JP2005251381A - 電気的に書込み可能なクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置及びクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 大容量のメモリアレイであっても選択メモリセルの抵抗変化を読み出せるクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法を提供する。
【解決手段】 可変抵抗素子からなるメモリセルを行方向及び列方向に夫々複数配列し、同一列のメモリセルの一端を共通のビット線に接続し、同一行のメモリセルの他端を共通のワード線に接続してなるクロスポイント型のメモリアレイにおいて、所定のビット線に選択メモリセル420と複数の非選択メモリセル435が共通に接続している状態で、選択メモリセル420が接続するワード線に読み出し電圧Vreadを印加して選択メモリセル420を選択し、複数の非選択メモリセル435が各別に接続する他のワード線の全てに非選択電圧(0V)を印加することにより非選択メモリセルを非選択にし、ビット線に流れる電流IOUTの大小を検知して選択メモリセル420の抵抗状態を読み出す。
【選択図】 図9
【解決手段】 可変抵抗素子からなるメモリセルを行方向及び列方向に夫々複数配列し、同一列のメモリセルの一端を共通のビット線に接続し、同一行のメモリセルの他端を共通のワード線に接続してなるクロスポイント型のメモリアレイにおいて、所定のビット線に選択メモリセル420と複数の非選択メモリセル435が共通に接続している状態で、選択メモリセル420が接続するワード線に読み出し電圧Vreadを印加して選択メモリセル420を選択し、複数の非選択メモリセル435が各別に接続する他のワード線の全てに非選択電圧(0V)を印加することにより非選択メモリセルを非選択にし、ビット線に流れる電流IOUTの大小を検知して選択メモリセル420の抵抗状態を読み出す。
【選択図】 図9
Description
本発明は、不揮発性記憶装置に関し、より具体的には、電気的パルスの印加により抵抗変化を生じさせる可変抵抗素子を備えてなるクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置及びクロスポイント型可変抵抗素子アレイの読み出し方法に関する。
図1は、クロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置のメモリアレイ領域10の概略構造を示す斜視図である。メモリアレイ領域10は、その上部に複数の下部電極14が形成される基板12を備える。活性層16は、下部電極14を覆うように堆積される。複数の上部電極18は、活性層16上に位置し、当該活性層16は、上部電極18と下部電極14の間に位置する。
上部電極18と下部電極14は、夫々が、互いに平行に配置されるのが好ましく、該上部電極18と該下部電極14はクロスポイント式に規則的に交差して配置される。図1に示すように、上部電極18は下部電極14に対して夫々直角に配置される。クロスポイントとは、上部電極18と下部電極14が夫々交差する位置40を指す。各クロスポイント40において、上部電極18と下部電極14に挟まれた活性層16が電気的パルスの印加により抵抗変化を生じさせる可変抵抗体42として機能し、その上下の各電極18,14と合わせて可変抵抗素子からなるメモリセル44を形成する。上部電極18と下部電極14は、クロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置のメモリアレイにおけるワード線またはビット線として夫々機能することができる。
図2に、メモリ出力回路(読み出し回路)22に接続するメモリアレイ領域10を備える記憶装置20を示す。図2では、下部電極14がビット線として割り当てられている。図2に示すように、メモリ出力回路22は、各ビット線に対し、少なくとも夫々1つのパストランジスタ24を介して1つの負荷トランジスタ26とインバータ28を接続して構成される。図2に示す構造は、周知の半導体記憶装置における構成として概略的に示されている。
図3に、各ビット線に電圧検知型のセンスアンプ(または、電圧検知器)を備える6×4のメモリアレイを示す。ワード線30は、読み出し電圧(V)が印加されることによって選択され、ワード線30上の夫々のメモリセル(ビット線B1〜B4に接続)のデータが読み出される。例えば、メモリセル32は、ビット線B2に対応するインバータ102によって読み出し可能である。図3は簡略図であり、閾値設定負荷トランジスタやその他の回路の図示は省略してある。メモリセル32の読み出し時に留意すべきことは、ビット線B2上の他のメモリセルのワード線電圧は0Vであり、非選択となる点である。これら非選択メモリセルはインバータ102の入力抵抗と事実上並列状態にあり、この配列では、インバータは電圧検知型のセンスアンプとして作動し、通常、例えば100kΩから100MΩの範囲の比較的高い入力抵抗を持つ。結果として、非選択メモリセルの各可変抵抗体が電圧検知型のセンスアンプの入力抵抗と並列状態にあるため、実効的な負荷抵抗とそれに対応する選択メモリセル32の出力電圧は、非選択メモリセルの抵抗に著しく影響される。
