JP2005213601A - 磁歪材料及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 広温度域かつ高温域での使用においても、磁歪値の低下が抑制された超磁歪材料を提供する。
【解決手段】 （Ｔｂ_ｕＤｙ_１−ｕ）（Ｆｅ_1-ｖＣｏ_ｖ）_ｗ（ｕ、ｖ、ｗは、０．２７≦ｕ＜０．５、０．０８≦ｖ≦０．２３、１．７≦ｗ≦２）で表される組成を有する焼結体からなる磁歪材料は、キュリー温度が４１０℃以上、２００℃におけるλ_１．０が６５０ｐｐｍ以上、３００℃におけるλ_１．０が３５０ｐｐｍ以上（λ_１．０は、１ｋＯｅの磁場を印加したときの、磁場印加方向と平行な方向の磁歪値）の特性を具備することができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、外部磁界を作用させたときに長さが変化する磁歪材料に関し、特に１５０℃以上の高温域においても磁歪値の低下の少ない磁歪材料に関する。

強磁性体を磁化したときに、磁性体の寸法が変化する現象を磁歪といい、このような現象が生ずる材料を磁歪材料という。磁歪による飽和変化量である飽和磁歪定数は、一般には１０^−５〜１０^−６の値を有し、大きな飽和磁歪定数を有する磁歪材料は超磁歪材料とも呼ばれ、振動子、フィルター、センサ等に広く利用されている。現在、Ｒ（希土類元素）とＦｅの化合物であるＲＦｅ_２ラーベス型金属間化合物を主体とする磁歪材料が飽和磁歪定数の大きな材料として知られている（例えば、米国特許第３９４９３５１号公報（特許文献１）、同４１５２１７８号公報（特許文献２）、同４３０８４７４号公報（特許文献３）、同４３７５３７２号公報（特許文献４））。しかしこれら材料において、印加される外部磁界が大きいときには磁歪値が大きいが、外部磁界が小さいときには磁歪値が十分ではないという問題を有していた。そこで、ＲＦｅ_２ラーベス型金属間化合物を主体とする磁歪材料において、低外部磁界でも磁歪値を大きくする検討が行われ、磁化容易軸であって、磁歪定数の大きい［１１１］軸方向に配向させることが提案されている。また、ＲＦｅ_２ラーベス型金属間化合物を主体とする材料としては、Ｔｂ_０．３Ｄｙ_０．７Ｆｅ_２．０（原子比）の組成を有する場合に磁歪値が大きいため、専らこの組成が採用されていた。

磁場中での成形で高い配向を得るため、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｔ（鉄族金属）からなる原料Ａ、Ｄｙ、Ｔｂ、Ｔからなる原料Ｂ、Ｔからなる原料Ｃの合金粉を作製し、これら３種混合し焼結する磁歪材料の製造方法が特開平７−２８６２４９号公報（特許文献５）に提案されている。また、特許文献５に開示されている方法をさらに改善し十分な焼結密度を得る方法が特開２００２−１２９２７４号公報（特許文献６）に開示されている。特許文献６は、原料Ｂに水素を吸蔵させることにより、原料Ｂに歪みを導入して割れを生じさせる。さらに、原料Ａと原料Ｃと混合し、成形体を形成する時の圧力により原料Ｂの割れが進行するために混合した状態の内部で粉砕されて細かくなり、原料Ｂが原料Ａの間に入り込むことで、緻密で密度の高い焼結体が得られることを特許文献６は開示している。

米国特許第３９４９３５１号公報 米国特許第４１５２１７８号公報 米国特許第４３０８４７４号公報 米国特許第４３７５３７２号公報 特開平７−２８６２４９号公報 特開２００２−１２９２７４号公報

超磁歪材料の用途は多岐にわたっており、使用される環境下においても所望する磁歪値を備えることが望まれる。例えば、使用温度域が広く、かつ例えば１５０℃以上の高温域において駆動が要求される用途もある。ところが、特許文献５、６に開示された磁歪材料は、このような広温度域かつ高温域での使用に十分対応することができなかった。つまり、これら従来の超磁歪材料は、高温域において磁歪値の低下が顕著となっていた。
本発明は、このような技術的課題に基づいてなされたもので、広温度域かつ高温域での使用においても、磁歪値の低下が抑制された超磁歪材料及びその製造方法を提供することを目的とする。

