JP2005193541A - Manufacturing method of flexible metal clad laminated sheet enhanced in dimensional stability and flexible metal clad laminated sheet obtained thereby - Google Patents

Manufacturing method of flexible metal clad laminated sheet enhanced in dimensional stability and flexible metal clad laminated sheet obtained thereby Download PDF

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JP2005193541A
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Hiroyuki Tsuji
宏之 辻
Takeshi Kikuchi
剛 菊池
Nagayasu Kaneshiro
永泰 金城
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a flexible metal clad laminated sheet excellent in dimensional stability. <P>SOLUTION: In the manufacturing method of the flexible metal clad laminated sheet excellent in dimensional stability obtained by laminating a metal foil on one side or both sides of a polyimide film trough an adhesive layer, a protective film is arranged between a heated and pressed surface and the metal foil to be laminated in a state stretched in an MD direction within an elastic deformation range. By this method, the flexible metal clad laminated sheet excellent in dimensional stability can be manufactured. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ポリイミドフィルムの片面または両面に、接着層を介して金属箔を貼り合わせて得られる、寸法安定性に優れたフレキシブル金属張積層板の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a flexible metal-clad laminate having excellent dimensional stability, obtained by bonding a metal foil to one or both sides of a polyimide film via an adhesive layer.

近年、エレクトロニクス製品の軽量化、小型化、高密度化にともない、各種プリント基板の需要が伸びているが、中でも、フレキシブル積層板(フレキシブルプリント配線板(FPC)等とも称する)の需要が特に伸びている。フレキシブル積層板は、絶縁性フィルム上に金属箔からなる回路が形成された構造を有している。   In recent years, the demand for various printed circuit boards has increased along with the reduction in weight, size and density of electronic products. In particular, the demand for flexible laminates (also referred to as flexible printed circuit boards (FPCs), etc.) has increased. ing. The flexible laminate has a structure in which a circuit made of a metal foil is formed on an insulating film.

上記フレキシブル積層板は、一般に、各種絶縁材料により形成され、柔軟性を有する絶縁性フィルムを基板とし、この基板の表面に、各種接着材料を介して金属箔を加熱・圧着することにより貼りあわせる方法により製造される。上記絶縁性フィルムとしては、ポリイミドフィルム等が好ましく用いられている。上記接着材料としては、エポキシ系、アクリル系等の熱硬化性接着剤が一般的に用いられている(これら熱硬化性接着剤を用いたFPCを以下、三層FPCともいう)。   The flexible laminate is generally formed of various insulating materials, and a flexible insulating film is used as a substrate, and a metal foil is bonded to the surface of the substrate by heating and pressure bonding via various adhesive materials. Manufactured by. A polyimide film or the like is preferably used as the insulating film. As the adhesive material, a thermosetting adhesive such as epoxy or acrylic is generally used (FPC using these thermosetting adhesives is hereinafter also referred to as three-layer FPC).

熱硬化性接着剤は比較的低温での接着が可能であるという利点がある。しかし今後、耐熱性、屈曲性、電気的信頼性といった要求特性が厳しくなるに従い、熱硬化性接着剤を用いた三層FPCでは対応が困難になると考えられる。これに対し、絶縁性フィルムに直接金属層を設けたり、接着層に熱可塑性ポリイミドを使用したFPC(以下、二層FPCともいう)が提案されている。この二層FPCは、三層FPCより優れた特性を有し、今後需要が伸びていくことが期待される。   Thermosetting adhesives have the advantage that they can be bonded at relatively low temperatures. However, in the future, as required characteristics such as heat resistance, flexibility, and electrical reliability become stricter, it is considered that it is difficult to cope with a three-layer FPC using a thermosetting adhesive. On the other hand, an FPC (hereinafter also referred to as a two-layer FPC) in which a metal layer is directly provided on an insulating film or a thermoplastic polyimide is used for an adhesive layer has been proposed. This two-layer FPC has characteristics superior to those of the three-layer FPC, and demand is expected to increase in the future.

二層FPCに用いるフレキシブル金属張積層板の作製方法としては、金属箔上にポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を流延、塗布した後イミド化するキャスト法、スパッタ、メッキによりポリイミドフィルム上に直接金属層を設けるメタライジング法、熱可塑性ポリイミドを介してポリイミドフィルムと金属箔とを貼り合わせるラミネート法が挙げられる。この中で、ラミネート法は、対応できる金属箔の厚み範囲がキャスト法よりも広く、装置コストがメタライジング法よりも低いという点で優れている。ラミネートを行う装置としては、ロール状の材料を繰り出しながら連続的にラミネートする熱ロールラミネート装置またはダブルベルトプレス装置等が用いられている。上記の内、生産性の点から見れば、熱ロールラミネート法をより好ましく用いることができる。   As a method for producing a flexible metal-clad laminate for use in a two-layer FPC, a polyamic acid, which is a polyimide precursor, is cast on a metal foil, applied, and then casted directly onto a polyimide film by sputtering or plating. Examples thereof include a metallizing method for providing a metal layer and a laminating method for bonding a polyimide film and a metal foil through a thermoplastic polyimide. Among these, the lamination method is superior in that the thickness range of the metal foil that can be handled is wider than that of the casting method and the apparatus cost is lower than that of the metalizing method. As a device for laminating, a hot roll laminating device or a double belt press device for continuously laminating a roll-shaped material is used. Of these, the hot roll laminating method can be used more preferably from the viewpoint of productivity.

従来の三層FPCをラミネート法で作製する際、接着層に熱硬化性樹脂を用いていたため、ラミネート温度は200℃未満で行うことが可能であった(特許文献1参照)。これに対し、二層FPCは熱可塑性ポリイミドを接着層として用いるため、熱融着性を発現させるために200℃以上、場合によっては400℃近くの高温を加える必要がある。そのため、ラミネートされて得られたフレキシブル金属張積層板に残留歪みが発生し、エッチングして配線を形成する際、ならびに部品を実装するために半田リフローを行う際に寸法変化となって現れる。   When a conventional three-layer FPC was produced by a laminating method, a thermosetting resin was used for the adhesive layer, so that the laminating temperature could be less than 200 ° C. (see Patent Document 1). On the other hand, since the two-layer FPC uses thermoplastic polyimide as an adhesive layer, it is necessary to apply a high temperature of 200 ° C. or higher, and in some cases, close to 400 ° C., in order to develop heat-fusibility. Therefore, residual distortion occurs in the flexible metal-clad laminate obtained by laminating, and it appears as a dimensional change when wiring is formed by etching and when solder reflow is performed to mount components.

特にラミネート法は、ポリイミドフィルム上に熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を設ける際に、熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を流延、塗布した後に連続的に加熱してイミド化を行い、金属箔を貼り合わせる際も連続的に加熱加圧を行うため、材料は張力がかけられた状態で加熱環境下に置かれることが多い。そのため、MD方向とTD方向で異なる熱応力が発生する。具体的には、張力のかかるMD方向には引張られる力が働き、逆にTD方向には縮む力が働く。その結果、フレキシブル積層板から金属箔をエッチングする際と、半田リフローを通して加熱する際にこの歪みが解放され、MD方向は収縮し、逆にTD方向は膨張してしまう。   In particular, in the laminating method, when an adhesive layer containing a thermoplastic polyimide is provided on a polyimide film, the polyamic acid which is a precursor of the thermoplastic polyimide is cast and applied, and then continuously heated to imidize, Since the heating and pressurization is continuously performed when the metal foil is bonded, the material is often placed in a heating environment under tension. Therefore, different thermal stresses are generated in the MD direction and the TD direction. Specifically, a pulling force acts in the MD direction where tension is applied, and conversely, a shrinking force acts in the TD direction. As a result, when the metal foil is etched from the flexible laminate and when heated through solder reflow, this strain is released, the MD direction contracts, and conversely, the TD direction expands.

近年、電子機器の小型化、軽量化を達成するために、基板に設けられる配線は微細化が進んでおり、実装する部品も小型化、高密度化されたものが搭載される。そのため、微細な配線を形成した後の寸法変化が大きくなると、設計段階での部品搭載位置からずれて、部品と基板とが良好に接続されなくなるという問題が生じる。
そこで、ラミネート圧力の制御や、接着フィルムの張力制御により、寸法変化を抑える試みがなされている(特許文献2または3参照)。しかしながら、これらの手段により寸法変化は改善されるものの、まだ充分ではなく、更なる寸法変化の改善が求められている。
特開平9−199830号公報 特開2002−326308号公報 特開2002−326280号公報
In recent years, in order to achieve miniaturization and weight reduction of electronic devices, wiring provided on a substrate has been miniaturized, and components to be mounted are mounted with miniaturization and high density. For this reason, if the dimensional change after forming the fine wiring is increased, there is a problem that the component and the board are not well connected due to deviation from the component mounting position in the design stage.
Therefore, attempts have been made to suppress dimensional changes by controlling the laminating pressure or controlling the tension of the adhesive film (see Patent Document 2 or 3). However, although the dimensional change is improved by these means, it is not sufficient yet, and further improvement of the dimensional change is demanded.
JP-A-9-199830 JP 2002-326308 A JP 2002-326280 A

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、エッチング時ならびに加熱時の寸法変化の発生が抑制されたフレキシブル金属張積層板、特にラミネート法で作製した際に寸法変化の発生を抑制できるフレキシブル金属張積層板、ならびにその製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and its purpose is to provide a flexible metal-clad laminate in which the occurrence of dimensional changes during etching and heating is suppressed, particularly when produced by a laminating method. An object of the present invention is to provide a flexible metal-clad laminate that can suppress the occurrence of changes, and a method for manufacturing the same.

本発明者らは、上記の課題に鑑み鋭意検討した結果、加熱加圧面と金属箔との間に保護フィルムを配し、保護フィルムを弾性変形範囲内でMD方向に延伸した状態でラミネートすることにより、得られるフレキシブル金属張積層板の寸法変化率を改善できることを独自に見出し、本発明を完成させるに至った。   As a result of intensive studies in view of the above problems, the present inventors have arranged a protective film between the heating and pressing surface and the metal foil, and laminated the protective film in a state of being stretched in the MD direction within the elastic deformation range. Thus, the present inventors have found that the dimensional change rate of the obtained flexible metal-clad laminate can be improved and have completed the present invention.

即ち本発明の第1は、ポリイミドフィルムの片面または両面に、接着層を介して金属箔を貼り合わせて得られる、寸法安定性に優れたフレキシブル金属張積層板の製造方法であって、加熱加圧面と金属箔との間に保護フィルムを配し、保護フィルムを弾性変形範囲内でMD方向に延伸した状態でラミネートすることを特徴とする、フレキシブル金属張積層板の製造方法に関する。   That is, the first aspect of the present invention is a method for producing a flexible metal-clad laminate having excellent dimensional stability, obtained by bonding a metal foil to one or both sides of a polyimide film via an adhesive layer. The present invention relates to a method for producing a flexible metal-clad laminate, characterized in that a protective film is disposed between a pressure surface and a metal foil, and the protective film is laminated in a state of being stretched in the MD direction within an elastic deformation range.

好ましい実施態様は、フレキシブル金属張積層板が、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置により接着層を介して金属箔とポリイミドフィルムとを貼り合わせて得られることを特徴とする、前記の製造方法に関する。   A preferred embodiment is characterized in that the flexible metal-clad laminate is obtained by laminating a metal foil and a polyimide film through an adhesive layer by a hot roll laminator having a pair of metal rolls. Regarding the method.

更に好ましい実施態様は、熱ラミネート時の保護フィルム張力が60kg/m以上、200kg/m以下であることを特徴とする、前記の製造方法に関する。   A further preferred embodiment relates to the above production method, wherein the protective film tension during thermal lamination is 60 kg / m or more and 200 kg / m or less.

更に好ましい実施態様は、保護フィルムを予め熱ロールに接触させることによりラミネート時に保護フィルム温度をロール温度に対し0〜−10℃にすることを特徴とする、前記の製造方法に関する。   A further preferred embodiment relates to the above-mentioned production method, wherein the protective film is brought into contact with a hot roll in advance so that the temperature of the protective film is 0 to −10 ° C. with respect to the roll temperature during lamination.

更に好ましい実施態様は、熱ラミネート温度が300℃以上であることを特徴とする、前記の製造方法に関する。   A further preferred embodiment relates to the above production method, characterized in that the heat laminating temperature is 300 ° C. or higher.

更に好ましい実施態様は、接着層が熱可塑性ポリイミドを含有することを特徴とする前記の製造方法に関する。   Further preferred embodiments relate to the above production method, wherein the adhesive layer contains a thermoplastic polyimide.

本発明の第2は、前記いずれかに記載の製造方法により得られるフレキシブル金属張積層板であって、金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の熱処理を行う前後の寸法変化率の合計値が、MD方向、TD方向共に−0.08〜+0.08の範囲にあることを特徴とする、フレキシブル金属張積層板に関する。   A second aspect of the present invention is a flexible metal-clad laminate obtained by any one of the manufacturing methods described above, and a dimensional change rate before and after removing the metal foil, and heat treatment at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil. It is related with the flexible metal-clad laminate characterized by the total value of the dimensional change rate before and after performing in the range of -0.08 to +0.08 in both the MD direction and the TD direction.

本発明の製造方法から得られるフレキシブル金属張積層板は、寸法変化の発生が抑制されており、特にラミネート法における寸法変化の発生を効果的に抑制できる。具体的には、金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の熱処理を行う前後の寸法変化率小さくすることができ、従って、微細な配線を形成したFPC等にも好適に用いることが可能で、位置ずれ等の問題を改善できる。   In the flexible metal-clad laminate obtained from the production method of the present invention, the occurrence of dimensional change is suppressed, and in particular, the occurrence of dimensional change in the laminating method can be effectively suppressed. Specifically, the dimensional change rate before and after removing the metal foil, and the dimensional change rate before and after performing heat treatment at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil can be reduced. Etc., and problems such as misalignment can be improved.

本発明の実施の一形態について、以下に説明する。   One embodiment of the present invention will be described below.

本発明の製造方法に使用する保護フィルムとしては、熱ラミネート工程の加熱温度に耐えうるものであれば良く、非熱可塑性ポリイミドフィルム等の耐熱性プラスチック、銅箔、アルミニウム箔、SUS箔等の金属箔等が挙げられるが、中でも、耐熱性、再使用性等のバランスが優れる点から、非熱可塑性ポリイミドフィルムが好適に用いられ得る。また、厚みが薄いとラミネート時の緩衝ならびに保護の役目を十分に果たさなくなるため、非熱可塑性ポリイミドフィルムの厚みは75μm以上であることが好ましい。   The protective film used in the production method of the present invention may be any film as long as it can withstand the heating temperature in the heat laminating process, and heat resistant plastic such as non-thermoplastic polyimide film, metal such as copper foil, aluminum foil, and SUS foil. Although foil etc. are mentioned, A non-thermoplastic polyimide film may be used suitably from the point which is excellent in balance, such as heat resistance and reusability. In addition, if the thickness is thin, the function of buffering and protecting at the time of lamination will not be sufficiently fulfilled, so the thickness of the non-thermoplastic polyimide film is preferably 75 μm or more.

本発明において保護フィルムとして用いられるポリイミドフィルムは、ポリアミド酸を前駆体として用いて製造される。ポリアミド酸の製造方法としては公知のあらゆる方法を用いることができ、通常、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンを、実質的等モル量を有機溶媒中に溶解させて、得られたポリアミド酸有機溶媒溶液を、制御された温度条件下で、上記酸二無水物とジアミンの重合が完了するまで攪拌することによって製造される。これらのポリアミド酸溶液は通常5〜35wt%、好ましくは10〜30wt%の濃度で得られる。この範囲の濃度である場合に適当な分子量と溶液粘度を得る。   The polyimide film used as a protective film in the present invention is produced using polyamic acid as a precursor. Any known method can be used as a method for producing the polyamic acid. Usually, the polyamic acid obtained by dissolving a substantially equimolar amount of an aromatic dianhydride and an aromatic diamine in an organic solvent is obtained. The organic solvent solution is produced by stirring under controlled temperature conditions until the polymerization of the acid dianhydride and the diamine is completed. These polyamic acid solutions are usually obtained at a concentration of 5 to 35 wt%, preferably 10 to 30 wt%. When the concentration is in this range, an appropriate molecular weight and solution viscosity are obtained.

重合方法としてはあらゆる公知の方法およびそれらを組み合わせた方法を用いることができる。ポリアミド酸の重合における重合方法の特徴はそのモノマーの添加順序にあり、このモノマー添加順序を制御することにより得られるポリイミドの諸物性を制御することができる。従い、本発明においてポリアミド酸の重合にはいかなるモノマーの添加方法を用いても良い。代表的な重合方法として次のような方法が挙げられる。すなわち、
1)芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させて重合する方法。
2)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過小モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
3)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過剰モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いてここに芳香族ジアミン化合物を追加添加後、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて重合する方法。
4)芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中に溶解及び/または分散させた後、実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
5)実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法。
などのような方法である。これら方法を単独で用いても良いし、部分的に組み合わせて用いることもできる。
As the polymerization method, any known method and a combination thereof can be used. The characteristic of the polymerization method in the polymerization of polyamic acid is the order of addition of the monomers, and the physical properties of the polyimide obtained can be controlled by controlling the order of addition of the monomers. Therefore, in the present invention, any method of adding monomers may be used for the polymerization of polyamic acid. The following method is mentioned as a typical polymerization method. That is,
1) A method in which an aromatic diamine is dissolved in an organic polar solvent and this is reacted with a substantially equimolar amount of an aromatic tetracarboxylic dianhydride for polymerization.
2) An aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted with a small molar amount of an aromatic diamine compound in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Then, the method of superposing | polymerizing using an aromatic diamine compound so that an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine compound may become substantially equimolar in all the processes.
3) An aromatic tetracarboxylic dianhydride and an excess molar amount of the aromatic diamine compound are reacted in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, after adding an aromatic diamine compound here, using the aromatic tetracarboxylic dianhydride so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps. How to polymerize.
4) A method in which an aromatic tetracarboxylic dianhydride is dissolved and / or dispersed in an organic polar solvent and then polymerized using an aromatic diamine compound so as to be substantially equimolar.
5) A method of polymerizing by reacting a substantially equimolar mixture of aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine in an organic polar solvent.
And so on. These methods may be used singly or in combination.

本発明において、上記のいかなる重合方法を用いて得られたポリアミド酸を用いても良く、重合方法は特に限定されるのもではない。   In the present invention, the polyamic acid obtained by using any of the above polymerization methods may be used, and the polymerization method is not particularly limited.

ここで、本発明にかかるポリアミック酸組成物に用いられる材料について説明する。   Here, the material used for the polyamic acid composition concerning this invention is demonstrated.

本発明において用いうる適当な酸二無水物は、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシフタル酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)及びそれらの類似物を含み、これらを単独または、任意の割合の混合物が好ましく用い得る。   Suitable acid dianhydrides that can be used in the present invention are pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid. Dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetra Carboxylic dianhydride, 4,4′-oxyphthalic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride , Bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) Ethane dianhydride, bi (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, including p-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride), ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride) and the like, these Can be preferably used alone or in any desired mixture.

