JP2005190677A - テスト用icソケット - Google Patents

テスト用icソケット Download PDF

Info

Publication number
JP2005190677A
JP2005190677A JP2003426952A JP2003426952A JP2005190677A JP 2005190677 A JP2005190677 A JP 2005190677A JP 2003426952 A JP2003426952 A JP 2003426952A JP 2003426952 A JP2003426952 A JP 2003426952A JP 2005190677 A JP2005190677 A JP 2005190677A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
package
socket
connection terminal
circuit board
printed circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003426952A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Sakai
寛 坂井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP2003426952A priority Critical patent/JP2005190677A/ja
Publication of JP2005190677A publication Critical patent/JP2005190677A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

【課題】ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをより正確にテストしうるテスト用ICソケットを提供する。
【解決手段】上蓋1と、ソケット本体2と、プリント基板3とを上からこの順に備え、ソケット本体2にピン(導電体部)8aを設け、ソケット本体2の底面2aに段部6を伴った貫通孔7を形成し、その貫通孔に、プリント基板3上に電気的に接続するピン8aを備えた弾力性のある異方導電性フィルム(被圧縮部)8を設けるとともに、段部6の最下段6aの厚みtを異方導電性フィルム8の厚みTより薄くし、接続端子5aの電気的コンタクトをテストするときに、接続端子5aがピン8aに一致するようにICパッケージ5を載置した後、上蓋1をICパッケージ5に被せ、ソケット本体2にネジ止めして押圧力を加える。
【選択図】図1

