JP2005199481A - Adhesive film and flexible metal clad laminated sheet enhanced in dimensional stability obtained therefrom - Google Patents

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Takeshi Kikuchi
剛 菊池
Hiroyuki Tsuji
宏之 辻
Nagayasu Kaneshiro
永泰 金城
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive film for use in obtaining a flexible metal clad laminated sheet suppressed in the coccurrence of a dimensional change when manufactured by a lamination method, and the flexible metal clad laminated sheet obtained by laminating a metal foil to the adhesive film. <P>SOLUTION: The adhesive film is constituted by providing an adhesive layer containing a thermoplastic polyimide at least on one side of an insulating film and the flexible metal clad laminated sheet is obtained by laminating the metal foil to the adhesive film. The adhesive film is characterized in that the tensile elastic modulus in the MD direction of the insulating film is 6.5-12 GPa, the coefficient of thermal expansion thereof at 50-200°C is 3-20 ppm/°C and the tensile elastic modulus in the MD direction of the adhesive film is 5.5-11 GPa. The flexible metal clad laminated sheet obtained from the adhesive film is also disclosed. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、絶縁性フィルムの少なくとも片面に熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を設けた接着フィルム、ならびにこの接着フィルムに熱ロールラミネート装置により金属箔を貼り合わせて得られるフレキシブル金属張積層板に関する。更に詳しくは、絶縁フィルムのMD方向の引張弾性率が6.5〜12GPaであり、50〜200℃における熱膨張係数が3〜20ppm/℃であることを特徴とする、接着フィルム、ならびにこの接着フィルムに熱ロールラミネート装置により金属箔を貼り合わせて得られるフレキシブル金属張積層板であって、好ましくは金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の加熱を行う前後の寸法変化率の合計値が、長手方向(以下、MD方向ともいう)、幅方向(以下、TD方向ともいう)共に−0.08〜+0.08%の範囲にあるフレキシブル金属張積層板、ならびにその製造方法に関する。   The present invention relates to an adhesive film in which an adhesive layer containing a thermoplastic polyimide is provided on at least one surface of an insulating film, and a flexible metal-clad laminate obtained by bonding a metal foil to the adhesive film using a hot roll laminator. More specifically, the insulating film has a tensile elastic modulus in the MD direction of 6.5 to 12 GPa, and a thermal expansion coefficient at 50 to 200 ° C. of 3 to 20 ppm / ° C. A flexible metal-clad laminate obtained by laminating a metal foil to a film by a hot roll laminator, preferably with a dimensional change rate before and after removing the metal foil, and heating at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil Flexible metal-clad laminate in which the total dimensional change rate before and after is in the range of -0.08 to + 0.08% in both the longitudinal direction (hereinafter also referred to as MD direction) and the width direction (hereinafter also referred to as TD direction) It is related with a board and its manufacturing method.

近年、エレクトロニクス製品の軽量化、小型化、高密度化にともない、各種プリント基板の需要が伸びているが、中でも、フレキシブル積層板(フレキシブルプリント配線板(FPC)等とも称する)の需要が特に伸びている。フレキシブル積層板は、絶縁性フィルム上に金属箔からなる回路が形成された構造を有している。   In recent years, the demand for various printed circuit boards has increased along with the reduction in weight, size and density of electronic products. In particular, the demand for flexible laminates (also referred to as flexible printed circuit boards (FPCs), etc.) has increased. ing. The flexible laminate has a structure in which a circuit made of a metal foil is formed on an insulating film.

上記フレキシブル積層板は、一般に、各種絶縁材料により形成され、柔軟性を有する絶縁性フィルムを基板とし、この基板の表面に、各種接着材料を介して金属箔を加熱・圧着することにより貼りあわせる方法により製造される。上記絶縁性フィルムとしては、ポリイミドフィルム等が好ましく用いられている。上記接着材料としては、エポキシ系、アクリル系等の熱硬化性接着剤が一般的に用いられている(これら熱硬化性接着剤を用いたFPCを以下、三層FPCともいう)。   The flexible laminate is generally formed of various insulating materials, and a flexible insulating film is used as a substrate, and a metal foil is bonded to the surface of the substrate by heating and pressure bonding via various adhesive materials. Manufactured by. A polyimide film or the like is preferably used as the insulating film. As the adhesive material, a thermosetting adhesive such as epoxy or acrylic is generally used (FPC using these thermosetting adhesives is hereinafter also referred to as three-layer FPC).

熱硬化性接着剤は比較的低温での接着が可能であるという利点がある。しかし今後、耐熱性、屈曲性、電気的信頼性といった要求特性が厳しくなるに従い、熱硬化性接着剤を用いた三層FPCでは対応が困難になると考えられる。これに対し、絶縁性フィルムに直接金属層を設けたり、接着層に熱可塑性ポリイミドを使用したFPC(以下、二層FPCともいう)が提案されている。この二層FPCは、三層FPCより優れた特性を有し、今後需要が伸びていくことが期待される。   Thermosetting adhesives have the advantage that they can be bonded at relatively low temperatures. However, in the future, as required characteristics such as heat resistance, flexibility, and electrical reliability become stricter, it is considered that it is difficult to cope with a three-layer FPC using a thermosetting adhesive. On the other hand, an FPC (hereinafter also referred to as a two-layer FPC) in which a metal layer is directly provided on an insulating film or a thermoplastic polyimide is used for an adhesive layer has been proposed. This two-layer FPC has characteristics superior to those of the three-layer FPC, and demand is expected to increase in the future.

二層FPCに用いるフレキシブル金属張積層板の作製方法としては、金属箔上にポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を流延、塗布した後イミド化するキャスト法、スパッタ、メッキによりポリイミドフィルム上に直接金属層を設けるメタライジング法、熱可塑性ポリイミドを介してポリイミドフィルムと金属箔とを貼り合わせるラミネート法が挙げられる。この中で、ラミネート法は、対応できる金属箔の厚み範囲がキャスト法よりも広く、装置コストがメタライジング法よりも低いという点で優れている。ラミネートを行う装置としては、ロール状の材料を繰り出しながら連続的にラミネートする熱ロールラミネート装置またはダブルベルトプレス装置等が用いられている。上記の内、生産性の点から見れば、熱ロールラミネート法をより好ましく用いることができる。   As a method for producing a flexible metal-clad laminate for use in a two-layer FPC, a polyamic acid, which is a polyimide precursor, is cast on a metal foil, applied, and then casted directly onto a polyimide film by sputtering or plating. Examples thereof include a metallizing method for providing a metal layer and a laminating method for bonding a polyimide film and a metal foil through a thermoplastic polyimide. Among these, the lamination method is superior in that the thickness range of the metal foil that can be handled is wider than that of the casting method and the apparatus cost is lower than that of the metalizing method. As a device for laminating, a hot roll laminating device or a double belt press device for continuously laminating a roll-shaped material is used. Of these, the hot roll laminating method can be used more preferably from the viewpoint of productivity.

従来の三層FPCをラミネート法で作製する際、接着層に熱硬化性樹脂を用いていたため、ラミネート温度は200℃未満で行うことが可能であった(特許文献1参照)。これに対し、二層FPCは熱可塑性ポリイミドを接着層として用いるため、熱融着性を発現させるために200℃以上、場合によっては400℃近くの高温を加える必要がある。そのため、ラミネートされて得られたフレキシブル金属張積層板に残留歪みが発生し、エッチングして配線を形成する際、ならびに部品を実装するために半田リフローを行う際に寸法変化となって現れる。   When a conventional three-layer FPC was produced by a laminating method, a thermosetting resin was used for the adhesive layer, so that the laminating temperature could be less than 200 ° C. (see Patent Document 1). On the other hand, since the two-layer FPC uses thermoplastic polyimide as an adhesive layer, it is necessary to apply a high temperature of 200 ° C. or higher, and in some cases, close to 400 ° C., in order to develop heat-fusibility. Therefore, residual distortion occurs in the flexible metal-clad laminate obtained by laminating, and it appears as a dimensional change when wiring is formed by etching and when solder reflow is performed to mount components.

特にラミネート法は、ポリイミドフィルム上に熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を設ける際に、熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を流延、塗布した後に連続的に加熱してイミド化を行い、金属箔を貼り合わせる際も連続的に加熱加圧を行うため、材料は張力がかけられた状態で加熱環境下に置かれることが多い。そのため、MD方向とTD方向で異なる熱応力が発生する。具体的には、張力のかかるMD方向には引張られる力が働き、逆にTD方向には縮む力が働く。その結果、フレキシブル積層板から金属箔をエッチングする際と、半田リフローを通して加熱する際にこの歪みが解放され、MD方向は収縮し、逆にTD方向は膨張してしまう。   In particular, in the laminating method, when an adhesive layer containing a thermoplastic polyimide is provided on a polyimide film, the polyamic acid which is a precursor of the thermoplastic polyimide is cast and applied, and then continuously heated to imidize, Since the heating and pressurization is continuously performed when the metal foil is bonded, the material is often placed in a heating environment under tension. Therefore, different thermal stresses are generated in the MD direction and the TD direction. Specifically, a pulling force acts in the MD direction where tension is applied, and conversely, a shrinking force acts in the TD direction. As a result, when the metal foil is etched from the flexible laminate and when heated through solder reflow, this strain is released, the MD direction contracts, and conversely, the TD direction expands.

近年、電子機器の小型化、軽量化を達成するために、基板に設けられる配線は微細化が進んでおり、実装する部品も小型化、高密度化されたものが搭載される。そのため、微細な配線を形成した後の寸法変化が大きくなると、設計段階での部品搭載位置からずれて、部品と基板とが良好に接続されなくなるという問題が生じる。   In recent years, in order to achieve miniaturization and weight reduction of electronic devices, wiring provided on a substrate has been miniaturized, and components to be mounted are mounted with miniaturization and high density. For this reason, if the dimensional change after forming the fine wiring is increased, there is a problem that the component and the board are not well connected due to deviation from the component mounting position in the design stage.

そこで、ラミネート圧力の制御や、接着フィルムの張力制御により、寸法変化を抑える試みがなされている(特許文献2または3参照)。しかしながら、これらの手段により寸法変化は改善されるものの、まだ充分ではなく、更なる寸法変化の改善が求められている。
特開平9−199830号公報 特開2002−326308号公報 特開2002−326280号公報
Therefore, attempts have been made to suppress dimensional changes by controlling the laminating pressure or controlling the tension of the adhesive film (see Patent Document 2 or 3). However, although the dimensional change is improved by these means, it is not sufficient yet, and further improvement of the dimensional change is demanded.
JP-A-9-199830 JP 2002-326308 A JP 2002-326280 A

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、ラミネート法で作製した際に寸法変化の発生が抑制されたフレキシブル金属張積層板が得られる接着フィルム、及びそれに金属箔を貼り合わせて得られるフレキシブル金属張積層板、特にラミネート法で作製した際に寸法変化の発生を抑制できるフレキシブル金属張積層板を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an adhesive film from which a flexible metal-clad laminate in which the occurrence of dimensional change is suppressed when produced by a laminating method, and a metal An object of the present invention is to provide a flexible metal-clad laminate obtained by laminating foil, particularly a flexible metal-clad laminate capable of suppressing the occurrence of dimensional changes when produced by a laminating method.

本発明者らは、上記の課題に鑑み鋭意検討した結果、コアフィルムの引張弾性率を特定の範囲に制御することにより、熱可塑性ポリイミドのイミド化時ならびにラミネート時における熱応力の発生を緩和し、寸法変化の発生を効果的に抑制できることを独自に見出し、本発明を完成させるに至った。   As a result of intensive studies in view of the above problems, the present inventors have reduced the generation of thermal stress during imidization and lamination of thermoplastic polyimide by controlling the tensile modulus of the core film within a specific range. The inventors have independently found that the occurrence of dimensional changes can be effectively suppressed, and have completed the present invention.

即ち本発明の第1は、絶縁性フィルムの少なくとも片面に熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を設けた接着フィルムであって、絶縁フィルムのMD方向の引張弾性率が6.5〜12GPaであることを特徴とする、接着フィルムに関する。   That is, the first of the present invention is an adhesive film in which an adhesive layer containing thermoplastic polyimide is provided on at least one surface of the insulating film, and the tensile elastic modulus in the MD direction of the insulating film is 6.5 to 12 GPa. The present invention relates to an adhesive film.

好ましい実施態様は、絶縁性フィルムの50〜200℃における熱膨張係数が3〜20ppm/℃であることを特徴とする、前記の接着フィルムに関する。   A preferred embodiment relates to the above adhesive film, wherein the insulating film has a thermal expansion coefficient of 3 to 20 ppm / ° C. at 50 to 200 ° C.

更に好ましい実施態様は、MD方向の引張弾性率が5.5〜11GPaであることを特徴とする、前記の接着フィルムに関する。   A further preferred embodiment relates to the above-mentioned adhesive film, wherein the tensile elastic modulus in the MD direction is 5.5 to 11 GPa.

本発明の第2は、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いて、前記接着フィルムに金属箔を貼り合わせて得られることを特徴とする、フレキシブル金属張積層板に関する。   A second aspect of the present invention relates to a flexible metal-clad laminate obtained by bonding a metal foil to the adhesive film using a hot roll laminator having a pair of metal rolls.

