JP2005209929A - Manufacturing method of laminated electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、誘電体層と導体パターンを積層して積層体内にコイルが形成され、コイルの巻軸部分に磁性体のコアが形成された積層型電子部品の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method of manufacturing a laminated electronic component in which a dielectric layer and a conductor pattern are laminated to form a coil in the laminated body, and a magnetic core is formed on the winding shaft portion of the coil.
積層型電子部品としては、積層チップ型のインダクタ、トランス、コモンモードチョークコイル等の単体部品や、LCフィルタ等の複合部品や、DC−DCコンバータ等の他の電子部品を搭載するのに用いられる基板等が知られている。
従来の積層型電子部品に、例えば、誘電体層とコイル用導体パターンを積層し、誘電体層間のコイル用導体パターンを接続して積層体内にコイルが形成されると共に、積層体内のコイルの巻軸部分に磁性体のコアが形成されたものがある(例えば、特許文献1、2を参照)。この積層体の上下には、磁性体層が積層されている。
For example, a dielectric layer and a coil conductor pattern are laminated on a conventional multilayer electronic component, and a coil conductor pattern between dielectric layers is connected to form a coil in the laminate. There is one in which a magnetic core is formed on the shaft portion (see, for example,
この様な積層型電子部品は、例えば、図5(A)に示す様にベースフィルムF上に形成された誘電体シート51のコイルの巻軸部分に貫通孔Sを形成し、図5(B)に示す様に貫通孔内に磁性体52を形成し、図5(C)に示す様にこの誘電体シートの表面にコイル用導体パターン53を印刷した後、図5(D)に示す様にこの誘電体シート51と磁性体シート55を所定の順序で所定の枚数積層して積層体内にコイルを形成することにより製造されている(特許文献1を参照)。
また、この様な積層型電子部品では、図6(A)に示す様にコイル用導体パターン63が印刷された誘電体シート61と磁性体シート65を積層して積層体を形成すると共に、積層体内にコイルを形成し、この積層体のコイルの巻軸部分を打ち抜いて図6(B)に示す様に積層体に貫通孔Sを形成し、図6(C)に示す様にこの積層体の貫通孔内に磁性体62を形成することにより製造することも行われている(特許文献2を参照)。
In such a multilayer electronic component, for example, as shown in FIG. 5 (A), a through-hole S is formed in the winding axis portion of the coil of the
In such a multilayer electronic component, as shown in FIG. 6A, a
図5の様に製造した従来の積層型電子部品は、コイルの巻軸部分に磁性体が形成された誘電体シートを積層しているので、誘電体シートに貫通孔を加工する際の加工バラツキや、コイルの巻軸部分に磁性体を配置した誘電体シートの積層ずれ等によりコイルの巻軸部分に位置する磁性体のコアの外壁に凹凸が発生しやすい。コアの外壁に凹凸が発生した場合、磁束密度が高くなるコアの外壁近傍の磁束が通過しにくくなり、十分な磁束通過面積を確保できず、特性が劣化するという問題があった。また、この積層型電子部品は、誘電体シートに形成された磁性体が複数層積み重なってコアが形成されるので、コアを構成する磁性体が層間で剥離しやすく、コアの横断面方向にクラックが入るという問題があった。 Since the conventional multilayer electronic component manufactured as shown in FIG. 5 has a dielectric sheet having a magnetic material formed on the winding axis portion of the coil, the variation in processing when the through hole is processed in the dielectric sheet. In addition, unevenness is likely to occur on the outer wall of the magnetic core located at the coil winding portion due to the laminating deviation of the dielectric sheet in which the magnetic material is disposed on the coil winding portion. When unevenness occurs on the outer wall of the core, there is a problem that the magnetic flux in the vicinity of the outer wall of the core, where the magnetic flux density is high, is difficult to pass, and a sufficient magnetic flux passage area cannot be secured, resulting in deterioration of characteristics. In addition, since this multilayer electronic component has a core formed by stacking multiple layers of magnetic bodies formed on a dielectric sheet, the magnetic bodies constituting the core easily peel off between the layers, and cracks occur in the cross-sectional direction of the core. There was a problem of entering.
