JP2005245156A - 位置修正方法、電動機制御装置／システム - Google Patents

Abstract

【課題】 電動機と、電動機によって作動する機械などの可動部とを含む系の周波数特性計測または共振周波数検出によって生じる、電動機および可動部の位置ずれを根本的に解消する。
【解決手段】 周波数特性計測または共振周波数検出を行っている間、検出部４は、可動部の動作量（変位量、速度、加速度など）をモニターする。周波数特性計測または共振周波数検出終了後、位置管理部３２０は、この動作量から、周波数特性計測または共振周波数検出によって生じた可動部の位置ずれ量を求める。位置ずれ修正指令部３２２は、この位置ずれ量にもとづいて、位置制御、速度制御を行いながら、可動部を周波数特性計測前または共振周波数検出前の位置に戻す。
【選択図】 図３

Description

本発明は、周波数特性計測機能または共振周波数検出機能を有する電動機制御装置に関する。

電動機の制御においては、サーボ調整を最適に行うため、電動機と、電動機によって作動する機械などの可動部とを含む系の周波数特性計測または共振周波数検出を行うことが重要である。かかる観点から、周波数特性計測機能または共振周波数検出機能を有する電動機制御装置がすでにいくつか提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。
国際公開第０１／８２４６２号パンフレット 特開２０００−２７８９９０号公報

電動機制御信号の周波数を掃引させるなどして、電動機と可動部を含む系の周波数特性計測または共振周波数検出を行うと、電動機および可動部の位置が、周波数特性計測または共振周波数検出を行う前の位置からずれてしまう。このずれをそのまま放置して電動機を使用しつづけると、作業者が位置の再設定を忘れた場合には、電動機の暴走などを引き起こすおそれがある。

また、電動機または可動部の位置が変化すると、電動機と可動部を含む系の周波数特性または共振周波数も変化するので、電動機または可動部の位置を正確に把握せずに周波数特性計測または共振周波数検出を行うと、正しい周波数特性または共振周波数は得られない。正しくない周波数特性または共振周波数を用いて電動機の制御を行えば、制御の精度は低下してしまう。

したがって、この位置ずれを防止する必要がある。

この点、特許文献１に記載の電動機制御装置は、位置ずれを可及的に防止するため、正転と逆転を交互に繰り返して周波数特性計測または共振周波数検出を行っている。

しかしながら、このような方法では、精度および再現性よく、位置ずれを防止することは困難である。

これに対し、特許文献２に記載の電動機制御装置は、特許文献１に記載の電動機制御装置とは異なり、位置制御を行いながら、周波数特性計測または共振周波数検出を行っている。

しかしながら、特許文献２に記載の電動機制御装置においても、電動機制御信号の周波数を掃引させるなどして周波数特性計測または共振周波数検出を行う場合には、制御系のゲインが小さいと、位置制御を行っているにもかかわらず、位置ずれが生じてしまう。位置ずれを避けるため、逆に制御系のゲインを大きくすれば、トルク飽和が生じ、周波数特性計測または共振周波数検出の精度が低下してしまう。このように、特許文献２に記載の電動機制御装置においても、電動機と可動部を含む系の周波数特性計測または共振周波数検出によって生じる位置ずれは十分に防止できない。

本発明の目的は、電動機と可動部を含む系の周波数特性計測または共振周波数検出によって生じる、電動機および可動部の位置ずれを根本的に解消する方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、電動機と可動部を含む系の周波数特性計測または共振周波数検出を行っている間、電動機または可動部の動作量（変位量、速度、加速度など）をモニターする。周波数特性計測または共振周波数検出終了後、この動作量から、周波数特性計測または共振周波数検出によって生じた、電動機または可動部の位置ずれ量を正確に求める。この位置ずれ量にもとづいて、位置制御を行いながら、電動機または可動部を周波数特性計測前または共振周波数検出前の位置に戻す。以上の処理によって、電動機および電動機によって作動する可動部の位置ずれは、根本的に解消される。

