JP2005209979A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに配線抵抗の異なる下層配線1と上層配線2とがヴィア3,4を介して接続される多層配線構造を有するとともに、前記ヴィア3,4が前記下層配線1および前記上層配線2における電流方向の上流側と下流側に複数配置されている半導体装置において、上流側ヴィア3を経由する電流に作用する電気抵抗と下流側ヴィア4を経由する電流に作用する電気抵抗とが均等化するように、各配線1,2または各ヴィア3,4を構成する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明に係る半導体装置の第1実施形態を示す説明図である。図例の多層配線構造においても、図7を用いて説明した多層配線構造と同様に、下層配線1と上層配線2とが複数のヴィア3,4を介して接続されているが、下層配線1よりも上層配線2のほうが配線高さ(厚さ)が大きいため、これにより互いの配線抵抗が異なっており、上層配線2の配線抵抗のほうが下層配線1の配線抵抗よりも低抵抗となっている。さらに、複数のヴィア3,4が、下層配線1および上層配線2における電流方向の上流側と下流側に分かれて配置されている。なお、ここでは、上層配線2から下層配線1へ(図中左側から右側へ)電流が流れる場合を例に挙げる。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。ただし、ここでは、上述した第1の実施の形態との相違点についてのみ説明する。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。ただし、ここでも、上述した第1または第2の実施の形態との相違点についてのみ説明する。
Claims (5)
- 互いに配線抵抗の異なる下層配線と上層配線とがヴィアを介して接続される多層配線構造を有するとともに、前記ヴィアが前記下層配線および前記上層配線における電流方向の上流側と下流側に複数配置されている半導体装置であって、
前記上流側のヴィアを経由する電流に作用する電気抵抗と、前記下流側のヴィアを経由する電流に作用する電気抵抗とが、前記下層配線と前記上層配線との配線抵抗の相違を相殺するように設定されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記上流側のヴィアを経由する電流に作用する電気抵抗と前記下流側のヴィアを経由する電流に作用する電気抵抗とが均等化されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記上流側および前記下流側の各ヴィアの形状の相違と、前記下層配線および前記上層配線の形状を相違との少なくとも一方により、前記各ヴィアを経由する電流に作用する電気抵抗に対する設定が行われている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記下層配線または前記上層配線のいずれか一方に局所的な配線抵抗部を設けることにより、前記各ヴィアを経由する電流に作用する電気抵抗に対する設定が行われている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記上流側および前記下流側の各ヴィアの形成材料の相違により、前記各ヴィアを経由する電流に作用する電気抵抗に対する設定が行われている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
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