これら酸二無水物の中で特にはピロメリット酸二無水物及び/又は3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物及び/又は4,4’−オキシフタル酸二無水物及び/又は3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の使用が好ましい。   Among these acid dianhydrides, especially pyromellitic dianhydride and / or 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and / or 4,4′-oxyphthalic dianhydride and It is preferable to use 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride.

本発明にかかるポリイミド前駆体ポリアミド酸組成物において使用し得る適当なジアミンとしては、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3‘−ジメチルベンジジン、2,2’−ジメチルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、2,2’−ジメトキシベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−オキシジアニリン、3,3’−オキシジアニリン、3,4’−オキシジアニリン、1,5−ジアミノナフタレン、4,4’−ジアミノジフェニルジエチルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、4,4’−ジアミノジフェニルN−メチルアミン、4,4’−ジアミノジフェニル N−フェニルアミン、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジアミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン、ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、ビス{4−(3−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4'−ジアミノベンゾフェノン及びそれらの類似物などが挙げられる。   Suitable diamines that can be used in the polyimide precursor polyamic acid composition according to the present invention include 4,4′-diaminodiphenylpropane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, benzidine, 3,3′-dichlorobenzidine, 3, 3'-dimethylbenzidine, 2,2'-dimethylbenzidine, 3,3'-dimethoxybenzidine, 2,2'-dimethoxybenzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 4, 4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-oxydianiline, 3,3'-oxydianiline, 3,4'-oxydianiline, 1,5-diaminonaphthalene, 4,4'-diaminodiphenyldiethylsilane 4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4'-diaminodiphenyl Tylphosphine oxide, 4,4′-diaminodiphenyl N-methylamine, 4,4′-diaminodiphenyl N-phenylamine, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene, 1, 2-diaminobenzene, bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} sulfone, bis {4- (3-aminophenoxy) phenyl} sulfone, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4 '-Bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-diamy Benzophenone and their analogs thereof.

本発明において保護フィルムとして用いられるポリイミドフィルムは、上記の範囲の中で所望の特性を有するフィルムとなるように適宜芳香族酸二無水物および芳香族ジアミンの種類、配合比を決定して用いることにより得ることができる。   In the present invention, the polyimide film used as the protective film should be used by appropriately determining the type and blending ratio of the aromatic dianhydride and aromatic diamine so as to be a film having desired characteristics within the above range. Can be obtained.

ポリアミド酸を合成するための好ましい溶媒は、ポリアミド酸を溶解する溶媒であればいかなるものも用いることができるが、アミド系溶媒すなわちN,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどであり、N,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドが特に好ましく用い得る。   As the preferred solvent for synthesizing the polyamic acid, any solvent can be used as long as it dissolves the polyamic acid. However, amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N- Examples thereof include methyl-2-pyrrolidone, and N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide can be particularly preferably used.

また、摺動性、熱伝導性等のフィルムの諸特性を改善する目的でフィラーを添加することもできる。フィラーとしてはいかなるものを用いても良いが、好ましい例としてはシリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。   In addition, a filler can be added for the purpose of improving various characteristics of the film such as slidability and thermal conductivity. Any filler may be used, but preferred examples include silica, titanium oxide, alumina, silicon nitride, boron nitride, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate, mica and the like.

フィラーの粒子径は改質すべきフィルム特性と添加するフィラーの種類によって決定されるため、特に限定されるものではないが、一般的には平均粒径が0.05〜100μm、好ましくは0.1〜75μm、更に好ましくは0.1〜50μm、特に好ましくは0.1〜25μmである。粒子径がこの範囲を下回ると改質効果が現れにくくなり、この範囲を上回ると表面性を大きく損なったり、機械的特性が大きく低下したりする可能性がある。また、フィラーの添加部数についても改質すべきフィルム特性やフィラー粒子径などにより決定されるため特に限定されるものではない。一般的にフィラーの添加量はポリイミド100重量部に対して0.01〜100重量部、好ましくは0.01〜90重量部、更に好ましくは0.02〜80重量部である。フィラー添加量がこの範囲を下回るとフィラーによる改質効果が現れにくく、この範囲を上回るとフィルムの機械的特性が大きく損なわれる可能性がある。フィラーの添加は、
1.重合前または途中に重合反応液に添加する方法
2.重合完了後、3本ロールなどを用いてフィラーを混錬する方法
3.フィラーを含む分散液を用意し、これをポリアミド酸有機溶媒溶液に混合する方法
などいかなる方法を用いてもよいが、フィラーを含む分散液をポリアミド酸溶液に混合する方法、特に製膜直前に混合する方法が製造ラインのフィラーによる汚染が最も少なくすむため、好ましい。フィラーを含む分散液を用意する場合、ポリアミド酸の重合溶媒と同じ溶媒を用いるのが好ましい。また、フィラーを良好に分散させ、また分散状態を安定化させるために分散剤、増粘剤等をフィルム物性に影響を及ぼさない範囲内で用いることもできる。
The particle size of the filler is not particularly limited because it is determined by the film characteristics to be modified and the kind of filler to be added, but generally the average particle size is 0.05 to 100 μm, preferably 0.1. It is -75 micrometers, More preferably, it is 0.1-50 micrometers, Most preferably, it is 0.1-25 micrometers. If the particle size is below this range, the modification effect is less likely to appear. If the particle size is above this range, the surface properties may be greatly impaired or the mechanical properties may be greatly deteriorated. Further, the number of added parts of the filler is not particularly limited because it is determined by the film properties to be modified, the filler particle diameter, and the like. Generally, the addition amount of the filler is 0.01 to 100 parts by weight, preferably 0.01 to 90 parts by weight, and more preferably 0.02 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyimide. If the amount of filler added is less than this range, the effect of modification by the filler hardly appears, and if it exceeds this range, the mechanical properties of the film may be greatly impaired. Addition of filler
1. 1. A method of adding to a polymerization reaction solution before or during polymerization 2. A method of kneading fillers using three rolls after the completion of polymerization. Any method such as preparing a dispersion containing filler and mixing it with a polyamic acid organic solvent solution may be used, but a method of mixing a dispersion containing filler with a polyamic acid solution, particularly immediately before film formation. This method is preferable because the contamination by the filler in the production line is minimized. When preparing a dispersion containing a filler, it is preferable to use the same solvent as the polymerization solvent for the polyamic acid. Further, in order to disperse the filler satisfactorily and stabilize the dispersion state, a dispersant, a thickener and the like can be used within a range not affecting the film physical properties.

これらポリアミック酸溶液からポリイミドフィルムを製造する方法については従来公知の方法を用いることができる。この方法には熱イミド化法と化学イミド化法が挙げられ、どちらの方法を用いてフィルムを製造してもかまわないが、化学イミド化法によるイミド化の方が本発明に好適に用いられる諸特性を有したポリイミドフィルムを得やすい傾向にある。   A conventionally well-known method can be used about the method of manufacturing a polyimide film from these polyamic acid solutions. This method includes a thermal imidization method and a chemical imidization method, and either method may be used to produce a film, but the imidization by the chemical imidation method is more preferably used in the present invention. It tends to be easy to obtain a polyimide film having various characteristics.

また、本発明において特に好ましいポリイミドフィルムの製造工程は、
a)有機溶剤中で芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させてポリアミック酸溶液を得る工程、
b)上記ポリアミック酸溶液を含む製膜ドープを支持体上に流延する工程、
c)支持体上で加熱した後、支持体からゲルフィルムを引き剥がす工程、
d)更に加熱して、残ったアミック酸をイミド化し、かつ乾燥させる工程、
を含むことが好ましい。
In addition, the production process of the polyimide film particularly preferable in the present invention is as follows.
a) a step of reacting an aromatic diamine and an aromatic tetracarboxylic dianhydride in an organic solvent to obtain a polyamic acid solution;
b) casting a film-forming dope containing the polyamic acid solution on a support;
c) a step of peeling the gel film from the support after heating on the support;
d) further heating to imidize and dry the remaining amic acid,
It is preferable to contain.

上記工程において無水酢酸等の酸無水物に代表される脱水剤と、イソキノリン、β−ピコリン、ピリジン等の第三級アミン類等に代表されるイミド化触媒とを含む硬化剤を用いても良い。   In the above step, a curing agent containing a dehydrating agent typified by an acid anhydride such as acetic anhydride and an imidation catalyst typified by a tertiary amine such as isoquinoline, β-picoline or pyridine may be used. .

以下本発明の好ましい一形態、化学イミド法を一例にとり、ポリイミドフィルムの製造工程を説明する。ただし、本発明は以下の例により限定されるものではない。製膜条件や加熱条件は、ポリアミド酸の種類、フィルムの厚さ等により、変動し得る。   In the following, a preferred embodiment of the present invention, the chemical imide method, is taken as an example to describe the process for producing a polyimide film. However, the present invention is not limited to the following examples. The film forming conditions and heating conditions can vary depending on the type of polyamic acid, the thickness of the film, and the like.

脱水剤及びイミド化触媒を低温でポリアミド酸溶液中に混合して製膜ドープを得る。引き続いてこの製膜ドープをガラス板、アルミ箔、エンドレスステンレスベルト、ステンレスドラムなどの支持体上にフィルム状にキャストし、支持体上で80℃〜200℃、好ましくは100℃〜180℃の温度領域で加熱することで脱水剤及びイミド化触媒を活性化することによって部分的に硬化及び/または乾燥した後支持体から剥離してポリアミック酸フィルム(以下、ゲルフィルムという)を得る。   A film forming dope is obtained by mixing a dehydrating agent and an imidization catalyst in a polyamic acid solution at a low temperature. Subsequently, this film-forming dope is cast into a film on a support such as a glass plate, an aluminum foil, an endless stainless steel belt, or a stainless drum, and the temperature on the support is 80 ° C. to 200 ° C., preferably 100 ° C. to 180 ° C. By heating in the region, the dehydrating agent and imidization catalyst are activated to partially cure and / or dry, and then peel from the support to obtain a polyamic acid film (hereinafter referred to as gel film).