図4は、ビット線B2上のメモリセルを更に簡略した図である。読み出し電圧410(Vread)は,選択メモリセル420(図3のR32に相当)のワード線側に印加される(メモリ抵抗RMとして図示)。全ての非選択メモリセル430のワード線は0Vに接続され、各非選択メモリセル430はRUで示す。出力回路(電圧検知型のセンスアンプ)の入力インピーダンスに対応する負荷抵抗440は、RLOADで示す。出力電圧450(VOUT)は、選択メモリセル420の読み出し用に使用される電圧に対応する。選択メモリセル420に接続するワード線を読み出し電圧に設定することで選択メモリセル420が選択される。残りの非選択メモリセルは、読み出し電圧とは異なる非選択電圧(0V)を印加することによって、非選択状態になる。図4及び図5に示す例では、非選択電圧は0Vであるが、0Vである必要はなく、例えば読み出し電圧Vreadより低電圧或いは負電圧であってもよい。
説明のため、図4の回路図を更に簡略化したモデルを図5に示す。図5において、全ての非選択メモリセルの抵抗値をRUとし、並列にある全ての非選択メモリセルを1つの抵抗素子435に纏めて、その抵抗値を単純にRU/nであると想定する。ここでnとは、1本のビット線上に接続する非選択メモリセルの数である。図5に示す回路図を基に、出力電圧450(VOUT)を1本のビット線上に接続する非選択メモリセル数nの関数として、下記の数1に示す算出式により求めることが可能である。
説明のため、全ての非選択メモリセルが同じ抵抗値RUであると想定するならば、本可変抵抗素子メモリアレイの出力電圧VOUTを求めるには、4通りの条件が考えられる。図6及び図7は、非選択メモリセル数nの関数としての出力電圧VOUT(n)を示すグラフである。先ず、選択メモリセルが高抵抗状態で、非選択メモリセルが低抵抗状態にある場合の出力電圧VOUT(n)が、Vhl(n)であり、選択メモリセルが高抵抗状態で、非選択メモリセルもまた高抵抗状態にある場合の出力電圧VOUT(n)が、Vhh(n)である。次に、選択メモリセルが低抵抗状態で、非選択メモリセルが高抵抗状態にある場合の出力電圧VOUT(n)が、Vlh(n)であり、選択メモリセルが低抵抗状態で、非選択メモリセルもまた低抵抗状態にある場合の出力電圧VOUT(n)がVll(n)である。
図6は、高抵抗状態のメモリセルの抵抗値が10000Ω、低抵抗状態のメモリセルの抵抗値が1000Ω、及び、負荷抵抗が1000Ωである場合の上記4通りの条件での各出力電圧VOUT(n)と非選択メモリセル数nの関係を示すグラフである。読み出し電圧Vreadは1Vに設定する。図6の横軸は、対数表示された非選択メモリセル数nで、1から100までの範囲を示す。
出力電圧Vhl(n)に対応する曲線610、及び、出力電圧Vhh(n)に対応する曲線620は、選択メモリセルが高抵抗状態であるため、共に低電圧出力を示す。出力電圧Vlh(n)に対応する曲線630、及び、出力電圧Vll(n)に対応する曲線640は、選択メモリセルが低抵抗状態にあるため、非選択メモリセル数nの値が小さい場合に共に著しく高電圧出力を示す。しがしながら、非選択メモリセル数nの値が大きくなるにつれ、選択メモリセルが低抵抗状態であっても出力電圧Vlh(n),Vll(n)は、非選択メモリセル数nの上昇の影響で低くなる。非選択メモリセル数nが10を超えた時、出力電圧Vll(n)は出力電圧Vhh(n)に収束し、最終的には、負荷抵抗と並列にある非選択メモリセルの影響により、高抵抗状態のメモリセルと低抵抗状態のメモリセルの分離が本質的に不可能となる。
図7は、負荷抵抗が100000Ωで、その他の抵抗値は図6に示す事例と同じである。また、図7の横軸は、図6と同様に、対数表示された非選択メモリセル数nで、1から100までの範囲を示す。この場合、非選択メモリセル数nが小さくても、出力電圧Vll(n)と出力電圧Vhh(n)差を分離することは難しい。つまり、図6及び図7は、大容量メモリアレイにおいて、選択メモリセルの抵抗変化を単純な構造の電圧検知型センスアンプで読み出すのは極めて困難であること示唆している。
現在の記憶装置には、メモリ容量が何千何万ビットにもなる大容量なものがある。大容量のメモリアレイでは、当該大きなメモリアレイにアクセスするため、多くのワード線を持つことが望ましい。
図6及び図7に示される問題として、一つには、選択メモリセルの抵抗変化を読み出すために電圧検知型センスアンプを使用している点がある。理想的な電圧検知型センスアンプは無限大の入力抵抗を有する。つまり、理想的な電圧検知型のセンスアンプの場合では、ビット線の負荷抵抗は無限大に近づく。実際には上述のように、負荷抵抗はおよそ何千何万Ωにもなる。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、大容量のメモリアレイであっても選択メモリセルの抵抗変化を読み出せるクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置及びその読み出し方法を提供する点にある。
