JP2005228678A - プラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】プラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置を停止させることなく、また誘電体シートの走行方向と平行な方向の切り込みの間の誘電体の吸引除去も可能で生産効率の高いプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】ベースフィルム７２を走行方向８４に巻き出し、不要誘電体８２は不要誘電体８２に対向する回転体である吸引除去部８６を回転させながら、吸引孔８８で吸引される。ここで吸引除去部８６は不要誘電体８２を吸引除去するとともに、吸引除去された不要誘電体８２は排気孔９２からの加圧気体で除去され、回収ボックス９０に回収される。
【選択図】図２

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法および製造装置に関し、特に誘電体層の膜厚を高精度に形成するラミネート法での誘電体シートの多面取り方法とその装置に関する。

誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法としては、誘電体ペーストをスクリーン印刷法やコーティング法でガラス基板に直接、塗布する方法がある。またベースフィルムに、誘電体ペーストを塗布、乾燥させシート状にした誘電体を積層した誘電体シートを、ガラス基板に貼り付けて形成するラミネート法による方法がある。

ここでラミネート法における誘電体シートは、大きな寸法で誘電体の膜厚を精度良く作製することが可能なため、一枚の誘電体シートから複数枚の誘電体シートを取り出す多面取りが行われる。この多面取り方法は、誘電体シートに誘電体シートの走行方向に平行な方向と、その垂直な方向に切り込みを設け、その切り込みの間の誘電体を除去して必要な箇所の誘電体をガラス基板に貼り付ける。

従来のラミネート法での多面取りにおける、切り込みの間の誘電体を除去する方法は、特許文献１に開示されている。すなわち、特許文献１では切り込みの間の誘電体を、粘着性のある剥離テープに貼り付けて剥離除去する方法が示されている。

なお、誘電体層の形成とは通常、誘電体層中の有機バインダを除去し、誘電体をガラスの膜にする焼成工程まで含めるが、本発明の特許請求の範囲および明細書では、誘電体ペーストを塗布した状態、あるいは誘電体を貼り付けた状態を誘電体層の形成と記載している。
特開２００２−１０４７１９号公報

しかしながら、このような切り込みの間の誘電体を剥離テープに貼り付け、剥離除去する方法は、ベースフィルムを停止させた状態で行わなければならない。また、剥離テープは巻き取って回収するため、回収量が一定量に達すると必ずプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置を停止させる必要があり、生産効率を低下させていた。

また、剥離テープで剥離除去する方法は、連続的に剥離テープを回収できないため、誘電体シートの走行方向と平行な方向の切り込みの間の誘電体の剥離除去への対応が難しかった。

そこで、本発明はこのような従来の課題を解決するためになされたものであり、プラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置を停止させることなく、ベースフィルムを走行させながら、切り込みの間の誘電体の剥離除去することも可能で、生産効率の高いプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法および製造装置を提供するものである。

本発明は、電極が形成されたガラス基板上に誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法において、ベースフィルム上に形成された誘電体に一対の切り込みを複数入れ、ベースフィルムを走行させるとともに吸引しながら一対の切り込みの間の誘電体を除去して切り込み部を形成し、切り込み部が形成された誘電体を電極上およびガラス基板上に貼り付けることにより誘電体層を形成する方法とする。

このような方法により、ベースフィルムを走行させながら、必要な誘電体間を区分する一対の切り込みの間の誘電体は、吸引除去される。そのため、切り込みの間の誘電体を吸引除去する際も、ベースフィルムの走行を停止させることもなくなる。また剥離テープも不要となるため、その回収のための製造装置の停止もなく、生産効率も格段に高くなる。さらに、切り込みの間の誘電体の吸引は連続的に行えるので、ベースフィルムの切り込みの間の誘電体も吸引除去できる。

また本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法では、誘電体の除去は吸引孔を有する回転体を回転させることにより行う方法としても良い。このような方法により、回転しながら吸引するため、常に吸引孔を除去する誘電体に対向でき、連続的な吸引除去に適したものとなる。

