JP2005181314A - ダイを試験する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】減圧チャネル26を有する機械加工溝付き保持トレイを用いたダイ試験方法である。その方法では、ダイが保持トレイ内に保持された状態で、ダイに減圧吸引をかける。さらに、自動ビジョンシステムを用いて、保持トレイのポケット27内のダイの位置をマッピングする。個別ダイと試験プローブとを接触させて試験を実施するために、各個別ダイを試験プローブに相対させるよう、得られたマップを用いて保持トレイを操作する。
【選択図】図4
Description
Claims (8)
- ダイを試験する方法であって、
ダイ保持トレイ内に複数のダイを配置するステップと、
前記ダイ保持トレイを、撮像および試験装置の据付ステージに設置するステップと、
前記ダイ保持トレイ内のダイポケットの底部と減圧源との間を連通させるチャネルを通じて減圧を行うステップと、
前記ダイ保持トレイ内に保持されたダイの位置を、自動ビジョンシステムを用いてマッピングするステップと、
得られたマップを用いて前記据付ステージを試験プローブに対して移動させて、前記ダイ保持トレイ内の個別のダイに相当する位置に配置させるステップと、
前記据付ステージを前記試験プローブに対して傾けて、前記プローブを前記ダイのパッドに整列させるステップと、
前記パッドと前記試験プローブを接触させるステップと、
電気信号を送受信することによって、前記試験プローブで前記ダイを試験するステップと、を有する方法。 - 請求項1に記載の試験方法において、
試験プローブによる前記試験は、ダイを含む完成品の製造工程において初めて実施される個別ダイに対する試験プローブによる試験である、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の試験方法において、前記ダイ保持トレイは、
剛性のベース支持部材と、
前記ベース支持部材によって支持される実質的に平坦な上面であって、機械加工された横方向溝群と機械加工された縦方向溝群とを含み、前記各溝が前記トレイ内に保持されるダイの寸法にほぼ対応した間隔で設けられる、上面と、
一方の溝群を充填するサイズに形成され、前記一方の溝群内に配置されることで、ダイを収容するポケットを形成する複数のストリップであって、前記ポケットが、充填されていない機械加工溝部分によって構成される底部および側壁と、前記ストリップの側面部分によって構成される端壁とから成る、複数のストリップと、
前記ポケットの前記底部に連通し、前記トレイの保持性能を高めるよう前記ポケット内のダイを減圧吸引できるようにする、減圧チャネルと、
を有する方法。 - 請求項3に記載の試験方法において、
前記上面が弾性材料から成る、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の試験方法において、
前記ポケット底部内へ開口する部分における前記減圧チャネルのサイズは、ダイが前記ポケットのいずれかの側壁に接触して配置された時に各ダイが対応のポケットのチャネルを確実に覆う範囲内で、実質的に可能な限り大きいサイズである、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の試験方法において、
前記試験するステップは、全幅アレイに適したダイを試験することを含む、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の試験方法において、
前記保持トレイ内に配置された欠陥品ダイの位置をマッピングするステップ、
をさらに有する方法。 - ダイを試験する方法であって、
ダイ保持トレイ内に複数のダイを配置するステップと、
前記ダイ保持トレイを、撮像および試験装置の据付ステージに設置するステップと、
前記ダイ保持トレイ内のダイポケットの底部と減圧源との間を連通させるチャネルを通じて減圧を行うステップと、
前記ダイ保持トレイ内に保持されたダイの位置を、自動ビジョンシステムを用いてマッピングするステップと、
得られたマップを用いて前記据付ステージを試験プローブに対して移動させて、前記プローブを前記ダイのパッドに整列させるステップと、
前記パッドと前記試験プローブを接触させるステップと、
電気信号を送受信することによって、前記試験プローブで前記ダイを試験するステップと、を有する方法。
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