JP2005241298A - 干渉型光ファイバセンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 温度ドリフトや温度特性の無い干渉型光ファイバセンサを得ること。
【解決手段】 経路差を形成したセンシングアーム2とリファレンスアーム3の光ファイバコイル4、7に光ファイバ素線を用い、これらセンシングアーム2とリファレンスアーム3に両アームの温度特性のバラツキをキャンセルする温度補償用の光ファイバ心線5,8をそれぞれ設け、温度補償用の光ファイバ心線を設けるだけで、特別な部品を使用せず、温度ドリフトや温度特性のバラツキのない干渉型光ファイバセンサを得ることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 経路差を形成したセンシングアーム2とリファレンスアーム3の光ファイバコイル4、7に光ファイバ素線を用い、これらセンシングアーム2とリファレンスアーム3に両アームの温度特性のバラツキをキャンセルする温度補償用の光ファイバ心線5,8をそれぞれ設け、温度補償用の光ファイバ心線を設けるだけで、特別な部品を使用せず、温度ドリフトや温度特性のバラツキのない干渉型光ファイバセンサを得ることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば音響センサや加速度センサ、あるいは水位センサや温度センサとして用いられる干渉型光ファイバセンサに関するものである。
従来の光ファイバセンサ用位相復調器に音響センサや加速度センサとして用いられる光ファイバセンサ方式は、PGCホモダイン方式である(例えば、特許文献1参照。)。
また、もう1つの従来の光ファイバセンサに水位センサや温度センサとして用いられる光ファイバセンサ方式は、PGCの変調指数計測方式である(例えば、特許文献2参照。)。
また、もう1つの従来の光ファイバセンサに水位センサや温度センサとして用いられる光ファイバセンサ方式は、PGCの変調指数計測方式である(例えば、特許文献2参照。)。
これらの従来例はともに、光ファイバセンサを経路差を持った干渉計として構成し、特許文献1に記載のものは、例えば音響センサとして光ファイバセンサが用いられた場合、光ファイバセンサにおける経路差の変動による位相差を求め、その位相差から音響のレベルを検出するようにしたものである。
また特許文献2に記載のものは、例えば水位センサとして光ファイバセンサが用いられた場合、積極的に光ファイバセンサにおける経路差の変化量を変調指数として計測し、その変調指数に基づき経路差を算出し、その経路差が水圧から生じる加重圧力の関数であることから、水位を検出するようにしたものである。
また特許文献2に記載のものは、例えば水位センサとして光ファイバセンサが用いられた場合、積極的に光ファイバセンサにおける経路差の変化量を変調指数として計測し、その変調指数に基づき経路差を算出し、その経路差が水圧から生じる加重圧力の関数であることから、水位を検出するようにしたものである。
上記特許文献1及び2に記載のいずれの方式においても、光ファイバセンサによる干渉計を構成するが、この場合には、センシング及びリファレンスの両アーム間で経路差をつける必要があるので、何の工夫もなく製造した場合、両アーム間の長さのアンバランスにより、光ファイバセンサを音響・加速度センサとして使用した場合は温度ドリフトによる超低周波雑音による誤差が発生し、光ファイバセンサを水位・温度センサとして使用した場合には温度特性による誤差がどうしても発生してしまうという問題があった。
本発明に係る干渉型光ファイバセンサは、経路差を形成したセンシングアームとリファレンスアームに同じ素材の光ファイバ線を用いた干渉型光ファイバセンサにおいて、前記センシングアームとリファレンスアームに両アームの温度特性のバラツキをキャンセルする温度補償用の両アームと別の素材の光ファイバ線をそれぞれ設けたものである。
以上のように本発明によれば、経路差を形成したセンシングアームとリファレンスアームに同じ素材の光ファイバ線を用いた干渉型光ファイバセンサにおいて、前記センシングアームとリファレンスアームに両アームの温度特性のバラツキをキャンセルする温度補償用の両アームと別の素材の光ファイバ線をそれぞれ設けたので、温度補償用の光ファイバ線を設けるだけで、特別な部品を使用せずに、温度ドリフトや温度特性のバラツキのない干渉型光ファイバセンサを得ることができる。