好ましい実施態様は、金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の加熱を行う前後の寸法変化率の合計値が、MD方向、TD方向共に−0.08〜+0.08%の範囲にあることを特徴とする、前記のフレキシブル金属張積層板に関する。   In a preferred embodiment, the dimensional change rate before and after removing the metal foil, and the total value of the dimensional change rate before and after heating at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil is −0.08 in both the MD direction and the TD direction. It is related with the said flexible metal-clad laminated board characterized by being in the range of -0.08%.

本発明のフレキシブル金属張積層板は、寸法変化の発生が抑制されており、特にラミネート法における寸法変化の発生も効果的に抑制できる。具体的には、金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の加熱を行う前後の寸法変化率の合計値が、MD方向、TD方向共に−0.08〜+0.08%の範囲とすることが可能である。従って、微細な配線を形成したFPC等にも好適に用いることが可能で、位置ずれ等の問題を改善できる。   In the flexible metal-clad laminate of the present invention, the occurrence of dimensional changes is suppressed, and in particular, the occurrence of dimensional changes in the laminating method can be effectively suppressed. Specifically, the dimensional change rate before and after removing the metal foil and the total value of the dimensional change rate before and after heating at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil are −0.08 in both the MD direction and the TD direction. It can be in the range of ˜ + 0.08%. Therefore, it can be suitably used for an FPC or the like in which fine wiring is formed, and problems such as misalignment can be improved.

本発明の実施の形態について、以下に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below.

本発明に係る接着フィルムは、絶縁性フィルムの少なくとも片面に熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を設けて成ることを特徴とする。   The adhesive film according to the present invention is characterized in that an adhesive layer containing thermoplastic polyimide is provided on at least one surface of an insulating film.

本発明において用いられる絶縁性フィルムとしては、ポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム、液晶ポリマーフィルム、ナイロンフィルム、アラミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム等、いかなるものを用いても良いが耐熱性、絶縁特性の点からポリイミドフィルムを用いることが好ましい。   As the insulating film used in the present invention, any film such as a polyimide film, a polyester film, a liquid crystal polymer film, a nylon film, an aramid film, and a polyamideimide film may be used, but a polyimide film from the viewpoint of heat resistance and insulating characteristics. Is preferably used.

以下、絶縁性フィルムとしてポリイミドフィルムを用いた場合について、その実施の形態の一例に基づき説明する。   Hereinafter, the case where a polyimide film is used as the insulating film will be described based on an example of the embodiment.

本発明に用いられるポリイミドの前駆体であるポリアミド酸の製造方法としては公知のあらゆる方法を用いることができ、通常、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンを、実質的等モル量を有機溶媒中に溶解させて、得られたポリアミド酸有機溶媒溶液を、制御された温度条件下で、上記酸二無水物とジアミンの重合が完了するまで攪拌することによって製造される。これらのポリアミド酸溶液は通常5〜35wt%、好ましくは10〜30wt%の濃度で得られる。この範囲の濃度である場合に適当な分子量と溶液粘度を得る。   Any known method can be used as a method for producing the polyamic acid that is a precursor of the polyimide used in the present invention. Usually, the aromatic acid dianhydride and the aromatic diamine are substantially equimolar amounts in an organic solvent. The polyamic acid organic solvent solution obtained by dissolving therein is produced by stirring under controlled temperature conditions until the polymerization of the acid dianhydride and diamine is completed. These polyamic acid solutions are usually obtained at a concentration of 5 to 35 wt%, preferably 10 to 30 wt%. When the concentration is in this range, an appropriate molecular weight and solution viscosity are obtained.

重合方法としてはあらゆる公知の方法およびそれらを組み合わせた方法を用いることができる。ポリアミド酸の重合における重合方法の特徴はそのモノマーの添加順序にあり、このモノマー添加順序を制御することにより得られるポリイミドの諸物性を制御することができる。従い、本発明においてポリアミド酸の重合にはいかなるモノマーの添加方法を用いても良い。代表的な重合方法として次のような方法が挙げられる。すなわち、
1)芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させて重合する方法。
2)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過小モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
3)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過剰モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いてここに芳香族ジアミン化合物を追加添加後、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて重合する方法。
4)芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中に溶解及び/または分散させた後、実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
5)実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法。
などのような方法である。これら方法を単独で用いても良いし、部分的に組み合わせて用いることもできる。
As the polymerization method, any known method and a combination thereof can be used. The characteristic of the polymerization method in the polymerization of polyamic acid is the order of addition of the monomers, and the physical properties of the polyimide obtained can be controlled by controlling the order of addition of the monomers. Therefore, in the present invention, any method of adding monomers may be used for the polymerization of polyamic acid. The following method is mentioned as a typical polymerization method. That is,
1) A method in which an aromatic diamine is dissolved in an organic polar solvent and this is reacted with a substantially equimolar amount of an aromatic tetracarboxylic dianhydride for polymerization.
2) An aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted with a small molar amount of an aromatic diamine compound in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Then, the method of superposing | polymerizing using an aromatic diamine compound so that an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine compound may become substantially equimolar in all the processes.
3) An aromatic tetracarboxylic dianhydride and an excess molar amount of the aromatic diamine compound are reacted in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, after adding an aromatic diamine compound here, using the aromatic tetracarboxylic dianhydride so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps. How to polymerize.
4) A method in which an aromatic tetracarboxylic dianhydride is dissolved and / or dispersed in an organic polar solvent and then polymerized using an aromatic diamine compound so as to be substantially equimolar.
5) A method of polymerizing by reacting a substantially equimolar mixture of aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine in an organic polar solvent.
And so on. These methods may be used singly or in combination.

本発明において、上記のいかなる重合方法を用いて得られたポリアミド酸を用いても良く、重合方法は特に限定されるのもではない。   In the present invention, the polyamic acid obtained by using any of the above polymerization methods may be used, and the polymerization method is not particularly limited.

本発明に係る接着フィルムに使用するのに適した物性を有するポリイミドフィルムを得るためには、パラフェニレンジアミンや置換ベンジジンに代表される剛直構造を有するジアミン成分を用いてプレポリマーを得る重合方法を用いることが好ましい。本方法を用いることにより、弾性率が高く、吸湿膨張係数が小さいポリイミドフィルムが得やすくなる傾向にある。本方法においてプレポリマー調製時に用いる剛直構造を有するジアミンと酸二無水物のモル比は100:70〜100:99もしくは70:100〜99:100、さらには100:75〜100:90もしくは75:100〜90:100が好ましい。この比が上記範囲を下回ると弾性率および吸湿膨張係数の改善効果が得られにくく、上記範囲を上回ると熱膨張係数が小さくなりすぎたり、引張伸びが小さくなるなどの弊害が生じることがある。   In order to obtain a polyimide film having physical properties suitable for use in the adhesive film according to the present invention, a polymerization method for obtaining a prepolymer using a diamine component having a rigid structure typified by paraphenylenediamine or substituted benzidine is used. It is preferable to use it. By using this method, a polyimide film having a high elastic modulus and a small hygroscopic expansion coefficient tends to be easily obtained. In this method, the molar ratio of the diamine having a rigid structure used in preparing the prepolymer to the acid dianhydride is 100: 70 to 100: 99 or 70: 100 to 99: 100, and further 100: 75 to 100: 90 or 75: 100-90: 100 is preferable. If this ratio is less than the above range, it is difficult to obtain the effect of improving the elastic modulus and hygroscopic expansion coefficient, and if it exceeds the above range, adverse effects such as excessively low thermal expansion coefficient and reduced tensile elongation may occur.

ここで、本発明にかかるポリアミック酸組成物に用いられる材料について説明する。   Here, the material used for the polyamic acid composition concerning this invention is demonstrated.

本発明において用いうる適当な酸無水物は、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシフタル酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)及びそれらの類似物を含み、これらを単独または、任意の割合の混合物が好ましく用い得る。   Suitable acid anhydrides that can be used in the present invention include pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid diacid. Anhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic Acid dianhydride, 4,4′-oxyphthalic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride Bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane Dianhydride, bis 2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, p -Phenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), ethylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester anhydride) and the like, Single or a mixture of arbitrary ratios can be used preferably.

本発明に係る接着フィルムに使用するのに適した物性を有するポリイミドフィルムを得るためには、これら酸二無水物の中で特にはピロメリット酸二無水物及び/又は3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物及び/又は4,4’−オキシフタル酸二無水物及び/又は3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の使用が好ましい。   In order to obtain a polyimide film having physical properties suitable for use in the adhesive film according to the present invention, among these acid dianhydrides, pyromellitic dianhydride and / or 3,3 ′, 4, Preference is given to using 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride and / or 4,4′-oxyphthalic dianhydride and / or 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride.

またこれら酸二無水物の中で3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物及び/又は4,4’−オキシフタル酸二無水物の好ましい使用量は、全酸二無水物に対して、60mol%以下、好ましくは55mol%以下、更に好ましくは50mol%以下である。3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物及び/又は4,4’−オキシフタル酸二無水物の使用量がこの範囲を上回るとポリイミドフィルムのガラス転移温度が低くなりすぎたり、熱時の貯蔵弾性率が低くなりすぎて製膜そのものが困難になったりすることがあるため好ましくない。   Among these acid dianhydrides, preferred amounts of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and / or 4,4′-oxyphthalic dianhydride are all acid dianhydrides. Is 60 mol% or less, preferably 55 mol% or less, more preferably 50 mol% or less. If the amount of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and / or 4,4′-oxyphthalic dianhydride exceeds this range, the glass transition temperature of the polyimide film becomes too low. In addition, the storage elastic modulus at the time of heating becomes too low, and film formation itself may become difficult, which is not preferable.

また、ピロメリット酸二無水物を用いる場合、好ましい使用量は40〜100mol%、更に好ましくは45〜100mol%、特に好ましくは50〜100mol%である。ピロメリット酸二無水物をこの範囲で用いることによりガラス転移温度および熱時の貯蔵弾性率を使用または製膜に好適な範囲に保ちやすくなる。   Moreover, when using pyromellitic dianhydride, the preferable usage-amount is 40-100 mol%, More preferably, it is 45-100 mol%, Most preferably, it is 50-100 mol%. By using pyromellitic dianhydride in this range, the glass transition temperature and the storage elastic modulus at the time of heating can be easily maintained in a range suitable for use or film formation.

本発明にかかるポリイミド前駆体ポリアミド酸組成物において使用し得る適当なジアミンとしては、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3‘−ジメチルベンジジン、2,2’−ジメチルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、2,2’−ジメトキシベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−オキシジアニリン、3,3’−オキシジアニリン、3,4’−オキシジアニリン、1,5−ジアミノナフタレン、4,4’−ジアミノジフェニルジエチルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、4,4’−ジアミノジフェニルN−メチルアミン、4,4’−ジアミノジフェニル N−フェニルアミン、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジアミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン、ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、ビス{4−(3−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4'−ジアミノベンゾフェノン及びそれらの類似物などが挙げられる。   Suitable diamines that can be used in the polyimide precursor polyamic acid composition according to the present invention include 4,4′-diaminodiphenylpropane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, benzidine, 3,3′-dichlorobenzidine, 3, 3'-dimethylbenzidine, 2,2'-dimethylbenzidine, 3,3'-dimethoxybenzidine, 2,2'-dimethoxybenzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 4, 4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-oxydianiline, 3,3'-oxydianiline, 3,4'-oxydianiline, 1,5-diaminonaphthalene, 4,4'-diaminodiphenyldiethylsilane 4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4'-diaminodiphenyl Tylphosphine oxide, 4,4′-diaminodiphenyl N-methylamine, 4,4′-diaminodiphenyl N-phenylamine, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene, 1, 2-diaminobenzene, bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} sulfone, bis {4- (3-aminophenoxy) phenyl} sulfone, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4 '-Bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-diamy Benzophenone and their analogs thereof.

これらジアミン類をジアミノベンゼン類、ベンジジン類などに代表されるいわゆる剛直構造のジアミンとエーテル基、スルホン基、ケトン基、スルフィド基など柔構造を有するジアミンとに分類して考えると、剛構造と柔構造のジアミンの使用比率はモル比で80/20〜20/80、好ましくは70/30〜30/70、特に好ましくは60/40〜30/70である。剛構造のジアミンの使用比率が上記範囲を上回ると得られるフィルムの引張伸びが小さくなる傾向にあり、またこの範囲を下回るとガラス転移温度が低くなりすぎたり、熱時の貯蔵弾性率が低くなりすぎて製膜が困難になるなどの弊害を伴うことがあるため好ましくない。   If these diamines are classified into so-called rigid diamines such as diaminobenzenes and benzidines and diamines having flexible structures such as ether groups, sulfone groups, ketone groups and sulfide groups, rigid structures and flexible diamines are considered. The use ratio of the structural diamine is 80/20 to 20/80, preferably 70/30 to 30/70, particularly preferably 60/40 to 30/70, in molar ratio. If the use ratio of the rigid diamine exceeds the above range, the tensile elongation of the resulting film tends to be small, and if it falls below this range, the glass transition temperature becomes too low or the storage modulus during heat decreases. This is not preferable because it may cause adverse effects such as difficulty in film formation.

本発明において用いられるポリイミドフィルムは、上記の範囲の中で所望の特性を有するフィルムとなるように適宜芳香族酸二無水物および芳香族ジアミンの種類、配合比を決定して用いることにより得ることができる。   The polyimide film used in the present invention is obtained by appropriately determining the type and blending ratio of the aromatic dianhydride and aromatic diamine so as to be a film having desired characteristics within the above range. Can do.

ポリアミド酸を合成するための好ましい溶媒は、ポリアミド酸を溶解する溶媒であればいかなるものも用いることができるが、アミド系溶媒すなわちN,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどであり、N,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドが特に好ましく用い得る。   As the preferred solvent for synthesizing the polyamic acid, any solvent can be used as long as it dissolves the polyamic acid. However, amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N- Examples thereof include methyl-2-pyrrolidone, and N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide can be particularly preferably used.

また、摺動性、熱伝導性、導電性、耐コロナ性、ループスティフネス等のフィルムの諸特性を改善する目的でフィラーを添加することもできる。フィラーとしてはいかなるものを用いても良いが、好ましい例としてはシリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。   In addition, a filler can be added for the purpose of improving various film properties such as slidability, thermal conductivity, conductivity, corona resistance, and loop stiffness. Any filler may be used, but preferred examples include silica, titanium oxide, alumina, silicon nitride, boron nitride, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate, mica and the like.

フィラーの粒子径は改質すべきフィルム特性と添加するフィラーの種類によって決定されるため、特に限定されるものではないが、一般的には平均粒径が0.05〜100μm、好ましくは0.1〜75μm、更に好ましくは0.1〜50μm、特に好ましくは0.1〜25μmである。粒子径がこの範囲を下回ると改質効果が現れにくくなり、この範囲を上回ると表面性を大きく損なったり、機械的特性が大きく低下したりする可能性がある。また、フィラーの添加部数についても改質すべきフィルム特性やフィラー粒子径などにより決定されるため特に限定されるものではない。一般的にフィラーの添加量はポリイミド100重量部に対して0.01〜100重量部、好ましくは0.01〜90重量部、更に好ましくは0.02〜80重量部である。フィラー添加量がこの範囲を下回るとフィラーによる改質効果が現れにくく、この範囲を上回るとフィルムの機械的特性が大きく損なわれる可能性がある。フィラーの添加は、
1.重合前または途中に重合反応液に添加する方法
2.重合完了後、3本ロールなどを用いてフィラーを混錬する方法
3.フィラーを含む分散液を用意し、これをポリアミド酸有機溶媒溶液に混合する方法
などいかなる方法を用いてもよいが、フィラーを含む分散液をポリアミド酸溶液に混合する方法、特に製膜直前に混合する方法が製造ラインのフィラーによる汚染が最も少なくすむため、好ましい。フィラーを含む分散液を用意する場合、ポリアミド酸の重合溶媒と同じ溶媒を用いるのが好ましい。また、フィラーを良好に分散させ、また分散状態を安定化させるために分散剤、増粘剤等をフィルム物性に影響を及ぼさない範囲内で用いることもできる。
The particle size of the filler is not particularly limited because it is determined by the film characteristics to be modified and the kind of filler to be added, but generally the average particle size is 0.05 to 100 μm, preferably 0.1. It is -75 micrometers, More preferably, it is 0.1-50 micrometers, Most preferably, it is 0.1-25 micrometers. If the particle size is below this range, the modification effect is less likely to appear. If the particle size is above this range, the surface properties may be greatly impaired or the mechanical properties may be greatly deteriorated. Further, the number of added parts of the filler is not particularly limited because it is determined by the film properties to be modified, the filler particle diameter, and the like. Generally, the addition amount of the filler is 0.01 to 100 parts by weight, preferably 0.01 to 90 parts by weight, and more preferably 0.02 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyimide. If the amount of filler added is less than this range, the effect of modification by the filler hardly appears, and if it exceeds this range, the mechanical properties of the film may be greatly impaired. Addition of filler
1. 1. A method of adding to a polymerization reaction solution before or during polymerization 2. A method of kneading fillers using three rolls after the completion of polymerization. Any method such as preparing a dispersion containing filler and mixing it with a polyamic acid organic solvent solution may be used, but a method of mixing a dispersion containing filler with a polyamic acid solution, particularly immediately before film formation. This method is preferable because the contamination by the filler in the production line is minimized. When preparing a dispersion containing a filler, it is preferable to use the same solvent as the polymerization solvent for the polyamic acid. Further, in order to disperse the filler satisfactorily and stabilize the dispersion state, a dispersant, a thickener and the like can be used within a range not affecting the film physical properties.

これらポリアミック酸溶液からポリイミドフィルムを製造する方法については従来公知の方法を用いることができる。この方法には熱イミド化法と化学イミド化法が挙げられ、どちらの方法を用いてフィルムを製造してもかまわないが、化学イミド化法によるイミド化の方が本発明に好適に用いられる諸特性を有した半導体実装用ポリイミドフィルムを得やすい傾向にある。   A conventionally well-known method can be used about the method of manufacturing a polyimide film from these polyamic acid solutions. This method includes a thermal imidization method and a chemical imidization method, and either method may be used to produce a film, but the imidization by the chemical imidation method is more preferably used in the present invention. It tends to be easy to obtain a polyimide film for semiconductor mounting having various characteristics.

また、本発明において特に好ましいポリイミドフィルムの製造工程は、
a)有機溶剤中で芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させてポリアミック酸溶液を得る工程、
b)上記ポリアミック酸溶液を含む製膜ドープを支持体上に流延する工程、
c)支持体上で加熱した後、支持体からゲルフィルムを引き剥がす工程、
d)更に加熱して、残ったアミック酸をイミド化し、かつ乾燥させる工程、
を含むことが好ましい。
In addition, the production process of the polyimide film particularly preferable in the present invention is as follows.
a) a step of reacting an aromatic diamine and an aromatic tetracarboxylic dianhydride in an organic solvent to obtain a polyamic acid solution;
b) casting a film-forming dope containing the polyamic acid solution on a support;
c) a step of peeling the gel film from the support after heating on the support;
d) further heating to imidize and dry the remaining amic acid,
It is preferable to contain.

上記工程において無水酢酸等の酸無水物に代表される脱水剤と、イソキノリン、β−ピコリン、ピリジン等の第三級アミン類等に代表されるイミド化触媒とを含む硬化剤を用いても良い。   In the above step, a curing agent containing a dehydrating agent typified by an acid anhydride such as acetic anhydride and an imidation catalyst typified by a tertiary amine such as isoquinoline, β-picoline or pyridine may be used. .

以下本発明の好ましい一形態、化学キュア方を一例にとり、ポリイミドフィルムの製造工程を説明する。ただし、本発明は以下の例により限定されるものではない。製膜条件や加熱条件は、ポリアミド酸の種類、フィルムの厚さ等により、変動し得る。   In the following, a preferred embodiment of the present invention, a method of chemical curing, will be described as an example to describe the process for producing a polyimide film. However, the present invention is not limited to the following examples. The film forming conditions and heating conditions can vary depending on the type of polyamic acid, the thickness of the film, and the like.

脱水剤及びイミド化触媒を低温でポリアミド酸溶液中に混合して製膜ドープを得る。引き続いてこの製膜ドープをガラス板、アルミ箔、エンドレスステンレスベルト、ステンレスドラムなどの支持体上にフィルム状にキャストし、支持体上で80℃〜200℃、好ましくは100℃〜180℃の温度領域で加熱することで脱水剤及びイミド化触媒を活性化することによって部分的に硬化及び/または乾燥した後支持体から剥離してポリアミック酸フィルム(以下、ゲルフィルムという)を得る。   A film forming dope is obtained by mixing a dehydrating agent and an imidization catalyst in a polyamic acid solution at a low temperature. Subsequently, this film-forming dope is cast into a film on a support such as a glass plate, an aluminum foil, an endless stainless steel belt, or a stainless drum, and the temperature on the support is 80 ° C. to 200 ° C., preferably 100 ° C. to 180 ° C. By heating in the region, the dehydrating agent and imidization catalyst are activated to partially cure and / or dry, and then peel from the support to obtain a polyamic acid film (hereinafter referred to as gel film).

ゲルフィルムは、ポリアミド酸からポリイミドへの硬化の中間段階にあり、自己支持性を有し、式(1)
(A−B)×100/B・・・・(1)
式(1)中、A,Bは以下のものを表す。
A:ゲルフィルムの重量
B:ゲルフィルムを450℃で20分間加熱した後の重量
から算出される揮発分含量は5〜500重量%の範囲、好ましくは5〜200重量%、より好ましくは5〜150重量%の範囲にある。この範囲のフィルムを用いることが好適であり、焼成過程でフィルム破断、乾燥ムラによるフィルムの色調ムラ、特性ばらつき等の不具合が起こることがある。
The gel film is in the intermediate stage of curing from polyamic acid to polyimide, has self-supporting properties, and has the formula (1)
(AB) × 100 / B (1)
In formula (1), A and B represent the following.
A: Weight of gel film B: The volatile content calculated from the weight after heating the gel film at 450 ° C. for 20 minutes is in the range of 5 to 500% by weight, preferably 5 to 200% by weight, more preferably 5 to 5%. It is in the range of 150% by weight. It is preferable to use a film in this range, and problems such as film breakage, uneven film color due to drying unevenness, and characteristic variations may occur during the baking process.

脱水剤の好ましい量は、ポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して、0.5〜5モル、好ましくは1.0〜4モルである。また、イミド化触媒の好ましい量はポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して、0.05〜3モル、好ましくは0.2〜2モルである。   The preferable amount of the dehydrating agent is 0.5 to 5 mol, preferably 1.0 to 4 mol, relative to 1 mol of the amic acid unit in the polyamic acid. Moreover, the preferable quantity of an imidation catalyst is 0.05-3 mol with respect to 1 mol of amic acid units in a polyamic acid, Preferably it is 0.2-2 mol.

脱水剤及びイミド化触媒が上記範囲を下回ると化学的イミド化が不十分で、焼成途中で破断したり、機械的強度が低下したりすることがある。また、これらの量が上記範囲を上回ると、イミド化の進行が早くなりすぎ、フィルム状にキャストすることが困難となることがあるため好ましくない。   If the dehydrating agent and the imidization catalyst are below the above ranges, chemical imidization may be insufficient, and may break during firing or mechanical strength may decrease. Moreover, when these amounts exceed the above range, the progress of imidization becomes too fast, and it may be difficult to cast into a film, which is not preferable.

前記ゲルフィルムの端部を固定して硬化時の収縮を回避して乾燥し、水、残留溶媒、残存転化剤及び触媒を除去し、そして残ったアミド酸を完全にイミド化して、本発明のポリイミドフィルムが得られる。この時、最終的に400〜650℃の温度で5〜400秒加熱するのが好ましい。この温度より高い及び/または時間が長いと、フィルムの熱劣化が起こり問題が生じることがある。逆にこの温度より低い及び/または時間が短いと所定の効果が発現しないことがある。   The end of the gel film is fixed to avoid shrinkage during curing, water, residual solvent, residual conversion agent and catalyst are removed, and the remaining amic acid is completely imidized to obtain the present invention. A polyimide film is obtained. At this time, it is preferable to finally heat at a temperature of 400 to 650 ° C. for 5 to 400 seconds. Above this temperature and / or for a long time, the film may suffer from thermal degradation and may cause problems. Conversely, if the temperature is lower than this temperature and / or the time is shorter, the predetermined effect may not be exhibited.

また、フィルム中に残留している内部応力を緩和させるためにフィルムを搬送するに必要最低限の張力下において加熱処理をすることもできる。この加熱処理はフィルム製造工程において行ってもよいし、また、別途この工程を設けても良い。加熱条件はフィルムの特性や用いる装置に応じて変動するため一概に決定することはできないが、一般的には200℃以上500℃以下、好ましくは250℃以上500℃以下、特に好ましくは300℃以上450℃以下の温度で、1〜300秒、好ましくは2〜250秒、特に好ましくは5〜200秒程度の熱処理により内部応力を緩和することができる。   Moreover, in order to relieve the internal stress remaining in the film, heat treatment can be performed under the minimum tension necessary for transporting the film. This heat treatment may be performed in the film manufacturing process, or may be provided separately. The heating conditions vary depending on the characteristics of the film and the apparatus used, and therefore cannot be determined in general. The internal stress can be relaxed by heat treatment at a temperature of 450 ° C. or lower for 1 to 300 seconds, preferably 2 to 250 seconds, particularly preferably 5 to 200 seconds.

