JP2010520464A - 超音波圧力センサおよびこの超音波圧力センサを動作させる方法 - Google Patents

超音波圧力センサおよびこの超音波圧力センサを動作させる方法 Download PDF

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Abstract

超音波圧力センサ、および超音波圧力を検出する方法。一実施形態では、超音波圧力センサは、(1)基準アームと、プローブ・ファイバを含む信号アームとを有する干渉計であって、プローブ・ファイバは、その遠位端に反射性コーティングを有し、遠位端に最も近い超音波を結合するように構成され、干渉計は、レーザ光を受け取り、超音波に基づいて2つの出力ビームを生成するように構成される、干渉計と、(2)干渉計に結合され、2つの出力ビームに基づいて電気信号を発生するように構成された光検出器とを含む。

Description

関連出願の相互参照
本出願は、2005年12月22日にZhouによって出願された「Image−Guided Laser Catheter」という名称の米国特許出願第11/315,546号の一部継続出願であり、さらに2007年2月28日にZhouによって出願された「Ultrasonic Sensor」という名称の米国特許仮出願第60/891,986号に基づいており、これらは共に本出願の権利者が所有し、参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、一般に超音波圧力センサを対象とし、より具体的には超音波圧力センサ、および超音波圧力センサを動作させる方法を対象とする。
超音波圧力センサは、超音波圧力を測定し、それを電圧信号に変換する。これらのセンサは、材料の非破壊試験、海洋生物学から、医療画像に及ぶ様々な用途に広く用いられる。医療画像では、超音波トランスデューサは組織内に高周波パルスを放射し、組織からの音響エコーは、通常同じトランスデューサ上に実装される超音波圧力センサによって受け取られる。このようなパルス・エコー法は、組織の機械的(すなわち音響的)特性のグレー・スケールの断層画像を合成するのに役立つ。現在最も成功した超音波画像装置の1つは、血管内超音波すなわちIVUSである。
多くの用途向けに超音波圧力センサを作製するために、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)またはポリフッ化ビニリデン(PVDF)などの圧電材料が用いられている。PZTはセラミック多結晶体であり、大きな基板に取り付けないと機械加工および小さな寸法へのパッケージングが困難となる、固有の粒径を有する。PVDFはポリマーであり、それが圧電気を示す前に電気的に分極されなければならず、その感度はPZTの感度より低い。さらに圧電信号は、伝送線路損失および電磁界干渉を受ける非常に小さな電圧である。カテーテルの遠位端からその近位端までなどの長い距離にわたって伝送するためには、圧電信号は、通常、小型の同軸ケーブルによって遮蔽され、カテーテルの先端近くに組み込まれたチップによって前置増幅されなければならない。遮蔽および信号の前置増幅が必要であることにより、非常に小さな外形を有する圧電センサを構成することが困難となる。
容量性超音波圧力センサは、いくつかの会社によって開発されており、いくつかの興味深い性質を有する。これらは半導体産業によって開発されたシリコン処理技術を用いて製作される一種のMEMSデバイスである。しかしこれらのデバイスは、製造にコストがかかり、感知キャパシタを順方向バイアスする必要性に信頼性の問題が伴う。
米国特許出願第11/315,546号 米国特許仮出願第60/891,986号
Beardら、「Characterisation of a Polymer Film Optical Fibre Hydrophone for the Measurement of Ultrasound Fields for Use in the Range 1−30MHz:a Comparison with PVDF Needle and Membrane Hydrophones」、IEEE Transactions on Ultrasonics、Ferroelectrics and Frequency Control、47巻、1号、2000年1月
