JP2005181150A - 屈折率分布・偏向角の測定装置、および測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】マハツェンダ干渉計を利用して、液晶素子のような偏光依存性のある素子を被検体として屈折率分布を測定する場合、被検体に入射させる光束の偏光方向を、被検体の光学軸方向に合わせないと、正しい測定ができない。光源に用いるレーザはそれ自身偏光性を有しているので、単に回転偏光子を挿入しても偏光方向の調整はできない。
【解決手段】レーザ1から出た偏光性を有する光束を、NDフィルタ2で光量調整し、ビームエキスパンダ5に入射させるが、その直前に偏光方向回転装置4を挿入しておく。偏光方向回転装置4は、例えば2分の1波長板を光束の進行方向に対し直交する面内で回動自在に配置したものである。2分の1波長板は、結晶によって定まる光学軸を有し、その光学軸が入射光束の偏光方向となす角の2倍の角度だけ、出射光束の偏光方向が回転するが、回転角度に依存する光量変動は生じない。
【選択図】 図1
【解決手段】レーザ1から出た偏光性を有する光束を、NDフィルタ2で光量調整し、ビームエキスパンダ5に入射させるが、その直前に偏光方向回転装置4を挿入しておく。偏光方向回転装置4は、例えば2分の1波長板を光束の進行方向に対し直交する面内で回動自在に配置したものである。2分の1波長板は、結晶によって定まる光学軸を有し、その光学軸が入射光束の偏光方向となす角の2倍の角度だけ、出射光束の偏光方向が回転するが、回転角度に依存する光量変動は生じない。
【選択図】 図1
Description
本発明は、偏光依存性を有する空間的位相変調素子の屈折率分布測定方法及び装置に関し、特に液晶位相偏向素子のように電気信号で制御可能な位相変調可能な素子の屈折率分布を有する被検体の測定に関する。
光学レンズなどの一般的な光学素子の屈折率分布は、マハツェンダ干渉計を用いることによって測定可能であることが知られている(例えば、特許文献1、2 参照。)。
走査光学系や光ピックアップ装置では、外乱や温度変動に対応するために光束の波面収差や偏向方向をアクティブに制御あるいは補正する空間的位相変調素子が使われ始めている。
空間的位相変調素子としては、液晶やホログラム素子やマイクロミラーなどがある。
液晶のような、偏光依存性を有する空間的位相変調素子の屈折率分布を高精度に測定するためには、素子に入射する可干渉光の偏光方向と、射出後の偏光方向を、適切に制御する必要がある。例えば、複屈折性を有する被検体に、偏光してない光束を入射させると、被検波が乱れて、正しい測定ができないおそれがある。
さらに、電気信号で制御可能な位相変調素子の特性を評価するためには、動的特性を得る必要があり、そのためには、高速にデータを取り込むことが望まれる。
走査光学系や光ピックアップ装置では、外乱や温度変動に対応するために光束の波面収差や偏向方向をアクティブに制御あるいは補正する空間的位相変調素子が使われ始めている。
空間的位相変調素子としては、液晶やホログラム素子やマイクロミラーなどがある。
液晶のような、偏光依存性を有する空間的位相変調素子の屈折率分布を高精度に測定するためには、素子に入射する可干渉光の偏光方向と、射出後の偏光方向を、適切に制御する必要がある。例えば、複屈折性を有する被検体に、偏光してない光束を入射させると、被検波が乱れて、正しい測定ができないおそれがある。
さらに、電気信号で制御可能な位相変調素子の特性を評価するためには、動的特性を得る必要があり、そのためには、高速にデータを取り込むことが望まれる。
特許文献2に示された装置は、空間的位相変調素子(以下単に素子という)の測定もできる構成になってはいるが、以下に示すような問題がある。
可干渉性の良好な光源としてレーザを用いると、出射される光束は特定の方向に偏光している。素子が偏光依存性を有する場合、素子に入射する可干渉光の偏光方向を変えようとして、素子に入射する前の光路に回転偏光子を挿入し、回転させたとする。偏光性を有さない光束を出射する光源であれば、回転偏光子の偏光方向に対応した偏光光束となり、回転角の違いによる光量変動は生じない筈であるが、レーザのような偏光光の場合、偏光方向は変化せず、透過光量のみが変化する。どうしても偏光方向を変える必要が有る場合は、レーザ自身を光軸まわりに回転させなければならない。
可干渉性の良好な光源としてレーザを用いると、出射される光束は特定の方向に偏光している。素子が偏光依存性を有する場合、素子に入射する可干渉光の偏光方向を変えようとして、素子に入射する前の光路に回転偏光子を挿入し、回転させたとする。偏光性を有さない光束を出射する光源であれば、回転偏光子の偏光方向に対応した偏光光束となり、回転角の違いによる光量変動は生じない筈であるが、レーザのような偏光光の場合、偏光方向は変化せず、透過光量のみが変化する。どうしても偏光方向を変える必要が有る場合は、レーザ自身を光軸まわりに回転させなければならない。
本発明は、偏光依存性のある素子を被検体として屈折率分布を測定するに当たって、光量変動を伴わずに、光束の偏光方向を任意に変えられる、簡単な装置を提供することである。
請求項1に記載の発明では、可干渉光を出射する光源と、該可干渉光を2光束に分割する光束分割素子と、被検体収容装置と、該2光束を再度合成する光束合成素子と、光束合成により生ずる干渉縞を検出する干渉縞検出素子とを有し、前記2光束のうちの一方は、前記被検体収容装置を透過するように構成されている測定装置において、前記光源と、前記光束分割素子との間に、偏光方向回転装置を設け、形成された干渉縞像から屈折率分布を測定することを特徴とする。
請求項2に記載の発明では、可干渉光を出射する光源と、該可干渉光を2光束に分割する光束分割素子と、被検体収容装置と、該2光束を再度合成する光束合成素子と、光束合成により生ずる干渉縞を検出する干渉縞検出素子とを有し、前記2光束のうちの一方は、前記被検体収容装置を透過するように構成されている測定装置において、前記光源と、前記光束分割素子との間に、偏光方向回転装置を設け、形成された干渉縞像から偏向角を測定することを特徴とする。
請求項3に記載の発明では、請求項1または2に記載の測定装置において、前記偏光方向回転装置は、該偏光方向回転装置を通過する光束の進行方向に直交する面内で機械的に回動可能に設けられた2分の1波長板を有することを特徴とする。
請求項2に記載の発明では、可干渉光を出射する光源と、該可干渉光を2光束に分割する光束分割素子と、被検体収容装置と、該2光束を再度合成する光束合成素子と、光束合成により生ずる干渉縞を検出する干渉縞検出素子とを有し、前記2光束のうちの一方は、前記被検体収容装置を透過するように構成されている測定装置において、前記光源と、前記光束分割素子との間に、偏光方向回転装置を設け、形成された干渉縞像から偏向角を測定することを特徴とする。
請求項3に記載の発明では、請求項1または2に記載の測定装置において、前記偏光方向回転装置は、該偏光方向回転装置を通過する光束の進行方向に直交する面内で機械的に回動可能に設けられた2分の1波長板を有することを特徴とする。
請求項4に記載の発明では、請求項1または2に記載の測定装置において、前記偏光方向回転装置は、該偏光方向回転装置を通過する光束の進行方向にほぼ直交する方向から、強度可変の磁界を与えられるファラデー素子を有することを特徴とする。
請求項5に記載の発明では、請求項1または2に記載の測定装置において、前記偏光方向回転装置は、該偏光方向回転装置を通過する光束の進行方向に直交する対向面から、電圧値可変の電圧を与えられる電気光学結晶を有することを特徴とする。
請求項6に記載の発明では、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の測定装置において、前記干渉縞検出素子はリニアイメージセンサであることを特徴とする。
請求項7に記載の発明では、請求項1ないし6のいずれか1つに記載の測定装置において、前記一方の光束が前記被検体収容装置を通過後、前記光束合成素子に入射する前に、光束の進行方向に対し垂直な平面内で回動可能に設けた出射側2分の1波長板と、該2分の1波長板を通過した光束を分岐する分岐素子と、前記2光束のうち他方の光束の偏光方向に偏光方向を合わせた検光子と、光束の光強度を検出する検出器とを備えたことを特徴とする。
請求項5に記載の発明では、請求項1または2に記載の測定装置において、前記偏光方向回転装置は、該偏光方向回転装置を通過する光束の進行方向に直交する対向面から、電圧値可変の電圧を与えられる電気光学結晶を有することを特徴とする。
請求項6に記載の発明では、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の測定装置において、前記干渉縞検出素子はリニアイメージセンサであることを特徴とする。