ゲルフィルムは、ポリアミド酸からポリイミドへの硬化の中間段階にあり、自己支持性を有し、式(1)
(A−B)×100/B・・・・(1)
式(1)中、A,Bは以下のものを表す。
A:ゲルフィルムの重量
B:ゲルフィルムを450℃で20分間加熱した後の重量
から算出される揮発分含量は5〜500重量%の範囲、好ましくは5〜200重量%、より好ましくは5〜150重量%の範囲にある。この範囲のフィルムを用いることが好適であり、焼成過程でフィルム破断、乾燥ムラによるフィルムの色調ムラ、特性ばらつき等の不具合が起こることがある。
The gel film is in the intermediate stage of curing from polyamic acid to polyimide, has self-supporting properties, and has the formula (1)
(AB) × 100 / B (1)
In formula (1), A and B represent the following.
A: Weight of gel film B: The volatile content calculated from the weight after heating the gel film at 450 ° C. for 20 minutes is in the range of 5 to 500% by weight, preferably 5 to 200% by weight, more preferably 5 to 5%. It is in the range of 150% by weight. It is preferable to use a film in this range, and problems such as film breakage, uneven film color due to drying unevenness, and characteristic variations may occur during the baking process.

脱水剤の好ましい量は、ポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して、0.5〜5モル、好ましくは1.0〜4モルである。   The preferable amount of the dehydrating agent is 0.5 to 5 mol, preferably 1.0 to 4 mol, relative to 1 mol of the amic acid unit in the polyamic acid.

また、イミド化触媒の好ましい量はポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して、0.05〜3モル、好ましくは0.2〜2モルである。   Moreover, the preferable quantity of an imidation catalyst is 0.05-3 mol with respect to 1 mol of amic acid units in a polyamic acid, Preferably it is 0.2-2 mol.

脱水剤及びイミド化触媒が上記範囲を下回ると化学的イミド化が不十分で、焼成途中で破断したり、機械的強度が低下したりすることがある。また、これらの量が上記範囲を上回ると、イミド化の進行が早くなりすぎ、フィルム状にキャストすることが困難となることがあるため好ましくない。   If the dehydrating agent and the imidization catalyst are below the above ranges, chemical imidization may be insufficient, and may break during firing or mechanical strength may decrease. Moreover, when these amounts exceed the above range, the progress of imidization becomes too fast, and it may be difficult to cast into a film, which is not preferable.

前記ゲルフィルムの端部を固定して硬化時の収縮を回避して乾燥し、水、残留溶媒、残存転化剤及び触媒を除去し、そして残ったアミド酸を完全にイミド化して、ポリイミドフィルムが得られる。   The end of the gel film is fixed and dried to avoid shrinkage during curing, water, residual solvent, residual conversion agent and catalyst are removed, and the remaining amic acid is completely imidized to form a polyimide film. can get.

ポリイミドフィルムは、最終的に400〜650℃の温度で5〜400秒加熱するのが好ましい。この温度より高い及び/または時間が長いと、フィルムの熱劣化が起こり問題が生じることがある。逆にこの温度より低い及び/または時間が短いと所定の効果が発現しないことがある。   It is preferable that the polyimide film is finally heated at a temperature of 400 to 650 ° C. for 5 to 400 seconds. Above this temperature and / or for a long time, the film may suffer from thermal degradation and may cause problems. Conversely, if the temperature is lower than this temperature and / or the time is shorter, the predetermined effect may not be exhibited.

また、フィルム中に残留している内部応力を緩和させるためにフィルムを搬送するに必要最低限の張力下において加熱処理をすることもできる。この加熱処理はフィルム製造工程において行ってもよいし、また、別途この工程を設けても良い。加熱条件はフィルムの特性や用いる装置に応じて変動するため一概に決定することはできないが、一般的には200℃以上500℃以下、好ましくは250℃以上500℃以下、特に好ましくは300℃以上450℃以下の温度で、1〜300秒、好ましくは2〜250秒、特に好ましくは5〜200秒程度の熱処理により内部応力を緩和することができる。   Moreover, in order to relieve the internal stress remaining in the film, heat treatment can be performed under the minimum tension necessary for transporting the film. This heat treatment may be performed in the film manufacturing process, or may be provided separately. The heating conditions vary depending on the characteristics of the film and the apparatus used, and therefore cannot be determined in general. The internal stress can be relaxed by heat treatment at a temperature of 450 ° C. or lower for 1 to 300 seconds, preferably 2 to 250 seconds, particularly preferably 5 to 200 seconds.

ポリイミドフィルムの諸特性の制御は、用いるモノマーの種類、重合時のモノマーの添加順序、選択するイミド化方法等により適宜制御することができる。   Control of various properties of the polyimide film can be appropriately controlled according to the type of monomer used, the order of addition of monomers during polymerization, the imidization method to be selected, and the like.

また、本発明においては保護フィルムとして市販のポリイミドフィルムを用いてもよく、例えば、アピカル(鐘淵化学工業社製)、カプトン(デュポン社製)、ユーピレックス(宇部興産社製)が挙げられる。   In the present invention, a commercially available polyimide film may be used as the protective film, and examples include Apical (manufactured by Kaneka Chemical Co., Ltd.), Kapton (manufactured by DuPont), and Upilex (manufactured by Ube Industries).

本発明にかかるフレキシブル金属張積層板の製造方法において、接着層を介して金属箔と貼り合わせるポリイミドフィルムは、上記保護フィルムに用いるポリイミドフィルムと同様、従来公知の原料ならびに製造方法を用いることが可能であり、市販のポリイミドフィルムを使用することも可能である。   In the method for producing a flexible metal-clad laminate according to the present invention, the polyimide film to be bonded to the metal foil via the adhesive layer can use conventionally known raw materials and production methods as well as the polyimide film used for the protective film. It is also possible to use a commercially available polyimide film.

本発明において用いられる接着層は、アクリル系、エポキシ系、変性エポキシ系、フェノール系、ポリアミドイミド系、ポリイミド系いかなるものであっても良いが、耐熱性、絶縁信頼性、ラミネート加工性の面から熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を用いることが好ましい。   The adhesive layer used in the present invention may be any of acrylic, epoxy, modified epoxy, phenol, polyamideimide, polyimide, but from the viewpoint of heat resistance, insulation reliability, and laminate processability. It is preferable to use an adhesive layer containing thermoplastic polyimide.

なお、本発明における熱可塑性ポリイミドとは、ガラス転移温度を有し、かつ、圧縮モード(プローブ径3mmφ、荷重5g)の熱機械分析測定(TMA)において、10〜400℃(昇温速度:10℃/min)の温度範囲で永久圧縮変形を起こすものをいう。   The thermoplastic polyimide in the present invention has a glass transition temperature and is 10 to 400 ° C. (temperature increase rate: 10) in thermomechanical analysis (TMA) in compression mode (probe diameter 3 mmφ, load 5 g). That which causes permanent compression deformation in the temperature range of ° C / min).

接着層に含有される熱可塑性ポリイミドとしては、熱可塑性ポリイミド、熱可塑性ポリアミドイミド、熱可塑性ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリエステルイミド等を好適に用いることができる。中でも、低吸湿特性の点から、熱可塑性ポリエステルイミドが特に好適に用いられる。   As the thermoplastic polyimide contained in the adhesive layer, thermoplastic polyimide, thermoplastic polyamideimide, thermoplastic polyetherimide, thermoplastic polyesterimide and the like can be suitably used. Among these, thermoplastic polyesterimide is particularly preferably used from the viewpoint of low moisture absorption characteristics.

また、既存の装置でラミネートが可能であり、かつ得られる金属張積層板の耐熱性を損なわないという点から考えると、本発明における熱可塑性ポリイミドは、150〜300℃の範囲にガラス転移温度(Tg)を有していることが好ましい。なお、Tgは動的粘弾性測定装置(DMA)により測定した貯蔵弾性率の変曲点の値により求めることができる。   In view of the fact that lamination with an existing apparatus is possible and the heat resistance of the resulting metal-clad laminate is not impaired, the thermoplastic polyimide in the present invention has a glass transition temperature (150 to 300 ° C.). Tg) is preferred. In addition, Tg can be calculated | required from the value of the inflexion point of the storage elastic modulus measured with the dynamic viscoelasticity measuring apparatus (DMA).

本発明に用いられる熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸については、特に限定されるわけではなく、あらゆるポリアミド酸を用いることができる。ポリアミド酸溶液の製造に関しても、前記原料および前記製造条件等を全く同様に用いることができる。   The polyamic acid that is a precursor of the thermoplastic polyimide used in the present invention is not particularly limited, and any polyamic acid can be used. Regarding the production of the polyamic acid solution, the raw materials and the production conditions can be used in exactly the same manner.

使用する原料を種々組み合わせることにより、諸特性を調節することができるが、一般に剛構造のジアミン使用比率が大きくなるとガラス転移温度高くなる及び/又は熱時の貯蔵弾性率が大きくなり接着性・加工性が低くなるため好ましくない。剛構造のジアミン比率は好ましくは40mol%以下、さらに好ましくは30mol%以下、特に好ましくは20mol%以下である。   Various properties can be adjusted by combining various raw materials to be used, but generally the glass transition temperature increases and / or the storage modulus during heat increases as the ratio of rigid structure diamine increases, and adhesion and processing This is not preferable because the property is low. The diamine ratio of the rigid structure is preferably 40 mol% or less, more preferably 30 mol% or less, and particularly preferably 20 mol% or less.

また、必要に応じて無機あるいは有機物のフィラーを添加しても良く、フィラーの添加方法も前記方法を全く同様に用いることができる。   Further, if necessary, an inorganic or organic filler may be added, and the above method can be used in the same manner as the filler addition method.

