JP2005228049A - 位置決め指令の作成方法 - Google Patents
位置決め指令の作成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005228049A JP2005228049A JP2004036182A JP2004036182A JP2005228049A JP 2005228049 A JP2005228049 A JP 2005228049A JP 2004036182 A JP2004036182 A JP 2004036182A JP 2004036182 A JP2004036182 A JP 2004036182A JP 2005228049 A JP2005228049 A JP 2005228049A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- command
- time
- triangular wave
- positioning
- predetermined threshold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】 低剛性な駆動対象を位置フィードバックによって制御する位置決め制御装置の位置決め指令の作成方法において、指令時間を短くし、かつ励振を抑える。
【解決手段】 入力された加速度と移動距離とを基に三角波指令を作成し、前記指令による振動エネルギーを算出し、前記振動エネルギーが所定のしきい値以下の場合は前記三角波指令を出力し、前記振動エネルギーが所定のしきい値より大きい場合は前記三角波と同一の指令時間の台形指令を出力し、前記しきい値は、系に働く強制力をFm、系のばね定数をK、振動検出許容レベルをnとすると(8Fm2/K)/nにて算出する。
【選択図】図3
【解決手段】 入力された加速度と移動距離とを基に三角波指令を作成し、前記指令による振動エネルギーを算出し、前記振動エネルギーが所定のしきい値以下の場合は前記三角波指令を出力し、前記振動エネルギーが所定のしきい値より大きい場合は前記三角波と同一の指令時間の台形指令を出力し、前記しきい値は、系に働く強制力をFm、系のばね定数をK、振動検出許容レベルをnとすると(8Fm2/K)/nにて算出する。
【選択図】図3
Description
本発明は低剛性な駆動対象を駆動する位置決め制御装置の位置指令に関し、特に振動抑制効果を有する位置決め指令の作成方法に関する。
位置フィードバックによる位置決め制御方法において、位置決め時間を最短にするために三角波で構成される速度指令を出力するパターン発生器を設ける手法がある。その結果、加速度を最大値にすると、指令時間を短くすることができる。しかし、制振効果を考慮していないため指令時間によっては駆動対象を大きく励振させてしまう。
そこで、図7のフローチャートによって示されるモータの制御方法がある(特許文献1参照)。この方法では、制御部から指令される動作距離とモータの最大許容トルクに基づいて決定される速度パターンから動作時間を算出する。この動作時間を駆動対象の機械の固有振動周期に基づき決定される最低動作時間と比較し、動作時間が最低動作時間よりも短い場合は、最低動作時間を基にして速度パターンを作成する。その結果、低剛性な駆動対象を持つサーボ系において、駆動対象の振動を抑えることができる。
そこで、図7のフローチャートによって示されるモータの制御方法がある(特許文献1参照)。この方法では、制御部から指令される動作距離とモータの最大許容トルクに基づいて決定される速度パターンから動作時間を算出する。この動作時間を駆動対象の機械の固有振動周期に基づき決定される最低動作時間と比較し、動作時間が最低動作時間よりも短い場合は、最低動作時間を基にして速度パターンを作成する。その結果、低剛性な駆動対象を持つサーボ系において、駆動対象の振動を抑えることができる。
しかし、特許文献1の方法では、指令時間を伸ばすことにより励振を抑えているが、総指令時間を短縮したい場合でも指令時間は駆動対象の共振周波数により制限されてしまうため、移動距離が短い場合は不利になる。例えば、100[Hz]の共振周波数を持つ駆動対象の場合、100[ms]以下の指令は作成できないためどんな微小送りでも位置決め時間が100[ms]以上かかってしまうことになる。
指令時間の短縮を考える場合、台形の指令より三角波で指令を構成した方がよい。しかし、三角波の指令は台形の指令と比較して励振しやすいため、実際の位置決め時間はそれほど短縮することができない。本発明は、指令時間を短くし、かつ励振を抑えることを目的とする。