また本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法では、誘電体はベースフィルムの走行方向に平行な方向と垂直な方向との二つの方向を除去する方法としても良い。このような方法により、誘電体の形状を矩形形状のガラス基板に対応させることができる。

また本発明は、電極が形成されたガラス基板上に誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置において、誘電体が形成されたベースフィルムを巻き出す巻き出し部と、誘電体に一対の切り込みを入れる切り込み手段と、一対の切り込みの間の誘電体を吸引により除去して切り込み部を形成する吸引除去部と、吸引除去部を移動させる移動部と、電極が形成されたガラス基板を搬送する搬送部と、切り込み部が形成された誘電体を電極上およびガラス基板上に貼り付ける圧着部と、誘電体をガラス基板に貼り付けたベースフィルムを切断する切断部とを備えた構成とする。

このような構成により、切り込み手段が形成した一対の切り込みの間の誘電体を、移動部で吸引除去部を移動させながら吸引除去する。従って、切り込みの間の誘電体の除去時、誘電体が形成されたベースフィルムの走行を停止する必要がない。

また、本発明のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置は、吸引除去部が吸引孔を有する回転体である構成としても良い。このような構成により回転しながら吸引できるため、常に吸引孔を除去する誘電体に対向でき、連続的な吸引除去に適した構成となる。

また、本発明のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置は、回転体の内部を陰圧領域と陽圧領域とに分割する分離壁を備える構成としても良い。このような構成により一つの回転体で、その陰圧領域では切り込みの間の誘電体を吸引し、陽圧領域では吸引した誘電体を加圧して除去できる。このように一つの回転体で、連続的に吸引除去できるため、より生産効率の高い製造装置とすることができる。

また、本発明のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置は、回転体の吸引孔が形成されている面の幅は、切り込み部の幅より小さい構成としても良い。このような構成により、量産性を上げるために切り込み部の幅を小さくしても、回転体の外形の大きさを変える必要がなく、誘電体に接する部分の大きさのみを変えれば良い構成とすることができる。従って、切り込み部の幅が小さくなっても容易に対応でき、量産性に優れた製造装置とすることができる。また、吸引孔が切り込み部上を移動するのに、高い精度が必要なくなり、装置設計の自由度が大きくなる。すなわち、吸引孔は切り込み部の幅より大きいと、吸引力が小さくなるため、同じか小さい方が良い。また同じ大きさであると、精度良く吸引孔を移動させないと、すぐに位置ズレが起こり、吸引しにくくなる。

本発明のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法および製造装置によれば、切り込みの間の誘電体を吸引除去するため、ベースフィルムを走行させながら、ベースフィルムの切り込みの間の誘電体を除去でき、生産効率を著しく向上させることが可能となる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

（発明の実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法および製造装置を説明するための、プラズマディスプレイパネルの主要構成を示す斜視図である。前面板１０と、背面板４０とは、それぞれ前面側対向面１２、背面側対向面４２で対向し、透明で絶縁性を有する前面ガラス基板１４と、背面ガラス基板４４とを基材としている。前面板１０の前面側対向面１２には、平行配置された走査電極２４と維持電極２６とからなる表示電極２８が、ストライプ状に配列して形成されている。また、表示電極２８間にはコントラスト向上のために、クロム（Ｃｒ）等の黒色顔料にガラスフリットを混ぜてペースト状にし、パターニング後、焼成して遮光層３０を形成している。そして、これらを覆うように第一の誘電体層３２を形成するとともに、さらにこの第一の誘電体層３２上に保護層３４を形成し、前面板１０を製造する工程が完了する。

