JP2005244508A - 誘電体共振器用セラミック体およびこれを用いた誘電体共振器 - Google Patents

誘電体共振器用セラミック体およびこれを用いた誘電体共振器 Download PDF

Info

Publication number
JP2005244508A
JP2005244508A JP2004050338A JP2004050338A JP2005244508A JP 2005244508 A JP2005244508 A JP 2005244508A JP 2004050338 A JP2004050338 A JP 2004050338A JP 2004050338 A JP2004050338 A JP 2004050338A JP 2005244508 A JP2005244508 A JP 2005244508A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonator
support base
dielectric resonator
dielectric
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004050338A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4328240B2 (ja
Inventor
Shinichi Takemura
真一 竹村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2004050338A priority Critical patent/JP4328240B2/ja
Publication of JP2005244508A publication Critical patent/JP2005244508A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4328240B2 publication Critical patent/JP4328240B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

【課題】誘電体共振子の支持台を接合する面の凹部内に溜まった空気が、熱硬化性接着剤を硬化させる際の熱により膨張し、接合部を浮き上がらせてしまい、接合強度を低下させ、また共振周波数がズレてしまうという課題があった。
【解決手段】誘電体共振子1を支持台2を介して支持する誘電体共振器用セラミック体であって、上記誘電体共振子1の支持台2側の端面1aに支持台2の端部を嵌着する凹部4を設け、一端が上記凹部4に開口し、他端が上記誘電体共振子1または支持台2の外周面に開口する溝6を設けた。
【選択図】 図1