図6の様に製造した従来の積層型電子部品では、前述の様な問題を解決することができる。近年、この種の積層型電子部品は、小型化が進んでおり、例えば、1005サイズの場合、貫通孔間の横方向の間隔が1.176mm、縦方向の間隔が0.588mmと貫通孔間の間隔も狭くなる傾向にある。この様な状況の中で、図6の様に積層体のコイルの巻軸部分を打ち抜いた場合、積層体を打ち抜く際のパンチングピンの貫入圧によって積層体が大きく変形するという問題があった。 The conventional multilayer electronic component manufactured as shown in FIG. 6 can solve the above-described problems. In recent years, this type of multilayer electronic component has been miniaturized. For example, in the case of 1005 size, the horizontal interval between the through holes is 1.176 mm, and the vertical interval is 0.588 mm. There is also a tendency that the interval of becomes narrow. In such a situation, when the winding axis portion of the coil of the laminated body is punched as shown in FIG. 6, there is a problem that the laminated body is greatly deformed by the penetration pressure of the punching pins when the laminated body is punched.
本発明は、磁性体のコアの外壁に凹凸が形成されたり、コアを構成する磁性体が層間で剥離してコアの横断面にクラックが入ったりすることがなく、さらに積層体の変形を抑制することができる積層型電子部品の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention does not form irregularities on the outer wall of the core of the magnetic body, or the magnetic body constituting the core is peeled off between the layers and the cross section of the core does not crack, further suppressing deformation of the laminate. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a multilayer electronic component that can be performed.
本発明は、誘電体層とコイル用導体パターンを積層して積層体内にコイルが形成され、コイルの巻軸部分に磁性体のコアが形成された積層型電子部品の製造方法において、コイルの巻軸部分に凹みが形成された誘電体層とコイル用導体パターンを積層して積層体を形成した後、積層体のコイルの巻軸部分を打ち抜いて積層体に貫通孔を形成し、貫通孔内に磁性体のコアが形成される。誘電体層としては、コイルの巻軸部分に凹みが形成されたセラミックグリーンシートが用いられ、セラミックグリーンシートとコイル用導体パターンを積層して積層体を形成した後、積層体のコイルの巻軸部分を打ち抜いて積層体に貫通孔を形成し、貫通孔内に磁性体のコアが形成される。 The present invention relates to a method of manufacturing a laminated electronic component in which a dielectric layer and a coil conductor pattern are laminated to form a coil in the laminate, and a magnetic core is formed on the winding shaft portion of the coil. After laminating a dielectric layer having a dent in the shaft portion and a coil conductor pattern to form a laminate, the coil winding shaft portion of the laminate is punched to form a through hole in the laminate. A magnetic core is formed. As the dielectric layer, a ceramic green sheet in which a recess is formed in the winding axis portion of the coil is used. After the ceramic green sheet and the coil conductor pattern are laminated to form a laminated body, the coil winding axis of the laminated body is formed. A part is punched out to form a through hole in the laminate, and a magnetic core is formed in the through hole.
また、本発明は、誘電体層とコイル用導体パターンを積層して積層体内にコイルが形成され、コイルの巻軸部分に磁性体のコアが形成された積層型電子部品の製造方法において、ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面のコイルの巻軸部分にレーザを照射してセラミックグリーンシートに凹みを形成する第1の工程、セラミックグリーンシートを下層の誘電体層上に積層、圧着後、ベースフィルムを剥離する第2の工程、セラミックグリーンシート表面にコイル用導体パターンを形成する第3の工程、第1の工程乃至第3の工程を繰り返して積層体を形成した後、積層体のコイルの巻軸部分を打ち抜いて積層体に貫通孔を形成する第4の工程及び、貫通孔内に磁性体のコアが形成される第5の工程を備える。
さらに、本発明は、誘電体層とコイル用導体パターンを積層して積層体内にコイルが形成され、コイルの巻軸部分に磁性体のコアが形成された積層型電子部品の製造方法において、ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートのコイルの巻軸部分にベースフィルム面側からレーザを照射してセラミックグリーンシートに凹みを形成する第1の工程、セラミックグリーンシート表面にコイル用導体パターンを形成する第2の工程、セラミックグリーンシートを積層して積層体を形成した後、積層体のコイルの巻軸部分を打ち抜いて積層体に貫通孔を形成する第3の工程及び、貫通孔内にコアが形成される第4の工程を備える。
The present invention also relates to a method of manufacturing a laminated electronic component in which a dielectric layer and a coil conductor pattern are laminated to form a coil in the laminated body, and a magnetic core is formed on the winding shaft portion of the coil. The first step of irradiating laser to the coil winding part on the surface of the ceramic green sheet formed on the film to form a dent in the ceramic green sheet. Laminating the ceramic green sheet on the lower dielectric layer and pressing After the second step of peeling the base film, the third step of forming the coil conductor pattern on the surface of the ceramic green sheet, the first step to the third step are repeated to form the laminate, A fourth step of punching out the winding axis portion of the coil and forming a through hole in the laminate, and a fifth step of forming a magnetic core in the through hole.