上記目的を達成するための本発明に係るクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法は、電気的パルスの印加により抵抗変化を生じさせる可変抵抗素子からなるメモリセルを行方向及び列方向に夫々複数配列し、同一列の前記メモリセルの一端を共通のビット線に接続し、同一行の前記メモリセルの他端を共通のワード線に接続してなるクロスポイント型のメモリアレイにおいて、所定のビット線に読み出し対象の選択メモリセルと複数の非選択メモリセルが共通に接続している状態で、前記選択メモリセルの抵抗状態を読み出すクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法であって、前記選択メモリセルが接続する前記ワード線に読み出し電圧を印加して前記選択メモリセルを選択し、前記複数の非選択メモリセルが各別に接続する他の前記ワード線の全てに非選択電圧を印加することにより、前記非選択メモリセルを非選択にし、前記所定のビット線に流れる電流の大小を検知することにより前記選択メモリセルの抵抗状態を読み出すことを特徴とする。
更に、本発明に係るクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法は、前記非選択電圧が0Vであることを特徴とする。
更に、本発明に係るクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法は、前記所定のビット線の電流検知が、電流検知器の入力負荷を流れる電流の検知を含むことを特徴とする。
更に、本発明に係るクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法は、前記電流検知器の入力インピーダンスが10Ω以下、1Ω以下、または、0.1Ω以下であることを特徴とする。
更に、本発明に係るクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法は、前記電流検知器が、オペアンプ回路、奇数段カスケード接続のインバータ回路、差動増幅器、及び、単純な構造のCMOS回路の何れかで構成される電流検知器であることを特徴とする。また、前記電流検知器が、帰還抵抗を備えて構成される電流検知器であることを特徴とする。
上記目的を達成するための本発明に係るクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置は、電気的パルスの印加により抵抗変化を生じさせる可変抵抗素子からなるメモリセルを行方向及び列方向に夫々複数配列し、同一列の前記メモリセルの一端を共通のビット線に接続し、同一行の前記メモリセルの他端を共通のワード線に接続してなるクロスポイント型のメモリアレイと、読み出し対象の選択メモリセルに接続する前記ビット線を流れる電流の大小を検知可能な電流検知器を備えることを特徴とする。
更に、本発明に係るクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置は、1本のビット線に接続する複数の前記メモリセルの中から1つの前記選択メモリセルを選択するメモリセル選択手段と、前記1本のビット線に接続する前記選択メモリセル以外の非選択メモリセルを非選択にするメモリセル非選択手段を備えることを特徴とする。
更に、本発明に係るクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置は、前記可変抵抗素子が、巨大磁性抵抗(CMR:colossal magnetoresistance)材料であることを特徴とする。
更に、本発明に係るクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置は、Pr0.7Ca0.3MnO3(PCMO)であることを特徴とする。
更に、本発明に係るクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置は、前記巨大磁性抵抗材料が、Gd0.7Ca0.3BaCo205+5であることを特徴とする。
更に、本発明に係るクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置は、前記電流検知器の入力インピーダンスが10Ω以下、1Ω以下、または、0.1Ω以下であることを特徴とする。
更に、本発明に係るクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置は、前記電流検知器が、オペアンプ回路、奇数段カスケード接続のインバータ回路、差動増幅器、及び、単純な構造のCMOS回路の何れかで構成される電流検知器であることを特徴とする。また、前記電流検知器が、帰還抵抗を備えて構成される電流検知器であることを特徴とする。
従来のクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの選択メモリセルの出力電圧の読み出しでは、電圧検知型センスアンプによる電圧検知式に読み出しであったため、共通のビット線に接続する非選択メモリセル数が増加すると、選択メモリセルの抵抗状態を判別困難であったところ、本発明に係るクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法、または、クロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置によれば、選択メモリセルに接続するビット線電流を電流検知器により読み出すため、共通のビット線に接続する非選択メモリセル数が増加しても十分に、選択メモリセルの抵抗状態を判別可能で、メモリアレイの大容量化が容易に図れる。