請求項7に記載の発明では、請求項1ないし6のいずれか1つに記載の測定装置において、前記一方の光束が前記被検体収容装置を通過後、前記光束合成素子に入射する前に、光束の進行方向に対し垂直な平面内で回動可能に設けた出射側2分の1波長板と、該2分の1波長板を通過した光束を分岐する分岐素子と、前記2光束のうち他方の光束の偏光方向に偏光方向を合わせた検光子と、光束の光強度を検出する検出器とを備えたことを特徴とする。
請求項8に記載の発明では、請求項7に記載の測定装置において、前記検光子を光束の進行方向に垂直な面内で回動可能な機構を有し、該機構は、前記偏光方向回転装置により定まる偏光面と、前記検光子の偏光面が一致するよう連動していることを特徴とする。
請求項9に記載の発明では、請求項1ないし8のいずれか1つに記載の測定装置において、前記一方の光束が前記被検体収容装置に入射する前に、入射側2分の1波長板を光束の進行方向に対し垂直な平面内で回動可能に設けたことを特徴とする。
請求項10に記載の発明では、請求項9に記載の測定装置を用い、前記被検体収容装置に、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体を収容し、前記偏光方向回転装置により光源からの光束の偏光方向を所定の方向に規制し、前記入射側2分の1波長板を透過した光束の偏光方向が前記被検体の光学軸方向に一致するよう前記入射側2分の1波長板を回動させる測定方法を特徴とする。
請求項11に記載の発明では、請求項1ないし7のいずれか1つに記載の測定装置を用い、前記被検体収容装置に、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体を収容し、該被検体の光学軸方向に一致するように前記偏光方向回転装置により前記被検体収容装置に入射させる光束の偏光方向を回転させる測定方法を特徴とする。
請求項12に記載の発明では、請求項10または11に記載の測定方法において、前記被検体は、電気信号で制御可能な位相変調素子であることを特徴とする。
請求項9に記載の発明では、請求項1ないし8のいずれか1つに記載の測定装置において、前記一方の光束が前記被検体収容装置に入射する前に、入射側2分の1波長板を光束の進行方向に対し垂直な平面内で回動可能に設けたことを特徴とする。
請求項10に記載の発明では、請求項9に記載の測定装置を用い、前記被検体収容装置に、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体を収容し、前記偏光方向回転装置により光源からの光束の偏光方向を所定の方向に規制し、前記入射側2分の1波長板を透過した光束の偏光方向が前記被検体の光学軸方向に一致するよう前記入射側2分の1波長板を回動させる測定方法を特徴とする。
請求項11に記載の発明では、請求項1ないし7のいずれか1つに記載の測定装置を用い、前記被検体収容装置に、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体を収容し、該被検体の光学軸方向に一致するように前記偏光方向回転装置により前記被検体収容装置に入射させる光束の偏光方向を回転させる測定方法を特徴とする。
請求項12に記載の発明では、請求項10または11に記載の測定方法において、前記被検体は、電気信号で制御可能な位相変調素子であることを特徴とする。
請求項13に記載の発明では、請求項12に記載の測定方法において、前記電気信号で制御可能な位相変調素子は液晶偏向素子であることを特徴とする。
請求項14に記載の発明では、請求項10ないし13のいずれか1つに記載の測定方法において、前記被検体収容装置には、前記被検体とともに該被検体と屈折率がほぼ等しいマッチング液を収容する測定方法を特徴とする。
請求項15に記載の発明では、同一光源からの可干渉光の入射直線偏光が、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体の光学軸に対して、平行になるように入射させ、参照波と被検波との重畳による干渉縞像を形成し、形成された干渉縞像から屈折率分布を測定する測定方法を特徴とする。
請求項16に記載の発明では、同一光源からの可干渉光の入射直線偏光が、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体の光学軸に対して、平行になるように入射させ、参照波と被検波との重畳による干渉縞像を形成し、形成された干渉縞像から屈折角を測定する測定方法を特徴とする。
請求項17に記載の発明では、請求項15または16に記載の測定方法において、前記空間的位相変調素子は電気信号で制御可能な位相変調素子であることを特徴とする。
請求項18に記載の発明では、請求項17に記載の測定方法において、前記電気信号で制御可能な位相変調素子は液晶偏向素子であることを特徴とする。
請求項14に記載の発明では、請求項10ないし13のいずれか1つに記載の測定方法において、前記被検体収容装置には、前記被検体とともに該被検体と屈折率がほぼ等しいマッチング液を収容する測定方法を特徴とする。
請求項15に記載の発明では、同一光源からの可干渉光の入射直線偏光が、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体の光学軸に対して、平行になるように入射させ、参照波と被検波との重畳による干渉縞像を形成し、形成された干渉縞像から屈折率分布を測定する測定方法を特徴とする。
請求項16に記載の発明では、同一光源からの可干渉光の入射直線偏光が、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体の光学軸に対して、平行になるように入射させ、参照波と被検波との重畳による干渉縞像を形成し、形成された干渉縞像から屈折角を測定する測定方法を特徴とする。
請求項17に記載の発明では、請求項15または16に記載の測定方法において、前記空間的位相変調素子は電気信号で制御可能な位相変調素子であることを特徴とする。
請求項18に記載の発明では、請求項17に記載の測定方法において、前記電気信号で制御可能な位相変調素子は液晶偏向素子であることを特徴とする。
請求項19に記載の発明では、請求項15ないし18に記載の測定方法において、前記被検体は、該被検体と屈折率がほぼ等しいマッチング液浸した状態で測定されることを特徴とする。
請求項20に記載の発明では、請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記入射直線偏光を被検体の光学軸に対して平行になるよう入射させる方法は、光束の進行方向に直交する面内で機械的に回動可能に設けられた2分の1波長板によるものであることを特徴とする。
請求項21に記載の発明では、請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記入射直線偏光を被検体の光学軸に対して平行になるよう入射させる方法は、光束の進行方向にほぼ直交する方向から、強度可変の磁界を与えられるファラデー素子によるものであることを特徴とする。
請求項22に記載の発明では、請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記入射直線偏光を被検体の光学軸に対して平行になるよう入射させる方法は、光束の進行方向に直交する対向面から、電圧値可変の電圧を与えられる電気光学結晶によるものであることを特徴とする。
請求項23に記載の発明では、請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記被検波の光路中に2分の1波長板が挿入されていることを特徴とする。
請求項24に記載の発明では、請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記干渉縞像はリニアイメージセンサを用いて検出することを特徴とする。
請求項20に記載の発明では、請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記入射直線偏光を被検体の光学軸に対して平行になるよう入射させる方法は、光束の進行方向に直交する面内で機械的に回動可能に設けられた2分の1波長板によるものであることを特徴とする。
請求項21に記載の発明では、請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記入射直線偏光を被検体の光学軸に対して平行になるよう入射させる方法は、光束の進行方向にほぼ直交する方向から、強度可変の磁界を与えられるファラデー素子によるものであることを特徴とする。