光学的超音波圧力センサは、世界中のいくつかの研究グループによって提案され、研究されている。Beardらによる「Characterisation of a Polymer Film Optical Fibre Hydrophone for the Measurement of Ultrasound Fields for Use in the Range 1−30MHz:a Comparison with PVDF Needle and Membrane Hydrophones」、IEEE Transactions on Ultrasonics、Ferroelectrics and Frequency Control、47巻、1号、2000年1月で述べられた設計では、光ファイバの遠位先端に、薄いファブリ・ペロー・エタロンが形成される。レーザ光は、光ファイバの近位端からファイバ内に発射され、続いてファブリ・ペロー・エタロンによって反射され、光検出器によって受け取られる。ファイバの遠位端と相互作用する超音波は、ファブリ・ペロー・エタロンの共振器長を変調し、反射光強度の変化を引き起こす。このセンサが正しく動作するためには、ポリマーのファブリ・ペロー・エタロンの厚さを、製作時に非常に高精度で制御しなければならず、これは実行が難しい。さらに、温度および圧力などの応用環境の変化は、ファブリ・ペロー・エタロンの特性を大幅に変化させ、センサの性能に悪影響を及ぼし得る。さらに、この設計の高周波応答はエタロン層の有限の厚さによって制限され、かつこのセンサの横方向プローブ幾何学的配置での能力は限られる。
当技術分野で必要とされるのは、中でも、上述した従来技術の欠点のいくつかに対処した超音波圧力センサである。
上記の従来技術の欠陥に対処するために、本発明の一態様は、超音波圧力センサを提供する。一実施形態では、超音波圧力センサは、(1)基準アームと、プローブ・ファイバを含む信号アームとを有する干渉計であって、プローブ・ファイバは、その遠位端に反射性コーティングを有し、遠位端に最も近い超音波を結合するように構成され、干渉計は、レーザ光を受け取り、超音波に基づいて2つの出力ビームを生成するように構成される、干渉計と、(2)干渉計に結合され、2つの出力ビームに基づいて電気信号を発生するように構成された光検出器とを含む。
本発明のもう1つの態様は、超音波圧力を検出する方法を提供する。一実施形態では、方法は、(1)基準アームと、プローブ・ファイバを含む信号アームとを有する干渉計のプローブ・ファイバの遠位端内に超音波を結合することであって、プローブ・ファイバは遠位端に反射性コーティングを有する、超音波を結合すること、(2)干渉計にレーザ光を供給することであって、干渉計は超音波に基づいて2つの出力ビームを生成する、レーザ光を供給すること、および(3)2つの出力ビームに基づいて電気信号を発生することを含む。
上記は、当業者が以下の本発明の説明をよりよく理解できるように、本発明のいくつかの態様および実施形態の概要を述べたものである。本発明の特許請求の範囲の主題となる他の態様および実施形態については、本明細書で以下に説明する。当業者は、本発明と同じ目的を実行するように他の構造を設計または変更するためのベースとして、開示された態様および実施形態を容易に用い得ることを理解するべきである。当業者はまた、そのような等価な構成は、本発明の範囲を逸脱しないことを理解するべきである。
本発明のより完全な理解のために、添付の図面と併せ読まれる以下の説明を参照する。
