JP2005203426A - ウエハ載置用電極 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プラズマ処理装置で用いられ、電極1上に載置したウエハを静電吸着で固定し、電極1内部に設けた溝3に流すウエハ温度調節用の冷媒と、電極1表面とウエハ間に供給した伝熱用ガスとでウエハの温度調節をしながらウエハの処理を行うウエハ載置用電極1において、電極1表面に一つ以上の溝4〜8、12、13を設け、溝4〜8、12、13に伝熱用ガスを供給し排気する。
【選択図】 図1
Description
本発明のウエハ載置用電極の実施例について、図1を用いて説明する。本実施例のウエハ載置用電極は、電極の構造体となる基材1、アルミナ製の溶射膜2、温調用の冷媒が流れる冷媒溝3、図には明示していないウエハと溶射膜2の間にガスを供給するガス供給溝4〜8、ガス供給溝にガスを供給するガス供給管9〜11、ウエハと溶射膜2の間からガスを排気するためのガス排気溝12〜13、ガス排気溝からガスを排気するためのガス排気管14〜15、ウエハと溶射膜2間の圧力を計測する圧力計16〜18、ガス供給量を制御する流量計19〜21、冷媒を所定の温度に制御して供給するサーキュレータ22、ガスボンベ23〜25、ガスを排気するポンプ26〜27などから構成されている。なお図には明示していないが、本ウエハ載置用電極はプラズマエッチング処理装置内に設置されている。
(70650−5803)/70650=0.918
となり、91.8%が接触することになる。ウエハと電極表面の接触する部分が多くなるほどウエハの冷却効率が高くなり、ウエハ温度上昇による悪影響を受けにくくなる。
Claims (6)
- プラズマ処理装置で用いられ、電極上に載置したウエハを静電吸着で固定し、電極内部に設けた溝に流すウエハ温度調節用の冷媒と、電極表面と前記ウエハ間に供給した伝熱用ガスとで該ウエハの温度調節をしながら該ウエハの処理を行うウエハ載置用電極において、
電極表面に一つ以上の溝を設け、該溝に前記伝熱用ガスを供給し排気することを特徴としたウエハ載置用電極。 - 請求項1記載のウエハ載置用電極において、
電極表面は複数の円環状領域と中央の円形領域に分割されるアルミナ製溶射膜からなり、該円環状領域及び該円形領域はほとんどがウエハ裏面と静電吸着により接触し、該円環状領域の内周部及び外周部に円環状の供給溝を設けるとともに、円環状領域の相互隣接境界部及び円形領域との境界部に円環状の排気溝を設け、円環状領域及び円形領域それぞれの領域に独立に伝熱用ガスを供給する手段を有し、伝熱ガスは前記供給溝から供給されるとともに、前記排気溝から排気されることを特徴としたウエハ載置用電極。 - 請求項1又は2に記載のウエハ載置用電極において、
上記ウエハと電極表面間に供給する伝熱用ガスを、複数の種類のガスを切り替えて供給することができることを特徴とするウエハ載置用電極。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のウエハ載置用電極において、
上記ウエハと電極表面間に供給するガスは、ヘリウム及び、又はアルゴンであることを特徴とするウエハ載置用電極。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のウエハ載置用電極において、
電極内部に流路が設けてあり、ウエハ温度を調整するために流す液体を、外周側の流路から導入し、かつ、内周側の流路から排出することを特徴とするウエハ載置用電極。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のウエハ載置用電極において、
上記ウエハと電極表面が吸着している面積が、ウエハ全体の70%以上であることを特徴とするウエハ載置用電極。
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