以上説明したように、本発明によれば、周波数特性計測または共振周波数検出の間の電動機または可動部の動作量にもとづいて正確に位置ずれ量を把握し、周波数特性計測または共振周波数検出の後に自動的に位置ずれを修正するので、作業者が位置の再設定を忘れたとしても、暴走などを引き起こすおそれもなく、周波数特性計測または共振周波数検出の精度が低下することもない。その結果、作業者の負担も軽減される。

また、本発明によれば、周波数特性計測または共振周波数検出とは独立に、可動部または電動機の動作量を検出し、周波数特性計測後または共振周波数検出後に、検出した動作量にもとづいて、可動部または電動機の位置ずれを修正するので、周波数特性計測または共振周波数検出が正常に終了せずに、位置ずれを残したまま終了した場合（強制終了も含む）でも、位置ずれ修正が可能になる。

次に、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。

（第１の実施形態）
図１を参照すると、本発明の第１の実施形態の電動機制御装置の構成が示されている。本実施形態の電動機制御装置は、指令制御部１と、指令部２と、制御部３と、検出部４と、演算部５を含む。

指令制御部１は、指令部２が、電動機の動作を制御するための指令信号を制御部３に出力するのを制御する。指令信号は、例えば、電動機によって作動する機械などの可動部の時間ごとの変位量と速度を指定する信号を含む。

指令部２は、指令制御部１の制御を受けて、指令信号を制御部３に出力する。

制御部３は、指令部２からの指令信号にもとづいて電動機の動作を制御する制御信号を生成し、この制御信号にもとづいて電動機の動作を制御する。また、制御部３は、検出部４から可動部の動作量のデータを受け取って、電動機の動作を閉ループ制御する。さらに、これを周波数特性計測後または共振周波数検出後の位置ずれ修正に利用する。ここで、可動部の動作量は、可動部の変位量、速度、加速度を含む。

検出部４は、可動部の動作量を検出し、動作量のデータを制御部３と演算部５にそれぞれ出力する。検出部４による可動部の動作量の検出は、可動部に取り付けられた各種（変位量、速度、加速度など）センサによって行われる。

演算部５は、指令部２から指令信号を、検出部４からこの指令信号に対応する可動部の動作量のデータをそれぞれ受信し、電動機と可動部を含む系の周波数特性計測または共振周波数検出に利用する。周波数特性計測は、例えば、広い周波数スペクトルを有する制御信号を生成する指令信号に対応する可動部の動作量のデータを周波数スペクトル分解したり（例えば、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）を用いて）、制御信号の周波数を掃引する指令信号に対応する可動部の動作量のデータを、周波数に対してプロットしたりすることによって行う。共振周波数検出においては、広い周波数スペクトルを有する制御信号を生成する指令信号を用いる場合、この制御信号に対応する可動部の動作量の周波数スペクトルにおいて、動作量が極大となる周波数を共振周波数とする。また、制御信号の周波数を掃引する指令信号を用いる場合、同様に、動作量の極大値を与えた周波数をもって、共振周波数とする（特開２００２−１３４８６８号公報参照）。

図２を参照すると、制御部３の詳細な構成が示されている。制御部３は、加算器３０と、アンプ３１と、位置修正部３２を含む。

加算器３０は、指令部２からの指令信号と、位置修正部３からの位置ずれ修正指令信号を加算するものである。しかし、本発明では、位置ずれ修正を周波数特性計測後または共振周波数検出後に行うので、これらの指令信号を加算することはなく、いずれか入力された指令信号がアンプ３１に出力される。

アンプ３１は、指令部２からの指令信号または位置修正部３からの位置ずれ修正指令信号を増幅したうえで、電動機に対する制御信号を生成する。

位置修正部３２は、検出部４から可動部の動作量のデータを受け取り、これにもとづいて可動部の位置ずれを修正するための位置ずれ修正指令信号を生成する。位置修正部３２は、この位置ずれ修正指令信号を加算器３０に出力する。

