JP2005221260A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 圧力検出素子が収納されたケースの開口部に、パイプ状の圧力導入用の突起部を有する圧力導入部材を吸着装置を用いて取り付けてなる圧力センサにおいて、圧力導入部材における吸着面を十分に確保する。
【解決手段】 一端側に開口部11を有するとともに圧力検出用の圧力検出素子20が収納されたケース10と、ケース10の開口部11に取り付けられケース10へ圧力を導入するための圧力導入部材30とを備え、圧力導入部材30は、ケース10への取付時において吸着装置により吸着されるための平面を有する平面部31と、この平面部31から突出し圧力の導入を行うためのパイプ状の突起部32とを備えるものである圧力センサにおいて、圧力導入部材30では、平面部31の周辺部に突起部32が配置されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 一端側に開口部11を有するとともに圧力検出用の圧力検出素子20が収納されたケース10と、ケース10の開口部11に取り付けられケース10へ圧力を導入するための圧力導入部材30とを備え、圧力導入部材30は、ケース10への取付時において吸着装置により吸着されるための平面を有する平面部31と、この平面部31から突出し圧力の導入を行うためのパイプ状の突起部32とを備えるものである圧力センサにおいて、圧力導入部材30では、平面部31の周辺部に突起部32が配置されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、センシング部が収納されたケースの開口部に、圧力導入用の突起部を有する圧力導入部材を取り付けてなる圧力センサに関する。
ケースにセンシング部が収納された圧力センサとしては、たとえば、、ケースと、ケースに設けられ圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生するセンシング部と、ケースにインサート成形されるとともにセンシング部の周囲に設けられセンシング部と電気的に接続された導体部材と、導体部材とケースとの界面を封止する封止部材とを備えるものが提案されている(たとえば、特許文献1、特許文献2参照)。
図5は、上記構成を有する従来の圧力センサの概略断面構成を示す図である。樹脂などからなるケース10は、ターミナルなどの導体部材13がインサート成形されたものであり、当該ケース10の上端は開口部11となっている。
そして、ケース10内には、圧力検出用のセンシング部としての圧力検出素子20が接着剤などを介して搭載され固定されている。この圧力検出素子20としては、たとえば、ガラス台座に半導体ダイアフラム式のセンサチップを接合したものが用いられる。
そして、圧力検出素子20の周囲には、導体部材13が位置しており、この導体部材13と圧力検出素子20とは、たとえば、ボンディングワイヤ14を介して結線されるなどの方法により互いに電気的に接続されている。
そして、ケース10内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴムなどからなる保護部材15が充填されており、この保護部材15によって、導体部材13とケース10との界面、圧力検出素子20およびボンディングワイヤ14などが封止され、保護されている。
このような圧力センサにおいては、保護部材15の表面から圧力が印加され、これを圧力検出素子20が受圧する。圧力検出素子20は、この圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生し、当該電気信号はボンディングワイヤ14から導体部材13を介して外部へと出力されるようになっている。
ここにおいて、従来では、図5に示されるように、ケース10へ圧力を導入しセンシングとしての圧力検出素子20に受圧させるための圧力導入部材300が、ケース10の開口部11を覆うようにケース10に取り付けられる。
従来の圧力導入部材300は、図5に示されるように、たとえば平面形状が矩形状をなす平面部310とこの平面部310の中央部から突出するパイプ状の突起部320とを備えている。この圧力導入部材300のケース10への実装方法は、次に示される通りである。
真空吸引によって物体を吸着することの可能な吸着装置(図示せず)を用いて、圧力導入部材300の平面部310に吸着装置を当てて吸着し、圧力導入部材300を拾い上げる。そして、吸着装置および圧力導入部材300をケース10の開口部11上に移動させ、接着や溶着などにより圧力導入部材300とケース10とを固定する。
こうして、圧力導入部材300がケース10に取り付けられてなる圧力センサができあがる。そして、圧力導入部材300の突起部320には、図示しないゴムホースなどが接続され、当該ゴムホースおよび突起部320における圧力導入孔としての貫通穴330を介して圧力が、ケース10へ導入されるのである。
特開平11−304619号公報
特開2001−304999号公報
上述したように、従来の圧力センサにおいては、圧力導入部材300の平面部310は、ケース10への圧力導入部材300の取付時において吸着装置により吸着されるための平面を有するものである。
しかしながら、従来では、上記図5に示されるように、突起部320は平面部310の中央部から突出するものであるため、この突起部320が邪魔になって、上記吸着装置による平面部310の吸着面積が狭いものになってしまう。
吸着面積が狭い場合、吸着装置による圧力導入部材300の保持力を確保するためには、吸着時における吸着力の増加すなわち真空度の増加などが必要となる。また、吸着装置における吸着面の形状を、平面部310の中央部に位置する突起部320を避けて吸着できるような形状にする必要がある。
つまり、従来の圧力センサにおいては、このような必要事項に応じた吸着装置の改造などが必要とされることから、圧力導入部材300をケース10に実装するときに手間がかかったり、コストが増大したりするという問題がある。さらに、吸着ができないような場合には、突起部320をつかむことで圧力導入部材300の実装を行うなどの設備改造も必要になってしまう。
そこで、本発明は上記問題に鑑み、センシング部が収納されたケースの開口部に、圧力導入孔を形成するための突起部を有する圧力導入部材を吸着装置を用いて取り付けてなる圧力センサにおいて、圧力導入部材における吸着面を十分に確保できるようにすることを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、一端側に開口部(11)を有するとともに、圧力検出用のセンシング部(20)が収納されたケース(10)と、ケース(10)の開口部(11)に取り付けられ、ケース(10)へ圧力を導入するための圧力導入部材(30)とを備え、圧力導入部材(30)は、ケース(10)への取付時において吸着装置により吸着されるための平面を有する平面部(31)と、この平面部(31)から突出し圧力導入孔を形成するための突起部(32)とを備えるものである圧力センサにおいて、圧力導入部材(30)では、平面部(31)の周辺部に突起部(32)が配置されていることを特徴としている。
それによれば、圧力導入部材(30)において、突起部(32)は、従来のように平面部(31)の中央部ではなく、周辺部に位置しているため、吸着面である平面部(31)は、突起部(32)に邪魔されることなく広い吸着面積を確保したものにできる。
つまり、本発明によれば、センシング部(20)が収納されたケース(10)の開口部(11)に、圧力導入孔を形成するための突起部(32)を有する圧力導入部材(30)を吸着装置を用いて取り付けてなる圧力センサにおいて、圧力導入部材(30)における吸着面を十分に確保することができる。
そして、本発明によれば、汎用の吸着装置を用いて、圧力導入部材(30)をケース(10)に簡単に実装することができ、コストの増大を招くこともなくなる。
また、請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の圧力センサにおいて、圧力導入部材(30)において、平面部(31)の平面形状は矩形状であり、突起部(32)は平面部(31)の辺部に配置されていることを特徴としている。
また、請求項3に記載の発明では、請求項1に記載の圧力センサにおいて、圧力導入部材(30)において、平面部(31)の平面形状は矩形状であり、突起部(32)は平面部(31)の隅部に配置されていることを特徴としている。
圧力導入部材(30)において、平面部(31)の周辺部に配置される突起部(32)としては、具体的に請求項2や請求項3の発明のような構成とすることができる。特に、突起部(32)を平面矩形状の平面部(31)の隅部に配置する場合、辺部に配置する場合よりも平面部(31)においてより広い吸着面積を確保することができる。
また、請求項4に記載の発明では、請求項1〜請求項3に記載の圧力センサにおける圧力導入部材(30)において、突起部(32)は平面部(31)に対して垂直な方向に沿って突出したものであることを特徴としている。
また、請求項5に記載の発明では請求項1〜請求項3に記載の圧力センサにおける圧力導入部材(30)において、突起部(32)は平面部(31)に対して平面部(31)の平面方向に沿って突出したものであることを特徴としている。突起部(32)の突出方向としては、このようなものにできる。
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
(第1実施形態)
図1(a)は、本発明の第1実施形態に係る圧力センサS1の全体概略断面構成を示す図であり、図1(b)は、(a)中に示される圧力センサS1における圧力導入部材30の上視平面図である。また、図1(c)は後述する圧力導入部材の変形例を示す平面図である。
図1(a)は、本発明の第1実施形態に係る圧力センサS1の全体概略断面構成を示す図であり、図1(b)は、(a)中に示される圧力センサS1における圧力導入部材30の上視平面図である。また、図1(c)は後述する圧力導入部材の変形例を示す平面図である。
限定するものではないが、この圧力センサS1は、たとえば、自動車のインテークマニホールドに取り付けられガソリン等の薬品に曝される環境で使用される吸気圧センサに適用することができる。