請求項22に記載の発明では、請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記入射直線偏光を被検体の光学軸に対して平行になるよう入射させる方法は、光束の進行方向に直交する対向面から、電圧値可変の電圧を与えられる電気光学結晶によるものであることを特徴とする。
請求項23に記載の発明では、請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記被検波の光路中に2分の1波長板が挿入されていることを特徴とする。
請求項24に記載の発明では、請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記干渉縞像はリニアイメージセンサを用いて検出することを特徴とする。
本発明によれば、偏光依存性を有する被検体の測定において、被検体に入射する光束の偏光方向を任意に調整しても光量変動の生じない測定装置が得られる。
本発明の構成を説明する前に、本発明で取り扱う偏光依存性を有する被検体としての、「液晶偏向素子」の構成、および動作を図11ないし図13を用いて説明する。
図11は液晶偏向素子の動作原理を説明するための図である。同図(a)は平面図、(b)は模式的側断面図、(c)は屈折率分布図をそれぞれ示す。
同図において符号100は液晶偏向素子、101は液晶層、102ガラス基板、103は帯状透明電極、104は前面透明電極、105は配向膜、106は均一な電気抵抗膜、107はスペーサをそれぞれ示す。
液晶偏向素子は、電気的な信号で駆動されるものと、磁気的な信号で駆動されるものとが知られているが、以下では、電気的な信号で駆動されるものを例にとって説明する。
電気的な信号による駆動で光束を偏向させる液晶偏向素子は、大別すると、電気信号により屈折率を変化させるものと、電気信号により回折作用を起こさせるものとの2種に分けられる。
まず、屈折率の変化を利用する液晶偏向素子100につき説明すると、この種のものは、例えば、特開昭63−240533号公報に記載されている。
図11は液晶偏向素子の動作原理を説明するための図である。同図(a)は平面図、(b)は模式的側断面図、(c)は屈折率分布図をそれぞれ示す。
同図において符号100は液晶偏向素子、101は液晶層、102ガラス基板、103は帯状透明電極、104は前面透明電極、105は配向膜、106は均一な電気抵抗膜、107はスペーサをそれぞれ示す。
液晶偏向素子は、電気的な信号で駆動されるものと、磁気的な信号で駆動されるものとが知られているが、以下では、電気的な信号で駆動されるものを例にとって説明する。
電気的な信号による駆動で光束を偏向させる液晶偏向素子は、大別すると、電気信号により屈折率を変化させるものと、電気信号により回折作用を起こさせるものとの2種に分けられる。
まず、屈折率の変化を利用する液晶偏向素子100につき説明すると、この種のものは、例えば、特開昭63−240533号公報に記載されている。
同図(b)において、液晶101は誘電異方性が正のネマチック液晶で、スペーサ107により所定間隙に保たれた1対の透明配向膜105A、105B間に薄層状に密封されている。符号101Aで示す液晶分子は分子軸方向に長い形状である。配向膜105Aは、液晶分子101Aの分子軸が配向膜表面に対して直交方向となるように配向処理され、配向膜105Bは、液晶分子101Aの分子軸が配向膜表面に対して平行方向となるように配向処理されている。
配向膜105Aの外側にはZnO等による透明な電気抵抗膜106が形成されている。透明な電気抵抗膜106、配向膜105A、105Bおよび液晶101は、1対の透明なガラス基板102A、102Bにより挟持されている。ガラス基板102Bの配向膜105B側の面にはITO等による透明な電極膜104が一面に形成されている。
一方、ガラス基板102Aの配向膜105A側の面には、同図(a)に示すようなパターンの電極103A、103Bが形成され、これら電極103A、103Bは同図(b)に示す如く、電気抵抗膜106に接している。
配向膜105Aの外側にはZnO等による透明な電気抵抗膜106が形成されている。透明な電気抵抗膜106、配向膜105A、105Bおよび液晶101は、1対の透明なガラス基板102A、102Bにより挟持されている。ガラス基板102Bの配向膜105B側の面にはITO等による透明な電極膜104が一面に形成されている。
一方、ガラス基板102Aの配向膜105A側の面には、同図(a)に示すようなパターンの電極103A、103Bが形成され、これら電極103A、103Bは同図(b)に示す如く、電気抵抗膜106に接している。
電極103A、103Bは、これらが光束の透過領域にかかる場合にはITO等により透明電極として形成されるが、電極103A、103Bが光束の透過領域にかからなければ、すなわち、電極103A、103Bが光束を遮らなければ、金属薄膜等により不透明な電極として形成することもできる。同図の例では、電極103A、103Bは透明電極として形成されている。
同図(b)の状態において、電極膜104と電極103Bを接地し、同図(a)に示す電極103A、103Bの端子103A’、103B’間に電圧:Vを印加すると、電気抵抗膜106の電位は、電極103Aの側から電極103Bの側へ直線的に低下し、いわゆる電位勾配を形成する。このため、電気抵抗膜106と透明な電極膜104との間には、同図(b)の上方から下方へ向かって直線的に減少する電界(向きは図の左右方向を向いている)が作用する。
この電界は液晶101に作用し、液晶分子101Aをその分子軸が電界に平行になるように回転させる。液晶分子101Aの回転角は電界の強さに直線的に比例するので、上記電界が作用すると、電極103Aの側では液晶分子101Aの分子軸は電界の方向、同図(b)における左右方向、により近くなるが、電極103Bの側では電界が実質的に0であるので、液晶分子101Aの分子軸は殆ど電極膜104に平行のままである。
同図(b)の状態において、電極膜104と電極103Bを接地し、同図(a)に示す電極103A、103Bの端子103A’、103B’間に電圧:Vを印加すると、電気抵抗膜106の電位は、電極103Aの側から電極103Bの側へ直線的に低下し、いわゆる電位勾配を形成する。このため、電気抵抗膜106と透明な電極膜104との間には、同図(b)の上方から下方へ向かって直線的に減少する電界(向きは図の左右方向を向いている)が作用する。
この電界は液晶101に作用し、液晶分子101Aをその分子軸が電界に平行になるように回転させる。液晶分子101Aの回転角は電界の強さに直線的に比例するので、上記電界が作用すると、電極103Aの側では液晶分子101Aの分子軸は電界の方向、同図(b)における左右方向、により近くなるが、電極103Bの側では電界が実質的に0であるので、液晶分子101Aの分子軸は殆ど電極膜104に平行のままである。
液晶分子101Aの誘電率は、分子軸に平行な方向において大きく、分子軸に直交する方向において小さい。このため、屈折率は分子軸に平行な方向においてより大きくなる。上記電界の作用により、上述の如き液晶分子101Aの分子軸の向きの分布が生じると、液晶101における屈折率は、分子軸が電界に略平行となる電極103Aの側で高く、電極103Bの側では低くなり、同図(c)に示すように電極103Aの側から電極103Bの側へ直線的に減少する。
したがって、このような屈折率分布が生じている液晶偏向素子に、同図(b)の右側から光束を入射させて液晶偏向素子を透過させると、透過光束は屈折率分布の作用により、屈折率の高い側、すなわち、同図(b)における上方へ、偏向される。
接地する電極を電極103Bから103Aに変えて、端子103A’、103B’間に印加する電圧の向きを上記と逆にすれば、同図の場合と逆に、電極103Bの側から電極103Aの側へ向って減少する屈折率分布が得られ、透過光束を同図の下方へ偏向させることができる。
したがって、このような屈折率分布が生じている液晶偏向素子に、同図(b)の右側から光束を入射させて液晶偏向素子を透過させると、透過光束は屈折率分布の作用により、屈折率の高い側、すなわち、同図(b)における上方へ、偏向される。
接地する電極を電極103Bから103Aに変えて、端子103A’、103B’間に印加する電圧の向きを上記と逆にすれば、同図の場合と逆に、電極103Bの側から電極103Aの側へ向って減少する屈折率分布が得られ、透過光束を同図の下方へ偏向させることができる。
以上が、屈折率変化を利用した液晶偏向素子による光束偏向の原理である。
