上記温度計測機構19の計測結果から演算制御機構20を介して光学配置を補正する。温度計測機構19は、常にまたは所定期間内に被温度測定部材181,182の温度差の計測を更新している。これにより、レンズ間距離駆動制御機構21は、現状に一番近い投影光学系14の熱吸収量から、熱膨張した各レンズの間隔を適切に調整する。これにより、光学系のより正確な熱変形量を得ることができ、それに応じた光学系の補正が可能となる。
すなわち、半導体装置の製造方法における露光工程において、露光工程の繰り返し間に、被温度測定部材181,182を用いて温度差を算出し、投影光学系14の熱吸収量を求める。これに応じて投影光学系14の光学配置の補正に反映させることで、常に良好な結像状態を得ることができ、信頼性、歩留まり改善に寄与する。
図2は、本発明の第2実施形態に係る半導体製造装置で、露光装置の要部を示す構成図である。前記第1実施形態に比べて被温度測定部材183が追加されている。その他の構成は第1実施形態と同様であるため、図1と同一の符号を付し、異なっている点のみを説明する。
前記第1実施形態では、被温度測定部材181,182は、露光光が投影光学系14を通過する前及び通過した後の位置にそれぞれ設けられた。この第2実施形態で新たに追加された被温度測定部材183は、照明光学系11とレチクル12の間、好ましくはレチクル12の前段に設けられている。被温度測定部材183は例えば平面ガラス板で、被温度測定部材181,182と同等の材質を有することが好ましい。従って、被温度測定部材181〜183は、共に投影光学系14を構成するレンズと同等の材質またはレチクル12と同等の材質を有する。温度計測機構19は、被温度測定部材181〜183それぞれの温度を測定する。演算制御機構19は、温度計測機構18で計測された温度差から投影光学系14の熱吸収量を求める。
前記第1実施形態では、被温度測定部材181,182は、露光光が投影光学系14を通過する前及び通過した後の位置にそれぞれ設けられた。この第2実施形態で新たに追加された被温度測定部材183は、照明光学系11とレチクル12の間、好ましくはレチクル12の前段に設けられている。被温度測定部材183は例えば平面ガラス板で、被温度測定部材181,182と同等の材質を有することが好ましい。従って、被温度測定部材181〜183は、共に投影光学系14を構成するレンズと同等の材質またはレチクル12と同等の材質を有する。温度計測機構19は、被温度測定部材181〜183それぞれの温度を測定する。演算制御機構19は、温度計測機構18で計測された温度差から投影光学系14の熱吸収量を求める。
レンズ間距離駆動制御機構21は、上記温度計測機構19の計測結果から演算制御機構20を介して光学配置を補正する。温度計測機構19は、常にまたは所定期間内に被温度測定部材181〜183それぞれの温度差の計測を更新している。これにより、レンズ間距離駆動制御機構21は、現状に一番近いレチクル12及び投影光学系14の熱吸収量から、熱膨張したレチクル及び各レンズの間隔を適切に調整する。これにより、光学系のより正確な熱変形量を得ることができ、それに応じた光学系の補正が可能となる。
すなわち、半導体装置の製造方法における露光工程において、露光工程の繰り返し間に、被温度測定部材181,182,183を用いてそれぞれの温度差を算出し、レチクル12や投影光学系14の熱吸収量を求める。これに応じて投影光学系14の光学配置の補正に反映させることで、常に良好な結像状態を得ることができ、信頼性、歩留まり改善に寄与する。
上記各実施形態及び方法によれば、被温度測定部材181,182(または183を含んで)の温度差から光学系の熱吸収量を導き出す。被温度測定部材181,182(または183を含んで)の温度差の変化をリアルタイムに監視することもできる。得られる熱吸収量が実際に則したものであるため、光学系のより正確な熱変形量を得ることができる。従って、光学系の、より現実的な熱変形量に応じた補正が可能となる。