本発明の原理により構成された超音波圧力センサの一実施形態の概略図である。 本発明の原理により構成された超音波圧力センサの様々な実施形態で用いることができる、平衡型光検出器の一実施形態の概略図である。 干渉計位相がフィードバックループを用いて制御される、本発明の原理により構成された超音波圧力センサの一実施形態の概略図である。 干渉計位相ドリフトが管理される、本発明の原理により構成された超音波圧力センサのもう1つの実施形態の概略図である。 A〜Cは干渉計の基準アーム内に実装することができる、本発明の原理による光位相シフタの様々な実施形態を示す図である。 A〜Eは本発明の原理によるプローブ・ファイバに、超音波を結合することができる様々な方法を示す図である。 本発明の原理により実行される、超音波圧力を検出する方法の一実施形態の流れ図である。
図1は、本発明の原理により構成された超音波圧力センサ100の一実施形態の概略図を示す。超音波圧力センサ100は、マイケルソン干渉計の構造を使用する。レーザ101からのレーザ光は、光サーキュレータ102、ビームスプリッタ104、および集束レンズ112を通過し、光ファイバ120内に結合する。光ファイバ120は、超音波圧力センサ100のためのプローブとして働き、この理由により、以下では光ファイバ120をプローブ・ファイバ120と呼ぶ。ビームスプリッタ104はまた、レーザ光の一部を分割し、それが光位相シフタ106を通過し、ミラー108で反射されるように方向付ける。プローブ・ファイバ120の遠位(すなわち遠い方の)端部124は、その先端に反射性コーティングを有し、それにより遠位端124に達するレーザ光は、ほぼ反射される。ミラー108からの、およびファイバ遠位端124からの、2つの反射された光のビームは逆方向に伝播し、ビームスプリッタ104内で組み合わされる。ビームスプリッタ104は、組み合わされたビームの一部を反射し(出力ビーム132を生成)、組み合わされたビームの別の一部を通過させ、これはその後に光サーキュレータ102に入り、続いてその出口ポートへ経路指定される(出力ビーム134を生成)。光サーキュレータ102は、市販の光アイソレータでよい(例えばニュージャージー州ニュートンのThorlabs社のOFR部門からの型番IO−3−532−VHPで、その「リジェクト」ポートが出口ポートとして働く)。平衡型光検出器130は、出力ビーム132、134の両方を受け取る。信号プロセッサ140は、平衡型光検出器130からの信号を、取得、整形、および記憶または表示する。図にはまた、光位相シフタ106用の駆動部110が示される。
上述のように、超音波圧力センサ100はマイケルソン干渉計の構造を使用する。干渉計の信号アームは、ビームスプリッタ104、集束レンズ112、およびプローブ・ファイバ120を含む。干渉計の基準アームは、ビームスプリッタ104、光位相シフタ106、およびミラー108を含む。干渉計の2つの出力は、2つの出力ビーム132、134である。プローブ・ファイバ120のいずれかの部分と相互作用する超音波は、屈折率、またはプローブ・ファイバ120の一部の光路長、あるいはその両方での変化を引き起こすことができる。この結果、信号アーム内での位相変化、すなわち位相シフトを生じる。
ここで超音波圧力センサ100の理論動作を説明するために、簡略化モデルを用いる。簡略化モデルは関係する物理現象の完全な、または厳密な説明のためではなく、関連する原理の本質を示すものである。2つの干渉計出力ビーム132、134の電磁界振幅は、それぞれ次のように記述することができ、
Figure 2010520464
および
Figure 2010520464
ただし、Eaは出力ビーム132の電磁界振幅、Ebは出力ビーム134の電磁界振幅である。Erは基準アーム中の光ビームの電磁界振幅、Esは信号アーム中の光ビームの電磁界振幅である。Φrは基準アームの光位相、Φsは超音波によって誘起された位相変化を除く信号アームの光位相である。Φuは、超音波が寄与する光位相の部分を表す。式(1)および(2)から、2つの干渉計出力ビーム132、134のそれぞれの強度は、
Figure 2010520464
および
Figure 2010520464
ここで、Φ=Φr−Φsは、干渉計位相(または位相バイアス)と呼ばれ、これは超音波の寄与分を除く、基準アームと信号アームの間の相対位相である。
