JP2006352122A - チャックに対する光ビームの位置のドリフトを決定する方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1つの方法は光ビームで表面を照明することを含む。表面は、照明中にチャックに対して所定の位置を有する。方法は、表面の照明に応答して信号を生成し、その信号を使用してチャックに対する光ビームの位置のドリフトを決定する。1つのシステムは、光ビームで基準を照明するように構成される照明サブシステムを含む。基準は、照明中にチャックに対して所定の位置を有する。このシステムは、基準の照明に応答して信号を生成するように構成される検出器と、チャックに対する光ビームの位置のドリフトを決定するために信号を使用するように構成されるプロセッサとを含む。
【選択図】図1
Description
Claims (29)
- 検査中に試験体が配置されるチャックに対する光ビームの位置のドリフトを決定する方法であって、
照明中に前記チャックに対して所定の位置を有する表面を前記光ビームで照明することと、
前記照明に応答して信号を生成することと、
前記信号を使用して前記チャックに対する前記光ビームの前記位置の前記ドリフトを決定することを含む方法。 - 前記ドリフトが、x方向またはy方向での前記チャックに対する前記光ビームの前記位置のドリフトを含む請求項1に記載の方法。
- 前記ドリフトが、x方向とy方向での前記チャックに対する前記光ビームの前記位置のドリフトを含む請求項1に記載の方法。
- 前記表面が基準を備え、前記基準が少なくとも1つのパターン化フィーチャを備える請求項1に記載の方法。
- 前記表面が基準を備え、前記基準が、y方向の横延長部とその横延長部に沿ったほぼ同じ特性を有する少なくとも1つのパターン化フィーチャを備える請求項1に記載の方法。
- 前記表面が基準を備え、前記基準が第1パターン化フィーチャと第2パターン化フィーチャを備え、前記第1パターン化フィーチャがy方向で横方向に延び、前記第2パターン化フィーチャがy方向に対してある角度の方向で横方向に延びる請求項1に記載の方法。
- 前記表面が基準を備え、前記基準が3次元形状を有する反射器を備える請求項1に記載の方法。
- 前記表面が、検出器の表面を備える請求項1に記載の方法。
- 前記表面が、検出器の前に配置されたマスクの表面を備える請求項1に記載の方法。
- 前記光ビームと前記チャックを備える検査システムの較正の間に方法を実施することをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記光ビームが傾斜入射ビームを備える請求項1に記載の方法。
- 前記光ビームが垂直入射ビームを備える請求項1に記載の方法。
- 前記ドリフトに基づいて前記チャックに対する前記光ビームの前記位置を変更することをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記ドリフトに基づいて前記検査中に前記試験体上で検出された欠陥の位置を決定することをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 試験体を検査するように、また検査中に前記試験体が配置されるチャックに対する光ビームの位置のドリフトを決定するように構成されるシステムにおいて、
照明中に前記チャックに対して所定の位置を有する基準を前記光ビームで照明するように構成される照明サブシステムと、
前記照明に応答して信号を生成するように構成される検出器と、
前記チャックに対する前記光ビームの前記位置の前記ドリフトを決定するために、前記信号を使用するように構成されるプロセッサとを備えるシステム。 - 前記ドリフトが、x方向またはy方向での前記光ビームの前記位置のドリフトを含む請求項15に記載のシステム。
- 前記ドリフトが、x方向とy方向での前記光ビームの前記位置のドリフトを含む請求項15に記載のシステム。
- 前記基準が、少なくとも1つのパターン化フィーチャを備える請求項15に記載のシステム。
- 前記基準が、y方向の横延長部と前記横延長部に沿ったほぼ同じ特性を有する少なくとも1つのパターン化フィーチャを備える請求項15に記載のシステム。
- 前記基準が、第1パターン化フィーチャと第2パターン化フィーチャを備え、前記第1パターン化フィーチャがy方向で横方向に延び、前記第2パターン化フィーチャがy方向に対してある角度の方向で横方向に延びる請求項15に記載のシステム。
- 前記基準が、3次元形状を有する反射器を備える請求項15に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、システムによって前記試験体上で検出された欠陥の位置を決定するために、前記ドリフトを使用するようにさらに構成される請求項15に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記チャックに対する前記光ビームの前記位置を変更するために、前記ドリフトを使用するようにさらに構成される請求項15に記載のシステム。
- 試験体を検査し、検査中に前記試験体が配置されるチャックに対する光ビームの位置のドリフトを決定するように構成されるシステムにおいて、
照明中に前記チャックに対して所定の位置を有するとともに、その照明中に前記光ビームの位置に応答して信号を生成するように構成される検出器を、前記光ビームで照明するように構成される照明サブシステムと、
前記チャックに対する前記光ビームの前記位置の前記ドリフトを決定するために、前記信号を使用するように構成されるプロセッサとを備えるシステム。 - 前記ドリフトが、x方向またはy方向での前記光ビームの前記位置のドリフトを含む請求項24に記載のシステム。
- 前記ドリフトが、x方向とy方向での前記光ビームの前記位置のドリフトを含む請求項24に記載のシステム。
- 前記検出器が、前記検査において使用されるように構成されない請求項24に記載のシステム。
- 前記信号が、前記光ビームによるマスクの照明にさらに応答するように、前記照明サブシステムと前記検出器との間に配置されたマスクをさらに備える請求項24に記載のシステム。
- 前記検出器がフォトダイオードを備える請求項28に記載のシステム。
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