この圧力センサS1は、大きくは、一端側に開口部11を有するとともに圧力検出用のセンシング部20が収納されたケース10と、このケース10の開口部11に取り付けられケース10へ圧力を導入するための圧力導入部材30とを備えて構成されている。
ケース10は、たとえば、PPS(ポリフェニレンサルファイド)、PBT(ポリブチレンテレフタレート)やエポキシ樹脂等の樹脂材料を型成形してなるものである。このケース10の上端面には、センシング部20を搭載するための開口部11を有する凹部12が形成されている。
また、ケース10には、導体部材としてのターミナル13がインサート成形により一体的に設けられている。このターミナル13は、たとえば銅などの導電材料よりなるもので、このターミナル13の一部は、上記凹部12内にて露出した状態となるように配置されている。
なお、このターミナル13の露出部分は金メッキが施されることにより、ボンディングパッドとして機能するように構成されている。また、ターミナル13におけるケース10から突出する部位13aは、上記ボンディングパッド以外の図示しない部位にて、図示しない外部機器(外部の配線部材等)に接続可能となっている。
ケース10の凹部11に搭載されたセンシング部20は、圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生する圧力検出素子20である。この圧力検出素子20は、図示しないが、たとえば、半導体よりなるセンサチップとこのセンサチップを保持するガラス台座とにより構成されている。
ここで、上記センサチップは、限定するものではないが、たとえば、ピエゾ抵抗効果を利用した周知構成のもので、その上面に圧力を受けて歪むダイアフラムおよび拡散抵抗などを備えた構成となっている。
この圧力検出素子20は、上記したケース10の凹部12の底面に、たとえばシリコーンゴム等の図示しない接着剤によりダイボンディングされている。また、圧力検出素子20の各入出力端子(図示せず)は、ターミナル13の上記ボンディングパッドに対し金やアルミニウム等のボンディングワイヤ14を介して電気的に接続されている。
こうして、センシング部としての圧力検出素子20は、ケース10の凹部12に搭載された状態で、導体部材としてのターミナル13と電気的に接続されている。
そして、ケース10の凹部12内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴムなどからなる保護部材15が充填されており、この保護部材15によって、ターミナル13とケース10との界面、圧力検出素子20およびボンディングワイヤ14などが封止され、保護されている。
この保護部材15により、圧力検出素子20、ターミナル13、ボンディングワイヤ14、圧力検出素子20とボンディングワイヤ40との接続部、および、ターミナル13とボンディングワイヤ14との接続部が被覆され、薬品からの保護、電気的な絶縁性の確保、並びに防食などが図られている。
ここで、この保護部材15の材料は、たとえば上記特許文献に記載されている2層保護構造と同様のものにできる。
たとえば、下層に位置する保護部材としては、ターミナル13とケース10との界面等からの気泡の発生を抑制するために高弾性率を持ち且つ耐薬品性を有する材料からなるものにできる。限定するものではないが、たとえば、フッ素系のゴム材料などを採用することができる。
また、上層に位置する保護部材としては、圧力検出素子20およびボンディングワイヤ14へ応力を与えないような低弾性率を持ち且つ耐薬品性を有する材料からなるものにできる。限定するものではないが、たとえば、フッ素系のゲル材料やフロロシリコーンゲルなどを採用することができる。
また、圧力導入部材30は、ケース10の開口部11を覆うようにケース10に対して接着や溶着などにより固定され取り付けられている。この圧力導入部材30は、樹脂やセラミックあるいは金属などから成形されたものである。
この圧力導入部材30は、図1に示されるように、ケース10への取付時において吸着装置により吸着されるための平面を有する平面部31と、この平面部31から突出し圧力の導入を行うためのパイプ状の突起部32とを備えて構成されたもので、平面部31の周辺部に突起部32が配置されている。
図1に示される例では、この圧力導入部材30において、圧力導入部材30において、平面部31の平面形状は矩形状であり、突起部32は平面部31の辺部に配置されている。そして、突起部32は平面部31に対して垂直な方向に沿って突出している。ここで、突起部32内の貫通穴33は、圧力導入孔として構成されている。
かかる圧力センサS1の製造方法は、次の通りである。
ターミナル13がインサート成形されたケース10を用意し、圧力検出素子20をケース10へ接着剤など介して搭載固定し、圧力検出素子20とターミナル13とをワイヤボンディングにより結線した後、保護部材15の凹部12への注入・充填を行い、熱硬化処理を行って保護部材15を硬化する。
