JP2005228738A - 誘導結合プラズマ処理装置 - Google Patents
誘導結合プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005228738A JP2005228738A JP2005005662A JP2005005662A JP2005228738A JP 2005228738 A JP2005228738 A JP 2005228738A JP 2005005662 A JP2005005662 A JP 2005005662A JP 2005005662 A JP2005005662 A JP 2005005662A JP 2005228738 A JP2005228738 A JP 2005228738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- forming member
- field forming
- processing apparatus
- plasma processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title abstract description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title abstract description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title abstract description 4
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 title abstract description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】真空チャンバーと、真空チャンバーの外側に設けられた磁場形成部材3aと、磁場形成部材3aに高周波電力を供給する高周波電源1と、高周波電源1と磁場形成部材3aとに接続された配線の途中に設けられた整合器2とを備えた誘導結合プラズマ処理装置であって、前記磁場形成部材3aが、概略長方形の巻回部10をその短辺方向に複数並べた線状導電部を有する。
【選択図】図2
Description
磁場形成部材には高周波電圧が印加されるので、黒色部分及び白色部分における磁場は正の磁場強度と負の磁場強度との間の範囲を高周波電力の周波数で変動する。一方、灰色部分は磁場強度が0であり、磁場の変動はない。このことは、以下の磁場強度の分布を示す図7および図14において同じであり、白色部分及び黒色部分は磁場強度の高い部分で、灰色部分は磁場強度が0の部分である。
図1は本発明の第1実施形態に係る誘導結合プラズマ処理装置を模式的に示す正面図であり、図2は第1実施形態に係る誘導結合プラズマ処理装置の要部を示す斜視図である。なお、図1及び図2において、図15、図18、図21及び図24と同一部分には同一番号を付している。
図5は第2実施形態に係る誘導結合プラズマ処理装置の要部を示す斜視図であり、図6はその誘導結合プラズマ処理装置を構成する磁場形成部材の平面図である。なお、図5において図1と同一部分には同一番号を付している。
図12は第3実施形態に係る誘導結合プラズマ処理装置の要部を示す斜視図であり、図13はその誘導結合プラズマ処理装置を構成する磁場形成部材の平面図である。なお、図12において図1と同一部分には同一番号を付している。
2 整合器
3a、3b、3c 磁場形成部材
4 基板
5 基板支持板
6 チャンバー
9 プラズマ
10、11 巻回部
Claims (3)
- 真空チャンバーと、前記真空チャンバーの外側に設けられた磁場形成部材と、前記磁場形成部材に高周波電力を供給する高周波電源と、前記高周波電源と前記磁場形成部材とに接続された配線の途中に設けられた整合器とを備えた誘導結合プラズマ処理装置であって、
前記磁場形成部材が、概略長方形の巻回部をその短辺方向に複数並べた線状導電部を有することを特徴とする誘導結合プラズマ処理装置。 - 前記巻回部のうち隣合う巻回部どうしが、発生する磁場の方向を逆にしていることを特徴とする請求項1に記載の誘導結合プラズマ処理装置。
- 真空チャンバーと、前記真空チャンバーの外側に設けられた磁場形成部材と、前記磁場形成部材に高周波電力を供給する高周波電源と、前記高周波電源と前記磁場形成部材とに接続された配線の途中に設けられた整合器とを備えた誘導結合プラズマ処理装置であって、
前記磁場形成部材が、葛折り状の線状導電部を有することを特徴とする誘導結合プラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005005662A JP4741845B2 (ja) | 2004-01-13 | 2005-01-12 | 誘導結合プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004004882 | 2004-01-13 | ||
JP2004004882 | 2004-01-13 | ||
JP2005005662A JP4741845B2 (ja) | 2004-01-13 | 2005-01-12 | 誘導結合プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005228738A true JP2005228738A (ja) | 2005-08-25 |
JP4741845B2 JP4741845B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=35003252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005005662A Active JP4741845B2 (ja) | 2004-01-13 | 2005-01-12 | 誘導結合プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4741845B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101989524B (zh) * | 2009-08-03 | 2012-09-05 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种阻抗匹配器及等离子体处理设备 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6457600A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Mitsubishi Electric Corp | Plasma generating device |
JPH0773996A (ja) * | 1993-07-05 | 1995-03-17 | Alcatel Cit | 付着またはエッチングプロセスのためのプラズマ反応器 |
WO1996018208A1 (en) * | 1994-12-06 | 1996-06-13 | Lam Research Corporation | Plasma processor for large workpieces |
JPH08319587A (ja) * | 1995-05-24 | 1996-12-03 | Nec Kyushu Ltd | プラズマエッチング装置 |
JPH10149896A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2000355771A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-26 | Canon Inc | 堆積膜形成方法および堆積膜形成装置 |
JP2001271169A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | フォーク型電極を有するプラズマ化学蒸着装置 |
