JP2005190790A - 平面型の画像表示装置 - Google Patents
平面型の画像表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005190790A JP2005190790A JP2003429754A JP2003429754A JP2005190790A JP 2005190790 A JP2005190790 A JP 2005190790A JP 2003429754 A JP2003429754 A JP 2003429754A JP 2003429754 A JP2003429754 A JP 2003429754A JP 2005190790 A JP2005190790 A JP 2005190790A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- melting point
- low melting
- glass
- image display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/26—Sealing together parts of vessels
- H01J9/261—Sealing together parts of vessels the vessel being for a flat panel display
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J5/20—Seals between parts of vessels
- H01J5/22—Vacuum-tight joints between parts of vessel
- H01J5/24—Vacuum-tight joints between parts of vessel between insulating parts of vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/26—Sealing together parts of vessels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
【課題】高い真空度を維持することができ、信頼性の向上した平面型の画像表示装置を提供する。
【解決手段】隙間を置いて対向配置された2枚のガラス基板11、12と、ガラス基板の所定位置を封着し2枚のガラス基板間に密閉空間を規定した封着部33と、を備えている。封着部は、所定位置に沿って充填された低融点金属32と、ガラス基板表面と低融点金属との間に設けられ、ガラスとの結合性および前記低融点金属との親和性を有し、かつ、500℃以下の温度において、溶融する前記低融点金属に対する溶解度が1%未満の金属で形成された金属層31a、31bと、を有している。
【選択図】 図2
【解決手段】隙間を置いて対向配置された2枚のガラス基板11、12と、ガラス基板の所定位置を封着し2枚のガラス基板間に密閉空間を規定した封着部33と、を備えている。封着部は、所定位置に沿って充填された低融点金属32と、ガラス基板表面と低融点金属との間に設けられ、ガラスとの結合性および前記低融点金属との親和性を有し、かつ、500℃以下の温度において、溶融する前記低融点金属に対する溶解度が1%未満の金属で形成された金属層31a、31bと、を有している。
【選択図】 図2
Description
この発明は、対向配置された基板と基板同士を封着した真空シール構造とを有した平面型の画像表示装置に関する。
近年、画像表示装置として、効率的な空間利用あるいはデザイン的な要素から、平面型の画像表示装置が注目されている。中でも、フィールド・エミッション・デバイス(以下、FEDと称する)のような電子放出型の画像表示装置は、高輝度、高分解能、低消費電力等のメリットから優れたディスプレイであると期待されている。
一般に、平面型の画像表示装置は、所定の間隔をおいて対向配置されているとともにそれぞれガラス板で構成された2枚の基板を備えている。これらの基板は周縁部同士が互いに封着され外囲器を構成している。2枚の基板間の空間、すなわち外囲器内部は、高い真空度に維持されることが重要となる。真空度が低い場合、電子放出素子の寿命、ひいては、装置の寿命が低下してしまう。
このような狭い閉空間の内部を高真空に維持する場合、封着材として、微量でも気体が通過する有機系の封着材を使用することは難しい。そのため、封着材として、無機系の接着材あるいはシール材を用いることが不可欠となっている。そこで、ガラス基板同士の接合あるいは真空シールには、封着材として、In、Gaのような低融点金属が用いられている(例えば、特許文献1)。これらの低融点金属は、その融点以上に加熱されて溶融すると、ガラスに対して高い濡れ性を示すため、気密性の高い封着が可能となる。
特開2002−319346号
しかしながら、平面型の画像表示装置は、基板の周長が3mを越える場合もあり、従来の陰極線管等に比較して大きな面積を封着する必要がある。そのため、陰極線管等に比較して、封着欠陥の導入要因は二桁近く増大することになり、基板の封着は非常に困難な作業となる。また、平面型の画像表示装置は、その特徴から、外囲器の真空仕様が厳しく、封着材の融点よりも遥かに高い温度で熱処理がなされる場合もある。このような高温の熱処理下では、ガラスに対する封着材の濡れ性が低下し、封着材は、十分な接合あるいはシール効果を発揮できなくなる。その結果、高い真空度に維持された大型の装置を製造できないという問題が生じ始めている。
この発明は、以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、高い真空度を維持することができ、信頼性の向上した平面型の画像表示装置を提供することにある。
前記目的を達成するため、この発明の態様に係る平面型の画像表示装置は、隙間を置いて対向配置された2枚のガラス基板と、前記ガラス基板の所定位置を封着し2枚のガラス基板間に密閉空間を規定した封着部と、を備え、前記封着部は、前記所定位置に沿って充填された低融点金属と、前記ガラス基板表面と前記低融点金属との間に設けられ、ガラスとの結合性および前記低融点金属との親和性を有し、かつ、500℃以下の温度において、溶融する前記低融点金属に対する溶解度が1%未満の金属で形成された金属層と、を有している。
この発明の他の態様に係る平面型の画像表示装置は、隙間を置いて対向配置された2枚のガラス基板と、前記ガラス基板の所定位置を封着し2枚のガラス基板間に密閉空間を規定した封着部と、を備え、前記封着部は、前記所定位置に沿って充填された低融点金属と、前記ガラス基板表面と前記低融点金属との間に設けられ、ガラスとの結合性および前記低融点金属との親和性を有し、かつ、500℃以下の温度において、溶融する前記低融点金属に対する溶解度が1%未満の金属で形成された金属層と、前記金属層と低融点金属との間に設けられ、前記低融点金属に対して親和性を有した保護層と、を有している。
この発明によれば、高い真空度を維持することができ、信頼性の向上した平面型の画像表示装置を提供することができる。
以下図面を参照しながら、この発明に係る平面型の画像表示装置をFEDに適用した実施形態について詳細に説明する。
図1および図2に示すように、FEDは、それぞれ矩形状のガラス基板からなる第1基板11および第2基板12を備え、これらの基板は約1.0〜2.0mmの隙間をおいて対応配置されている。第1基板11および第2基板12は、ガラスからなる矩形枠状の側壁13を介して周縁部同士が接合され、内部が真空に維持された偏平な真空外囲器10を構成している。
図1および図2に示すように、FEDは、それぞれ矩形状のガラス基板からなる第1基板11および第2基板12を備え、これらの基板は約1.0〜2.0mmの隙間をおいて対応配置されている。第1基板11および第2基板12は、ガラスからなる矩形枠状の側壁13を介して周縁部同士が接合され、内部が真空に維持された偏平な真空外囲器10を構成している。
接合部材として機能する側壁13は、例えば、フリットガラス等の低融点ガラス30により、第2基板12の内面周縁部に封着されている。また、側壁13は、後述するように、封着材としての低融点金属を含んだ封着部33により、第1基板11の内面周縁部に封着されている。これにより、側壁13および封着部33は、第1基板11および第2基板12の周縁部同士を気密に接合し、第1および第2基板間に密閉空間を規定している。
真空外囲器10の内部には、第1基板11および第2基板12に加わる大気圧荷重を支えるため、例えば、ガラスからなる複数の板状の支持部材14が設けられている。これらの支持部材14は、真空外囲器10の短辺と平行な方向に延在しているとともに、長辺と平行な方向に沿って所定の間隔を置いて配置されている。なお、支持部材14の形状については特にこれに限定されるものではなく、柱状の支持部材を用いてもよい。
第1基板11の内面には蛍光面として機能する蛍光体スクリーン16が形成されている。この蛍光体スクリーン16は、赤、緑、青に発光する複数の蛍光体層15、および蛍光体層の間に形成された複数の遮光層17を備えている。各蛍光体層15は、ストライプ状、ドット状あるいは矩形状に形成されている。蛍光体スクリーン16上には、アルミニウム等からなるメタルバック18およびゲッタ膜19が順に形成されている。
第2基板12の内面上には、蛍光体スクリーン16の蛍光体層15を励起する電子源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の電子放出素子22が設けられている。詳細に述べると、第2基板12の内面上には、導電性カソード層24が形成され、この導電性カソード層上には多数のキャビティ25を有した二酸化シリコン膜26が形成されている。二酸化シリコン膜26上には、モリブデン、ニオブ等からなるゲート電極28が形成されている。そして、第2基板12の内面上において各キャビティ25内に、モリブデン等からなるコーン状の電子放出素子22が設けられている。これらの電子放出素子22は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。その他、第2基板12上には、電子放出素子22に電位を供給する多数本の配線21がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器10の外部に引出されている。
上記のように構成されたFEDにおいて、映像信号は、電子放出素子22とゲート電極28に入力される。電子放出素子22を基準とした場合、最も輝度の高い状態の時、+100Vのゲート電圧が印加される。また、蛍光体スクリーン16には+10kVが印加される。そして、電子放出素子22から放出される電子ビームの大きさは、ゲート電極28の電圧によって変調され、この電子ビームが蛍光体スクリーン16の蛍光体層を励起して発光させることにより画像を表示する。なお、蛍光体スクリーン16には高電圧が印加されるため、第1基板11、第2基板12、側壁13、および支持部材14用の板ガラスには、高歪点ガラスが使用されている。
次に、第1基板11と側壁13との間を封着した封着部33について詳細に説明する。
図2に示すように、封着部33は、第1基板11の所定位置、すなわち、第1基板の内面周縁部に沿って、矩形枠状に形成された金属層31a、側壁13の第1基板側の端面に沿って矩形枠状に形成された金属層31b、およびこれらの金属層31a、31b間に位置し低融点金属により形成された封着層32とを有している。金属層31a、31bの各々は、ガラスとの結合性および低融点金属との親和性を有し、かつ、500℃以下の温度において、溶融する低融点金属に対する溶解度が1%未満の金属で形成されている。
図2に示すように、封着部33は、第1基板11の所定位置、すなわち、第1基板の内面周縁部に沿って、矩形枠状に形成された金属層31a、側壁13の第1基板側の端面に沿って矩形枠状に形成された金属層31b、およびこれらの金属層31a、31b間に位置し低融点金属により形成された封着層32とを有している。金属層31a、31bの各々は、ガラスとの結合性および低融点金属との親和性を有し、かつ、500℃以下の温度において、溶融する低融点金属に対する溶解度が1%未満の金属で形成されている。
本発明者らはガラスと金属の接合に関わるメカニズムについて研究を重ね、その1つとして、封着材に用いられてきたインジウム(In)のガラスに対する濡れの現象を系統的に観察した。その結果、溶融したInは、ガラスと濡れる能力を有するが表面張力が大きいためにガラス面上を濡れ広がることは出来ずに半球状になろうとすることが分かった。このため、長い距離をInでシールすることは困難であり、Inを一定の場所に固着させかつ表面張力を相対的に和らげる物質がガラスとInとの間に必要であることが分かった。
そこで、本発明者等はガラス表面に金属層を形成することに思い至り、多くの種類の金属層を用いて実験を重ねた。その結果、金属であれば相対的にInの表面張力を下げられるが、多くの物質はInが凝固する際、ガラス面から剥離してしまうことが分かった。更に、500℃未満の低温においても、金属層がInに対してある程度の溶解度を有していると、時間の経過と共にガラス面から消失してしまい効力が無くなる事が分かった。このことから、金属層として、ガラスとの密着性にすぐれInに対する溶解度が低く、かつ、Inに対して親和性の良い材料を用いることにより、上記二つの問題を解決できることを見出した。また、この条件を満たす材料であれば、Inに限らず低融点の金属あるいは合金でも高い真空シール能力を得られることを見出した。
ガラスとの密着性の優れた金属としては、Cr、Ti、Hf、Zr、Ta、Al等の活性な遷移金属の単体、あるいはこれらの金属を2種類以上含む合金、又は、あるいはY、Ce等の希土類金属の単体あるいは2種類以上含む合金が有効である。また、低融点金属に対する溶解度の低い材料としてはFe、Ni、W、Mo等の遷移金属単体あるいはそれらを主成分とする合金を用いることができる。
前記二つの機能を持つ金属層は、基本的には、それぞれの機能を有した複数の金属層を積層して構成される。例えば、図3に示すように、金属層31a、31bの各々は、ガラスとの結合性に優れたCrからなる第1金属層34aと、低融点金属32との親和性を有し、かつ、500℃以下の温度において、溶融する低融点金属に対する溶解度が1%未満のFeからなる第2金属層34bとを積層して構成される。この場合、第1金属層34aはガラス面上に形成され、第2金属層34bは第1金属層上に積層され第1金属層と低融点金属32との間に設けられる。特に、金属層を蒸着によって成膜する場合、ステンレス鋼あるいはCr鋼を蒸発源に用いると、これら金属の成分であるCrは蒸気圧が高いため、他要な成分であるFeあるいはNiより先に蒸発する。従って、Crが、ガラス面に富化されて付着した後、FeあるいはNiが重ねて形成される。そのため、1回の処理で多層の処理に近い効果を得ることができる。
また、金属層は、前記二つの機能を持つ元素が混ざり合う形態の単一層としても効果を発揮することができる。例えば、図4に示すように、金属層31a、31bとして、Crからなる単一金属層を用いることもできる。
低融点金属あるいは合金としては、In、Ga、Bi、Pb、Sn、Zn、Sbの中から選ばれる少なくとも1種類、あるいはこれらにAg、Cu、Al等の金属を含むものが有用である。また、ガラス基板との結合性の優れた金属の中でもAlを除く金属は、低融点合金に対する溶解度が低く、前記二つの機能を有している。しかし、これらの金属に、低融点金属との濡れ性を図る処理、例えば、清浄化処理あるいは濡れ性の高い材料の被覆、を施すことが有効である。
金属層をガラス面上に配置する手段としては、蒸着、スパッタ、低圧不活性雰囲気溶射等のドライプロセス、ならびに無電解メッキのようなウェットプロセスを用いることができる。いずれのプロセスにおいても、複数の層を連続的に形成できることが望ましい。また、金属膜は、成膜後、不活性雰囲気中あるいは還元雰囲気中で熱処理を施すことにより、ガラスとの結合性、密着性を高めることができる。
本実施形態において、第1基板11の表面および側壁13の表面に形成された金属層31a、31bは、ガラスに対する結合性と、溶融した低融点金属32による減耗防止との役割を果たすが、更に低融点金属との濡れ性を向上させるために、低融点金属に対する親和性を有し低融点金属と合金化しやすい物質の膜、つまり、金属保護層を形成することが望ましい。
すなわち、金属層は、形成した直後からその最外表面層が酸化を主体とした非金属物質となり、封着用の低融点金属32との濡れ性が低下してしまう恐れがある。そこで、本発明者らは、この問題を解決するために種々の材料の組み合わせ、プロセスの検討ならびに実験を繰り返し、ガラスとの結合性の高い金属層31a、31bを形成した後、直ちに、つまり、表面状態が変化する以前に、耐酸化性および低融点金属に対する親和性を有した金属保護層36を形成することで解決できることを見出した。そこで、他の実施形態によれば、図5および図6に示すように、金属層31a、31bに重ねて金属保護層36を形成し、金属層外表面の酸化を防止するとともに、金属保護層を金属層と低融点金属32との間に設けている。金属保護層36としては、低融点金属成分あるいはAg、Au、Cu、Al、Pt、Pd、Ir、Sn等の金属が有効である。金属保護層36をドライプロセスによって形成するに当たっては、金属層31a、31bを形成した後、この金属層を大気に晒すことなく連続して、金属保護層1を形成することが望ましい。
以下、FEDの構成について実施例を用いて詳細に説明する。
(実施例1)
FEDを構成するため、それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意し、その内の1枚、例えば、第2基板の内面周縁部に、ガラスからなる矩形枠状の側壁13をフリットガラスにより接合した。次いで、側壁13の上面、および、第1基板11の内面周縁部、つまり、側壁13と対向する所定の位置に、真空蒸着装置により、第1金属層としてCrを0.4μmの厚さで成膜し、引き続き第2金属層としてFeを0.4μm厚さに形成した。次いで、側壁13に形成した金属層上に、低融点金属として53重量%Bi、47重量%Sn組成の合金を窒素雰囲気のもとで溶融させコテで塗った。
(実施例1)
FEDを構成するため、それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意し、その内の1枚、例えば、第2基板の内面周縁部に、ガラスからなる矩形枠状の側壁13をフリットガラスにより接合した。次いで、側壁13の上面、および、第1基板11の内面周縁部、つまり、側壁13と対向する所定の位置に、真空蒸着装置により、第1金属層としてCrを0.4μmの厚さで成膜し、引き続き第2金属層としてFeを0.4μm厚さに形成した。次いで、側壁13に形成した金属層上に、低融点金属として53重量%Bi、47重量%Sn組成の合金を窒素雰囲気のもとで溶融させコテで塗った。
この2枚のガラス基板の間を100mm開け、5x10-6Paの真空中で加熱処理した。Bi−Snと成膜との親和性が良いために、Bi−Snが濡れた。その後、冷却の過程で上記合金の位置が合うように2枚のガラス基板を密着させ、Bi−Sn合金が両方の面に連続となるようにした。この状態で冷却して合金を凝固させることにより、側壁13と第1基板とを封着した。
その後、予め設けておいた測定用の孔を介して真空シール特性を評価したところ、1x10-9atm・cc/sec以下のリーク量を示し、十分なシール効果を発揮していることが分かった。また、この結果と外見のいずれからも、金属の封着に起因するガラス基板内の亀裂が発生していないことが明らかとなった。
(実施例2)
FEDを構成するため、それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意した。続いて、ガラス基板の対向する所定の場所、ここでは、ガラス基板の内面周縁部に、蒸着装置によりCrの金属層を0.6μmの厚さで成膜し、引き続き金属層上に金属保護層としてCuを0.4μmの厚さで成膜した。各金属保護層上に、低融点金属として分解揮発性のバインダーを含む53重量%Bi、47重量%Sn組成の合金ペーストを0.3mm厚さで塗布した。次に、一方のガラス基板の低融点金属層上に、側壁として、Agメッキの施されたFe−37重量%Ni合金のワイヤ(直径1.5mm)を設置した。
FEDを構成するため、それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意した。続いて、ガラス基板の対向する所定の場所、ここでは、ガラス基板の内面周縁部に、蒸着装置によりCrの金属層を0.6μmの厚さで成膜し、引き続き金属層上に金属保護層としてCuを0.4μmの厚さで成膜した。各金属保護層上に、低融点金属として分解揮発性のバインダーを含む53重量%Bi、47重量%Sn組成の合金ペーストを0.3mm厚さで塗布した。次に、一方のガラス基板の低融点金属層上に、側壁として、Agメッキの施されたFe−37重量%Ni合金のワイヤ(直径1.5mm)を設置した。
2枚のガラス基板の間を100mm開け、これらのガラス基板を10-3Pa程度の真空中で130℃、30分仮焼成し、その後、5x10-6Paの真空中で加熱脱気処理を行なった。次いで、冷却過程で200℃に至った際、これら2枚のガラス基板を所定の位置で貼り合わせたところ、溶融しているBi−Sn合金がFe−Ni合金ワイヤを介して相互に親和性が良いために濡れ広がり隙間のない状態になった。この状態で凝固させ、2枚のガラス基板を封着した。このFEDについて、実施例1と同様の真空リーク試験を実施したところ同様の結果を得た。
(実施例3)
それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意した。続いて、ガラス基板の対向する所定の場所、ここでは、ガラス基板の内面周縁部に、蒸着装置により13Cr鋼を蒸発源として、Crの金属層を0.6μmの厚さで成膜し、引き続き、金属保護層としてAgを0.4μmの厚さで成膜した。一方のガラス基板の金属保護層上に、低融点金属としての厚さ0.2mmの70重量%Bi、30重量%In合金で被覆された直径1.5mmのTiワイヤを側壁として設置した。
それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意した。続いて、ガラス基板の対向する所定の場所、ここでは、ガラス基板の内面周縁部に、蒸着装置により13Cr鋼を蒸発源として、Crの金属層を0.6μmの厚さで成膜し、引き続き、金属保護層としてAgを0.4μmの厚さで成膜した。一方のガラス基板の金属保護層上に、低融点金属としての厚さ0.2mmの70重量%Bi、30重量%In合金で被覆された直径1.5mmのTiワイヤを側壁として設置した。
2枚のガラス基板を水平に保つと共に、両者の間を100mm開けて5x10-6Paの真空中で加熱脱気処理を行なった。冷却過程で200℃に至った際、これら2枚のガラス基板を所定の位置で合わせた後、この操作により溶融しているBi−In合金がTiワイヤを介して相互に親和性が良いために濡れ広がり隙間のない状態になった。この状態で凝固させ、2枚のガラス基板を封着した。このFEDについて、実施例1と同様の真空リーク試験を実施したところ同様の結果を得た。
(実施例4)
それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意した。続いて、ガラス基板の対向する所定の場所、ここでは、ガラス基板の内面周縁部に、蒸着装置によりCeを蒸発源として、Ceの金属層を0.4μmの厚さで成膜し、引き続き、金属保護層としてCuを0.4μmの厚さで成膜した。各金属保護層上に、低融点金属として分解揮発性のバインダーを含む53重量%Bi、47重量%Sn組成の合金ペーストを0.3mm厚さで塗布した。次に、一方のガラス基板の低融点金属層上に、側壁として、Agメッキの施されたフェライト系ステンレス鋼(SUS410)のワイヤ(直径1.5mm)を設置した。
それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意した。続いて、ガラス基板の対向する所定の場所、ここでは、ガラス基板の内面周縁部に、蒸着装置によりCeを蒸発源として、Ceの金属層を0.4μmの厚さで成膜し、引き続き、金属保護層としてCuを0.4μmの厚さで成膜した。各金属保護層上に、低融点金属として分解揮発性のバインダーを含む53重量%Bi、47重量%Sn組成の合金ペーストを0.3mm厚さで塗布した。次に、一方のガラス基板の低融点金属層上に、側壁として、Agメッキの施されたフェライト系ステンレス鋼(SUS410)のワイヤ(直径1.5mm)を設置した。
2枚のガラス基板の間を100mm開け、これらのガラス基板を10-3Pa程度の真空中で130℃で30分仮焼成し、その後、5x10-6Paの真空中で加熱脱気処理を行なった。次いで、冷却過程で200℃に至った際、これら2枚のガラス基板を所定の位置で貼り合わせたところ、溶融しているBi−Sn合金がSUS410ワイヤを介して相互に親和性が良いために濡れ広がり隙間のない状態になった。この状態で凝固させ、2枚のガラス基板を封着した。このFEDについて、実施例1と同様の真空リーク試験を実施したところ同様の結果を得た。
(実施例5)
実施例1と同じ条件において、低融点金属としてBi−Sn合金の替わりにInを用いたところ、同様の結果を得ることができた。
実施例1と同じ条件において、低融点金属としてBi−Sn合金の替わりにInを用いたところ、同様の結果を得ることができた。
(実施例6)
FEDを構成するため、それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意した。続いて、ガラス基板の対向する所定の場所、ここでは、ガラス基板の内面周縁部に、蒸着装置によりCrの金属層を0.6μmの厚さで成膜し、引き続き金属層上に金属保護層としてAgを0.4μmの厚さで成膜した。各金属保護層上に、超音波半田ごてを用い低融点金属としてのInを0.3mm厚さで塗布した。次に、一方のガラス基板のIn上に、側壁としてAgメッキの施されたFe−37重量%Ni合金のワイヤ(直径1.5mm)を設置した。
FEDを構成するため、それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意した。続いて、ガラス基板の対向する所定の場所、ここでは、ガラス基板の内面周縁部に、蒸着装置によりCrの金属層を0.6μmの厚さで成膜し、引き続き金属層上に金属保護層としてAgを0.4μmの厚さで成膜した。各金属保護層上に、超音波半田ごてを用い低融点金属としてのInを0.3mm厚さで塗布した。次に、一方のガラス基板のIn上に、側壁としてAgメッキの施されたFe−37重量%Ni合金のワイヤ(直径1.5mm)を設置した。
2枚のガラス基板の間を100mm開け、これらのガラス基板を10-3Pa程度の真空中で130℃、30分仮焼成し、その後、5x10-6Paの真空中で加熱脱気処理を行なった。次いで、冷却過程で200℃に至った際、これら2枚のガラス基板を所定の位置で貼り合わせたところ、溶融しているIn合金がFe−Ni合金ワイヤを介して相互に親和性が良いために濡れ広がり隙間のない状態になった。この状態で凝固させ、2枚のガラス基板を封着した。このFEDについて、実施例1と同様の真空リーク試験を実施したところ同様の結果を得た。
(実施例7)
それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意した。続いて、ガラス基板の対向する所定の場所、ここでは、ガラス基板の内面周縁部に、蒸着装置により13Cr鋼を蒸発源として、Crの金属層を0.6μmの厚さで成膜し、引き続き、金属保護層としてAgを0.4μmの厚さで成膜した。一方のガラス基板の金属保護層上に、低融点金属としての厚さ0.2mmの53重量%Bi、47重量%Sn合金で被覆された直径1.5mmのTiワイヤを側壁として設置した。
それぞれ縦65cm、横110cmのガラス板からなる第1および第2基板を用意した。続いて、ガラス基板の対向する所定の場所、ここでは、ガラス基板の内面周縁部に、蒸着装置により13Cr鋼を蒸発源として、Crの金属層を0.6μmの厚さで成膜し、引き続き、金属保護層としてAgを0.4μmの厚さで成膜した。一方のガラス基板の金属保護層上に、低融点金属としての厚さ0.2mmの53重量%Bi、47重量%Sn合金で被覆された直径1.5mmのTiワイヤを側壁として設置した。
2枚のガラス基板を水平に保つと共に、両者の間を100mm開けて5x10-6Paの真空中で加熱脱気処理を行なった。冷却過程で200℃に至った際、これら2枚のガラス基板を所定の位置で合わせた後、この操作により溶融しているBi−Sn合金がTiワイヤを介して相互に親和性が良いために濡れ広がり隙間のない状態になった。この状態で凝固させ、2枚のガラス基板を封着した。このFEDについて、実施例1と同様の真空リーク試験を実施したところ同様の結果を得た。