Furthermore, the present invention provides a method for manufacturing a laminated electronic component in which a dielectric layer and a conductor pattern for a coil are laminated to form a coil in the laminated body, and a magnetic core is formed on a winding shaft portion of the coil. The first step of forming a dent in the ceramic green sheet by irradiating the winding portion of the coil of the ceramic green sheet formed on the film with a laser from the base film surface side, and forming a conductor pattern for the coil on the surface of the ceramic green sheet A second step of laminating ceramic green sheets to form a laminated body, a third step of punching out a winding axis portion of a coil of the laminated body to form a through hole in the laminated body, and a core in the through hole 4 is formed.
本発明の積層型電子部品の製造方法は、コイルの巻軸部分に凹みが形成された誘電体層とコイル用導体パターンを積層して積層体を形成した後、積層体のコイルの巻軸部分を打ち抜いて積層体に貫通孔を形成し、貫通孔内に磁性体のコアが形成されるので、コアの外壁に凹凸が形成されたり、コアを構成する磁性体が層間で剥離してコアの横断面にクラックが入ったりすることがなく、さらに積層体の変形を抑制することができる。 In the method for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention, a dielectric layer in which a recess is formed in a winding axis portion of a coil and a conductor pattern for the coil are laminated to form a laminated body, and then the winding axis portion of the coil of the laminated body Are formed in the laminated body, and a magnetic core is formed in the through-hole. Therefore, irregularities are formed on the outer wall of the core, or the magnetic body constituting the core is peeled off between the layers. There is no crack in the cross section, and deformation of the laminate can be further suppressed.
本発明の積層型電子部品は、まず、ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートに凹みが形成される。この凹みは、ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面のコイルの巻軸部分にレーザを照射して形成されたり、ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートのベースフィルム側からセラミックグリーンシートのコイルの巻軸部分にレーザを照射して形成される。
ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面のコイルの巻軸部分にレーザを照射してセラミックグリーンシートに凹みを形成した場合、このセラミックグリーンシートを下層の誘電体層上に積層、圧着後、ベースフィルムを剥離してセラミックグリーンシート表面にコイル用導体パターンを形成する。そして、セラミックグリーンシートへの凹み形成、セラミックグリーンシートの下層誘電体層上への積層、圧着、ベースフィルムの剥離、セラミックグリーンシート表面へのコイル用導体パターン形成を繰り返して積層体が形成される。
また、ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートのベースフィルム側からセラミックグリーンシートのコイルの巻軸部分にレーザを照射してセラミックグリーンシートに凹みを形成した場合、このセラミックグリーンシートの表面にコイル用導体パターンを形成し、このセラミックグリーンシートを所定の順序で所定枚数積層して積層体が形成される。
この様に形成された積層体は、セラミックグリーンシートのコイルの巻軸部分が他の部分よりも薄くなっているので、コイルの巻軸部分にセラミックグリーンシートの積層方向に配列された複数の隙間が形成されることになる。この積層体は、コイルの巻軸部分を打ち抜いて積層体のコイルの巻軸部分に貫通孔が形成される。この貫通孔内には、磁性体のコアが形成される。
従って、本発明の積層型電子部品は、コイルの巻軸部分に形成された複数の隙間によって、積層、圧着時にこの部分に圧力が加わってコイルの巻軸部分が強固に一体化されるのを防止することができ、それによって積層体のコイルの巻軸部分に貫通孔を形成する際のパンチングピンの貫入抵抗を小さくすることができる。また、本発明の積層型電子部品は、積層体のコイルの巻軸部分を打ち抜く際に、積層体の上面にコイルの巻軸部分に貫通孔を有するベースフィルを付着した状態で打ち抜いた場合、パンチングピンの貫入抵抗を増加させることなく、積層体の変形を抑制することができる。
In the multilayer electronic component of the present invention, first, a recess is formed in the ceramic green sheet formed on the base film. This dent is formed by irradiating a coil on the surface of the coil of the ceramic green sheet formed on the base film with a laser, or from the base film side of the ceramic green sheet formed on the base film. It is formed by irradiating a laser on a winding shaft portion of the coil.