上述のように、モノマーの種類、重合時のモノマーの添加順序、選択するイミド化方法等によってポリイミドフィルムの諸特性を以下のように制御することにより、熱ロールラミネートでの使用に適した接着フィルムを得ることができ、金属箔とのラミネートによって寸法安定性に優れたフレキシブル金属張積層板を得ることができる。
1.MD方向の引張弾性率は6.5〜12GPa、好ましくは7〜11GPa
2.50〜200℃における熱膨張係数が3〜20ppm/℃、好ましくは5〜18ppm/℃、特に好ましくは8〜16ppm/℃
ポリイミドフィルムのMD方向の引張弾性率が上記範囲を下回る場合、接着層に含有される熱可塑性ポリイミドのイミド化時または熱ラミネート時において張力の影響を受けやすくなるため、MD方向とTD方向で異なる熱応力が発生し、得られるフレキシブル金属張積層板の寸法変化が大きくなる場合がある。逆に引張弾性率が上記範囲を上回る場合、得られるフレキシブル金属張積層板の屈曲性に劣る場合がある。
As mentioned above, adhesive film suitable for use in hot roll laminating by controlling the various characteristics of the polyimide film as follows depending on the type of monomer, the order of addition of monomers during polymerization, the imidization method selected, etc. A flexible metal-clad laminate having excellent dimensional stability can be obtained by laminating with a metal foil.
1. The tensile modulus in the MD direction is 6.5 to 12 GPa, preferably 7 to 11 GPa
The coefficient of thermal expansion at 2.50 to 200 ° C. is 3 to 20 ppm / ° C., preferably 5 to 18 ppm / ° C., particularly preferably 8 to 16 ppm / ° C.
When the tensile elastic modulus in the MD direction of the polyimide film is lower than the above range, it is easily affected by the tension at the time of imidization or thermal lamination of the thermoplastic polyimide contained in the adhesive layer, so that the MD direction differs from the TD direction. Thermal stress is generated, and the dimensional change of the obtained flexible metal-clad laminate may increase. Conversely, if the tensile modulus exceeds the above range, the flexibility of the resulting flexible metal-clad laminate may be inferior.

ポリイミドフィルムの熱膨張係数が上記範囲を上回る場合、接着層を設けて接着フィルムとした際の熱膨張係数が金属箔よりも大きくなりすぎるため、熱ラミネート時の接着フィルムと金属箔の熱挙動の差が大きくなり、得られるフレキシブル金属張積層板の寸法変化が大きくなる場合がある。熱膨張係数が上記範囲を下回る場合、逆に接着フィルムの熱膨張係数が金属箔よりも小さくなりすぎるため、やはり熱ラミネート時の熱挙動の差が大きくなり、得られるフレキシブル金属張積層板の寸法変化が大きくなる場合がある。   When the thermal expansion coefficient of the polyimide film exceeds the above range, the thermal expansion coefficient when the adhesive film is provided as an adhesive film is too larger than the metal foil, so the thermal behavior of the adhesive film and the metal foil during thermal lamination In some cases, the difference increases and the dimensional change of the resulting flexible metal-clad laminate increases. If the thermal expansion coefficient is below the above range, the adhesive film has a thermal expansion coefficient that is too small compared to the metal foil, so the difference in thermal behavior during thermal lamination is still large, and the dimensions of the resulting flexible metal-clad laminate Changes can be significant.

また、本発明においてはフィルム諸特性が上記範囲にあれば、市販のポリイミドフィルムを用いても良い。一般に市販されているポリイミドフィルムとしては、例えば、アピカル(鐘淵化学工業社製)、カプトン(デュポン社製)、ユーピレックス(宇部興産社製)が挙げられる。   In the present invention, a commercially available polyimide film may be used as long as the film characteristics are within the above ranges. Examples of commercially available polyimide films include Apical (manufactured by Kaneka Chemical Co., Ltd.), Kapton (manufactured by DuPont), and Upilex (manufactured by Ube Industries).

接着層に含有される熱可塑性ポリイミドとしては、熱可塑性ポリイミド、熱可塑性ポリアミドイミド、熱可塑性ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリエステルイミド等を好適に用いることができる。中でも、低吸湿特性の点から、熱可塑性ポリエステルイミドが特に好適に用いられる。   As the thermoplastic polyimide contained in the adhesive layer, thermoplastic polyimide, thermoplastic polyamideimide, thermoplastic polyetherimide, thermoplastic polyesterimide and the like can be suitably used. Among these, thermoplastic polyesterimide is particularly preferably used from the viewpoint of low moisture absorption characteristics.

また、既存の装置でラミネートが可能であり、かつ得られる金属張積層板の耐熱性を損なわないという点から考えると、本発明における熱可塑性ポリイミドは、150〜300℃の範囲にガラス転移温度(Tg)を有していることが好ましい。なお、Tgは動的粘弾性測定装置(DMA)により測定した貯蔵弾性率の変曲点の値により求めることができる。   In view of the fact that lamination with an existing apparatus is possible and the heat resistance of the resulting metal-clad laminate is not impaired, the thermoplastic polyimide in the present invention has a glass transition temperature (150 to 300 ° C.). Tg) is preferred. In addition, Tg can be calculated | required from the value of the inflexion point of the storage elastic modulus measured with the dynamic viscoelasticity measuring apparatus (DMA).

熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸についても、特に限定されるわけではなく、公知のあらゆるポリアミド酸を用いることができる。その製造に関しても、公知の原料や反応条件等を用いることができる(例えば、後述する実施例参照)。また、必要に応じて無機あるいは有機物のフィラーを添加しても良い。   The polyamic acid that is a precursor of the thermoplastic polyimide is not particularly limited, and any known polyamic acid can be used. Also for the production, known raw materials, reaction conditions, and the like can be used (for example, see Examples described later). Moreover, you may add an inorganic or organic filler as needed.

本発明に係るフレキシブル金属張積層板の製造に用いる接着フィルムは、上記絶縁性フィルムの少なくとも片面に熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を設けることにより得られる。接着フィルムの製造方法としては、基材フィルムとなる絶縁性フィルムに接着層を形成する方法、又は接着層をシート状に成形し、これを上記基材フィルムに貼り合わせる方法等が好適に例示され得る。このうち、前者の方法を採る場合、接着層に含有される熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を完全にイミド化してしまうと、有機溶媒への溶解性が低下する場合があることから、基材フィルム上に上記接着層を設けることが困難となることがある。従って、上記観点から、熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を含有する溶液を調製して、これを基材フィルムに塗布し、次いでイミド化する手順を採った方がより好ましい。この時のイミド化の方法としては、熱キュア法若しくはケミカルキュア法のどちらも用いることができる。   The adhesive film used for manufacturing the flexible metal-clad laminate according to the present invention can be obtained by providing an adhesive layer containing thermoplastic polyimide on at least one surface of the insulating film. Suitable examples of the method for producing the adhesive film include a method of forming an adhesive layer on the insulating film to be a base film, or a method of forming the adhesive layer into a sheet and bonding it to the base film. obtain. Among these, when taking the former method, if the polyamic acid that is the precursor of the thermoplastic polyimide contained in the adhesive layer is completely imidized, the solubility in an organic solvent may decrease, It may be difficult to provide the adhesive layer on the base film. Therefore, from the above viewpoint, it is more preferable to prepare a solution containing polyamic acid which is a precursor of thermoplastic polyimide, apply this to a base film, and then imidize. As the imidization method at this time, either a thermal cure method or a chemical cure method can be used.

いずれのイミド化手順を採る場合も、イミド化を効率良く進めるために加熱を行うが、その時の温度は、(熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度−100℃)〜(ガラス転移温度+200℃)の範囲内に設定することが好ましく、(熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度−50℃)〜(ガラス転移温度+150℃)の範囲内に設定することがより好ましい。熱キュアの温度は高い方がイミド化が起こりやすいため、キュア速度を速くすることができ、生産性の面で好ましい。但し、高すぎると熱可塑性ポリイミドが熱分解を起こす可能性がある。一方、熱キュアの温度が低すぎると、ケミカルキュアでもイミド化が進みにくく、キュア工程に要する時間が長くなってしまう。   Regardless of which imidation procedure is employed, heating is performed in order to promote imidization efficiently, and the temperature at that time ranges from (glass transition temperature of thermoplastic polyimide−100 ° C.) to (glass transition temperature + 200 ° C.). It is preferable to set within the range of (Glass transition temperature of thermoplastic polyimide−50 ° C.) to (Glass transition temperature + 150 ° C.). The higher the temperature of the heat curing, the easier the imidization occurs, so the curing speed can be increased, which is preferable in terms of productivity. However, if it is too high, the thermoplastic polyimide may cause thermal decomposition. On the other hand, if the temperature of the heat curing is too low, imidization is difficult to proceed even with chemical curing, and the time required for the curing process becomes long.

イミド化時間に関しては、実質的にイミド化および乾燥が完結するに十分な時間を取ればよく、一義的に限定されるものではないが、一般的には1〜600秒程度の範囲で適宜設定される。また、接着層の熔融流動性を改善する目的で、意図的にイミド化率を低くする及び/又は溶媒を残留させることもできる。   As for the imidization time, it suffices to take a sufficient time for the imidization and drying to be substantially completed, and although it is not uniquely limited, generally it is appropriately set within a range of about 1 to 600 seconds. Is done. Further, for the purpose of improving the melt fluidity of the adhesive layer, it is possible to intentionally lower the imidization rate and / or leave the solvent.

イミド化する際にかける張力としては、1kg/m〜15kg/mの範囲内とすることが好ましく、5kg/m〜10kg/mの範囲内とすることが特に好ましい。張力が上記範囲より小さい場合、フィルム搬送時にたるみや蛇行が生じ、巻取り時にシワが入ったり、均一に巻き取れない等の問題が生じる可能性がある。逆に上記範囲よりも大きい場合、弾性率の高い絶縁性フィルムを用いても張力の影響が強くなり、寸法変化に影響を与える可能性がある。   The tension applied during imidization is preferably in the range of 1 kg / m to 15 kg / m, and particularly preferably in the range of 5 kg / m to 10 kg / m. If the tension is smaller than the above range, sagging or meandering may occur during film conveyance, which may cause problems such as wrinkling during winding or inability to uniformly wind. On the other hand, when it is larger than the above range, even if an insulating film having a high elastic modulus is used, the influence of the tension becomes strong, which may affect the dimensional change.

上記ポリアミド酸溶液を基材フィルムに流延、塗布する方法については特に限定されず、ダイコーター、リバースコーター、ブレードコーター等、既存の方法を使用することができる。   The method for casting and applying the polyamic acid solution to the base film is not particularly limited, and existing methods such as a die coater, a reverse coater, and a blade coater can be used.

また、前記ポリアミド酸溶液には、用途に応じて、例えば、フィラーのような他の材料を含んでもよい。また、必要に応じて、接着層を設ける前にコロナ処理、プラズマ処理、カップリング処理等の各種表面処理をコアフィルム表面に施しても良い。   In addition, the polyamic acid solution may contain other materials such as a filler, depending on the application. In addition, if necessary, various surface treatments such as corona treatment, plasma treatment, and coupling treatment may be performed on the surface of the core film before providing the adhesive layer.

接着フィルム各層の厚み構成については、用途に応じた総厚みになるように適宜調整すれば良いが、得られる接着フィルムのMD方向の引張弾性率が、5.5〜11GPa、好ましくは6.5〜10GPaとなるようにする。引張弾性率が上記範囲を下回る場合、熱ラミネート時において張力の影響を受けやすくなるため、MD方向とTD方向で異なる熱応力が発生し、得られるフレキシブル金属張積層板の寸法変化が大きくなる場合がある。逆に引張弾性率が上記範囲を上回る場合、得られるフレキシブル金属張積層板の屈曲性に劣る場合がある。一般的に、絶縁性フィルムよりも接着層の引張弾性率の方が小さいため、接着層の厚み比率が増えるに従って、接着フィルムの引張弾性率が低下する傾向にある。   The thickness configuration of each layer of the adhesive film may be appropriately adjusted so as to have a total thickness according to the application, but the tensile elastic modulus in the MD direction of the obtained adhesive film is 5.5 to 11 GPa, preferably 6.5. -10 GPa. When the tensile modulus is below the above range, it becomes more susceptible to tension during thermal lamination, so different thermal stresses occur in the MD and TD directions, resulting in a large dimensional change in the resulting flexible metal-clad laminate There is. Conversely, if the tensile modulus exceeds the above range, the flexibility of the resulting flexible metal-clad laminate may be inferior. Generally, since the tensile elastic modulus of the adhesive layer is smaller than that of the insulating film, the tensile elastic modulus of the adhesive film tends to decrease as the thickness ratio of the adhesive layer increases.

また、接着フィルムの熱膨張係数と、貼り合わせる金属箔の熱膨張係数の差が大きくなると、貼り合わせ時の膨張・収縮の挙動の差が大きくなるため、得られるフレキシブル金属張積層板に歪みが残留し、金属箔除去後の寸法変化率が大きくなる場合がある。接着フィルムの熱膨張係数は、200〜300℃における値が、金属箔の熱膨張係数±6ppm/℃の範囲となるように調整することが好ましい。接着フィルムの熱膨張係数は、絶縁性フィルム層と接着層の厚み比率を変更することにより、調整することが可能である。   In addition, if the difference between the thermal expansion coefficient of the adhesive film and the thermal expansion coefficient of the metal foil to be bonded increases, the difference in expansion / contraction behavior at the time of bonding increases, so that the resulting flexible metal-clad laminate is distorted. It may remain, and the rate of dimensional change after removal of the metal foil may increase. The thermal expansion coefficient of the adhesive film is preferably adjusted so that the value at 200 to 300 ° C. is in the range of the thermal expansion coefficient ± 6 ppm / ° C. of the metal foil. The thermal expansion coefficient of the adhesive film can be adjusted by changing the thickness ratio between the insulating film layer and the adhesive layer.

