JP2005184984A - ムービングマグネット形リニアアクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固定子ベース31と、磁性鉄心33および電機子部32とを有する固定子部30と、磁性鉄心33と磁気的第1空隙gaを介して対向配置される界磁永久磁石21と、界磁永久磁石21を支持し固定子ベース31上に移動可動に配置された非磁性体の磁石ホルダ22とを有する可動子部20と、から成り、界磁永久磁石21の反電機子側に磁性バックヨーク39を界磁永久磁石21から磁気的第2空隙gbを介して配設したムービングマグネット形リニアアクチュエータ10において、磁気的第1空隙gaよりも磁気的第2空隙gbを長くした。
【選択図】 図4
Description
図において、60はムービングマグネット形リニアアクチュエータで、大きく分けて、20の可動子部と、30の固定子部と、40のリニアガイド部と、50の位置検出部とから成る。
可動子部20は主として界磁永久磁石21と界磁永久磁石21を保持する磁性ヨーク23から構成され、固定子部30は主として固定子ベース31と固定子ベース31の上に固定される電機子部32とから成る。電機子部32は磁性鉄心33と磁性鉄心33に巻回配置される電機子巻線34と電機子巻線34を囲む絶縁層35と電機子巻線34に給電する給電線36とから成る。
リニアガイド部40(図b)は主としてリニアガイドレール41とリニアガイドレール41の上を走行するリニアガイドブロック42とリニアガイドブロック42の走行をリニアアクチュエータ60の走行方向の両端で強制的に止めるストッパ機構43(図a)とから成る。
位置検出部50は主として固定子ベース31の上に固定される検出部支持体51と検出部支持体51に固定されるリニアスケール検出部52とリニアスケール検出部52から近接距離で可動子側に固定されるリニアスケール53と信号線54とから成る。
このように、界磁永久磁石21の背面には磁性ヨーク23が設けられ、この両方で磁気回路兼可動子を構成していた。
また、電機子部32は磁性鉄心を有しており、等ピッチで施されたスロット部には電機子巻線34が巻装されており、このリニアアクチュエータ60は、この電機子巻線34に通電することで、電機子長と前記界磁可動子長の差であるストローク内を移動するものであった。
そこで、可動子の加速性能を十分に上げることができるようにするためには、次のようにして界磁磁性体ヨーク可動子からを切り離せばよいと考えた。
すなわち、このムービングマグネット形リニアアクチュエータは、固定子ベースと固定子部と可動子部とから成り、固定子部は固定子ベースに固定される磁性鉄心およびこの磁性鉄心の周囲に巻回される電機子巻線とから成り、可動子部は磁性鉄心に磁気的空隙を介して対向配置される界磁永久磁石とこの界磁永久磁石を支持し固定子ベース上に移動可動に配置された磁石ホルダとを有しているものである。このようなものにおいて、磁石ホルダを非磁性体で構成し、界磁永久磁石の反電機子側に磁性バックヨークを配設し、かつ磁性バックヨークと界磁永久磁石との間に空隙を形成するようにした。
ところがこのようなリニアモータにおいては、可動体側と固定子側に大きな磁気吸引力が働くため、高頻度加減速動作をさせた場合、リニアガイドの寿命に影響を及ぼすことが新たに判明した。
請求項2記載の発明は、請求項1記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータにおいて、前記電機子部のスロットがオープンスロットの場合、前記第1空隙/前記第2空隙=0.45/0.55〜0.35/0.65としたことを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータにおいて、前記電機子部のスロットがセミオープンスロットの場合、前記第1空隙/前記第2空隙=0.49/0.51〜0.48/0.52としたことを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータにおいて、前記磁石ホルダにはリニアスケールのスケール部が固定され、前記固定子ベースには前記スケール部と第3の空隙を介して前記リニアスケールの検出側が固定されたことを特徴とする。
請求項6記載の発明は、請求項1〜5のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータにおいて、前記ガイドブロック間の幅方向スペースに対応する幅の穴が前記非磁性ホルダに加工され、該穴に前記界磁磁石が固定されたことを特徴とする。
請求項7記載の発明は、請求項1〜6のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータにおいて、前記平行する2本のリニアガイドレールの四端にストッパ機構を設けたことを特徴とする。
請求項8記載の発明は、請求項1〜7のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータにおいて、前記固定子ベースに液冷用冷媒導管を埋設させたことを特徴とする。