When a recess is formed in the ceramic green sheet by irradiating the coil winding portion of the surface of the ceramic green sheet formed on the base film with a laser, this ceramic green sheet is laminated on the lower dielectric layer, and after crimping Then, the base film is peeled off to form a coil conductor pattern on the surface of the ceramic green sheet. Then, a laminate is formed by repeatedly forming a recess on the ceramic green sheet, laminating the ceramic green sheet on the lower dielectric layer, pressing, peeling the base film, and forming a coil conductor pattern on the surface of the ceramic green sheet. .
In addition, when a dent is formed in the ceramic green sheet by irradiating the winding part of the coil of the ceramic green sheet from the base film side of the ceramic green sheet formed on the base film, a coil is formed on the surface of the ceramic green sheet. A conductor pattern is formed, and a predetermined number of these ceramic green sheets are stacked in a predetermined order to form a laminate.
In the laminated body formed in this way, the winding portion of the coil of the ceramic green sheet is thinner than the other portions. Therefore, a plurality of gaps arranged in the stacking direction of the ceramic green sheet on the winding portion of the coil Will be formed. In this laminated body, the winding shaft portion of the coil is punched, and a through hole is formed in the winding shaft portion of the coil of the laminated body. A magnetic core is formed in the through hole.
Therefore, in the multilayer electronic component of the present invention, due to the plurality of gaps formed in the coil winding part, pressure is applied to this part during lamination and crimping, and the coil winding part is firmly integrated. Accordingly, the penetration resistance of the punching pin when the through hole is formed in the winding axis portion of the coil of the laminated body can be reduced. Further, when the laminated electronic component of the present invention is punched out in the state where the coil winding shaft portion of the laminate is punched in a state where a base fill having a through hole is attached to the coil winding shaft portion on the upper surface of the laminate, The deformation of the laminate can be suppressed without increasing the penetration resistance of the punching pin.
以下、本発明の積層型電子部品の製造方法を図1乃至図4を参照して説明する。
図1と図2は本発明の積層型電子部品の製造方法の第1の実施例を示す断面図である。
まず、図1(A)に示す様に、ベースフィルムFの上に誘電体をペースト状にしたものをドクターブレード法等によって塗布してセラミックグリーンシート11が形成され、このセラミックグリーンシート11に凹みHが形成される。セラミックグリーンシート11は、厚みが例えば40μmになるように形成される。この凹みHは、セラミックグリーンシート11の表面側からコイルの巻軸部分にレーザを照射してセラミックグリーンシートを加工することにより形成される。この時、凹みHの深さは、セラミックグリーンシート11の厚みの30%〜70%、例えば、50%程度になるように形成される。なお、14Aは後述の誘電体層間のコイル用導体パターンを接続するための導体が内部に形成される貫通孔を示しており、レーザによって形成される。
次に、図1(B)に示す様に、下層の誘電体層上に、このベースフィルムFとセラミックグリーンシート11をセラミッグリーンシート11が下側に位置するように積層され、下層の誘電体層とセラミックグリーンシートが圧着される。図1(B)の場合、積層テーブル10A上にベースフィルムBを基準孔とテーブルの基準ピンを嵌め合わせて保持し、このベースフィルムB上に凹みHを有するセラミックグリーンシート11A、11Bを凹みHがベースフィルムB側を向くように積層されて下層の誘電体層が形成されている。セラミックグリーンシート11Bの表面には、コイル用導体パターン13が印刷されている。このセラミックグリーンシート11B上には、ベースフィルムF付きのセラミックグリーンシート11を凹みHがセラミックグリーンシート11B側を向いた状態で、貫通孔14Aがセラミックグリーンシート11B表面のコイル用導体パターン13に嵌るように積層される。このセラミックグリーンシート11は、加圧プレス10BによってベースフィルムF上から加圧してセラミックグリーンシート11Bに圧着される。