本発明者らは粉末冶金法により得られる（Ｔｂ，Ｄｙ）Ｆｅ_２系の超磁歪材料に、ある限定された量のＣｏを含有させることにより、キュリー温度（Ｔｃ）を向上させ、ひいては温度上昇にともなう磁歪値の低下を十分に抑制できることを知見した。本発明の超磁歪材料は以上の知見に基づくものであり、（Ｔｂ_ｕＤｙ_１−ｕ）（Ｆｅ_1-ｖＣｏ_ｖ）_ｗ（ｕ、ｖ、ｗは、０．２７≦ｕ＜０．５、０．０８≦ｖ≦０．２３、１．７≦ｗ≦２）で表される組成を有する焼結体からなることを特徴とする。
本発明の磁歪材料において、ｖは、０．１５≦ｖ≦０．１９であることが望ましい。
本発明による磁歪材料は、キュリー温度が４１０℃以上、２００℃におけるλ_１．０が６５０ｐｐｍ以上、３００℃におけるλ_１．０が３５０ｐｐｍ以上（λ_１．０は、１ｋＯｅの磁場を印加したときの、磁場印加方向と平行な方向の磁歪値、以下同じ）の特性を具備することができる。

以上の本発明による磁歪材料は、式１：（Ｔｂ_ｘＤｙ_１−ｘ）(Ｆｅ，Ｃｏ）_ｙ（ｘ及びｙは、０．３５＜ｘ≦０．５、１．７≦ｙ≦２）で表される原料Ａと、式２：Ｄｙ_ｔＴ_１−ｔ（ＴはＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏの群から選択される少なくとも１種類の金属、ＤｙはＴｂとＨｏの双方又はいずれか一方を含むことがあり、ｔは０．３７≦ｔ≦１）で表される原料Ｂと、Ｔを含有する原料Ｃとを混合した後に、磁場中成形し、しかる後に焼結して得ることができる。
ここで、式１におけるＦｅ、Ｃｏは、Ｆｅ＋Ｃｏ＝１、かつ０．１≦Ｃｏ≦０．２９を満足することが望ましい。

以上説明したように、本発明によれば、所定量のＣｏを含有することにより、広温度域かつ高温域での使用においても、磁歪値の低下が抑制された超磁歪材料を提供することができる。

本発明の磁歪材料は、（Ｔｂ_ｕＤｙ_１−ｕ）（Ｆｅ_1-ｖＣｏ_ｖ）_ｗ（ｕ、ｖ、ｗは、０．２７≦ｕ＜０．５、０．０８≦ｖ≦０．２３、１．７≦ｗ≦２）で表される組成を有する。このように本発明の磁歪材料は、Ｃｏの含有を必須とする。キュリー温度を向上することにより、高温域での磁歪値の低下を抑制するためである。ただし、Ｃｏの量を示すｖが０．０８未満あるいは０．２３を超えると、高温域での磁歪値の低下抑制の効果が不十分となる。したがって、ｖは０．０８≦ｖ≦０．２３とする。好ましいｖは０．１４≦ｖ≦０．１９である。
また、ｕ、ｗは、０．２７≦ｕ＜０．５、１．７≦ｗ≦２の範囲とする。ｕが０．２７未満では、常温より低い温度域で十分な磁歪値を示さず、ｕが０．５以上では常温域で十分な磁歪値を示さない。ｗが１．７未満では希土類リッチな相が多くなり、ｗが２を超えると、（Ｔｂ，Ｄｙ）Ｔ_３相等の異相が生じ磁歪値が低下する。好ましいｕ、ｗは、０．３≦ｕ≦０．４５、１．８５≦ｗ≦１．９５である。

本発明の磁歪材料は、上記の組成を有する焼結体からなる。焼結体を得る方法は後述するが、本発明の磁歪材料は、後述する原料Ａの［１１１］軸方向の配向が維持されているために磁歪が大きく、かつ、磁歪材料として適度な結晶磁気異方性を有するため、良好な磁場応答性が得られる。しかも、Ｃｏを上記範囲で含有していることにより、Ｔｃが４１０℃以上、２００℃におけるλ_１．０が６５０ｐｐｍ以上、３００℃におけるλ_１．０が３５０ｐｐｍ以上という特性を得ることができる。Ｃｏを上記範囲で含有しない場合は、２００℃におけるλ_１．０が６００ｐｐｍ、３００℃におけるλ_１．０が２５０ｐｐｍ程度であるから、本発明によって常温域から１５０℃以上の高温域にかけて、従来の磁歪材料を凌ぐ高い磁歪特性を得ることができる。