Description

本発明は、誘電体フィルターとして用いられる誘電体共振器に用いられる誘電体共振器用セラミック体および誘電体共振器に関する。
従来、誘電体フィルターとして用いられる誘電体共振器は、円柱状もしくは円筒状をした誘電体セラミックスからなる誘電体共振子を、アルミナやフォルステライトを主成分とする絶縁性セラミックスからなる支持台を介して金属ケースの中央に配置したものであった。
そして、この誘電体共振器に特定の信号を入力すると、誘電体共振子の共振周波数のみが出力信号として出力されることから、誘電体フィルターとして使用され、各種回路に搭載されていた。
この誘電体共振子と支持台とを固定するためには、一般的にエポキシ樹脂系接着剤等の熱硬化型の接着剤が使用されている。これは、セラミックスどうしの接着強度に優れており、80℃〜100℃にもなる使用環境にも耐えうる耐熱強度を持っているためである。また製造工程において取り扱いが容易であるためでもある。
そして、誘電体共振子(以下、単に共振子とする)と支持台とを固定するため種々の提案がなされている。
特許文献1には、図6(a)に示すように、支持台2の共振子1側の端面に凹部7を設けたことから、共振子1と支持台2を接着剤5で接合したときに、凹部7が接着剤溜まりとして作用し、接着剤5が共振子1と支持台2の接合面から外へはみ出すことを防止するという方法が開示されている。
また、特許文献2には、図6(b)に示すように、円筒状の共振子1と円筒状の支持台2とを接合する場合に、共振子1の支持台2側の端面に、支持台2を嵌合する環状の凹部4を設け、該環状の凹部4に円筒状の支持台2を接着剤5により固着するという技術が開示されている。
特開2003−163517 特開2003−124715
しかしながら、特許文献1に開示された方法では、図6(a)に示すように、共振子1と支持台2の接合時に凹部7内に溜まった空気が熱硬化性接着剤5を硬化させる際の熱により膨張し、共振子1と支持台2の接合面にある接着剤5を押しのけて外部に抜けるという現象が発生していた。これにより、膨張した空気の通り道となった接合面には接着剤5が存在せず、当然の如く接合強度が低下するという第1の問題があった。
また、膨張した空気が外部に抜けるのと同時に接着剤5を外部にはみ出させてしまい、それによってQ値を劣化させてしまうという第2の問題があった。
さらに、膨張した空気によって支持台2に対し共振子1が浮きあがった状態になり、接合位置がずれてしまい共振器の共振周波数がずれてしまうという第3の問題、浮き上がりによる接合強度の低下という第4の問題があった。
また、特許文献2に開示された方法では、図6(b)に示すように、円筒状の共振子1を支持台2に接着する際には、共振子1内に空気が溜まることがないため、前述のような空気の熱膨張による不具合は発生することはない。しかし、共振子1を円筒状にすると、共振器の特性を満足するためには共振子1のサイズを円柱状にしたときよりも大きくする必要があり、スペース的に不利になるという問題、また、接合時にはみ出した接着剤5が内径部分に流れ出て付着してしまい、Q値を劣化させてしまうという問題があった。
本発明は、誘電体共振子を支持台を介して支持する誘電体共振器用セラミック体であって、上記誘電体共振子の支持台側の端面に支持台の端部を嵌着する凹部を設け、一端が上記凹部に開口し、他端が上記誘電体共振子または支持台の外周面に開口する溝または貫通孔を設けたことを特徴とする。
また、上記溝が凹部に沿って形成されることを特徴とする。
さらに、上記溝の両端が支持台側の端面に開口するように設けたことを特徴とする。
またさらに、上記凹部の底面に段部を設けることを特徴とする。
また、上記誘電体共振器用セラミック体を金属ケース内に配置してなる誘電体共振器であることを特徴とする。
本発明は、上記誘電体共振子の支持台側の端面に支持台の端部を嵌着する凹部を設け、一端が上記凹部に開口し、他端が上記誘電体共振子または支持台の外周面に開口する溝または貫通孔を設けたことから、共振子と支持台の接合時に溝を介して空気が外側に逃げるため、支持台の浮き上がりが無く、強固な接着が可能となるとともに接合位置のズレを極めて小さくすることができる。
また、上記溝が凹部に沿って形成されることから、容易に溝を成形または加工できるとともに、共振子と支持台の接合時に溝を介して空気が外側に逃げるため、支持台の浮き上がりが無く、共振子と支持台の接合時の浮き上がりが無く、強固な接着が可能であり、接合位置のズレを極めて小さくすることができる。
さらに、上記溝の両端が支持台側の端面に開口するように設けたことから、共振子と支持台の接合時に溝を介してより確実に空気を外側に逃がすことができ、支持台の浮き上がりが無く接合位置のズレを極めて小さくすることができる。
またさらに、上記凹部の底面に段部を設けることから、接着剤を共振子の接合面に塗布し、支持台を挿入したときに段部によって形成された底面側の凹部が接着剤溜まりとなり、余分な接着剤が外部にはみ出ることを防ぐことができる。
またさらに、上記誘電体共振器用セラミック体を金属ケース内に配置してなる誘電体共振器であることから、共振周波数のズレ、バラツキを極めて小さくすることができ、Q値の低下を小さくできるので、フィルター特性を向上することができる。
以下、本発明の実施形態を図によって詳細に説明する。
図1(a)は本発明の誘電体共振器用セラミック体を用いた誘電体共振器の一実施形態を示す断面図であり、(b)は同図(a)の誘電体共振器用セラミック体における誘電体共振子を下方から見た平面図である。
本発明の誘電体共振器用セラミック体は、例えば、円柱状をした誘電体セラミックスからなる誘電体共振子(以下、単に共振子と称す)1をアルミナやフォルステライトを主成分とする絶縁性セラミックスからなる支持台2を介して支持してなり、共振子1の支持台側の端面1aには支持台2の端部を嵌着する凹部4が形成されており、この凹部4に支持台2がエポキシ系接着剤等の接着剤5を介して接合してある。