さらに、このセラミックグリーンシート11に付着したベースフィルムFを剥離した後、図1(C)に示す様に、セラミックグリーンシート11の貫通孔内に導体14が充填されると共に、セラミックグリーンシート11の表面にコイル用導体パターン13が印刷される。
続いて、図1(A)〜図1(C)の工程を必要回数繰り返した後、図1(D)に示す様に、下層の誘電体層11G上に、ベースフィルムF付きのセラミックグリーンシート11Hが積層され、下層の誘電体層11Gとセラミックグリーンシート11Hが圧着される。このベースフィルムF付きのセラミックグリーンシート11Hは、コイルの巻軸部分にベースフィルムB側からレーザを照射してベースフィルムFを貫通してセラミックグリーンシート11Hまで至る凹みHが形成される。この時、セラミックグリーンシート11Hに形成される凹みの深さは、セラミックグリーンシート11Hの厚みの30%〜70%、例えば、50%程度になるように形成される。
さらに続いて、図1(E)に示す様に、これら積層体は、ベースフィルムB、Fが付着したままの状態でパンチャーの下型10C、10Dと上型(すなわち、パンチングピン)10E間に配置されて、コイルの巻軸部分が打ち抜かれ、図2(A)に示す様に積層体のコイルの巻軸部分に貫通孔Sが形成される。なお、図2(A)では、ベースフィルムBも打ち抜かれている。
次に、このコイルの巻軸部分に貫通孔が形成された積層体は、図2(B)に示す様に、ベースフィルムB、Fが付着したままの状態で、貫通孔のベースフィルムF側にペースト充填機の圧入口10Fを密着させて貫通孔内に磁性体ペーストPが充填される。この充填された磁性体ペーストを充分に乾燥させた後、ベースフィルムB、Fが積層体から剥離される。この貫通孔内に磁性体ペーストが充填された積層体は、コイル巻軸部分に磁性体のコアが形成される。
さらに、この積層体は、下面にベースフィルムF2と磁性体のセラミックグリーンシート15A、15Bが、上面に磁性体のセラミックグリーンシート15C、15DとベースフィルムF2が積層され、これら積層体が図2(C)に示す様に、金型内に配置されて、金型によって加圧してこれら積層体が一体化される。この金型は、金枠10G、10H、上板10I、下板10Jを備え、上板10Iと下板10Jによって積層体に圧力が加えられる。
そして、この様に一体化された積層体は、切断され、脱脂、焼成される。焼成された積層体の側面には、外部電極が形成される。また、この様に形成された積層型電子部品の積層体は、磁性体のセラミックグリーンシート15A、15B、15C、15Dによって積層体の上下面に磁性体層が形成されると共に、コイルの巻軸部分にこの上下の磁性体層に連なる磁性体のコア12が形成される。
Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer electronic component of the present invention will be described with reference to FIGS.
1 and 2 are cross-sectional views showing a first embodiment of a method for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention.
First, as shown in FIG. 1A, a ceramic
Next, as shown in FIG. 1B, the base film F and the ceramic
Further, after the base film F adhered to the ceramic
Subsequently, after the steps of FIGS. 1A to 1C are repeated as many times as necessary, as shown in FIG. 1D, the ceramic green sheet with the base film F on the
Subsequently, as shown in FIG. 1 (E), these laminates are placed between the lower molds 10C and 10D of the puncher and the upper mold (ie punching pin) 10E with the base films B and F attached. As shown in FIG. 2 (A), the coil winding shaft portion is punched out, and a through hole S is formed in the coil winding shaft portion of the laminate. In FIG. 2A, the base film B is also punched out.
Next, as shown in FIG. 2 (B), the laminated body in which the through hole is formed in the winding shaft portion of this coil, with the base films B and F still attached, The
Furthermore, this laminated body has a base film F2 and magnetic ceramic green sheets 15A and 15B on the lower surface, and magnetic ceramic
The laminated body thus integrated is cut, degreased and fired. External electrodes are formed on the side surfaces of the fired laminate. The multilayer electronic component laminate formed in this way has magnetic layers formed on the upper and lower surfaces of the laminate by magnetic ceramic
この様に形成された積層型電子部品は、セラミックグリーンシートに形成される凹みの深さをセラミックグリーンシートの厚みの30〜70%にした場合、コイルの巻軸部分に貫通孔を形成する際のパンチングピンの貫入抵抗をより小さくできるので、積層体の変形を小さくすることができる。 In the multilayer electronic component formed in this way, when the depth of the recess formed in the ceramic green sheet is set to 30 to 70% of the thickness of the ceramic green sheet, the through hole is formed in the winding portion of the coil. Since the penetration resistance of the punching pin can be further reduced, the deformation of the laminate can be reduced.