指令時間の短縮を考える場合、台形の指令より三角波で指令を構成した方がよい。しかし、三角波の指令は台形の指令と比較して励振しやすいため、実際の位置決め時間はそれほど短縮することができない。本発明は、指令時間を短くし、かつ励振を抑えることを目的とする。
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成した。
請求項1に記載の発明は、
低剛性な駆動対象を位置フィードバックによって制御する位置決め制御装置の位置決め指令の作成方法において、
入力された加速度と移動距離とを基に三角波指令を作成し、
前記指令による振動エネルギーを算出し、
前記振動エネルギーが所定のしきい値以下の場合は前記三角波指令を出力し、
前記振動エネルギーが所定のしきい値より大きい場合は前記三角波と同一の指令時間の台形指令を出力し、
前記しきい値は、系に働く強制力をFm、系のばね定数をK、振動検出許容レベルをnとすると(8Fm2/K)/nにて算出することを特徴とするものである。
請求項1に記載の発明は、
低剛性な駆動対象を位置フィードバックによって制御する位置決め制御装置の位置決め指令の作成方法において、
入力された加速度と移動距離とを基に三角波指令を作成し、
前記指令による振動エネルギーを算出し、
前記振動エネルギーが所定のしきい値以下の場合は前記三角波指令を出力し、
前記振動エネルギーが所定のしきい値より大きい場合は前記三角波と同一の指令時間の台形指令を出力し、
前記しきい値は、系に働く強制力をFm、系のばね定数をK、振動検出許容レベルをnとすると(8Fm2/K)/nにて算出することを特徴とするものである。
本発明の方法によれば、駆動対象の機構の振動を一定のレベルに抑えることができ、指令時間を短縮することができるため位置決め時間を短縮することができるという効果がある。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
本発明を適応したシステムの構成図を図1に示す。図1において、指令パターン発生器7は、移動距離および加速度6が入力されると、指令8をサーボドライバ9に伝達する。この指令8により、モータ1が力伝達機構2を介して負荷3を駆動するシステムである。このとき、モータ1や負荷3の固定部分が駆動力の反力を受け、その反力が機台4に伝わるが、機台4の支持足5の剛性が低い場合、またモータ1が高加減速度で負荷3を駆動し特に駆動力の加わる時間が機台4の固有振動周期に近い場合に機台4が振動しやすい。
ここで図1で示すシステムを簡略化し、図2のように表す。駆動対象機構の運動方程式は
Mx”+Kx=Fm … 式(1)
となる。また、この駆動対象機構の振動エネルギーを記述する式は、次式のようになる。
P(te)=2Fm 2(1−cosωnta)(1−cosωntb)/K … 式(2)
ここで、
M :駆動対象機構の質量
x :駆動対象機構の変位
x”:駆動対象機構の加速度
Fm:系に働く強制力
K :系のばね定数
ta:指令8の加速時間
tb:指令8の加速時間と等速時間の和
te:指令時間
ωn:機台4の固有振動周波数
である。
M :駆動対象機構の質量
x :駆動対象機構の変位
x”:駆動対象機構の加速度
Fm:系に働く強制力
K :系のばね定数
ta:指令8の加速時間
tb:指令8の加速時間と等速時間の和
te:指令時間
ωn:機台4の固有振動周波数
である。
式(2)より、系の取り得るエネルギーの最大値Pmaxは次式のようになる。
Pmax=8Fm 2/K … 式(3)
このとき、式(2)においてtaまたはtbによって励起されるエネルギーが最大の時、すなわち(1−cosωnta)=2または(1−cosωntb)=2の時、駆動対象機構の振動エネルギーは式(2)よりそれぞれ次式のようになる。
P=4Fm 2(1−cosωnta)/K 、
P=4Fm 2(1−cosωntb)/K … 式(4)
P=4Fm 2(1−cosωntb)/K … 式(4)
よって、式(4)のPがPmaxに対して十分に小さい値になるようなtaの範囲であれば、指令による機械の励振は問題ないとすることができる。
例えば、式(4)のPがPmaxの1/4以下であれば、指令による駆動対象機構の励振は問題ないと仮定する。すなわち、
例えば、式(4)のPがPmaxの1/4以下であれば、指令による駆動対象機構の励振は問題ないと仮定する。すなわち、
P=4Fm 2(1−cosωnta)/K ≦ (1/4)×(8Fm 2/K) 、
P=4Fm 2(1−cosωntb)/K ≦ (1/4)×(8Fm 2/K) … 式(5)
P=4Fm 2(1−cosωntb)/K ≦ (1/4)×(8Fm 2/K) … 式(5)
となる場合である。式(5)を整理すると、
cosωnta ≧ 1/2 、cosωntb ≧ 1/2 … 式(6)