本発明に係るフレキシブル金属張積層板は、上記接着フィルムに金属箔を貼り合わせることにより得られる。使用する金属箔としては特に限定されるものではないが、電子機器・電気機器用途に本発明のフレキシブル金属張積層板を用いる場合には、例えば、銅若しくは銅合金、ステンレス鋼若しくはその合金、ニッケル若しくはニッケル合金(42合金も含む)、アルミニウム若しくはアルミニウム合金からなる箔を挙げることができる。一般的なフレキシブル金属張積層板では、圧延銅箔、電解銅箔といった銅箔が多用されるが、本発明においても好ましく用いることができる。なお、これらの金属箔の表面には、防錆層や耐熱層あるいは接着層が塗布されていてもよい。   The flexible metal-clad laminate according to the present invention can be obtained by bonding a metal foil to the adhesive film. The metal foil to be used is not particularly limited, but when the flexible metal-clad laminate of the present invention is used for electronic equipment / electric equipment, for example, copper or copper alloy, stainless steel or its alloy, nickel Alternatively, a foil made of a nickel alloy (including 42 alloy), aluminum, or an aluminum alloy can be used. In general flexible metal-clad laminates, copper foil such as rolled copper foil and electrolytic copper foil is frequently used, but it can also be preferably used in the present invention. In addition, the antirust layer, the heat-resistant layer, or the contact bonding layer may be apply | coated to the surface of these metal foil.

本発明において、上記金属箔の厚みについては特に限定されるものではなく、その用途に応じて、十分な機能が発揮できる厚みであればよい。接着フィルムと金属箔の貼り合わせ方法としては、例えば、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置或いはダブルベルトプレス(DBP)による連続処理を用いることができる。中でも、装置構成が単純であり保守コストの面で有利であるという点から、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いることが好ましい。ここでいう「一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置」とは、材料を加熱加圧するための金属ロールを有している装置であればよく、その具体的な装置構成は特に限定されるものではない。   In the present invention, the thickness of the metal foil is not particularly limited, and may be any thickness as long as a sufficient function can be exhibited depending on the application. As a method for bonding the adhesive film and the metal foil, for example, a heat roll laminating apparatus having a pair of metal rolls or a continuous process using a double belt press (DBP) can be used. Among these, it is preferable to use a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls because the apparatus configuration is simple and advantageous in terms of maintenance cost. The “heat roll laminating apparatus having a pair of metal rolls” herein may be an apparatus having a metal roll for heating and pressurizing a material, and the specific apparatus configuration is particularly limited. It is not a thing.

上記熱ラミネートを実施する手段の具体的な構成は特に限定されるものではないが、得られる積層板の外観を良好なものとするために、加圧面と金属箔との間に保護材料を配置することが好ましい。保護材料としては、熱ラミネート工程の加熱温度に耐えうるものであれば特に限定されず、非熱可塑性ポリイミドフィルム等の耐熱性プラスチック、銅箔、アルミニウム箔、SUS箔等の金属箔等を好適に用いることができる。中でも、耐熱性、再使用性等のバランスが優れる点から、非熱可塑性ポリイミドフィルムがより好ましく用いられる。また、厚みが薄いとラミネート時の緩衝ならびに保護の役目を十分に果たさなくなるため、非熱可塑性ポリイミドフィルムの厚みは75μm以上であることが好ましい。   The specific configuration of the means for carrying out the thermal lamination is not particularly limited, but a protective material is disposed between the pressing surface and the metal foil in order to improve the appearance of the resulting laminate. It is preferable to do. The protective material is not particularly limited as long as it can withstand the heating temperature in the heat laminating process, and preferably a heat-resistant plastic such as a non-thermoplastic polyimide film, a metal foil such as a copper foil, an aluminum foil, or a SUS foil. Can be used. Among these, a non-thermoplastic polyimide film is more preferably used from the viewpoint of excellent balance between heat resistance and reusability. In addition, if the thickness is thin, the function of buffering and protecting at the time of lamination will not be sufficiently fulfilled, so the thickness of the non-thermoplastic polyimide film is preferably 75 μm or more.

また、この保護材料は必ずしも1層である必要はなく、異なる特性を有する2層以上の多層構造でも良い。   Further, the protective material does not necessarily have to be a single layer, and may have a multilayer structure of two or more layers having different characteristics.

上記熱ラミネート手段における被積層材料の加熱方式は特に限定されるものではなく、例えば、熱循環方式、熱風加熱方式、誘導加熱方式等、所定の温度で加熱し得る従来公知の方式を採用した加熱手段を用いることができる。同様に、上記熱ラミネート手段における被積層材料の加圧方式も特に限定されるものではなく、例えば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等、所定の圧力を加えることができる従来公知の方式を採用した加圧手段を用いることができる。   The heating method of the material to be laminated in the heat laminating means is not particularly limited. For example, heating using a conventionally known method capable of heating at a predetermined temperature, such as a heat circulation method, a hot air heating method, an induction heating method, or the like. Means can be used. Similarly, the pressurization method of the material to be laminated in the heat laminating means is not particularly limited, and a conventionally known method capable of applying a predetermined pressure such as a hydraulic method, a pneumatic method, a gap pressure method, etc. The pressurizing means adopting can be used.

上記熱ラミネート工程における加熱温度、すなわちラミネート温度は、接着フィルムのガラス転移温度(Tg)+50℃以上の温度であることが好ましく、接着フィルムのTg+100℃以上がより好ましい。Tg+50℃以上の温度であれば、接着フィルムと金属箔とを良好に熱ラミネートすることができる。またTg+100℃以上であれば、ラミネート速度を上昇させてその生産性をより向上させることができる。   The heating temperature in the thermal laminating step, that is, the laminating temperature, is preferably a glass transition temperature (Tg) of the adhesive film + 50 ° C. or higher, and more preferably Tg + 100 ° C. or higher of the adhesive film. If it is Tg + 50 degreeC or more temperature, an adhesive film and metal foil can be heat-laminated favorably. Moreover, if it is Tg + 100 degreeC or more, the lamination speed | rate can be raised and the productivity can be improved more.

上記熱ラミネート工程におけるラミネート速度は、0.5m/分以上であることが好ましく、1.0m/分以上であることがより好ましい。0.5m/分以上であれば十分な熱ラミネートが可能になり、1.0m/分以上であれば生産性をより一層向上することができる。   The laminating speed in the thermal laminating step is preferably 0.5 m / min or more, and more preferably 1.0 m / min or more. If it is 0.5 m / min or more, sufficient thermal lamination is possible, and if it is 1.0 m / min or more, productivity can be further improved.

上記熱ラミネート工程における圧力、すなわちラミネート圧力は、高ければ高いほどラミネート温度を低く、かつラミネート速度を速くすることができる利点があるが、一般にラミネート圧力が高すぎると得られる積層板の寸法変化が悪化する傾向がある。また、逆にラミネート圧力が低すぎると得られる積層板の金属箔の接着強度が低くなる。そのためラミネート圧力は、49〜490N/cm(5〜50kgf/cm)の範囲内であることが好ましく、98〜294N/cm(10〜30kgf/cm)の範囲内であることがより好ましい。この範囲内であれば、ラミネート温度、ラミネート速度およびラミネート圧力の三条件を良好なものにすることができ、生産性をより一層向上することができる。   The higher the pressure in the heat laminating step, that is, the laminating pressure, is advantageous in that the laminating temperature can be lowered and the laminating speed can be increased. There is a tendency to get worse. On the other hand, if the lamination pressure is too low, the adhesive strength of the metal foil of the laminate obtained is lowered. Therefore, the lamination pressure is preferably in the range of 49 to 490 N / cm (5 to 50 kgf / cm), and more preferably in the range of 98 to 294 N / cm (10 to 30 kgf / cm). Within this range, the three conditions of the lamination temperature, the lamination speed and the lamination pressure can be made favorable, and the productivity can be further improved.

上記ラミネート工程における接着フィルム張力は、0.01〜4N/cm、さらには0.02〜2.5N/cm、特には0.05〜1.5N/cmが好ましい。張力が上記範囲を下回ると、ラミネートの搬送時にたるみや蛇行が生じ、均一に加熱ロールに送り込まれないために外観の良好なフレキシブル金属張積層板を得ることが困難となる可能性がある。逆に、上記範囲を上回ると、接着層のTgと貯蔵弾性率の制御では緩和できないほど張力の影響が強くなり、寸法安定性が劣る可能性がある。   The adhesive film tension in the laminating step is preferably 0.01 to 4 N / cm, more preferably 0.02 to 2.5 N / cm, and particularly preferably 0.05 to 1.5 N / cm. When the tension is below the above range, sagging or meandering occurs during the conveyance of the laminate, and it is difficult to obtain a flexible metal-clad laminate having a good appearance because it is not uniformly fed to the heating roll. On the other hand, if it exceeds the above range, the influence of the tension becomes so strong that it cannot be relaxed by controlling the Tg and storage elastic modulus of the adhesive layer, and the dimensional stability may be inferior.

本発明にかかるフレキシブル金属張積層板を得るためには、連続的に被積層材料を加熱しながら圧着する熱ラミネート装置を用いることが好ましいが、この熱ラミネート装置では、熱ラミネート手段の前段に、被積層材料を繰り出す被積層材料繰出手段を設けてもよいし、熱ラミネート手段の後段に、被積層材料を巻き取る被積層材料巻取手段を設けてもよい。これらの手段を設けることで、上記熱ラミネート装置の生産性をより一層向上させることができる。上記被積層材料繰出手段および被積層材料巻取手段の具体的な構成は特に限定されるものではなく、例えば、接着フィルムや金属箔、あるいは得られる積層板を巻き取ることのできる公知のロール状巻取機等を挙げることができる。   In order to obtain the flexible metal-clad laminate according to the present invention, it is preferable to use a thermal laminating apparatus that continuously press-bonds the material to be laminated while heating, but in this thermal laminating apparatus, before the thermal laminating means, A laminated material feeding means for feeding the laminated material may be provided, or a laminated material winding means for winding the laminated material may be provided after the thermal laminating means. By providing these means, the productivity of the thermal laminating apparatus can be further improved. The specific configuration of the laminated material feeding means and the laminated material winding means is not particularly limited, and for example, an adhesive film, a metal foil, or a known roll shape capable of winding up the obtained laminated plate A winder etc. can be mentioned.

さらに、保護材料を巻き取ったり繰り出したりする保護材料巻取手段や保護材料繰出手段を設けると、より好ましい。これら保護材料巻取手段・保護材料繰出手段を備えていれば、熱ラミネート工程で、一度使用された保護材料を巻き取って繰り出し側に再度設置することで、保護材料を再使用することができる。また、保護材料を巻き取る際に、保護材料の両端部を揃えるために、端部位置検出手段および巻取位置修正手段を設けてもよい。これによって、精度よく保護材料の端部を揃えて巻き取ることができるので、再使用の効率を高めることができる。なお、これら保護材料巻取手段、保護材料繰出手段、端部位置検出手段および巻取位置修正手段の具体的な構成は特に限定されるものではなく、従来公知の各種装置を用いることができる。   Furthermore, it is more preferable to provide a protective material winding means and a protective material feeding means for winding and feeding the protective material. If these protective material take-up means and protective material feeding means are provided, the protective material can be reused by winding the protective material once used in the thermal laminating step and installing it again on the pay-out side. . Further, when winding up the protective material, end position detecting means and winding position correcting means may be provided in order to align both ends of the protective material. As a result, the end portions of the protective material can be aligned and wound with high accuracy, so that the efficiency of reuse can be increased. The specific configurations of the protective material winding means, the protective material feeding means, the end position detecting means, and the winding position correcting means are not particularly limited, and various conventionally known devices can be used.

本発明にかかる製造方法により得られるフレキシブル金属張積層板においては、金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の加熱を行う前後の寸法変化率の合計値が、MD方向、TD方向共に−0.08〜+0.08%の範囲にあることが非常に好ましい。金属箔除去前後の寸法変化率は、エッチング工程前のフレキシブル金属張積層板における所定の寸法およびエッチング工程後の所定の寸法の差分と、上記エッチング工程前の所定の寸法との比で表される。加熱前後の寸法変化率は、エッチング工程後のフレキシブル金属張積層板における所定の寸法および加熱工程後の所定の寸法の差分と、上記加熱工程前の所定の寸法との比で表される。   In the flexible metal-clad laminate obtained by the manufacturing method according to the present invention, the dimensional change rate before and after removing the metal foil, and the total value of the dimensional change rate before and after heating at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil. However, it is very preferable that both the MD direction and the TD direction are in the range of -0.08 to + 0.08%. The rate of dimensional change before and after removal of the metal foil is expressed as a ratio between a difference between a predetermined dimension in the flexible metal-clad laminate before the etching process and a predetermined dimension after the etching process and a predetermined dimension before the etching process. . The dimensional change rate before and after heating is represented by a ratio between a difference between a predetermined dimension in the flexible metal-clad laminate after the etching process and a predetermined dimension after the heating process and a predetermined dimension before the heating process.

寸法変化率がこの範囲内から外れると、フレキシブル金属張積層板において、微細な配線を形成した後、ならびに部品搭載時の寸法変化が大きくなってしまい、設計段階での部品搭載位置からずれることになる。その結果、実装する部品と基板とが良好に接続されなくなるおそれがある。換言すれば、寸法変化率が上記範囲内であれば、部品搭載に支障がないと見なすことが可能になる。   If the dimensional change rate is out of this range, the dimensional change at the time of component mounting becomes large after forming fine wiring in the flexible metal-clad laminate, and it will deviate from the component mounting position at the design stage. Become. As a result, there is a possibility that the component to be mounted and the board are not connected well. In other words, if the rate of dimensional change is within the above range, it can be considered that there is no problem in component mounting.