図2は、図1の平衡型光検出器130の一実施形態の概略図を示す。平衡型光検出器は通常、よく整合した1対のフォトダイオード、およびトランスインピーダンス増幅器から構成される。平衡型光検出器を構成する方法は当技術分野ではよく知られているので、ここでは、さらにそれらについては説明しない。光検出器130は、干渉計出力ビーム132、134の両方を受け取り、その出力ポート136に強度Iaに比例する電圧信号Vaを生成し、その出力ポート138に強度Ibに比例する電圧信号Vbを生成する。式(3)および(4)からVaとVbは共に、位相シフトΦuを通じて超音波についての情報を含むことが明らかである。しかし、バックグラウンドのレーザ強度(式(3)または(4)の右辺の第1項)は、レーザ強度における固有のノイズにより、測定に対するかなりのノイズとなる。この理由およびその他の理由により、平衡型光検出器130はまた、2つの強度IaとIbの差に比例する第3の信号Vdを出力ポート139に発生し、すなわち、
Figure 2010520464
ただし、γはフォトダイオード応答度および平衡型光検出器のトランスインピーダンス利得などの因子によって決まる比例定数である。式(5)は、差動出力Vdからは、レーザ強度変動における加法的な項がほぼ除去され、それによって検出感度が改善されることを示している。しかし上記の比較的簡単なモデル、したがって式(5)は、レーザ強度のランダムな変動を引き起こすよく知られた量子ノイズ(しばしば「ショットノイズ」と呼ばれる)を考慮していないことに留意されたい。実際には差動出力Vdは、式(5)に示される信号項に加えてショットノイズを含む。干渉計位相バイアスΦがπ/2のとき、式(5)は次のように近似することができ、
Figure 2010520464
ただし、超音波によって誘起された位相シフトはΦu≪1であることを仮定しており、通常はそのようになる。式(6)から差動信号Vdは、超音波によって誘起された位相シフトに比例することが明らかである。検出感度は、最終的にはレーザのショットノイズによって制限される。
干渉計位相バイアスΦは、基準アームと信号アームにおける温度、振動、機械的応力、および空気流などの多くの不確定要因によって影響され得る。制御されないと、Φは比較的短い時間スケールでランダムにドリフトし得る。一般的に言えば、Φがπ/2でないときは、式(6)で与えられるものとは異なる検出感度の変化が生じる。以下に説明するように、干渉計位相ドリフトを管理するためのいくつかの方法がある。
図3は、干渉計位相がフィードバックループを用いて制御される、本発明の原理により構成された超音波圧力センサ300の一実施形態の概略図を示す。超音波圧力センサ300は、追加の増幅器/信号プロセッサ310と、出力が光位相シフタ106の駆動部110の制御入力に接続されたローパスフィルタ312とを有する。平衡型光検出器130からの差動出力139は、追加の増幅器/信号プロセッサ310によって増幅され、ローパスフィルタ312によってフィルタリングされ、位相シフタ106によって発生される位相シフトの大きさを制御する。ポート139でのゼロでない出力は、所望のπ/2の値からの干渉計位相バイアスΦの偏移、すなわち誤差を表し、この誤差信号は位相シフタ106に伝達され、それにより誤差を補償するように、基準アームにおける逆の位相変化が発生される。典型的には、フィードバックループ応答を最適化するように、増幅器利得およびフィルタ時定数が調整される。このフィードバックループが活動化され、適切に調整されると、干渉計位相バイアスをπ/2に非常に近い値に「ロック」することができる。図3に示されるフィードバックループはまた、干渉計出力ビーム132、134のいずれかに異なる大きさの減衰を与えることにより、干渉計位相バイアスをπ/2とは異なる値にロックすることができ、これは他の信号検出用途に望ましいものとなり得ることに留意されたい。代替の技術は、位相誤差信号を検出するためにロック・イン増幅器と共に、位相シフタ106の小振幅で高周波の「ディザリング」を使用し、次いで同じ位相シフタを用いて位相誤差を補償する。干渉計を位相ロックするための他の技術は、当技術分野では知られており、ここでは、さらにそれらについては説明しない。