以上のように、本実施形態および各実施例によれば、高真空を必要とするガラス製容器の封着が可能となり、高い真空度を維持することができ、信頼性の向上した平面型の画像表示装置を得ることができる。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
本発明において、側壁、その他の構成要素の寸法、材質等は上述した実施形態に限定されることなく、必要に応じて適宜選択可能である。この発明は、電子源として電界放出型電子放出素子を用いたものに限らず、表面伝導型、カーボンナノチューブ等の他の電子源を用いた画像表示装置、および内部が真空に維持された他の平面型の画像表示装置にも適用可能である。
10…真空外囲器、 11…第1基板、 12…第2基板、 13…側壁、
14…支持部材、 16…蛍光体スクリーン、 22…電子放出素子、
33…封着部、 31a、31b…金属層、 32…封着層、 34a…第1金属層、
34b…第2金属層、 36…金属保護層。
14…支持部材、 16…蛍光体スクリーン、 22…電子放出素子、
33…封着部、 31a、31b…金属層、 32…封着層、 34a…第1金属層、
34b…第2金属層、 36…金属保護層。
Claims (11)
- 隙間を置いて対向配置された2枚のガラス基板と、前記ガラス基板の所定位置を封着し2枚のガラス基板間に密閉空間を規定した封着部と、を備え、
前記封着部は、前記所定位置に沿って充填された低融点金属と、前記ガラス基板表面と前記低融点金属との間に設けられ、ガラスとの結合性および前記低融点金属との親和性を有し、かつ、500℃以下の温度において、溶融する前記低融点金属に対する溶解度が1%未満の金属で形成された金属層と、を有している平面型の画像表示装置。 - 隙間を置いて対向配置された2枚のガラス基板と、前記ガラス基板の所定位置を封着し2枚のガラス基板間に密閉空間を規定した封着部と、を備え、
前記封着部は、前記所定位置に沿って充填された低融点金属と、前記ガラス基板表面と前記低融点金属との間に設けられ、ガラスとの結合性および前記低融点金属との親和性を有し、かつ、500℃以下の温度において、溶融する前記低融点金属に対する溶解度が1%未満の金属で形成された金属層と、前記金属層と低融点金属との間に設けられ、前記低融点金属に対して親和性を有した金属保護層と、を有している平面型の画像表示装置。 - 前記保護層は、少なくともAg、Au、Al、Pt、Pd、Ir、Snの1つの単体あるいはそれらを主成分とする合金であることを特徴とする請求項2に記載の平面型の画像表示装置。
- 前記金属層は、少なくともCr、Ti、Hf、Zr、Ta、Alのいずれか1つを主成分として含む活性な遷移金属、あるいは少なくともY、Ceの1つを含む希土類金属、あるいはそれらを主成分とする合金で形成されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の平面型の画像表示装置。
- 前記金属層は、少なくともFe、Ni、W、Moの1つを含む遷移金属単体あるいはそれらを主成分とし、請求項4の活性金属を含有する合金で形成されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の平面型の画像表示装置。
- 前記金属層は、複数の金属層を積層した多層金属層である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の平面型の画像表示装置。
- 前記金属層は、前記ガラス基板表面上に形成されガラスとの結合性を有した第1金属層と、前記第1金属層に積層され第1金属層と低融点金属との間に設けられ、前記低融点金属との親和性を有し、かつ、500℃以下の温度において、溶融する前記低融点金属に対する溶解度が1%未満の金属で形成された第2金属層とを含んでいる請求項6に記載の平面型の画像表示装置。
- 前記第1金属層は、少なくともCr、Ti、Hf、Zr、Ta、Alの1つを含む活性な遷移金属の単体、あるいは少なくともY、Ceの1つを含む希土類金属の単体、あるいはそれらを主成分とする合金で形成されている請求項7に記載の平面型の画像表示装置。
- 前記第2金属層は、少なくともFe、Ni、W、Moの1つを含む遷移金属単体あるいはそれらを主成分とする合金で形成されている請求項7又は8に記載の平面型の画像表示装置。
- 前記低融点金属は、少なくともIn、Ga、Bi、Sn、Pb、Sbの1つを含む金属の単独あるいはそれらの合金である請求項1ないし9のいずれか1項に記載の平面型の画像表示装置。
- 一方の前記ガラス基板の内面に設けられた蛍光体層と、他方のガラス基板の内面上に設けられ前記蛍光体層を励起する複数の電子源と、を備えている請求項1ないし10のいずれか1項に記載の平面型の画像表示装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003429754A JP2005190790A (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 平面型の画像表示装置 |
CNA2004800390632A CN1898766A (zh) | 2003-12-25 | 2004-12-15 | 平面图像显示设备 |
EP04807112A EP1708238A1 (en) | 2003-12-25 | 2004-12-15 | Flat panel image display |
KR1020067012408A KR20060101547A (ko) | 2003-12-25 | 2004-12-15 | 평면형의 화상 표시 장치 |