このようにして得られた誘電体共振器用セラミック体を金属ケース3の中央に配置することで誘電体共振器を形成する。そして、この誘電体共振器に特定の信号を入力すると、共振子1の共振周波数のみが出力信号として出力されることから、誘電体フィルターとして使用される。
ここで、本発明の誘電体共振器用セラミック体は、上記共振子1または支持台2に、一端が共振子1の凹部4に連通するように開口し、他端が共振子1または支持台2に開口する溝6を設けたことが重要である。
この溝6は、共振子1、支持台2のどちらか一方に設けられていればよく、図1は共振子1に設けたものであり、溝6は共振子1の凹部4の底面から側面にかけて、支持台2を挿入しても凹部4と外部が貫通するようなスリット状としている。これにより、共振子1と支持台2の接合時に溝6を介して凹部4内に溜まった空気が外側に逃げるため、凹部4内の空気が密閉されることが無く、接着剤硬化のために加熱した際、膨張した空気が端面1aに開口する溝6を通って外部へ排出されるため、接合部の浮き上がりを防止することができるとともに、強固な接着が可能となるとともに接合位置のズレを極めて小さくすることができる。
また、溝6の底面は、この溝6が起点となる共振子1のクラックを防止するため曲面状とすることが好ましい。
ここで、図2を用いて接着剤5の熱硬化時に内部の空気が膨張し、溝6を通って外部へ排出される様子を説明する。
図2(a)は共振子1の凹部4に接着剤5を塗布し、支持台2を凹部4に挿入した状態を示す断面図である。この状態では凹部4に閉じこめられた空気は外部とは遮断された状態で密封状態である。
図2(b)は接着剤5を硬化させるための加熱がされている状態である。内部に閉じこめられていた空気は熱膨張し、接着剤5を押しのけて端面1aに開口する溝6を通って外部に排出されている。この時、加熱により接着剤5の粘度が下がっているため、膨張した空気は容易に接着剤5を押しのけて移動することができる。
また、図2において、共振子1と支持台2のクリアランス、すなわち共振子1と支持台2を接着している接着剤5の厚みhは、0.01〜0.03mmとしておくことが好ましい。接着剤5の厚みhが0.03mm以上となると、その厚みをばらつきなく一定に保つことが困難となり、結果的に支持台2に対する共振子1の位置がばらつくこととなるため、共振周波数がばらつく原因となるためである。
また、凹部4の径は、支持台2の外径よりも0.05〜0.10mm大きくし、クリアランスは片側0.025〜0.05mmとしておくことが好ましい。凹部4の径が0.10mm以上となると、上述と同様に支持台2に対する共振子1の位置がばらつくこととなるため、共振周波数がばらつく原因となるためである。
また、図1(b)、(c)に示すように、上記溝6が共振子1に設けられ、上記溝6は共振子1の凹部4に沿って形成されることが好ましい。
Q値低下の軽減のため電気的なロスの大きい接着剤5は、共振子1の中心付近にある電磁場中心からなるべく遠ざけたほうがよい。そのため、凹部4に沿って溝6を設けることで、共振子1の中心付近に接着剤5が存在しないようにすることができ、Q値の高い誘電体共振器を得ることができる。
また、共振子1を粉末プレス成形にて成形する際、凹部4に対応する金型の形状を溝付きの形状に対応する金型形状とすることにより、従来通りのプレス成形方法にて容易に溝6を形成することができる。また、研削加工によって共振子1に溝6を付ける場合も、容易に加工を行うことができる。
さらに、図1(b)、(c)に示すように、上記溝6が共振子1に設けられ、その両端が支持台2側の端面1aに開口することが好ましい。
これにより、より確実に凹部4内に溜まった空気を外部へ逃がすことができ、共振子1の中心付近に接着剤5が存在しないため、よりQ値の高い誘電体共振器を得ることができる。
また、共振子1を粉末プレス成形にて成形する際、凹部4に対応する金型の形状を溝付きの形状に対応する金型形状とすることにより、従来通りのプレス成形方法にて容易に溝6を形成することができる。また、研削加工によって共振子1に溝6を付ける場合も、容易に加工を行うことができる。
またさらに、図1(c)に示すように、凹部4の底面に段部9を設けることが好ましい。
この段部9によって凹部4の底面の中央部に接着剤溜まりを設けることができ、接着剤5を共振子1の接合面に塗布し、支持台2を挿入したときに、余分な接着剤が外部にはみ出すことを防ぐことができる。
なお、この段部9によって形成された接着剤溜まりの径は、凹部4の径に対して50〜90%とすることが好ましく、段部9の深さは、0.2〜2.0mmとすることが好ましい。これは、支持台2を挿入した際、はみ出した接着剤5を接着剤溜まり内部に保持することができるためである。
また、図3(a)、(b)に示すように溝6は複数あってもよい。この場合、円周方向に均等に形成することが好ましく、プレス成形時の成形体の密度バランスがよいためである。
さらに、図4に示すように、溝6を支持台2側に設けてもよい。支持台2の共振子1側の端面に、一端が凹部4に開口し、他端が支持台2の外周面に開口するように溝6を設けることで、共振子1に設けた場合と同様に接着剤5を硬化させるために加熱した際に膨張した空気が端面に開口する溝6を通って外部へ排出されるため、接合部の浮き上がりを防止することができる。
また、粉末プレス成形に用いる金型の形状を変えて一発形成することも可能であるし、円柱状に成形した後、研削加工することによって溝6を形成することも可能である。
なお、溝6は、図5(a)〜(d)に示すように一端が共振子1の凹部4に開口していれば、貫通孔の形状となっていてもよく、他端が共振子1、支持台2のどちらか一方に開口するように形成すればよく、図5(a)〜(c)は共振子1の支持台2側の端面1a、側面、反対の端面に設けたものであり、図5(d)は支持台2の側面に凹部4と外部とを貫通するように設けている。
また、図1〜図5に示す溝6は、その幅bが0.5mm以上としておくことが好ましい。溝6の幅bが0.5mm未満であると溝6の中に溜まった接着剤5により膨張した空気がスムーズに外部に排出されないためである。