次に、圧力導入部材30をケース10へ実装する。この圧力導入部材30の実装の様子は図2に示される。真空吸引によって物体を吸着することの可能な吸着装置(図示せず)を用いて、圧力導入部材30の平面部31に吸着装置を当てて吸着し、圧力導入部材30を拾い上げる。
そして、図2に示されるように、吸着装置および圧力導入部材30をケース10の開口部11上に移動させ、接着や溶着などにより圧力導入部材30とケース10とを固定する。こうして、圧力導入部材30がケース10に取り付けられてなる本圧力センサS1ができあがる。
そして、本圧力センサS1を上記した吸気圧センサに適用する場合には、たとえば自動車におけるエンジン吸気路と連通した状態で、圧力検出素子20によって吸気圧(負圧)を検出できるように自動車に搭載される。
具体的には、圧力導入部材30の突起部32に、上記エンジン吸気路と連通する図示しないゴムホースなどが接続され、当該ゴムホースおよび突起部32における圧力導入孔としての貫通穴33を介して圧力が、ケース10へ導入される。
そして、導入された圧力は保護部材15の表面に印加され、これを圧力検出素子20が受圧する。圧力検出素子20は、この圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生し、当該電気信号はボンディングワイヤ14からターミナル13を介して外部へと出力されるようになっている。
ところで、本実施形態によれば、一端側に開口部11を有するとともに圧力検出用のセンシング部としての圧力検出素子20が収納されたケース10と、ケース10の開口部11に取り付けられケース10へ圧力を導入するための圧力導入部材30とを備え、圧力導入部材30は、ケース10への取付時において吸着装置により吸着されるための平面を有する平面部31と、この平面部31から突出し圧力導入孔を形成するための突起部32とを備えるものである圧力センサにおいて、圧力導入部材30では、平面部31の周辺部に突起部32が配置されていることを特徴とする圧力センサS1が提供される。
それによれば、圧力導入部材30において、突起部32は、従来のように平面部31の中央部ではなく、平面部31の周辺部に位置しているため、吸着面である平面部31は、突起部32に邪魔されることなく広い吸着面積を確保したものにできる。
つまり、本実施形態によれば、センシング部としての圧力検出素子20が収納されたケース10の開口部11に、パイプ状の圧力導入用の突起部32を有する圧力導入部材30を吸着装置を用いて取り付けてなる圧力センサにおいて、圧力導入部材30における吸着面を十分に確保することができる。
そして、本実施形態によれば、汎用の吸着装置を用いて、圧力導入部材30をケース10に簡単に実装することができるため、コストの増大を招くこともなくなる。
また、本実施形態では、圧力導入部材30において平面部31の周辺部に突起部32を配置する構成であるため、平面部31の基板投影面積は、従来のものと変える必要はない。つまり、本実施形態では、圧力導入部材30の体格を大きくしなくても、吸着面積をより広く確保することができる。
[変形例]
ここで、図3は、本実施形態の変形例としての圧力センサを示す概略断面図である。
ここで、図3は、本実施形態の変形例としての圧力センサを示す概略断面図である。
本実施形態では、圧力導入部材30において平面部31の周辺部に突起部32を配置するため、圧力センサの端部に突起部32が偏って位置しており、この突起部32に上記したゴムホースなどをはめ込むときに圧力センサが傾くおそれがある。
そこで、図3では、このような問題に対する対策として、ケース10における突起部32の直下に位置する部位に、支持部10aを設け、この支持部10aによって、突起部32にゴムホースなどをはめ込むときの力を受けて圧力センサの傾きを防止するようにしている。
また、上記図1に示される例では、圧力導入部材30において平面部31の平面形状は矩形状であり、突起部32は平面部31の辺部に配置されていたが、図1(b)中の破線に示されるように、突起部32は平面部31の隅部に偏身して配置されていてもよい。
このように、突起部32を平面矩形状の平面部31の隅部に配置する場合、辺部に配置する場合よりも平面部31においてより広い吸着面積を確保することができる。
さらに、上記図1(c)に示されるように、圧力導入部材30において、平面部31の周辺部に突起部32を配置することとは、平面部31から板面方向(すなわち平面部31の平面方向)に沿って突出した部分を設け、この部分に突起部32を設けることも含むものである。
(第2実施形態)
図4は、本発明の第2実施形態に係る圧力センサS2の全体概略断面図である。上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。
図4は、本発明の第2実施形態に係る圧力センサS2の全体概略断面図である。上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。
上記第1実施形態では、上記図1に示されるように、圧力導入部材30において、突起部32は平面部31に対して垂直な方向に沿って突出したものであった。