本実施形態の電動機制御装置では、まず、指令部２からの指令信号により、周波数特性計測または共振周波数検出を行う。しかし、本実施形態の制御部３は、位置制御および速度制御を行わず、開ループで構成されているため、周波数特性計測後または共振周波数検出後、可動部に位置ずれが生じている可能性がある。そこで、周波数特性計測後または共振周波数検出後、位置修正部３２によって、可動部に生じた位置ずれを修正する。

図３を参照すると、位置修正部３２の詳細な構成が示されている。位置修正部３２は、位置管理部３２０と、スイッチ３２１と、位置ずれ修正指令部３２２と、スイッチ３２３と、減算器３２４と、位置制御器３２５と、スイッチ３２６と、減算器３２７と、速度制御器３２８を含む。

位置管理部３２０は、積分器３２００と、位置監視部３２０１と、減算器３２０２を含む。

積分器３２００は、検出部４から、周波数特性計測中または共振周波数検出中の可動部の動作量のデータを受け取る。ここでは、動作量として速度を用いる。積分器３２００は、速度のデータを積分して、これにより得た変位量のデータを位置監視部３２０１と、スイッチ３２３に出力する。

位置監視部３２０１は、積分器３２００から受け取った変位量のデータにもとづいて、可動部の現在位置をモニターする（位置監視部３２０１は、初期位置を把握しているものとする）。位置監視部３２０１は、可動部の現在位置のデータを減算器３２０２に出力する。

減算器３２０２は、位置監視部３２０１から可動部の現在位置のデータを受け取り、可動部の初期位置のデータ値から可動部の現在位置のデータ値を差し引く。この差分値は、可動部の位置ずれ量となる。減算器３２０２は、この差分値データをスイッチ３２１に出力する。

スイッチ３２１は、減算器３２０２から上記差分値データを受け取る。スイッチ３２１が閉じられると、この差分値データが位置ずれ修正指令部３２２に出力される。

位置ずれ修正指令部３２２は、スイッチ３２１から上記差分値データを受け取る。位置ずれ修正指令部３２２は、この差分値データにもとづき、可動部の位置を周波数特性計測前または共振周波数検出前の初期位置に戻すための位置ずれ修正指令信号を生成する。位置ずれ修正指令信号は、例えば、可動部の時間ごとの変位量と速度を指定する信号を含む。位置ずれ修正指令部３２２は、スイッチ３２１が開かれ、スイッチ３２３とスイッチ３２６が閉じられると、この位置ずれ修正指令信号を減算器３２４に出力する。

スイッチ３２３は、積分器３２００の出力である可動部の変位量のデータを受け取る。スイッチ３２３が閉じられると、可動部の変位量のデータは減算器３２４に出力される。

減算器３２４は、位置ずれ修正指令部３２２から位置ずれ修正指令信号を、スイッチ３２３から可動部の変位量のデータを受け取る。減算器３２４は、位置ずれ修正指令信号と可動部の変位量のデータを位置制御器３２５に出力する。可動部の変位量のデータは、位置制御器３２５のフィードバック信号になる。

位置制御器３２５は、減算器３２４から位置ずれ修正指令信号と可動部の変位量のデータを受け取る。位置制御器３２５は、可動部の変位量のデータをフィードバック信号として用い、可動部の変位量が位置ずれ修正指令信号で指定された変位量と等しくなるように位置制御信号を生成し、これを減算器３２７に出力する。つまり、位置に関する閉ループが形成される。なお、位置制御器３２５は、位置ずれ修正指令信号のうち、速度の指定に関する信号については、そのまま減算器３２７に出力する。