なお、本発明は図1〜図6のような誘電体共振器用セラミック体に限定するものではなく、共振子1の上下に支持台2が接合される誘電体共振器用セラミック体においても、同様に共振子1の上下面の支持台2が接合される部分に端面に開口する溝6を設ければよい。
ここで、共振子1の材質としては、Ba−Nd−Ti系誘電体セラミックス(誘電率100〜120)、Nd−Al−Ca−Ti系誘電体セラミックス(誘電率43〜46)、La−Al−Sr−Ti系誘電体セラミックス(誘電率38〜41)、Ba−Ti系誘電体セラミックス(誘電率34〜36)、Ba−Mg−W系誘電体セラミックス(誘電率20〜22)、Mg−Ca−Ti系誘電体セラミックス(誘電率19〜21)、サファイア(誘電率9〜10)、アルミナセラミックス(誘電率9〜10)、コージライトセラミックス(誘電率4〜6)等のセラミックスを用いる。
そして、これらの組成の原料粉末を用いて共振子1、支持台2を作製するには、例えば、先ず、上パンチ、下パンチ、ウスからなる金型を使用したプレス成形装置にて成形する。この時、上パンチの形状を、共振子1の凹部4と溝6に対応する形状とし、凹部4及び溝6を一発成形できるようにしている。なお、下パンチの形状を凹部4と溝6に対応する形状としてもよい。
そして、原料粉末に応じた所定のプレス圧力にて成形し、焼成用の棚板上に並べ、各材料に応じた所定の焼成温度にて焼成を行う。
その後、外径をセンタレス研磨装置にてセンタレス研磨し、厚みは平面研削盤にて研磨加工を行う。
最後に、支持台2を嵌着する凹部4の径を精度良く仕上げるために、内面研削盤にて研削加工を行う。上述のように共振子1の凹部4の径は支持台2の外径よりも、0.05〜0.10mm大きくし、クリアランスは片側0.025〜0.05mmとなるように仕上げる。
また、支持台2の材質としては、アルミナセラミックスやフォルステライトセラミックス等の絶縁性セラミックスを用いる。そしてこれらの組成の原料粉末を、上記の方法と同様にプレス成形等の公知の方法で所定形状に成形し、所定の条件で焼成した後、必要に応じて研磨加工することにより、支持台2を得ることができる。
本発明の実施例として図1に示す誘電体共振器を作製した。
誘電体共振器用セラミック体として、共振子1をNd−Al−Ca−Ti系誘電体セラミックス(誘電率45)で形成し、外径φ30mm、高さ30mm、凹部4の直径dが10.08mm、凹部4の深さaが4mm、端面に開口する溝6の幅bが1.0mm、端面に開口する溝6を互いに対面する位置に2本設けた。
なお、端面に開口する溝は金型形状を変更して成形を行い、凹部4は内面研削盤にて研磨加工を行った。
また、支持台2として、アルミナセラミックスで形成し、外径φ10.00mm、高さ30mmとした。なお、高さは平面研削盤にて研磨加工を行った。共振子1の凹部4と支持台2の外径とのクリアランスは片側で0.04mmとした。
共振子1と支持台2はエポキシ樹脂系の熱硬化型接着剤5を定量供給して接着した。熱硬化時の条件は、空気中で100℃、60分とした。
なお、従来例として、上述と同様な外径、高さ、材質からなり、溝の無い共振子を作製し、同様な支持台を用いて誘電体共振器用セラミック体を作製した。
このようにして得られた各々10個のサンプルを用いて、まず共振周波数の値を測定した。共振周波数は外辺150mm角、高さ150mmの金属ケース3の中央部にサンプルを配置し、ネットワークアナライザーにて測定した。
結果は表1に示す通りである。
Figure 2005244508
表1より明らかなように、共振子の凹部に溝を設けた本発明実施例の誘電体共振器のサンプルでは、共振周波数のバラツキが1.7MHzと非常に小さくなることがわかる。
これに対し、従来の溝のないサンプルでは、共振周波数のバラツキが4.9MHzと非常に大きなものとなっていた。
また、測定した10個のサンプルのうち、5個を切断して接合部断面を観察したところ、図2に示すように本発明の方法にて作成したサンプルは、共振子の接合面と支持台の接合面の隙間hが0.01〜0.03mmであったのに対し、従来のサンプルは共振子の接合面と支持台の接合面の隙間hが0.1〜0.3mmであった。このことから、従来のサンプルは、熱硬化時の空気の膨張により共振子が浮き上がった状態になり、それによって共振周波数が変動したといえる。
次に、共振子と支持台の接合強度の測定を行った。
共振子1を固定し、支持台にトルクレンチにてねじりトルクをかけ、接合部が剥離するときのトルク値を測定した。サンプル10個について測定を行った。測定には市販のピーク値ホールド機能付きのトルクレンチを使用した。
結果は表2に示す通りである。
Figure 2005244508
表2より、本発明の誘電体共振器のサンプルでは、共振子と支持台の接合トルク強度の平均が35.78N・mと高いことが判った。これに対し、従来のサンプルは、接合トルク強度の平均が22.53N・mと低いことが判った。
また、剥離した接合面を観察すると、従来のサンプルには膨張した空気の通り道が多数あり、その分接着面積が小さくなっていたのに対し、本発明のサンプルは膨張した空気が空気抜き用溝を通って外部に排出されており、接合面に空気の通り道は見つからなかった。
(a)は本発明の誘電体共振子器の一実施形態を示す断面図であり、(b)は同図(a)における誘電体共振器用セラミッック体の共振子を下面から見た平面図、(c)は同図(a)における誘電体共振器用セラミッック体の共振子を示す斜視図である。 (a)、(b)は本発明の誘電体共振器用セラミッック体の共振子と支持台を接合する様子を示す断面図である。 (a)、(b)は本発明の誘電体共振子器用セラミック体における共振子の他の実施形態を示す平面図である。 本発明の誘電体共振器用セラミック体の他の実施形態を示す断面図である。 (a)〜(d)は本発明の誘電体共振器用セラミック体の他の実施形態を示す断面図である。 (a)、(b)は従来の誘電体共振器用セラミック体を示す断面図である。
符号の説明
1 :誘電体共振子
1a:誘電体共振子の支持台側端面
2 :支持台
3 :金属ケース
4 :凹部
5 :接着剤
6 :溝
7 :凹部
8 :共振子と支持台の接着面
9 :段部