本発明におけるフレキシブル金属張積層板の製造方法は、ポリイミドフィルムの片面または両面に、接着層を介して金属箔を貼り合わせることを特徴とする。貼り合わせ手順としては、上記ポリイミドフィルムの少なくとも片面に接着層を形成した後、金属箔と貼り合わせる方法、接着層をシート状に成形し、これを上記ポリイミドフィルムに貼り合わせた後、金属箔と貼り合わせる方法、又は接着層をシート状に成形し、金属箔とポリイミドフィルムの間に挟んで貼り合わせる方法等が好適に例示され得る。このうち、一番目の方法を採り、更に接着層に熱可塑性ポリイミドが含有される場合、熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を完全にイミド化してしまうと、有機溶媒への溶解性が低下する場合があることから、ポリイミドフィルム上に上記接着層を設けることが困難となることがある。従って、上記観点から、熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を含有する溶液を調製して、これをポリイミドフィルムに塗布し、次いでイミド化する手順を採った方がより好ましい。この時のイミド化の方法としては、熱イミド化法若しくは化学イミド化法のどちらも用いることができるが、化学イミド化法は接着層を熱劣化させずに化学的転化剤等を除去する加熱条件を設定しなくてはならない場合があるという点から、熱イミド化法によりイミド化する方がより好ましい。   The method for producing a flexible metal-clad laminate in the present invention is characterized in that a metal foil is bonded to one or both sides of a polyimide film via an adhesive layer. As a laminating procedure, after forming an adhesive layer on at least one side of the polyimide film, a method of laminating with the metal foil, forming the adhesive layer into a sheet shape, laminating this on the polyimide film, A method of bonding, a method of forming an adhesive layer in a sheet shape, and bonding between a metal foil and a polyimide film can be suitably exemplified. Of these, when the first method is adopted and the adhesive layer further contains a thermoplastic polyimide, the solubility in organic solvents decreases if the polyamic acid that is the precursor of the thermoplastic polyimide is completely imidized. In some cases, it may be difficult to provide the adhesive layer on the polyimide film. Therefore, from the above viewpoint, it is more preferable to prepare a solution containing polyamic acid which is a precursor of thermoplastic polyimide, apply this to a polyimide film, and then imidize. As the imidization method at this time, either a thermal imidization method or a chemical imidization method can be used, but the chemical imidization method is a heating that removes a chemical conversion agent or the like without thermally deteriorating the adhesive layer. From the point that conditions may have to be set, it is more preferable to imidize by a thermal imidization method.

熱イミド化の温度は高い方がイミド化が起こりやすいため、イミド化速度を速くすることができ、生産性の面で好ましい。但し、高すぎると熱可塑性ポリイミドが熱分解を起こす可能性がある。一方、熱キュアの温度が低すぎると、イミド化が進みにくく、イミド化工程に要する時間が長くなってしまう。熱イミド化の温度は、熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度〜ガラス転移温度+200℃の範囲内に設定することが好ましく、ガラス転移温度+50℃〜ガラス転移温度+150℃の範囲内に設定することがより好ましい。イミド化時間に関しては、実質的にイミド化および乾燥が完結するに十分な時間を取ればよく、一義的に限定されるものではないが、一般的には1〜600秒程度の範囲で適宜設定される。   The higher the temperature of thermal imidization, the easier the imidization occurs. Therefore, the imidization rate can be increased, which is preferable in terms of productivity. However, if it is too high, the thermoplastic polyimide may cause thermal decomposition. On the other hand, if the temperature of the heat cure is too low, imidization is difficult to proceed, and the time required for the imidization process becomes long. The temperature of the thermal imidization is preferably set within the range of glass transition temperature to glass transition temperature + 200 ° C. of the thermoplastic polyimide, and more preferably set within the range of glass transition temperature + 50 ° C. to glass transition temperature + 150 ° C. preferable. As for the imidization time, it suffices to take a sufficient time for the imidization and drying to be substantially completed, and although it is not uniquely limited, generally it is appropriately set within a range of about 1 to 600 seconds. Is done.

また、接着層の熔融流動性を改善する目的で、意図的にイミド化率を低くする及び/又は溶媒を残留させることもできる。また、前記ポリアミド酸溶液には、用途に応じて、例えば、フィラーのような他の材料を含んでもよい。   Further, for the purpose of improving the melt fluidity of the adhesive layer, it is possible to intentionally lower the imidization rate and / or leave the solvent. In addition, the polyamic acid solution may contain other materials such as a filler, depending on the application.

また接着層ならびにポリイミドフィルムの厚み構成については、用途に応じた総厚みになるように適宜調整すれば良い。また、必要に応じて、接着層を設ける前にコロナ処理、プラズマ処理、カップリング処理等の各種表面処理をポリイミドフィルム表面に施しても良い。   Moreover, what is necessary is just to adjust suitably about the thickness structure of a contact bonding layer and a polyimide film so that it may become the total thickness according to a use. Further, if necessary, various surface treatments such as corona treatment, plasma treatment, and coupling treatment may be applied to the polyimide film surface before providing the adhesive layer.

本発明において使用する金属箔としては特に限定されるものではないが、電子機器・電気機器用途に本発明のフレキシブル金属張積層板を用いる場合には、例えば、銅若しくは銅合金、ステンレス鋼若しくはその合金、ニッケル若しくはニッケル合金(42合金も含む)、アルミニウム若しくはアルミニウム合金からなる箔を挙げることができる。一般的なフレキシブル金属張積層板では、圧延銅箔、電解銅箔といった銅箔が多用されるが、本発明においても好ましく用いることができる。なお、これらの金属箔の表面には、防錆層や耐熱層あるいは接着層が塗布されていてもよい。   The metal foil used in the present invention is not particularly limited, but when the flexible metal-clad laminate of the present invention is used for electronic equipment / electric equipment, for example, copper or copper alloy, stainless steel or its Examples include foils made of alloys, nickel, nickel alloys (including 42 alloys), aluminum, or aluminum alloys. In general flexible metal-clad laminates, copper foil such as rolled copper foil and electrolytic copper foil is frequently used, but it can also be preferably used in the present invention. In addition, the antirust layer, the heat-resistant layer, or the contact bonding layer may be apply | coated to the surface of these metal foil.

本発明において、上記金属箔の厚みについては特に限定されるものではなく、その用途に応じて、十分な機能が発揮できる厚みであればよいが、一例をあげて説明すると、一般的には1〜35μm、さらには2〜25μm、特には3〜18μmが好ましい。金属箔の厚みがこの範囲を下回ると異方導電性フィルム等を用いた種々基板等への実装時に接続不良または接続信頼性の低下をきたしやすく、また、上記範囲を上回ると微細配線を形成させることが難しくなる傾向にある。また、この金属箔は厚めのものを用いてラミネートし、その後エッチング等公知の方法により薄くして用いることもできる。   In the present invention, the thickness of the metal foil is not particularly limited, and may be any thickness that can exhibit a sufficient function depending on the application. It is preferably -35 µm, more preferably 2-25 µm, particularly 3-18 µm. If the thickness of the metal foil is less than this range, connection failure or connection reliability is liable to decrease when mounted on various substrates using an anisotropic conductive film, etc., and if it exceeds the above range, fine wiring is formed. Tend to be difficult. The metal foil can be laminated using a thicker one, and then thinned by a known method such as etching.

本発明における接着層を介して金属箔とポリイミドフィルムを貼り合わせるには、例えば、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置或いはダブルベルトプレス(DBP)による連続処理を用いることができる。中でも、装置構成が単純であり保守コストの面で有利であるという点から、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いることが好ましい。ここでいう「一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置」とは、材料を加熱加圧するための金属ロールを有している装置であればよく、その具体的な装置構成は特に限定されるものではない。   In order to bond the metal foil and the polyimide film through the adhesive layer in the present invention, for example, a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls or a continuous treatment by a double belt press (DBP) can be used. Among these, it is preferable to use a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls because the apparatus configuration is simple and advantageous in terms of maintenance cost. The “heat roll laminating apparatus having a pair of metal rolls” herein may be an apparatus having a metal roll for heating and pressurizing a material, and the specific apparatus configuration is particularly limited. It is not a thing.

上記熱ラミネートを実施する手段の具体的な構成は特に限定されるものではないが、得られる積層板の外観を良好なものとするために、加圧面と金属箔との間に保護材料を配置することが好ましい。上述したように、保護材料としては、耐熱性、再使用等のバランスが優れる点から、非熱可塑性ポリイミドフィルムがより好ましく用いられる。また、この保護材料は必ずしも1層である必要はなく、異なる特性を有する2層以上の多層構造でも良い。   The specific configuration of the means for carrying out the thermal lamination is not particularly limited, but a protective material is disposed between the pressing surface and the metal foil in order to improve the appearance of the resulting laminate. It is preferable to do. As described above, as the protective material, a non-thermoplastic polyimide film is more preferably used from the viewpoint of excellent balance between heat resistance and reuse. Further, the protective material does not necessarily have to be a single layer, and may have a multilayer structure of two or more layers having different characteristics.