図4は、干渉計位相ドリフトが管理される、本発明の原理により構成された超音波圧力センサ400のもう1つの実施形態の概略図を示す。図4の実施形態では、干渉計位相バイアスは活発に監視されるが、必ずしも常に制御されない。これは、超音波感知がパルスによってトリガされる、パルス・エコー画像および他の用途に適している。超音波圧力センサ400は、パルス・エコー画像を監視し制御するコントローラ410を有する。コントローラ410はまた、VaおよびVbを受け取り、これらは平衡型光検出器130の出力ポート136、138に発生されることを想起されたい。コントローラ410はまた、コマンド信号413を位相シフタ駆動部110に送り、駆動部110は位相シフタ106に位相シフトを発生させる。コマンド信号413は、例えば1組の値にわたって絶えず掃引するように干渉計位相シフトを走査する、周期的な三角ランプ信号とすることができる。干渉計位相シフトを活発に走査しながら、干渉計出力ビームを監視することにより、コントローラ410は、干渉計に「問い合わせ」を行い、位相バイアス値を知る。正しい位相バイアスに達した後、コントローラ410は一時的に走査を停止し、適切な超音波パルスを送出するように超音波パルス発生器(図示せず)をトリガするための信号415を送る。コントローラ410はまた、センサ・データ収集を開始するように信号プロセッサ140をトリガするためのもう1つの信号411を送る。上記の制御シーケンスは、干渉計に大幅な位相ドリフトが生じ得る時間スケールよりもずっと短い時間間隔で完了する。一実施形態では、制御シーケンスにかかる時間は、概して約10マイクロ秒から約10ミリ秒の間とすることができる。トリガされた後に、超音波エコー信号は、特定の用途に応じて例えば約1マイクロ秒から約100マイクロ秒未満以内に収集することができる。
図5A〜Cは、干渉計の基準アーム内に実装することができる、本発明の原理による光位相シフタの様々な実施形態を示す。図5Aは、位相シフタ106の電気光学変調器の実装形態を示す。当技術分野で知られているように、電気光学変調器はその両端に印加された電圧に従って屈折率が変化する結晶から作製することができる。別の実施形態では、図5Aの位相シフタ106として液晶セルを用いることもできる。図5Bは、圧電積層体520にミラー510を取り付けることによって実装される位相シフタを示す。圧電積層体の両端に印加された電圧は、入射光に近づくまたは遠ざかるようにミラー510を移動させ、したがって基準アームの光位相を変化させる。図5Cは、集束レンズ550を用いて基準アーム内の光を光ファイバ530(以下では基準ファイバ530と呼ぶ)内に結合することによって実装される位相シフタを示す。基準ファイバ530の遠い方の端部531は、遠い方の端部に到達した光がほぼ反射されるように反射性コーティングを有する。基準ファイバ530の一部は、圧電性巻枠540の周りに巻かれる。圧電性巻枠540に印加される電圧を変化させることによって、基準ファイバ530に異なる大きさの応力を加えることができ、その結果として基準アームの光位相の変化を生じる。
図6A〜Eは、本発明の原理によるプローブ・ファイバ(例えば図1のプローブ・ファイバ120)に、超音波を結合することができる様々な方法を示す。結合の機構を説明するために、プローブ・ファイバ120の遠位端124をより詳細に示している。
図6Aは、内視鏡プローブ技術の一実施形態を示し、ここでは超音波600は、およそプローブ・ファイバの長手方向軸に沿った方向から入射する。プローブ・ファイバ120の遠位端124内を伝播する光610は、ミラー面620によって反射され、このミラー面はプローブ・ファイバ120の遠位端124上に堆積された反射性コーティングの層とすることができる。