Claims (5)

  1. 誘電体共振子を支持台を介して支持する誘電体共振器用セラミック体であって、上記誘電体共振子の支持台側の端面に支持台の端部を嵌着する凹部を設け、一端が上記凹部と連通するように開口し、他端が上記誘電体共振子または支持台の外周面に開口する溝または貫通孔を設けたことを特徴とする誘電体共振器用セラミック体。
  2. 上記溝が凹部に沿って形成されることを特徴とする請求項1に記際の誘電体共振器用セラミック体。
  3. 上記溝の両端が支持台側の端面に開口するように設けたことを特徴とする請求項2に記載の誘電体共振器用セラミック体。
  4. 上記凹部の底面に段部を設けることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の誘電体共振器用セラミック体。
  5. 請求項1〜4の何れかに記載の誘電体共振器用セラミック体を金属ケース内に配置してなる誘電体共振器。
JP2004050338A 2004-02-25 2004-02-25 誘電体共振器用セラミック体およびこれを用いた誘電体共振器 Expired - Fee Related JP4328240B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004050338A JP4328240B2 (ja) 2004-02-25 2004-02-25 誘電体共振器用セラミック体およびこれを用いた誘電体共振器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004050338A JP4328240B2 (ja) 2004-02-25 2004-02-25 誘電体共振器用セラミック体およびこれを用いた誘電体共振器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005244508A true JP2005244508A (ja) 2005-09-08
JP4328240B2 JP4328240B2 (ja) 2009-09-09