PCT/JP2004/018753 WO2005064638A1 (ja) | 2003-12-25 | 2004-12-15 | 平面型の画像表示装置 |
TW093140333A TWI258157B (en) | 2003-12-25 | 2004-12-23 | Flat panel image display |
US11/452,362 US20060232188A1 (en) | 2003-12-25 | 2006-06-14 | Flat image display device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003429754A JP2005190790A (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 平面型の画像表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005190790A true JP2005190790A (ja) | 2005-07-14 |
Family
ID=34736315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003429754A Abandoned JP2005190790A (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 平面型の画像表示装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060232188A1 (ja) |
EP (1) | EP1708238A1 (ja) |
JP (1) | JP2005190790A (ja) |
KR (1) | KR20060101547A (ja) |
CN (1) | CN1898766A (ja) |
TW (1) | TWI258157B (ja) |
WO (1) | WO2005064638A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009078522A1 (en) * | 2007-12-17 | 2009-06-25 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Field emission type back light unit |
US7867807B2 (en) | 2006-03-29 | 2011-01-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | Method for manufacturing photoelectric converting device |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04206327A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Sony Corp | 陰極線管 |
JP2000311641A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-07 | Sony Corp | 封止パネル装置及びその製造方法 |
JP2001210258A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-08-03 | Toshiba Corp | 画像表示装置およびその製造方法 |
JP2002184313A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-28 | Toshiba Corp | 画像表示装置の製造方法および封着材充填装置 |
JP3780239B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2006-05-31 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置とその製造方法 |
JP2003109502A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Canon Inc | 表示パネルの封着方法、表示パネルおよびこれを備える画像表示装置 |
US20050082975A1 (en) * | 2002-06-11 | 2005-04-21 | Akiyoshi Yamada | Image display device and method of manufacturing the same |
US20050140913A1 (en) * | 2002-08-29 | 2005-06-30 | Masahiro Yokota | Flat display device |
JP2004362926A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Toshiba Corp | 画像表示装置およびその製造方法 |
-
2003
- 2003-12-25 JP JP2003429754A patent/JP2005190790A/ja not_active Abandoned
-
2004
- 2004-12-15 KR KR1020067012408A patent/KR20060101547A/ko active IP Right Grant
- 2004-12-15 CN CNA2004800390632A patent/CN1898766A/zh active Pending
