JP2005247664A5

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Publication number: JP2005247664A5
Application number: JP2004063176A
Authority: JP
Filing date: 2004-03-05
Publication date: 2008-06-19
Anticipated expiration: 2024-03-05

Description

前記の目的を達成するため、本発明は、透明基板の一方の面に透光性を有する反射層を設け、不透明層を該反射層に接して形成してなる鏡において、前記反射層の不透明層と接する層を、真空プラズマを用いたドライプロセスによって生成してなる、金属の窒化物、炭化物、酸化物、酸窒化物および酸炭化物から選ばれた少なくとも１種を主成分として含む金属化合物から形成されている鏡を提供する。

本発明の鏡は、透明基板の一方の面に透光性を有する反射層を形成し、不透明層を該反射層に接して形成しており、そして、該反射層の該不透明層と接する層を、真空プラズマを用いたドライプロセスによって生成してなる、金属の窒化物、炭化物、酸化物、酸窒化物および酸炭化物の中から選ばれた少なくとも１種を主成分として含む、特定の金属化合物とした鏡であり、従来の金属膜を反射層とする鏡に比して、その反射率を適度に調整することが可能となることから、目的とする反射像を鮮明に映す鏡とすることができ、あるいは、不鮮明に映す鏡とすることもできる。しかも従来の金属化合物からなる反射層に比しても、該反射層と該不透明層との接着力が優れているので、反射性能の耐久性を改善することができる。
また、本発明の鏡の製造方法によって、前記の反射性能の耐久性が改善された鏡を安定して製造することができる。

透光性を有する反射層の不透明層と接する層を、前記の、真空プラズマを用いたドライプロセスによって生成してなる、金属の窒化物、炭化物、酸化物、酸窒化物および酸炭化物の中から選ばれた少なくとも１種を主成分として含む金属化合物として、該反射層を形成することによって、該反射層と不透明層との接着力が強固になって、反射性能の耐久性が優れた鏡を提供することができる。

真空プラズマを用いたドライプロセスによって生成してなる、金属の窒化物、炭化物、酸化物、酸窒化物および酸炭化物の中から選ばれた少なくとも１種を主成分として含む金属化合物から形成された透光性を有する反射層が、不透明層との接着力が強固になる理由は明らかではないが、該反射層が緻密に形成される効果、その反射層表面の平滑性が高い効果等が考えられる。

前記透光性を有する反射層は、複数の層としてさらに反射効率を改善することができる。複数の層とする場合においても、反射層の不透明層と接する層を、真空プラズマを用いたドライプロセスによって生成してなる、金属の窒化物、炭化物、酸化物、酸窒化物および酸炭化物の中から選ばれた少なくとも１種を主成分として含む金属化合物によって構成する必要がある。不透明層と接しない層を構成する透光性を有する反射層は、真空プラズマを用いたドライプロセス以外の方法を用いて形成してもよい。また、薄膜形成材料として前記以外の化合物を使用することができるし、光透過性を有する金属薄膜とすることもできる。透明基板と接する反射層を、透明基板との接着力の大きい金属化合物層とすることによって、鏡の反射特性の耐久性をさらに向上することができる。

前記の光透過率、光反射率、透光性を有する反射層の厚さ、不透明層の厚さおよび塗膜の剥離試験は以下の方法で測定した値である。
（光透過率）
ＪＩＳＲ３１０６による。
（光反射率）
ＪＩＳＲ３１０６による。
（透光性を有する反射層の厚さ）
触針式表面段差測定器による。
（不透明層の厚さ）
触針式表面段差測定器による。
（塗膜の剥離試験）
試験体を６０℃±３℃の温水中に１０日間浸漬した後、温水中から取り出した試験体の膜面に１ｍｍ間隔で基板に達する切れ目をつけて、碁盤目を１００個つける。そして、前記の碁盤目の上に、碁盤目を覆うようにセロハンベースの粘着テープを載せて、片手の親指の腹部で１０回以上押圧し、粘着テープを塗膜に圧着する。その後、試験体を押さえながら、試験体面に対して大略直角方向に粘着テープを剥がす。粘着テープを剥がした時に、塗料が粘着テープ側に剥離した碁盤目の数を数える。