ここで表示電極２８は前面側対向面１２上に一定のピッチを有し、所定の本数形成されている。走査電極２４、維持電極２６とも透明電極２４ａ、２６ａと、銀電極等よりなり透明電極２４ａ、２６ａより幅の狭いバス電極２４ｂ、２６ｂとで構成されている。また第一の誘電体層３２は表示電極２８の形成後で、しかも、この表示電極２８を確実に覆うように形成することが必要とされる。ここで、第一の誘電体層３２は、誘電体ペーストをフィルム状あるいはシート状にし、貼り付けて形成している。誘電体ペースト材料としては、例えば酸化鉛（ＰｂＯ）、酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）、酸化ホウ素（Ｂ_２Ｏ_３）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、および酸化バリウム（ＢａＯ）等を含む、いわゆる（ＰｂＯ−ＳｉＯ_２−Ｂ_２Ｏ_３−ＺｎＯ−ＢａＯ）系ガラス組成を有する低融点ガラスペーストを用いることができる。また、酸化鉛（ＰｂＯ）、酸化ビスマス（Ｂｉ_２Ｏ_３）および酸化リン（ＰＯ_４）のうちの少なくとも一つを主成分とするガラスペーストを用いることもできる。

また、保護層３４は、プラズマ放電により第一の誘電体層３２がスパッタリングされないようにするために設けるもので、耐スパッタリング性に優れた材料であることが要求される。このために、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）が多く用いられている。

一方、背面板４０の背面側対向面４２には、画像データを書き込むための平行配置されたデータ電極５４が、前面板１０の表示電極２８に対して直交する方向に配置、形成されている。そして、このデータ電極５４を覆うように背面側対向面４２上に第二の誘電体層５６を第一の誘電体層３２と同一の材料と成膜方式とで形成した後、データ電極５４間のほぼ中央部に、このデータ電極５４と平行に複数の隔壁５８を形成する。そして、この隔壁５８の側面部まで含めて隔壁５８間に赤色、緑色および青色に発光する蛍光体層６０を形成し、背面板４０を製造する工程が完了する。

その後、前面板１０と背面板４０とを重ね合わせて接合すると、隔壁５８、保護層３４、および蛍光体層６０で囲まれた放電空間が生じる。そして、この放電空間内のガスを排気するとともに、ネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）の混合ガスを約６６．５ｋＰａの圧力で封入して、組立工程が完了し、カラー画像を表示するプラズマディスプレイパネルとなる。

次に、図１の第一の誘電体層３２と第二の誘電体層５６とを、ラミネート法により形成する方法を説明する。図２は、本発明の実施の形態のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置の概略を示す正面図である。誘電体シート７０は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等よりなる連続したベースフィルム７２に、上述のフィルム状あるいはシート状の誘電体７４を積層したものである。なお、誘電体シート７０としては、通常ベースフィルム７２に誘電体７４を積層し、さらにカバーフィルムで誘電体７４を保護しているが、図２ではカバーフィルムをすでに剥離した状態を示している。

誘電体シート７０は、誘電体７４が形成されたベースフィルム７２を巻き出す巻き出し部であるガイドローラ７６等で順次、巻き出し送られる。そして、誘電体７４に一対の切り込みを入れる切り込み手段であるディスクカッター７８で、誘電体７４に一対の切り込み８０を入れる。なお、このときの切り込み８０は誘電体７４の下部まで完全に達し、ベースフィルム７２を切断しない程度に入れる。

一対の切り込み８０の間の不要誘電体８２は、それに対向し吸引孔８８を有する回転体である吸引除去部８６を回転させながら吸引される。ここで吸引除去部８６は不要誘電体８２を吸引除去するとともに、吸引除去された不要誘電体８２は排気孔９２からの加圧気体で吸引除去部８６から剥離され、回収ボックス９０に回収される。

なお、誘電体シート７０から誘電体７４を、矩形形状で多面取りするには、ベースフィルム７２の走行方向８４に平行な方向と垂直な方向とに切り込み８０を形成する。図２の切り込み８０は、ベースフィルム７２の走行方向８４に垂直な方向に形成された切り込みを示している。また、吸引除去部８６は不要誘電体８２上を移動部９３で移動させる。

