JP2005207829A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 少なくとも二色の着色膜が形成された検査対象物に向かって光を照射しその反射光から得られる画像に基づいて着色膜の膜厚の良否を判別する膜厚良否検査方法において、上記照射光又は反射光を複数色の着色膜に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光とすることを特徴とする膜厚良否検査方法。
2. 少なくとも二色の着色膜が形成された検査対象物に向かって光を照射する照射部と、検査対象物からの反射光を受光する撮像部と、撮像部で得た画像に基づいて着色膜の膜厚の良否を判別する判別部とを具備した膜厚良否検査装置であって、上記照射光又は反射光を複数色の着色膜に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光とすることを特徴とする膜厚良否検査装置。
3. 少なくとも三色の着色膜が形成された検査対象物に向かって光を照射しその反射光から得られる画像に基づいて着色膜の膜厚の良否を判別する膜厚良否検査方法において、少なくとも二通りの光の照射と反射を行い、一方の照射光又は反射光を上記色数のうち任意に組み合わされる複数色の着色膜に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光とし、他方の照射光又は反射光を他の組み合わせの複数色の着色膜に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光とし、各反射光から得た画像に基づき複数色の着色膜の膜厚の良否を判別し、次いで画像同士を対比して所望の着色膜の膜厚の良否を判別することを特徴とする膜厚良否検査方法。
4. 少なくとも三色の着色膜が形成された検査対象物に向かって光を照射する少なくとも二つの照射部と、検査対象物からの反射光をそれぞれ受光する各撮像部と、各撮像部で得た画像に基づいて着色膜の膜厚の良否を判別する判別部とを具備した膜厚良否検査装置であって、一方の照射光又は反射光を上記色数のうち任意に組み合わされる複数色の着色膜に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光とし、他方の照射光又は反射光を他の組み合わせの複数色の着色膜に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光とし、上記判別部は各撮像部で得た画像に基づいて複数色の着色膜の膜厚の良否を判別する第一の判別部と、各撮像部で得た画像を対比して所望の着色膜の膜厚の良否を判別する第二の判別部とを具備することを特徴とする膜厚良否検査装置。
5. 赤、緑、青の各着色膜が形成された検査対象物に向かって光を照射しその反射光から得られる画像に基づいて着色膜の膜厚の良否を判別する膜厚良否検査方法において、少なくとも二通りの光の照射と反射を行い、一方の照射光又は反射光を上記三色のうち任意に組み合わされる二色の着色膜に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光とし、他方の照射光又は反射光を他の組み合わせの二色の着色膜に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光とし、各反射光から得た画像に基づき全色の着色膜の膜厚の良否を判別し、次いで画像同士を対比して各色の着色膜の膜厚の良否を判別することを特徴とする膜厚良否検査方法。
6. 赤、緑、青の各着色膜が形成された検査対象物に向かって光を照射する少なくとも二つの照射部と、検査対象物からの反射光をそれぞれ受光する各撮像部と、各撮像部で得た画像に基づいて着色膜の膜厚の良否を判別する判別部とを具備した膜厚良否検査装置であって、一方の照射光又は反射光を上記三色のうち任意に組み合わされる二色の着色膜に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光とし、他方の照射光又は反射光を他の組み合わせの二色の着色膜に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光とし、上記判別部は各撮像部で得た画像に基づいて全色の着色膜の膜厚の良否を判別する第一の判別部と、各撮像部で得た画像を対比して各色の着色膜の膜厚の良否を判別する第二の判別部とを具備することを特徴とする膜厚良否検査装置。
7. 請求項５に記載の膜厚良否検査方法において、上記一方の照射光を赤、緑の着色膜の双方に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光として低圧ナトリウムランプにより照射し、上記他方の照射光を緑、青の着色膜の双方に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光として光源から照射すると共にこの照射光又は反射光を青緑に主波長を有するバンドパスフィルタを透過させることを特徴とする膜厚良否検査方法。
8. 請求項６に記載の膜厚良否検査装置において、上記一方の照射光を赤、緑の着色膜の双方に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光として低圧ナトリウムランプにより照射し、上記他方の照射光を緑、青の着色膜の双方に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光として光源から照射すると共にこの照射光又は反射光を青緑に主波長を有するバンドパスフィルタを透過させることを特徴とする膜厚良否検査装置。
9. 請求項５に記載の膜厚良否検査方法において、上記一方の照射光を赤、緑の各着色膜の双方に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光として光源から照射すると共にこの照射光又は反射光をオレンジ色に主波長を有するバンドパスフィルタを透過させ、他方の照射光を緑、青の各着色膜の双方に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光として光源から照射すると共にこの照射光又は反射光を青緑に主波長を有するバンドパスフィルタを透過させることを特徴とする膜厚良否検査方法。
10. 請求項６に記載の膜厚良否検査装置において、上記一方の照射光を赤、緑の各着色膜の双方に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光として光源から照射すると共にこの照射光又は反射光をオレンジ色に主波長を有するバンドパスフィルタを透過させ、他方の照射光を緑、青の各着色膜の双方に関し光透過率が高くスペクトルで重複する波長光として光源から照射すると共にこの照射光又は反射光を青緑に主波長を有するバンドパスフィルタを透過させることを特徴とする膜厚良否検査装置。
11. 請求項７に記載の膜厚良否検査方法において、バンドパスフィルタの主波長が４８０〜５２０ｎｍであり、かつ光源の発光スペクトルがバンドパスフィルタの主波長を含むことを特徴とする膜厚良否検査方法。
12. 請求項８に記載の膜厚良否検査装置において、バンドパスフィルタの主波長が４８０〜５２０ｎｍであり、かつ光源の発光スペクトルがバンドパスフィルタの主波長を含むことを特徴とする膜厚良否検査装置。
13. 請求項９に記載の膜厚良否検査方法において、一方のバンドパスフィルタの主波長が５７０〜６１０ｎｍであり、かつ光源の発光スペクトルがバンドパスフィルタの主波長を含み、他方のバンドパスフィルタの主波長が４８０〜５２０ｎｍであり、かつ光源の発光スペクトルがバンドパスフィルタの主波長を含むことを特徴とする膜厚良否検査方法。
14. 請求項１０に記載の膜厚良否検査装置において、一方のバンドパスフィルタの主波長が５７０〜６１０ｎｍであり、かつ光源の発光スペクトルがバンドパスフィルタの主波長を含み、他方のバンドパスフィルタの主波長が４８０〜５２０ｎｍであり、かつ光源の発光スペクトルがバンドパスフィルタの主波長を含むことを特徴とする膜厚良否検査装置。
15. 請求項７，９，１１，１３のいずれかに記載の膜厚良否検査方法において、バンドパスフィルタが１０ｎｍ以下の半値幅を有することを特徴とする膜厚良否検査方法。
16. 請求項８，１０，１２，１４のいずれかに記載の膜厚良否検査装置において、バンドパスフィルタが１０ｎｍ以下の半値幅を有することを特徴とする膜厚良否検査装置。