それに対して、本実施形態では、図4に示されるように、圧力導入部材30において、突起部32は平面部31に対して平面部31の平面方向に沿って突出したものであることを特徴としている。
突起部32の突出方向としては、このようなものにでき、本実施形態においても、上記第1実施形態に示したものと同様の作用効果を奏する。
また、本実施形態では、圧力導入部材30の突起部32は、ケース10の突起部と組み合わされることで圧力導入孔33を形成している。しかし、本実施形態において、平面部31の平面方向に沿って突出する突起部32としては、上記実施形態のようなパイプ状のものであって、その貫通穴が圧力導入孔となっているものでもよい。
(他の実施形態)
なお、突起部32の平面部31に対する突出方向は、上記実施形態以外の方向であってもよく、たとえば平面部31に対して斜めの方向であってもよい。
なお、突起部32の平面部31に対する突出方向は、上記実施形態以外の方向であってもよく、たとえば平面部31に対して斜めの方向であってもよい。
また、一端側に開口部11を有するケース10としては、その材質は樹脂に限定されるものではなく、ターミナル13がインサート成形されたものであっても、そうでなくてもかまわない。
また、センシング部20としては、上記した圧力検出素子20のような半導体ダイアフラム式のものに限定されるものではなく、たとえば、容量式のもの、圧電素子を用いたものなどにも、適用可能である。
また、上述したようなセンシング部20などを封止して保護する保護部材15は、無いものであってもよい。
また、ターミナル13とセンシング部20との電気的な接続は、上記したボンディングワイヤ40によるもの以外にも、たとえばはんだや導電性接着剤などを用いて両者を電気的に接続する方法を採用してもよい。
要するに、本発明が適用される圧力センサとしては、一端側に開口部を有するとともに圧力検出用のセンシング部が収納されたケースと、ケースの開口部に取り付けられケースへ圧力を導入するための圧力導入部材とを備え、圧力導入部材は、ケースへの取付時において吸着装置により吸着されるための平面を有する平面部と、この平面部から突出し圧力の導入を行うためのパイプ状の突起部とを備えるものであればよい。
そして、本発明は、このような圧力センサにおいて、圧力導入部材30における平面部31の周辺部に突起部32を配置したことを要部とするものであり、その他の細部については適宜設計変更が可能である。
また、本発明の圧力センサは、上述したような自動車の吸気圧センサ以外にも適用可能であることは勿論である。
10…ケース、11…ケースの開口部、20…センシング部としての圧力検出素子、
30…圧力導入部材、31…圧力導入部材の平面部、32…圧力導入部材の突起部。
30…圧力導入部材、31…圧力導入部材の平面部、32…圧力導入部材の突起部。
Claims (5)
- 一端側に開口部(11)を有するとともに、圧力検出用のセンシング部(20)が収納されたケース(10)と、
前記ケース(10)の前記開口部(11)に取り付けられ、前記ケース(10)へ圧力を導入するための圧力導入部材(30)とを備え、
前記圧力導入部材(30)は、前記ケース(10)への取付時において吸着装置により吸着されるための平面を有する平面部(31)と、この平面部(31)から突出し圧力導入孔を形成するための突起部(32)とを備えるものである圧力センサにおいて、
前記圧力導入部材(30)では、前記平面部(31)の周辺部に前記突起部(32)が配置されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記圧力導入部材(30)において、前記平面部(31)の平面形状は矩形状であり、前記突起部(32)は前記平面部(31)の辺部に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記圧力導入部材(30)において、前記平面部(31)の平面形状は矩形状であり、前記突起部(32)は前記平面部(31)の隅部に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記圧力導入部材(30)において、前記突起部(32)は前記平面部(31)に対して垂直な方向に沿って突出したものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記圧力導入部材(30)において、前記突起部(32)は前記平面部(31)に対して前記平面部(31)の平面方向に沿って突出したものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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Effective date: 20060316 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070523 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070724 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071204 |