請求項9記載の発明は、請求項1〜8のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータにおいて、前記磁性バックヨークとして、薄板電磁鋼板の積層体を用いたことを特徴とする。
図1はかかるムービングマグネット形リニアアクチュエータであって、(a)はその平面図、(b)はその側断面図、図2は図1のリニアアクチュエータの要部斜視図である。
両図において、10はムービングマグネット形リニアアクチュエータで、大きく分けて、20の可動子部と、30の固定子部と、40のリニアガイド部と、50の位置検出部とから成る。
可動子部20は、主として界磁永久磁石21と界磁永久磁石21を保持する非磁性磁石ホルダ22から構成される。
固定子部30は、主として固定子ベース31と固定子ベース31の上に固定される電機子部32と磁性バックヨーク39とから成り、また、電機子部32は磁性鉄心33と磁性鉄心33に巻回配置される電機子巻線34と電機子巻線34を囲む絶縁層35と電機子巻線34に給電する給電線36とから成る。
このように、本発明では、電機子部32に生じる起磁力の磁極数に対し、前記界磁磁極数の数が少ないため、その差分がリニアアクチュエータのストロークとなる可動側となるムービングマグネット形リニアモータとなっている。
まず、可動子部20の構成について述べると、界磁永久磁石21は、固定子30側の磁性鉄心33と磁気的空隙を介して対向配置されるもので、大きさは幅が磁性鉄心33の幅、走行方向の長さは可動子20の長さに亘って、界磁永久磁石21を板状をした非磁性体の磁石ホルダ22にN極、S極・・・・・・と交互に埋設されている。非磁性体としては軽いアルミニゥムが良く、これで界磁永久磁石21を磁性鉄心33に空隙を設けた状態で保持している。磁石ホルダ22は、平行な2本のリニアガイドレール41の走行方向の前後に設けられているリニアガイドブロック42の上に固定されている。磁石ホルダ22が界磁永久磁石21を支持する部位は可能な限り肉薄として、可動子部20の背面側に磁性バックヨーク39を配置固定することで、磁気吸引力を相殺させ、かつギャップ磁束密度を大きく設計することが可能となるので、高推力、高加減速を実現することが可能となる。
このように、界磁永久磁石21を有する可動子20側には、リニアガイドレール41と対なるガイドブロック42が左右に固定され、このガイドブロック42の間のスペースには、非磁性体ホルダ22に界磁磁石形状と同寸法の穴加工、もしくは抜き穴加工が施され、界磁永久磁石21が固定された構造となっている。
さらに可動子20側には、固定子ベース31に固定されたリニアスケール53の検出側52と空隙(エアギャップ)を介してリニアスケール50のスケール部53が固定されている。
固定子ベース30には、走行方向の中心位置に沿って断面矩形状の複数の磁性鉄心33がSN極性を互い違いに交互に替えながら延設されている。磁性鉄心33の周囲にそれぞれ電機子巻線34が巻回され、その周囲を絶縁層35で覆っている。電機子巻線34への給電は、可動子部20の最大ストローク長移動できる可撓導電線36により行われる。
また、界磁永久磁石21の反電機子側に界磁永久磁石21と空隙を介して磁性バックヨーク39を設けている。磁性バックヨーク39は、電機子部32および界磁永久磁石21を覆うように、電機子部32の走行方向に延び、走行方向の前後スペースで固定子ベース31上に設けた支持体31cに固定されている。磁性バックヨーク39の幅方向は略前記界磁永久磁石21の幅であり、その長さ方向は略可動部20のストローク以上となっている。
さらに、固定子ベース31の中には強制液冷冷媒用導管31a、bが形成されており、この強制液冷冷媒用導管31a、bの形成方法としては、断面半円形状の長溝を掘った板2枚を互いに半円形状同士を突き合わせて断面円形となるように張り合わせればよい。このように、固定子ベース31に強制液冷用冷媒導管31aを埋設させた構造にしてリニアアクチュエータ10の実効推力性能の向上、温度上昇防止をしている。
このように、平行する2本のリニアガイドレール41の前後左右の4端にショックアブソーバ43a〜43dを備えたストッパ機構43を設けてオーバーラン防止機構としている。
また、界磁永久磁石の反電機子側に磁性バックヨークを配設したので、可動部の軽量化のために磁石ホルダを非磁性体で構成した分を磁性バックヨークで補い、高推力、高加減速を実現することが可能となる。
さらに、磁性バックヨークの幅方向は略前記界磁永久磁石の幅であり、その長さ方向は略前記可動部のストローク以上で、かつその長さ方向両端が前記固定部に固定され、該磁性バックヨークと前記界磁永久磁石との間に空隙を形成したので、可能な限りの最大推力、最大加減速を実現することが可能となる。
そして、磁石ホルダにはリニアスケールのスケール部が固定され、前記固定子ベース31には前記スケール部と空隙を介して前記リニアスケールの検出側を固定し、磁石ホルダが非磁性体でできているので、位置検出部は磁力線の影響を受けにくくなる。
そこで、2つの磁気的空隙の関係について調べた。
吸引力を相殺するバックヨークと界磁永久磁石との間の磁気的空隙(磁気的第2空隙)については、電機子部がコアを有するため、以下の式(1)および(2)にて算出した。