WO2001088221A1 (fr) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Appareil de depot chimique en phase vapeur (cvd) au plasma et procede associe |
JP2003109798A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-11 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 放電装置、プラズマ処理方法および太陽電池 |
-
2005
- 2005-01-12 JP JP2005005662A patent/JP4741845B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6457600A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Mitsubishi Electric Corp | Plasma generating device |
JPH0773996A (ja) * | 1993-07-05 | 1995-03-17 | Alcatel Cit | 付着またはエッチングプロセスのためのプラズマ反応器 |
WO1996018208A1 (en) * | 1994-12-06 | 1996-06-13 | Lam Research Corporation | Plasma processor for large workpieces |
JP2001511945A (ja) * | 1994-12-06 | 2001-08-14 | ラム リサーチ コーポレーション | 大形加工物用のプラズマ加工機 |
JPH08319587A (ja) * | 1995-05-24 | 1996-12-03 | Nec Kyushu Ltd | プラズマエッチング装置 |
JPH10149896A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2000355771A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-26 | Canon Inc | 堆積膜形成方法および堆積膜形成装置 |
JP2001271169A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | フォーク型電極を有するプラズマ化学蒸着装置 |
WO2001088221A1 (fr) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Appareil de depot chimique en phase vapeur (cvd) au plasma et procede associe |
JP2003109798A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-11 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 放電装置、プラズマ処理方法および太陽電池 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101989524B (zh) * | 2009-08-03 | 2012-09-05 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种阻抗匹配器及等离子体处理设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4741845B2 (ja) | 2011-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6806437B2 (en) | Inductively coupled plasma generating apparatus incorporating double-layered coil antenna | |
CA2206679C (en) | Plasma processor for large workpieces | |
JP4558689B2 (ja) | 基板処理装置 | |
US7936246B2 (en) | On-chip inductor for high current applications | |
KR20200084832A (ko) | 유도 결합 플라즈마용 안테나 유닛, 유도 결합 플라즈마 처리 장치 및 유도 결합 플라즈마 처리 방법 | |
CN101113514B (zh) | 基底处理设备 | |
JP2004214197A (ja) | 誘導結合型アンテナおよびこれを採用したプラズマ処理装置 | |
KR100734954B1 (ko) | 피씨비로 이루어진 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나 | |
JP4844697B1 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5934030B2 (ja) | プラズマ処理装置、プラズマ生成装置、アンテナ構造体、及びプラズマ生成方法 | |
TW201908503A (zh) | 磁性薄膜沉積腔室及薄膜沉積裝置 | |
CN108271309B (zh) | 一种电感耦合等离子处理装置 | |
KR100692420B1 (ko) | 유도결합형 플라즈마 발생장치의 안테나구조 | |
US8247977B2 (en) | Induction coil, a plasma generator and a plasma generating method | |
JP4741845B2 (ja) | 誘導結合プラズマ処理装置 | |
TWI402002B (zh) | 電漿處理裝置 | |
TW201349334A (zh) | 等離子體處理裝置及其電感耦合線圈 | |
KR101039232B1 (ko) | 고밀도 플라즈마 발생장치 | |
JP2006332075A (ja) | プラズマ発生装置 | |
KR101473371B1 (ko) | 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체 | |
JP2000208298A (ja) | 誘導結合型プラズマ生成装置 | |
KR102570370B1 (ko) | 유도 결합 안테나 및 플라스마 처리 장치 | |
KR100603286B1 (ko) | 다중심축을 가지는 안테나와, 이를 채용한 유도 결합형플라즈마 발생 장치 | |
CN108172396B (zh) | 磁性薄膜沉积腔室及薄膜沉积设备 | |
JP2021136065A (ja) | アンテナセグメント及び誘導結合プラズマ処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100506 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100706 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100903 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110202 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110412 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110509 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4741845 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |