JP2005191284A - プリント配線板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 高密度の金属配線パターンを得る場合に特に好ましい、所定の幅の金属配線パターンを備えたプリント配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】 表面が金属層で覆われたプリント配線板形成用基板上に、相対的に高感度の感光性樹脂層そして相対的に低感度の感光性樹脂層がこの順に積層された構成の感光性積層体を用意する工程、感光性積層体の低感度感光性樹脂層側からプリント配線板形成用基板の金属層表面の配線パターン形成領域内に光を照射することにより、配線パターン形成領域に、底部にて幅方向に両側に広がる裾部を備えた硬化樹脂層を形成する露光工程、積層体の未硬化部分を溶解除去して、配線パターン形成領域外の金属層表面を露出させる現像工程、露出した金属層部分をエッチング液で溶解除去するエッチング工程、そして硬化樹脂層を除去する硬化樹脂層除去工程を含むプリント配線板の製造方法。
【選択図】 図４

Description

本発明は、プリント配線板の製造方法に関する。

プリント配線板を、支持体上に感光性樹脂層が積層された構成の感光性転写シート（ドライフィルムフォトレジストとも呼ばれている）を用いたフォトリソグラフィ技術により製造する方法は知られている（例えば、特許文献１参照）。プリント配線板は、例えば、以下のようにして製造される。先ず表面に金属層を備えたプリント配線板形成用基板（例えば、銅張積層板）の前記金属層上に、感光性転写シートをその感光性樹脂層が金属層と接触するようにして重ね合わせる。そして金属層表面の配線パターン形成領域内に光を照射することにより、前記配線パターン形成領域上の感光性樹脂層が硬化した硬化樹脂層を形成する。次いで、感光性転写シートの支持体のみを剥がし取り、未硬化の感光性樹脂層を除去して、配線パターン形成領域外の金属層表面を露出させる。そして露出した金属層部分をエッチングして除去し、その後硬化樹脂層を除去することにより、表面に金属配線パターンを備えたプリント配線板が製造される。

上記のように、プリント配線板形成用基板の金属層上に感光性転写シートを重ね合わせ、そして光を所定のパターン状に照射した後に感光性転写シートの支持体を剥がし取る場合、支持体としては可撓性の透明フィルム支持体が好ましく用いられる。

図１は、従来のプリント配線板の製造方法において、プリント配線板形成用基板１の金属層２の上に形成された感光性樹脂層を露光、そして現像することにより得られる硬化樹脂層６の一例の形状を示す斜視図である。
特開平１０−１６１３０９号公報

本発明の目的は、高密度の金属配線パターンを得る場合に特に好ましい、所定の幅の金属配線パターンを備えたプリント配線板の製造方法を提供することにある。

本発明は、下記の（１）から（５）の工程を含むプリント配線板の製造方法にある。
（１）表面が金属層で覆われたプリント配線板形成用基板上に、相対的に高感度の感光性樹脂層そして相対的に低感度の感光性樹脂層がこの順に積層された構成の感光性積層体を用意する工程。
（２）感光性積層体の低感度感光性樹脂層側からプリント配線板形成用基板の金属層表面の配線パターン形成領域内に光を照射することにより、配線パターン形成領域に、底部にて幅方向に両側に広がる裾部を備えた硬化樹脂層を形成する露光工程。
（３）積層体の未硬化部分を溶解除去して、配線パターン形成領域外の金属層表面を露出させる現像工程。
（４）露出した金属層部分をエッチング液で溶解除去するエッチング工程。
（５）硬化樹脂層をプリント配線板形成用基板の金属層表面から除去する硬化樹脂層除去工程。

本発明のプリント配線板の製造方法の好ましい態様は、下記の通りである。
（Ａ）高感度感光性樹脂層を硬化させるために必要な光量Ａと低感度感光性樹脂層を硬化させるために必要な光量Ｂとの比Ａ／Ｂが０．０１〜０．５の範囲にある。
（Ｂ）感光性積層体が、その低感度感光性樹脂層の上にさらに支持体が積層された構成を有し、上記露光工程に次いで、積層体から該支持体を剥がす剥離工程を含む。
（Ｃ）光がレーザ光である。

本発明はまた、上記の方法により製造されたプリント配線板にもある。

本発明においては、プリント配線板の製造に、表面が金属層で覆われたプリント配線板形成用基板上に、相対的に高感度の感光性樹脂層そして相対的に低感度の感光性樹脂層がこの順に積層された構成の感光性積層体が用いられる。この感光性積層体を露光、現像することにより、プリント配線板形成用基板の金属層表面の配線パターン形成領域には、底部にて幅方向に両側に広がる裾部を備えた硬化樹脂層が形成される。硬化樹脂層の裾部は、露光の際に照射する光のプリント配線板形成用基板の金属層表面における反射光が、高感度感光性樹脂層の一部分を硬化させることにより形成される。この裾部の長さは、積層体の高感度感光性樹脂層の感度を変更することにより調節することができる。裾部の長さの調節により、エッチング工程におけるプリント配線板形成用基板の金属層のサイドエッチング量を調節することができる。このため、本発明の方法により、高密度の金属配線パターンを得る場合（細い幅の金属配線パターンを形成する場合）であっても、所定の幅の金属配線パターンを備えたプリント配線板を製造することができる。

まず、本発明のプリント配線板の製造方法に用いられる感光性積層体について説明する。図２は、感光性積層体の製造に好ましく用いられる感光性転写シートの一例の構成を示す断面図である。

図２の感光性転写シート１０は、可撓性透明フィルム支持体１１、低感度感光性樹脂層１２、高感度感光性樹脂層１３、そして保護フィルム１４がこの順で積層された構成を有している。低感度感光性樹脂層１２及び高感度感光性樹脂層１３はそれぞれ、バインダーポリマー、エチレン性不飽和結合含有モノマー、及び光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物からなり、光の照射によりエチレン性不飽和結合含有モノマーが重合して硬化する。図２の感光性転写シートは、高感度感光性樹脂層１３が低感度感光性樹脂層１２よりも相対的に感度が高い点に主な特徴がある。ここで、感度が高いとは、高感度感光性樹脂層１３の硬化が、低感度感光性樹脂層１２よりも少ない光の照射量で始まることを意味する。

図２の感光性転写シートにおける光の照射量と感光性樹脂層の硬化量との関係を、図３を参照しながら説明する。図３は、図２の感光性転写シートに可撓性透明フィルム支持体側から光を照射したときの、光の照射量と得られる硬化樹脂層の厚さとの関係を表す感度曲線を示すグラフである。図３において、横軸は、光の照射量を表し、縦軸は、光の照射により硬化した感光性樹脂層の厚さを表す。縦軸のＤは、高感度感光性樹脂層の厚さを、Ｅは、低感度感光性樹脂層の厚さと高感度感光性樹脂層の厚さとを足した感光性樹脂層全体の厚さを表す。

図３に示すように、図２の感光性転写シートにおいては、可撓性透明フィルム支持体側から照射した光は、可撓性透明フィルム支持体、低感度感光性樹脂層、そして高感度感光性樹脂層の順に進むにもかかわらず、低感度感光性樹脂層よりも先に少ない光量で高感度感光性樹脂層の硬化が始まる。高感度感光性樹脂層の硬化が始まるために必要な光量Ｓは、０．１〜１０ｍＪ／ｃｍ² の範囲にあることが好ましい。高感度感光性樹脂層の硬化量は、光量の増加に従って増え、やがて高感度感光性樹脂層の全体が硬化する。高感度感光性樹脂層を硬化させるために必要な光量Ａは、２０ｍＪ／ｃｍ² 以下（特に、２〜１５ｍＪ／ｃｍ² の範囲内）であることが好ましい。

高感度感光性樹脂層の全体が硬化した後、光量を多くしていくと、低感度感光性樹脂層の硬化が始まり、さらに光量を多くすると、低感度感光性樹脂層の全体が硬化する。高感度感光性樹脂層を硬化させるために必要な光量Ａと低感度感光性樹脂層を硬化させるために必要な光量Ｂとの比Ａ／Ｂは、０．０１〜０．５の範囲にあることが好ましい。