スイッチ３２６は、検出部４から可動部の速度のデータを受け取る。スイッチ３２６が閉じられると、可動部の速度のデータは減算器３２７に出力される。

減算器３２７は、位置制御器３２５から、位置制御信号と、位置ずれ修正指令信号のうち、速度の指定に関する信号を受け取る。また、減算器３２７は、スイッチ３２６から可動部の速度データを受け取る。減算器３２７は、これらを速度制御器３２８に出力する。可動部の速度データは、速度制御器３２８のフィードバック信号になる。

速度制御器３２８は、減算器３２７から、位置制御信号と、位置ずれ修正指令信号のうち、速度の指定に関する信号と、可動部の速度のデータを受け取る。速度制御器３２８は、可動部の速度のデータをフィードバック信号として用い、可動部の速度が位置ずれ修正指令信号で指定された速度と等しくなるように速度制御信号を生成し、これを加算器３０に出力する。つまり、速度に関する閉ループが形成される。なお、速度制御器３２８は、位置制御信号については、そのまま加算器３０に出力する。

次に、位置修正部３２の動作を時系列に説明する。

周波数特性計測中または共振周波数検出中は、スイッチ３２１、スイッチ３２３、スイッチ３２６のいずれもが開いている。検出部４から可動部の速度データが入力されており、位置監視部３２０３は可動部の現在位置を把握している。周波数特性計測または共振周波数検出が終了すると、スイッチ３２１が閉じられる。

スイッチ３２１が閉じられると、位置管理部３２０によって、可動部の初期位置と現在位置の差分値データが位置ずれ修正指令部３２２にロードされる。ロードが終了すると、スイッチ３２１は開かれる。位置ずれ修正指令部３２２は、差分値データにもとづいて位置ずれ修正指令信号を生成する。

スイッチ３２１が開かれると、スイッチ３２３とスイッチ３２６が閉じられ、位置および速度に関する閉ループが形成される。閉ループ形成後、位置ずれ修正指令部３２２は、位置制御器３２５および速度制御器３２８に位置ずれ修正指令信号を出力し、位置および速度を制御しながら、可動部の位置ずれを修正する。位置ずれ修正後、スイッチ３２３およびスイッチ３２６は開かれる。

（第２の実施形態）
第１の実施形態の電動機制御装置では、制御部３に位置制御器や速度制御器を設けず、位置および速度を制御せずに周波数特性計測または共振周波数検出を行っていた。第２の実施形態の電動機制御装置では、速度を制御しながら周波数特性計測または共振周波数検出を行う。

図４を参照すると、本発明の第２の実施形態の電動機制御装置の制御部３の構成が示されている。第１の実施形態の電動機制御装置の制御部３と異なる点は、速度を制御しながら周波数特性計測または共振周波数検出を行うために、減算器３３と速度制御器３４が追加されている点である。

減算器３３は、検出部４から可動部の速度データを受け取る。可動部の速度データは、速度制御器３４のフィードバック信号になる。速度制御器３４は、可動部の速度が指令部２からの指令信号に含まれる速度指定または位置修正部３２（または位置ずれ修正指令部３２２）からの位置ずれ修正指令信号に含まれる速度指定と等しくなるように、可動部の速度を制御する。つまり、速度の閉ループが形成される。

速度を制御しながら周波数特性計測または共振周波数検出を行っても、可動部の位置ずれは生じるので、周波数特性計測後または共振周波数検出後、位置ずれを修正する必要がある。

図５を参照すると、本発明の第２の実施形態の電動機制御装置の位置修正部３２の構成が示されている。第１の実施形態の電動機制御装置の位置修正部３２と異なる点は、制御部３に速度制御器３４を設けたので、位置修正部３２には速度制御器が不要になる点である。したがって、スイッチ３２６、減算器３２７、速度制御器３２８が省略され、位置制御器３２５は、加算器３０に直接接続される。速度制御は、速度制御器３４を利用して行われる。

