JP2005181633A - 基板の現像処理方法,基板の処理方法及び現像液供給ノズル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウェハWのフォトリソグラフィー工程において,現像液に溶解性を有する反射防止膜Bを形成し,その後レジスト膜Rを形成する。露光処理後の現像処理の際に,現像液H1をウェハW上に供給し,レジスト膜Rを現像する。レジスト膜Rの現像が終了した時点で,ウェハW上に現像液H1よりも濃度が低い現像液H2を供給する。この現像液H2の供給によって反射防止膜Bのみを溶解させ,除去する。
【選択図】 図9
Description
30 現像処理装置
143 現像液供給ノズル
160 現像液貯留室
161 液体貯留室
164 混合室
167 攪拌棒
R レジスト膜
B 反射防止膜
H1,H2 現像液
W ウェハ
Claims (17)
- レジスト膜の下層に所定の下地膜が形成されている基板の現像処理において,
基板上に現像液を供給して基板上のレジスト膜を現像する工程と,
その後,基板上に所定の処理液を供給して,前記レジスト膜の現像によって露出した部分の下地膜を溶解する工程と,を有することを特徴とする,基板の現像処理方法。 - 前記下地膜には,前記現像液に対し溶解性を有するものが用いられ,
前記所定の処理液は,前記現像液よりも前記レジスト膜に対する溶解性の低い現像液であることを特徴とする,請求項1に記載の基板の現像処理方法。 - 前記所定の処理液は,前記レジスト膜の現像に用いられた前記現像液よりも少なくとも濃度又は温度のいずれか一方が低い現像液であることを特徴とする,請求項2に記載の基板の現像処理方法。
- 前記現像液による前記レジスト膜の現像が進行して当該レジスト膜の溶解が前記下地膜の表面まで到達したときに,前記基板上に所定の処理液が供給されて前記下地膜の溶解が開始されることを特徴とする,請求項1,2又は3のいずれかに記載の基板の現像処理方法。
- 前記基板上のレジスト膜を現像した後,当該基板上の現像液を除去し,その後,前記所定の処理液を基板上に供給することを特徴とする,請求項1,2,3又は4のいずれかに記載の基板の現像処理方法。
- 前記基板上への所定の処理液の供給は,基板の特定方向の寸法より長い領域に渡って形成された吐出口を有するノズルを用いて,前記ノズルから前記所定の処理液を吐出しながら,前記ノズルを基板上で移動させることによって行われることを特徴とする,請求項1,2,3,4又は5のいずれかに記載の基板の現像処理方法。
- 前記所定の処理液の供給と前記レジスト膜の現像時の現像液の供給は,同じノズルを用いて行われることを特徴とする,請求項6に記載の基板の現像処理方法。
- 前記下地膜は,露光処理時の光の反射を防止する反射防止膜であることを特徴とする,請求項1,2,3,4,5,6又は7のいずれかに記載の基板の現像処理方法。
- 基板処理におけるフォトリソグラフィー工程において,
基板上にレジスト膜を形成する前に,基板上に,現像処理時に用いられる現像液に溶解性を有しかつ露光処理時の光の反射を防止する反射防止膜を形成する工程と,
露光処理後の現像処理時に,基板上に現像液を供給して前記レジスト膜を現像し,その後,前記レジスト膜の現像時に用いられた現像液より少なくとも濃度又は温度のいずれか一方が低い現像液を基板上に供給して,前記レジスト膜の現像により露出した部分の反射防止膜を溶解する工程と,を有することを特徴とする,基板の処理方法。 - 基板に現像液を供給する現像液供給ノズルであって,
前記現像液供給ノズルの本体は,基板の特定方向の寸法と同程度又はそれ以上の長さを有する細長形状に形成され,
前記本体内には,現像液を貯留する現像液貯留室と,前記現像液と混合するための所定の液体を貯留する液体貯留室と,前記現像液貯留室と前記液体貯留室とに連通し,前記現像液貯留室から流入する現像液と前記液体貯留室から流入する前記液体とを混合する混合室と,が前記本体の長手方向に沿って形成され,
前記本体の下面には,前記混合室に連通し,前記混合室で混合された現像液を吐出する吐出口が前記長手方向に沿って開口し,
前記混合室内には,当該混合室内に流入した現像液と前記液体とを攪拌する攪拌棒が前記長手方向に沿って設けられ,
前記攪拌棒を,当該攪拌棒の軸周りに回転させる回転駆動部をさらに備えたことを特徴とする,現像液供給ノズル。 - 基板に現像液を供給する現像液供給ノズルであって,
前記現像液供給ノズルの本体は,基板の特定方向の寸法と同程度又はそれ以上の長さを有する細長形状に形成され,
前記本体内には,現像液を貯留する現像液貯留室と,前記現像液に混合するための所定の液体を貯留する液体貯留室と,前記現像液貯留室と前記液体貯留室とに連通し,前記現像液貯留室から流入する現像液と前記液体貯留室から流入する前記液体とを混合する混合室と,が前記本体の長手方向に沿って形成され,
前記本体の下面には,前記混合室に連通し,前記混合室で混合された現像液を吐出する吐出口が前記長手方向に沿って開口し,
前記混合室内には,当該混合室内に流入した現像液と前記液体とを攪拌する攪拌棒が前記長手方向に沿って設けられ,
前記現像液貯留室と前記液体貯留室から前記混合室内に流入する現像液と前記液体が,前記混合室内の攪拌棒の軸中心から外れた方向に向けて流れて前記攪拌棒に衝突するように,前記現像液貯留室から前記混合室に連通する流路と,前記液体貯留室から前記混合室に連通する流路が形成されていることを特徴とする,現像液供給ノズル。 - 前記攪拌棒は,スパイラル形状に形成されていることを特徴とする,請求項10又は11のいずれかに記載の現像液供給ノズル。
- 前記攪拌棒は,多孔質材で形成されていることを特徴とする,請求項10又は11のいずれかに記載の現像液供給ノズル。
- 前記混合室は,前記攪拌棒の軸に沿った方向から見て縦断面が円形状になるように形成されていることを特徴とする,請求項10,11,12又は13のいずれかに記載の現像液供給ノズル。
- 前記本体内における前記混合室から前記吐出口に向かう現像液の流路は,前記混合室の下流で一旦狭くなり,その後広くなるように形成されていることを特徴とする,請求項10,11,12,13又は14のいずれかに記載の現像液供給ノズル。
- 前記所定の液体は,純水であることを特徴とする,請求項10,11,12,13,14又は15のいずれかに記載の現像液供給ノズル。
- 前記所定の液体は,前記現像液貯留室に貯留される現像液よりも温度が低い現像液であることを特徴とする,請求項10,11,12,13,14又は15のいずれかに記載の現像液供給ノズル。
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