次に、本発明による磁歪材料の製造方法について説明する。
本発明による磁歪材料の製造方法の特徴は、原料Ａ〜原料Ｃと３つの原料を用い、かつ原料ＡにＣｏの含有を必須とする点である。以下、図４に示すフローチャートを参照しつつ説明する。

本発明の磁歪材料の製造方法は、式１（Ｔｂ_ｘＤｙ_１−ｘ）(Ｆｅ，Ｃｏ）_ｙ（ｘ及びｙは、０．３５＜ｘ≦０．５、１．７≦ｙ≦２）で表される原料Ａを用いる。ここで、原料Ａに含まれるＦｅは、Ｔｂ、Ｄｙと磁歪特性の高い（Ｔｂ、Ｄｙ）Ｆｅ_２金属間化合物を形成し、焼結後に専ら主相を形成する。本発明はこのＦｅの一部をＣｏで置換することを必須とする。Ｃｏは、前述したように、高温域での磁歪値低下の抑制に寄与する。また、Ｃｏは磁気異方性が大きいことから、原料Ａに含有させることにより、磁場中成形の際の原料Ａの配向を有利に導く。Ｆｅ及びＣｏは、焼結後の組成が式３となるような比率で含まれることになるが、Ｆｅ＋Ｃｏ＝１において、Ｃｏが０．１〜０．２９、さらに望ましくは０．１５〜０．２５の範囲とすればよい。
原料Ａは、その他に、Ｔｂ、Ｄｙと合金を形成する遷移金属を含んでいてもよい。遷移金属としては、具体的にはＭｎ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗを挙げることができる。原料ＡのＴｂの一部は、Ｄｙを除く希土類（Ｒ’）と置換してもよい。Ｒ’として、例えば、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｇｄ、Ｙ等を挙げることができる。

原料Ａにおいて、ｘ、ｙは、０．３５＜ｘ≦０．５、１．７≦ｙ≦２の範囲にある。ｘが小さいと磁歪材料となったときに、原料Ａが少ないことで、［１１１］軸方向の配向が困難になり、ｘが０．５を超えると、磁歪材料全体に対する原料Ａの比率が低下するために焼結後の［１１１］軸方向の配向度が低くなる。ｙが１．７未満では、原料Ｃの混合比率を高くしなければならず、磁歪材料全体に占める原料Ａの比率が小さくなり、焼結後の［１１１］軸方向の配向度が低くなってしまう。ｙが大きいと（Ｔｂ，Ｄｙ）Ｔ_３等のＦｅリッチの相が多くなり、このため、磁場中成形による配向度が低くなり、それにつれて焼結後の磁歪材料の配向度も低くなる。

また、本発明は、原料Ａの粒径（平均粒径）を１〜２００μｍの範囲にすることが望ましい。原料Ａは磁歪特性に影響するもので、焼結後に主相を構成する。原料Ａの粒径が小さい場合は、磁場を印加したときの粒子の回転が容易でなくなり、配向度の低下をもたらす。また、比表面積が大きくなるために、酸素量が増加する。酸素含有により形成された異相が主相の存在量を低下させることにより磁歪特性を低下させる。逆に原料Ａの粒径が大きくなると、一粒子中に複数の結晶が含まれることになり、配向度の向上を阻害する。また、高密度化の妨げにもなる。そこで、原料Ａの平均粒径は１〜２００μｍの範囲にすることが望ましい。より望ましい原料Ａの平均粒径は２〜１００μｍ、さらに望ましい原料Ａの平均粒径は５〜５０μｍである。なお、これらの平均粒径は、フィッシャー社製サブシーブサイザーによって測定される値である。

また、本発明の磁歪材料の製造方法は、式２：Ｄｙ_ｔＴ_１−ｔ（ＴはＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏの群から選択される少なくとも１種類の金属、ＤｙはＴｂとＨｏの双方又はいずれか一方を含むことがあり、ｔは０．３７≦ｔ≦１）で表され原料Ｂを用いる。原料Ｂは、焼結後に専ら粒界相を形成する。原料ＢのＴは、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏの群から選択される少なくとも１種類の金属で、 特に、ＴはＦｅ単独でもよい。このときに、Ｆｅの一部をＣｏ、Ｎｉで置換するものであってもよく、これにより原料Ｂは粉砕されやすくなり、焼結による焼結密度を高くすることができる。原料ＢのＤｙは、単独でもよいが、一部がＨｏと置換されていてもよい。ｔは、０．３７≦ｔ≦１の範囲にある。ＤｙとＴは共晶点を有するので、ｔがこの範囲以外の組成では、原料Ａと原料Ｃとの混合において、共晶組成であるＲ_２Ｔが少なくなり、焼結密度を高くすることが難しくなる。