低感度感光性樹脂層の硬化が始まるために必要な光量Ｃは、高感度感光性樹脂層を硬化させるために必要な光量Ａと同量であってもよいが、光量Ａよりも大きい方が好ましい。高感度感光性樹脂層を硬化させるために必要な光量Ａと低感度感光性樹脂層の硬化が始まるために必要な光量Ｃとの差Ｃ−Ａは、高感度感光性樹脂層を硬化させるために必要な光の照射量Ａの１０倍より少ない量（特に、１．１〜１０倍の範囲内）であるか、１００ｍＪ／ｃｍ²以下（特に、１〜１００ｍＪ／ｃｍ²の範囲内）であることが好ましい。

低感度感光性樹脂層の硬化が始まるために必要な光量Ｃは、高感度感光性樹脂層の硬化が始まるために必要な光量Ｓの１．４乃至１６倍の範囲にあることが好ましい。

上記のような感度曲線を有する感光性転写シートは、例えば、高感度感光性樹脂層の光重合開始剤の含有量を低感度感光性樹脂層より多くすること、あるいは高感度感光性樹脂層に増感剤を添加することにより得ることができる。感光性転写シートの材料及び製造方法については、後に詳しく記載する。

感光性積層体は、先ず図４（Ａ）に示す表面が金属層２２で覆われたプリント配線板形成用基板２１の金属層２２の表面に、図４（Ｂ）に示すように図１の感光性転写シート１０を、その高感度感光性樹脂層１３がプリント配線板形成用基板側となるようにして、例えば、加圧ローラ３１を用いて圧着することにより得られる。このようにして、プリント配線板形成用基板２１の上に、相対的に高感度の感光性樹脂層１３、相対的に低感度の感光性樹脂層１２、そして可撓性透明フィルム支持体１１がこの順で積層された構成の感光性積層体が用意される。感光性転写シート１０の積層は、室温（１５〜３０℃）あるいは加熱下（３０〜１８０℃）で行うことができる。特に、６０〜１４０℃の加熱下で行うことが好ましい。

なお、図２の感光性転写シートを用いる代わりに、後述の感光性転写シート製造用の高感度感光性樹脂組成物溶液と低感度感光性樹脂組成物溶液とをこの順にプリント配線板形成用基板の表面に直接塗布し、乾燥することによって、プリント配線板形成用基板、高感度感光性樹脂層そして低感度感光性樹脂層がこの順で積層された構成の感光性積層体を得ることもできる。

次に、本発明のプリント配線板の製造方法について、図４を参照しながら説明する。

先ず、上記のようにして得られた、プリント配線板形成用基板２１、高感度感光性樹脂層１３、低感度感光性樹脂層１２そして可撓性透明フィルム支持体１１がこの順で積層された構成の感光性積層体を用意する。

次に、図４（Ｃ）に示すように、感光性積層体の低感度感光性樹脂層１２の側から、プリント配線板形成用基板２１の金属層２２の表面の配線パターン形成領域内に光を照射することにより、配線パターン形成領域に、底部にて幅方向に両側に広がる裾部２７を備えた硬化樹脂層２６を形成する（露光工程）。硬化樹脂層２６は、低感度感光性樹脂層１２の一部分が硬化した上部硬化樹脂層２４及び高感度感光性樹脂層１３の一部分が硬化した下部硬化樹脂層２５から構成されている。

硬化樹脂層２６を形成する際に、露光の際に照射した光の一部がプリント配線板形成用基板２１の金属層２２の表面に反射され、この反射光により配線パターン形成領域外の高感度感光性樹脂層１３の一部分が僅かに硬化して、硬化樹脂層２６にはその幅方向に両側に広がる裾部２７が形成される。硬化樹脂層２６の裾部の長さＬ₁ は、感光性積層体の高感度感光性樹脂層の感度を変更することにより調節することができる。高感度感光性樹脂層の感度は、例えば、高感度感光性樹脂層の光重合開始剤の含有量、あるいは高感度感光性樹脂層に添加する増感剤の量によって調節することができる。

露光は、フォトマスクを介して光を照射することにより行なうか、レーザ露光装置を用いてレーザ光を照射することにより行なう。露光に使用される光源としては、可撓性透明フィルム支持体１１を透過し、かつ用いられる光重合開始剤に対して活性な電磁波、波長が３１０〜７００ｎｍ（好ましくは３５０〜５００ｎｍ）の範囲の紫外から可視領域の光線を発生させる光源が用いられる。例えば、（超）高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、ハロゲンランプ、複写用の蛍光管、半導体レーザ等の公知光源を使用することができる。この他に、電子線あるいはＸ線などを用いてもよい。

次に、図４（Ｄ）に示すように、感光性積層体から可撓性透明フィルム支持体１１を剥がす（剥離工程）。

次に、図４（Ｅ）に示すように、積層体の未硬化部分を、適当な現像液にて溶解除去して、配線パターン形成領域外の金属層表面を露出させる（現像工程）。なお、積層体の未硬化部分の「溶解除去」には、未硬化の感光性樹脂層の一部が溶解され、残りの部分が剥離片として除去されることも含まれる。現像液の例としては、アルカリ水溶液（例、炭酸ナトリウム溶液）、有機溶剤を含有するアルカリ水溶液、及び有機溶剤を挙げることができる。

次に、図４（Ｆ）に示すように、露出した金属層部分をエッチング液で溶解除去する（エッチング工程）。これよりプリント配線板形成用基板に金属配線パータン２２ａが形成される。金属層が銅で形成されている場合、エッチング液には、塩化第一鉄水溶液、塩化銅水溶液、及び塩化第二銅水溶液などを用いることができる。

従来より、金属層のエッチング工程において、硬化樹脂層の端部下側の金属層がエッチング液により溶解され、所定の幅よりも細い幅の金属配線パターンが形成される現象（サイドエッチングと呼ばれている）が知られている。金属配線パターンの密度を高くするにつれ、サイドエッチングにより、金属配線パターンが非常に細い幅となったり、あるいは断線したりする場合もある。本発明の製造方法においては、上記のように硬化樹脂層２６の裾部２７の長さを調節することにより、金属層のサイドエッチング量を調節することができる。このため、高密度の金属配線パターンを得る場合（細い幅の金属配線パターンを形成する場合）であっても、所定の幅の金属配線パターンを得ることができる。なお、硬化樹脂層２６の裾部２７は、露光の際に照射する光の金属層表面における反射光が高感度感光性樹脂層を硬化させることによって形成される。金属層表面に高感度感光性樹脂層が付設された積層体を用いることにより、前記反射光の光量が小さかったり、あるいはばらついていたりしても高感度感光性樹脂層が充分に硬化して、機械的強度の大きい裾部が形成される。このため、硬化樹脂層２６の裾部２７は、エッチング工程において欠けなどを生じ難い。

次に、図４（Ｇ）に示すように、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどの強アルカリの水溶液にて、硬化樹脂層を剥離片２８として、プリント配線板形成用基板の金属層（金属配線パターン２２ａ）の表面から除去する（硬化樹脂層除去工程）。このようにして、所定の幅の金属配線パターンを備えたプリント配線板を製造することができる。

図５は、本発明のプリント配線板の製造方法において、プリント配線板形成用基板の金属層の表面に形成される硬化樹脂層の好ましい形状を示す断面図である。そして図６は、図５の硬化樹脂層を用いてプリント配線板形成用基板の金属層をエッチングすることによって得られる金属配線パターンの形状を示す断面図である。図５に示すように、プリント配線板形成用基板２１の金属層２２の表面に形成された硬化樹脂層６６は、低感度感光性樹脂層の一部分が硬化した上部硬化樹脂層６４及び高感度感光性樹脂層の一部分が硬化した下部硬化樹脂層６５から構成されている。

図５に示すように、硬化樹脂層６６は、その裾部６７の厚みを均一に且つ厚く形成することが好ましい。裾部６７の厚みを厚く且つ均一にすることにより、上記のエッチング工程において裾部が欠け難くなる。このような裾部６７を備えた硬化樹脂層６６は、例えば、感光性積層体の高感度感光性樹脂層の光重合開始剤の含有量、あるいは高感度感光性樹脂層に添加する増感剤の量を多くすることにより得ることができる。

硬化樹脂層６６は、裾部６７の長さＬ₁ の調節により、その硬化樹脂層の裾部を含む幅Ｗ₁ を、硬化樹脂層の頂部の幅Ｗ₂ の１．３乃至１．５倍の範囲内（特に好ましくは、１．４倍程度）の長さに設定することが好ましい。このような形状の硬化樹脂層６６を用いてプリント配線板形成用基板２１の金属層２２をエッチングすることにより、図６に示すように、所定の幅、すなわち露光の際に光が照射された硬化樹脂層の頂部の幅Ｗ₂ にほぼ等しい幅の金属配線パターン２２ａを得ることができる。

