JP2005207496A - 混合弁及び混合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一の流体f1が流通する主流路13に他の流体f2,f3が流通する1又は複数の副流路14(14A,14B)がその連通開口部18A,18Bを開閉する開閉弁部20A,20Bを介して接続されてなる混合弁10Aにおいて、前記主流路及び副流路の各々に圧力センサ31,32,33(34)を配置して当該主流路及び副流路を流通する流体の圧力を検知するようにした。
【選択図】図1
Description
図1はこの発明の混合弁の第一実施例の断面図、図2は同じく第二実施例に係る混合弁の断面図、図3は第三実施例に係る混合弁の断面図、図4は第四実施例に係る混合弁の断面図、図5は開閉弁部の開閉動を表示する表示手段を備えた混合弁の部分断面図、図6はこの発明の混合装置の第一実施例の制御回路図、図7は同じく混合装置の第二実施例の制御回路図である。
13 主流路
13a 接続開口部(上流側)
13b 接続開口部(下流側)
14 副流路
14A 第一副流路
14B 第二副流路
16 洗浄用流体流路
17A,17B 絞り部
18A,18B 連通開口部
20A,20B,20X,20Y 開閉弁部
22 ピストン
24 弁体
26 弁座
31,32,33,34 圧力センサ
40 圧力損失部
50 表示手段
60A,60B 混合装置
70 コントローラ
71,72,73 制御弁
81,83A,83B 流体供給流路
f1 第一流体
f2 第二流体
f3 第三流体
m 混合流体
g 洗浄用流体
Claims (9)
- 一の流体が流通する主流路に他の流体が流通する1又は複数の副流路がその連通開口部を開閉する開閉弁部を介して接続されてなる混合弁において、前記主流路及び副流路の各々に圧力センサを配置して当該主流路及び副流路を流通する流体の圧力を検知するようにしたことを特徴とする混合弁。
- 前記主流路に前記一の流体のための開閉弁部を有する請求項1に記載の混合弁。
- 前記主流路に圧力損失部を介して複数の圧力センサが直列に配置されている請求項1に記載の混合弁。
- 前記圧力損失部がオリフィス部分である請求項3に記載の混合弁。
- 前記開閉弁部における連通開口部の弁座が前記主流路内に臨んで配置され、前記開閉弁部の弁体による副流路の閉鎖が主流路内で行われる請求項1に記載の混合弁。
- 前記主流路に洗浄用流体のための流路が開閉弁部を介して接続された請求項1に記載の混合弁。
- 前記開閉弁部の弁体の開閉動を外部に表示する表示手段を備えた請求項1、2、6のいずれか1項に記載の混合弁。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の混合弁と、
少なくとも前記混合弁の副流路と接続された流体供給流路に配置され、当該供給流路を流通する流体の流量又は圧力を制御する制御弁と、
前記混合弁の圧力センサからの信号を受け取り演算して所定の混合比率を維持するための信号を前記制御弁に送るコントローラ
とを有することを特徴とする混合装置。 - 前記混合弁の主流路と接続された流体供給流路に配置され、当該供給流路を流通する流体の流量又は圧力を制御する制御弁を有する請求項8に記載の混合装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004014562A JP4006404B2 (ja) | 2004-01-22 | 2004-01-22 | 混合弁及び混合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004014562A JP4006404B2 (ja) | 2004-01-22 | 2004-01-22 | 混合弁及び混合装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005207496A true JP2005207496A (ja) | 2005-08-04 |
JP4006404B2 JP4006404B2 (ja) | 2007-11-14 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP4006404B2 (ja) |
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CN111213109A (zh) * | 2017-11-29 | 2020-05-29 | 株式会社富士金 | 流体供给管线的异常诊断方法 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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