偏向の程度である偏向量、すなわち偏向角は、液晶偏向素子に固有の値で飽和し、飽和するとそれより大きな偏向角は生じない。液晶偏向素子を駆動する電気信号としては直流電圧を用いても良いが、液晶偏向素子の寿命の面から考えると、電気信号は、パルス状または正弦波状に変調された信号で、平均電圧が0V近傍であるものが好ましい。
偏向角を変化させるには、端子A、B間の電位差:Vの増減によって行うこともできるが、上記パルス信号を駆動信号とする場合は、パルスのデュ−ティ比を変えることによっても行うことができる。
偏向の程度である偏向量、すなわち偏向角は、液晶偏向素子に固有の値で飽和し、飽和するとそれより大きな偏向角は生じない。液晶偏向素子を駆動する電気信号としては直流電圧を用いても良いが、液晶偏向素子の寿命の面から考えると、電気信号は、パルス状または正弦波状に変調された信号で、平均電圧が0V近傍であるものが好ましい。
偏向角を変化させるには、端子A、B間の電位差:Vの増減によって行うこともできるが、上記パルス信号を駆動信号とする場合は、パルスのデュ−ティ比を変えることによっても行うことができる。
図12は本発明を適用しうる液晶偏向素子の他の例を示す図である。同図(a)は電極は位置を示す平面図、同図(b)は模式的側断面図、同図(c)は屈折率分布図である。
繁雑を避けるため、混同の虞がないと思われるものについては図11におけると同一の符号を用いた。この素子は図11の素子の変形例であり、図11の素子との差異は、ガラス基板102Aの側において、透明な電気抵抗膜を3つの部分106A、106B、106Cに分割し、透明電極を同図(a)の如くにパターニングし、電気抵抗膜106Aに透明電極103A1と103B1が対応し、電気抵抗膜106Bに透明電極103A2と103B2が対応し、電気抵抗膜106Cに透明電極103A3と103B3が対応するようにした点にある。
端子103A’、103B’間に駆動信号を印加すると、同図(c)の如き屈折率分布が得られる。この場合、端子103A’、103B’間に印加する電圧:Vに対する電界の変化率が大きくなるので、図11の素子に比してより大きな屈折率勾配が得られ、より大きな偏向角(偏向量)を得ることができる。
同図に示すタイプの液晶偏向素子の場合、電気抵抗膜とこれに組合せられる対の電極、例えば、電気抵抗膜106Aと電極103A1、103A2、の組合せの数(上の例では3)が大きくなるに従い、偏向角を大きくできる反面、光束の透過領域における上記組合せの周期構造の周期が小さくなり、回折光を生じるようになる。
繁雑を避けるため、混同の虞がないと思われるものについては図11におけると同一の符号を用いた。この素子は図11の素子の変形例であり、図11の素子との差異は、ガラス基板102Aの側において、透明な電気抵抗膜を3つの部分106A、106B、106Cに分割し、透明電極を同図(a)の如くにパターニングし、電気抵抗膜106Aに透明電極103A1と103B1が対応し、電気抵抗膜106Bに透明電極103A2と103B2が対応し、電気抵抗膜106Cに透明電極103A3と103B3が対応するようにした点にある。
端子103A’、103B’間に駆動信号を印加すると、同図(c)の如き屈折率分布が得られる。この場合、端子103A’、103B’間に印加する電圧:Vに対する電界の変化率が大きくなるので、図11の素子に比してより大きな屈折率勾配が得られ、より大きな偏向角(偏向量)を得ることができる。
同図に示すタイプの液晶偏向素子の場合、電気抵抗膜とこれに組合せられる対の電極、例えば、電気抵抗膜106Aと電極103A1、103A2、の組合せの数(上の例では3)が大きくなるに従い、偏向角を大きくできる反面、光束の透過領域における上記組合せの周期構造の周期が小さくなり、回折光を生じるようになる。
図13は液晶偏向素子のさらに他の例を示す図である。同図(a)は模式的側断面図、同図(b)は屈折率分布図である。
この液晶偏向素子は電気信号により回折作用を起こさせるものである。この型の液晶偏向素子は、例えば特開平8−313941号公報に詳しく記載されている。
同図においても繁雑を避けるため、混同の虞がないと思われるものについては、図11におけると同一の符号を用いた。
図13(a)において、液晶101は例えば、液晶分子101Aの分子軸方向の誘電率が、分子軸に直交する方向の誘電率よりも小さい、誘電異方性が負のネマチック液晶で、スペーサ107により所定間隙に保たれた1対の透明配向膜105A、105Bの間に薄層状に密封されている。
配向膜105A、105Bは、透明電極103を有するガラス基板102Aと、透明電極104を有するガラス基板102Bとにより挟持されている。透明電極103、104はITO等で薄膜状に形成され、それぞれガラス基板102A、102Bの面に所定の形状(例えば矩形形状)で一様に形成されている。
この液晶偏向素子は電気信号により回折作用を起こさせるものである。この型の液晶偏向素子は、例えば特開平8−313941号公報に詳しく記載されている。
同図においても繁雑を避けるため、混同の虞がないと思われるものについては、図11におけると同一の符号を用いた。
図13(a)において、液晶101は例えば、液晶分子101Aの分子軸方向の誘電率が、分子軸に直交する方向の誘電率よりも小さい、誘電異方性が負のネマチック液晶で、スペーサ107により所定間隙に保たれた1対の透明配向膜105A、105Bの間に薄層状に密封されている。
配向膜105A、105Bは、透明電極103を有するガラス基板102Aと、透明電極104を有するガラス基板102Bとにより挟持されている。透明電極103、104はITO等で薄膜状に形成され、それぞれガラス基板102A、102Bの面に所定の形状(例えば矩形形状)で一様に形成されている。
配向膜105A、105Bは、液晶分子101Aの分子軸方向が図面に直交する方向となるように、液晶101に対する配向を行う。
このような状況で、透明電極103、104間に直流もしくは300Hz程度以下の低周波の電圧を印加すると、液晶101内に、図の上下方向(前記「配向方向」と直交する方向)を格子配列方向とする回折格子パターンが形成される。同図(b)は、このように形成された回折格子パターンにおける屈折率分布である。
この状態で光束を液晶偏向素子に入射させると、透過光は上記回折格子パターンにより、同図(a)の上下方向に回折光を生じる。上記低周波の電圧の電圧値を変化させると、形成される回折格子パターンの格子ピッチが変化し、回折角が変化する。
このような状況で、透明電極103、104間に直流もしくは300Hz程度以下の低周波の電圧を印加すると、液晶101内に、図の上下方向(前記「配向方向」と直交する方向)を格子配列方向とする回折格子パターンが形成される。同図(b)は、このように形成された回折格子パターンにおける屈折率分布である。
この状態で光束を液晶偏向素子に入射させると、透過光は上記回折格子パターンにより、同図(a)の上下方向に回折光を生じる。上記低周波の電圧の電圧値を変化させると、形成される回折格子パターンの格子ピッチが変化し、回折角が変化する。
従って、例えば回折の1次光に着目すれば、1次光の偏向角を調整することにより、光束を所定方向、同図の例では上下方向、に所望の偏向角で偏向させることができる。
また、同図の液晶偏向素子の透明電極103、104間に印加する電圧を高周波電圧にすると、液晶101に、配向方向に直交する方向の回折格子パターンが現れ、同図(a)において紙面に直交する方向の回折光を得ることができる。この場合は、液晶に印加する高周波電圧の包絡電圧を増減させることにより、回折角を変化させることができる。
以上、従来から知られた電気信号により光束を偏向させるタイプの液晶偏向素子につき簡単に説明した。
液晶偏向素子としては、上記した電気信号により駆動するものに限らず、上には説明しなかったが、磁気信号により駆動するものも含まれる。
本発明では、光路偏向手段の一つとして用いる、これら公知の液晶偏向素子の屈折率分布や、偏向角を測定するための装置、および方法を提供するものである。
また、同図の液晶偏向素子の透明電極103、104間に印加する電圧を高周波電圧にすると、液晶101に、配向方向に直交する方向の回折格子パターンが現れ、同図(a)において紙面に直交する方向の回折光を得ることができる。この場合は、液晶に印加する高周波電圧の包絡電圧を増減させることにより、回折角を変化させることができる。
以上、従来から知られた電気信号により光束を偏向させるタイプの液晶偏向素子につき簡単に説明した。
液晶偏向素子としては、上記した電気信号により駆動するものに限らず、上には説明しなかったが、磁気信号により駆動するものも含まれる。
本発明では、光路偏向手段の一つとして用いる、これら公知の液晶偏向素子の屈折率分布や、偏向角を測定するための装置、および方法を提供するものである。
図1は本発明の実施形態を説明するための図である。