原料Ｂは７０００〜２２０００ｐｐｍの範囲で水素を吸蔵させることが好ましい。原料Ｂは水素を吸蔵することにより脆化し、これを原料Ａ、原料Ｃと混合し、成形体を形成する時の圧力により混合した状態の内部で粉砕されて微細化する。したがって、原料Ａの間に入り込みやすくなり、焼結したときに緻密で密度の高い焼結体を得ることができる。原料Ｂに吸蔵させる水素の量が７０００ｐｐｍ未満では、水素の量が少なくて原料Ｂの内部歪みが小さく、成形時の割れが少なく、密度が低く、さらに開気孔も多くなる。さらに、長期間の使用により磁歪特性が低下する。また、水素量が２２０００ｐｐｍを超えると、原料Ｂの微細化が飽和し、これ以上吸蔵させる利益が少ない。

また、原料Ｂの粒径（平均粒径）は０．１〜１００μｍの範囲にすることが望ましい。原料Ｂは焼結後に主に粒界相を形成する。原料Ｂの粒径が小さい場合は、やはり酸素量が増加する。逆に原料Ｂの粒径が大きくなると焼結密度が高くなりにくくなる。そこで、原料Ｂの平均粒径は０．１〜１００μｍの範囲にすることが望ましい。より望ましい原料Ｂの平均粒径は０．２〜７０μｍ、さらに望ましい原料Ｂの平均粒径は５〜５０μｍである。

本発明の磁歪材料の製造方法は、Ｔを含む原料Ｃを用いる。Ｔは、上述したように、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉの群から選択させる少なくとも１種類の金属である。その他に、Ｔｂ、Ｄｙ等の希土類金属と合金を形成する遷移金属を含んでいてもよい。遷移金属としては、具体的にはＭｎ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗを挙げることができる。
また、本発明は、原料Ｃの粒径（平均粒径）を０．５〜１００μｍの範囲にすることが望ましい。原料Ｃの粒径が小さい場合は、やはり酸素量が増加する。逆に原料Ｃの粒径が大きくなると、焼結密度が高くなりにくくなる。そこで、原料Ｃの平均粒径は０．５〜１００μｍの範囲にすることが望ましい。より望ましい原料Ｃの平均粒径は０．５〜５０μｍ、さらに望ましい原料Ｃの平均粒径は０．５〜３０μｍである。

前記原料Ａと原料Ｂと原料Ｃとの混合の割合は、式３で表される磁歪材料になるように適宜決定することができる。具体的には、磁歪材料に対して、原料Ａは５０ｗｔ％以上で１００ｗｔ％未満、一層好ましくは６０ｗｔ％以上で９５ｗｔ％以下である。原料Ａが少ないと、磁場中成形で配向するものが少なく、焼結した磁歪材料の配向度が低くくなる。原料Ａが多いと、水素を含有した原料Ｂが少なくなるために、焼結密度が高くならず、又、開気孔も多くなるために長期間の使用により飽和磁歪常数が低下する。また、磁歪材料に対して、原料Ｂは４０ｗｔ％以下で、一層好ましくは５ｗｔ％以上で３０ｗｔ％以下がよい。原料Ｂが少ないと、焼結が進みにくく、緻密で密度の高い焼結体を得ることができない。原料Ｂが多いと、原料Ａが少なくなるため飽和磁歪定数が低下する。また、原料Ｃは、磁歪材料としたときのＴの範囲になるように、原料Ａ、Ｂの割合を考慮して、添加量を決定する。