以下、本発明に係るクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置(以下、適宜「本発明装置」と略称する)、及び、本発明に係るクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法(以下、適宜「本発明方法」と略称する)について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明装置のメモリアレイ領域10の概略構造を示す斜視図である。メモリアレイ領域10の概略構造は上述の背景技術で説明したものと同じである。メモリアレイ領域10は、その上部に複数の下部電極14が形成される基板12を備える。活性層16は、下部電極14を覆うように堆積される。複数の上部電極18は、活性層16上に位置し、当該活性層16は、上部電極18と下部電極14の間に位置する。
上部電極18と下部電極14は、夫々が、互いに平行に配置されるのが好ましく、該上部電極18と該下部電極14はクロスポイント式に規則的に交差して配置される。図1に示すように、上部電極18は下部電極14に対して夫々直角に配置される。クロスポイントとは、上部電極18と下部電極14が夫々交差する位置40を指す。各クロスポイント40において、上部電極18と下部電極14に挟まれた活性層16が電気的パルスの印加により抵抗変化を生じさせる可変抵抗体42として機能し、その上下の各電極18,14と合わせて可変抵抗素子からなるメモリセル44を形成する。上部電極18と下部電極14は、クロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置のメモリアレイにおけるワード線またはビット線として夫々機能することができる。
図1は、メモリアレイ領域のみを示した概略図である。実際の記憶装置では、基板12、下部電極14及び上部電極18を、メモリアレイ領域をはるかに超えて拡張してもよい。図示する活性層16には実質的に間断がなく、1箇所以上のクロスポイントに亘って広く形成されているが、活性層16は夫々のクロスポイント個所40で個々のビット(記憶領域)を形成するようにしてもよい(例えば、特許文献1参照)。
基板12は、LaAlO3、Si、TiN等の非結晶質、多結晶質または結晶質の何れの基板材料で形成されても構わない。
下部電極14は、導電性酸化物またはその他の導電性材料により形成される。一好適な実施例として、該導電性材料は、その上側にペロブスカイト材料のエピタキシャル成長を可能にするYBa2Cu3O7(YBCO)であり、別の好適例としての該導電性材料は白金である。下部電極は約5nmから500nmの範囲の膜厚を有する。一好適な実施例として、下部電極14は、基板に溝を形成し、その溝に導電性材料を堆積し、堆積した導電性材料を基板と同レベルになるように研磨することで形成される。研磨には、化学機械研磨(CMP)や他の適切な手段が使われる。或いは、下部電極を、溝の形成及び研磨をせずに、導電性材料を堆積した後にパターニングすることで形成してもよい。
活性層16は、電気的パルスの印加に応じてその電気抵抗を変化させることが可能な可変抵抗体である。活性層の材料は、巨大磁性抵抗(CMR:colossal magnetoresistance)材料や高温超伝導(HTSC:high temperature superconductivity)材料(例えばPr0.7Ca0.3MnO3(PCMO))のようなペロブスカイト構造を有する材料が好ましいが、Gd0.7Ca0.3BaCo205+5でもよい。活性層16は、約5nmから500nmの膜厚が好ましい。活性層16は、パルスレーザ堆積法、RFスパッタリング法、電子ビーム蒸着法、熱蒸着法、有機金属堆積法、ゾル・ゲル法、有機金属気相成長法等の適切な成膜技法を使って堆積することができる。メモリアレイ領域の外側の活性層は、イオンミリングやその他の適切な処理により除去される。尚、メモリアレイ領域内にペロブスカイト材料が堆積する広い井戸部を形成し、化学機械研磨(CMP)により該井戸部上面まで活性層を研磨することで、メモリアレイ領域内に活性層を形成することもできる。
前記上部電極18は、導電性材料、好ましくは白金、銅、銀、金で形成される。
次に、図1に示す可変抵抗素子からなるメモリセルをマトリクス状に配列してなるクロスポイント型可変抵抗メモリアレイ内の選択メモリセルのデータ読み出し方法(本発明方法)について説明する。
本発明方法は、従来の電圧検知型の読み出し方法に代えて、選択メモリセルの抵抗変化を電流検知により読み出すものである。理想的な電流検知型センスアンプ(または、電流検知器)の入力抵抗は0Ωであり、従って、選択メモリセルに接続する負荷抵抗は0Ωが理想である。しかしながら、実際の電流検知型センスアンプの入力抵抗は0Ωではないが、およそ10Ω以下或いは数Ωの負荷抵抗は実現できる。負荷抵抗RLOADを流れる出力電流IOUTは、通常、出力電圧VOUTを負荷抵抗RLOADで除した値に相当する。つまり、読み出し電流IOUTは、上述の数1より、1本のビット線上に接続する非選択メモリセル数nの関数として、以下の数2または数3に示す算出式で与えられる。