- 2004-12-15 EP EP04807112A patent/EP1708238A1/en not_active Withdrawn
- 2004-12-15 WO PCT/JP2004/018753 patent/WO2005064638A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2004-12-23 TW TW093140333A patent/TWI258157B/zh not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-06-14 US US11/452,362 patent/US20060232188A1/en not_active Abandoned
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7867807B2 (en) | 2006-03-29 | 2011-01-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | Method for manufacturing photoelectric converting device |
WO2009078522A1 (en) * | 2007-12-17 | 2009-06-25 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Field emission type back light unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1898766A (zh) | 2007-01-17 |
KR20060101547A (ko) | 2006-09-25 |
TW200534318A (en) | 2005-10-16 |
WO2005064638A1 (ja) | 2005-07-14 |
TWI258157B (en) | 2006-07-11 |
US20060232188A1 (en) | 2006-10-19 |
EP1708238A1 (en) | 2006-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPWO2006064880A1 (ja) | シール材、シール材を用いた画像表示装置、画像表示装置の製造方法、およびこの製造方法により製造された画像表示装置 | |
TWI262527B (en) | Image forming device | |
JP2005190790A (ja) | 平面型の画像表示装置 | |
US20060234594A1 (en) | Sealing material and image display device using sealing material | |
TWI270917B (en) | Image display device and the manufacturing method thereof | |
JP2008243479A (ja) | 気密容器、気密容器を備えた画像表示装置、気密容器の製造方法 | |
JP2002184328A (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
US20070096622A1 (en) | Image display apparatus and method of manufacturing the same | |
JP2005197050A (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
JP2002184330A (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
JP3481904B2 (ja) | 画像表示装置の製造方法 | |
JP3431583B2 (ja) | 画像表示装置及びその製造方法 | |
JP2005171355A (ja) | 複合材料、複合材料を用いた画像表示装置、および複合材料の製造方法 | |
JP2008258068A (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
JP2008084778A (ja) | 画像表示装置 | |
JP2008251186A (ja) | 気密容器、気密容器を備えた画像表示装置 | |
JP2002184331A (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
JP2008243775A (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
JP2008243610A (ja) | 気密容器、気密容器を備えた画像表示装置、気密容器の製造方法 | |
JP2008243607A (ja) | 気密容器の製造方法、および気密容器を備えた画像表示装置の製造方法 | |
JP2008269998A (ja) | 気密容器、気密容器を備えた画像表示装置 | |
JP2009004226A (ja) | 表示装置 | |
JP2004014460A (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
JP2006100044A (ja) | 平面型表示装置 | |
JP2008269843A (ja) | 表示装置、および表示装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061206 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20080226 |