その後、不要誘電体８２が除去され、切り込み部８３が形成された誘電体７４を、ガラス基板９４に圧着部である上圧着ローラ９６と下圧着ローラ９８とで圧着して貼り付ける。このとき、表示電極またはデータ電極が形成されたガラス基板９４は、搬送部である搬送ローラ１００で送られる。その後、ベースフィルム７２は切断部である切離しカッター１０２で切断されるとともに誘電体７４から剥離され、ガラス基板９４上への誘電体層の形成が完了する。

次に、吸引除去部により不要誘電体を吸引除去する方法を、さらに詳細に説明する。図３は、本発明の実施の形態の切り込みが形成された誘電体シートを回転体で除去するときの平面図である。

図３に示すように、切り込み８０はベースフィルムの走行方向８４に平行な方向、および垂直な方向の二方向に形成され、誘電体７４は電極が形成されたガラス基板に貼り付けられる部分である。そして、回転体である吸引除去部８６ａ、８６ｂが、走行方向８４に平行な方向および垂直な方向それぞれに、一対の切り込み８０の間の誘電体である不要誘電体８２を除去する。また吸引除去部８６ａ、８６ｂは、吸気管１０６と給気管１０８とを有している。

ここで、ベースフィルムの走行方向８４に垂直な方向の不要誘電体８２を除去する際の吸引除去部８６ｂの動きを説明する。ベースフィルムの走行方向速度をｖとすると、吸引除去部８６ｂも走行方向８４に速度ｖで移動させる。さらに吸引除去部８６ｂは、その回転周速度をｕとすると、ベースフィルムの走行方向８４に垂直な方向に、速度ｕと等しい速度で移動させる。この結果、吸引除去部８６ｂはベースフィルムを走行させながらも、常に走行方向８４に垂直な方向の不要誘電体８２上にある。また回転体である吸引除去部８６ｂを、回転周速度ｕと等しい速度で走行方向８４と垂直な方向に移動させることで、回転体である吸引除去部８６ｂと不要誘電体８２との位置関係が変わることがないため、不要誘電体８２を順次、吸引除去できる。

なお、吸引除去部８６ｂは移動部９３により不要誘電体８２上を移動する。その移動部９３の構造は、例えばローラが回転しながらラックとかみ合うラックピニオン構造であり、走行方向８４に平行な方向と、垂直な方向とに一定速度で移動できる。

また、走行方向８４に平行な方向の吸引除去部８６ａは、ベースフィルムが速度ｖで走行しているため、移動させる必要はない。ただし、その回転周速度は速度ｖと等しい速度にして、回転体である吸引除去部８６ａと不要誘電体８２との位置関係が変わることがないようにして、不要誘電体８２を順次、吸引除去するようにする。このようにして、ベースフィルムを走行させながら、ベースフィルムの走行方向８４に平行な方向と垂直な方向との二方向を同時に、それぞれの吸引除去部８６ａ、８６ｂで不要誘電体８２を吸引除去することができる。

図４〜図６は、図３のＸ−Ｘ方向断面図で、これらの図を用いて回転体である吸引除去部８６ａの構造、ならびにベースフィルムの走行方向に平行な方向の不要誘電体８２を吸引除去する方法を説明する。図４は、吸引除去部８６ａが不要誘電体８２を吸引し、回収ボックス９０にその一部を入れた状態である。

吸引除去部８６ａは、不要誘電体８２に対向し、その内部は分離壁１１０で、陰圧領域１１２と陽圧領域１１４との領域に分離されている。そして吸引除去部８６ａの外周部１１６には、陰圧領域１１２と導通する吸引孔８８、および陽圧領域１１４と導通する排気孔９２が設けられている。陰圧領域１１２には陰圧にするための吸気管１０６が、陽圧領域１１４には陽圧にするための給気管１０８が接続されている。また、吸引除去部８６ａの外周面はフッ素樹脂をコーティングした離型処理をしている。このような離型処理をすることで、吸引した不要誘電体８２は容易に吸引除去部８６ａの外周面から取り除かれる。