説明のため、全ての非選択メモリセルが同じ抵抗値RUであると想定するならば、本可変抵抗素子メモリアレイの出力電流IOUTを求めるには、4通りの条件が考えられる。図8、図10及び図11は、非選択メモリセル数nの関数としての出力電流IOUT(n)を示すグラフである。先ず、選択メモリセルが高抵抗状態で、非選択メモリセルが低抵抗状態にある場合の出力電流IOUT(n)が、Ihl(n)であり、選択メモリセルが高抵抗状態で、非選択メモリセルもまた高抵抗状態にある場合の出力電流IOUT(n)が、Ihh(n)である。次に、選択メモリセルが低抵抗状態で、非選択メモリセルが高抵抗状態にある場合の出力電流IOUT(n)が、Ilh(n)であり、選択メモリセルが低抵抗状態で、非選択メモリセルもまた低抵抗状態にある場合の出力電流IOUT(n)が、III(n)である。
図8は、高抵抗状態のメモリセルの抵抗値が10000Ω、低抵抗状態のメモリセルの抵抗値が1000Ω、及び、負荷抵抗が1Ωである場合の上記4通りの条件での各出力電流IOUT(n)と非選択メモリセル数nの関係を示すグラフである。読み出し電圧Vreadは1Vに設定する。図8の横軸は、対数表示された非選択メモリセル数nで、1から1000までの範囲を示す。図8では、縦軸の出力電流IOUT(n)もまた対数表示されている。
出力電流Ihl(n)に対応する曲線810、及び、出力電流Ihh(n)に対応する曲線820は、選択メモリセルが高抵抗状態であるため、共に小さい出力電流を示す。出力電流Ilh(n)に対応する曲線830、及び、出力電流Ill(n)に対応する曲線840は、極めて大きな出力電流を示す。出力電流IOUT(n)は、選択メモリセルが高抵抗状態または低抵抗状態の何れであっても、非選択メモリセル数nが100を越えない間はさほど影響されない。非選択メモリセル数nが1000に達しても、非選択メモリセルの抵抗状態に拘わらず、選択メモリセルが高抵抗状態と低抵抗状態の何れの状態にあるかの読み出しは可能である。
図9に示すトランスインピーダンス(または、トランスレジスタンス)モードで構成された通常の演算増幅器900(オペアンプ)は、上記の条件満たすことが可能な電流検知型センスアンプの一例である。メモリアレイの形成過程においてオペアンプ電流検知器を作り込むことができ、オペアンプはメモリアレイ形成前に形成できる。図9に示すオペアンプの入力に対する実効的な負荷抵抗は、帰還抵抗RFを1とオープンループゲイン(A)の和で割ることで求められる(RLOAD=RF/(1+A))。オペアンプの出力電圧VOUTは、負荷抵抗RLOADを流れる出力電流IOUTと帰還抵抗RFの積に略等しくなる(VOUT=IOUT×RF)。図8に示す出力電流IOUTの例によると、1kΩの帰還抵抗では、選択メモリセルRMの抵抗値に従って、およそ0.1Vと1Vの間の範囲の出力電圧VOUTが発生する。帰還抵抗値1kΩで、例えばオープンループゲインが20000の通常オペアンプでは、オペアンプ入力の実効的な負荷抵抗は0.05Ωである。
図10は、高抵抗状態のメモリセルの抵抗値が10000Ω、低抵抗状態のメモリセルの抵抗値が1000Ω、及び、負荷抵抗が0.1Ωである場合の上記4通りの条件での各出力電流IOUT(n)と非選択メモリセル数nの関係を示すグラフである。読み出し電圧Vreadは1Vに設定する。図10の横軸は、対数表示された非選択メモリセル数nで、1から10000までの範囲を示す。図10では、縦軸の出力電流IOUT(n)もまた対数表示されている。
出力電流Ihl(n)に対応する曲線810、及び、出力電流Ihh(n)に対応する曲線820は、選択メモリセルが高抵抗状態であるため、共に小さい電流出力を示す。出力電流Ilh(n)に対応する曲線830、及び、出力電流Ill(n)に対応する曲線840は、極めて大きな出力電流を示す。出力電流IOUT(n)は、選択メモリセルが高抵抗状態または低抵抗状態の何れであっても、非選択メモリセル数nが1000を越えない間はさほど影響されない。非選択メモリセル数nが10000に達しても、非選択メモリセルの抵抗状態に拘わらず、選択メモリセルが高抵抗状態と低抵抗状態の何れの状態にあるかの読み出しは可能である。
選択メモリセルの抵抗状態の検出に電流検知型センスアンプを使用する更なる利点として、低抵抗状態に対する高抵抗状態の抵抗比を低減できる点が挙げられる。上記の例では、高抵抗状態での抵抗値は、低抵抗状態の抵抗値の10倍程度以上になる。
図11は、高抵抗状態のメモリセルの抵抗値が2000Ω、低抵抗状態のメモリセルの抵抗値が1000Ω、及び、負荷抵抗が0.1Ωである場合の上記4通りの条件での各出力電流IOUT(n)と非選択メモリセル数nの関係を示すグラフである。読み出し電圧Vreadは1Vに設定する。図11の横軸は、対数表示された非選択メモリセル数nで、1から10000までの範囲を示す。図11では、縦軸の出力電流IOUT(n)もまた対数表示されている。
出力電流Ihl(n)に対応する曲線810、及び、出力電流Ihh(n)に対応する曲線820は、選択メモリセルが高抵抗状態であるため、共に小さい電流出力を示す。出力電流Ilh(n)に対応する曲線830、及び、出力電流Ill(n)に対応する曲線840は、極めて大きな出力電流を示す。出力電流IOUT(n)は、選択メモリセルが高抵抗状態または低抵抗状態の何れであっても、非選択メモリセル数nが1000を越えない間はさほど影響されない。非選択メモリセル数nが10000に達しても、非選択メモリセルの抵抗状態に拘わらず、選択メモリセルが高抵抗状態と低抵抗状態の何れの状態にあるかの読み出しは可能である。