図3は、本発明の第3実施形態に係る半導体製造装置で、露光装置の要部を示す構成図である。恒温チャンバー30内において、露光光を発しフォトマスクに導く照明光学系31が併設されている。また、フォトマスクとしてのレチクル32を保持して位置決めするレチクルステージ33が配備されている。投影光学系34は、露光光が照射されレチクル12のパターン像を半導体基板35上の感光性被覆層に投影する。ウェハステージ機構36は、半導体基板35を保持し、かつ移動制御する。また、アライメント機構37は、レチクル32の位置合わせ処理や露光領域の重ね合わせ処理の精度を得るために利用される。
また、恒温チャンバー30内には、露光光が通過する、投影光学系34と半導体基板35の間の位置に光透過部材38が設けられている。光透過部材38は、例えば平面ガラス板で、投影光学系34を構成するレンズと同等の材質を有することが好ましい。また、厚さも投影光学系34中一つのレンズの厚さとして換算し易い厚さが好ましい。さらに、露光光とは異なる、検出光を発する検査用照明光学系39を有する。検出光は、位相差検出に用いるため、露光(結像)に影響のない比較的長波長のレーザーを利用する。検査用照明光学系39で制御される検出光は、所定時に光透過部材38を介して半導体基板35側に導かれ、反射されるようになっている。
位相差検出機構40は、検出光に関し、光透過部材38を通過する前と後でそれぞれの位相が取得できるようスリット401a,401b及び位相検出器402a,402bが配置されている。演算制御機構41は、位相差検出機構40の位相差で算出される光路の変化から光透過部材38の熱膨張率を求め、投影光学系34の熱吸収量を導き出す。
レンズ間距離駆動制御機構42は、投影光学系の光学配置を補正する補正機構の一つである。レンズ間距離駆動制御機構42は、上記位相差検出機構40の計測結果から演算制御機構41を介して光学配置を補正する。位相差検出機構40は、所定の露光工程間の定期間内に位相差の計測を更新している。これにより、レンズ間距離駆動制御機構42は、現状に一番近い投影光学系34の熱吸収量から、熱膨張した各レンズの間隔を適切に調整する。これにより、光学系のより正確な熱変形量を得ることができ、それに応じた光学系の補正が可能となる。
すなわち、半導体装置の製造方法における露光工程において、露光光が投影光学系34を通過した後の光路上に設けられた光透過部材38を利用する。露光工程の繰り返し間の所定期間において、光透過部材38に、露光に影響しない検出光を通過させる。これにより、検出光の通過前後の位相差から光透過部材38の熱膨張率の算出、投影光学系の熱吸収量に換算して投影光学系34の光学配置の補正に反映させる。このようにすれば、常に良好な結像状態を得ることができ、信頼性、歩留まり改善に寄与する。
以上説明したように本発明によれば、被温度測定部材を用いて光学系の熱吸収量を導き出す。あるいは、検出光の位相差を利用して光学系の熱吸収量を導き出す。このような構成でもって光学系の熱吸収量の変化を常に新しい情報に更新しておく。これにより、得られる熱吸収量が実際に則したものとなる。この結果、露光装置における光学系のより正確な熱変形量を得ることができ、光学系のより現実的な熱変形量に応じた光学系の補正が可能となる。従って、信頼性や歩留まりがいっそう向上する半導体製造装置及び半導体装置の製造方法を提供することができる。
10,30…恒温チャンバー、11,31…照明光学系、12,32…レチクル、13,33…レチクルステージ、14,34…投影光学系、15,35…半導体基板、16,36…ウェハステージ機構、17,37…アライメント機構、181,182,183…被温度測定部材、19…温度計測機構、20,41…演算制御機構、21,42…レンズ間距離駆動制御機構、38…光透過部材、39…検査用照明光学系、40…位相差検出機構、401a,401b…スリット、402a,402b…位相検出器。
Claims (9)
- 露光光を発しフォトマスクに導く照明光学系と、
前記露光光が照射され前記フォトマスクのパターン像を基板上の感光性被覆層に投影する投影光学系と、
前記感光性被覆層が設けられた基板を保持し移動制御させるステージ機構と、
少なくとも前記露光光が前記投影光学系を通過する前及び通過した後の位置に設けられた被温度測定部材と、
前記被温度測定部材それぞれの温度差を算出する温度計測機構と、