同図において符号1は光源としてのレーザ、2はNDフィルタ、3は第1の偏向器、4は偏光方向回転装置、5はビームエキスパンダ、6は空間フィルタ、7は第1の光束分割素子としてのビームスプリッタ、8は被検体収容装置、9は第2の偏向器、10は第1の光束合成素子としてのビームスプリッタ、11は第2の光束合成素子としてのビームスプリッタ、15は第3の偏向器、16は結像レンズ、17は拡散板、18はズームレンズ、19は第2の光束分割素子としてのビームスプリッタ、20、21は結像レンズ、22は1次元センサ、23は2次元センサ、26はハロゲンランプ、27はスケール、28は第4の偏向器、Eは被検体の制御装置、Oは被検体をそれぞれ示す。
本実施形態はマハツェンダ干渉計を基本にしている。例えば、波長633nmのHe−Neレーザー1からの光束は、NDフィルター2、偏光方向が回転可能な偏光方向回転装置を通過して光量と偏光方向を適正に調整し、ビームエキスパンダ5で必要な大きさに拡大される。空間フィルタ6はフレア光、ゴースト光といった不要な光をカットする。次に、ビームスプリッタ7によって、直角に曲げられた参照波と、直進して位相物体である被検体Oを収容した被検体収容装置8を通過する被検波とに分割される。これらは、ビームスプリッタ11で重畳され干渉を起こす。これを被検体Oと拡散板17とを幾何光学的に共役関係になるように配置した結像レンズ16で干渉縞像を一旦拡散板17等に投影してインコヒーレント光とし、拡散板17以降にあるレンズ系やセンサ前面の保護ガラスでの多重反射による干渉縞ノイズを低減している。拡散板17に生じた干渉縞は、例えば、CCDのような、x方向に配列されたデータ取り込み用の1次元センサ22と2次元センサ23で検出される。拡散板17の位置とセンサ面とは、ズームレンズ18とレンズ20又は21によって共役関係となっている。2次元センサは、測定用途の他に、アライメント用のモニターとしても使用する。センサ上の干渉縞像の大きさは、ズームレンズによって可変となる。実際の大きさを確認するためのスケール27をスクリーン上に投影するためにハロゲンランプ26を用いている。
同図において符号1は光源としてのレーザ、2はNDフィルタ、3は第1の偏向器、4は偏光方向回転装置、5はビームエキスパンダ、6は空間フィルタ、7は第1の光束分割素子としてのビームスプリッタ、8は被検体収容装置、9は第2の偏向器、10は第1の光束合成素子としてのビームスプリッタ、11は第2の光束合成素子としてのビームスプリッタ、15は第3の偏向器、16は結像レンズ、17は拡散板、18はズームレンズ、19は第2の光束分割素子としてのビームスプリッタ、20、21は結像レンズ、22は1次元センサ、23は2次元センサ、26はハロゲンランプ、27はスケール、28は第4の偏向器、Eは被検体の制御装置、Oは被検体をそれぞれ示す。
本実施形態はマハツェンダ干渉計を基本にしている。例えば、波長633nmのHe−Neレーザー1からの光束は、NDフィルター2、偏光方向が回転可能な偏光方向回転装置を通過して光量と偏光方向を適正に調整し、ビームエキスパンダ5で必要な大きさに拡大される。空間フィルタ6はフレア光、ゴースト光といった不要な光をカットする。次に、ビームスプリッタ7によって、直角に曲げられた参照波と、直進して位相物体である被検体Oを収容した被検体収容装置8を通過する被検波とに分割される。これらは、ビームスプリッタ11で重畳され干渉を起こす。これを被検体Oと拡散板17とを幾何光学的に共役関係になるように配置した結像レンズ16で干渉縞像を一旦拡散板17等に投影してインコヒーレント光とし、拡散板17以降にあるレンズ系やセンサ前面の保護ガラスでの多重反射による干渉縞ノイズを低減している。拡散板17に生じた干渉縞は、例えば、CCDのような、x方向に配列されたデータ取り込み用の1次元センサ22と2次元センサ23で検出される。拡散板17の位置とセンサ面とは、ズームレンズ18とレンズ20又は21によって共役関係となっている。2次元センサは、測定用途の他に、アライメント用のモニターとしても使用する。センサ上の干渉縞像の大きさは、ズームレンズによって可変となる。実際の大きさを確認するためのスケール27をスクリーン上に投影するためにハロゲンランプ26を用いている。
ここで、本実施形態が従来技術と特に異なる点である、偏光方向回転装置4について説明する。
光量の変動を伴わずに偏光方向を変える方法として以下の3つが知られている。
1.2分の1波長板方式
2.ファラデー素子方式
3.電気光学結晶方式
これらを順に説明する。
図2は2分の1波長板の動作を説明するための図である。
同図において符号31は2分の1波長板、COは光学軸をそれぞれ示す。
2分の1波長板31(以下単に波長板と呼ぶ)は面内に1つの光学軸COを持つ結晶である。直線偏光化された光線が波長板に入射するとき、光線の電界ベクトルの振動方向が波長板の光学軸COとなす角の内、鋭角の方をθとすると、出射光線の電界ベクトルの振動方向は、光学軸COに関して入射光線のベクトルと対称な角度になる。出射光線の偏光面が入射光線の偏光面となす角、すなわち偏光面の回転角ρは、ρ=2θとなる。
したがって、偏光方向回転装置4は2分の1波長板31を、光束の進行方向に対して垂直な面内で、機械的に任意の角度回動可能に構成すればよい。
光量の変動を伴わずに偏光方向を変える方法として以下の3つが知られている。
1.2分の1波長板方式
2.ファラデー素子方式
3.電気光学結晶方式
これらを順に説明する。
図2は2分の1波長板の動作を説明するための図である。
同図において符号31は2分の1波長板、COは光学軸をそれぞれ示す。
2分の1波長板31(以下単に波長板と呼ぶ)は面内に1つの光学軸COを持つ結晶である。直線偏光化された光線が波長板に入射するとき、光線の電界ベクトルの振動方向が波長板の光学軸COとなす角の内、鋭角の方をθとすると、出射光線の電界ベクトルの振動方向は、光学軸COに関して入射光線のベクトルと対称な角度になる。出射光線の偏光面が入射光線の偏光面となす角、すなわち偏光面の回転角ρは、ρ=2θとなる。
したがって、偏光方向回転装置4は2分の1波長板31を、光束の進行方向に対して垂直な面内で、機械的に任意の角度回動可能に構成すればよい。
図3はファラデー素子の動作を説明するための図である。
同図において符号32はファラデー素子、Hは磁界の強さをそれぞれ示す。
ファラデー素子32は磁界H中に置かれると、入射した直線偏光の光線の偏光面が回転されて出射する。回転角の大きさρは、ファラデー素子32の光の進行方向に見た長さl、および磁界の強さHに比例し、磁界が光の進行方向となす角度θの余弦に比例する。
これを式で表すと、Rを比例定数として、
ρ=RHlcosθ
となる。θが90°のときcosθは最大になるので、磁界をかける角度はなるべく90°に近づけた方がよい。
したがって、偏光方向回転装置4は、なるべく長めのファラデー素子32を用い、強度可変の磁界発生装置を設けて、光の進行方向にほぼ直交する方向からファラデー素子32に磁界をかけるよう構成すればよい。
同図において符号32はファラデー素子、Hは磁界の強さをそれぞれ示す。
ファラデー素子32は磁界H中に置かれると、入射した直線偏光の光線の偏光面が回転されて出射する。回転角の大きさρは、ファラデー素子32の光の進行方向に見た長さl、および磁界の強さHに比例し、磁界が光の進行方向となす角度θの余弦に比例する。
これを式で表すと、Rを比例定数として、
ρ=RHlcosθ
となる。θが90°のときcosθは最大になるので、磁界をかける角度はなるべく90°に近づけた方がよい。
したがって、偏光方向回転装置4は、なるべく長めのファラデー素子32を用い、強度可変の磁界発生装置を設けて、光の進行方向にほぼ直交する方向からファラデー素子32に磁界をかけるよう構成すればよい。
図4は電気光学結晶の動作を説明するための図である。
同図において符号33は電気光学結晶を示す。
電気光学結晶33は光の進行方向に直交する方向から電界を受けると、偏光面が回転して出射する性質がある。同図において電気光学結晶33の上下の面全体に電極を設け、直流電圧Vを印加した場合、回転角の大きさρは、電気光学結晶33の光の進行方向に見た長さl、および電界の強さEに比例する。電界の強さEは、電極間の距離dとするとE=V/dとなる。これらを纏めて式で表すと、Kを比例定数として、
ρ=KVl/d
となる。
したがって、偏光方向回転装置4は、1組の対向面に電極を設けたなるべく長めの電気光学結晶33を用い、可変電圧装置を設けて、光の進行方向に直交する方向から両電極に電圧をかけるよう構成すればよい。
同図において符号33は電気光学結晶を示す。