非選択メモリセル数nが10000であっても、帰還抵抗を1kΩとした場合のオペアンプの出力電圧VOUTは、選択メモリセルが低抵抗状態で全ての非選択メモリセルもまた低抵抗状態である場合は0.5Vになり、選択メモリセルが高抵抗状態で全ての非選択メモリセルもまた高抵抗状態である場合は約0.33Vになる。この電圧差は、オペアンプの次段において容易に読み取り可能である。
電流検知型センスアンプは或るビット線上の選択メモリセルの抵抗変化の検出に使われているが、次段以降においてオンまたはオフ状態(1または0)を読み出しても構わない。例えば、トランスインピーダンス構成のオペアンプの場合、次段の回路に出力電圧を供給して1または0を出力させるようにしても構わない。更に、メモリセルが2より多い抵抗状態(3値以上の多値レベル)を有するなら、例えば非2進構造の場合に、次段の回路を選択メモリセルの多値レベルの読み出しに使用するようにしてもよい。
以上、オペアンプを電流検知型センスアンプとして使用する例を説明してきたが、その他の電流検知器を使用してもよい。例えば、図12に示すように、出力電流検知器は、帰還抵抗(RF)490を備えた簡単な構成の奇数段カスケード接続したインバータ回路で構成できる。図12に示す回路例は、帰還抵抗(RF)490を備えた簡単な構成の3段カスケード接続のインバータ回路120で構成される。
また、差動増幅器を出力電流検知器として使用してもよい。図13に、差動増幅器130と、その次段に接続するインバータ132と、インバータ132の出力と差動増幅器130の入力の間に挿入された帰還抵抗(RF)490を備えた電流検知型センスアンプの回路構成を示す。差動増幅器130には、バイアス電圧(VBIAS)136とリファレンス電圧(Vref)134が供給される。
図14に、差動増幅器130と帰還抵抗(RF)490だけを備え、インバータ無しで構成された電流検知型センスアンプを示す。差動増幅器130には、バイアス電圧(VBIAS)136とリファレンス電圧(Vref)134が供給される。
図15に、単純なCMOS構造の電流検知型センスアンプ150の回路構成例を示す。リファレンス電圧(Vref)134がゲートに接続されたPMOSトランジスタ152のドレインと、ビット線156がゲートに接続されたNMOSトランジスタ154のドレインとが接続して出力ノードを形成し、帰還抵抗(RF)490が、ビット線156と該出力ノード(VOUT)450の間に接続されて構成される。
上述のオペアンプ、奇数段カスケード接続のインバータ回路、及び、差動増幅器等を用いた電流検知型センスアンプは、全て帰還抵抗を使用している。該帰還抵抗は任意の適当な手段によって提供される。該帰還抵抗の形成をMOS製造工程に組み込む時、該帰還抵抗は、公知のポリシリコン、その他の抵抗材料、或いは、デプレーション型トランジスタにより形成される。
以上、本発明装置及び本発明方法の実施形態につき詳細に説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲で示される本発明の趣旨に基づいて適宜変更可能である。
本発明に係る電気的に書込み可能なクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置及びクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法は、不揮発性記憶装置に利用可能である。
10: クロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置のメモリアレイ(クロスポイント型可変抵抗素子アレイ)
12: 基板
14: 下部電極
16: 活性層
18: 上部電極
22: メモリ出力回路(読み出し回路)
24: パストランジスタ
26: 負荷トランジスタ
28,102,132: インバータ
30: ワード線
32: 選択メモリセル
40: クロスポイント
42: 可変抵抗体
44: メモリセル(可変抵抗素子)
120: 3段カスケード接続のインバータ回路
130: 差動増幅器
134: リファレンス電圧(Vref)
136: バイアス電圧(VBIAS)
150: 単純なCMOS構造の電流検知型センスアンプ
152: PMOSトランジスタ
154: NMOSトランジスタ
156: ビット線
410: 読み出し電圧(Vread)
420: 選択メモリセル
430: 非選択メモリセル
435: 全ての非選択メモリセル
440: 負荷抵抗(RLOAD)
450: 出力電圧、出力ノード(VOUT)
490: 帰還抵抗(RF)
610: 出力電圧Vhl(n)に対応する曲線
620: 出力電圧Vhh(n)に対応する曲線
630: 出力電圧Vlh(n)に対応する曲線
640: 出力電圧Vll(n)に対応する曲線
810: 出力電流Ihl(n)に対応する曲線
820: 出力電流Ihh(n)に対応する曲線
830: 出力電流Ilh(n)に対応する曲線
840: 出力電流Ill(n)に対応する曲線
900: オペアンプ
B1,B2,B3,B4: ビット線
12: 基板
14: 下部電極
16: 活性層
18: 上部電極
22: メモリ出力回路(読み出し回路)
24: パストランジスタ
26: 負荷トランジスタ