となり、機台4の固有振動周期をTbとおくと、ωn=2π/Tbだから、式(6)は以下のように書ける。
0≦ta≦Tb/6 、0≦tb≦Tb/6 … 式(7)
よって、taもしくはtbが式(7)に示す範囲にあるときは、指令8による駆動対象機構の励振は発生しない。
式(7)に示す範囲の場合、振動が小さいため三角波指令を用いることにより指令時間を短縮できるので、位置決め時間の短縮が期待できる。よって、式(7)に示す範囲では三角波指令を採用する。ここで、三角波で指令を構成した時の指令時間をte’、加速時間をta’と定義する。
一方、ta>Tb/6、tb>Tb/6の場合には、本発明の三角波指令を用いると駆動対象機構の振動が大きいため、台形指令を用いてできるだけ振動を抑える。
そこで、Tb/6<tb≦Tbの場合は、ta=Tb/6のままにする。このとき、te=te’となるように考える。
また、式(2)より、(1−cosωnta)=0または(1−cosωntb)=0を満たせば、系のエネルギーは十分に小さくなることを保証することができる。
すなわち、ta=0、Tb、2Tb、3Tb、・・・またはtb=0、Tb、2Tb、3Tb、・・・を満たせばよい。
ta=0、Tb、2Tb、3Tb、・・・のとき、te=ta+tbより
そこで、Tb/6<tb≦Tbの場合は、ta=Tb/6のままにする。このとき、te=te’となるように考える。
また、式(2)より、(1−cosωnta)=0または(1−cosωntb)=0を満たせば、系のエネルギーは十分に小さくなることを保証することができる。
すなわち、ta=0、Tb、2Tb、3Tb、・・・またはtb=0、Tb、2Tb、3Tb、・・・を満たせばよい。
ta=0、Tb、2Tb、3Tb、・・・のとき、te=ta+tbより
tb=te−ta … 式(8)
tb=0、Tb、2Tb、3Tb、・・・のとき、te=ta+tbより
ta=te−tb … 式(9)
このとき、te=te’であれば、本発明の三角波指令と同等の指令時間で台形の指令を作成することができる。
例えば、機台4の固有振動数を24[Hz]として、加速度0.3[G]の三角波指令と同等の指令時間になる台形指令を作成しようとすると次のようになる(図3参照)。
T=1/24=41.67[ms]、T/6=6.94[ms]であるから、
例えば、機台4の固有振動数を24[Hz]として、加速度0.3[G]の三角波指令と同等の指令時間になる台形指令を作成しようとすると次のようになる(図3参照)。
T=1/24=41.67[ms]、T/6=6.94[ms]であるから、
ta’[s]={(移動距離[m])/(0.3[G]×9.81)}1/2 … 式(10)
移動距離が0.1[mm]の場合、三角波で指令を作成すると式(10)によりta=5.81[ms]になる。式(7)より、0≦ta’≦T/6なので、このまま三角波指令を用いる。
移動距離が1[mm]の場合、三角波で指令を作成するとta’=18.43[ms]となる。T/6<ta’なので、指令を台形波にする。また、T/6<ta’≦Tなのでta=T/6[ms]とする。te’=3.87[ms]なので、tb=29.93[ms]となる。
移動距離が3[mm]の場合、三角波で指令を作成するとta’=31.93[ms]となる。T/6≦ta’なので、指令を台形波にする。
tb=T=41.67[ms]とすると、te’=63.86[ms]なのでta=22.19[ms]となる。
tb=T=41.67[ms]とすると、te’=63.86[ms]なのでta=22.19[ms]となる。
また、このときの移動距離に対する指令時間、加速時間、加速時間と等速時間の和を図4に、移動距離に対する指令の最高速度を図5に、移動距離に対する指令の加速度を図6にそれぞれ示す。
本発明は、半導体製造装置の位置決め用サーボ制御装置、工作機械や産業用ロボットを駆動するサーボ制御装置等に利用できる。
1 モータ
2 力伝達機構
3 負荷
4 機台
5 機台の支持足
6 加速度、移動距離
7 指令パターン発生器
8 指令
9 サーボドライバ
2 力伝達機構
3 負荷
4 機台
5 機台の支持足
6 加速度、移動距離
7 指令パターン発生器
8 指令
9 サーボドライバ
Claims (1)
- 低剛性な駆動対象を位置フィードバックによって制御する位置決め制御装置の位置決め指令の作成方法において、
入力された加速度と移動距離とを基に三角波指令を作成し、
前記指令による振動エネルギーを算出し、
前記振動エネルギーが所定のしきい値以下の場合は前記三角波指令を出力し、
前記振動エネルギーが所定のしきい値より大きい場合は前記三角波と同一の指令時間の台形指令を出力し、