図3は本発明に係るムービングマグネット形リニアアクチュエータの正断面拡大図(ストローク方向)で、図において、21は界磁永久磁石、22は非磁性磁石ホルダ、33は磁性鉄心、34は電機子巻線、39は磁性バックヨークである。
また、後述の算出式に用いられるgaは電機子巻線と界磁永久磁石との間の磁気的空隙(磁気的第1空隙)、sはスロットの開口幅である。
ティースを持つ電機子巻線と界磁永久磁石間の磁束密度を算出する時には、カータ係数(Kc)を考慮し、磁束密度の弱まり分(界磁永久磁石がスロットに対向しているために、磁性バックヨークに対向している永久磁石よりも磁気ギャップに発生する磁束密度が弱まっているため磁気的第2空隙に対する磁気的第1空隙の等価磁気ギャップ長)を下記の式にて算出し、<界磁永久磁石−電機子部>間、<界磁永久磁石−磁性バックヨーク>間の磁束密度を等価にする。
Kc=スロットピッチ/(スロットピッチ−β・ga)・・・(1)
β=(s/ga)2/{5+(s/ga)}
磁気的第2空隙(gb)=磁気的第1空隙(ga)×Kc ・・・(2)
ここで、Kc:カータ係数,ga:磁気的空隙長,s:スロット開口幅
図において、スロットピッチは10mm、ポールピッチは15mm、ポール数は4、ga+gb=1mm、スロット開口幅は4.3mm、コア積みは40mmで計算している。
吸引力(N)は、例えば磁界解析シミュレーションによる数値計算を行なって求めた。
また、中心位置からのズレが0.10(mm)で、バックヨーク側における吸引力は640Nで、電機子側の吸引力は655Nとなり、両者の吸引力は逆転する。そこで、両者の吸引力が等しくなるところを求めると、中心位置からのズレが0.085(mm)で、両者の吸引力が646Nと等しくなる。
本発明によれば、この両者の吸引力が等しくなる中心位置からのズレの位置に
界磁永久磁石21を配置すれば、可動体側と固定子側に吸引力が働かないようになるので、高頻度加減速動作をさせてもリニアガイドへの影響をなくすることができ、長い寿命を得ることができる。
20 可動子部
21 界磁永久磁石
22 非磁性磁石ホルダ
30 固定子部
31 固定子ベース
31a、b 強制液冷冷媒用導管
31c 支持体
32 電機子部
33 磁性鉄心
34 電機子巻線
35 絶縁層
36 給電線
39 磁性バックヨーク
40 リニアガイド部
41 リニアガイドレール
42 リニアガイドブロック
43 ストッパ機構
43a〜43d ショックアブソーバ
50 位置検出部
51 検出部支持体
52 リニアスケール検出部
53 リニアスケール
53 信号線
ga 界磁永久磁石と電機子巻線との間の空隙の長さ
gb 界磁永久磁石と磁性バックヨークとの間の空隙の長さ
s スロットの開口幅
Claims (9)
- 固定子ベースと、該固定子ベースに固定される磁性鉄心および該磁性鉄心の周囲に巻回される電機子巻線とから成る該電機子部と、を有する固定子部と、前記磁性鉄心と磁気的第1空隙を介して対向配置される界磁永久磁石と、該界磁永久磁石を支持し前記固定子ベース上に移動可動に配置された磁石ホルダと、を有する可動子部と、から成るムービングマグネット形リニアアクチュエータであって、前記磁石ホルダを非磁性体で構成し、前記界磁永久磁石の反電機子側に磁性バックヨークを配設し、かつ前記磁性バックヨークの幅は略前記界磁永久磁石の幅であり、その長さ方向は略前記可動部のストローク以上で、かつその長さ方向両端が前記固定部に固定され、該磁性バックヨークと前記界磁永久磁石との間に磁気的第2空隙を形成したムービングマグネット形リニアアクチュエータにおいて、
前記磁気的第1空隙よりも前記磁気的第2空隙を長くして、前記可動子部にかかる磁気吸引力を相殺させたことを特徴とするムービングマグネット形リニアアクチュエータ。 - 前記電機子部のスロットがオープンスロットの場合、
前記第1空隙/前記第2空隙=0.45/0.55〜0.35/0.65
としたことを特徴とする請求項1記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータ。 - 前記電機子部のスロットがセミオープンスロットの場合、
前記第1空隙/前記第2空隙=0.49/0.51〜0.48/0.52
としたことを特徴とする請求項1記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータ。 - 前記磁石ホルダにはリニアスケールのスケール部が固定され、前記固定子ベースには前記スケール部と第3の空隙を介して前記リニアスケールの検出側が固定されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータ。
- 前記電機子部の長さ方向には、前記電機子部の両側面を挟むようにリニアガイドレールが2本平行配置固定され、該各リニアガイドレールの上にガイドブロックがそれぞれ配備され、前記磁石ホルダが該ガイドブロックに固定されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータ。
- 前記ガイドブロック間の幅方向スペースに対応する幅の穴が前記非磁性ホルダに加工され、該穴に前記界磁磁石が固定されたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータ。