また、接着層に熱可塑性ポリイミドが含有される場合、ラミネート温度が非常に高温となるため、保護フィルムをそのままラミネートに用いると、急激な熱膨張により、得られるフレキシブル金属張積層板の外観や寸法安定性を悪化させる可能性がある。従って、ラミネート前に保護フィルムに予備加熱を施したほうが好ましい。予備加熱の手段としては、保護材料を熱ロールに抱かせるなどして接触させる方法が挙げられる。いずれの方法を採るとしても、ラミネート時に保護フィルムの温度がロール温度に対し0〜−10℃の範囲内となるようにする。保護フィルム温度を上記範囲内とすることにより、ラミネート時には保護材料の熱膨張が終了しているため、フレキシブル金属張積層板の外観や寸法変化に影響を与えることが抑制される。保護フィルム温度が上記範囲から外れた場合、保護材料の熱膨張が終了しないままラミネートが行われるため、ラミネート時に急激な熱膨張が起こり、得られる積層板の外観や寸法変化が悪化する可能性がある。保護材料を加熱ロールに抱かせる距離ならびに時間については特に限定されず、保護フィルム厚み、ロールの径、ラミネート速度などから適宜調整すれば良い。   In addition, when thermoplastic polyimide is contained in the adhesive layer, the laminating temperature becomes very high. Therefore, when the protective film is used as it is for laminating, the appearance and dimensions of the resulting flexible metal-clad laminate due to rapid thermal expansion. May degrade stability. Therefore, it is preferable to preheat the protective film before lamination. Examples of the preheating means include a method of bringing a protective material into contact with a heat roll. Whichever method is adopted, the temperature of the protective film is set to be within a range of 0 to −10 ° C. with respect to the roll temperature during lamination. By setting the protective film temperature within the above range, since the thermal expansion of the protective material is completed at the time of lamination, it is possible to suppress the influence on the appearance and dimensional change of the flexible metal-clad laminate. When the temperature of the protective film is out of the above range, since the lamination is performed without completing the thermal expansion of the protective material, rapid thermal expansion occurs at the time of lamination, and the appearance and dimensional change of the obtained laminated board may be deteriorated. is there. The distance and time for holding the protective material on the heating roll are not particularly limited, and may be appropriately adjusted from the thickness of the protective film, the diameter of the roll, the lamination speed, and the like.

上記熱ラミネート手段における被積層材料の加熱方式は特に限定されるものではなく、例えば、熱循環方式、熱風加熱方式、誘導加熱方式等、所定の温度で加熱し得る従来公知の方式を採用した加熱手段を用いることができる。同様に、上記熱ラミネート手段における被積層材料の加圧方式も特に限定されるものではなく、例えば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等、所定の圧力を加えることができる従来公知の方式を採用した加圧手段を用いることができる。   The heating method of the material to be laminated in the heat laminating means is not particularly limited. For example, heating using a conventionally known method capable of heating at a predetermined temperature, such as a heat circulation method, a hot air heating method, an induction heating method, or the like. Means can be used. Similarly, the pressurization method of the material to be laminated in the heat laminating means is not particularly limited, and a conventionally known method capable of applying a predetermined pressure such as a hydraulic method, a pneumatic method, a gap pressure method, etc. The pressurizing means adopting can be used.

上記熱ラミネート工程における加熱温度、すなわちラミネート温度は、接着フィルムのガラス転移温度(Tg)+50℃以上の温度であることが好ましく、接着フィルムのTg+100℃以上がより好ましい。Tg+50℃以上の温度であれば、接着フィルムと金属箔とを良好に熱ラミネートすることができる。またTg+100℃以上であれば、ラミネート速度を上昇させてその生産性をより向上させることができる。また、ラミネート温度が300℃以上である場合、本発明の効果が特に顕著に現れ、寸法安定性に優れたフレキシブル金属張積層板を製造することが可能となる。   The heating temperature in the thermal laminating step, that is, the laminating temperature, is preferably a glass transition temperature (Tg) of the adhesive film + 50 ° C. or higher, and more preferably Tg + 100 ° C. or higher of the adhesive film. If it is Tg + 50 degreeC or more temperature, an adhesive film and metal foil can be heat-laminated favorably. Moreover, if it is Tg + 100 degreeC or more, the lamination speed | rate can be raised and the productivity can be improved more. In addition, when the laminating temperature is 300 ° C. or higher, the effect of the present invention appears particularly remarkably, and it becomes possible to produce a flexible metal-clad laminate excellent in dimensional stability.

上記熱ラミネート工程におけるラミネート速度は、0.5m/分以上であることが好ましく、1.0m/分以上であることがより好ましい。0.5m/分以上であれば十分な熱ラミネートが可能になり、1.0m/分以上であれば生産性をより一層向上することができる。   The laminating speed in the thermal laminating step is preferably 0.5 m / min or more, and more preferably 1.0 m / min or more. If it is 0.5 m / min or more, sufficient thermal lamination is possible, and if it is 1.0 m / min or more, productivity can be further improved.

上記熱ラミネート工程における圧力、すなわちラミネート圧力は、高ければ高いほどラミネート温度を低く、かつラミネート速度を速くすることができる利点があるが、一般にラミネート圧力が高すぎると得られる積層板の寸法変化が悪化する傾向がある。また、逆にラミネート圧力が低すぎると得られる積層板の金属箔の接着強度が低くなる。そのためラミネート圧力は、49〜490N/cm(5〜50kgf/cm)の範囲内であることが好ましく、98〜294N/cm(10〜30kgf/cm)の範囲内であることがより好ましい。この範囲内であれば、ラミネート温度、ラミネート速度およびラミネート圧力の三条件を良好なものにすることができ、生産性をより一層向上することができる。   The higher the pressure in the heat laminating step, that is, the laminating pressure, is advantageous in that the laminating temperature can be lowered and the laminating speed can be increased. There is a tendency to get worse. On the other hand, if the lamination pressure is too low, the adhesive strength of the metal foil of the laminate obtained is lowered. Therefore, the lamination pressure is preferably in the range of 49 to 490 N / cm (5 to 50 kgf / cm), and more preferably in the range of 98 to 294 N / cm (10 to 30 kgf / cm). Within this range, the three conditions of the lamination temperature, the lamination speed and the lamination pressure can be made favorable, and the productivity can be further improved.

また、ラミネート時のポリイミドフィルム張力は、0.01〜2N/cm、さらには0.02〜1.5N/cm、特には0.05〜1.0N/cmが好ましい。張力がこの範囲を下回ると外観の良好なフレキシブル金属張積層板を得ることが困難となる場合があり、またこの範囲を上回ると寸法安定性が劣る傾向にある。   The polyimide film tension during lamination is preferably 0.01 to 2 N / cm, more preferably 0.02 to 1.5 N / cm, and particularly preferably 0.05 to 1.0 N / cm. If the tension is below this range, it may be difficult to obtain a flexible metal-clad laminate with good appearance, and if it exceeds this range, the dimensional stability tends to be inferior.

本発明にかかるフレキシブル金属張積層板を得るためには、連続的に被積層材料を加熱しながら圧着する熱ラミネート装置を用いることが好ましいが、この熱ラミネート装置では、熱ラミネート手段の前段に、被積層材料を繰り出す被積層材料繰出手段を設けてもよいし、熱ラミネート手段の後段に、被積層材料を巻き取る被積層材料巻取手段を設けてもよい。これらの手段を設けることで、上記熱ラミネート装置の生産性をより一層向上させることができる。上記被積層材料繰出手段および被積層材料巻取手段の具体的な構成は特に限定されるものではなく、例えば、接着フィルムや金属箔、あるいは得られる積層板を巻き取ることのできる公知のロール状巻取機等を挙げることができる。   In order to obtain the flexible metal-clad laminate according to the present invention, it is preferable to use a thermal laminating apparatus that continuously press-bonds the material to be laminated while heating, but in this thermal laminating apparatus, before the thermal laminating means, A laminated material feeding means for feeding the laminated material may be provided, or a laminated material winding means for winding the laminated material may be provided after the thermal laminating means. By providing these means, the productivity of the thermal laminating apparatus can be further improved. The specific configuration of the laminated material feeding means and the laminated material winding means is not particularly limited, and for example, an adhesive film, a metal foil, or a known roll shape capable of winding up the obtained laminated plate A winder etc. can be mentioned.

さらに、保護材料を巻き取ったり繰り出したりする保護材料巻取手段や保護材料繰出手段を設けると、より好ましい。これら保護材料巻取手段・保護材料繰出手段を備えていれば、熱ラミネート工程で、一度使用された保護材料を巻き取って繰り出し側に再度設置することで、保護材料を再使用することができる。また、保護材料を巻き取る際に、保護材料の両端部を揃えるために、端部位置検出手段および巻取位置修正手段を設けてもよい。これによって、精度よく保護材料の端部を揃えて巻き取ることができるので、再使用の効率を高めることができる。なお、これら保護材料巻取手段、保護材料繰出手段、端部位置検出手段および巻取位置修正手段の具体的な構成は特に限定されるものではなく、従来公知の各種装置を用いることができる。   Furthermore, it is more preferable to provide a protective material winding means and a protective material feeding means for winding and feeding the protective material. If these protective material take-up means and protective material feeding means are provided, the protective material can be reused by winding the protective material once used in the thermal laminating step and installing it again on the pay-out side. . Further, when winding up the protective material, end position detecting means and winding position correcting means may be provided in order to align both ends of the protective material. As a result, the end portions of the protective material can be aligned and wound with high accuracy, so that the efficiency of reuse can be increased. The specific configurations of the protective material winding means, the protective material feeding means, the end position detecting means, and the winding position correcting means are not particularly limited, and various conventionally known devices can be used.

次に保護フィルムによりフレキシブル金属張積層板の寸法安定性を向上させる方法について説明する。   Next, a method for improving the dimensional stability of the flexible metal-clad laminate with a protective film will be described.

熱ラミネート時に加熱加圧面と金属箔との間に保護フィルムを配してラミネートを行い、その後に接着層のTg以下に冷却後、保護フィルムを引き剥がす工程を経る。熱ラミネートの際、接着フィルムのMD方向に張力がかかった状態でラミネートされるため、MD方向に伸ばされ張り合わされることになる。そのため、MD方向に収縮、TD方向に膨張の歪みが残留し、金属箔除去後及び250℃、30分加熱後に開放され、基材に収縮の寸法変化となり現れる。   At the time of heat laminating, a protective film is disposed between the heat-pressing surface and the metal foil to perform lamination, and after that, after cooling to Tg or less of the adhesive layer, the protective film is peeled off. In the case of heat laminating, since it is laminated in a state where tension is applied in the MD direction of the adhesive film, it is stretched in the MD direction and bonded together. Therefore, shrinkage in the MD direction and expansion strain remain in the TD direction, which are released after the metal foil is removed and heated at 250 ° C. for 30 minutes, and appear as a dimensional change in shrinkage on the base material.