前記しきい値は、系に働く強制力をFm、系のばね定数をK、振動検出許容レベルをnとすると(8Fm2/K)/nにて算出することを特徴とする位置決め指令の作成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004036182A JP2005228049A (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 位置決め指令の作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004036182A JP2005228049A (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 位置決め指令の作成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005228049A true JP2005228049A (ja) | 2005-08-25 |
Family
ID=35002718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004036182A Pending JP2005228049A (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 位置決め指令の作成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005228049A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013065741A (ja) * | 2011-09-20 | 2013-04-11 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 部品実装装置 |
-
2004
- 2004-02-13 JP JP2004036182A patent/JP2005228049A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013065741A (ja) * | 2011-09-20 | 2013-04-11 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 部品実装装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8560129B2 (en) | Vibration control device and vehicle | |
JP5328259B2 (ja) | 振動波駆動装置の制御装置、及び、振動波駆動装置の制御方法 | |
CN1973148A (zh) | 控制直升机振动的方法和系统 | |
JP2006293622A (ja) | 指令生成装置 | |
JP4016966B2 (ja) | 能動型防振装置の駆動方法 | |
JP4601659B2 (ja) | 指令生成装置及び指令生成方法 | |
JP2005228049A (ja) | 位置決め指令の作成方法 | |
JP6846213B2 (ja) | モータ制御装置 | |
JP6091316B2 (ja) | 振動型駆動装置の速度制御機構、振動型駆動装置、電子機器及び速度制御方法 | |
JP5092831B2 (ja) | 位置決め制御装置 | |
JP5217217B2 (ja) | 制振装置及び制振装置を備えた制振対象機器 | |
JP4415631B2 (ja) | 制御装置 | |
JP2005103739A5 (ja) | ||
JP4146498B2 (ja) | 電気車の交流電動機の制御装置 | |
JP2010055470A (ja) | 機械制御装置 | |
JP4380254B2 (ja) | サーボ制御装置の限界ゲイン抽出方法 | |
JP4224776B2 (ja) | サーボ制御装置の限界ゲイン抽出方法 | |
WO2022202852A1 (ja) | サーボ制御装置 | |
JP3511836B2 (ja) | モータの制御方法 | |
JP2009081923A (ja) | モータ制御システムとそのパラメータ調整方法 | |
JP2007252093A (ja) | モータ位置制御装置 | |
JP4987302B2 (ja) | ステッピングモータの駆動方法 | |
JP2005056172A (ja) | サーボ制御装置の最大ゲイン抽出方法 | |
JP4390049B2 (ja) | サーボ制御装置およびその限界ゲイン抽出方法 | |
JP2003084836A (ja) | 位置決め制御装置の指令方法 |