上記寸法変化率の測定方法は特に限定されるものではなく、フレキシブル金属張積層板において、エッチングまたは加熱工程の前後に生じる寸法の増減を測定できる方法であれば、従来公知のどのような方法でも用いることができる。   The method for measuring the dimensional change rate is not particularly limited, and any method known in the art can be used as long as it can measure the increase or decrease in dimensions that occurs before and after the etching or heating process in the flexible metal-clad laminate. Can be used.

ここで、寸法変化率の測定は、MD方向、TD方向の双方について測定することが必須となる。連続的にイミド化ならびにラミネートする場合、MD方向およびTD方向では張力のかかり方が異なるため、熱膨張・収縮の度合いに差が現れ、寸法変化率も異なる。したがって、寸法変化率の小さい材料では、MD方向およびTD方向の双方ともに変化率が小さいことが要求される。本発明においては、フレキシブル金属張積層板の、金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の加熱を行う前後の寸法変化率の合計値が、MD方向、TD方向共に−0.08〜+0.08%の範囲にあることが非常に好ましい。   Here, it is essential to measure the dimensional change rate in both the MD direction and the TD direction. When imidizing and laminating continuously, the tension is different in the MD direction and the TD direction, so a difference appears in the degree of thermal expansion / contraction and the dimensional change rate is also different. Therefore, a material having a small dimensional change rate is required to have a low change rate in both the MD direction and the TD direction. In the present invention, the dimensional change rate before and after removing the metal foil of the flexible metal-clad laminate, and the total value of the dimensional change rate before and after heating at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil are MD direction, It is very preferable that the TD direction is in the range of -0.08 to + 0.08%.

なお、寸法変化率を測定する際のエッチング工程の具体的な条件は特に限定されるものではない。すなわち、金属箔の種類や形成されるパターン配線の形状等に応じてエッチング条件は異なるので、本発明において寸法変化率を測定する際のエッチング工程の条件は従来公知のどのような条件であってもよい。同様に、加熱工程においても、250℃で30分間加熱がなされれば良く、具体的な条件は特に限定されない。   In addition, the specific conditions of the etching process at the time of measuring a dimensional change rate are not specifically limited. That is, since the etching conditions differ depending on the type of metal foil and the shape of the pattern wiring to be formed, the etching process conditions for measuring the dimensional change rate in the present invention are any conventionally known conditions. Also good. Similarly, in the heating process, it is sufficient that heating is performed at 250 ° C. for 30 minutes, and specific conditions are not particularly limited.

本発明にかかる製造方法によって得られるフレキシブル金属張積層板は、前述したように、金属箔をエッチングして所望のパターン配線を形成すれば、各種の小型化、高密度化された部品を実装したフレキシブル配線板として用いることができる。もちろん、本発明の用途はこれに限定されるものではなく、金属箔を含む積層体であれば、種々の用途に利用できることはいうまでもない。   As described above, the flexible metal-clad laminate obtained by the manufacturing method according to the present invention can be mounted with various miniaturized and high-density components by forming a desired pattern wiring by etching the metal foil. It can be used as a flexible wiring board. Of course, the application of the present invention is not limited to this, and it goes without saying that it can be used for various applications as long as it is a laminate including a metal foil.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited only to these Examples.

なお、合成例、実施例及び比較例における熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度、ポリイミドフィルムならびに接着フィルムの引張弾性率、接着フィルムの熱膨張係数、フレキシブル積層板の寸法変化率、金属箔引き剥し強度の評価法は次の通りである。   In addition, the glass transition temperature of the thermoplastic polyimide in the synthesis examples, examples and comparative examples, the tensile elastic modulus of the polyimide film and the adhesive film, the thermal expansion coefficient of the adhesive film, the dimensional change rate of the flexible laminate, and the peel strength of the metal foil The evaluation method is as follows.

(ガラス転移温度)
ガラス転移温度は、セイコーインスツルメンツ社製 DMS200により、昇温速度3℃/分にて、室温から400℃までの温度範囲で測定し、貯蔵弾性率の変曲点をガラス転移温度とした。
(Glass-transition temperature)
The glass transition temperature was measured with a DMS200 manufactured by Seiko Instruments Inc. at a temperature rising rate of 3 ° C./min in a temperature range from room temperature to 400 ° C., and the inflection point of the storage elastic modulus was taken as the glass transition temperature.

(引張弾性率)
引張弾性率は、JIS K7127「プラスチック 引張特性の試験方法」に従って、測定を行った。なお、測定はフィルムのMD方向に対して行った。
(Tensile modulus)
The tensile elastic modulus was measured according to JIS K7127 “Plastic tensile property test method”. In addition, the measurement was performed with respect to the MD direction of the film.

(熱膨張係数)
絶縁性フィルムの熱膨張係数は、セイコーインスツルメント社製熱機械的分析装置、商品名:TMA(Thermomechanical Analyzer)120Cにより、窒素気流下、昇温速度10℃/分にて、10℃から330℃までの温度範囲で測定した後、50〜200℃の範囲内の平均値を求めた。接着フィルムの熱膨張係数は、200〜300℃の範囲内の平均値を求めた。
(Coefficient of thermal expansion)
The thermal expansion coefficient of the insulating film was 10 ° C. to 330 ° C. at a temperature rising rate of 10 ° C./min under a nitrogen stream using a thermomechanical analyzer (trade name: TMA (Thermomechanical Analyzer) 120C manufactured by Seiko Instruments Inc.). After measuring in the temperature range up to ° C., the average value in the range of 50 to 200 ° C. was determined. The thermal expansion coefficient of the adhesive film was determined as an average value in the range of 200 to 300 ° C.

(寸法変化率)
JIS C6481に基づいて、フレキシブル積層板に4つの穴を形成し、各穴のそれぞれの距離を測定した。次に、エッチング工程を実施してフレキシブル積層板から金属箔を除去した後に、20℃、60%R.H.の恒温室に24時間放置した。その後、エッチング工程前と同様に、上記4つの穴について、それぞれの距離を測定した。金属箔除去前における各穴の距離の測定値をD1とし、金属箔除去後における各穴の距離の測定値をD2として、次式によりエッチング前後の寸法変化率を求めた。
寸法変化率(%)={(D2−D1)/D1}×100
続いて、エッチング後の測定サンプルを250℃で30分加熱した後、20℃、60%R.H.の恒温室に24時間放置した。その後、上記4つの穴について、それぞれの距離を測定した。加熱後における各穴の距離の測定値をD3として、次式により加熱前後の寸法変化率を求めた。
寸法変化率(%)={(D3−D2)/D2}×100
なお、上記寸法変化率は、MD方向及びTD方向の双方について測定した。
(Dimensional change rate)
Based on JIS C6481, four holes were formed in the flexible laminate, and the distance of each hole was measured. Next, after carrying out an etching process to remove the metal foil from the flexible laminate, 20 ° C., 60% R.D. H. Left in a constant temperature room for 24 hours. Then, each distance was measured about the said four holes similarly to the etching process front. The measured value of the distance between the holes before removing the metal foil was set as D1, and the measured value of the distance between the holes after removing the metal foil was set as D2, and the dimensional change rate before and after etching was obtained by the following equation.
Dimensional change rate (%) = {(D2-D1) / D1} × 100
Subsequently, the measurement sample after etching was heated at 250 ° C. for 30 minutes, and then 20 ° C. and 60% R.D. H. Left in a constant temperature room for 24 hours. Then, each distance was measured about the said four holes. The measured value of the distance of each hole after heating was set to D3, and the dimensional change rate before and after heating was obtained by the following formula.
Dimensional change rate (%) = {(D3-D2) / D2} × 100
In addition, the said dimensional change rate was measured about both MD direction and TD direction.

(金属箔の引き剥がし強度:接着強度)
JIS C6471の「6.5 引きはがし強さ」に従って、サンプルを作製し、5mm幅の金属箔部分を、180度の剥離角度、50mm/分の条件で剥離し、その荷重を測定した。
(Stripping strength of metal foil: Adhesive strength)
A sample was prepared according to “6.5 Peel Strength” of JIS C6471, and a 5 mm wide metal foil part was peeled off at a peeling angle of 180 degrees and 50 mm / min, and the load was measured.

(合成例1;ポリイミドフィルムの合成)
10℃に冷却したN,N−ジメチルホルムアミド(以下、DMFともいう)239kgに4,4’−オキシジアニリン(以下、ODAともいう)6.9kg、p−フェニレンジアミン(以下、p−PDAともいう)6.2kg、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン(以下、BAPPともいう)9.4kgを溶解した後、ピロメリット酸二無水物(以下、PMDAともいう)10.4kgを添加し1時間撹拌して溶解させた。ここに、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(以下、BTDAともいう)20.3kgを添加し1時間撹拌させて溶解させた。
(Synthesis Example 1; synthesis of polyimide film)
239 kg of N, N-dimethylformamide (hereinafter also referred to as DMF) cooled to 10 ° C., 6.9 kg of 4,4′-oxydianiline (hereinafter also referred to as ODA), p-phenylenediamine (hereinafter also referred to as p-PDA) After dissolving 9.4 kg of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (hereinafter also referred to as BAPP) 6.2 kg, pyromellitic dianhydride (hereinafter also referred to as PMDA). ) 10.4 kg was added and dissolved by stirring for 1 hour. To this, 20.3 kg of benzophenone tetracarboxylic dianhydride (hereinafter also referred to as BTDA) was added and dissolved by stirring for 1 hour.

別途調製しておいたPMDAのDMF溶液(PMDA:DMF=0.9kg:7.0kg)を上記反応液に徐々に添加し、粘度が3000ポイズ程度に達したところで添加を止めた。1時間撹拌を行って固形分濃度18重量%、23℃での回転粘度が3500ポイズのポリアミド酸溶液を得た。   A separately prepared DMF solution of PMDA (PMDA: DMF = 0.9 kg: 7.0 kg) was gradually added to the reaction solution, and the addition was stopped when the viscosity reached about 3000 poise. Stirring was performed for 1 hour to obtain a polyamic acid solution having a solid content concentration of 18% by weight and a rotational viscosity at 23 ° C. of 3500 poise.

このポリアミド酸溶液に、無水酢酸/イソキノリン/DMF(重量比4.0/1.0/4.0)からなる硬化剤をポリアミド酸溶液に対して重量比25%で連続的にミキサーで攪拌しTダイから押出してダイの下20mmを走行しているステンレス製のエンドレスベルト上に流延した。この樹脂膜を130℃×100秒で加熱した後エンドレスベルトから自己支持性のゲル膜を引き剥がして(揮発分含量30重量%)テンタークリップに固定し、300℃×30秒、400℃×30秒、500℃×30秒で乾燥・イミド化させ17μmのポリイミドフィルムを得た。
引張弾性率 7.1GPa
熱膨張係数 13ppm/℃
In this polyamic acid solution, a curing agent composed of acetic anhydride / isoquinoline / DMF (weight ratio 4.0 / 1.0 / 4.0) was continuously stirred with a mixer at a weight ratio of 25% with respect to the polyamic acid solution. It was extruded from a T die and cast onto a stainless endless belt running 20 mm below the die. After heating this resin film at 130 ° C. × 100 seconds, the self-supporting gel film is peeled off from the endless belt (volatile content 30% by weight) and fixed to the tenter clip, 300 ° C. × 30 seconds, 400 ° C. × 30 Second, and dried and imidized at 500 ° C. for 30 seconds to obtain a 17 μm polyimide film.
Tensile modulus 7.1 GPa
Thermal expansion coefficient 13ppm / ° C

(合成例2;ポリイミドフィルムの合成)
10℃に冷却したDMF239kgにODAを12.6kg、p−PDAを6.8kg溶解した後、PMDAを15.6kg添加し1時間撹拌させて溶解させた。続いて、BTDAを12.2kg添加し1時間撹拌させて溶解させた。ここに、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)(以下、TMHQともいう)5.8kgを添加し、2時間撹拌して溶解させた。
(Synthesis Example 2: Synthesis of polyimide film)
After dissolving 12.6 kg of ODA and 6.8 kg of p-PDA in 239 kg of DMF cooled to 10 ° C., 15.6 kg of PMDA was added and stirred for 1 hour to dissolve. Subsequently, 12.2 kg of BTDA was added and stirred for 1 hour to dissolve. To this, 5.8 kg of p-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride) (hereinafter also referred to as TMHQ) was added and dissolved by stirring for 2 hours.

別途調製しておいたPMDAのDMF溶液(PMDA:DMF=0.9kg:7.0kg)を上記反応液に徐々に添加し、粘度が3000ポイズ程度に達したところで添加を止めた。1時間撹拌を行って固形分濃度18重量%、23℃での回転粘度が3500ポイズのポリアミド酸溶液を得た。   A separately prepared DMF solution of PMDA (PMDA: DMF = 0.9 kg: 7.0 kg) was gradually added to the reaction solution, and the addition was stopped when the viscosity reached about 3000 poise. Stirring was performed for 1 hour to obtain a polyamic acid solution having a solid content concentration of 18% by weight and a rotational viscosity at 23 ° C. of 3500 poise.