Description

この発明は、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストためのテスト用ICソケットに関する。
従来のテスト用ICソケットは、上壁にコンタクトピンを形成し、下壁にソケットピンを形成し、コンタクトピンにICパッケージの接続端子(ハンダボール)を載置して電気的コンタクトをテストするタイプ(例えば特許文献1)や、バネを備えた接触パッドにICパッケージの接続端子(ハンダボール)を押し当てて電気的コンタクトをテストするタイプ(例えば特許文献2)が主流であった。
特開平11−260512号公報 特開2001−15236号公報
しかしながら、コンタクトピンや接触パッドとICパッケージの接続端子とを接続させるため、電子回路の高密度化や高集積度化により、ICパッケージの接続端子数が増大し、これに合わせてコンタクトピンや接触パッドの数を増やすことが、テスト用ICソケットを製造する上で技術的に困難になってきている。また、ICの動作周波数の上昇により、ICパッケージとプリント基板との接続経路の長さを短くする必要もあり、薄型でプリント基板と十分な接続ができるテスト用ICソケットが求められている。
例えば、ボールグリッドアレイのICパッケージ(BGA IC)の場合、接続端子数が増えると、テスト用ICソケットにコンタクトピンや接触パッドを精度よく形成することが困難であり、コンタクトピンや接触パッドの形成にばらつきが生じ、ICパッケージの一部の接続端子に接触不良が生じ、その結果、接触抵抗が大きくなってICパッケージの接続端子の電気的コンタクトを正確にテストすることができないという問題がある。
加えて、コンタクトピンや接触パッドの間隔が狭いICソケットの製造には技術を要し、コストがかかるという問題もある。さらに、コンタクトピンや接触パッドによるICソケットは、ICパッケージのフットパターンと同じでないため、プリント基板を量産品と試作品で変更しなくてはならないという問題もある。加えて、ICパッケージの接続端子のピッチが同じでも数が変われば、新たにテスト用ICソケットを造り直さなくてはならず、製造効率が悪いという問題がある。
そこでこの発明の目的は、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをより正確にテストしうるテスト用ICソケットを提供することにある。
請求項1に記載の発明は、上蓋と、該上蓋を被せることによってケース状となるソケット本体と、プリント基板とを上からこの順に備え、前記ソケット本体にICパッケージの裏面に形成された接続端子に一致するように導電体部を設けたICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストする、テスト用ICソケットにおいて、
前記ソケット本体の底面に段部を伴った貫通孔を形成し、該貫通孔に、前記プリント基板上に電気的に接続する前記導電体部を備えた弾力性のある被圧縮部を設けるとともに、前記段部の最下段の厚みを前記被圧縮部の厚みより薄くしたテスト用ICソケットであって、
前記ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、
前記接続端子が前記導電体部に一致するように前記ICパッケージを載置した後、前記上蓋を前記ICパッケージに被せ、前記上蓋に押圧力を加えることを特徴とする。
請求項1の発明によれば、ソケット本体の底面に段部を伴った貫通孔を形成し、その貫通孔に、プリント基板上に電気的に接続する導電体部を備えた弾力性のある被圧縮部を設けるとともに、段部の最下段の厚みを被圧縮部の厚みより薄くしたテスト用ICソケットであって、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、接続端子が導電体部に一致するようにICパッケージを載置した後、上蓋をICパッケージに被せ、上蓋に押圧力を加えるので、接続端子をテスト用ICソケットに確実に接触させることができ、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをより正確にテストしうるテスト用ICソケットを提供する。
また、押圧力が強すぎた場合、段部の最下段にICパッケージが当接し、それ以上、被圧縮部を押し付けることがなく、被圧縮部の内部に備えた導電体部を歪ませて破損させることがない。
請求項2に記載の発明は、上蓋と、該上蓋を被せることによってケース状となるソケット本体と、プリント基板とを上からこの順に備え、前記ソケット本体にICパッケージの側部に形成された接続端子に一致するように導電体部を設けたICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストする、テスト用ICソケットにおいて、
前記ソケット本体の底面に段部を伴った枠状の貫通孔を形成し、該貫通孔に、前記プリント基板上に電気的に接続する前記導電体部を備えた弾力性のある被圧縮部を設けるとともに、前記枠状の貫通孔の最下段に位置し、かつ前記枠状の貫通孔の中央に形成された島部の厚みを前記被圧縮部の厚みより薄くしたテスト用ICソケットであって、
前記ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、
前記接続端子が前記導電体部に一致するように前記ICパッケージを載置した後、前記上蓋を前記ICパッケージに被せ、前記上蓋に押圧力を加えることを特徴とする。
請求項2の発明によれば、ソケット本体の底面に段部を伴った枠状の貫通孔を形成し、その貫通孔に、プリント基板上に電気的に接続する導電体部を備えた弾力性のある被圧縮部を設けるとともに、枠状の貫通孔の最下段に位置し、かつ枠状の貫通孔の中央に形成された島部の厚みを被圧縮部の厚みより薄くしたテスト用ICソケットであって、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、接続端子が導電体部に一致するようにICパッケージを載置した後、上蓋をICパッケージに被せ、上蓋に押圧力を加えるので、接続端子をテスト用ICソケットに確実に接触させることができ、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをより正確にテストしうるテスト用ICソケットを提供する。また、押圧力が強すぎた場合、段部の最下段にICパッケージが当接し、それ以上、被圧縮部を押し付けることがなく、被圧縮部の内部に備えた導電体部を歪ませて破損させることがない。
請求項3に記載の発明は、プリント基板にICパッケージの表面に形成された接続端子に一致するように導電体部を設けたICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストする、テスト用ICソケットにおいて、