前記温度計測機構に応じて前記投影光学系の光学配置を補正する補正機構と、
を含む半導体製造装置。 - 前記被温度測定部材は、前記フォトマスクと前記投影光学系の間、及び前記投影光学系と前記基板の間の所定位置にそれぞれ設けられている請求項1記載の半導体製造装置。
- 前記被温度測定部材は、前記照明光学系と前記フォトマスクの間、前記フォトマスクと前記投影光学系の間、及び前記投影光学系と前記基板の間の所定位置にそれぞれ設けられている請求項1記載の半導体製造装置。
- 前記被温度測定部材は、前記フォトマスクまたは前記投影光学系と同等の材質でなる請求項1〜3いずれか一つに記載の半導体製造装置。
- 露光光を発しフォトマスクに導く第1照明光学系と、
前記露光光が照射され前記フォトマスクのパターン像を基板上の感光性被覆層に投影する投影光学系と、
前記感光性被覆層が設けられた基板を保持し移動制御させるステージ機構と、
少なくとも前記露光光が通過する前記投影光学系と前記基板の間の位置に設けられた光透過部材と、
前記露光光とは異なる検出光を発し、少なくとも前記光透過部材を介して前記基板側に導く第2照明光学系と、
前記検出光に関し前記光透過部材を通過する前と後での位相差を検出する位相差検出機構と、
前記位相差検出機構で算出される光路の変化から前記光透過部材の熱膨張率を求め前記投影光学系の熱吸収量を導き出す演算制御機構と、
前記演算制御機構に応じて前記投影光学系の光学配置を補正する補正機構と、
を含む半導体製造装置。 - 前記光透過部材は、前記フォトマスクまたは前記投影光学系と同等の材質でなる請求項5記載の半導体製造装置。
- フォトマスクを照明し、投影光学系により前記フォトマスクのパターンを基板上の感光性被覆層に投影露光する露光工程を有する半導体装置の製造方法において、
少なくとも前記露光光が前記投影光学系を通過する前及び通過した後の光路上にそれぞれ被温度測定部材が設けられ、前記露光工程の繰り返し間に、該被温度測定部材を用いて温度差を算出し、前記投影光学系の熱吸収量を求めて前記投影光学系の光学配置の補正に反映させる半導体装置の製造方法。 - 前記被温度測定部材を前記フォトマスクの前段に設けて温度差を算出し、前記フォトマスク及び前記投影光学系の熱吸収量を求めて前記投影光学系の光学配置の補正に反映させる請求項7記載の半導体装置の製造方法。
- フォトマスクを照明し、投影光学系により前記フォトマスクのパターンを基板上の感光性被覆層に投影露光する露光工程を有する半導体装置の製造方法において、
少なくとも前記露光光が前記投影光学系を通過した後の光路上に光透過部材が設けられ、前記露光工程の繰り返し間に、前記露光光とは異なる検出光を通過させ、前記検出光の通過前後の位相差から前記光透過部材の熱膨張率を算出し、前記投影光学系の熱吸収量に換算して前記投影光学系の光学配置の補正に反映させる半導体装置の製造方法。
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US9316930B2 (en) | 2008-08-11 | 2016-04-19 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Low-contamination optical arrangement |
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---|---|---|---|---|
US9316930B2 (en) | 2008-08-11 | 2016-04-19 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Low-contamination optical arrangement |
CN102411264A (zh) * | 2011-11-22 | 2012-04-11 | 上海华力微电子有限公司 | 光刻机投影物镜温度均衡装置及均衡方法 |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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