- 前記平行する2本のリニアガイドレールの四端にストッパ機構を設けたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータ。
- 前記固定子ベースに液冷用冷媒導管を埋設させたことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータ。
- 前記磁性バックヨークとして、薄板電磁鋼板の積層体を用いたことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項記載のムービングマグネット形リニアアクチュエータ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190112153A (ko) | 2017-03-24 | 2019-10-02 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 리니어 모터 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4539045B2 (ja) * | 2003-07-16 | 2010-09-08 | 株式会社安川電機 | ムービングマグネット形リニアアクチュエータ |
CN101990702B (zh) * | 2008-04-09 | 2013-06-19 | 应用材料公司 | 具有轨道的抛光系统 |
KR20110039308A (ko) * | 2008-07-01 | 2011-04-15 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 모듈형 기부 플레이트 반도체 연마기 구조체 |
US20110290161A1 (en) * | 2010-05-27 | 2011-12-01 | Valley Precision, Inc. | Stage with magnetic loading |
US20130199405A1 (en) * | 2012-02-08 | 2013-08-08 | Applied Materials, Inc. | Circular track actuator system |
US8786141B2 (en) | 2012-04-06 | 2014-07-22 | National Instruments Corporation | Magnetic linear actuator |
JP6115729B2 (ja) * | 2014-01-08 | 2017-04-19 | 株式会社安川電機 | リニアモータ及びリニアモータの製造方法 |
ES2928872T3 (es) | 2017-04-14 | 2022-11-23 | Carrier Corp | Mejora de inductancia de devanado de una máquina eléctrica |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06254734A (ja) * | 1993-03-02 | 1994-09-13 | Canon Inc | Xyステージ装置およびこれに用いるリニアモータ |
JPH08140330A (ja) * | 1994-11-11 | 1996-05-31 | Y Ii Drive:Kk | 可動磁石形リニアモータ |
JPH09140118A (ja) * | 1995-09-12 | 1997-05-27 | Fanuc Ltd | リニアモータ駆動型の送り装置 |
JP2000312464A (ja) * | 1999-04-26 | 2000-11-07 | Okuma Corp | 複合リニアモータ |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4581553A (en) * | 1984-04-16 | 1986-04-08 | Helmut Moczala | Brushless DC motor, especially linear motor, having an increased force-to-velocity ratio |
US4712027A (en) * | 1986-03-21 | 1987-12-08 | International Business Machines Corporation | Radial pole linear reluctance motor |
US5140208A (en) * | 1991-04-25 | 1992-08-18 | Maglev Technology, Inc. | Self-adjusting magnetic guidance system for levitated vehicle guideway |
JPH05346120A (ja) * | 1991-11-29 | 1993-12-27 | Kyocera Corp | 静圧流体軸受の駆動構造 |
GB9419734D0 (en) * | 1994-09-30 | 1994-11-16 | Linear Drives Ltd | Linear motor for extended travel |