28,102,132: インバータ
30: ワード線
32: 選択メモリセル
40: クロスポイント
42: 可変抵抗体
44: メモリセル(可変抵抗素子)
120: 3段カスケード接続のインバータ回路
130: 差動増幅器
134: リファレンス電圧(Vref)
136: バイアス電圧(VBIAS)
150: 単純なCMOS構造の電流検知型センスアンプ
152: PMOSトランジスタ
154: NMOSトランジスタ
156: ビット線
410: 読み出し電圧(Vread)
420: 選択メモリセル
430: 非選択メモリセル
435: 全ての非選択メモリセル
440: 負荷抵抗(RLOAD)
450: 出力電圧、出力ノード(VOUT)
490: 帰還抵抗(RF)
610: 出力電圧Vhl(n)に対応する曲線
620: 出力電圧Vhh(n)に対応する曲線
630: 出力電圧Vlh(n)に対応する曲線
640: 出力電圧Vll(n)に対応する曲線
810: 出力電流Ihl(n)に対応する曲線
820: 出力電流Ihh(n)に対応する曲線
830: 出力電流Ilh(n)に対応する曲線
840: 出力電流Ill(n)に対応する曲線
900: オペアンプ
B1,B2,B3,B4: ビット線
Claims (18)
- 電気的パルスの印加により抵抗変化を生じさせる可変抵抗素子からなるメモリセルを行方向及び列方向に夫々複数配列し、同一列の前記メモリセルの一端を共通のビット線に接続し、同一行の前記メモリセルの他端を共通のワード線に接続してなるクロスポイント型のメモリアレイにおいて、所定のビット線に読み出し対象の選択メモリセルと複数の非選択メモリセルが共通に接続している状態で、前記選択メモリセルの抵抗状態を読み出すクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法であって、
前記選択メモリセルが接続する前記ワード線に読み出し電圧を印加して前記選択メモリセルを選択し、
前記複数の非選択メモリセルが各別に接続する他の前記ワード線の全てに非選択電圧を印加することにより、前記非選択メモリセルを非選択にし、
前記所定のビット線に流れる電流の大小を検知することにより前記選択メモリセルの抵抗状態を読み出すことを特徴とするクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法。 - 前記非選択電圧が0Vであることを特徴とする請求項1に記載のクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法。
- 前記所定のビット線の電流検知が、電流検知器の入力負荷を流れる電流の検知を含むことを特徴とする請求項1に記載のクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法。
- 前記電流検知器の入力インピーダンスが10Ω以下であることを特徴とする請求項3に記載のクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法。
-
前記電流検知器の入力インピーダンスが1Ω以下であることを特徴とする請求項3に記載のクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法。 - 前記電流検知器の入力インピーダンスが0.1Ω以下であることを特徴とする請求項3に記載のクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法。
- 前記電流検知器が、オペアンプ回路、奇数段カスケード接続のインバータ回路、差動増幅器、及び、単純な構造のCMOS回路の何れかで構成される電流検知器であることを特徴とする請求項3〜6の何れか1項に記載のクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法。
- 前記電流検知器が、帰還抵抗を備えて構成される電流検知器であることを特徴とする請求項7に記載のクロスポイント型可変抵抗メモリアレイの読み出し方法。
- 電気的パルスの印加により抵抗変化を生じさせる可変抵抗素子からなるメモリセルを行方向及び列方向に夫々複数配列し、同一列の前記メモリセルの一端を共通のビット線に接続し、同一行の前記メモリセルの他端を共通のワード線に接続してなるクロスポイント型のメモリアレイを備えてなるクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置であって、
読み出し対象の選択メモリセルに接続する前記ビット線を流れる電流の大小を検知可能な電流検知器を備えることを特徴とするクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置。 - 1本のビット線に接続する複数の前記メモリセルの中から1つの前記選択メモリセルを選択するメモリセル選択手段と、
前記1本のビット線に接続する前記選択メモリセル以外の非選択メモリセルを非選択にするメモリセル非選択手段を備えることを特徴とする請求項9に記載のクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置。 - 前記可変抵抗素子が、巨大磁性抵抗(CMR:colossal magnetoresistance)材料であることを特徴とする請求項9または10に記載のクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置。