(構成)の説明
図1に本発明の実施の形態1の干渉型光ファイバセンサを示す構成図、図2は同干渉型光ファイバセンサのファイバ調節方法を示す説明図、図3は同干渉型光ファイバセンサの別のファイバ調節方法を示す説明図である。
この干渉型光ファイバセンサの説明はマイケルソン型干渉計で行うが、マッハツェンダ型でも同様である。
図において、1は周波数変調されたレーザ光をセンサ部を構成するセンシングアーム2とリファレンスアーム3に入力し、干渉光を出力する光カプラである。
センシングアーム2は光ファイバコイル4、温度補償用ファイバ5及びミラー6とからなり、リファレンスアーム3は光ファイバコイル7、温度補償用ファイバ8及びミラー9とからなる。センシングアーム2とリファレンスアーム3とは経路長が異って両者の間に所定の経路差ΔLが形成されるように構成されている。なお、光ファイバコイル4、7と温度補償用ファイバ5、8とはそれぞれ融着接続されている。
図1に本発明の実施の形態1の干渉型光ファイバセンサを示す構成図、図2は同干渉型光ファイバセンサのファイバ調節方法を示す説明図、図3は同干渉型光ファイバセンサの別のファイバ調節方法を示す説明図である。
この干渉型光ファイバセンサの説明はマイケルソン型干渉計で行うが、マッハツェンダ型でも同様である。
図において、1は周波数変調されたレーザ光をセンサ部を構成するセンシングアーム2とリファレンスアーム3に入力し、干渉光を出力する光カプラである。
センシングアーム2は光ファイバコイル4、温度補償用ファイバ5及びミラー6とからなり、リファレンスアーム3は光ファイバコイル7、温度補償用ファイバ8及びミラー9とからなる。センシングアーム2とリファレンスアーム3とは経路長が異って両者の間に所定の経路差ΔLが形成されるように構成されている。なお、光ファイバコイル4、7と温度補償用ファイバ5、8とはそれぞれ融着接続されている。
そして、センシングアーム2とリファレンスアーム3の光ファイバコイル3、7は同じ素材である光ファイバ素線で形成され、センシングアーム2とリファレンスアーム3の温度補償ファイバ5、8は同じ素材であるが、光ファイバコイル3,7とは異なる素材である光ファイバ心線で構成されている。
ここで、光ファイバ素線(以下、素線という)とは裸ファイバの表面に傷の発生を防ぎ、ガラスの脆性破壊の性質をカバーするためにUV樹脂等により1次被覆を施したものをいう。また、光ファイバ心線(以下、心線という)とは素線の表面に取り扱う際の識別及び接続作業に必要な強度確保のために更にUV樹脂等の2次被覆を施したものをいう。
ここで、光ファイバ素線(以下、素線という)とは裸ファイバの表面に傷の発生を防ぎ、ガラスの脆性破壊の性質をカバーするためにUV樹脂等により1次被覆を施したものをいう。また、光ファイバ心線(以下、心線という)とは素線の表面に取り扱う際の識別及び接続作業に必要な強度確保のために更にUV樹脂等の2次被覆を施したものをいう。
(動作)の説明
上述した構成の干渉型光ファイバセンサは、周波数変調されたレーザ光は光カプラ1を介してセンシングアーム2とリファレンスアーム3とに分岐して入力される。そして、センシングアーム2とリファレンスアーム3とに入力されたレーザ光はそれぞれ光ファイバコイル4、7及び温度補償ファイバ5、8を通過した後にミラー6、9で反射され、今度は温度補償ファイバ5、8及び光ファイバコイル4、7を通過して光カプラ1に戻り、センシングアーム2とリファレンスアーム3には経路差ΔLがあるため、位相差が生じてセンシング光信号とリファレンス光信号とが干渉し、光カプラ1から干渉光が出力されるようになっている。
上述した構成の干渉型光ファイバセンサは、周波数変調されたレーザ光は光カプラ1を介してセンシングアーム2とリファレンスアーム3とに分岐して入力される。そして、センシングアーム2とリファレンスアーム3とに入力されたレーザ光はそれぞれ光ファイバコイル4、7及び温度補償ファイバ5、8を通過した後にミラー6、9で反射され、今度は温度補償ファイバ5、8及び光ファイバコイル4、7を通過して光カプラ1に戻り、センシングアーム2とリファレンスアーム3には経路差ΔLがあるため、位相差が生じてセンシング光信号とリファレンス光信号とが干渉し、光カプラ1から干渉光が出力されるようになっている。