図５は、図４の状態から分離壁１１０の位置は変わらないようにし、吸引除去部８６ａの外周部１１６のみ回転方向１１８に回転した状態である。分離壁１１０の位置が変わらないため、陰圧領域１１２は常に不要誘電体８２に対向している。さらにベースフィルムの走行方向速度ｖと、吸引除去部８６ａの回転周速度が等しいので、吸引除去部８６ａと不要誘電体８２の位置関係は変わらず、不要誘電体８２は連続的に吸引される。

図６は、さらに吸引除去部８６ａの外周部１１６が回転した状態である。吸引除去された不要誘電体８２は、陽圧領域１１４に導通した排気孔９２の所まで来ると、加圧気体が排気孔９２より吐出し、不要誘電体８２は破断し、回収ボックス９０に回収される。

このように、ベースフィルムを走行させながら、切り込みの間の不要誘電体を回転体で吸引除去できるので、誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の生産効率が著しく向上する。さらに、不要誘電体を連続的に吸引除去できるので、ベースフィルムの走行方向と平行な方向の不要誘電体の除去にも容易に対応できる。

なお、図２に示すように吸引除去部８６の吸引孔８８の幅は、切り込み部８３の幅より小さくしている。これは、量産性を上げるために切り込み部８３の幅を小さくしても、吸引除去部８６の外形の大きさを変える必要がなく、吸引孔８８の幅のみを変えれば良いためである。従って、切り込み部８３の幅が小さくなっても容易に対応でき、量産性に優れた製造装置とすることができる。また吸引除去部８６は、不要誘電体８２を除去するとき、不要誘電体８２の上を移動する。その際、吸引孔８８の幅は、不要誘電体８２の幅より大きいと、除去すべき部分以外も吸引するため、吸引力が小さくなる。そのため、吸引孔８８の幅は、不要誘電体８２である切り込み部８３の幅と同じか、小さい方が望ましい。このとき、吸引孔８８の幅と切り込み部８３の幅が同じであると、精度良く吸引除去部８６を移動させないと位置ズレが生じ、切り込み部８３を外れた所を吸引することになる。その結果、不要誘電体８２を吸引しにくくなる。しかし、吸引孔８８の幅を切り込み部８３の幅より小さくしておくと、吸引除去部８６の移動を、高精度に要求する必要がなくなる。

また、図７に示すようにベースフィルム７２側の吸引除去部８６に対応する位置に、吸着ローラ１０４を回転させながらベースフィルム７２側を吸着すると、不要誘電体８２をより吸引除去しやすくなる。吸引除去部８６で不要誘電体８２を吸引すると、その吸引強さによりベースフィルム７２側も吸引される場合があり、その場合は不要誘電体８２を除去しにくくなる。このときに、ベースフィルム７２側から吸着ローラ１０４で、吸引除去部８６が吸引する部分に対応する部分のみ吸着しつつ、吸着ローラ１０４でベースフィルム７２をその走行方向８４に摺動させる。このようにすることで、ベースフィルム７２を吸着しつつ、走行させることができる。

さらに、ベースフィルム７２の走行方向８４に垂直な方向の不要誘電体８２の除去の際には、図８に示すような引張ローラ１２０を用いても良い。不要誘電体８２の前後を引張ローラ１２０で引張することで、その部分の誘電体シート７０に張力をかけ、吸引除去部８６で不要誘電体８２を吸引しても、ベースフィルム７２側を吸引しにくくなる。その結果、不要誘電体８２はベースフィルム７２から吸引除去されやすくなる。

また、回転体の形状は本発明の実施の形態に限定されず、球形でも良く、回転により誘電体と常に接触する形状であれば良い。

さらに本発明の実施の形態では、切り込み手段および切断部としてカッターを示したが、レーザ等の熱をかけて切断する方式でも良い。

さらに、巻き出し部および搬送部および圧着部として、断面形状が円形のローラを示したが、楕円形や方形であっても良い。

本発明のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法および製造装置によれば、切り込みの間の誘電体を吸引除去するため、ベースフィルムを走行させながら、ベースフィルムの切り込みの間の誘電体を除去でき、生産効率を著しく向上させることが可能となり、誘電体層の膜厚を高精度に形成するラミネート法での誘電体シートの多面取り方法等として有用である。