（第３の実施形態）
図６を参照すると、本発明の第３の実施形態の電動機制御装置の制御部３の構成が示されている。第３の実施形態の電動機制御装置も、第２の実施形態の電動機制御装置と同様、速度を制御しながら周波数特性計測または共振周波数検出を行う。しかし、周波数特性計測または共振周波数検出に関する速度制御の速度指定は指令部２からの指令信号によって行われず、外部信号によって行われる。ここでは、可動部の速度がゼロになるように制御が行われる（Ｃ＝０）。指令部２からの指令信号は、新たに設けられた加算器３５に外乱として入力される。

速度がゼロになるように制御しながら周波数特性計測または共振周波数検出を行っても、可動部の位置ずれは生じるので、周波数特性計測後または共振周波数検出後、位置ずれを修正する必要がある。

第３の実施形態の電動機制御装置においても、制御部３に速度制御器３４を設けたので、位置修正部３２には速度制御器は不要となる。したがって、第３の実施形態の電動機制御装置の位置修正部３２は、図５と同じ構成でよい。速度制御は、速度制御器３４を利用して行われる。

（第４の実施形態）
第１から第４の実施形態の電動機制御装置では、周波数特性計測または共振周波数検出の際に位置制御は行っていなかった。第４の実施形態の電動機制御装置では、速度のみならず位置も制御して周波数特性計測または共振周波数検出を行う。

図７を参照すると、本発明の第４の実施形態の電動機制御装置の制御部３の構成が示されている。速度制御に加え位置制御も行うので、第２の実施形態の電動機制御装置の制御部３（図４）から、積分器３６と、減算器３７と、位置制御器３８がさらに追加されている。

積分器３６は、検出部４から可動部の速度データを受け取り、これを積分して可動部の変位量のデータを生成する。変位量のデータは、減算器３７に出力され、位置制御器３８のフィードバック信号になる。位置制御器３８は、可動部の変位量が指令部２からの指令信号に含まれる変位量指定または位置修正部３２（または位置ずれ修正指令部３２２）からの位置ずれ修正指令信号に含まれる変位量指定と等しくなるように、可動部の変位量を制御する。つまり、位置と速度の閉ループが形成される。

第４の実施形態の電動機制御装置は、位置および速度を制御しながら周波数特性計測または共振周波数検出を行う。しかし、[発明が解決しようとする課題]で説明したように、周波数特性計測または共振周波数検出においては、トルク飽和を避けるため、制御系のゲインを小さくしなければならない。その結果、位置制御を行っているにもかかわらず、位置ずれが生じてしまう。したがって、位置ずれを修正する必要性が生じる。

図６を参照すると、本発明の第４の実施形態の電動機制御装置の位置修正部３２の構成が示されている。第４の実施形態の電動機制御装置の制御部３には位置制御器３８を設けたので、位置修正部３２では、速度制御器のみならず位置制御器も省略可能である。したがって、スイッチ３２３、減算器３２４、位置制御器３２５、スイッチ３２６、減算器３２７、速度制御器３２８が省略され、位置ずれ修正指令部３２２は、加算器３０に直接接続される。位置制御と速度制御は、それじれ位置制御器３８と速度制御器３４を利用して行われる。

（第５の実施形態）
第１から第４の実施形態の電動機制御装置は単軸用のものであったが、第５の実施形態の電動機制御装置は多軸に対応できる。

図９を参照すると、本発明の第５の実施形態の電動機制御装置の構成が示されている。図９は２軸用のものである。各軸の構成、動作は、図１で説明したものと同様であるが、
周波数特性計測または共振周波数検出を行う際、指令部２ａからの指令信号に対応する、検出部６ａ、６ｂによって検出される各軸の可動部の動作量、指令部２ｂからの指令信号に対応する、検出部６ｂ、６ａによって検出される各軸の可動部の動作量が必要になることである。

制御部３ａ、３ｂについては、第１から第４の実施形態の制御部３（位置修正部３２）のいずれも用いることができ、周波数特性計測または共振周波数検出にともなう位置ずれを独立に修正できる。