- 前記巨大磁性抵抗材料が、Pr0.7Ca0.3MnO3(PCMO)であることを特徴とする請求項11に記載のクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置。
- 前記巨大磁性抵抗材料が、Gd0.7Ca0.3BaCo205+5であることを特徴とする請求項11に記載のクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置。
- 前記電流検知器の入力インピーダンスが10Ω以下であることを特徴とする請求項9〜13の何れか1項に記載のクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置。
- 前記電流検知器の入力インピーダンスが1Ω以下であることを特徴とする請求項9〜13の何れか1項に記載のクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置。
- 前記電流検知器の入力インピーダンスが0.1Ω以下であることを特徴とする請求項9〜13の何れか1項に記載のクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置。
- 前記電流検知器が、オペアンプ回路、奇数段カスケード接続のインバータ回路、差動増幅器、及び、単純な構造のCMOS回路の何れかで構成される電流検知器であることを特徴とする請求項9〜16の何れか1項に記載のクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置。
- 前記電流検知器が、帰還抵抗を備えて構成される電流検知器であることを特徴とする請求項17に記載のクロスポイント型不揮発性可変抵抗記憶装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100843210B1 (ko) | 2006-11-02 | 2008-07-02 | 삼성전자주식회사 | 저항 메모리 소자 및 데이터 기입 방법 |
US7885098B2 (en) | 2005-11-07 | 2011-02-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Non-volatile phase-change memory device and method of reading the same |
JP2018501536A (ja) * | 2014-10-30 | 2018-01-18 | ヒューレット パッカード エンタープライズ デベロップメント エル ピーHewlett Packard Enterprise Development LP | ベクトル処理のためのダブルバイアスメムリスティブドット積エンジン |
JP2018501537A (ja) * | 2014-10-23 | 2018-01-18 | ヒューレット パッカード エンタープライズ デベロップメント エル ピーHewlett Packard Enterprise Development LP | ドット積を求めるためのメムリスティブクロスバーアレイ |
-
2005
- 2005-03-02 JP JP2005057215A patent/JP2005251381A/ja active Pending
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US7859882B2 (en) | 2006-11-02 | 2010-12-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Resistive memory device and method of writing data |
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US10008264B2 (en) | 2014-10-23 | 2018-06-26 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Memristive cross-bar array for determining a dot product |
JP2018501536A (ja) * | 2014-10-30 | 2018-01-18 | ヒューレット パッカード エンタープライズ デベロップメント エル ピーHewlett Packard Enterprise Development LP | ベクトル処理のためのダブルバイアスメムリスティブドット積エンジン |
US10643697B2 (en) | 2014-10-30 | 2020-05-05 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Double bias memristive dot product engine for vector processing |
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