これらの原料Ａ、Ｂ、Ｃは、図１に示すように、秤量してから混合し、粉砕処理される。粉砕処理では、湿式ボールミル、アトライタ、アトマイザー等の粉砕機から適宜選択することができる。特に、アトマイザーが好ましい。衝撃と剪断を同時にかけることができ、粉体の凝集を防ぎ、かつ生産性が高いからである。混合したものは、焼結前に所望の形状に成形するが、この成形を磁場中で行うことで、原料Ａ等を一定方向に揃えて、焼結後の磁歪材料を［１１１］軸方向に配向させる。印加する磁場は、２．４×１０^４Ａ／ｍ以上、好ましくは４．８×１０^４Ａ／ｍ以上がよい。磁場の方向は、圧力の方向に垂直でも、平行でもよい。成形圧力は、４．９×１０^４Ｐａ以上、好ましくは２．９×１０^５Ｐａ以上がよい。また、成形体の焼結条件は、適宜行うことができるが、１１００℃以上で、好ましくは１１５０〜１２５０℃で、１〜１０時間行うことがよい。焼結の雰囲気は、非酸化性雰囲気が良く、Ａｒガス等の不活性ガス又は真空中がよい。

以上のようにして製造された磁歪材料は、多結晶体であり、磁歪が最も大きくなる［１１１］軸方向に配向している。この磁歪材料の結晶粒の平均粒径は、１０μｍ以上である。結晶粒の平均粒径が小さいと結晶粒界が多くなり外部磁場による磁化率が低くなる。結晶粒の平均粒径の上限は特にないが、２００μｍ以上になると磁歪値はほとんど飽和するためにこれ以上大きくする必要がなく、また、焼結等の時間がかかりすぎ実用的ではない。

原料Ａとして、Ｔｂ_０．４Ｄｙ_０．６（Ｆｅ，Ｃｏ）_１．９５の組成となるようにＴｂ、Ｄｙ、Ｆｅを秤量し、Ａｒガス雰囲気中で溶解して原料合金を作製した。この合金に１１７０℃で２０時間保持するアニール処理を施し、合金作製時の各金属元素の濃度分布を一様にし、また、析出した異相を消滅させた。次に、図１に示すように、この原料合金をブラウンミルにて粉砕（粗粉砕）する。粗粉砕後、メッシュにて２ｍｍ以上の粗大粒子を除去した。粗大粒子除去後の粉末の平均粒径は５００μｍである。なお、平均粒径はサブシーブサイザー測定装置（フィッシャー社製）で測定した値である。

原料Ｂとして、Ｄｙ_２．０Ｆｅの組成になるようにＤｙ及びＦｅを秤量して、Ａｒガス雰囲気中で溶解して原料合金を作製した。この原料合金をブラウンミルにて粉砕して原料Ｂとする。次に原料Ｂに対して、水素ガス雰囲気中、１５０℃で１時間保持する水素吸蔵処理を行った。この処理により、原料Ｂの結晶格子中に水素原子が侵入し、又は水素化物になる。また、この処理により原料Ｂには多数の割れが発生する。その後、メッシュにて２ｍｍ以上の粗大粒子を除去した。粗大粒子除去後の粉末の平均粒径は５００μｍである。
原料Ｃとして、３００℃の水素ガス雰囲気中で酸素を除去する還元処理を１時間行った平均粒径８μｍのＦｅ粉末を用いた。

以上の原料Ａ〜原料Ｃを以下の組成になるように秤量、混合した。
Ｔｂ_０．３４Ｄｙ_０．６６（Ｆｅ_１−ｖＣｏ_ｖ）_１．9
ただし、ｖ＝０、０．０５、０．１、０．１５、０．２、０．２５、０．３、０．５

次いで、アトマイザー（東京アトマイザー製造（株）社製）を用いてＡｒガス雰囲気中で粉砕して平均粒径９μｍの微粉砕粉末を得た。次いで、微粉砕粉末を１２ｋＯｅの磁場中で８ｔｏｎ／ｃｍ^２の圧力で磁場中成形を行った。なお、成形は加圧方向に対して磁場垂直方向に印加する横磁場成形とした。得られた成形体を１２３５℃のＡｒガス雰囲気中において１２時間（安定３時間）焼結した。
得られた焼結体のキュリー温度、常温における磁歪値（λ_１．０）を測定した。その結果を表１及び図２、図３に示す。