電気光学結晶33は光の進行方向に直交する方向から電界を受けると、偏光面が回転して出射する性質がある。同図において電気光学結晶33の上下の面全体に電極を設け、直流電圧Vを印加した場合、回転角の大きさρは、電気光学結晶33の光の進行方向に見た長さl、および電界の強さEに比例する。電界の強さEは、電極間の距離dとするとE=V/dとなる。これらを纏めて式で表すと、Kを比例定数として、
ρ=KVl/d
となる。
したがって、偏光方向回転装置4は、1組の対向面に電極を設けたなるべく長めの電気光学結晶33を用い、可変電圧装置を設けて、光の進行方向に直交する方向から両電極に電圧をかけるよう構成すればよい。
測定結果の、実寸との対応を取るため、大きさが既知のスケール27をビームスプリッタ10の別光路に設置し、背後からハロゲンランプ26を照射することで、キャリブレーションを可能としている。
干渉縞解析方法としては、光路差をπ/2間隔でステップ状に駆動し、4回又は5回程度干渉縞を取り込んで解析する位相シフト法を用いる。これに限らず、フリンジスキャニング法や測定が1回で済むフーリエ変換法などの縞解析方法を使用しても良い。
干渉縞解析方法としては、光路差をπ/2間隔でステップ状に駆動し、4回又は5回程度干渉縞を取り込んで解析する位相シフト法を用いる。これに限らず、フリンジスキャニング法や測定が1回で済むフーリエ変換法などの縞解析方法を使用しても良い。
図5は光路差を変化させる装置を説明するための概略図である。
同図において符号12はスプリッタホルダ、13はピエゾ素子を含むステージ、14はスプリッタベースをそれぞれ示す。
ビームスプリッタ11はスプリッタホルダ12に保持され、ステージ13を介してスプリッタベース14に取り付けられている。図示しないピエゾ素子に所定の電圧をかけることによって、ステージ13の上面がスプリッタベース14に対し相対的に直進移動し、ビームスプリッタ11を、例えば矢印Aの方向に、微少量移動させることができる。これによって、被検体Oを通った光束(被検波という)と、被検体Oを通らなかった光束(参照波という)との合成位置を、被検波の進行方向に光の波長レベルで変化させることができる。合成位置の変化は、被検波と参照波との相対的なずれによって得られるので、ビームスプリッタ11の移動方向は、矢印Aの方向に限らず、矢印Bの方向に設定しても構わない。そのためには、ピエゾ素子の電極構成をそれに応じて変えておけばよい。同じ意味でこのような光路差可変装置をビームスプリッタ11の代わりにビームスプリッタ7に設けても良い。
同図において符号12はスプリッタホルダ、13はピエゾ素子を含むステージ、14はスプリッタベースをそれぞれ示す。
ビームスプリッタ11はスプリッタホルダ12に保持され、ステージ13を介してスプリッタベース14に取り付けられている。図示しないピエゾ素子に所定の電圧をかけることによって、ステージ13の上面がスプリッタベース14に対し相対的に直進移動し、ビームスプリッタ11を、例えば矢印Aの方向に、微少量移動させることができる。これによって、被検体Oを通った光束(被検波という)と、被検体Oを通らなかった光束(参照波という)との合成位置を、被検波の進行方向に光の波長レベルで変化させることができる。合成位置の変化は、被検波と参照波との相対的なずれによって得られるので、ビームスプリッタ11の移動方向は、矢印Aの方向に限らず、矢印Bの方向に設定しても構わない。そのためには、ピエゾ素子の電極構成をそれに応じて変えておけばよい。同じ意味でこのような光路差可変装置をビームスプリッタ11の代わりにビームスプリッタ7に設けても良い。
次に、測定の手順について説明する。
あらかじめ被検体Oの光軸方向肉厚d(x)を計算しておく。厚さが一定の試料で有れば、d(x)=d(一定)と見なすことができる。被検体Oに光束を透過して干渉縞検出器としての1次元センサ上に干渉縞像を結像させる。センサとして例えばリニアCCDを用い、その出力から位相シフト法などの縞解析方法を用いて、透過波面WF(x)(単位:λ)を計測する。λは、光源の波長である。そして、リニアCCDの任意の位置をx=0として、相対的な基準としての透過波面WF(0)を求め、次式によりΔn(x)を算出する。
Δn(x)=(WF(x)−WF(0))・λ/d(x) −−−(1)
こうして任意の測定断面について、屈折率分布Δn(x)を算出することができる。
あらかじめ被検体Oの光軸方向肉厚d(x)を計算しておく。厚さが一定の試料で有れば、d(x)=d(一定)と見なすことができる。被検体Oに光束を透過して干渉縞検出器としての1次元センサ上に干渉縞像を結像させる。センサとして例えばリニアCCDを用い、その出力から位相シフト法などの縞解析方法を用いて、透過波面WF(x)(単位:λ)を計測する。λは、光源の波長である。そして、リニアCCDの任意の位置をx=0として、相対的な基準としての透過波面WF(0)を求め、次式によりΔn(x)を算出する。
Δn(x)=(WF(x)−WF(0))・λ/d(x) −−−(1)
こうして任意の測定断面について、屈折率分布Δn(x)を算出することができる。
図6は測定結果の一例を示す図である。同図(a)は透過波面の位相分布、同図(b)はその有効領域での傾き補正後の位相分布、同図(c)は屈折率分布をそれぞれ示す図である。
同図は液晶偏向素子100に、液晶の動作電圧より若干高い電圧を与えた場合の結果を示している。
傾き補正後の位相分布は、凹形状をしており、これは光学系がデフォーカスの要因となり得ることを示している。この結果から、素子の透過波面精度の良否を判定することができる。またこの結果を光学設計シミュレーションにフィードバックすることも可能である。また、このデータを(1)式に入れて屈折率分布を算出した結果が同図(c)に示すグラフである。これより、素子単体での誤差要因を分析することができる。
図7は測定結果の他の例を示す図である。同図(a)、(b)、(c)は前図のそれらと同様である。
同図は前図の電圧のほぼ2倍の電圧を与えた場合の測定結果を示している。同図(b)の位相分布形状は前図(b)と逆転して、凸形状となっており、前図(b)の場合とは、光学的には逆の方向にデフォーカスをおこす要因となることがわかる。
同図は液晶偏向素子100に、液晶の動作電圧より若干高い電圧を与えた場合の結果を示している。
傾き補正後の位相分布は、凹形状をしており、これは光学系がデフォーカスの要因となり得ることを示している。この結果から、素子の透過波面精度の良否を判定することができる。またこの結果を光学設計シミュレーションにフィードバックすることも可能である。また、このデータを(1)式に入れて屈折率分布を算出した結果が同図(c)に示すグラフである。これより、素子単体での誤差要因を分析することができる。
図7は測定結果の他の例を示す図である。同図(a)、(b)、(c)は前図のそれらと同様である。
同図は前図の電圧のほぼ2倍の電圧を与えた場合の測定結果を示している。同図(b)の位相分布形状は前図(b)と逆転して、凸形状となっており、前図(b)の場合とは、光学的には逆の方向にデフォーカスをおこす要因となることがわかる。
図8は本発明の他の実施形態を説明するための図である。
同図において符号29はマッチング液、30はオプチカルフラットをそれぞれ示す。
被検体収容装置8内には、屈折率が被検体Oとほぼ等しいマッチング液29が充填されており、表面形状の影響を排除している。従って、被検体Oがいかなる外形形状であっても被検波は直進する。該装置の入射・射出窓には、面精度の高いオプティカルフラット30を配置してある。
被検体収容装置8内に充填したマッチング液29は、屈折率の基準となるので、均質でなければならない。わずかでも温度分布が有ると屈折率が変化するため、不均質となってしまい、測定精度が低下する。このため、マッチング液29の屈折率を制御するためには、温度分布を高精度に制御する必要がある。このため、温度制御手段としてマッチング液を充填したセルを水で覆い、サーキュレータで水を循環させ、水温を一定に制御する。
同図において符号29はマッチング液、30はオプチカルフラットをそれぞれ示す。
被検体収容装置8内には、屈折率が被検体Oとほぼ等しいマッチング液29が充填されており、表面形状の影響を排除している。従って、被検体Oがいかなる外形形状であっても被検波は直進する。該装置の入射・射出窓には、面精度の高いオプティカルフラット30を配置してある。
被検体収容装置8内に充填したマッチング液29は、屈折率の基準となるので、均質でなければならない。わずかでも温度分布が有ると屈折率が変化するため、不均質となってしまい、測定精度が低下する。このため、マッチング液29の屈折率を制御するためには、温度分布を高精度に制御する必要がある。このため、温度制御手段としてマッチング液を充填したセルを水で覆い、サーキュレータで水を循環させ、水温を一定に制御する。