かかる干渉型光ファイバセンサのセンシングアーム2に例えば水圧が印加されると、センシングアーム2の屈折率及びファイバ長が変化する。一方、リファレンスアーム3は、変化を受けないので、リファレンス光信号とセンシング光信号との間に位相差の変動が生じ、位相差の変動が生じたセンシング光信号とリファレンス光信号とが干渉して干渉光が出力される。かかる干渉光の出力の変動を捉えて水位を計測するものである。
ところで、一般に石英系光ファイバの石英自身の温度特性は、約0.7ppm/℃である。この他、温度による屈折率変化が存在し、これを経路長に換算すると6.8ppm/℃である。
さらに、ファイバ被覆の線膨張が存在し、上記の2要素と被覆の温度特性を合計すると、あるメーカの心線ファイバで約24ppm/℃、素線で約8ppm/℃の実効温度特性が存在し、その差は約3倍であった。
経路差ΔLの干渉型光ファイバセンサを素線のみで構成するとΔL×8ppm/℃、心線のみで構成するとΔL×24ppm/℃の温度特性が発生する。
さらに、ファイバ被覆の線膨張が存在し、上記の2要素と被覆の温度特性を合計すると、あるメーカの心線ファイバで約24ppm/℃、素線で約8ppm/℃の実効温度特性が存在し、その差は約3倍であった。
経路差ΔLの干渉型光ファイバセンサを素線のみで構成するとΔL×8ppm/℃、心線のみで構成するとΔL×24ppm/℃の温度特性が発生する。
このように、干渉型光ファイバセンサを素線のみ又は心線のみで構成した場合、経路差ΔLをとる必要から、センシングアームとリファレンスアームとの長さが異なるために、温度変化が生じると線膨張も異なることなるため、温度特性のバラツキによる誤差がどうしても発生してしまう。
そこで、素線で構成された干渉型光ファイバセンサに、素線とは温度特性の異なる適当な長さの心線を温度補償用に挿入するか、心線で構成された干渉型光ファイバセンサに心線とは温度特性の異なる適当な長さの素線を温度補償用に挿入することにより、センシングアームとリファレンスアームの長さが異なることによる線膨張の違いから生じる温度特性のバラツキによる誤差をキャンセルしようとしたのが、本発明の実施の形態である、
なお、温度補償用の光ファイバ線は、あえて挿入しなくても光カプラ1やミラー6の余長部分のファイバ種を選択すれば、その長さを調整するだけで温度補償ファイバと同様の作用、効果を果たさせることができる。
そこで、素線で構成された干渉型光ファイバセンサに、素線とは温度特性の異なる適当な長さの心線を温度補償用に挿入するか、心線で構成された干渉型光ファイバセンサに心線とは温度特性の異なる適当な長さの素線を温度補償用に挿入することにより、センシングアームとリファレンスアームの長さが異なることによる線膨張の違いから生じる温度特性のバラツキによる誤差をキャンセルしようとしたのが、本発明の実施の形態である、
なお、温度補償用の光ファイバ線は、あえて挿入しなくても光カプラ1やミラー6の余長部分のファイバ種を選択すれば、その長さを調整するだけで温度補償ファイバと同様の作用、効果を果たさせることができる。
次に、素線で構成された干渉型光ファイバセンサに、温度補償用の光ファイバ線として心線を挿入す場合に、その心線の長さをどれ位にすればよいかについて説明する。
図2にはアーム1(短アーム)とアーム2(長アーム)が示されているが、どちらか一方をセンシングアーム2とすれば、他方がリファレンスアーム3となるもので、アームの長さによってセンシングアーム2又はリファレンスアーム3として決定されるものではない。
図2にはアーム1(短アーム)とアーム2(長アーム)が示されているが、どちらか一方をセンシングアーム2とすれば、他方がリファレンスアーム3となるもので、アームの長さによってセンシングアーム2又はリファレンスアーム3として決定されるものではない。
図2に示すように、アーム1(短アーム)の光ファイバコイルとしての素線の長さをl1、温度補償用の光ファイバ線としての心線の長さをL1、アーム2(長アーム)の光ファイバコイルとしての素線の長さをl2、温度補償用の光ファイバ線としての心線の長さをL2、素線の線膨張係数をα、心線の線膨張係数をAとする。
ここで、経路差ΔLを求める式1は、下記のように表すことができる。
ΔL=(l2+L2)−(l1+L1)
=(l2−l1)+(L2−L1) …(1)
また、このときの干渉型光ファイバセンサの経路差ΔLの1℃あたりの温度特性LΔT を求める式2は、下記のように表すことができる。
