JP2005249734A - 測定装置及び測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料基板に照射する測定光を発振する光源と、測定光が入射する光学スポットに、前記試料基板を載置するステージとを備え光学式の測定装置により、試料基板上のパターンを測定する際に、ステージを、試料基板に形成された複数のパターンのうち、少なくとも測定光の照射により干渉光を得るために必要な数のパターンが、光学スポット内に含まれる角度に調節した状態で測定を行う。
【選択図】 図1
Description
前記測定光が入射する光学スポットに、前記試料基板を載置するステージと、
を備え、
前記ステージは、前記試料基板に形成された複数のパターンのうち、少なくとも測定光の照射により干渉光を得るために必要な数のパターンが、前記光学スポット内に含まれる角度に調節する調節手段を含むものである。
前記測定光の入射角度を偏向する偏向器と、
前記測定光が入射する光学スポットに、前記試料基板を載置するステージと、
を備え、
前記偏向器は、前記試料基板に形成された複数のパターンのうち、少なくとも測定光の照射により干渉光を得るために必要な数のパターンが、前記光学スポット内に含まれる角度に、前記測定光を偏向し、前記試料基板に照射するものである。
前記試料基板を載置するステージの角度を、前記測定光が照射される範囲である光学スポット内に、前記試料基板に形成された複数のパターンのうち、少なくとも前記干渉光を得るために必要な数のパターンが含まれる角度に調節して行うものである。
前記測定光の照射する範囲である光学スポット内に、前記試料基板に形成された複数のパターンのうち、少なくとも前記干渉光を得るために必要な数のパターンが含まれる角度に、前記測定光の入射角度を偏向し、前記試料基板に照射するものである。
図1は、この発明の実施の形態における測定装置100を説明するための断面模式図である。
図1に示すように、測定装置100には、レーザ2が備えられ、レーザ2から発振した測定光を反射する位置に、半透過反射鏡4が設けられている。半透過反射鏡4を反射した測定光が入射した位置に、対物レンズ6が設けられ、対物レンズ6を透過した光が入射する位置にポーラライザ8が設けられている。また、ポーラライザ8を透過した光が照射する位置にウェーハステージ10が設けられている。
まず、レーザ2からは、測定光として、波長約375〜750nmのレーザ光が発振される。この測定光は、半透過反射鏡4において反射する。ここで反射した測定光は、対物レンズ6において集光、結像された後、ポーラライザ6においてTE波に偏光される。ここで、TE波とは、磁場が光の進行方向に対して垂直成分しか持たないものであり、ここでは、基板20上のラインパターン22と同一方向に偏光された光である。
2 レーザ
4 半透過反射鏡
6 対物レンズ
8 ポーラライザ
10 ウェーハステージ
12 反射鏡
14 検出器
16 解析手段
18 調節手段
20 基板
22 パターン
24 光学スポット
Claims (7)
- 試料基板に照射する測定光を発振する光源と、
前記測定光が入射する光学スポットに、前記試料基板を載置するステージと、
を備え、
前記ステージは、前記試料基板に形成された複数のパターンのうち、少なくとも測定光の照射により干渉光を得るために必要な数のパターンが、前記光学スポット内に含まれる角度に調節する調節手段を含むことを特徴とする測定装置。 - 前記調節手段は、前記ステージの角度を、約45度以上に調節できることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 試料基板に照射する測定光を発振する光源と、
前記測定光の入射角度を偏向する偏向器と、
前記測定光が入射する光学スポットに、前記試料基板を載置するステージと、
を備え、
前記偏向器は、前記試料基板に形成された複数のパターンのうち、少なくとも測定光の照射により干渉光を得るために必要な数のパターンが、前記光学スポット内に含まれる角度に、前記測定光を偏向し、前記試料基板に照射することを特徴とする測定装置。 - 試料基板に測定光を照射して、この測定光に対して前記試料基板から得られる干渉光により、前記試料基板のパターンを測定する測定方法であって、
前記試料基板を載置するステージの角度を、前記測定光が照射される範囲である光学スポット内に、前記試料基板に形成された複数のパターンのうち、少なくとも前記干渉光を得るために必要な数のパターンが含まれる角度に調節して行うことを特徴とする測定方法。 - 試料基板に測定光を照射して、この測定光に対して前記試料基板から得られる干渉光により、前記試料基板のパターンを測定する測定方法であって、
前記測定光の照射する範囲である光学スポット内に、前記試料基板に形成された複数のパターンのうち、少なくとも前記干渉光を得るために必要な数のパターンが含まれる角度に、前記測定光の入射角度を偏向し、前記試料基板に照射することを特徴とする測定方法。 - 前記ステージの角度を、2以上の角度に変えて、前記2以上の角度の、それぞれの角度におけるパターンの測定結果を用いてパターンの測定を行う請求項4または5に記載の測定方法。
- 前記ステージの角度を、パターン測定中に、変化させながら行うことを特徴とする請求項4から6のいずれかに記載の測定方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004064402A JP2005249734A (ja) | 2004-03-08 | 2004-03-08 | 測定装置及び測定方法 |
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- 2004-03-08 JP JP2004064402A patent/JP2005249734A/ja active Pending
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