高密度の金属配線パターンを得るには、図５に示すように、硬化樹脂層の裾部を含む幅Ｗ₁ が、硬化樹脂層の頂部における幅Ｗ₂ の１．３乃至１．５倍の範囲内に設定された硬化樹脂層６６の複数個を、Ｗ₂ に等しい間隔Ｌ₂ を介してプリント配線板形成用基板２１上に整列形成させることが好ましい。

以下、図２の構成の感光性転写シート１０の材料及び製造方法について、詳細に説明する。感光性転写シートにおいて用いるバインダーポリマーは、アルカリ性水溶液に可溶性であるか、あるいはアルカリ性水溶液との接触により少なくとも膨潤する性質を持つ共重合体であることが好ましい。アルカリ水溶液に対して可溶性又は膨潤性を持つ共重合体の例としては、カルボキシル基含有ビニルモノマー、及びその他の共重合可能なビニルモノマーとの共重合によって得られるカルボキシル基含有ビニル共重合体が挙げられる。

カルボキシル基含有ビニルモノマーの例としては（メタ）アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、アクリル酸ダイマー、スチレンスルホン酸、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、及びリン酸モノ（メタ）アクリロイルエチルエステルなどが挙げられる。また、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートなどの水酸基を有する単量体と無水マレイン酸や無水フタル酸のような環状無水物との付加反応物も利用できる。あるいは、カルボキシル基の前駆体として無水マレイン酸、無水イタコン酸などの無水物含有モノマーを用いてもよい。なお、これらの内では共重合性やコストや溶解性などの観点から（メタ）アクリル酸が特に好ましい。

その他の共重合可能なモノマーの例としては、酸性基（特に、カルボキシル基）を含まないエチレン不飽和モノマーを挙げることができる。特に、酸性基との化学反応性を有さないものであることが好ましい。例えば、（メタ）アクリル酸エステル類、クロトン酸エステル類、ビニルエステル類、マレイン酸ジエステル類、フマル酸ジエステル類、イタコン酸ジエステル類、（メタ）アクリルアミド類、スチレン類、及びビニルエーテル類が好ましい。これらのモノマーとしては、例えば以下の様な化合物が挙げられる。

（メタ）アクリル酸エステル類の例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、アセトキシエチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エトキシエチル（メタ）アクリレート、２−（２−メトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノフェニルエーテル（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、及びトリエチレングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。

クロトン酸エステル類の例としては、クロトン酸ブチル、及びクロトン酸ヘキシルなどが挙げられる。ビニルエステル類の例としては、ビニルアセテート、ビニルプロピオネート、ビニルブチレート、ビニルメトキシアセテート、及び安息香酸ビニルなどが挙げられる。

マレイン酸ジエステル類の例としては、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチル、及びマレイン酸ジブチルなどが挙げられる。フマル酸ジエステル類の例としては、フマル酸ジメチル、フマル酸ジエチル、及びフマル酸ジブチルなどが挙げられる。イタコン酸ジエステル類の例としては、イタコン酸ジメチル、イタコン酸ジエチル、及びイタコン酸ジブチルなどが挙げられる。

（メタ）アクリルアミド類の例としては、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎブチルアクリル（メタ）アミド、Ｎ−ｔｅｒｔブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−シクロヘキシル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（２−メトキシエチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−フェニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ベンジル（メタ）アクリルアミド、及び（メタ）アクリロイルモルフォリンなどが挙げられる。

スチレン類の例としては、スチレン、メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヒドロキシスチレン、メトキシスチレン、ブトキシスチレン、アセトキシスチレン、クロロスチレン、ジクロロスチレン、ブロモスチレン、クロロメチルスチレン、ビニル安息香酸メチル、及びα−メチルスチレンなどが挙げられる。ビニルエーテル類としては、メチルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、ヘキシルビニルエーテル、及びメトキシエチルビニルエーテルなどが挙げられる。

この他ビニルピリジン、ビニルピロリドン、ビニルカルバゾール、及び（メタ）アクリロニトリルなども使用できる。

これらの化合物は一種のみでも、また二種以上を併用しても良い。特に好ましい共重合可能なモノマーの例は、メチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、スチレン、α―メチルスチレン、クロルスチレン、ブロモスチレン、及びヒドロキシスチレンなどである。

カルボキシル基含有ビニル共重合体のカルボキシル基を有する繰り返し単位の含有量は、共重合体の全体繰り返し単位中の１〜６０モル％の範囲にあり、好ましくは５〜５０モル％の範囲、特に好ましくは１０〜４０モル％の範囲にある。カルボキシル基含有ビニル共重合体の分子量は、質量平均分子量として１０００〜２０００００の範囲にあることが好ましく、４０００〜１０００００の範囲にあることが特に好ましい。
感光性樹脂層中のバインダーポリマーの含有量は、低感度感光性樹脂層及び高感度感光性樹脂層ともに、５〜９６質量％の範囲にあることが好ましく、特に４０〜８０質量％の範囲にあることが好ましい。

エチレン性不飽和結合含有モノマーの好適な例としては、少なくとも二個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物である（以下、多官能モノマーとも言う）。例えば、このような多官能モノマーの例としては、特公昭３６−５０９３号公報、特公昭３５−１４７１９号公報、特公昭４４−２８７２７号公報などに記載されている化合物を挙げることができる。上記公報に記載の化合物（（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリルアミド類、アリル化合物、ビニルエーテル化合物、ビニルエステル類）の例として下記のものを挙げることができる。アクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル類の例としては、多価アルコールのポリアクリレート類及びポリメタクリレート類（ここで「ポリ」とはジ（メタ）アクリレート以上を言う）を挙げることができ、その多価アルコールの例としては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリブチレングリコール、ポリシクロヘキセンオキサイド、ポリスチレンオキサイド、ポリオキセタン、ポリテトラヒドロフラン、シクロヘキサンジオール、キシリレンジオール、ジ−（β−ヒドロキシエトキシ）ベンゼン、グリセリン、ジグリセリン、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、ソルビタン、ソルビトール、ブタンジオール、ブタントリオール、２−ブテン−１，４−ジオール、２−ｎ−ブチル−２−エチル−プロパンジオール、２−ブチン−１，４−ジオール、３−クロル−１，２−プロパンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、３−シクロヘキセン−１，１−ジメタノール、デカリンジオール、２，３−ジブロム−２−ブテン−１，４−ジオール、２，２−ジエチル−１，３−プロパンジオール、１，５−ジヒドロキシ−１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン、２，５−ジメチル−２，５−ヘキサンジオール、２，２−ジメチル−１，３−プロパンジオール、２，２−ジフェニル−１，３−プロパンジオール、ドデカンジオール、メゾエリスリトール、２−エチル−１，３−ヘキサンジオール、２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオール、２−エチル−２−メチル−１，３−プロパンジオール、ヘプタンジオール、ヘキサンジオール、３−ヘキセン−２，５−ジオール、ヒドロキシベンジルアルコール、ヒドロキシエチルレゾルシノール、２−メチル−１，４−ブタンジオール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、ノナンジオール、オクタンジオール、ペンタンジオール、１−フェニル−１，２−エタンジオール、プロパンジオール、２，２，４，４−テトラメチル−１，３−シクロブタンジオール、２，３，５，６−テトラメチル−ｐ−キシレン−α，α’−ジオール、１，１，４，４−テトラフェニル−１，４−ブタンジオール、１，１，４，４−テトラフェニル−２−ブチン−１，４−ジオール、１，２，６−トリヒドロキシヘキサン、１，１’−ビス−２−ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、１，１’−メチレン−ジ−２−ナフトール、１，２，４−ベンゼントリオール、ビフェノール、２，２’−ビス（４−ヒドロキシフェニル）ブタン、１，１−ビス（４−ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、ビス（ヒドロキシフェニル）メタン、カテコール、４−クロルレゾルシノール、３，４−ジヒドロキシヒドロケイ皮酸、ハイドロキノン、ヒドロキシベンジルアルコール、メチルハイドロキノン、メチレン−２，４，６−トリヒドロキシベンゾエート、フロログリシノール、ピロガロール、レゾルシノール、グルコース、α−（１−アミノエチル）−ｐ−ヒドロキシベンジルアルコール、２−アミノ−２−エチル−１，３−プロパンジオール、２−アミノ−２−メチル−１，３−プロパンジオール、３−アミノ−１，２−プロパンジオール、Ｎ−（３−アミノプロピル）−ジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ’−ビス−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−２，２’，２”−ニトリロトリエタノール、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）プロピオニックアシッド、１，３−ビス（ヒドロキシメチル）ウレア、１，２−ビス（４−ピリジル）−１，２−エタンジオール、Ｎ−ｎ−ブチルジエタノールアミン、ジエタノールアミン、Ｎ−エチレンジエタノールアミン、３−メルカプト−１，２−プロパンジオール、３−ピペリジノ−１，２−プロパンジオール、２−（２−ピリジル）−１，３−プロパンジオール、トリエタノールアミン、α−（１−アミノエチル）−ｐ−ヒドロキシベンジルアルコール、及び３−アミノ−４−ヒドロキシフェニルスルホンなどを挙げることができる。

これらのアクリル酸エステル類及びメタクリル酸エステル類のうち、最も好ましい例としては、その入手の容易さから、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、テトラプロピレングリコールジアクリレート、ドデカプロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、グリセリントリアクリレート、ジグリセリンジメタクリレート、１，３−プロパンジオールジアクリレート、１，２，４−ブタントリオールトリメタクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、１，５−ベンタンジオールジアクリレート、ネオベンチルグリコールジアクリレート、及びエチレンオキサイド付加したトリメチロールプロパンのトリアクリル酸エステルなどを挙げることができる。

アクリルアミド類及びメタクリルアミド類の例としては、メチレンビスアクリルアミド、メチレンビスメタクリルアミドのほか；エチレンジアミン、ジアミノプロパン、ジアミノブタン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレン、ビス（２−アミノプロピル）アミン、ジエチレントリアミンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミンおよび異種原子により中断されたポリアミン及び環を有するポリアミン（例えば、フェニレンジアミン、キシリレンジアミン、β−（４−アミノフェニル）エチルアミン、ジアミノ安息香酸、ジアミノトルエン、ジアミノアントラキノン、ジアミノフルオレン等）などを挙げることができる。

アリル化合物の例としては、フタル酸、テレフタル酸、セバシン酸、アシビン酸、グルタール酸、マロン酸及び硝酸等のジカルボン酸のジアリルエステル；アントラキノンジスルホン酸、ベンゼンジスルホン酸、２，５−ジヒドロキシ−ｐ−ベンゼンジスルホン酸、ジヒドロキシナフタレンジスルホン酸及びナフタレンジスルホン酸などのジスルホン酸のジアリルエステル；及びジアリルアミドなどを挙げることができる。ビニルエーテル化合物の例としては、前記多価アルコールのポリビニルエーテル｛例えば、エチレングリコールジビニルエーテル、１，３，５−トリ−β−ビニロキシエトキシベンゼン、１，３−ジ−β−ビニロキシエトキシベンゼン及びグリセロールトリビニルエーテル｝を挙げることができる。ビニルエステル類の例としては、ジビニルサクシネート、ジビニルアジペート、ジビニルフタレート、ジビニルテレフタレート、ジビニルベンゼン−１，３−ジスルホネート及びジビニルブタン−１，４−ジスルホネート等を挙げることができる。スチレン化合物の例としては、ジビニルベンゼン、ｐ−アリルスチレン及びｐ−イソプロペンスチレンなどを挙げることができる。

上記化合物以外の化合物として、Ｎ−β−ヒドロキシエチル−β−（メタクリルアミド）エチルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ビス（β−メタクリロキシエチル）アクリルアミド、アリルメタクリレートなどの、異なったエチレン性不飽和二重結合を二個以上有する化合物；さらに少なくとも二つの水酸基を有するポリオール化合物と、やや過剰の少なくとも二つのイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物とを反応させた反応生成物に、少なくとも一つの水酸基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させて得られる少なくとも二つのエチレン性不飽和二重結合を有する多官能ウレタン化合物も、好適に用いられる化合物として挙げることができる。

これらの多官能モノマーは単独あるいは二種以上を併用して用いることができる。感光性樹脂層中の多官能モノマーの含有量は、低感度感光性樹脂層及び高感度感光性樹脂層ともに、５〜９０質量％の範囲にあることが好ましく、特に１５〜６０質量％の範囲にあることが好ましい。

光重合開始剤としては、芳香族ケトン、米国特許第２３６７６６０号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第２４４８８２８号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第２７２２５１２号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３０４６１２７号明細書及び同第２９５１７５８号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第３５４９３６７号明細書に記載のトリアリールイミダゾール二量体とｐ−アミノケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２３９８５０号明細書に記載されているトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物などを挙げることができる。特に、芳香族ケトンが好ましい。

上記芳香族ケトンの好ましい例としては、ベンゾフェノン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、４−メトキシベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−クロロベンゾフェノン、４−ブロモベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン、２−エトキシカルボニルベンゾフェノン、ベンゾフェノンテトラカルボン酸又はそのテトラメチルエステル、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、４−ジメチルアミノベンゾフェノン、４−ジメチルアミノアセトフェノン、アントラキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、２−メチルアントラキノン、フェナントラキノン、キサントン、チオキサントン、２−クロルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、フルオレン、アクリドン、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類（例、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンジルジメチルケタール）、および４，４’−ビス（ジアルキルアミノ）ベンゾフェノン類（例、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジシクロヘキシルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジヒドロキシエチルアミノ）ベンゾフェノン）を挙げることができる。特に好ましい例としては、ベンゾフェノンを挙げることができる。

感光性樹脂層中の光重合開始剤の含有量は、低感度感光性樹脂層及び高感度感光性樹脂層ともに、０．１〜１０質量％が一般的で、０．５〜５質量％が好ましい。低感度感光性樹脂層と高感度感光性樹脂層との感度差を光重合開始剤の含有量で調整する場合には、高感度感光性樹脂層の光重合開始剤含有量は、低感度感光性樹脂層の光重合開始剤の含有量に対して１．５〜１０倍の量とすることが好ましく、特に２〜５倍の量とすることが好ましい。

感光性転写シートの感光性樹脂層には、増感剤を添加してもよい。増感剤は、通常は高感度感光性樹脂層にのみ添加する。
増感剤としては、多核芳香族類（例えば、ピレン、ペリレン、トリフェニレン）、キサンテン類（例えば、フルオレセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンＢ、ローズベンガル）、シアニン類（例えば、チアカルボシアニン、オキサカルボシアニン）、メロシアニン類（例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン）、チアジン類（例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー）、アクリジン類（例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン）、アントラキノン類（例えば、アントラキノン）、スクアリウム類（例えば、スクアリウム）が好適に使用できる。
増感剤の添加量は、感光性樹脂層の全成分に対し、０．０５〜３０質量％の範囲であり、好ましくは０．１〜２０質量％の範囲、特に好ましくは０．２〜１０質量％の範囲である。

感光性転写シートの感光性樹脂層は、ロフイン二量体を含んでもよい。ロフイン二量体の例としては、２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ジ（３’−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（２’−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（２’−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、及び２−（４’−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体などを挙げることができる。

感光性転写シートの感光性樹脂層は、例えば、Ｊ．コーサー著「ライトセンシティブシステムズ」第５章に記載されているような有機硫黄化合物、過酸化物、レドックス系化合物、アゾ並びにジアゾ化合物、光環元性色素、及び有機ハロゲン化合物などを含んでいても良い。有機硫黄化合物の例としては、ジ−ｎ−ブチルジサルファイド、ジベンジルジサルファイド、２−メルカプトベンズチアゾール、２−メルカプトベンズオキサゾール、チオフェノール、エチルトリクロロメタンスルフェネート、及び２−メルカプトベンズイミダゾールを挙げることができる。過酸化物の例としては、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、過酸化ベンゾイル、及びメチルエチルケトンパーオキサイドを挙げることができる。レドックス化合物は、過酸化物と還元剤の組み合わせからなるものであり、その例としては、第一鉄イオンと過硫酸イオン、第二鉄イオンと過酸化物などを挙げることができる。アゾ及びジアゾ化合物の例としては、α，α’−アゾビスイリブチロニトリル、２−アゾビス−２−メチルブチロニトリル、及びｐ−アミノジフェニルアミンのジアゾニウム類を挙げることができる。光還元性色素の例としては、ローズベンガル、エリスロシン、エオシン、アクリフラビン、リポフラビン、及びチオニンを挙げることができる。有機ハロゲン化合物の例としては、２−トリクロロメチル−５−フェニル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−クロロフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（１−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（２−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリブロモメチル−５−フェニル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリブロモメチル−５−（２−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール；２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−クロルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（１−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−ｎ−ブトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリブロモメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール；フェニルトリブロモメチルスルホン、ｐ−ニトロフェニルトリブロモメチルスルホン、ｐ−クロルフェニルトリブロモメチルスルホン；２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−クロロフェニル）−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン；を挙げることができる。

更に、有機ハロゲン化合物の例としては、ハロゲン化炭化水素、ハロゲン化アルコール化合物、ハロゲン化カルボニル化合物、ハロゲン化エーテル化合物、ハロゲン化エステル化合物、及びハロゲン化アミド化合物を挙げることができる。ハロゲン化炭化水素の例としては、四臭化炭素、ヨードホルム、１，２−ジブロモエタン、１，１，２，２−テトラブロモエタン、１，１−ビス（ｐ−クロロフェニル）−２，２，２−トリクロロエタン、１，２−ジブロモ−１，１，２−トリクロロエタン、１，２，３トリブロモプロパン、１−ブロモ−４−クロロブタン、１，２，３，４−テトラブロモブタン、テトラクロロシクロプロペン、ヘキサクロロシクロペンタジエン、及びジブロモシキロヘキサンなどを挙げることができる。ハロゲン化アルコール化合物の例としては、２，２，２−トリクロロエタノール、トリブロモエタノール、１，３−ジクロロ−２−プロパノール、１，１，１−トリクロロ−２−プロパノール、ジ（ヨードヘキサメチレン）アミノイソプロパノール、トリブロモ−ｔｅｒｔ−ブチルアルコール、及び２，２，３−トリクロロブタン−１，４−ジオールなどを挙げることができる。ハロゲン化カルボニル化合物の例としては、１，１−ジクロロアセトン、１，３−ジクロロアセトン、ヘキサクロロアセトン、ヘキサブロモアセトン、１，１，３，３−テトラクロロアセトン、１，１，１−トリクロロアセトン、３，４−ジブロモ−２−ブタノン、及び１，４−ジクロロ−２−ブタノン−ジブロモシクロヘキサノンなどを挙げることができる。ハロゲン化エーテル化合物の例としては、２−ブロモエチルメチルエーテル、２−ブロモエチルエチルエーテル、ジ（２−ブロモエチル）エーテル、及び１，２−ジクロロエチルエチルエーテルなどを挙げることができる。ハロゲン化エステル化合物の例としては、ハロゲン化カルボン酸のエステル、カルボン酸のハロゲン化エステル、またはハロゲン化カルボン酸のハロゲン化エステルを挙げることができ、これらの例として、酢酸ブロモエチル、トリクロロ酢酸エチル、トリクロロ酢酸トリクロロエチル、２，３−ジブロモプロピルアクリレートのホモポリマー及び共重合体、ジブロモプロピオン酸トリクロロエチル、α，β−ジクロロアクリル酸エチルなどを挙げることができる。ハロゲン化アミド化合物の例としては、クロロアセトアミド、ブロモアセトアミド、ジクロロアセトアミド、トリクロロアセトアミド、トリブロモアセトアミド、トリクロロエチルトリクロロアセトアミド、２−ブロモイソプロピオンアミド、２，２，２−トリクロロプロピオンアミド、Ｎ−クロロスクシンイミド、及びＮ−ブロモスクシンイミドなどを挙げることができる。有機ハロゲン化合物のうちでは同一炭素原子に結合した二個以上のハロゲン原子を持つハロゲン化物が好ましく、特に好ましくは一個の炭素原子に三個のハロゲン原子を持つハロゲン化物である。有機ハロゲン化合物は単独で使用してもよく、二種以上併用してもよい。これらのうち特に好ましい有機ハロゲン化合物は、トリブロモメチルフェニルスルホン、２，４−ビス（トリクロロメチル）６−フェニルトリアゾールである。有機ハロゲン化合物の量は、感光性樹脂層の全成分に対し０．００１〜５質量％の範囲が一般的で、０．００５〜１質量％の範囲が好ましい。

感光性転写シートの感光性樹脂層には、更に熱重合禁止剤を加えてもよい。熱重合禁止剤の例としては、ｐ−メトキシフェノール、ハイドロキノン、アルキルまたはアリール置換ハイドロキノン、ｔ−ブチルカテコール、ピロガロール、塩化第一銅、クロラニール、ナフチルアミン、β−ナフトール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、ｐ−トリイジン、メチレンブルー、有機銅、及びサリチル酸メチルなど挙げることができる。これらの熱重合禁止剤は、多官能モノマーに対して０．００１〜５質量％の範囲で含有されていることが好ましい。

感光性転写シートの感光性樹脂層には、膜物性（可撓性）をコントロールするために可塑剤を添加してもよく、その例としては、ジメチルフタレート、ジブチルフタレート、ジイソブチルフタレート、ジオクチルフタレート、オクチルカプリールフタレート、ジシクロヘキシルフタレート、ジトリデシルフタレート、ブチルベンジルフタレート、ジイソデシルフタレート、ジアリールフタレートなどのフタル酸エステル類；ジメチルグリコースフタレート、エチルフタリールエチルグリコレート、メチルフタリールエチルグリコレート、ブチルフタリールブチルグリコレート、トリエチレングリコールジカブリル酸エステルなどのグリコールエステル類；トリクレジオールフォスフェート、トリフェニルフォスフェートなどの燐酸エステル類；ジイソブチルアジペート、ジオクチルアジぺート、ジメチルセパケート、ジブチルセパケート、ジオクチルセパケート、ジブチルマレートなどの脂肪族二塩基エステル類；ベンゼンスルホンアミド、ｐ−トルエンスルホンアミド、Ｎ−ｎ−ブチルアセトアミドなどのアミド類；クエン酸トリエチル、グリセリントリアセチルエステル、ラウリル酸ブチルなどを挙げることができる。可塑剤としては、ｐ−トルエンスルホンアミドを用いることが好ましい。

感光性転写シートの感光性樹脂層は、ロイコ色素を含むことができる。ロイコ色素の例としては、トリス（ｐ−ジメチルアミノフェニル）メタン（ロイコクリスタルバイオレット）、トリス（ｐ−ジエチルアミノフェニル）メタン、トリス（ｐ−ジメチルアミノ−ｏ−メチルフェニル）メタン、トリス（ｐ−ジエチルアミノ−ｏ−メチルフェニル）メタン、ビス（ｐ−ジブチルアミノフェニル）−〔ｐ−（２−シアノエチル）メチルアミノフェニル〕メタン、ビス（ｐ−ジメチルアミノフェニル）−２−キノリルメタン、トリス（ｐ−ジプロピルアミノフェニル）メタン等のアミノトリアリールメタン類；３，６−ビス（ジメチルアミノ）−９−フェニルキサンチン、３−アミノ−６−ジメチルアミノ−２−メチル−９−（ｏ−クロロフェニル）キサンチン等のアミノキサンチン類；３，６−ビス（ジエチルアミノ）−９−（ｏ−エトキシカルボニルフェニル）チオキサンテン、３，６−ビス（ジメチルアミノ）チオキサンテン等のアミノチオキサンテン類；３，６−ビス（ジエチルアミノ）−９，１０−ジヒドロ−９−フェニルアクリジン、３，６−ビス（ベンジルアミノ）−９，１０−ジヒドロ−９−メチルアクリジン等のアミノ−９，１０−ジヒドロアクリジン類；３，７−ビス（ジエチルアミノ）フェノキサジン等のアミノフェノキサジン類；３，７−ビス（エチルアミノ）フェノチアゾン等のアミノフェノチアジン類；３，７−ビス（ジエチルアミノ）−５−ヘキシル−５，１０−ジヒドロフェナジン等のアミノジヒドロフェナジン類；ビス（ｐ−ジメチルアミノフェニル）アニリノメタン等のアミノフェニルメタン類；４−アミノ−４’−ジメチルアミノジフェニルアミン、４−アミノ−α，β−ジシアノヒドロケイ皮酸メチルエステル等のアミノヒドロケイ皮酸類；１−（２−ナフチル）−２−フェニルヒドラジン等のヒドラジン類；１，４−ビス（エチルアミノ）−２，３−ジヒドロアントラキノン類のアミノ−２，３−ジヒドロアントラキノン類；Ｎ，Ｎ−ジエチル−ｐ−フェネチルアニリン等のフェネチルアニリン類；１０−アセチル−３，７−ビス（ジメチルアミノ）フェノチアジン等の塩基性ＮＨを含むロイコ色素のアシル誘導体；トリス（４−ジエチルアミノ−ｏ−トリル）エトキシカルボニルメンタン等の酸化しうる水素をもっていないが、発色化合物に酸化しうるロイコ様化合物；ロイコインジゴイド色素；米国特許第３０４２５１５号及び同第３０４２５１７号に記載されているような発色形に酸化しうるような有機アミン類（例、４，４’−エチレンジアミン、ジフェニルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、４，４’−メチレンジアミントリフェニルアミン、Ｎ−ビニルカルバゾール）を挙げることができる。特に好ましいものはロイコクリスタルバイオレットである。上記ロイコ色素の量は、感光性樹脂層の全成分に対し、０．０１〜１０質量％の範囲にあることが好ましく、特に０．０５〜５質量％の範囲にあることが好ましい。

感光性転写シートには、感光性樹脂層を着色させたり、保存安定性を付与したりする目的に染料を用いることができる。好適な染料の例としては、ブリリアントグリーン硫酸塩、エオシン、エチルバイオレット、エリスロシンＢ、メチルグリーン、クリスタルバイオレット、ベイシックフクシン、フェノールフタレイン、１，３−ジフェニルトリアジン、アリザリンレッドＳ、チモールフタレイン、メチルバイオレット２Ｂ、キナルジンレッド、ローズベンガル、メタニル−イエロー、チモールスルホフタレイン、キシレノールブルー、メチルオレンジ、オレンジＩＶ、ジフェニルチロカルバゾン、２，７−ジクロロフルオレセイン、パラメチルレッド、コンゴーレッド、ベンゾプルプリン４Ｂ、α−ナフチル−レッド、ナイルブルーＡ、フェナセタリン、メチルバイオレット、マラカイトグリーンシュウ酸塩、パラフクシン、オイルブルー＃６０３（オリエント化学工業（株）製）、ローダミンＢ、及びローダミン６Ｇなどを挙げることができる。特に好ましい染料は、マラカイトグリーンシュウ酸塩である。

低感度感光性樹脂層と高感度感光性樹脂層との密着性、あるいは高感度感光性樹脂層とプリント配線板形成用基板との密着性を向上させるために、感光性樹脂層に公知のいわゆる密着促進剤を用いることができる。密着促進剤の例としては、ベンズイミダゾール、ベンズオキサゾール、ベンズチアゾール、２−メルカプトベンズイミダゾール、２−メルカプトベンズオキサノール、２−メルカプトベンズチアゾール、３−モルホリノメチル−１−フェニル−トリアゾール−２−チオン、３−モルホリノメチル−５−フェニル−オキサジアゾール−２−チオン、５−アミノ−３−モルホリノメチル−チアジアゾール−２−チオン、及び２−メルカプト−５−メチルチオ−チアジアゾールなどを挙げることができる。密着促進剤としては、３−モルホリノメチル−１−フェニルトリアゾール−２−チオンを用いることが好ましい。

感光性転写シートは、例えば、次のようにして製造することができる。
まず、上記の各種材料を、溶剤に溶解または分散させて、低感度感光性樹脂組成物溶液と高感度感光性樹脂組成物溶液とをそれぞれ調製する。低感度感光性樹脂組成物溶液及び高感度感光性樹脂組成物溶液の溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、ｎ−ヘキサノール等のアルコール類；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジイソブチルケトン等のケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸−ｎ−アミル、硫酸メチル、プロピオン酸エチル、フタル酸ジメチル、安息化酸エチル等のエステル類；トルエン、キシレン、ベンゼン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類；四塩化炭素、トリクロロエチレン、クロロホルム、１，１，１−トリクロロエタン、塩化メチレン、モノクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類；テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、１−メトキシ−２−プロパノール等のエーテル類；ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホオキサイド等を用いることができる。低感度感光性樹脂組成物溶液及び高感度感光性樹脂組成物溶液には、界面活性剤を添加してもよい。

次に、低感度感光性樹脂組成物溶液を可撓性透明フィルム支持体の上に塗布し、乾燥することにより低感度感光性樹脂層を形成する。低感度感光性樹脂層が形成されたら、その上に高感度感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥することにより、高感度感光性樹脂層を形成する。

前記可撓性透明フィルム支持体として用いられるものは、光の透過性が良好であることが好ましい。また表面の平滑性が良好であることが望ましい。可撓性透明フィルム支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、三酢酸セルロース、二酢酸セルロース、ポリ（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ポリ（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリスチレン、セロファン、ポリ塩化ビニリデン共重合体、ポリアミド、ポリイミド、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体、ポリテトラフロロエチレン、及びポリトリフロロエチレンなどの各種のプラスチックフィルムを挙げることができる。更にこれらの二種以上からなる複合材料も使用することができる。上記の中でポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。支持体の厚さは、５〜１５０μｍが一般的であり、１０〜５０μｍが好ましい。

感光性転写シートには、高感度感光性樹脂層の上に更に保護フィルムが設けられていてもよい。保護フィルムの例としては、前記支持体に使用されるもの及び、紙、あるいはポリエチレン、ポリプロピレンがラミネートされた紙などを挙げることができる。特にポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムが好ましい。保護フィルムの厚さは、５〜１００μｍが一般的であり、１０〜５０μｍが好ましい。その際、感光性樹脂層と支持体の接着力Ａと感光性樹脂層と保護フィルムの接着力Ｂとが、Ａ＞Ｂの関係になるようにする必要がある。支持体／保護フィルムの組み合わせの例としては、ポリエチレンテレフタレート／ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート／ポリエチレン、ポリ塩化ビニル／セロファン、ポリイミド／ポリプロピレンなどを挙げることができる。上記のように支持体と保護フィルムを相互に異種のものから選ぶ方法のほかに、支持体及び保護フィルムの少なくとも一方を表面処理することにより、前記のような接着力の関係を満たすことができる。支持体の表面処理は、感光性樹脂層との接着力を高めるために施されるのが一般的であり、その例としてば、下塗層の塗設、コロナ放電処理、火炎処理、紫外線照射処理、高周波照射処理、グロー放電照射処理、活性プラズマ照射処理、及びレーザー光線照射処理などを挙げることができる。また、支持体と保護フィルムとの静摩擦係数も重要である。これらの静摩擦係数は、０．３〜１．４が好ましく、特に０．５〜１．２が好ましい。０．３未満では滑り過ぎるため、ロール状にした時巻ズレが発生する。また１．４を超えた場合、良好なロール状に巻くことが困難となる。

また、保護フィルムを表面処理しても良い。表面処理は、感光性樹脂層との接着性を低下させるために行なわれる。例えば、保護フィルムの表面に、ポリオルガノシロキサン、弗素化ポリオレフィン、ポリフルオロエチレン、ポリビニルアルコール等の下塗層を設ける。下塗層の形成は、上記ポリマーの塗布液を保護フィルムの表面に塗布後、３０〜１５０℃（特に５０〜１２０℃）で１〜３０分間乾燥することにより一般に行なわれる。

［実施例１］
（１）第一の感光性転写シートの作製
支持体として、厚さが２０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（Ｖ−２０、帝人（株）製）を用いた。この支持体上に、下記の組成の低感度感光性樹脂組成物溶液を塗布、そして乾燥して、厚さが１５μｍの低感度感光性樹脂層を形成した。

（低感度感光性樹脂組成物溶液の組成）
────────────────────────────────────────
メタクリル酸／メタクリル酸メチル／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート共重合体（共重合体組成（モル比）：２８．８／５５／１１．７／４．５、質量平均分子量：８００００、溶液重合法で合成）をメチルエチルケトン／１−メトキシ−２−プロパノール（質量比：２／１）に３５質量％の割合で溶解させた溶液
４２．９質量部
ヘキサメチレンジイソシアネート１モルに、ポリエチレングリコールモノメタクリレート（商品名ブレンマーＰＥ−３５０、ｎ≒８、日本油脂製）を２モル付加反応して得られるウレタンジメタクリレート ７．７質量部
Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノベンゾフェノン ０．０４８質量部
２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
１．２質量部
トリブロモメチルフェニルスルホン ０．１８質量部
ロイコクリスタルバイオレット ０．２４質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩 ０．０１９質量部
１，２，４−トリアゾール ０．０２質量部
ｐ−トルエンスルホンアミド ０．５質量部
メチルエチルケトン ９．３４質量部
１−メトキシ−２−プロパノール ４．６７質量部
メタノール １質量部
トルエン ２質量部
────────────────────────────────────────