図9は被検体収容装置の構造を示す図である。
同図において符号81はセル、82は水槽部、83は循環水の注入部、84は循環水の排出部、85は断熱材をそれぞれ示す。
本体はセル81と循環水水槽部82のアルミ一体鋳造により製造された二重の円筒形状をしており、内側の円筒(セル)81にはマッチング液29と被検体Oが収納され、測定が行われる。水槽部82は、下部の一方に循環水の注入部83,および排出部84を有し、装置内部は、セル81と平行な方向に4つの部屋821〜824に区切られ、水槽部82外側には断熱材85を充填し、外気との熱の伝達を遮断している。サーキュレータによって温度制御された水が水槽821〜824の順番で上方向と下方向に流れることによりセルとの間で熱交換を行い、マッチング液29を所定の温度に制御する。
この構造により、水路の断面積が常に一定になり、流れの抵抗を低減し水流をスムーズに流すことができ、またセル81外壁の窓を除くすべての隔壁が循環水水流と接触するため、熱の伝達が良く温度制御の効率を高めることができる。
同図において符号81はセル、82は水槽部、83は循環水の注入部、84は循環水の排出部、85は断熱材をそれぞれ示す。
本体はセル81と循環水水槽部82のアルミ一体鋳造により製造された二重の円筒形状をしており、内側の円筒(セル)81にはマッチング液29と被検体Oが収納され、測定が行われる。水槽部82は、下部の一方に循環水の注入部83,および排出部84を有し、装置内部は、セル81と平行な方向に4つの部屋821〜824に区切られ、水槽部82外側には断熱材85を充填し、外気との熱の伝達を遮断している。サーキュレータによって温度制御された水が水槽821〜824の順番で上方向と下方向に流れることによりセルとの間で熱交換を行い、マッチング液29を所定の温度に制御する。
この構造により、水路の断面積が常に一定になり、流れの抵抗を低減し水流をスムーズに流すことができ、またセル81外壁の窓を除くすべての隔壁が循環水水流と接触するため、熱の伝達が良く温度制御の効率を高めることができる。
このような配慮をしても、被検体Oの特性によって、射出後の偏光面が回転している場合には、図1に示した装置では、参照波面との偏光面が一致しなくなり、その結果、干渉縞のコントラストが低下して、高精度な測定ができなくなる虞がある。このような場合には、図10に示すような構成の装置を用いる。
図10は本発明のさらに他の実施形態を示す図である。
同図において符号41は回動可能な入射側2分の1波長板、42は回動可能な出射側2分の1波長板、43は第3の光束分割素子としてのビームスプリッタ、44は検光子、45は結像レンズ、46は検出器、Sはシャッタをそれぞれ示す。また、両頭矢印は直線偏光の振動方向を表す。
本実施形態は、被検体出射後の光束の偏光面を回転させることができる装置である。また、本装置では、被検体Oへの光束入射時の偏光方向も精度良く制御できる。
偏光方向回転装置4により偏光方向を例えば紙面に平行な方向に制御し、その後、回動可能な2分の1波長板41を用いて、偏光方向を被検体Oに合わせて適切に制御する。
図10は本発明のさらに他の実施形態を示す図である。
同図において符号41は回動可能な入射側2分の1波長板、42は回動可能な出射側2分の1波長板、43は第3の光束分割素子としてのビームスプリッタ、44は検光子、45は結像レンズ、46は検出器、Sはシャッタをそれぞれ示す。また、両頭矢印は直線偏光の振動方向を表す。
本実施形態は、被検体出射後の光束の偏光面を回転させることができる装置である。また、本装置では、被検体Oへの光束入射時の偏光方向も精度良く制御できる。
偏光方向回転装置4により偏光方向を例えば紙面に平行な方向に制御し、その後、回動可能な2分の1波長板41を用いて、偏光方向を被検体Oに合わせて適切に制御する。
被検体からの出射光束中に回動可能な出射側2分の1波長板を配置して、射出後に偏光方向が傾いている場合には、以下のように補正する。
光束中にビームスプリッタ43を設け、光束を側方に分岐し、検光子44と結像レンズ45を経て検出器46で受光する。光束の分岐は常時必要な訳では無いので、必要なときだけ光路中に挿入する単純なミラーであっても良い。シャッタS等により、参照波側の光路をカットした状態で、検出器46で光強度を検出し、その強度が最大となるように出射側2分の1波長板42を回動させる。検光子44は、偏光方向を参照波の偏光方向に一致させてある。その結果、2分の1波長板42通過後の偏光方向は、参照波面の偏光方向と一致するので、非常に精度良く測定することができる。偏光方向回転装置4により制御する偏光方向は既知であれば、検光子44をその方向に合わせられるので、その方向は限定されない。ビームスプリッタ43の配置位置をビームスプリッタ10とビームスプリッタ11の間に設ければ、参照波をカットするためのシャッタSは不要になる。
図示しないが、偏光方向回転装置4と、検光子44を機械的に連動させ両者の偏光方向が常に一致するようにすれば、入射側の2分の1波長板41を省略できる。
光束中にビームスプリッタ43を設け、光束を側方に分岐し、検光子44と結像レンズ45を経て検出器46で受光する。光束の分岐は常時必要な訳では無いので、必要なときだけ光路中に挿入する単純なミラーであっても良い。シャッタS等により、参照波側の光路をカットした状態で、検出器46で光強度を検出し、その強度が最大となるように出射側2分の1波長板42を回動させる。検光子44は、偏光方向を参照波の偏光方向に一致させてある。その結果、2分の1波長板42通過後の偏光方向は、参照波面の偏光方向と一致するので、非常に精度良く測定することができる。偏光方向回転装置4により制御する偏光方向は既知であれば、検光子44をその方向に合わせられるので、その方向は限定されない。ビームスプリッタ43の配置位置をビームスプリッタ10とビームスプリッタ11の間に設ければ、参照波をカットするためのシャッタSは不要になる。
図示しないが、偏光方向回転装置4と、検光子44を機械的に連動させ両者の偏光方向が常に一致するようにすれば、入射側の2分の1波長板41を省略できる。
1次元センサ22としては、一次元CCD等のリニアイメージセンサを用いる。あるいは、フォトダイオードアレイでも良い。
リニアイメージセンサを用いることにより、高速測定が可能となるので、電気的制御可能な位相変調素子の動的状態を高精度に測定することが可能となる。
リニアイメージセンサは、1ms以下でデータを取り込むことができる。これに対し、ツイステッド・ネマティック(TN)液晶の応答速度は、数十msであるので十分対応可能である。フーリエ変換法は、1回のデータ取り込みで、干渉縞解析を行うことができるので動的測定に適する。
リニアイメージセンサを用いることにより、高速測定が可能となるので、電気的制御可能な位相変調素子の動的状態を高精度に測定することが可能となる。
リニアイメージセンサは、1ms以下でデータを取り込むことができる。これに対し、ツイステッド・ネマティック(TN)液晶の応答速度は、数十msであるので十分対応可能である。フーリエ変換法は、1回のデータ取り込みで、干渉縞解析を行うことができるので動的測定に適する。
次に、図7(a)を用いて、偏向素子の偏向角θの測定例を示す。有効領域より広い領域でデータを取り込み、基準となる両サイドが水平となるように設定する。そして、有効領域幅をL、有効領域での位相差をWとすると
θ=arctan(W/L) (2)
より、偏向角θを測定することができる。なお、両サイドが水平となる設定は、ソフト的な処理でもよい。
また図7(a)の平均的な傾きよりθを算出しても良い。
透過波面の位相より、偏向角を測定する場合、測定領域を10mmとし、位相の測定精度を0.05λ(λ=633nm)とすると偏向角θの分解能は約0.7秒であり、非常に高い分解能を得ることができる。
θ=arctan(W/L) (2)
より、偏向角θを測定することができる。なお、両サイドが水平となる設定は、ソフト的な処理でもよい。
また図7(a)の平均的な傾きよりθを算出しても良い。
透過波面の位相より、偏向角を測定する場合、測定領域を10mmとし、位相の測定精度を0.05λ(λ=633nm)とすると偏向角θの分解能は約0.7秒であり、非常に高い分解能を得ることができる。
1 レーザ
4 偏光方向回転装置
5 ビームエキスパンダ
7 第1の光束分割素子
8 被検体収容装置
11 第2の光束合成素子
17 拡散板
22 1次元センサ
4 偏光方向回転装置
5 ビームエキスパンダ
7 第1の光束分割素子
8 被検体収容装置
11 第2の光束合成素子
17 拡散板
22 1次元センサ
Claims (24)