Claims

透明基板の一方の面に透光性を有する反射層を設け、不透明層を該反射層に接して形成してなる鏡において、前記反射層の不透明層と接する層が、真空プラズマを用いたドライプロセスによって生成してなる、金属の窒化物、炭化物、酸化物、酸窒化物および酸炭化物から選ばれた少なくとも１種を主成分として含む金属化合物から形成されていることを特徴とする鏡。
真空プラズマを用いたドライプロセスが、蒸着、スパッタリングおよびイオンプレーティングから選ばれた１種であることを特徴とする請求項１に記載の鏡。
真空プラズマを用いたドライプロセスが、活性化反応性蒸着、反応性スパッタリングおよび反応性イオンプレーティングから選ばれた１種であることを特徴とする請求項１に記載の鏡。
前記金属の窒化物が、Ｔｉ、ＣｒおよびＳｉから選ばれた少なくとも１種の物質を主成分として含む金属の窒化物であることを特徴とする請求項１に記載の鏡。
前記金属の炭化物が、ＴｉおよびＷから選ばれた少なくとも１種を主成分として含む金属の炭化物であることを特徴とする請求項１に記載の鏡。
前記金属の酸化物が、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｚｎ、Ｂｉ、Ｎｂ、ＡｌおよびＳｉから選ばれた少なくとも１種を主成分として含む金属の酸化物であることを特徴とする請求項１に記載の鏡。
前記金属の酸窒化物が、請求項６に記載の金属の酸化物、および、請求項４に記載の金属の窒化物の混合物を主成分として含む化合物であることを特徴とする請求項１に記載の鏡。
前記金属の酸炭化物が、請求項６に記載の金属の酸化物、および、請求項５に記載の金属の炭化物の混合物を主成分として含む化合物であることを特徴とする請求項１に記載の鏡。
前記反射層が、その厚さ５ｎｍ超、５００ｎｍ未満で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の鏡。
前記不透明層が、有機化合物の塗膜で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の鏡。
前記有機化合物が、アルキド化合物、アクリル化合物、エポキシ化合物、ウレタン化合物、アミノアルキド化合物およびビニル化合物の少なくとも１種をベース樹脂とすることを特徴とする請求項１０に記載の鏡。
前記反射層の不透明層と接する層が、反応性スパッタリング法で形成された、厚さ５ｎｍ超、１００ｎｍ未満のＴｉＮ膜であり、不透明層が、エポキシ化合物をベース樹脂とする有機化合物の塗膜で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の鏡。
透明基板の一方の面に透光性の反射層を形成し、その上に不透明層を形成する鏡の製造方法において、該透光性の反射層の該不透明層と接する層を、活性化反応性蒸着、反応性スパッタリングおよび反応性イオンプレーティングから選ばれた少なくとも１種の方法で生成してなる、金属の窒化物、炭化物、酸化物、酸窒化物および酸炭化物から選ばれた少なくとも１種の金属化合物で形成する鏡の製造方法であって、該金属の窒化物がＴｉ、ＣｒおよびＳｉから選ばれた少なくとも１種を主成分として含む窒化物、該金属の炭化物がＴｉおよびＷから選ばれた少なくとも１種を主成分として含む炭化物、該金属の酸化物がＴｉ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｚｎ、Ｂｉ、Ｎｂ、ＡｌおよびＳｉから選ばれた少なくとも１種を主成分として含む酸化物、該金属の酸窒化物が前記金属の酸化物と前記金属の窒化物の混合物を主成分として含む化合物および該金属の酸炭化物が前記金属の酸化物と前記金属の炭化物の混合物を主成分として含む化合物であることを特徴とする鏡の製造方法。