表１及び図１に示すように、Ｃｏを添加することによりキュリー温度Ｔｃが高くなるが、ｘが０．２５を超えるとＣｏを添加しない場合とキュリー温度Ｔｃが同等以下になる。Ｃｏを添加することにより、キュリー温度Ｔｃを４００℃以上、さらには４１０℃以上とすることができる。また、以上の傾向は磁歪値λ_１．０についても同様であり、表１及び図２に示すように、Ｃｏを添加することにより磁歪値λ_１．０は大きくなるが、ｖが０．２５を超えるとＣｏを添加しない場合と磁歪値λ_１．０が同等になる。Ｃｏを添加することにより、磁歪値λ_１．０を１１８０ｐｐｍ以上、さらには１２００ｐｐｍ以上とすることができる。

図３に、ｖ＝０及びｖ＝０．２０の材料における、測定温度と磁歪値の関係を示している。図３に示すように、Ｃｏを含む磁歪材料の方が温度上昇に伴う磁歪値の低下が抑制されていることがわかる。例えば、２００℃以上の温度域において、Ｃｏを含む磁歪材料はＣｏを含まない磁歪材料に比べて１０％以上磁歪値λ_１．０が高いことがわかる。具体的には、ｖ＝０の場合には、２００℃におけるλ_１．０が６００ｐｐｍ、３００℃におけるλ_１．０が２５０ｐｐｍ程度なのに対して、ｖ＝０．２０の場合には、２００℃におけるλ_１．０が６５０ｐｐｍ以上、３００℃におけるλ_１．０が３５０ｐｐｍ以上という特性を得ることができる。このように、本発明によって常温域から１５０℃以上の高温域にかけて、従来の磁歪材料を凌ぐ高い磁歪特性を得ることができる。

Ｔｂ_０．３４Ｄｙ_０．６６（Ｆｅ_１−ｖＣｏ_ｖ）_１．9のｖの値とキュリー温度Ｔｃの関係を示すグラフである。 Ｔｂ_０．３４Ｄｙ_０．６６（Ｆｅ_１−ｖＣｏ_ｖ）_１．9のｖの値と磁歪値λ_１．０の関係を示すグラフである。 Ｔｂ_０．３４Ｄｙ_０．６６Ｆｅ_１．9及びＴｂ_０．３４Ｄｙ_０．６６（Ｆｅ_０．８Ｃｏ_０．２）_１．9の組成を有する磁歪材料における、測定温度と磁歪値λ_１．０の関係を示すグラフである。 本実施の形態における磁歪材料の製造方法の工程を示すフローチャートである。

Claims (5)

1. （Ｔｂ_ｕＤｙ_１−ｕ）（Ｆｅ_1-ｖＣｏ_ｖ）_ｗ（ｕ、ｖ、ｗは、０．２７≦ｕ＜０．５、０．０８≦ｖ≦０．２３、１．７≦ｗ≦２）で表される組成を有する焼結体からなることを特徴とする磁歪材料。
2. 前記ｖが、０．１５≦ｖ≦０．１９であることを特徴とする請求項１に記載の磁歪材料。
3. キュリー温度が４１０℃以上、２００℃におけるλ_１．０が６５０ｐｐｍ以上、３００℃におけるλ_１．０が３５０ｐｐｍ以上（λ_１．０は、１ｋＯｅの磁場を印加したときの、磁場印加方向と平行な方向の磁歪値）であることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁歪材料。
4. 式１：（Ｔｂ_ｘＤｙ_１−ｘ）(Ｆｅ，Ｃｏ）_ｙ（ｘ及びｙは、０．３５＜ｘ≦０．５、１．７≦ｙ≦２）で表される原料Ａと、
   式２：Ｄｙ_ｔＴ_１−ｔ（ＴはＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏの群から選択される少なくとも１種類の金属、ＤｙはＴｂとＨｏの双方又はいずれか一方を含むことがあり、ｔは０．３７≦ｔ≦１）で表される原料Ｂと、
   Ｔを含有する原料Ｃとを混合した後に、磁場中成形し、しかる後に焼結して、
   式３：（Ｔｂ_ＵＤｙ_１−ｕ）（Ｆｅ_1-ｖＣｏ_ｖ）_ｗ（ｕ、ｖ、ｗは、０．２７≦ｕ＜０．５、０．０８≦ｖ≦０．２３、１．７≦ｗ≦２）で表される磁歪材料を得ることを特徴とする磁歪材料の製造方法。
5. 前記式１におけるＦｅ、Ｃｏは、Ｆｅ＋Ｃｏ＝１、かつ０．１≦Ｃｏ≦０．２９を満足することを特徴とする請求項４に記載の磁歪材料の製造方法。

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