また、保護フィルムはフレキシブル金属張積層板の表面を保護し外観良好に保つ役割と同時に、金属箔除去後及び250℃、30分の加熱を行う前後の寸法変化率に影響を及ぼす。即ち、金属箔はラミネート後に接着層のTg以下で固定され、それ以下の温度では保護フィルムと金属箔の寸法変化の差により金属箔が塑性変形する作用を引き起こす。従って、熱ラミネート前に予め弾性変形範囲内でMD方向に伸ばした状態でラミネートすることによりラミネート後に保護フィルムが収縮し金属箔を収縮方向へ塑性変形させ、金属箔除去後及び250℃、30分加熱後の収縮を緩和させることができる。MD方向の延伸率は保護フィルムにより異なるが、弾性変形範囲内で且つ0.05〜5%、好ましくは0.1〜3%、更に好ましくは0.5〜2%である。この範囲より低いと十分な寸法改善効果が得られず、反対に大きすぎるとMD方向に膨張の寸法変化を生じることとなる。   Further, the protective film protects the surface of the flexible metal-clad laminate and keeps the appearance good, and also affects the dimensional change rate after removing the metal foil and before and after heating at 250 ° C. for 30 minutes. That is, the metal foil is fixed at Tg or less of the adhesive layer after laminating, and at a temperature below that, the metal foil causes plastic deformation due to a difference in dimensional change between the protective film and the metal foil. Therefore, by laminating in a state stretched in the MD direction within the elastic deformation range in advance before thermal lamination, the protective film shrinks after lamination, and the metal foil is plastically deformed in the shrinking direction. After removing the metal foil and at 250 ° C. for 30 minutes. Shrinkage after heating can be alleviated. Although the stretch rate in the MD direction varies depending on the protective film, it is within the elastic deformation range and is 0.05 to 5%, preferably 0.1 to 3%, and more preferably 0.5 to 2%. If it is lower than this range, a sufficient dimensional improvement effect cannot be obtained. On the contrary, if it is too large, a dimensional change of expansion occurs in the MD direction.

弾性変形範囲はオートグラフで引張り試験を行い、フックの法則に従う弾性歪みから算出できる。すなわち応力−歪み曲線が直線から外れる点を弾性限度とする。   The elastic deformation range can be calculated from an elastic strain according to Hook's law by performing a tensile test with an autograph. That is, the point where the stress-strain curve deviates from the straight line is defined as the elastic limit.

上記保護フィルムを延伸させるための張力としては、フィルムの組成、厚みにより適宜選択されるが、60kg/m以上、200kg/m以下とすることが好ましい。張力が上記範囲内であれば、ほとんどのポリイミドフィルムでMD方向に延伸させることが可能となる。   The tension for stretching the protective film is appropriately selected depending on the composition and thickness of the film, but is preferably 60 kg / m or more and 200 kg / m or less. If the tension is within the above range, most polyimide films can be stretched in the MD direction.

本発明にかかる製造方法により得られるフレキシブル金属張積層板においては、金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の加熱を行う前後の寸法変化率の合計値が、MD方向、TD方向共に−0.08〜+0.08の範囲にあることが非常に好ましい。金属箔除去前後の寸法変化率は、エッチング工程前のフレキシブル金属張積層板における所定の寸法およびエッチング工程後の所定の寸法の差分と、上記エッチング工程前の所定の寸法との比で表される。加熱前後の寸法変化率は、エッチング工程後のフレキシブル金属張積層板における所定の寸法および加熱工程後の所定の寸法の差分と、上記エッチング工程後の所定の寸法との比で表される。   In the flexible metal-clad laminate obtained by the manufacturing method according to the present invention, the dimensional change rate before and after removing the metal foil, and the total value of the dimensional change rate before and after heating at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil. However, it is very preferable that both the MD direction and the TD direction are in the range of -0.08 to +0.08. The rate of dimensional change before and after removal of the metal foil is expressed as a ratio between a difference between a predetermined dimension in the flexible metal-clad laminate before the etching process and a predetermined dimension after the etching process and a predetermined dimension before the etching process. . The dimensional change rate before and after heating is represented by a ratio between a difference between a predetermined dimension in the flexible metal-clad laminate after the etching process and a predetermined dimension after the heating process, and a predetermined dimension after the etching process.

寸法変化率がこの範囲内から外れると、フレキシブル金属張積層板において、部品実装時の不良率が高くなる傾向にある。   If the dimensional change rate is out of this range, the defect rate at the time of component mounting tends to increase in the flexible metal-clad laminate.

上記寸法変化率の測定方法は特に限定されるものではなく、フレキシブル金属張積層板において、エッチングまたは加熱工程の前後に生じる寸法の増減を測定できる方法であれば、従来公知のどのような方法でも用いることができる。   The method for measuring the dimensional change rate is not particularly limited, and any method known in the art can be used as long as it can measure the increase or decrease in dimensions that occurs before and after the etching or heating process in the flexible metal-clad laminate. Can be used.

ここで、寸法変化率の測定は、MD方向、TD方向の双方について測定することが必須となる。連続的にイミド化ならびにラミネートする場合、MD方向およびTD方向では張力のかかり方が異なるため、熱膨張・収縮の度合いに差が現れ、寸法変化率も異なる。したがって、寸法変化率の小さい材料では、MD方向およびTD方向の双方ともに変化率が小さいことが要求される。本発明においては、フレキシブル金属張積層板の、金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の加熱を行う前後の寸法変化率の合計値が、MD方向、TD方向共に−0.08〜+0.08の範囲にあることが非常に好ましい。   Here, it is essential to measure the dimensional change rate in both the MD direction and the TD direction. When imidizing and laminating continuously, the tension is different in the MD direction and the TD direction, so a difference appears in the degree of thermal expansion / contraction and the dimensional change rate is also different. Therefore, a material having a small dimensional change rate is required to have a low change rate in both the MD direction and the TD direction. In the present invention, the dimensional change rate before and after removing the metal foil of the flexible metal-clad laminate, and the total value of the dimensional change rate before and after heating at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil are MD direction, It is very preferable that the TD direction is in the range of -0.08 to +0.08.

なお、寸法変化率を測定する際のエッチング工程の具体的な条件は特に限定されるものではない。すなわち、金属箔の種類や形成されるパターン配線の形状等に応じてエッチング条件は異なるので、本発明において寸法変化率を測定する際のエッチング工程の条件は従来公知のどのような条件であってもよい。同様に、加熱工程においても、250℃で30分間加熱がなされれば良く、具体的な条件は特に限定されない。   In addition, the specific conditions of the etching process at the time of measuring a dimensional change rate are not specifically limited. That is, since the etching conditions differ depending on the type of metal foil and the shape of the pattern wiring to be formed, the etching process conditions for measuring the dimensional change rate in the present invention are any conventionally known conditions. Also good. Similarly, in the heating process, it is sufficient that heating is performed at 250 ° C. for 30 minutes, and specific conditions are not particularly limited.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited only to these Examples.

なお、合成例、実施例及び比較例における熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度、保護フィルムの弾性変形率、フレキシブル積層板の寸法変化率、金属箔引き剥し強度の評価法は次の通りである。   In addition, the evaluation methods of the glass transition temperature of the thermoplastic polyimide, the elastic deformation rate of the protective film, the dimensional change rate of the flexible laminate, and the metal foil peel strength in the synthesis examples, examples, and comparative examples are as follows.

(ガラス転移温度)
ガラス転移温度は、セイコーインスツルメンツ社製 DMS200により、昇温速度3℃/分にて、室温から400℃までの温度範囲で測定し、貯蔵弾性率の変曲点をガラス転移温度とした。
(Glass-transition temperature)
The glass transition temperature was measured with a DMS200 manufactured by Seiko Instruments Inc. at a temperature rising rate of 3 ° C./min in a temperature range from room temperature to 400 ° C., and the inflection point of the storage elastic modulus was taken as the glass transition temperature.

(弾性変形率)
弾性変形範囲はオートグラフで引張り試験(JIS K7127)を行い、フックの法則に従う弾性歪みから算出した。算出結果を以下に示す。
125NPI:4.3%,75NPI: 4.0%,125AH: 5.2%
(Elastic deformation rate)
The elastic deformation range was calculated from an elastic strain according to Hook's law by performing an autograph tensile test (JIS K7127). The calculation results are shown below.
125 NPI: 4.3%, 75 NPI: 4.0%, 125AH: 5.2%

(寸法変化率)
JIS C6481に基づいて、フレキシブル積層板に4つの穴を形成し、各穴のそれぞれの距離を測定した。次に、エッチング工程を実施してフレキシブル積層板から金属箔を除去した後に、20℃、60%RHの恒温室に24時間放置した。その後、エッチング工程前と同様に、上記4つの穴について、それぞれの距離を測定した。金属箔除去前における各穴の距離の測定値をD1とし、金属箔除去後における各穴の距離の測定値をD2として、次式により寸法変化率を求めた。
寸法変化率(%)={(D2−D1)/D1}×100
なお、上記寸法変化率は、MD方向及びTD方向の双方について測定した。
(Dimensional change rate)
Based on JIS C6481, four holes were formed in the flexible laminate, and the distance of each hole was measured. Next, after carrying out an etching process to remove the metal foil from the flexible laminate, it was left in a temperature-controlled room at 20 ° C. and 60% RH for 24 hours. Then, each distance was measured about the said four holes similarly to the etching process front. The measured value of the distance of each hole before metal foil removal was set to D1, and the measured value of the distance of each hole after metal foil removal was set to D2, and the dimensional change rate was calculated | required by following Formula.
Dimensional change rate (%) = {(D2-D1) / D1} × 100
In addition, the said dimensional change rate was measured about both MD direction and TD direction.