本発明の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの主要構成を示す斜視図 本発明の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置の概略を示す正面図 本発明の実施の形態の切り込みが形成された誘電体シートを回転体で除去するときの平面図 図３のＸ−Ｘ方向断面図で回転体がベースフィルムの走行方向に平行な方向の不要誘電体を吸引し回収ボックスにその一部を入れた図 図４の回転体の外周部のみ回転した図 図５の回転体のさらに外周部のみ回転した図 本発明の実施の形態のベースフィルム側を吸着する図 本発明の実施の形態の不要誘電体の除去に引張ローラを用いた図

符号の説明

１０ 前面板
１２ 前面側対向面
１４ 前面ガラス基板
２４ 走査電極
２４ａ，２６ａ 透明電極
２４ｂ，２６ｂ バス電極
２６ 維持電極
２８ 表示電極
３０ 遮光層
３２ 第一の誘電体層
３４ 保護層
４０ 背面板
４２ 背面側対向面
４４ 背面ガラス基板
５４ データ電極
５６ 第二の誘電体層
５８ 隔壁
６０ 蛍光体層
７０ 誘電体シート
７２ ベースフィルム
７４ 誘電体
７６ ガイドローラ
７８ ディスクカッター
８０ 切り込み
８２ 不要誘電体
８３ 切り込み部
８４ 走行方向
８６，８６ａ，８６ｂ 吸引除去部
８８ 吸引孔
９０ 回収ボックス
９２ 排気孔
９３ 移動部
９４ ガラス基板
９６ 上圧着ローラ
９８ 下圧着ローラ
１００ 搬送ローラ
１０２ 切離しカッター
１０４ 吸着ローラ
１０６ 吸気管
１０８ 給気管
１１０ 分離壁
１１２ 陰圧領域
１１４ 陽圧領域
１１６ 吸引除去部の外周部
１１８ 回転方向
１２０ 引張ローラ

Claims (7)

1. 電極が形成されたガラス基板上に誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法において、
   ベースフィルム上に形成された誘電体に一対の切り込みを複数入れ、前記ベースフィルムを走行させるとともに吸引しながら前記一対の切り込みの間の誘電体を除去して切り込み部を形成し、前記切り込み部が形成された誘電体を前記電極上および前記ガラス基板上に貼り付けることにより前記誘電体層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法。
2. 誘電体の除去は、吸引孔を有する回転体を回転させることにより行うことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法。
3. 誘電体は、ベースフィルムの走行方向に平行な方向と垂直な方向との二つの方向を除去することを特徴とする請求項１または２記載のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法。
4. 電極が形成されたガラス基板上に誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置において、
   誘電体が形成されたベースフィルムを巻き出す巻き出し部と、前記誘電体に一対の切り込みを入れる切り込み手段と、前記一対の切り込みの間の誘電体を吸引により除去して切り込み部を形成する吸引除去部と、前記吸引除去部を移動させる移動部と、前記電極が形成されたガラス基板を搬送する搬送部と、前記切り込み部が形成された誘電体を前記電極上および前記ガラス基板上に貼り付ける圧着部と、前記誘電体を前記ガラス基板に貼り付けた前記ベースフィルムを切断する切断部とを備えたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置。
5. 吸引除去部は、吸引孔を有する回転体であることを特徴とする請求項４記載のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置。
6. 回転体は、内部を陰圧領域と陽圧領域とに分割する分離壁を備えていることを特徴とする請求項５記載のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置。
7. 回転体の吸引孔が形成されている面の幅は、切り込み部の幅より小さいことを特徴とする請求項５または６記載のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置。

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