ここで図6Aの内視鏡プローブ技術の実施形態の場合に、プローブ・ファイバ120内に、どのように超音波が結合されるかを説明するために簡略化モデルを用いる。簡単なモデルは関係する物理現象の完全な、または厳密な説明のためではなく、関連する原理を示すものである。超音波600は、次の近似の関係に従って、プローブ・ファイバ120の遠位端124内に結合され、
=P×2Z/(Z+Z) (7)
および
δ=(λ/2π)P/B (8)
ただし、Pはプローブ・ファイバ120の遠位端124内に結合された超音波圧力振幅、Pはプローブ・ファイバ120上に入射する超音波圧力振幅、ZおよびZはそれぞれプローブ・ファイバ120および周囲媒体の音響インピーダンスである。δは超音波結合によってミラー面620が受ける変位振幅、λはプローブ・ファイバ120内の超音波波長、およびBはプローブ・ファイバ120の体積弾性率である。したがって、干渉計の信号アームにおいて超音波によって誘起された位相シフトは、近似的に
Φ=2δ×(2π×n/λ)
(9)
ただし、nはプローブ・ファイバ120の屈折率、λは光学波長である。
図6Bは、内視鏡プローブ技術の別の例示の実施形態を示す。適当なポリマーなどの可撓性材料630の薄い層が、プローブ・ファイバ120の遠位端124とミラー面620の間に堆積される。層630は、好ましくはプローブ・ファイバ120と一致した屈折率と、それ自体内での超音波波長の1/4におよそ等しい厚さとを有する。層630の低い体積弾性率および1/4波長の厚さは共に、ミラー面620内での超音波によって誘起された変位を増加するのに役立ち、したがって超音波感度が改善される。
図6Cは、横方向プローブ技術の例示の実施形態を示し、ここでは超音波は、プローブ・ファイバ120の遠位端124の長手方向軸にほぼ垂直な方向から入射する。超音波600または601は、側面からプローブ・ファイバ120の遠位端124内へ結合され、プローブ・ファイバ120のコアとクラッドの間の境界層において、小さな量の変位および/または屈折率変化を引き起こす。プローブ・ファイバ120内の光610は、伝播時にコア/クラッド境界層によって実効的に何度も内部全反射されるので、光610の光位相は、コア/クラッド境界層への擾乱によって変調される。横方向プローブ技術における干渉計内への超音波結合の基本的な物理現象は、内視鏡プローブ技術で前に述べたものと同様である。しかし実際の応用では、横方向プローブ技術は、内視鏡プローブ技術に比べていくつかの重要な利点を有する。この技術の場合の超音波感度は、通常、内視鏡技術よりも高い。これは、非常に短い距離であっても光610はコア/クラッド境界層で何度も反射され、したがって光位相に対する境界面擾乱の効果はそれに従って増大され、結果として、より高い感度を生じるからである。もう1つの重要な利点は、横方向プローブ技術により、同じプローブ・ファイバ120が、プローブ・ファイバ120の遠位端124の長手方向軸にほぼ垂直な平面内で異なる方向に伝播する複数の超音波を感知することが可能になることである。したがって横方向プローブ技術では、プローブはその長手方向軸に垂直な平面内で全方向的に機能する。
図6Dは、横方向プローブ技術の代替実施形態を示す。この幾何学的配置は、プローブ・ファイバ120が、カテーテルまたはガイドワイヤなどの細長い円筒形の物体内に埋め込まれる用途の場合に有用となり得る。カテーテルまたはガイドワイヤ内の他の物体の存在は、プローブ・ファイバ120がすべての所望の方向から超音波を感知することを妨げ得る。図6Dでは、プローブ・ファイバ120の遠位端124は、カテーテル640の外径近くの周りに巻かれ、それにより超音波600または601などの複数の方向からの超音波を、同じプローブ・ファイバ120によって感知することができる。プローブ・ファイバ120の遠位端124は、同様に、その上に堆積されたミラー面620を有する。図6Eには、横方向プローブ技術の代替実施形態が示され、ここではプローブ・ファイバ120の遠位端124は、カテーテル640の周りに複数回巻かれ、それにより超音波感度はほぼコイルの巻数だけ増大する。