このポリアミド酸溶液に、無水酢酸/イソキノリン/DMF(重量比4.0/1.0/4.0)からなる硬化剤をポリアミド酸溶液に対して重量比25%で連続的にミキサーで攪拌しTダイから押出してダイの下20mmを走行しているステンレス製のエンドレスベルト上に流延した。この樹脂膜を130℃×100秒で加熱した後エンドレスベルトから自己支持性のゲル膜を引き剥がして(揮発分含量30重量%)テンタークリップに固定し、300℃×30秒、400℃×30秒、500℃×30秒で乾燥・イミド化させ16μmのポリイミドフィルムを得た。
引張弾性率 7.6GPa
熱膨張係数 9ppm/℃
In this polyamic acid solution, a curing agent composed of acetic anhydride / isoquinoline / DMF (weight ratio 4.0 / 1.0 / 4.0) was continuously stirred with a mixer at a weight ratio of 25% with respect to the polyamic acid solution. It was extruded from a T die and cast onto a stainless endless belt running 20 mm below the die. After heating this resin film at 130 ° C. × 100 seconds, the self-supporting gel film is peeled off from the endless belt (volatile content 30% by weight) and fixed to the tenter clip, 300 ° C. × 30 seconds, 400 ° C. × 30 Second, and dried and imidized at 500 ° C. for 30 seconds to obtain a 16 μm polyimide film.
Tensile modulus 7.6 GPa
Thermal expansion coefficient 9ppm / ° C

(合成例3;ポリイミドフィルムの合成)
10℃に冷却したDMF221kgにODA4.9kg、4,4’−ジアミノベンズアニリド(以下、DABAともいう)22.3kgを溶解した後、PMDA26.0kgを添加し1時間撹拌して溶解させた。
(Synthesis Example 3; Synthesis of polyimide film)
In 221 kg of DMF cooled to 10 ° C., 4.9 kg of ODA and 22.3 kg of 4,4′-diaminobenzanilide (hereinafter also referred to as DABA) were dissolved, and then 26.0 kg of PMDA was added and stirred for 1 hour to dissolve.

別途調製しておいたPMDAのDMF溶液(PMDA:DMF=0.80kg:10.0kg)を上記反応液に徐々に添加し、粘度が3000ポイズ程度に達したところで添加を止めた。1時間撹拌を行って固形分濃度18重量%、23℃での回転粘度が3500ポイズのポリアミド酸溶液を得た。   A separately prepared DMF solution of PMDA (PMDA: DMF = 0.80 kg: 10.0 kg) was gradually added to the reaction solution, and the addition was stopped when the viscosity reached about 3000 poise. Stirring was performed for 1 hour to obtain a polyamic acid solution having a solid content concentration of 18% by weight and a rotational viscosity at 23 ° C. of 3500 poise.

このポリアミド酸溶液に、無水酢酸/ピリジン/DMF(重量比4.0/1.0/4.0)からなる硬化剤をポリアミド酸溶液に対して重量比10%で連続的にミキサーで攪拌しTダイから押出してダイの下20mmを走行しているステンレス製のエンドレスベルト上に流延した。この樹脂膜を115℃×100秒で加熱した後エンドレスベルトから自己支持性のゲル膜を引き剥がして(揮発分含量40重量%)テンタークリップに固定し、200℃×30秒、300℃×30秒、350℃×30秒、450℃×30秒で乾燥・イミド化させ12μmのポリイミドフィルムを得た。
引張弾性率 10.8GPa
熱膨張係数 5ppm/℃
In this polyamic acid solution, a curing agent composed of acetic anhydride / pyridine / DMF (weight ratio 4.0 / 1.0 / 4.0) was continuously stirred with a mixer at a weight ratio of 10% with respect to the polyamic acid solution. It was extruded from a T die and cast onto a stainless endless belt running 20 mm below the die. The resin film was heated at 115 ° C. for 100 seconds, and then the self-supporting gel film was peeled off from the endless belt (volatile content 40% by weight) and fixed to the tenter clip, 200 ° C. × 30 seconds, 300 ° C. × 30 Second, 350 ° C. × 30 seconds, 450 ° C. × 30 seconds, and dried and imidized to obtain a 12 μm polyimide film.
Tensile modulus 10.8GPa
Thermal expansion coefficient 5ppm / ° C

(合成例4;ポリイミドフィルムの合成)
10℃に冷却したDMF187kgにODA21.1kgを溶解した後、PMDA30.6kgを添加し1時間撹拌して溶解させた。ここに、p−PDA3.78kgを添加し1時間撹拌させて溶解させた。
(Synthesis Example 4: Synthesis of polyimide film)
After 21.1 kg of ODA was dissolved in 187 kg of DMF cooled to 10 ° C., 30.6 kg of PMDA was added and dissolved by stirring for 1 hour. To this, 3.78 kg of p-PDA was added and stirred for 1 hour to dissolve.

別途調製しておいたp−PDAのDMF溶液(PMDA:DMF=3.78kg:38.0kg)を上記反応液に徐々に添加し、粘度が3000ポイズ程度に達したところで添加を止めた。1時間撹拌を行って固形分濃度18重量%、23℃での回転粘度が3400ポイズのポリアミド酸溶液を得た。   A separately prepared DMF solution of p-PDA (PMDA: DMF = 3.78 kg: 38.0 kg) was gradually added to the reaction solution, and the addition was stopped when the viscosity reached about 3000 poise. Stirring was conducted for 1 hour to obtain a polyamic acid solution having a solid content concentration of 18% by weight and a rotational viscosity at 23 ° C. of 3400 poise.

このポリアミド酸溶液に、無水酢酸/イソキノリン/DMF(重量比4.0/1.0/4.0)からなる硬化剤をポリアミド酸溶液に対して重量比25%で連続的にミキサーで攪拌しTダイから押出してダイの下20mmを走行しているステンレス製のエンドレスベルト上に流延した。この樹脂膜を130℃×100秒で加熱した後エンドレスベルトから自己支持性のゲル膜を引き剥がして(揮発分含量30重量%)テンタークリップに固定し、300℃×30秒、400℃×30秒、500℃×30秒で乾燥・イミド化させ25μmのポリイミドフィルムを得た。
引張弾性率 4.1GPa
熱膨張係数 16ppm/℃
In this polyamic acid solution, a curing agent composed of acetic anhydride / isoquinoline / DMF (weight ratio 4.0 / 1.0 / 4.0) was continuously stirred with a mixer at a weight ratio of 25% with respect to the polyamic acid solution. It was extruded from a T die and cast onto a stainless endless belt running 20 mm below the die. After heating this resin film at 130 ° C. × 100 seconds, the self-supporting gel film is peeled off from the endless belt (volatile content 30% by weight) and fixed to the tenter clip, 300 ° C. × 30 seconds, 400 ° C. × 30 Second, and dried and imidized at 500 ° C. for 30 seconds to obtain a 25 μm polyimide film.
Tensile modulus 4.1 GPa
Thermal expansion coefficient 16ppm / ° C

(合成例5;ポリイミドフィルムの合成)
10℃に冷却したDMF236kgにODA25.8kgを溶解した後、PMDA27.4kgを添加し1時間撹拌して溶解させた。
(Synthesis Example 5: Synthesis of polyimide film)
After 25.8 kg of ODA was dissolved in 236 kg of DMF cooled to 10 ° C., 27.4 kg of PMDA was added and stirred for 1 hour to dissolve.

別途調製しておいたPMDAのDMF溶液(PMDA:DMF=0.90kg:10.2kg)を上記反応液に徐々に添加し、粘度が3000ポイズ程度に達したところで添加を止めた。1時間撹拌を行って固形分濃度18重量%、23℃での回転粘度が3400ポイズのポリアミド酸溶液を得た。   A separately prepared DMF solution of PMDA (PMDA: DMF = 0.90 kg: 10.2 kg) was gradually added to the reaction solution, and the addition was stopped when the viscosity reached about 3000 poise. Stirring was conducted for 1 hour to obtain a polyamic acid solution having a solid content concentration of 18% by weight and a rotational viscosity at 23 ° C. of 3400 poise.

このポリアミド酸溶液に、無水酢酸/イソキノリン/DMF(重量比4.0/1.0/4.0)からなる硬化剤をポリアミド酸溶液に対して重量比25%で連続的にミキサーで攪拌しTダイから押出してダイの下20mmを走行しているステンレス製のエンドレスベルト上に流延した。この樹脂膜を130℃×100秒で加熱した後エンドレスベルトから自己支持性のゲル膜を引き剥がして(揮発分含量30重量%)テンタークリップに固定し、300℃×30秒、400℃×30秒、500℃×30秒で乾燥・イミド化させ25μmのポリイミドフィルムを得た。
引張弾性率 3.2GPa
熱膨張係数 32ppm/℃
In this polyamic acid solution, a curing agent composed of acetic anhydride / isoquinoline / DMF (weight ratio 4.0 / 1.0 / 4.0) was continuously stirred with a mixer at a weight ratio of 25% with respect to the polyamic acid solution. It was extruded from a T die and cast onto a stainless endless belt running 20 mm below the die. After heating this resin film at 130 ° C. × 100 seconds, the self-supporting gel film is peeled off from the endless belt (volatile content 30% by weight) and fixed to the tenter clip, 300 ° C. × 30 seconds, 400 ° C. × 30 Second, and dried and imidized at 500 ° C. for 30 seconds to obtain a 25 μm polyimide film.
Tensile modulus 3.2 GPa
Coefficient of thermal expansion 32ppm / ° C

(合成例6;熱可塑性ポリイミド前駆体の合成)
容量2000mlのガラス製フラスコにDMFを780g、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン(以下、BAPSともいう。)を117.2g加え、窒素雰囲気下で攪拌しながら、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(以下、BPDAともいう。)を71.7g徐々に添加した。続いて、3,3’,4,4’−エチレングリコールジベンゾエートテトラカルボン酸二無水物(以下、TMEGともいう。)を5.6g添加し、氷浴下で30分間撹拌した。5.5gのTMEGを20gのDMFに溶解させた溶液を別途調製し、これを上記反応溶液に、粘度に注意しながら徐々に添加、撹拌を行った。粘度が3000poiseに達したところで添加、撹拌をやめ、ポリアミド酸溶液を得た。
(Synthesis Example 6; Synthesis of thermoplastic polyimide precursor)
To a glass flask having a volume of 2000 ml, 780 g of DMF and 117.2 g of bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone (hereinafter also referred to as BAPS) were added, and while stirring under a nitrogen atmosphere, 3,3 ′ , 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter also referred to as BPDA) was gradually added to 71.7 g. Subsequently, 5.6 g of 3,3 ′, 4,4′-ethylene glycol dibenzoate tetracarboxylic dianhydride (hereinafter also referred to as TMEG) was added and stirred for 30 minutes in an ice bath. A solution in which 5.5 g of TMEG was dissolved in 20 g of DMF was separately prepared, and this was gradually added to the above reaction solution while paying attention to the viscosity and stirred. When the viscosity reached 3000 poise, addition and stirring were stopped to obtain a polyamic acid solution.

(合成例7;熱可塑性ポリイミド前駆体の合成)
容量2000mlのガラス製フラスコにDMFを780g、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン(BAPP)を115.6g加え、窒素雰囲気下で攪拌しながら、3,3’4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)を78.7g徐々に添加した。続いて、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)(TMEG)を3.8g添加し、氷浴下で30分間撹拌した。2.0gのTMEGを20gのDMFに溶解させた溶液を別途調製し、これを上記反応溶液に、粘度に注意しながら徐々に添加、撹拌を行った。粘度が3000poiseに達したところで添加、撹拌をやめ、ポリアミド酸溶液を得た。
(Synthesis Example 7; Synthesis of thermoplastic polyimide precursor)
780 g of DMF and 115.6 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) were added to a glass flask having a capacity of 2000 ml, and 3,3′4 while stirring under a nitrogen atmosphere. , 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) was gradually added. Subsequently, 3.8 g of ethylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride) (TMEG) was added and stirred for 30 minutes in an ice bath. A solution in which 2.0 g of TMEG was dissolved in 20 g of DMF was separately prepared, and this was gradually added to the reaction solution while being careful of the viscosity and stirred. When the viscosity reached 3000 poise, addition and stirring were stopped to obtain a polyamic acid solution.