- 可干渉光を出射する光源と、該可干渉光を2光束に分割する光束分割素子と、被検体収容装置と、該2光束を再度合成する光束合成素子と、光束合成により生ずる干渉縞を検出する干渉縞検出素子とを有し、前記2光束のうちの一方は、前記被検体収容装置を透過するように構成されている測定装置において、前記光源と、前記光束分割素子との間に、偏光方向回転装置を設け、形成された干渉縞像から屈折率分布を測定することを特徴とする測定装置。
- 可干渉光を出射する光源と、該可干渉光を2光束に分割する光束分割素子と、被検体収容装置と、該2光束を再度合成する光束合成素子と、光束合成により生ずる干渉縞を検出する干渉縞検出素子とを有し、前記2光束のうちの一方は、前記被検体収容装置を透過するように構成されている測定装置において、前記光源と、前記光束分割素子との間に、偏光方向回転装置を設け、形成された干渉縞像から偏向角を測定することを特徴とする測定装置。
- 請求項1または2に記載の測定装置において、前記偏光方向回転装置は、該偏光方向回転装置を通過する光束の進行方向に直交する面内で機械的に回動可能に設けられた2分の1波長板を有することを特徴とする測定装置。
- 請求項1または2に記載の測定装置において、前記偏光方向回転装置は、該偏光方向回転装置を通過する光束の進行方向にほぼ直交する方向から、強度可変の磁界を与えられるファラデー素子を有することを特徴とする測定装置。
- 請求項1または2に記載の測定装置において、前記偏光方向回転装置は、該偏光方向回転装置を通過する光束の進行方向に直交する対向面から、電圧値可変の電圧を与えられる電気光学結晶を有することを特徴とする測定装置。
- 請求項1ないし5のいずれか1つに記載の測定装置において、前記干渉縞検出素子はリニアイメージセンサであることを特徴とする測定装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1つに記載の測定装置において、前記一方の光束が前記被検体収容装置を通過後、前記光束合成素子に入射する前に、光束の進行方向に対し垂直な平面内で回動可能に設けた出射側2分の1波長板と、該2分の1波長板を通過した光束を分岐する分岐素子と、前記2光束のうち他方の光束の偏光方向に偏光方向を合わせた検光子と、光束の光強度を検出する検出器とを備えたことを特徴とする測定装置。
- 請求項7に記載の測定装置において、前記検光子を光束の進行方向に垂直な面内で回動可能な機構を有し、該機構は、前記偏光方向回転装置により定まる偏光面と、前記検光子の偏光面が一致するよう連動していることを特徴とする測定装置。
- 請求項1ないし8のいずれか1つに記載の測定装置において、前記一方の光束が前記被検体収容装置に入射する前に、入射側2分の1波長板を光束の進行方向に対し垂直な平面内で回動可能に設けたことを特徴とする測定装置。
- 請求項9に記載の測定装置を用い、前記被検体収容装置に、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体を収容し、前記偏光方向回転装置により光源からの光束の偏光方向を所定の方向に規制し、前記入射側2分の1波長板を透過した光束の偏光方向が前記被検体の光学軸方向に一致するよう前記入射側2分の1波長板を回動させることを特徴とする測定方法。
- 請求項1ないし7のいずれか1つに記載の測定装置を用い、前記被検体収容装置に、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体を収容し、該被検体の光学軸方向に一致するように前記偏光方向回転装置により前記被検体収容装置に入射させる光束の偏光方向を回転させることを特徴とする測定方法。
- 請求項10または11に記載の測定方法において、前記被検体は、電気信号で制御可能な位相変調素子であることを特徴とする測定方法。
- 請求項12に記載の測定方法において、前記電気信号で制御可能な位相変調素子は液晶偏向素子であることを特徴とする測定方法。
- 請求項10ないし13のいずれか1つに記載の測定方法において、前記被検体収容装置には、前記被検体とともに該被検体と屈折率がほぼ等しいマッチング液を収容することを特徴とする測定方法。
- 同一光源からの可干渉光の入射直線偏光が、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体の光学軸に対して、平行になるように入射させ、参照波と被検波との重畳による干渉縞像を形成し、形成された干渉縞像から屈折率分布を測定することを特徴とする測定方法。
- 同一光源からの可干渉光の入射直線偏光が、偏光依存性を有する空間的位相変調素子である被検体の光学軸に対して、平行になるように入射させ、参照波と被検波との重畳による干渉縞像を形成し、形成された干渉縞像から屈折角を測定することを特徴とする測定方法。
- 請求項15または16に記載の測定方法において、前記空間的位相変調素子は電気信号で制御可能な位相変調素子であることを特徴とする測定方法。
- 請求項17に記載の測定方法において、前記電気信号で制御可能な位相変調素子は液晶偏向素子であることを特徴とする測定方法。
- 請求項15ないし18に記載の測定方法において、前記被検体は、該被検体と屈折率がほぼ等しいマッチング液浸した状態で測定されることを特徴とする測定方法。
- 請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記入射直線偏光を被検体の光学軸に対して平行になるよう入射させる方法は、光束の進行方向に直交する面内で機械的に回動可能に設けられた2分の1波長板によるものであることを特徴とする測定方法。
- 請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記入射直線偏光を被検体の光学軸に対して平行になるよう入射させる方法は、光束の進行方向にほぼ直交する方向から、強度可変の磁界を与えられるファラデー素子によるものであることを特徴とする測定方法。
- 請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記入射直線偏光を被検体の光学軸に対して平行になるよう入射させる方法は、光束の進行方向に直交する対向面から、電圧値可変の電圧を与えられる電気光学結晶によるものであることを特徴とする測定方法。
- 請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記被検波の光路中に2分の1波長板が挿入されていることを特徴とする測定方法。
- 請求項15ないし19のいずれか1つに記載の測定方法において、前記干渉縞像はリニアイメージセンサを用いて検出することを特徴とする測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003423552A JP2005181150A (ja) | 2003-12-19 | 2003-12-19 | 屈折率分布・偏向角の測定装置、および測定方法 |
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Family
ID=34784046
Family Applications (1)
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JP2003423552A Pending JP2005181150A (ja) | 2003-12-19 | 2003-12-19 | 屈折率分布・偏向角の測定装置、および測定方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2005181150A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9212991B2 (en) | 2010-08-19 | 2015-12-15 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Refractive index measurment apparatus and refractive index measurment method |
CN107764520A (zh) * | 2017-10-30 | 2018-03-06 | 西安应用光学研究所 | 光学镜头残余偏振测试装置 |
CN113237635A (zh) * | 2021-04-27 | 2021-08-10 | 南昌虚拟现实研究院股份有限公司 | 液晶透镜相位检测装置和方法 |
-
2003
- 2003-12-19 JP JP2003423552A patent/JP2005181150A/ja active Pending
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