図3と図4は本発明の積層型電子部品の製造方法の第2の実施例を示す断面図である。
まず、図3(A)に示す様に、ベースフィルムFの上に誘電体材料を用いて形成されたセラミックグリーンシート31に凹みHが形成される。セラミックグリーンシート31は、厚みが例えば40μmになるように形成される。この凹みHは、ベースフィルムF側からセラミックグリーンシート31のコイルの巻軸部分にレーザを照射してセラミックグリーンシートを加工することにより形成される。この時、セラミックグリーンシート31に形成される凹みの深さは、セラミックグリーンシート31の厚みの30%〜70%、例えば、50%程度になるように形成される。
次に、図3(B)に示す様に、このセラミックグリーンシート31の表面にコイル用導体パターン33が印刷される。なお、34は、誘電体層間のコイル用導体パターンを接続するための導体であり、セラミックグリーンシート31にレーザによって形成された貫通孔内に導体を充填して形成される。この導体が充填される貫通孔は、必要に応じて形成されればよく、セラミックグリーンシート31のみを貫通する様に形成したり、ベースフィルムFも貫通する様に形成してもよい。
さらに、図3(C)に示す様に、積層テーブル30A上にベースフィルムBを基準孔とテーブルの基準ピンを嵌め合わせて保持し、このベースフィルムB上に、コイル用導体パターン33が形成されたセラミックグリーンシート31A〜31Fを所定の順序で所定枚数積層し、最上層にベースフィルムF付きのセラミックグリーンシート31Gが積層される。この時、セラミックグリーンシート31B〜31Fは、下層の誘電体層上に1層ごとに積層、圧着、ベースフィルムの剥離を繰り返して積層されてもよいし、下層の誘電体層上に予めベースフィルムが剥離されたセラミックグリーンシートを1層ごとに積層、圧着してもよい。また、予めベースフィルムが剥離されたセラミックグリーンシート31A〜31Fを積層し、最上層にベースフィルムF付きのセラミックグリーンシート31Gを積層した後、これらを圧着してもよい。
続いて、図3(D)に示す様に、これら積層体は、ベースフィルムB、Fが付着したままの状態でパンチャーでコイルの巻軸部分が打ち抜かれ、図4(A)に示す様に積層体のコイルの巻軸部分に貫通孔Sが形成される。なお、30C、30Dはパンチャーの下型、30Eはパンチャーの上型(すなわち、パンチングピン)を示している。
次に、この積層体は、図4(B)に示す様に、ベースフィルムB、Fが付着したままの状態で、貫通孔のベースフィルムF側にペースト充填機の圧入口30Fを密着させて貫通孔内に磁性体ペーストPを充填し、磁性体ペーストを充分に乾燥させた後、ベースフィルムB、Fが積層体から剥離される。この貫通孔内に磁性体ペーストが充填された積層体は、コイル巻軸部分に磁性体のコアが形成される。
さらに、この積層体は、下面にベースフィルムF3と磁性体のセラミックグリーンシート35A、35Bが、上面に磁性体のセラミックグリーンシート35C、35DとベースフィルムF3が積層され、これら積層体が図4(C)に示す様に、金枠30G、30H、上板30I、下板30Jを備えた金型内に配置され、金型によって加圧してこれら積層体が一体化される。
そして、この様に一体化された積層体は、切断され、脱脂、焼成される。焼成された積層体の側面には、外部電極が形成される。また、この積層体は、磁性体のセラミックグリーンシート35A、35B、35C、35Dによって積層体の上下面に磁性体層が形成されると共に、コイルの巻軸部分にこの上下の磁性体層に連なる磁性体のコア32が形成される。
3 and 4 are cross-sectional views showing a second embodiment of the method for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention.
First, as shown in FIG. 3A, a dent H is formed in a ceramic
Next, as shown in FIG. 3B, a
Further, as shown in FIG. 3C, the base film B is held on the laminated table 30A by fitting the reference hole and the reference pin of the table, and the
Subsequently, as shown in FIG. 3 (D), in these laminates, the coil winding shaft portion is punched with a puncher while the base films B and F are still attached, as shown in FIG. 4 (A). A through hole S is formed in the winding shaft portion of the coil of the laminate. In addition, 30C and 30D show the lower mold | type of a puncher, and 30E has shown the upper mold | type (namely, punching pin) of a puncher.