突出部を有し、前記プリント基板表面に接する前記導電体部を備えた被圧縮部と、
前記表面に取付溝が形成されるとともに、位置合わせ用孔を形成した前記プリント基板とを備え、
前記取付溝に前記突出部を挿入して前記被圧縮部を前記プリント基板に電気的に接続させるテスト用ICソケットであって、
前記ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、
前記接続端子が前記導電体部に一致するように、前記プリント基板を前記ICパッケージに載置して、前記位置合わせ用孔から前記ICパッケージの位置合わせをすることを特徴とする。
請求項3の発明によれば、プリント基板表面に接する導電体部を備えた被圧縮部と、表面に取付溝が形成されるとともに、位置合わせ用孔を形成したプリント基板とを備え、取付溝に被圧縮部の端部を挿入して被圧縮部をプリント基板に電気的に接続させるテスト用ICソケットであって、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、接続端子が導電体部に一致するように、プリント基板をICパッケージに載置して、位置合わせ用孔からICパッケージの位置合わせをするので、被圧縮部をプリント基板に容易に取り付けることが可能となり、加えてプリント基板とICパッケージの位置合わせを容易にすることが可能となる。
請求項4に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載のテスト用ICソケットにおいて、前記被圧縮部が異方導電性フィルムであることを特徴とする。
請求項4の発明によれば、被圧縮部が異方導電性フィルムであるので、効率よくテスト用ICソケットを製造することが可能となる。また、高温に対する耐久性がある。
請求項1に記載の発明によれば、ソケット本体の底面に段部を伴った貫通孔を形成し、その貫通孔に、プリント基板上に電気的に接続する導電体部を備えた弾力性のある被圧縮部を設けるとともに、段部の最下段の厚みを被圧縮部の厚みより薄くしたテスト用ICソケットであって、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、接続端子が導電体部に一致するようにICパッケージを載置した後、上蓋をICパッケージに被せ、上蓋に押圧力を加えるので、接続端子をテスト用ICソケットに確実に接触させることができ、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをより正確にテストしうるテスト用ICソケットを提供することができる。
また、押圧力が強すぎた場合、段部の最下段にICパッケージが当接し、それ以上、被圧縮部を押し付けることがなく、被圧縮部の内部に備えた導電体部を歪ませて破損させる恐れを防止することができる。
請求項2に記載の発明によれば、ソケット本体の底面に段部を伴った枠状の貫通孔を形成し、その貫通孔に、プリント基板上に電気的に接続する導電体部を備えた弾力性のある被圧縮部を設けるとともに、枠状の貫通孔の最下段に位置し、かつ枠状の貫通孔の中央に形成された島部の厚みを被圧縮部の厚みより薄くしたテスト用ICソケットであって、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、接続端子が導電体部に一致するようにICパッケージを載置した後、上蓋をICパッケージに被せ、上蓋に押圧力を加えるので、接続端子をテスト用ICソケットに確実に接触させることができ、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをより正確にテストしうるテスト用ICソケットを提供することができる。
また、押圧力が強すぎた場合、段部の最下段にICパッケージが当接し、それ以上、被圧縮部を押し付けることがなく、被圧縮部の内部に備えた導電体部を歪ませて破損させる恐れがなく、安定した接触抵抗を確保したテスト用ICソケットを提供することができる。
請求項3に記載の発明によれば、プリント基板表面に接する導電体部を備えた被圧縮部と、表面に取付溝が形成されるとともに、位置合わせ用孔を形成したプリント基板とを備え、取付溝に被圧縮部の端部を挿入して被圧縮部をプリント基板に電気的に接続させるテスト用ICソケットであって、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、接続端子が導電体部に一致するように、プリント基板をICパッケージに載置して、位置合わせ用孔からICパッケージの位置合わせをするので、被圧縮部をプリント基板に容易に取り付けることができ、加えてプリント基板とICパッケージの位置合わせを容易にすることができる。したがって、ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをより正確にテストしうるテスト用ICソケットを提供することができる。
請求項4に記載の発明によれば、被圧縮部が異方導電性フィルムであるので、効率よくテスト用ICソケットを提供することができる。また、テスト時の高温に対する耐久性のあるテスト用ICソケットを提供することができる。
加えて、被圧縮部に異方導電性フィルムを用いることによって、従来のコンタクトピンやバネを備えた接触パッドを有するテスト用ICソケットに比較して、テスト用ICソケットとICパッケージとの間隔を狭くすることができるので、安価に高速動作に適応しうるテスト用ICソケットを提供することができる。
(第1の実施の形態)
図1は、この発明のテスト用ICソケット(以下、「ICソケット」という。)の一実施形態の断面図を示し、図2(a)は非圧縮部としての異方導電性フィルムの平面図、(b)はそのA矢視断面図である。
ICソケットは、上蓋1と、その上蓋1を被せることによってケース状となるソケット本体2と、プリント基板3とを上からこの順に備え、ICパッケージ5をソケット本体2に載置して、上蓋1側からネジ孔1aにボルト4aを貫通させて、プリント基板3側からそのボルト4aをナット4bで締め付けるように構成されている。
詳しくは、ソケット本体2の底面2aに段部6を伴った貫通孔7を形成し、その貫通孔7に、プリント基板3上に電気的に接続するピン(導電体部)8aを備えた弾力性のある異方導電性フィルム(被圧縮部)8を設けるとともに、段部6の最下段6aの厚みtを異方導電性フィルム8の厚みTより薄く構成する。なお、異方導電性フィルム8の厚みTは1mm以下であることが望ましい。また、この例では、異方導電性フィルム8は、縦a、横bとし、底面2aに形成される段部6を伴った貫通孔7の最下段6aの寸法は、異方導電性フィルム8を保持できるように、縦a、横b程度に形成される。さらに、最下段6aの幅cは、テストするICパッケージ5の幅よりも多少余裕を持った大きさで、かつ導電性フィルム8の幅bよりも大きくするものとする。