なお、第１から第５の実施形態では、位置修正の精度を上げるために、速度制御器を用いたが、速度制御は必須ではなく、場合によっては速度制御器を省略してもよい。

また、第１から第５の実施形態では、検出部４は、可動部の動作量として速度を検出する場合を示してきた。しかし、速度に限らず、変位量、加速度などを用いてもよい。変位量を用いる場合、例えば図３では、検出部４の出力を位置監視部３２０１に直接入力し、スイッチ３２６には、検出部４の出力を微分した信号を入力すればよい。また、加速度を用いる場合、検出部４の出力を二回積分して位置監視部３２０１に入力し、スイッチ３２６には、検出部４の出力を一回積分した信号を入力すればよい。

さらに、第１から第５の実施形態では、検出部４が可動部をモニターする（センサが可動部に取り付けられる）場合を示してきたが、検出部４が電動機をモニターしてもよい（センサを電動機に取り付けてもよい）。電動機の位置ずれを修正することによっても、可動部の位置ずれを修正することによっても、電動機と可動部双方の位置ずれは解消されるからである。

本発明の第１の実施形態の電動機制御装置の全体構成を示した図である。 本発明の第１の実施形態の電動機制御装置における制御部３の内部構成を示した図である。 本発明の第１の実施形態の電動機制御装置における位置修正部３２の内部構成を示した図である。 本発明の第２の実施形態の電動機制御装置における制御部３の内部構成を示した図である。 本発明の第２の実施形態の電動機制御装置における位置修正部３２の内部構成を示した図である。 本発明の第３の実施形態の電動機制御装置における制御部３の内部構成を示した図である。 本発明の第４の実施形態の電動機制御装置における制御部３の内部構成を示した図である。 本発明の第４の実施形態の電動機制御装置における位置修正部３２の内部構成を示した図である。 本発明の第５の実施形態の電動機制御装置の全体構成を示した図である。

符号の説明

１ 指令制御部
２、２ａ、２ｂ 指令部
３、３ａ、３ｂ 制御部
３０ 加算器
３１ アンプ
３２ 位置修正部
３２０ 位置管理部
３２００ 積分器
３２０１ 位置監視部
３２０２ 減算器
３２１ スイッチ
３２２ 位置ずれ修正指令部
３２３ スイッチ
３２４ 減算器
３２５ 位置修正器
３２６ スイッチ
３２７ 減算器
３２８ 速度制御器
３３ 減算器
３４ 速度制御器
３５ 加算器
３６ 積分器
３７ 減算器
３８ 位置制御器
４、４ａ、４ｂ 検出部
５ 演算部

Claims (21)