Next, as shown in FIG. 4 (B), the laminated body has the
Further, this laminated body has a base film F3 and magnetic ceramic
The laminated body thus integrated is cut, degreased and fired. External electrodes are formed on the side surfaces of the fired laminate. Further, in this laminate, magnetic layers are formed on the upper and lower surfaces of the laminate by magnetic ceramic
以上、本発明の積層型電子部品の製造方法の実施例を述べたが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。例えば、実施例では単体部品の場合を説明したが、積層体内にコンデンサを内蔵させてLCフィルタ等の回路を形成したものや、DC−DCコンバータ等の他の電子部品を搭載するのに用いられる基板を構成するものにも適用することができる。また、実施例では積層体の上下に磁性体層を形成したものを説明したが、積層体の上下に磁性体層を形成しないものにも適用することができる。さらに、セラミックグリーンシートの凹みは、別の手段で形成されてもよい。
また、第1の実施例において、積層体のコイルの巻軸部分に貫通孔を形成する前に、積層体の上面にコイルの巻軸部分に貫通孔を有するベースフィルムが付着した状態で、積層体を金枠、上板、下板を備えた金型内に入れてこれらの積層体を加圧、一体化してもよい。さらに、第1の実施例において、図1(A)〜図1(C)の工程を必要回数繰り返して積層体を形成した後、この積層体の上下に、ベースフィルム上に形成された磁性体のセラミックグリーンシートにベースフィルム側からレーザを照射して凹みが形成されたベースフィルム付き磁性体のセラミックグリーンシートを積層し、これらの積層体を金型内に入れて加圧、一体化し、積層体にベースフィルムが付着した状態で積層体のコイルの巻軸部分を打ち抜いて積層体に貫通孔を形成してもよい。またさらに、第2の実施例において、積層体は、誘電体のセラミックグリーンシート31A〜31Fを所定の順序で積層すると共に、上下に、ベースフィルム上に形成された磁性体のセラミックグリーンシートにベースフィルム側からレーザを照射して凹みが形成されたベースフィルム付き磁性体のセラミックグリーンシートを積層し、これらの積層体を金型内に入れて加圧、一体化し、積層体にベースフィルムが付着した状態で積層体のコイルの巻軸部分を打ち抜いて積層体に貫通孔を形成してもよい。
As mentioned above, although the Example of the manufacturing method of the multilayer electronic component of this invention was described, this invention is not limited to these Examples. For example, although the case of a single component has been described in the embodiment, it is used for mounting a circuit in which a capacitor is built in a laminated body to form a circuit such as an LC filter, or other electronic components such as a DC-DC converter. The present invention can also be applied to what constitutes a substrate. In the embodiments, the magnetic material layers formed on the top and bottom of the laminated body have been described. However, the present invention can also be applied to the case where the magnetic material layers are not formed on the top and bottom of the laminated body. Furthermore, the recess of the ceramic green sheet may be formed by another means.
Further, in the first embodiment, before the through hole is formed in the winding portion of the coil of the laminate, the base film having the through hole in the winding portion of the coil is attached to the upper surface of the laminate. The laminated body may be pressed and integrated by putting the body in a mold having a metal frame, an upper plate, and a lower plate. Furthermore, in the first embodiment, after the steps of FIGS. 1A to 1C are repeated as many times as necessary to form a laminate, the magnetic material formed on the base film above and below the laminate. A ceramic green sheet of magnetic material with a base film with a dent formed by irradiating laser from the base film side of the ceramic green sheet is laminated, and these laminates are placed in a mold and pressed, integrated, and laminated A through-hole may be formed in the laminate by punching out the winding portion of the coil of the laminate with the base film attached to the body. Furthermore, in the second embodiment, the laminated body is formed by laminating dielectric ceramic
11 セラミックグリーンシート
F ベースフィルム
11 Ceramic Green Sheet F Base film
Claims (11)
該コイルの巻軸部分に凹みが形成された誘電体層と該コイル用導体パターンを積層して積層体を形成した後、該積層体の該コイルの巻軸部分を打ち抜いて該積層体に貫通孔を形成し、該貫通孔内に磁性体のコアが形成されることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 In a method for manufacturing a laminated electronic component in which a dielectric layer and a coil conductor pattern are laminated to form a coil in the laminated body, and a magnetic core is formed on a winding shaft portion of the coil.