導電性フィルム8は、絶縁性樹脂フィルムに、Cuを芯としNi−Auメッキを施したピン8aをマトリクス状に、かつ絶縁性樹脂フィルムの厚さ方向に貫通するように配設されて構成されている。この例では、導電性フィルム8に接着性を持たせていないが、これに限定されず、接着性を持たせて、ソケット本体2に貼着するようにして取り付けてもよい。
そして、ICパッケージ5の接続端子5aの電気的コンタクトをテストするときは、導電性フィルム8に設けたピン8aにICパッケージ5の裏面5bに形成された接続端子5aが一致するようにICパッケージ5を載置する。次に、上蓋1をICパッケージ5に被せ、上蓋1側からネジ孔1aにボルト4aを貫通させて、プリント基板3側からそのボルト4aをナット4bで締め付けて上蓋1に押圧力を加えることで、ICパッケージ5の接続端子5aをピン8aに押し当てて固定する。このとき、ボルト4aを締めすぎて押圧力が強すぎた場合、最下段6aにICパッケージ5が当接して、それ以上、導電性フィルム8を押し付けることがなく、導電性フィルム8の内部に備えたピン8aを歪ませて破損させる恐れを防止することができる。
なお、この実施の形態のICソケットは、BGA(Ball Grid Alley)ICに適用するとより効果的である。
(第2の実施の形態)
図3は、この発明のICソケットの別の実施の形態の断面図を示す。
ICソケットは、上蓋1と、その上蓋1を被せることによってケース状となるソケット本体2と、プリント基板3とを上からこの順に備え、ICパッケージ5をソケット本体2に載置して、上蓋1側からネジ孔1aにボルト4aを貫通させて、プリント基板3側からそのボルト4aをナット4bで締め付けるように構成されている。
詳しくは、ソケット本体2の底面2aに段部11を伴った枠状の貫通孔10を形成し、その貫通孔10に、プリント基板3上に電気的に接続するピン(導電体部)8aを備えた弾力性のある異方導電性フィルム(被圧縮部)8を設けるとともに、貫通孔10の最下段11aに位置し、かつ枠状の貫通孔10の中央に形成された島部12の厚みtを異方導電性フィルム8の厚みTより薄く構成する。なお、異方導電性フィルム8の厚みTは1mm以下であることが望ましい。
導電性フィルム8は、絶縁性樹脂フィルムに、Cuを芯としNi−Auメッキを施したピン8aを絶縁性樹脂フィルムの厚さ方向に貫通するように配設されて構成されている。この例では、導電性フィルム8に接着性を持たせていないが、これに限定されず、接着性を持たせて、ソケット本体2に貼着するようにして取り付けてもよい。
そして、ICパッケージ5の接続端子5cの電気的コンタクトをテストするときは、導電性フィルム8に設けたピン8aにICパッケージ5の側部5dに形成された接続端子5cが一致するようにICパッケージ5を載置する。次に、上蓋1をICパッケージ5に被せ、上蓋1側からネジ孔1aにボルト4aを貫通させて、プリント基板3側からそのボルト4aをナット4bで締め付けて上蓋1に押圧力を加えることで、ICパッケージ5の接続端子5cをピン8aに押し当てて固定する。このとき、ボルト4aを締めすぎて押圧力が強すぎた場合、最下段11aの島部12にICパッケージ5が当接して、それ以上、導電性フィルム8を押し付けることがなく、導電性フィルム8の内部に備えたピン8aを歪ませて破損させる恐れを防止することができる。
なお、この実施の形態のICソケットは、QFP(Quad Flat Package)ICに適用するとより効果的である。
(第3の実施の形態)
図4(a)はこの発明のICソケットのさらに別の実施の形態の平面図を示し、図4(b)はそのB矢視断面図を示す。
ICソケットは、プリント基板21にICパッケージ(ICウエハ)51の表面51aに形成された不図示の接続端子に一致するように導電性フィルム(導電体部)8を設けてなる。このプリント基板21は、プリント基板51の表面51aに接するピン(導電体部)8aを備えた導電性フィルム8と、表面51aに取付溝52が形成されるとともに、導電性フィルム8のピン8aとICパッケージ(ICウエハ)51の表面51aに形成された不図示の接続端子とを位置合わせするためにプリント基板21の上方から覗き見しやすいように位置合わせ用孔53をプリント基板21中央の4隅に形成してなる。さらに、取付溝52に導電性フィルム8の端部を挿入して取り付け、導電性フィルム8をプリント基板21に電気的に接続させる。
導電性フィルム8は、絶縁性樹脂フィルムに、Cuを芯としNi−Auメッキを施したピン8aを絶縁性樹脂フィルムの厚さ方向に貫通するように配設されて構成されている。この例では、導電性フィルム8に接着性を持たせていないが、これに限定されず、接着性を持たせて、プリント基板21に貼着するようにして取り付けてもよい。
そして、ICパッケージ5の接続端子の電気的コンタクトをテストするときは、接続端子がピン8aに一致するように、プリント基板21をICパッケージ5上に載置して、位置合わせ用孔53からICパッケージ5の位置合わせをする。したがって、より確実にICパッケージ5の接続端子をプリント基板21に備えるピン8aに位置合わせすることができる。
なお、プリント基板21の上面に形成された取付凸部21aは、テスト用の測定器に取り付けるためのものである。
また、導電性フィルム8には、適宜、突出部8bを設け、取付溝52以外でプリント基板21に形成された不図示の取付孔に突出部8bを挿入してより確実に、導電性フィルム8をプリント基板21に取り付けるようにしてもよい。
さらに、上述の第1〜3の実施の形態においては、非圧縮部として異方導電性フィルムを用いたがこの発明はこれに限定されるものではない。
この発明のテスト用ICソケットの一実施形態の断面図である。 (a)は非圧縮部としての異方導電性フィルムの平面図、(b)は(a)のA矢視断面図である。 この発明のICソケットの別の実施の形態の断面図である。 (a)はこの発明のICソケットのさらに別の実施の形態の平面図、(b)は(a)のB矢視断面図である。
符号の説明
1 上蓋
1a ネジ孔
2 ソケット本体
2a 底面
3,21 プリント基板
4a ボルト
4b ナット
5,51 ICパッケージ
5a,5c 接続端子
5b 裏面
5d 側部
6,11 段部
6a,11a 最下段
7,10 貫通孔
8 異方導電性フィルム(被圧縮部)
8a ピン(導電体部)
8b 突出部
12 島部
21a 取付凸部
51a 表面
52 取付溝
53 位置合わせ用孔
T,t 厚み