LΔT=α(l2−l1)+A(L2−L1) …(2)
(1)式と(2)式をLΔT=0の条件で解くと、下記のように式3として表すことができる。
L2−L1=αΔL/(α−A) …(3)
ここで、経路差ΔLを求める式1は、下記のように表すことができる。
ΔL=(l2+L2)−(l1+L1)
=(l2−l1)+(L2−L1) …(1)
また、このときの干渉型光ファイバセンサの経路差ΔLの1℃あたりの温度特性LΔT を求める式2は、下記のように表すことができる。
LΔT=α(l2−l1)+A(L2−L1) …(2)
(1)式と(2)式をLΔT=0の条件で解くと、下記のように式3として表すことができる。
L2−L1=αΔL/(α−A) …(3)
ここで、LΔT=0の条件で解くとしたのは、温度特性のバラツキがキャンセルできたことを示すためである。
従って、この条件を満たすように、ファイバ長を調整すれば、温度特性のバラツキをキャンセルできる。
具体的には、心線の線膨張係数が素線の3倍であるという今回測定した条件を代入すると、合わせたい経路差ΔLに対して、短アーム1側の心線長さを長アーム2側の心線長さよりΔL/2だけ長く調整すればよいこととなる。
従って、この条件を満たすように、ファイバ長を調整すれば、温度特性のバラツキをキャンセルできる。
具体的には、心線の線膨張係数が素線の3倍であるという今回測定した条件を代入すると、合わせたい経路差ΔLに対して、短アーム1側の心線長さを長アーム2側の心線長さよりΔL/2だけ長く調整すればよいこととなる。
図3は図2に示すものとは逆に、アーム1(短アーム)の光ファイバコイルとしての心線の長さをL1、温度補償用の光ファイバ線としての素線の長さをl1、アーム2(長アーム)の光ファイバコイルとしての心線の長さをL2、温度補償用の光ファイバ線としての素線の長さをl2としたものである。
この場合には、具体的には、心線の線膨張係数が素線の3倍であるという今回測定した条件を代入すると、合わせたい経路差ΔLに対して、長アーム2側の素線長さを短アーム1側の素線長さよりΔL・3/2だけ長く調整すればよいこととなる。
この場合には、具体的には、心線の線膨張係数が素線の3倍であるという今回測定した条件を代入すると、合わせたい経路差ΔLに対して、長アーム2側の素線長さを短アーム1側の素線長さよりΔL・3/2だけ長く調整すればよいこととなる。
以上のような操作で、温度補償用の光ファイバ線を設けるだけで、特別な部品を使用せずに、温度ドリフトや温度特性のバラツキのない干渉型光ファイバセンサの製造が可能である。
また、センサの設計上どうしても除去できない経路差分以外の温度特性のバラツキが存在する場合でも、同様の原理でファイバ長を調節すれば温度特性のバラツキの除去が可能である。
また、センサの設計上どうしても除去できない経路差分以外の温度特性のバラツキが存在する場合でも、同様の原理でファイバ長を調節すれば温度特性のバラツキの除去が可能である。
1 光カプラ、2 センシングアーム、3 リファレンスアーム、4 光ファイバコイル、5 温度補償用ファイバ、6 ミラー、7 光ファイバコイル、8
温度補償用ファイバ、9 ミラー。
温度補償用ファイバ、9 ミラー。
Claims (4)
- 経路差を形成したセンシングアームとリファレンスアームに同じ素材の光ファイバ線を用いた干渉型光ファイバセンサにおいて、
前記センシングアームとリファレンスアームに両アームの温度特性のバラツキをキャンセルする温度補償用の両アームと別の素材の光ファイバ線をそれぞれ設けたことを特徴とする干渉型光ファイバセンサ。 - 前記センシングアームとリファレンスアームの光ファイバ線に素線を用い、前記温度補償用の光ファイバ線に心線を用いたことを特徴とする請求項1記載の干渉型光ファイバセンサ。
- 前記センシングアームとリファレンスアームの光ファイバ線に心線を用い、前記温度補償用の光ファイバ線に素線を用いたことを特徴とする請求項1記載の干渉型光ファイバセンサ。
- 前記請求項1〜3に記載の干渉型光ファイバセンサは、マイケルソン型干渉計であることを特徴とする干渉型光ファイバセンサ。
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-
2004
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