低感度感光性樹脂層の上に、保護フィルム（ＧＦ１０６、タマポリ（株）製）を貼り合わせて第一の感光性転写シートを作製した。

（２）第二の感光性転写シートの作製
第一の感光性転写シートを作製する場合と同様にして、支持体上に、下記の組成の高感度感光性樹脂組成物溶液を塗布、そして乾燥して、厚さが３μｍの高感度感光性樹脂層を形成した。

（高感度感光性樹脂組成物溶液の組成）
────────────────────────────────────────
メタクリル酸／メタクリル酸メチル／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート共重合体（共重合体組成（モル比）：２８．８／５５／１１．７／４．５、質量平均分子量：８００００、溶液重合法で合成）をメチルエチルケトン／１−メトキシ−２−プロパノール（質量比：２／１）に３５質量％の割合で溶解させた溶液
４２．９質量部
ヘキサメチレンジイソシアネート１モルに、ポリエチレングリコールモノメタクリレート（商品名ブレンマーＰＥ−３５０、ｎ≒８、日本油脂製）を２モル付加反応して得られるウレタンジメタクリレート ７．７質量部
Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノベンゾフェノン ０．２質量部
２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
１．０質量部
トリブロモメチルフェニルスルホン ０．１０質量部
ロイコクリスタルバイオレット ０．４質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩 ０．０３２質量部
１，２，４−トリアゾール ０．０２質量部
ｐ−トルエンスルホンアミド ０．５質量部
メチルエチルケトン １８．６８質量部
１−メトキシ−２−プロパノール ４．６７質量部
メタノール １質量部
トルエン ２質量部
────────────────────────────────────────

高感度感光性樹脂層の上に、保護フィルム（ＧＦ１０６、タマポリ（株）製）を貼り合わせて第二の感光性転写シートを作製した。

（３）感光性積層体の作製
プリント配線板形成用基板として、表面がバフ研磨された銅張り積層板（ナショナルプリント配線板用銅張積層板Ｒ−１７０１、松下電工（株）製、サイズ：１５ｃｍ×２０ｃｍ）を用いた。銅張り積層板は、厚さ１８μｍの銅箔が、ガラスエポキシ基板の表面に張り合わされた構成を有している。銅張り積層板と、第二の感光性転写シートとを、感光性転写シートの保護フィルムを剥離した後に、銅箔表面と高感度感光性樹脂層とが接触するようにして重ね、ラミネータ（ＭＯＤＥＬ８Ｂ−７２０−ＰＨ、大成ラミネーター（株）製）を用いて積層した。積層の条件は、基板温度７０℃、積層温度１０５℃、積層圧力３ｋｇ／ｃｍ² 、そして積層の搬送速度１．２ｍ／分であった。積層後に、第二の感光性転写シートの支持体のみを剥離した。次いで、高感度感光性樹脂層が積層された銅張り積層板と、第一の感光性転写シートとを、感光性転写シートの保護フィルムを剥離した後に、高感度感光性樹脂層と低感度感光性樹脂層とが接触するようにして重ね、同様にラミネータを用いて積層し、室温（２３℃、５５％ＲＨ）で１０分間放置した。このようにして、感光性積層体を用意した。

（４）感光性樹脂層の感度の測定
低感度感光性樹脂層単独での感度、および高感度感光性樹脂層上に低感度感光性樹脂層を積層した感光性樹脂層の感度を、下記の方法により測定したところ、４０ｍＪ／ｃｍ² の超高圧水銀灯を用いて露光した場合に、それぞれ８段クリア、９段クリアであった。

（感光性樹脂層の感度の測定方法）
感光性樹脂層をステップウエッジで露光して、現像後ステップウエッジ（フジステップガイドＰ、富士写真フィルム製、１段の光学濃度差ΔＥ＝０．１５で１５段の階段状光学楔）のパターンを焼き付けて、クリア段数（感光性樹脂層が硬化せずに現像によって除去された段数）を読み取る。クリア段数が大きいほど、感光性樹脂層の感度が高いことを意味する。

（５）露光及び現像
ネガ原稿（ライン幅３０μｍ／スペース幅９０μｍのパターンを有する）を介して、感光性積層体の表面に、超高圧水銀灯により５０ｍＪ／ｃｍ² のエネルギーの光を照射して露光し、室温で１０分間放置した。

次に、感光性積層体から、ポリエチレンテレフタレートフィルム（第一の感光性転写シートの支持体）を剥離した。そして低感度感光性樹脂層の表面に、温度が３０℃で、そして濃度が１％の炭酸ナトリウム水溶液を、スプレー圧が１．０ｋｇ／ｃｍ² の条件で８０秒間スプレーして、積層体の未硬化部分を溶解除去して現像した。このようにして、銅張り積層板の表面に、裾部を備えた硬化樹脂層をパターン状に形成した。図７は、プリント配線板形成用基板の金属層表面に形成された硬化樹脂層の電子顕微鏡写真である。

パターン状の硬化樹脂層が形成された基板の表面に、温度が２０℃の水を、スプレー圧が１．０ｋｇ／ｃｍ² の条件で８０秒間スプレーして水洗を行ない、直ちに、温度が４５℃の塩化第二銅のエッチング液を、スプレー圧が２．０ｋｇ／ｃｍ² の条件でスプレーし、硬化樹脂層で覆われていない銅箔部分が溶解して、エポキシ板の表面が露出するまでエッチング、次いで硬化樹脂層を除去した。このようにして幅が約３０μｍの金属配線パターンを備えたプリント配線板を作製した。

［実施例２］
実施例１の第一の感光性転写シートと第二の感光性転写シートとを準備する。第一の感光性転写シートと第二の感光性転写シートを、各々の保護フィルムを剥離した後に、各々の感光性樹脂層が互いに接触するようにして重ね、ラミネーターを用いて、室温下で、感光性樹脂層の間に気泡が入らないようにして積層した。次いで第二の感光性転写シートの支持体のみを剥離して、感光性転写シートを作製した。

作製した感光性転写シートを、銅張り積層板の表面に積層して実施例２の感光性積層体を作製した。実施例１と同様にして、実施例２の感光性積層体を露光、現像、エッチング、そして硬化樹脂層を除去することにより、幅が約３０μｍの金属配線パターンを備えたプリント配線板を作製した。

［実施例３］
（１）感光性転写シートの作製
支持体として、厚さが２０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（Ｖ−２０、帝人（株）製）を用いた。この支持体上に、下記の組成の低感度感光性樹脂組成物溶液を塗布、そして乾燥して、厚さが１５μｍの低感度感光性樹脂層を形成した。

（低感度感光性樹脂組成物溶液の組成）
────────────────────────────────────────
メタクリル酸／メタクリル酸メチル／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート共重合体（共重合体組成（モル比）：２８．８／５５／１１．７／４．５、質量平均分子量：８００００、溶液重合法で合成）をメチルエチルケトン／１−メトキシ−２−プロパノール（質量比：２／１）に３５質量％の割合で溶解させた溶液 １７．１９質量部
スチレン／アクリル酸共重合体（共重合体組成（モル比）：７３／３７、質量平均分子量：１００００、溶液重合法で合成）をメチルエチルケトン／１−メトキシ−２−プロパノール（質量比：２／１）に３５質量％の割合で溶解させた溶液 １８．０２質量部
ドデカプロピレングリコールジアクリレート（アロニックスＭ２７０、東亜合成（株）製） ４．７質量部
テトラエチレングリコールジメタクリレート（ＮＫエステル４Ｇ、新中村化学（株）製） １．０８質量部
ポリエチレングリコール＃４００ジアクリレート（ＮＫエステルＡ−４００、新中村化学（株）製） １．９３質量部
Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノベンゾフェノン ０．０４質量部
ベンゾフェノン １．０質量部
２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
１．０質量部
トリブロモメチルフェニルスルホン ０．１５質量部
ロイコクリスタルバイオレット ０．２質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩 ０．０１６質量部
１，２，４−トリアゾール ０．０２質量部
ｐ−トルエンスルホンアミド ０．５質量部
メチルエチルケトン ９．３質量部
１−メトキシ−２プロパノール ４．７質量部
────────────────────────────────────────

次に、高感度感光性樹脂層の形成に用いる高感度感光性樹脂組成物溶液を、以下のようにして作製した。

環流管、温度調節器、窒素導入口、攪拌翼を備えた容量２リットルのセパラブルフラスコに、イオン交換水２６０質量部、過硫酸アンモニウム０．３質量部、およびドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム２質量部を仕込んで温度を５０℃とした後、メタクリル酸２．７質量部、メチルメタクリレート６．１質量部、２−エチルヘキシルアクリレート２．４質量部、ベンジルメタクリレート０．９質量部、ドデカンチオール０．０２質量部の混合液を添加し、その後温度が７０℃に到達したときにメタクリル酸２２．１質量部、メチルメタクリレート４８．９質量部、２−エチルヘキシルアクリレート１９．２質量部、ベンジルメタクリレート７質量部、ドデカンチオール０．１８質量部の混合液を、３時間を要して一定速度で滴下した。さらに１時間反応を継続した。このようにして、メタクリル酸／メタクリル酸メチル／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート共重合体（共重合体組成（モル比）：２８．８／５５／１１．７／４．５）のエマルジョン液（バインダーエマルジョン液１）を作製した。バインダーエマルジョン液１の固形分濃度は３０％で、樹脂の酸価は１４７ｍｇＫＯＨ／ｇで、ガラス転移温度（計算値）は７３℃、そして質量平均分子量は５００００であった。

バインダーエマルジョン液１と同様にして、スチレン／アクリル酸共重合体（共重合体組成（モル比）：６３／３７）のエマルジョン液（バインダーエマルジョン液２）を作製した。バインダーエマルジョン液２の固形分濃度は３０％で、樹脂の酸価は２０２ｍｇＫＯＨ／ｇで、ガラス転移温度（計算値）は１０２℃で、そして質量平均分子量は６０００であった。

作製したバインダーエマルジョン液１とバインダーエマルジョン液２を用い、下記の各成分をホモジナイザーを用いて、１００００回転で１０分間攪拌混合して、高感度感光性樹脂組成物溶液を作製した。

（高感度感光性樹脂組成物溶液の組成）
────────────────────────────────────────
バインダーエマルジョン液１ ４０質量部
バインダーエマルジョン液２ ４２質量部
ドデカプロピレングリコールジアクリレート（アロニックスＭ２７７、東亜合成（株）製） ４．７質量部
テトラエチレングリコールジメタクリレート（ＮＫエステル４Ｇ、新中村化学（株）製） １．０８質量部
ポリエチレングリコール＃４００ジアクリレート（ＮＫエステルＡ−４００、新中村化学（株）製） １．９３質量部
Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノベンゾフェノン ０．２質量部
ベンゾフェノン １．０質量部
２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
１．０質量部
トリブロモメチルフェニルスルホン ０．１質量部
ロイコクリスタルバイオレット ０．４質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩 ０．０３２質量部
１，２，４−トリアゾール ０．０２質量部
ｐ−トルエンスルホンアミド ０．５質量部
メチルエチルケトン ９．３質量部
１−メトキシ−２−プロパノール ４．７質量部
────────────────────────────────────────

支持体上の低感度感光性樹脂層上に、作製した高感度感光性樹脂組成物溶液を塗布、そして乾燥して、厚さが３μｍの高感度感光性樹脂層を形成した。そして高感度感光性樹脂層の上に保護フィルム（ＧＦ１０６、タマポリ（株）製）を貼り合わせて、感光性転写シートを作製した。

（２）感光性積層体の作製
得られた感光性転写シートを、その保護フィルムを剥離した後に銅張り積層板の表面に積層して、実施例３の感光性積層体を作製した。

（３）感光性樹脂層の感度の測定
低感度感光性樹脂層単独での感度、および高感度感光性樹脂層上に低感度感光性樹脂層を積層した感光性樹脂層の感度を、実施例１と同様にして測定したところ、それぞれ８段クリア、９段クリアであった。

（４）露光及び現像
実施例１と同様にして、実施例３の感光性積層体を露光、現像、エッチング、そして硬化樹脂層を除去することにより、幅が約３０μｍの金属配線パターンを備えたプリント配線板を作製した。

［実施例４］
超高圧水銀灯に代えて、波長４０５ｎｍの紫外領域のレーザ光源を有するレーザー露光装置を用いること以外は実施例１と同様にして、感光性積層体をパターン状に露光、現像、エッチング、そして硬化樹脂層を除去することにより、幅が約３０μｍの金属配線パターンを備えたプリント配線板を作製した。

従来のプリント配線板の製造方法においてプリント配線板形成用基板の金属層上に形成される硬化樹脂層の形状の一例を示す斜視図。 本発明のプリント配線板の製造方法の実施に用いる感光性積層体の製造に好ましく用いられる感光性転写シートの一例の構成を示す断面図である。 図２の感光性転写シートに支持体側から光を照射したときの、光の照射量と硬化樹脂層の厚さとの関係を表す感度曲線を示すグラフである。 本発明のプリント配線板の製造方法を示す図である。 本発明のプリント配線板の製造方法において、プリント配線板形成用基板の金属層表面に形成される硬化樹脂層の好ましい形状を示す断面図である。 図５の硬化樹脂層を用いてプリント配線板形成用基板の金属層をエッチングすることにより得られる金属配線パターンの形状を示す断面である。 実施例１において、プリント配線板形成用基板の金属層表面に形成された硬化樹脂層の電子顕微鏡写真である。

符号の説明

１ プリント配線板形成用基板
２ 金属層
３ 基板
６ 硬化樹脂層
７ 裾部
８ａ 硬化樹脂層の裾部のギザツキ
８ｂ 硬化樹脂層の裾部の欠落部
１０ 感光性転写シート
１１ 可撓性透明フィルム支持体
１２ 低感度感光性樹脂層
１３ 高感度感光性樹脂層
１４ 保護フィルム
２１ プリント配線板形成用基板
２２ 金属層
２２ａ 金属配線パターン
２３ 基板
２４ 上部硬化樹脂層
２５ 下部硬化樹脂層
２６ 硬化樹脂層
２７ 裾部
２８ 硬化樹脂層の剥離片
２９ プリント配線板
３１ 加圧ローラ
６４ 上部硬化樹脂層
６５ 下部硬化樹脂層
６６ 硬化樹脂層
６７ 裾部
Ｌ₁ 硬化樹脂層の裾部の長さ
Ｗ₁ 硬化樹脂層の裾部を含む幅
Ｗ₂ 硬化樹脂層の頂部の幅
Ｌ₂ 硬化樹脂層の間隔

Claims (5)

1. 下記の工程を含むプリント配線板の製造方法：
   （１）表面が金属層で覆われたプリント配線板形成用基板上に、相対的に高感度の感光性樹脂層そして相対的に低感度の感光性樹脂層がこの順に積層された構成の感光性積層体を用意する工程；
   （２）感光性積層体の低感度感光性樹脂層側からプリント配線板形成用基板の金属層表面の配線パターン形成領域内に光を照射することにより、該配線パターン形成領域に、底部にて幅方向に両側に広がる裾部を備えた硬化樹脂層を形成する露光工程；
   （３）積層体の未硬化部分を溶解除去して、配線パターン形成領域外の金属層表面を露出させる現像工程；
   （４）露出した金属層部分をエッチング液で溶解除去するエッチング工程；および
   （５）硬化樹脂層をプリント配線板形成用基板の金属層表面から除去する硬化樹脂層除去工程。
2. 高感度感光性樹脂層を硬化させるために必要な光量Ａと低感度感光性樹脂層を硬化させるために必要な光量Ｂとの比Ａ／Ｂが０．０１〜０．５の範囲にある請求項１に記載のプリント配線板の製造方法。
3. 感光性積層体が、その低感度感光性樹脂層の上にさらに支持体が積層された構成を有し、上記露光工程に次いで、積層体から該支持体を剥がす剥離工程を含む請求項１に記載のプリント配線板の製造方法。
4. 光がレーザ光である請求項１に記載のプリント配線板の製造方法。
5. 請求項１乃至４のうちのいずれかの項に記載の方法により製造されたプリント配線板。
   

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