Claims (4)

  1. 上蓋と、該上蓋を被せることによってケース状となるソケット本体と、プリント基板とを上からこの順に備え、前記ソケット本体にICパッケージの裏面に形成された接続端子に一致するように導電体部を設けたICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストする、テスト用ICソケットにおいて、
    前記ソケット本体の底面に段部を伴った貫通孔を形成し、該貫通孔に、前記プリント基板上に電気的に接続する前記導電体部を備えた弾力性のある被圧縮部を設けるとともに、前記段部の最下段の厚みを前記被圧縮部の厚みより薄くしたテスト用ICソケットであって、
    前記ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、
    前記接続端子が前記導電体部に一致するように前記ICパッケージを載置した後、前記上蓋を前記ICパッケージに被せ、前記上蓋に押圧力を加えることを特徴とするテスト用ICソケット。
  2. 上蓋と、該上蓋を被せることによってケース状となるソケット本体と、プリント基板とを上からこの順に備え、前記ソケット本体にICパッケージの側部に形成された接続端子に一致するように導電体部を設けたICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストする、テスト用ICソケットにおいて、
    前記ソケット本体の底面に段部を伴った枠状の貫通孔を形成し、該貫通孔に、前記プリント基板上に電気的に接続する前記導電体部を備えた弾力性のある被圧縮部を設けるとともに、前記枠状の貫通孔の最下段に位置し、かつ前記枠状の貫通孔の中央に形成された島部の厚みを前記被圧縮部の厚みより薄くしたテスト用ICソケットであって、
    前記ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、
    前記接続端子が前記導電体部に一致するように前記ICパッケージを載置した後、前記上蓋を前記ICパッケージに被せ、前記上蓋に押圧力を加えることを特徴とするテスト用ICソケット。
  3. プリント基板にICパッケージの表面に形成された接続端子に一致するように導電体部を設けたICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストする、テスト用ICソケットにおいて、
    前記プリント基板表面に接する前記導電体部を備えた被圧縮部と、
    前記表面に取付溝が形成されるとともに、位置合わせ用孔を形成した前記プリント基板とを備え、
    前記取付溝に前記被圧縮部の端部を挿入して前記被圧縮部を前記プリント基板に電気的に接続させるテスト用ICソケットであって、
    前記ICパッケージの接続端子の電気的コンタクトをテストするとき、
    前記接続端子が前記導電体部に一致するように、前記プリント基板を前記ICパッケージに載置して、前記位置合わせ用孔から前記ICパッケージの位置合わせをすることを特徴とするテスト用ICソケット。
  4. 前記被圧縮部が異方導電性フィルムであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のテスト用ICソケット。