US5783877A (en) * | 1996-04-12 | 1998-07-21 | Anorad Corporation | Linear motor with improved cooling |
JP3679509B2 (ja) * | 1996-06-18 | 2005-08-03 | キヤノン株式会社 | 移動ステージ装置およびこれを用いた露光装置 |
JP3796608B2 (ja) * | 1997-04-11 | 2006-07-12 | 株式会社安川電機 | 可動磁石形リニアモータ |
JP2000116105A (ja) * | 1998-10-08 | 2000-04-21 | Matsushita Refrig Co Ltd | リニアモータ |
JPH1198811A (ja) * | 1997-09-24 | 1999-04-09 | Canon Inc | リニアモータ、これを用いたステージ装置や露光装置、ならびにデバイス製造方法 |
JP3643273B2 (ja) * | 1999-10-28 | 2005-04-27 | 株式会社ソディック | リニアモータのコイル装置およびその製造方法 |
JP4104810B2 (ja) * | 2000-06-02 | 2008-06-18 | 日本トムソン株式会社 | 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置 |
JP4094799B2 (ja) * | 2000-06-22 | 2008-06-04 | 日本トムソン株式会社 | 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置 |
JP2002064968A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Nippon Thompson Co Ltd | 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 |
JP4539045B2 (ja) * | 2003-07-16 | 2010-09-08 | 株式会社安川電機 | ムービングマグネット形リニアアクチュエータ |
-
2003
- 2003-12-19 JP JP2003422134A patent/JP2005184984A/ja active Pending
-
2004
- 2004-11-26 US US10/582,944 patent/US20070278863A1/en not_active Abandoned
- 2004-11-26 KR KR1020067010124A patent/KR20060090288A/ko active Search and Examination
- 2004-11-26 WO PCT/JP2004/017593 patent/WO2005062447A1/ja active Application Filing
- 2004-12-13 TW TW093138602A patent/TW200537786A/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06254734A (ja) * | 1993-03-02 | 1994-09-13 | Canon Inc | Xyステージ装置およびこれに用いるリニアモータ |
JPH08140330A (ja) * | 1994-11-11 | 1996-05-31 | Y Ii Drive:Kk | 可動磁石形リニアモータ |
JPH09140118A (ja) * | 1995-09-12 | 1997-05-27 | Fanuc Ltd | リニアモータ駆動型の送り装置 |
JP2000312464A (ja) * | 1999-04-26 | 2000-11-07 | Okuma Corp | 複合リニアモータ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190112153A (ko) | 2017-03-24 | 2019-10-02 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 리니어 모터 |
CN110476340A (zh) * | 2017-03-24 | 2019-11-19 | 日立金属株式会社 | 直线电动机 |
CN110476340B (zh) * | 2017-03-24 | 2021-07-06 | 日立金属株式会社 | 直线电动机 |
KR102339956B1 (ko) * | 2017-03-24 | 2021-12-16 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 리니어 모터 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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