続いて、エッチング後の測定サンプルを250℃で30分加熱した後、20℃、60%RHの恒温室に24時間放置した。その後、上記4つの穴について、それぞれの距離を測定した。加熱後における各穴の距離の測定値をD3として、次式により加熱前後の寸法変化率を求めた。
寸法変化率(%)={(D3−D2)/D2}×100
なお、上記寸法変化率は、MD方向及びTD方向の双方について測定した。
Subsequently, the measurement sample after etching was heated at 250 ° C. for 30 minutes and then left in a constant temperature room at 20 ° C. and 60% RH for 24 hours. Then, each distance was measured about the said four holes. The measured value of the distance of each hole after heating was set to D3, and the dimensional change rate before and after heating was obtained by the following formula.
Dimensional change rate (%) = {(D3-D2) / D2} × 100
In addition, the said dimensional change rate was measured about both MD direction and TD direction.

(金属箔の引き剥がし強度:接着強度)
JIS C6471の「6.5 引きはがし強さ」に従って、サンプルを作製し、5mm幅の金属箔部分を、180度の剥離角度、50mm/分の条件で剥離し、その荷重を測定した。
(Stripping strength of metal foil: Adhesive strength)
A sample was prepared according to “6.5 Peel Strength” of JIS C6471, and a 5 mm wide metal foil part was peeled off at a peeling angle of 180 degrees and 50 mm / min, and the load was measured.

(合成例1;熱可塑性ポリイミド前駆体の合成)
容量2000mlのガラス製フラスコにDMFを780g、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン(BAPP)を115.6g加え、窒素雰囲気下で攪拌しながら、3,3’4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)を78.7g徐々に添加した。続いて、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)(TMEG)を3.8g添加し、氷浴下で30分間撹拌した。2.0gのTMEGを20gのDMFに溶解させた溶液を別途調製し、これを上記反応溶液に、粘度に注意しながら徐々に添加、撹拌を行った。粘度が3000poiseに達したところで添加、撹拌をやめ、ポリアミド酸溶液を得た。
(Synthesis Example 1; Synthesis of thermoplastic polyimide precursor)
780 g of DMF and 115.6 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) were added to a glass flask having a capacity of 2000 ml, and 3,3′4 while stirring under a nitrogen atmosphere. , 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) was gradually added. Subsequently, 3.8 g of ethylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride) (TMEG) was added and stirred for 30 minutes in an ice bath. A solution in which 2.0 g of TMEG was dissolved in 20 g of DMF was separately prepared, and this was gradually added to the reaction solution while being careful of the viscosity and stirred. When the viscosity reached 3000 poise, addition and stirring were stopped to obtain a polyamic acid solution.

このポリアミド酸溶液を25μmPETフィルム(セラピールHP,東洋メタライジング社製)上に最終厚みが20μmとなるように流延し、120℃で5分間乾燥を行った。乾燥後の自己支持性フィルムをPETから剥離した後、金属製のピン枠に固定し、150℃で5分間、200℃で5分間、250℃で5分間、350℃で5分間乾燥を行い、単層シートを得た。この熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度は240℃であった。   This polyamic acid solution was cast on a 25 μm PET film (Therapy HP, manufactured by Toyo Metallizing Co., Ltd.) so as to have a final thickness of 20 μm, and dried at 120 ° C. for 5 minutes. After peeling off the dried self-supporting film from PET, it is fixed to a metal pin frame and dried at 150 ° C. for 5 minutes, 200 ° C. for 5 minutes, 250 ° C. for 5 minutes, 350 ° C. for 5 minutes, A single layer sheet was obtained. The glass transition temperature of this thermoplastic polyimide was 240 ° C.

(実施例1〜4,参考例1〜3;フレキシブル銅張積層板(FCCL)の製造)
合成例1で得られたポリアミド酸溶液を固形分濃度10重量%になるまでDMFで希釈した後、17μmのアピカルHP(鐘淵化学工業株式会社製)の両面に、熱可塑性ポリイミド層(接着層)の最終片面厚みが4μmとなるようにポリアミド酸を塗布した後、140℃で1分間加熱を行った。続いて、雰囲気温度390℃の遠赤外線ヒーター炉の中を20秒間通して加熱イミド化を行って、耐熱性接着フィルムを得た。得られた接着フィルムの両側に18μm圧延銅箔(BHY−22B−T,ジャパンエナジー社製)を、さらに銅箔の両側に表1に示す保護フィルムを用いて、表1に示す保護フィルム張力、接着フィルムの張力0.4N/cm、ラミネート温度360℃、ラミネート圧力196N/cm(20kgf/cm)、ラミネート速度1.5m/分の条件で連続的に熱ラミネートを行い、フレキシブル金属張積層板を作製した。このフレキシブル金属張積層板の特性を表1に示す。
(Examples 1-4, Reference Examples 1-3; Production of flexible copper-clad laminate (FCCL))
After diluting the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 1 with DMF to a solid content concentration of 10% by weight, a thermoplastic polyimide layer (adhesive layer) is formed on both sides of 17 μm apical HP (manufactured by Kaneka Chemical Co., Ltd.). The polyamic acid was applied so that the final single-side thickness of 4) was 4 μm, and then heated at 140 ° C. for 1 minute. Subsequently, heat imidization was performed by passing through a far infrared heater furnace having an atmospheric temperature of 390 ° C. for 20 seconds to obtain a heat resistant adhesive film. 18 μm rolled copper foil (BHY-22B-T, manufactured by Japan Energy Co., Ltd.) is used on both sides of the obtained adhesive film, and the protective film shown in Table 1 is used on both sides of the copper foil. A flexible metal-clad laminate is obtained by continuous thermal lamination under conditions of adhesive film tension 0.4 N / cm, laminating temperature 360 ° C., laminating pressure 196 N / cm (20 kgf / cm), laminating speed 1.5 m / min. Produced. Table 1 shows the characteristics of the flexible metal-clad laminate.

比較例1〜比較例3に示すように、保護フィルムのMD方向延伸が適正でなかった場合、得られるフレキシブル金属張積層板の寸法変化に劣る結果となった。これに対し、保護フィルムのMD方向延伸を適正範囲内に制御した実施例1〜4では、良好な寸法安定性が確認された。   As shown in Comparative Examples 1 to 3, when the MD stretching of the protective film was not appropriate, the resulting flexible metal-clad laminate was inferior in dimensional change. On the other hand, in Examples 1 to 4 in which the MD direction stretching of the protective film was controlled within an appropriate range, good dimensional stability was confirmed.

Claims (7)

ポリイミドフィルムの片面または両面に、接着層を介して金属箔を貼り合わせて得られる、寸法安定性に優れたフレキシブル金属張積層板の製造方法であって、加熱加圧面と金属箔との間に保護フィルムを配し、保護フィルムを弾性変形範囲内でMD方向に延伸した状態でラミネートすることを特徴とする、フレキシブル金属張積層板の製造方法。 A method for producing a flexible metal-clad laminate excellent in dimensional stability, obtained by laminating a metal foil on one or both sides of a polyimide film via an adhesive layer, between a heating and pressing surface and a metal foil A method for producing a flexible metal-clad laminate, comprising: providing a protective film; and laminating the protective film in a state of being stretched in the MD direction within an elastic deformation range. フレキシブル金属張積層板が、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置により接着層を介して金属箔とポリイミドフィルムとを貼り合わせて得られることを特徴とする、請求項1記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。 2. The flexible metal-clad laminate according to claim 1, wherein the flexible metal-clad laminate is obtained by laminating a metal foil and a polyimide film through an adhesive layer by a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls. A manufacturing method of a laminated board. 熱ラミネート時の保護フィルム張力が60kg/m以上、200kg/m以下であることを特徴とする、請求項1または2記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。 The method for producing a flexible metal-clad laminate according to claim 1 or 2, wherein the protective film tension during heat lamination is 60 kg / m or more and 200 kg / m or less. 保護フィルムを予め熱ロールに接触させることによりラミネート時に保護フィルム温度をロール温度に対し0〜−10℃にすることを特徴とする、請求項1乃至3記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。 The method for producing a flexible metal-clad laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the protective film is brought into contact with a hot roll in advance so that the temperature of the protective film is 0 to -10 ° C with respect to the roll temperature during lamination. 熱ラミネート温度が300℃以上であることを特徴とする、請求項1乃至4記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。 The method for producing a flexible metal-clad laminate according to claim 1, wherein the thermal lamination temperature is 300 ° C. or higher. 接着層が熱可塑性ポリイミドを含有することを特徴とする、請求項1乃至5記載のフレキシブル金属張積層板の製造方法。 The method for producing a flexible metal-clad laminate according to claim 1, wherein the adhesive layer contains thermoplastic polyimide. 金属箔を除去する前後の寸法変化率、ならびに金属箔除去後に250℃、30分の熱処理を行う前後の寸法変化率の合計値が、MD方向、TD方向共に−0.08〜+0.08%の範囲にあることを特徴とする、請求項1乃至6に記載の製造方法により得られたフレキシブル金属張積層板。 The dimensional change rate before and after removing the metal foil, and the total value of the dimensional change rate before and after performing heat treatment at 250 ° C. for 30 minutes after removing the metal foil is −0.08 to + 0.08% in both the MD direction and the TD direction. The flexible metal-clad laminate obtained by the manufacturing method according to claim 1, wherein the laminate is in the range of
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