JP2003426952A 2003-12-24 2003-12-24 テスト用icソケット Pending JP2005190677A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003426952A JP2005190677A (ja) 2003-12-24 2003-12-24 テスト用icソケット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003426952A JP2005190677A (ja) 2003-12-24 2003-12-24 テスト用icソケット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005190677A true JP2005190677A (ja) 2005-07-14

Family

ID=34786355

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003426952A Pending JP2005190677A (ja) 2003-12-24 2003-12-24 テスト用icソケット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005190677A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW305097B (ja)
JPH11233216A (ja) テスト用icソケット
TWI397690B (zh) 用於針對電子元件之測試裝置的構件及電子元件之測試方法
KR101073400B1 (ko) 검사용 탐침 장치
KR100385352B1 (ko) 소켓
JP6706494B2 (ja) インターフェース構造
JP2010129505A (ja) Icソケットおよびicソケット用ガイドプレート
KR20090099157A (ko) 반도체 칩 검사용 탐침 장치
US6270356B1 (en) IC socket
JP2000021526A (ja) 電子部品導電シート
KR20100045079A (ko) 검사용 탐침 장치 및 그 제조 방법
JP3379920B2 (ja) Ic用ソケット
JP3268749B2 (ja) Icソケット
JP2002270320A (ja) 半導体パッケージ用ソケット
JP2904193B2 (ja) Icソケット
JPH11121659A (ja) Bgaソケット
JP2005190677A (ja) テスト用icソケット
KR20080018520A (ko) 포고핀 및 이를 이용한 테스트 소켓
JP2842416B2 (ja) 半導体装置用ソケット
JP2001251035A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP2011180019A (ja) 半導体測定装置および半導体測定装置用ピッチ変換治具
KR200226638Y1 (ko) 테스트 소켓
KR200265544Y1 (ko) 실리콘 러버를 이용한 반도체 패키지 테스트 소켓
KR100259060B1 (ko) 반도체 칩 테스트 소켓 및 콘텍터 제조방법
JP2001077495A (ja) 電子部品用コンタクタ及び電子部品の試験方法