(実施例1)
合成例6で得られたポリアミド酸溶液を固形分濃度10重量%になるまでDMFで希釈した後、合成例1で得られたポリイミドフィルムの両面に、熱可塑性ポリイミド層(接着層)の最終片面厚みが4μmとなるようにポリアミド酸を塗布した後、140℃で1分間加熱を行った。続いて、雰囲気温度390℃の遠赤外線ヒーター炉の中を20秒間通して加熱イミド化を行って、接着フィルムを得た。
引張弾性率 6.0GPa
熱膨張係数 22ppm/℃
(Example 1)
After diluting the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 6 with DMF to a solid content concentration of 10% by weight, the final one side of the thermoplastic polyimide layer (adhesive layer) on both sides of the polyimide film obtained in Synthesis Example 1 Polyamic acid was applied so that the thickness was 4 μm, and then heated at 140 ° C. for 1 minute. Then, it passed through the far-infrared heater furnace with an atmospheric temperature of 390 ° C. for 20 seconds to carry out heating imidization to obtain an adhesive film.
Tensile modulus 6.0 GPa
Thermal expansion coefficient 22ppm / ° C

得られた接着フィルムの両側に18μm圧延銅箔(BHY−22B−T,ジャパンエナジー社製)を、さらに銅箔の両側に保護材料(アピカル125NPI;鐘淵化学工業株式会社製)を用いて、ポリイミドフィルムの張力0.4N/cm、ラミネート温度380℃、ラミネート圧力196N/cm(20kgf/cm)、ラミネート速度1.5m/分の条件で連続的に熱ラミネートを行い、本発明にかかるフレキシブル金属張積層板を作製した。   By using 18 μm rolled copper foil (BHY-22B-T, manufactured by Japan Energy Co., Ltd.) on both sides of the obtained adhesive film, and further using a protective material (Apical 125 NPI; manufactured by Kanegafuchi Chemical Industry Co., Ltd.) The flexible metal according to the present invention is obtained by continuous thermal lamination under the conditions of polyimide film tension 0.4 N / cm, laminating temperature 380 ° C., laminating pressure 196 N / cm (20 kgf / cm), laminating speed 1.5 m / min. A tension laminate was produced.

(実施例2)
合成例6で得られたポリアミド酸溶液を固形分濃度10重量%になるまでDMFで希釈した後、合成例2で得られたポリイミドフィルムの両面に、熱可塑性ポリイミド層(接着層)の最終片面厚みが5μmとなるようにポリアミド酸を塗布した後、140℃で1分間加熱を行った。続いて、雰囲気温度390℃の遠赤外線ヒーター炉の中を20秒間通して加熱イミド化を行って、接着フィルムを得た。
引張弾性率 6.5GPa
熱膨張係数 21ppm/℃
(Example 2)
After diluting the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 6 with DMF to a solid content concentration of 10% by weight, the final one side of the thermoplastic polyimide layer (adhesive layer) on both sides of the polyimide film obtained in Synthesis Example 2 Polyamic acid was applied so that the thickness was 5 μm, and then heated at 140 ° C. for 1 minute. Then, it passed through the far-infrared heater furnace with an atmospheric temperature of 390 ° C. for 20 seconds to carry out heating imidization to obtain an adhesive film.
Tensile modulus 6.5 GPa
Coefficient of thermal expansion 21ppm / ° C

得られた接着フィルムを用いて実施例1と同様の操作を行い、本発明にかかるフレキシブル金属張積層板を作製した。   The same operation as Example 1 was performed using the obtained adhesive film, and the flexible metal-clad laminate concerning this invention was produced.

(実施例3)
合成例6で得られたポリアミド酸溶液を固形分濃度10重量%になるまでDMFで希釈した後、合成例3で得られたポリイミドフィルムの両面に、熱可塑性ポリイミド層(接着層)の最終片面厚みが6μmとなるようにポリアミド酸を塗布した後、140℃で1分間加熱を行った。続いて、雰囲気温度390℃の遠赤外線ヒーター炉の中を20秒間通して加熱イミド化を行って、接着フィルムを得た。
引張弾性率 9.5GPa
熱膨張係数 20ppm/℃
(Example 3)
After diluting the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 6 with DMF until the solid content concentration becomes 10% by weight, the final single side of the thermoplastic polyimide layer (adhesive layer) is formed on both sides of the polyimide film obtained in Synthesis Example 3. Polyamic acid was applied so that the thickness was 6 μm, and then heated at 140 ° C. for 1 minute. Then, it passed through the far-infrared heater furnace with an atmospheric temperature of 390 ° C. for 20 seconds to carry out heating imidization to obtain an adhesive film.
Tensile modulus 9.5 GPa
Coefficient of thermal expansion 20ppm / ° C

得られた接着フィルムを用いて実施例1と同様の操作を行い、本発明にかかるフレキシブル金属張積層板を作製した。   The same operation as Example 1 was performed using the obtained adhesive film, and the flexible metal-clad laminate concerning this invention was produced.

(実施例4)
合成例6で得られたポリアミド酸溶液の代わりに合成例7で得られたポリアミド酸溶液を用いる以外は実施例1と同様の操作を行い、接着フィルムを得た。
引張弾性率 6.0GPa
熱膨張係数 22ppm/℃
Example 4
An adhesive film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 7 was used instead of the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 6.
Tensile modulus 6.0 GPa
Thermal expansion coefficient 22ppm / ° C

得られた接着フィルムを用いて実施例1と同様の操作を行い、本発明にかかるフレキシブル金属張積層板を作製した。   The same operation as Example 1 was performed using the obtained adhesive film, and the flexible metal-clad laminate concerning this invention was produced.

(比較例1)
合成例6で得られたポリアミド酸溶液を固形分濃度10重量%になるまでDMFで希釈した後、合成例4で得られたポリイミドフィルムの両面に、熱可塑性ポリイミド層(接着層)の最終片面厚みが2.5μmとなるようにポリアミド酸を塗布した後、140℃で1分間加熱を行った。続いて、雰囲気温度390℃の遠赤外線ヒーター炉の中を20秒間通して加熱イミド化を行って、接着フィルムを得た。
引張弾性率 3.0GPa
熱膨張係数 23ppm/℃
(Comparative Example 1)
After diluting the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 6 with DMF until the solid content concentration becomes 10% by weight, the final one side of the thermoplastic polyimide layer (adhesive layer) is formed on both sides of the polyimide film obtained in Synthesis Example 4 Polyamic acid was applied so that the thickness was 2.5 μm, and then heated at 140 ° C. for 1 minute. Then, it passed through the far-infrared heater furnace with an atmospheric temperature of 390 ° C. for 20 seconds to carry out heating imidization to obtain an adhesive film.
Tensile modulus 3.0 GPa
Coefficient of thermal expansion 23ppm / ° C

得られた接着フィルムを用いて実施例1と同様の操作を行い、フレキシブル金属張積層板を作製した。   Using the resulting adhesive film, the same operation as in Example 1 was performed to produce a flexible metal-clad laminate.

(比較例2)
合成例6で得られたポリアミド酸溶液の代わりに合成例7で得られたポリアミド酸溶液を用いる以外は比較例1と同様の操作を行い、接着フィルムを得た。
引張弾性率 3.0GPa
熱膨張係数 23ppm/℃
(Comparative Example 2)
An adhesive film was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 7 was used instead of the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 6.
Tensile modulus 3.0 GPa
Coefficient of thermal expansion 23ppm / ° C

得られた接着フィルムを用いて実施例1と同様の操作を行い、本発明にかかるフレキシブル金属張積層板を作製した。   The same operation as Example 1 was performed using the obtained adhesive film, and the flexible metal-clad laminate concerning this invention was produced.

(比較例3)
合成例6で得られたポリアミド酸溶液を固形分濃度10重量%になるまでDMFで希釈した後、合成例5で得られたポリイミドフィルムの両面に、熱可塑性ポリイミド層(接着層)の最終片面厚みが2.5μmとなるようにポリアミド酸を塗布した後、140℃で1分間加熱を行った。続いて、雰囲気温度390℃の遠赤外線ヒーター炉の中を20秒間通して加熱イミド化を行って、接着フィルムを得た。
引張弾性率 2.4GPa
熱膨張係数 38ppm/℃
(Comparative Example 3)
After diluting the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 6 with DMF until the solid content concentration becomes 10% by weight, the final single side of the thermoplastic polyimide layer (adhesive layer) is formed on both sides of the polyimide film obtained in Synthesis Example 5. Polyamic acid was applied so that the thickness was 2.5 μm, and then heated at 140 ° C. for 1 minute. Then, it passed through the far-infrared heater furnace with an atmospheric temperature of 390 ° C. for 20 seconds to carry out heating imidization to obtain an adhesive film.
Tensile modulus 2.4 GPa
Coefficient of thermal expansion 38ppm / ° C

得られた接着フィルムを用いて実施例1と同様の操作を行い、フレキシブル金属張積層板を作製した。   Using the resulting adhesive film, the same operation as in Example 1 was performed to produce a flexible metal-clad laminate.

(参考例1)
合成例7で得られたポリアミド酸溶液を固形分濃度10重量%になるまでDMFで希釈した後、合成例4で得られたポリイミドフィルムの両面に、熱可塑性ポリイミド層(接着層)の最終片面厚みが4μmとなるようにポリアミド酸を塗布した後、140℃で1分間加熱を行った。得られたフィルムを40cm角のシート状にカットした後、端部四辺をピン枠に固定し、雰囲気温度390℃の遠赤外線ヒーター炉の中で20秒間加熱イミド化を行って、シート状の接着フィルムを得た。
(Reference Example 1)
After diluting the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 7 with DMF until the solid content concentration becomes 10% by weight, the final one side of the thermoplastic polyimide layer (adhesive layer) is formed on both sides of the polyimide film obtained in Synthesis Example 4 Polyamic acid was applied so that the thickness was 4 μm, and then heated at 140 ° C. for 1 minute. After the obtained film is cut into a 40 cm square sheet, the four sides of the film are fixed to a pin frame and subjected to heat imidization for 20 seconds in a far infrared heater furnace having an atmospheric temperature of 390 ° C. A film was obtained.

得られた接着フィルムの端部四辺をカットして30cm角にした後、その両側に18μm圧延銅箔(BHY−22B−T,ジャパンエナジー社製)を、さらに銅箔の両側に保護材料(アピカル125NPI;鐘淵化学工業株式会社製)を、さらに保護材料の両側にキンヨーボード(金陽社製)を配した後、SUS板で挟んでプレス温度360℃、プレス圧力294N/cm(30kgf/cm)、プレス時間5分で単板プレスを行い、フレキシブル金属張積層板を作製した。   After cutting the four sides of the resulting adhesive film into a 30 cm square, 18 μm rolled copper foil (BHY-22B-T, manufactured by Japan Energy Co., Ltd.) is provided on both sides of the adhesive film, and protective material (apical) is provided on both sides of the copper foil. 125NPI (manufactured by Kaneka Chemical Industry Co., Ltd.) and Kinyo Board (manufactured by Kinyo Co., Ltd.) on both sides of the protective material, and sandwiched between SUS plates, press temperature 360 ° C., press pressure 294 N / cm (30 kgf / cm), press A single plate press was performed in 5 minutes to produce a flexible metal-clad laminate.

各実施例、比較例、参考例で得られたフレキシブル金属張積層板の特性を評価した結果を表1に示す。   Table 1 shows the results of evaluating the characteristics of the flexible metal-clad laminate obtained in each of the examples, comparative examples, and reference examples.

Figure 2005199481
Figure 2005199481

参考例1ならびに比較例1〜比較例3に示すように、コアフィルムの特性が規定範囲外である場合は、単板プレスでは問題無いものの、熱ラミネート法では張力の影響を受け、得られるフレキシブル金属張積層板の寸法変化が大きい結果となった。   As shown in Reference Example 1 and Comparative Examples 1 to 3, when the properties of the core film are out of the specified range, there is no problem in the single plate press, but the thermal laminating method is affected by the tension and can be obtained. As a result, the dimensional change of the metal-clad laminate was large.

これに対し、全ての特性が所定範囲内となっている実施例1〜4では熱ラミネート法で作製しても寸法変化の発生が抑制され、接着性の低下も見られなかった。   On the other hand, in Examples 1 to 4 in which all the characteristics are within the predetermined range, the occurrence of dimensional change was suppressed even when produced by the thermal laminating method, and the adhesiveness was not deteriorated.

Claims (5)

絶縁性フィルムの少なくとも片面に熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を設けた接着フィルムであって、絶縁フィルムのMD方向の引張弾性率が6.5〜12GPaであることを特徴とする、接着フィルム。 An adhesive film in which an adhesive layer containing a thermoplastic polyimide is provided on at least one surface of an insulating film, wherein the insulating film has a tensile modulus in the MD direction of 6.5 to 12 GPa. 上記絶縁性フィルムの50〜200℃における熱膨張係数が3〜20ppm/℃であることを特徴とする、請求項1記載の接着フィルム。 The adhesive film according to claim 1, wherein the insulating film has a thermal expansion coefficient of 3 to 20 ppm / ° C at 50 to 200 ° C. MD方向の引張弾性率が5.5〜11GPaであることを特徴とする、請求項1または2に記載の接着フィルム。 The adhesive film according to claim 1, wherein the tensile elastic modulus in the MD direction is 5.5 to 11 GPa. 一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いて、請求項1乃至3に記載の接着フィルムに金属箔を貼り合わせて得られることを特徴とする、フレキシブル金属張積層板。 A flexible metal-clad laminate obtained by bonding a metal foil to the adhesive film according to claim 1 using a hot roll laminator having a pair of metal rolls. 金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の加熱を行う前後の寸法変化率の合計値が、MD方向、TD方向共に−0.08〜+0.08%の範囲にあることを特徴とする、請求項4に記載のフレキシブル金属張積層板。 The dimensional change rate before and after removing the metal foil, and the total value of the dimensional change rate before and after heating at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil is −0.08 to + 0.08% in both the MD and TD directions The flexible metal-clad laminate according to claim 4, wherein the flexible metal-clad laminate is in the range of.
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