1. 電動機と、前記電動機によって作動する可動部とを含む変動部の周波数特性計測によって生じる、前記変動部の位置ずれを修正する位置修正方法であって、
   前記周波数特性計測の間、前記変動部の動作量を検出する第１のステップと、
   前記周波数特性計測後、前記動作量にもとづき、前記変動部の位置ずれ量を求める第２のステップと、
   前記位置ずれ量にもとづき、前記変動部の変位量を制御しながら、前記変動部を前記周波数特性計測前の位置に戻す第３のステップを有する位置修正方法。
2. 前記第３のステップでは、前記変動部の速度制御をさらに行う、請求項１に記載の位置修正方法。
3. 前記動作量は変位量である、請求項１または２に記載の位置修正方法。
4. 前記動作量は速度である、請求項１または２に記載の位置修正方法。
5. 前記動作量は加速度である、請求項１または２に記載の位置修正方法。
6. 前記周波数特性計測は共振周波数検出を含む、請求項１から５のいずれか１項に記載の位置修正方法。
7. 前記共振周波数検出は、前記電動機を動作させる信号の周波数を掃引させて行う、請求項６に記載の位置修正方法。
8. 電動機と、前記電動機によって作動する可動部とを含む変動部の周波数特性計測を行う第１の手段と、
   前記周波数特性計測の間、前記変動部の動作量を検出する第２の手段と、
   前記周波数特性計測後、前記動作量にもとづき、前記変動部の位置ずれ量を求める第３の手段と、
   前記位置ずれ量にもとづき、前記変動部の変位量を制御しながら、前記変動部を前記周波数特性計測前の位置に戻す第４の手段を有する電動機制御装置。
9. 前記第４の手段は、前記変動部の速度を制御する手段をさらに有する、請求項８に記載の電動機制御装置。
10. 電動機と、前記電動機によって作動する可動部とを含む変動部の速度を制御する速度制御手段を有し、前記速度制御手段によって前記変動部の速度を制御しながら、前記変動部の周波数特性計測を行う第１の手段と、
    前記周波数特性計測の間、前記変動部の動作量を検出する第２の手段と、
    前記周波数特性計測後、前記動作量にもとづき、前記変動部の位置ずれ量を求める第３の手段と、
    前記位置ずれ量にもとづき、前記変動部の変位量を制御しながら、前記変動部を前記周波数特性計測前の位置に戻す第４の手段を有する電動機制御装置。
11. 前記第４の手段は、前記速度制御手段を利用して前記変動部の速度を制御する手段をさらに有する、請求項１０に記載の電動機制御装置。
12. 電動機と、前記電動機によって作動する可動部とを含む変動部の速度を制御する速度制御手段を有し、前記速度制御手段によって前記変動部の速度が所定の速度になるように制御しながら、外乱入力された周波数特性計測のための信号にもとづいて、前記変動部の前記周波数特性計測を行う第１の手段と、
    前記周波数特性計測の間、前記変動部の動作量を検出する第２の手段と、
    前記周波数特性計測後、前記動作量にもとづき、前記変動部の位置ずれ量を求める第３の手段と、
    前記位置ずれ量にもとづき、前記変動部の変位量を制御しながら、前記変動部を前記周波数特性計測前の位置に戻す第４の手段を有する電動機制御装置。
13. 前記第４の手段は、前記速度制御手段を利用して前記変動部の速度を制御する手段をさらに有する、請求項１２に記載の電動機制御装置。
14. 電動機と、前記電動機によって作動する可動部とを含む変動部の変位量を制御する変位量制御手段を有し、前記変位量制御手段によって前記変動部の変位量を制御しながら、前記変動部の周波数特性計測を行う第１の手段と、
    前記周波数特性計測の間、前記変動部の動作量を検出する第２の手段と、
    前記周波数特性計測後、前記動作量にもとづき、前記変動部の位置ずれ量を求める第３の手段と、
    前記位置ずれ量にもとづき、前記変位量制御手段を利用して前記変動部の変位量を制御しながら、前記変動部を前記周波数特性計測前の位置に戻す第４の手段を有する電動機制御装置。
15. 前記第１の手段は、前記変動部の速度を制御する速度制御手段をさらに有し、前記速度制御手段によって前記変動部の速度も制御しながら、前記周波数特性計測を行い
    前記第４の手段は、前記速度制御手段を利用して前記変動部の速度を制御する手段をさらに有する、請求項１４に記載の電動機制御装置。
16. 前記動作量は変位量である、請求項８から１５のいずれか１項に記載の電動機制御装置。
17. 前記動作量は速度である、請求項８から１５のいずれか１項に記載の電動機制御装置。
18. 前記動作量は加速度である、請求項８から１５のいずれか１項に記載の電動機制御装置。
19. 前記周波数特性計測は共振周波数検出を含む、請求項８から１８のいずれか１項に記載の電動機制御装置。
20. 前記第１の手段は、前記共振周波数検出のために、前記電動機を動作させる信号の周波数を掃引させる手段をさらに有する、請求項１９に記載の電動機制御装置。
21. 請求項８からの２０のいずれか１項に記載の前記電動機制御装置を複数有し、それぞれが異なる電動機を制御する電動機制御システム。
    
    

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