図7は、本発明の原理により実行される、超音波圧力を検出する方法の一実施形態の流れ図を示す。方法は、開始ステップ710から始まる。ステップ720では、超音波は、基準アームと、プローブ・ファイバを含む信号アームとを有する干渉計のプローブ・ファイバの遠位端内へ結合される。プローブ・ファイバは、遠位端に反射性コーティングを有する。ステップ730では、レーザ光が干渉計に供給される。ステップ740では、干渉計は超音波に基づいて2つの出力ビームを生成する。ステップ750では、2つの出力ビームに基づいて電気信号が発生される。したがって電気信号は、超音波に基づく。一実施形態では、電気信号は、2つの出力ビームの強度に比例した2つの電圧信号と、さらに強度の差に比例した電圧信号とを含む。
ステップ760では、位相シフタによって発生される位相シフトは、ある範囲の値にわたって掃引することができ、超音波圧力センサの位相バイアスを求めるために、電気信号を監視することができる。ステップ770では、超音波圧力センサを断続的に動作させることができる。超音波圧力センサは、光検出器と駆動部を結合するコントローラを用いて超音波を感知させることができる。方法は、終了ステップ780で終了する。
本発明が関係する当技術分野の技術者には、本発明の範囲を逸脱せずに、説明した実施形態に対して、その他のおよびさらなる追加、削除、置換、および変更を行い得ることが理解されよう。

Claims (10)

  1. 基準アームと、プローブ・ファイバを含む信号アームとを有する干渉計であって、前記プローブ・ファイバは、その遠位端に反射性コーティングを有し、前記遠位端に最も近い超音波を結合するように構成され、前記干渉計は、レーザ光を受け取り、前記超音波に基づいて2つの出力ビームを生成するように構成される、干渉計と、
    前記干渉計に結合され、前記2つの出力ビームに基づいて電気信号を発生するように構成された光検出器と
    を備える、超音波圧力センサ。
  2. 前記超音波が前記遠位端に、
    前記プローブ・ファイバの長手方向軸にほぼ沿った方向と、
    前記長手方向軸にほぼ垂直な方向と
    からなる群から選択される方向から入射する、請求項1に記載の超音波圧力センサ。
  3. 前記光検出器が、前記2つの出力ビームの強度に比例する2つの電圧信号と、さらに前記強度の差に比例する電圧信号とを発生する平衡型光検出器である、請求項1に記載の超音波圧力センサ。
  4. 光サーキュレータをさらに備え、前記基準アームは、駆動部がそれに結合された光位相シフタを含み、前記信号アームは集束レンズをさらに含む、請求項1に記載の超音波圧力センサ。
  5. ローパスフィルタを含み、前記光検出器と前記駆動部を結合し、前記位相シフタによって発生される位相シフトを制御するように構成されたフィードバックループをさらに備える、請求項4に記載の超音波圧力センサ。
  6. 前記光検出器と前記駆動部を結合し、前記位相シフタによって発生される位相シフトをある範囲の値にわたって掃引させ、前記超音波圧力センサの位相バイアスを求めるために前記電気信号を監視し、その後に前記超音波圧力センサに超音波を感知させるように構成されるコントローラをさらに備える、請求項4に記載の超音波圧力センサ。
  7. 前記位相シフタが、
    電気光学変調器と、
    圧電積層体に結合されたミラーと、
    圧電性巻枠の周りに位置する基準ファイバに結合された集束レンズと
    からなる群から選択される、請求項1に記載の超音波圧力センサ。
  8. 前記プローブ・ファイバの前記遠位端と前記反射性コーティングの間に置かれた可撓性材料の層をさらに備える、請求項1に記載の超音波圧力センサ。
  9. 前記プローブ・ファイバと前記可撓性材料とが一致した屈折率を有し、前記プローブ・ファイバは前記超音波の波長の約1/4の厚さを有する、請求項8に記載の超音波圧力センサ。
  10. 前記プローブ・ファイバが、細長い円筒形の物体の周りに少なくとも1回巻かれた、請求項1に記載の超音波圧力センサ。
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