After forming a laminated body by laminating a dielectric layer having a dent formed on the winding axis portion of the coil and the conductor pattern for the coil, punching out the winding axis portion of the coil of the laminated body and penetrating the laminated body A method of manufacturing a multilayer electronic component, wherein a hole is formed and a magnetic core is formed in the through hole.
該誘電体層として、該コイルの巻軸部分に凹みが形成されたセラミックグリーンシートが用いられ、該セラミックグリーンシートと該コイル用導体パターンを積層して積層体を形成した後、該積層体の該コイルの巻軸部分を打ち抜いて該積層体に貫通孔を形成し、該貫通孔内に磁性体のコアが形成されることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 In a method for manufacturing a laminated electronic component in which a dielectric layer and a coil conductor pattern are laminated to form a coil in the laminated body, and a magnetic core is formed on a winding shaft portion of the coil.
As the dielectric layer, a ceramic green sheet in which a dent is formed in the winding axis portion of the coil is used. After the ceramic green sheet and the coil conductor pattern are laminated to form a laminated body, A method of manufacturing a multilayer electronic component, comprising: punching a winding shaft portion of the coil to form a through hole in the laminated body, and forming a magnetic core in the through hole.
ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面の該コイルの巻軸部分にレーザを照射して該セラミックグリーンシートに凹みを形成する第1の工程、該セラミックグリーンシートを下層の誘電体層上に積層、圧着後、該ベースフィルムを剥離する第2の工程、該セラミックグリーンシート表面に該コイル用導体パターンを形成する第3の工程、該第1の工程乃至該第3の工程を繰り返して積層体を形成した後、該積層体の該コイルの巻軸部分を打ち抜いて該積層体に貫通孔を形成する第4の工程及び、該貫通孔内に磁性体のコアが形成される第5の工程を備えることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 In a method for manufacturing a laminated electronic component in which a dielectric layer and a coil conductor pattern are laminated to form a coil in the laminated body, and a magnetic core is formed on a winding shaft portion of the coil.
A first step of irradiating the winding portion of the coil on the surface of the ceramic green sheet formed on the base film with a laser to form a recess in the ceramic green sheet; and the ceramic green sheet on the lower dielectric layer After the lamination and pressure bonding, the second step of peeling the base film, the third step of forming the coil conductor pattern on the surface of the ceramic green sheet, the first step to the third step are repeated. After forming the laminated body, a fourth step of punching out the winding axis portion of the coil of the laminated body to form a through hole in the laminated body, and a fifth step in which a magnetic core is formed in the through hole. A method of manufacturing a multilayer electronic component comprising the steps of:
ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの該コイルの巻軸部分にベースフィルム面側からレーザを照射して該セラミックグリーンシートに凹みを形成する第1の工程、該セラミックグリーンシート表面に該コイル用導体パターンを形成する第2の工程、該セラミックグリーンシートを積層して積層体を形成した後、該積層体の該コイルの巻軸部分を打ち抜いて該積層体に貫通孔を形成する第3の工程及び、該貫通孔内に磁性体のコアが形成される第4の工程を備えることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 In a method for manufacturing a laminated electronic component in which a dielectric layer and a coil conductor pattern are laminated to form a coil in the laminated body, and a magnetic core is formed on a winding shaft portion of the coil.
A first step of irradiating a laser on the winding axis portion of the coil of the ceramic green sheet formed on the base film from the base film surface side to form a recess in the ceramic green sheet, the coil on the surface of the ceramic green sheet A second step of forming a conductive pattern for forming a laminate, forming a laminated body by laminating the ceramic green sheets, and then forming a through-hole in the laminated body by punching out the winding portion of the coil of the laminated body And a fourth step in which a magnetic core is formed in the through hole. A method of manufacturing a multilayer electronic component, comprising:
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JP2008103482A (en) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Murata Mfg Co Ltd | Method for forming electrode pattern, manufacturing method for laminated electronic part, and laminated electronic part |
WO2009063699A1 (en) * | 2007-11-16 | 2009-05-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayered electronic component and method of manufacturing the same |
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2004
- 2004-01-23 JP JP2004015685A patent/JP2005209929A/en active Pending
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