Family

ID=35025773

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004050338A Expired - Fee Related JP4328240B2 (ja) 2004-02-25 2004-02-25 誘電体共振器用セラミック体およびこれを用いた誘電体共振器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4328240B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102113168A (zh) * 2008-08-01 2011-06-29 株式会社Kmw 射频滤波器中的介质谐振器及其装配方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102113168A (zh) * 2008-08-01 2011-06-29 株式会社Kmw 射频滤波器中的介质谐振器及其装配方法
JP2011529666A (ja) * 2008-08-01 2011-12-08 ケーエムダブリュ・インコーポレーテッド 高周波フィルタを構成する誘電体共振器及びその組立方法
US8854160B2 (en) 2008-08-01 2014-10-07 Kmw Inc. Dielectric resonator fixed by a pressing metal plate and method of assembly
CN102113168B (zh) * 2008-08-01 2015-06-24 株式会社Kmw 射频滤波器中的介质谐振器及其装配方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4328240B2 (ja) 2009-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7993728B2 (en) Aluminum/silicon carbide composite and radiating part comprising the same
KR101515680B1 (ko) 자성-유전 조립체 및 그 제조방법
TWI704643B (zh) 用於陶瓷台座中的雙效通路
JP4908263B2 (ja) 真空吸着装置およびその製造方法
JP4328240B2 (ja) 誘電体共振器用セラミック体およびこれを用いた誘電体共振器
JP2500138B2 (ja) 細孔付セラミックスの製造方法
US6758926B2 (en) Method for producing multilayer ceramic substrate
JPH10296499A (ja) 圧粉体のプレス成形方法とそのプレス成形金型
JP2008028170A (ja) 真空吸着装置及びその製造方法
JP5279550B2 (ja) 真空吸着装置及びその製造方法
JP7216611B2 (ja) SiC焼結部材の製造方法
JP2019158201A (ja) 焼成治具
JP5530275B2 (ja) 真空吸着装置及びその製造方法
JP6401012B2 (ja) セラミック基体
JP5178277B2 (ja) セラミック基板およびセラミック基板の製造方法
JPS58126401A (ja) セラミツクタ−ビンロ−タの製造法
JP6382579B2 (ja) コージェライト接合体
KR100479507B1 (ko) 진공흡착노즐팁의 제작방법
JP3842675B2 (ja) 誘電体共振器
JP4243405B2 (ja) 誘電体共振器
JP2005241906A5 (ja)
WO2006022223A1 (ja) 焼結含油軸受の製造方法
JP2005244507A (ja) 誘電体共振器用セラミック体とこれを用いた誘電体共振器
JP6608595B2 (ja) トンネル付きセラミック部材の製造方法
JP2005254694A (ja) セラミック部品の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070119

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080313

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090224

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090420

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090519

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090612

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4328240

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130619

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees