JP2005175217A - Electromagnetic-wave shielding transparent film - Google Patents

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JP2005175217A JP2003413455A JP2003413455A JP2005175217A JP 2005175217 A JP2005175217 A JP 2005175217A JP 2003413455 A JP2003413455 A JP 2003413455A JP 2003413455 A JP2003413455 A JP 2003413455A JP 2005175217 A JP2005175217 A JP 2005175217A
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Toshishige Uehara
寿茂 上原
Akishi Nakaso
昭士 中祖
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Showa Denko Materials Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To attain the facilitation of the method of the flowing of a resin layer by a pressing through a film on a conductive metal on which a geometric pattern is formed, and the method or the like of the coating of a resin for a coating even after the formation of the geometric pattern and the reduction of a manufacturing cost, although the methods have been conducted because a light is scattered on an irregular surface and an electromagnetic-wave shielding film is made opaque, since the roughened surface of a conductive metallic foil is transferred on the resin layer on a transparent base material and the irregular surface is formed when the geometric pattern composed of the conductive metal is formed on the transparent base material. <P>SOLUTION: In a manufacturing method for the electromagnetic-wave shielding transparent film, the conductive metallic foil is laminated to a plastic supporter through the resin layer using the smooth surface of the metallic foil as the resin layer side, and a part of the metallic foil is removed so that an opening ratio reaches 50% or more and the geometric pattern is formed. It is preferable that the surface roughness Rz of the smooth surface of the metallic foil is 1.5 μm or less. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明はCRT、PDP(プラズマ)、液晶、ELなどのディスプレイ前面から発生する電磁波のシールド性を有する電磁波シールド性透明フィルムの製造方法及び該フィルムを用いた電磁波遮蔽体、ディスプレイに関する。   The present invention relates to a method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film having shielding properties against electromagnetic waves generated from the front surface of a display such as CRT, PDP (plasma), liquid crystal, and EL, and an electromagnetic wave shielding body and a display using the film.

CRT、PDPなどのディスプレイ前面より発生する電磁波ノイズのシールド方法として、透明基材上に金属または金属酸化物を蒸着して薄膜導電層を形成する方法(特開平1−278800号公報、特開平5−323101号公報参照)が提案されている。一方、良導電性繊維を透明基材に埋め込んだ電磁波シールド材(特開平5−327274号公報、特開平5−269912号公報参照)や金属粉末等を含む導電性樹脂を透明基材上に直接印刷した電磁波シールド材料(特開昭62−57297号公報、特開平2−52499号公報参照)、さらには、ポリカーボネート等の透明基材上に透明樹脂層を形成し、その上に無電解めっき法により銅のメッシュパターンを形成した電磁波シールド材料(特開平5−283889号公報参照)が提案されている。
特開平1−278800号公報 特開平5−323101号公報 特開平5−327274号公報 特開平5−269912号公報 特開昭62−57297号公報 特開平2−52499号公報 特開平5−283889号公報
As a method for shielding electromagnetic noise generated from the front surface of a display such as a CRT or PDP, a method of forming a thin film conductive layer by depositing a metal or metal oxide on a transparent substrate (JP-A-1-278800, JP-A-5). -323101) is proposed. On the other hand, an electromagnetic shielding material (see JP-A-5-327274 and JP-A-5-269912) in which good conductive fibers are embedded in a transparent substrate, or a conductive resin containing metal powder or the like is directly applied on the transparent substrate. A printed electromagnetic shielding material (see JP-A-62-257297 and JP-A-2-52499), and further, a transparent resin layer is formed on a transparent substrate such as polycarbonate, and an electroless plating method is formed thereon. An electromagnetic shielding material (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-283889) in which a copper mesh pattern is formed is proposed.
JP-A-1-278800 JP-A-5-323101 JP-A-5-327274 Japanese Patent Laid-Open No. 5-269912 JP 62-57297 A JP-A-2-52499 Japanese Patent Laid-Open No. 5-288989

電磁波シールド性と透明性を両立させる方法として、特開平1−278800号公報、特開平5−323101号公報に示されている透明性基材上に金属または金属酸化物を蒸着して薄膜導電層を形成する方法は、透明性が達成できる程度の膜厚(数100Å〜2,000Å)にすると導電層の表面抵抗が大きくなりすぎるため、30MHz〜1GHzで要求される30dB以上、好ましくは50dB以上のシールド効果に対して30dB未満と不十分であった。良導電性繊維を透明基材に埋め込んだ電磁波シールド材(特開平5−327274号公報、特開平5−269912号公報)では、30MHz〜1GHzの電磁波シールド効果は40〜50dBであるが、視認性に問題のない繊維径が25μmのとき、導電性繊維を規則配置させるために必要なピッチが50μm以下となり、開口率が低下して透明性が損なわれ、ディスプレイ用途には適したものではなかった。また、特開昭62−57297号公報、特開平2−52499号公報の金属粉末等を含む導電性樹脂を透明基材上に直接スクリーン印刷法などによって印刷した電磁波シールド材料の場合も同様に、印刷精度の限界からライン幅は、50〜100μm前後となり透明性の低下やラインの視認性が発現するため前面フィルターとして適したものではなかった。一方、フォトリソ法により、透明基材上に導電性金属の幾何学図形を形成する方法では、透明基材上の樹脂層に、導電性金属箔の粗化面を転写して凹凸面を形成するため、その表面で光が散乱され、電磁波シールドフィルムは不透明となる。その課題を解消するため、これまでは、幾何学図形が形成された導電性金属上に、樹脂を塗布したり(特許第3388682)、フィルムを介して加圧させて樹脂層を流動させる(特許第3386743)などの方法によって、透明化していた。そこで、これらの方法の容易化又は省略化が望まれる。   As a method for achieving both electromagnetic shielding properties and transparency, a thin film conductive layer is formed by depositing a metal or metal oxide on a transparent substrate disclosed in JP-A-1-278800 and JP-A-5-323101. In the method of forming the film, the surface resistance of the conductive layer becomes too large when the film thickness is such that transparency can be achieved (several hundreds to 2,000 mm). Therefore, 30 dB or more, preferably 50 dB or more required from 30 MHz to 1 GHz. It was insufficient with less than 30 dB for the shielding effect. In the electromagnetic shielding material (Japanese Patent Laid-Open No. 5-327274 and Japanese Patent Laid-Open No. 5-269912) in which the highly conductive fibers are embedded in the transparent base material, the electromagnetic shielding effect of 30 MHz to 1 GHz is 40 to 50 dB. When the fiber diameter is 25 μm, there is no problem, the pitch required for regularly arranging the conductive fibers is 50 μm or less, the aperture ratio is lowered and the transparency is impaired, and it is not suitable for display applications. . Similarly, in the case of an electromagnetic shielding material obtained by printing a conductive resin containing the metal powder of JP-A-62-257297 or JP-A-2-52499 directly on a transparent substrate by a screen printing method or the like, From the limit of printing accuracy, the line width was around 50 to 100 μm, and the transparency was lowered and the visibility of the line was developed. Therefore, it was not suitable as a front filter. On the other hand, in the method of forming a conductive metal geometric figure on a transparent substrate by photolithography, the roughened surface of the conductive metal foil is transferred to the resin layer on the transparent substrate to form an uneven surface. Therefore, light is scattered on the surface, and the electromagnetic wave shielding film becomes opaque. In order to solve the problem, until now, a resin is applied on a conductive metal on which a geometric figure is formed (Patent No. 3388682), or pressure is applied through a film to flow the resin layer (Patent) It was made transparent by a method such as No. 3386743). Therefore, simplification or omission of these methods is desired.

ディスプレイ前面から発生する電磁波のシールド性については、30MHz〜1GHzにおける30dB以上、好ましくは50dB以上の電磁波シールド機能の他に、良好な可視光透過性、さらに可視光透過率が大きいだけでなく、シールド材の存在を肉眼で確認することができない特性である非視認性も必要とされる。電磁波シールド性、透明性、非視認性の特性を併せ持つ電磁波シールド性透明フィルムとしては、量産性まで考慮に入れて、電磁波シールド性と透明性・非視認性を有する電磁波シールド性透明フィルムおよび該フィルムを用いた電磁波遮蔽体、ディスプレイを安定的に大量生産するための製造方法を提供せんとするものである。   About the shielding property of the electromagnetic wave generated from the front of the display, in addition to the electromagnetic shielding function of 30 dB or more, preferably 50 dB or more in 30 MHz to 1 GHz, not only good visible light transmittance and further visible light transmittance, but also shielding Non-visibility, which is a characteristic that the presence of the material cannot be confirmed with the naked eye, is also required. As an electromagnetic shielding transparent film having both electromagnetic shielding properties, transparency and non-visibility characteristics, the electromagnetic shielding transparent film having electromagnetic shielding properties and transparency / non-visibility, and the film, taking into consideration even mass production It is intended to provide a manufacturing method for stably mass-producing an electromagnetic shielding body and a display using the above.

本発明は、次のものに関する。
1. プラスチック支持体に樹脂層を介して導電性金属箔をその滑らかな面を樹脂層側にして積層し、その導電性金属箔を開口率が50%以上となるように一部除去して幾何学図形を形成することを特徴とする電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。
2. 導電性金属箔の滑らかな面の表面粗さRzが2.0μm以下であるの導電性金属箔を使うことを特徴とする項1に記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。
3. 導電性金属箔の滑らかな面が防錆処理された側の面である項1又は2に記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。
4. 防錆処理がニッケル、錫、亜鉛、クロム、モリブデン、コバルトのいずれか、もしくはそれらの合金を使用していることを特徴とする項3に記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。
5. 導電性金属箔の滑らかな面がクロメート処理された側の面である項1〜4のいずれかに記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。
6. 導電性金属箔の滑らかな面がシランカップリング剤で処理された表面である項1〜5のいずれかに記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。
7. シランカップリング剤が加熱により樹脂層と化学反応するものである項5に記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。
8. シランカップリング剤がアミノ官能性シランであることを特徴とする項6又は7に記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。
9. 導電性金属箔で描かれた幾何学図形のライン幅が1〜40μm、ライン間隔が50〜500μm、ライン厚さが1〜40μmである項1〜8のいずれかに記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。
10. 導電性金属箔を開口率が50%以上となるように一部除去して幾何学図形を形成する方法がフォトリソグラフ法である項1〜9のいずれかに記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。
11. 項1〜10のいずれかに記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法により作製された電磁波シールド性透明フィルム。
12. 項11に記載の電磁波シールド性透明フィルムと透明基材から構成された電磁波遮蔽体。
13. 項11に記載の電磁波シールド性透明フィルムまたは項12に記載の電磁波遮蔽体を用いたディスプレイ。
The present invention relates to the following.
1. A conductive metal foil is laminated on a plastic support through a resin layer with the smooth side facing the resin layer, and part of the conductive metal foil is removed so that the aperture ratio is 50% or more. The manufacturing method of the electromagnetic shielding transparent film characterized by forming a figure.
2. Item 2. The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to Item 1, wherein the conductive metal foil having a smooth surface roughness Rz of 2.0 µm or less is used.
3. Item 3. The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to Item 1 or 2, wherein the smooth surface of the conductive metal foil is a surface on the rust-proof side.
4). Item 4. The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to Item 3, wherein the rust-proofing treatment uses nickel, tin, zinc, chromium, molybdenum, cobalt, or an alloy thereof.
5). Item 5. The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to any one of Items 1 to 4, wherein the smooth surface of the conductive metal foil is the surface on the side subjected to the chromate treatment.
6). Item 6. The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to any one of Items 1 to 5, wherein the smooth surface of the conductive metal foil is a surface treated with a silane coupling agent.
7). Item 6. The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to Item 5, wherein the silane coupling agent chemically reacts with the resin layer by heating.
8). Item 8. The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to Item 6 or 7, wherein the silane coupling agent is an amino-functional silane.
9. Item 10. The electromagnetic wave shielding transparent film according to any one of Items 1 to 8, wherein a line width of a geometric figure drawn with a conductive metal foil is 1 to 40 μm, a line interval is 50 to 500 μm, and a line thickness is 1 to 40 μm. Manufacturing method.
10. Item 10. The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to any one of Items 1 to 9, wherein the method of forming a geometric figure by partially removing the conductive metal foil so that the aperture ratio is 50% or more is a photolithographic method. Method.
11. Item 11. An electromagnetic wave shielding transparent film produced by the method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to any one of Items 1 to 10.
12 Item 12. An electromagnetic wave shielding body comprising the electromagnetic wave shielding transparent film according to Item 11 and a transparent substrate.
13. Item 13. A display using the electromagnetic wave shielding transparent film according to Item 11 or the electromagnetic wave shielding material according to Item 12.

本発明によれば、導電性金属箔の幾何学図形が精度良く形成できるので、電磁波シールドフィルムが得られる。また、導電性金属箔の滑らかな面が防錆処理した面、クロメート処理した面又はシランカップリング剤で処理した面であることにより、樹脂層への密着性を改善することができる。また、幾何学図形がライン幅が1〜40μm、ライン間隔が50〜500μm、ライン厚さが1〜40μmの導電性金属箔で描かれた幾何学図形であることにより、非視認性、電磁波シールド性が確実に優れたものとなる。さらに、幾何学図形の形成方法としてフォトリソグラフ法を用いることにより幾何学図形が精度良く形成され、電磁波シールドフィルムの製造方法としても容易である。
また、このような電磁波シールドフィルムを利用した高精細ディスプレイに対応できる非視認性、電磁波シールド性、透明性にすぐれた電磁波遮蔽体が得られ、このような電磁波シールド性透明フィルム又は電磁波遮蔽体を利用することにより優れた電磁波シールド性、優れた視覚性を有するディスプレイが得られる。
According to this invention, since the geometrical figure of electroconductive metal foil can be formed with sufficient precision, an electromagnetic wave shield film is obtained. Moreover, the adhesiveness to a resin layer can be improved because the smooth surface of electroconductive metal foil is the surface which carried out the antirust process, the surface which carried out the chromate treatment, or the surface processed with the silane coupling agent. Further, the geometric figure is a geometric figure drawn with conductive metal foil having a line width of 1 to 40 μm, a line interval of 50 to 500 μm, and a line thickness of 1 to 40 μm. The property is surely excellent. Furthermore, by using a photolithographic method as a method for forming a geometric figure, the geometric figure is formed with high accuracy, and it is easy as a method for producing an electromagnetic wave shielding film.
In addition, an electromagnetic shielding body excellent in non-visibility, electromagnetic shielding ability and transparency that can be applied to a high-definition display using such an electromagnetic shielding film is obtained, and such an electromagnetic shielding transparent film or electromagnetic shielding body is obtained. By using it, a display having excellent electromagnetic shielding properties and excellent visibility can be obtained.

電磁波シールド性透明フィルムをディスプレイに使用した場合、可視光透過率が大きく、非視認性が良好であるため、ディスプレイの輝度を高めることなく通常の状態とほぼ同様の条件下で鮮明な画像を快適に鑑賞することができる。本発明の電磁波シールド性透明フィルム及び電磁波遮蔽体は、電磁波シールド性や透明性に優れているため、ディスプレイの他に電磁波を発生したり、あるいは電磁波から保護する測定装置、測定機器や製造装置の内部をのぞく窓や筐体、特に透明性を要求される窓のような部位に設けて使用することができる。   When an electromagnetic shielding transparent film is used for the display, the visible light transmittance is large and the invisibility is good, so that a clear image can be comfortably displayed under almost the same conditions as normal without increasing the display brightness. You can appreciate it. The electromagnetic wave shielding transparent film and the electromagnetic wave shielding body of the present invention are excellent in electromagnetic wave shielding properties and transparency. Therefore, in addition to the display, the electromagnetic wave is generated or protected from electromagnetic waves. It can be used by being provided in a portion such as a window or a case that looks inside, particularly a window that requires transparency.

本発明で用いる金属箔は少なくとも一方に滑らかな面を有するが、その滑らかさの程度は、JIS B 0601に示す10点平均粗さ(Rz)が2.0μm以下であることが好ましい。導電性金属箔の滑らかな面のRzが2.0μm以下であれば導電性金属箔の光沢面側でも粗面側でも良い。Rzは特に好ましくは1.5μm以下である。
通常の金属箔には、酸化処理、還元処理、エッチング等を行って粗化処理が施されるが粗化処理されたものは、一般にRzが2.0μmを超えて大きくなる。
The metal foil used in the present invention has a smooth surface on at least one side, and the degree of smoothness is preferably such that the 10-point average roughness (Rz) shown in JIS B 0601 is 2.0 μm or less. As long as Rz of the smooth surface of the conductive metal foil is 2.0 μm or less, either the glossy side or the rough side of the conductive metal foil may be used. Rz is particularly preferably 1.5 μm or less.
Ordinary metal foils are subjected to roughening treatment by oxidation treatment, reduction treatment, etching and the like, but those subjected to the roughening treatment generally have an Rz larger than 2.0 μm.

導電性金属箔の素材としては、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、金、銀、白金、タングステン、クロム、チタン、スズ、鉛、パラジウムなどが挙げられ、それらの1種または2種以上を組み合わせて含むステンレス、半田などの合金も使用することができる。導電性、価格の点から銀、銅またはニッケルが適している。一方導電性金属箔として、常磁性金属である、鉄、ニッケル、コバルトを使用すると、電界に加えて、特に磁界の遮蔽性を向上させることも可能である。導電性金属箔は、箔の状態であるとプラスチック支持体、樹脂層及び導電性金属箔を順次積層した構成体を連続して作製しやすく、好適である。導電性金属箔の厚みは40μm以下であることが好ましい。
例えば、銅箔の製造条件は、硫酸銅浴の場合、硫酸50〜100g/L、銅30〜100g/L、液温20℃〜80℃、電流密度0.5〜100A/dmの条件、ピロリン酸銅浴の場合、ピロリン酸カリウム100〜700g/L、銅10〜50g/L、液温30℃〜60℃、pH8〜12、電流密度1〜10A/dmの条件が一般的によく用いられ、銅の物性や平滑性を考慮して各種添加剤をいれる場合もある。
Examples of the conductive metal foil material include copper, aluminum, nickel, iron, gold, silver, platinum, tungsten, chromium, titanium, tin, lead, and palladium, and a combination of one or more of them. Alloys such as stainless steel and solder can also be used. Silver, copper or nickel is suitable in terms of conductivity and price. On the other hand, when a paramagnetic metal such as iron, nickel, or cobalt is used as the conductive metal foil, it is possible to improve the shielding property of the magnetic field in addition to the electric field. When the conductive metal foil is in the state of a foil, it is preferable because it is easy to continuously produce a structure in which a plastic support, a resin layer, and a conductive metal foil are sequentially laminated. The thickness of the conductive metal foil is preferably 40 μm or less.
For example, in the case of a copper sulfate bath, the production conditions of the copper foil are sulfuric acid 50-100 g / L, copper 30-100 g / L, liquid temperature 20 ° C.-80 ° C., current density 0.5-100 A / dm 2 , In the case of a copper pyrophosphate bath, the conditions of potassium pyrophosphate 100-700 g / L, copper 10-50 g / L, liquid temperature 30 ° C.-60 ° C., pH 8-12, current density 1-10 A / dm 2 are generally good. In some cases, various additives are added in consideration of the physical properties and smoothness of copper.

金属箔の厚みが0.5〜10.0μmのピーラブルタイプでなおかつ粗面側の金属箔表面粗さRzが1.5μm以下のものを用いても良い。ここで、ピーラブルタイプの金属箔とは、キャリアを有する金属箔であり、キャリアが引き剥がし可能な金属箔である。例えば、ピーラブルタイプの極薄銅箔の場合、厚み10〜50μmのキャリア箔上に剥離層となる金属酸化物或いは有機物層を形成し、その上に硫酸銅浴であれば硫酸50〜100g/L、銅30〜100g/L、液温20℃〜80℃、電流密度0.5〜100A/dmの条件、ピロリン酸銅浴であればピロリン酸カリウム100〜700g/L、銅10〜50g/L、液温30℃〜60℃、pH8〜12、電流密度1〜10A/dmの条件で厚み0.5〜10.0μmの金属箔を形成し、製造される。
厚さが薄い金属箔を使うことにより、オーバーエッチングの程度が最小限に押さえることができるため、回路加工の精度が飛躍的に向上する。この際、粗化処理が施されていない金属箔では、粗化銅箔の樹脂中への潜りこみが少ないため、この点においても、回路加工精度が飛躍的に向上する。しかし、金属箔の厚さが小さすぎると電磁波シールド性が低下する傾向があるため、厚さは0.5μm以上が好ましく、特に3μm以上が好ましい。
A peelable type metal foil having a thickness of 0.5 to 10.0 μm and a rough metal foil surface roughness Rz of 1.5 μm or less may be used. Here, the peelable type metal foil is a metal foil having a carrier, which is a metal foil that can be peeled off by the carrier. For example, in the case of a peelable type ultra-thin copper foil, a metal oxide or organic layer to be a release layer is formed on a carrier foil having a thickness of 10 to 50 μm, and a sulfuric acid 50 to 100 g / h is used on the copper sulfate bath. L, copper 30-100 g / L, liquid temperature 20 ° C.-80 ° C., current density 0.5-100 A / dm 2 condition, potassium pyrophosphate bath 100-700 g / L potassium pyrophosphate, copper 10-50 g / L, a liquid temperature of 30 ° C. to 60 ° C., a pH of 8 to 12, and a current density of 1 to 10 A / dm 2 are produced by forming a metal foil having a thickness of 0.5 to 10.0 μm.
By using a thin metal foil, the degree of over-etching can be minimized, so that the accuracy of circuit processing is greatly improved. At this time, in the metal foil that has not been subjected to the roughening treatment, the roughened copper foil is less likely to sink into the resin, so that the circuit processing accuracy is also greatly improved in this respect. However, if the thickness of the metal foil is too small, the electromagnetic wave shielding property tends to be lowered. Therefore, the thickness is preferably 0.5 μm or more, and particularly preferably 3 μm or more.

導電性金属箔として、錆びやすい材料、例えば、銅、アルミニウム、鉄等を用いた場合は、防錆処理を少なくとも上記滑らかな面に、ニッケル、錫、亜鉛、クロム、モリブデン、コバルトのいずれか、若しくはそれらの合金の層を金属箔の表面に形成することにより行うことができる。そのためにはスパッタや電気めっき、無電解めっきにより金属箔上に薄膜形成を行う方法が、コストの面から電気めっきが好ましい。具体的にはめっき層にニッケル、錫、亜鉛、クロム、モリブデン、コバルトの内一種類以上の金属塩を含むめっき層を用いてめっきを行う。金属イオンの析出を容易にするためにクエン酸塩、酒石酸塩、スルファミン酸等の錯化剤を必要量添加することも出来る。めっき液は通常酸性領域で用い、室温〜80℃の温度で行う。めっきは通常電流密度0.1〜10Å/dm、通電時間1〜60秒、好ましくは1〜30秒の範囲から適宜選択する。防錆処理金属の量は、金属の種類によって異なるが、合計で10〜2,000μg/dmが好適である。防錆処理が厚すぎるとエッチング阻害と電気特性の低下を引き起こし、薄すぎると樹脂とのピール強度低下の要因となりうる。なお、金属箔がこれらの防錆処理金属と同じであれば、防錆処理を施す必要はない。
錆びやすい導電性金属箔は酸化されると樹脂層との密着性が低下するが、防錆処理を施しておけばその心配が無く、保存できる。
As a conductive metal foil, when using a material that easily rusts, for example, copper, aluminum, iron, etc., at least the smooth surface of the rust prevention treatment, any of nickel, tin, zinc, chromium, molybdenum, cobalt, Or it can carry out by forming the layer of those alloys on the surface of metal foil. For this purpose, a method of forming a thin film on a metal foil by sputtering, electroplating or electroless plating is preferable from the viewpoint of cost. Specifically, plating is performed using a plating layer containing one or more metal salts of nickel, tin, zinc, chromium, molybdenum, and cobalt. In order to facilitate the precipitation of metal ions, a complexing agent such as citrate, tartrate or sulfamic acid can be added in the required amount. The plating solution is usually used in an acidic region and is performed at a temperature of room temperature to 80 ° C. The plating is appropriately selected from a range of usually a current density of 0.1 to 10 Å / dm 2 , an energization time of 1 to 60 seconds, preferably 1 to 30 seconds. The amount of the rust-proofing metal varies depending on the type of metal, but is preferably 10 to 2,000 μg / dm 2 in total. If the rust preventive treatment is too thick, it may cause etching inhibition and deterioration of electrical characteristics, and if it is too thin, it may cause a reduction in peel strength with the resin. In addition, if metal foil is the same as these rust-proof metal, it is not necessary to give a rust-proof process.
When the conductive metal foil that is easily rusted is oxidized, the adhesiveness with the resin layer is lowered.

さらに、導電性金属箔の滑らかな面は、クロメート処理されていてもよい。このクロメート処理は上記の防錆処理の上に行ってもよい。導電性金属箔の滑らかな面がクロメート処理されていると樹脂層との接着強度(例えば、ピール強度)を改善できる(少なくともその低下を抑制できる)ため有用である。具体的には六価クロムイオンを含む水溶液を用いて行われる。クロメート処理は単純な浸漬処理でも可能であるが、好ましくは陰極処理で行う。陰極処理は、金属箔を陰極につなぎ、六価クロムイオンを含む水溶液中で電気を通すことにより行うことができる。例えば、重クロム酸ナトリウム0.1〜50g/L、pH1〜13、浴温0〜60℃、電流密度0.1〜5A/dm、電解時間0.1〜100秒の条件で行うのが良い。重クロム酸ナトリウムの代わりにクロム酸或いは重クロム酸カリウムを用いて行うことも出来る。クロメート処理は、防錆処理された金属箔にその使用前に予め行っておくことが好ましい。 Furthermore, the smooth surface of the conductive metal foil may be chromated. This chromate treatment may be performed on the above rust prevention treatment. If the smooth surface of the conductive metal foil is chromated, it is useful because the adhesive strength (for example, peel strength) with the resin layer can be improved (at least the reduction can be suppressed). Specifically, it is performed using an aqueous solution containing hexavalent chromium ions. The chromate treatment can be performed by a simple immersion treatment, but is preferably performed by a cathode treatment. Cathodic treatment can be performed by connecting a metal foil to the cathode and conducting electricity in an aqueous solution containing hexavalent chromium ions. For example, sodium dichromate 0.1-50 g / L, pH 1-13, bath temperature 0-60 ° C., current density 0.1-5 A / dm 2 , electrolysis time 0.1-100 seconds. good. It can also carry out using chromic acid or potassium dichromate instead of sodium dichromate. The chromate treatment is preferably performed in advance on the rust-proof metal foil before use.

本発明においては、導電性金属箔の滑らかな表面は、シランカップリング剤処理が施されていると好ましい。シランカップリング剤処理は、上記の防錆処理又はクロメート処理の上に施すことができる。この処理により滑らかな表面にシタンカップリング剤が吸着し、樹脂層との密着性を改善することができる。シランカップリング剤としては、例えば、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシ官能性シラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン等のアミノ官能性シラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルフェニルトリメトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン等のオレフィン官能性シラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリル官能性シラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のメタクリル官能性シラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト官能性シランなどが用いられる。これらは単独で用いても良いし、複数を混合して用いても良い。これらのカップリング剤は、水などの溶媒に0.1〜15g/Lの濃度で溶解させて室温〜50℃の温度で金属箔に塗布したり、電着させたりして吸着させる。これらのシランカップリング剤は金属箔表面の防錆金属の水酸基と縮合結合することで皮膜を形成する。シランカップリング処理後は加熱、紫外線照射等によって安定的結合を形成する。加熱であれば100〜200℃の温度で2〜60秒乾燥させる。紫外線照射であれば200〜400nm、200〜2500mJ/cmの範囲で行う。 In the present invention, the smooth surface of the conductive metal foil is preferably treated with a silane coupling agent. The silane coupling agent treatment can be performed on the above rust prevention treatment or chromate treatment. By this treatment, the titan coupling agent is adsorbed on the smooth surface, and the adhesion with the resin layer can be improved. Examples of the silane coupling agent include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, epoxy-functional silanes such as 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, N- Amino-functional silanes such as 2- (aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane and N-2- (aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinylphenyltrimethoxysilane, vinyltris (2 Olefin functional silanes such as -methoxyethoxy) silane, acrylic functional silanes such as 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, methacryl functional silanes such as 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysila And mercapto-functional silanes and the like are used. These may be used alone or in combination. These coupling agents are dissolved in a solvent such as water at a concentration of 0.1 to 15 g / L and applied to a metal foil at a temperature of room temperature to 50 ° C. or electrodeposited to be adsorbed. These silane coupling agents form a film by condensation bonding with a hydroxyl group of a rust-preventing metal on the surface of the metal foil. After the silane coupling treatment, a stable bond is formed by heating, ultraviolet irradiation or the like. If it is heating, it is dried at a temperature of 100 to 200 ° C. for 2 to 60 seconds. In the case of ultraviolet irradiation, it is performed in the range of 200 to 400 nm and 200 to 2500 mJ / cm 2 .

樹脂層とシランカップリング剤の組み合わせは、加熱により樹脂層内に存在する樹脂の官能基とシランカップリング剤の官能基が化学反応するように選択することが好ましい。例えば、樹脂中にエポキシ基が含まれる場合、シランカップリング剤としてアミノ官能性シラン(アミノ基、アルキルアミノ基、ジアルキルアミノ基等のアミノ基又はその水素原子のうち1又は2個が置換基で置換されたアミノ基を含むシラン化合物)を選択すると効果がより顕著に発現される。これは、熱によりエポキシ基とアミノ基が容易に強固な化学結合を形成し、この結合が熱や水分に対して極めて安定であることに起因する。このように化学結合を形成する組み合わせとして、エポキシ基−アミノ基、エポキシ基−エポキシ基、エポキシ基−メルカプト基、エポキシ基−水酸基、エポキシ基−カルボキシル基、エポキシ基−シアナト基、アミノ基−水酸基、アミノ基−カルボキシル基、アミノ基−シアナト基などが例示される。   The combination of the resin layer and the silane coupling agent is preferably selected so that the functional group of the resin present in the resin layer and the functional group of the silane coupling agent chemically react by heating. For example, when an epoxy group is contained in the resin, an amino functional silane (amino group such as amino group, alkylamino group, dialkylamino group or the like, or one or two of its hydrogen atoms is a substituent as a silane coupling agent. When a silane compound containing a substituted amino group is selected, the effect is more remarkably exhibited. This is because the epoxy group and amino group easily form a strong chemical bond by heat, and this bond is extremely stable against heat and moisture. As a combination for forming a chemical bond in this manner, epoxy group-amino group, epoxy group-epoxy group, epoxy group-mercapto group, epoxy group-hydroxyl group, epoxy group-carboxyl group, epoxy group-cyanato group, amino group-hydroxyl group , Amino group-carboxyl group, amino group-cyanato group and the like.

プラスチック支持体と導電性金属箔を接着させる樹脂層及び導電性金属で描かれた幾何学図形を被覆する樹脂層としては、主に以下に示す熱可塑性樹脂がその代表的なものとしてあげられる。たとえば天然ゴム(n=1.52:nは屈折率を示す、以下同じ)、ポリイソプレン(n=1.521)、ポリ−1,2−ブタジエン(n=1.50)、ポリイソブテン(n=1.505〜1.51)、ポリブテン(n=1.513)、ポリ−2−ヘプチル−1,3−ブタジエン(n=1.50)、ポリ−2−t−ブチル−1,3−ブタジエン(n=1.506)、ポリ−1,3−ブタジエン(n=1.515)などの(ジ)エン類、ポリオキシエチレン(n=1.456)、ポリオキシプロピレン(n=1.450)、ポリビニルエチルエーテル(n=1.454)、ポリビニルヘキシルエーテル(n=1.459)、ポリビニルブチルエーテル(n=1.456)などのポリエーテル類、ポリビニルアセテート(n=1.467)、ポリビニルプロピオネート(n=1.467)などのポリエステル類やポリビニルブチラール樹脂(n=1.52)、EVA樹脂(n=1.48〜1.49)、ポリ酢酸ビニル樹脂(n=1.5)、ポリウレタン(n=1.5〜1.6)やポリエステルポリウレタン(n==1.5〜1.6)、エチルセルロース(n=1.479)、ポリ塩化ビニル(n=1.54〜1.55)、ポリアクリロニトリル(n=1.52)、ポリメタクリロニトリル(n=1.52)、ポリスルホン(n=1.633)、ポリスルフィド(n=1.6)、フェノキシ樹脂(n=1.5〜1.6)、ポリエチルアクリレート(n=1.469)、ポリブチルアクリレート(n=1.466)、ポリ−2−エチルヘキシルアクリレート(n=1.463)、ポリ−t−ブチルアクリレート(n=1.464)、ポリ−3−エトキシプロピルアクリレート(n=1.465)、ポリオキシカルボニルテトラメタクリレート(n=1.465)、ポリメチルアクリレート(n=1.472〜1.480)、ポリイソプロピルメタクリレート(n=1.473)、ポリドデシルメタクリレート(n=1.474)、ポリテトラデシルメタクリレート(n=1.475)、ポリ−n−プロピルメタクリレート(n=1.484)、ポリ−3,3,5−トリメチルシクロヘキシルメタクリレート(n=1.484)、ポリエチルメタクリレート(n=1.485)、ポリ−2−ニトロ−2−メチルプロピルメタクリレート(n=1.487)、ポリ−1,1−ジエチルプロピルメタクリレート(n=1.489)、ポリメチルメタクリレート(n=1.489)などのポリ(メタ)アクリル酸エステルが使用可能である。これらのアクリルポリマーは必要に応じて、2種類以上共重合されたものでもよいし、2種類以上をブレンドして使用することも可能である。   Typical examples of the resin layer for bonding the plastic support and the conductive metal foil and the resin layer for covering the geometrical figure drawn with the conductive metal include the following thermoplastic resins. For example, natural rubber (n = 1.52: n represents a refractive index, the same applies hereinafter), polyisoprene (n = 1.521), poly-1,2-butadiene (n = 1.50), polyisobutene (n = 1.505 to 1.51), polybutene (n = 1.513), poly-2-heptyl-1,3-butadiene (n = 1.50), poly-2-t-butyl-1,3-butadiene (Di) enes such as (n = 1.506), poly-1,3-butadiene (n = 1.515), polyoxyethylene (n = 1.456), polyoxypropylene (n = 1.450) ), Polyethers such as polyvinyl ethyl ether (n = 1.454), polyvinyl hexyl ether (n = 1.659), polyvinyl butyl ether (n = 1.456), polyvinyl acetate (n = 1.467), poly Polyesters such as nilpropionate (n = 1.467), polyvinyl butyral resin (n = 1.52), EVA resin (n = 1.48-1.49), polyvinyl acetate resin (n = 1. 5), polyurethane (n = 1.5 to 1.6), polyester polyurethane (n == 1.5 to 1.6), ethyl cellulose (n = 1.479), polyvinyl chloride (n = 1.54 to 1.55), polyacrylonitrile (n = 1.52), polymethacrylonitrile (n = 1.52), polysulfone (n = 1.633), polysulfide (n = 1.6), phenoxy resin (n = 1.5-1.6), polyethyl acrylate (n = 1.469), polybutyl acrylate (n = 1.466), poly-2-ethylhexyl acrylate (n = 1.463), poly-t- Tyl acrylate (n = 1.464), poly-3-ethoxypropyl acrylate (n = 1.465), polyoxycarbonyltetramethacrylate (n = 1.465), polymethyl acrylate (n = 1.472-1. 480), polyisopropyl methacrylate (n = 1.473), polydodecyl methacrylate (n = 1.474), polytetradecyl methacrylate (n = 1.475), poly-n-propyl methacrylate (n = 1.484) Poly-3,3,5-trimethylcyclohexyl methacrylate (n = 1.484), polyethyl methacrylate (n = 1.485), poly-2-nitro-2-methylpropyl methacrylate (n = 1.487), Poly-1,1-diethylpropyl methacrylate (n = 1.490), polymer Poly (meth) acrylic acid esters such as til methacrylate (n = 1.490) can be used. Two or more kinds of these acrylic polymers may be copolymerized as required, or two or more kinds may be blended and used.

さらに反応性樹脂としては、エポキシアクリレート(n=1.48〜1.60)、ウレタンアクリレート(n=1.5〜1.6)、ポリエーテルアクリレート(n=1.48〜1.49)、ポリエステルアクリレート(n=1.48〜1.54)なども使用することもできる。特に接着性の点から、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエーテルアクリレートが優れており、エポキシアクリレートとしては、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、アリルアルコールジグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、フタル酸ジグリシジルエステル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等の(メタ)アクリル酸付加物が挙げられる。エポキシアクリレートなどのように反応して又は元々分子内に水酸基を有するポリマーは接着性向上に有効である。これらの反応性樹脂は必要に応じて、2種以上併用することができる。
前記したアミノ官能性シランと反応性のエポキシ基を有する樹脂としては、上記からエポキシ基を有するものが使用できる。
上記の反応性樹脂には硬化剤が併用されることが好ましい。このような硬化剤としてはトリエチレンテトラミン、キシレンジアミン、N−アミノテトラミン、ジアミノジフェニルメタンなどのアミン類、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水ドデシルコハク酸、無水ピロメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの酸無水物、ジアミノジフェニルスルホン、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、ポリアミド樹脂、ジシアンジアミド、エチルメチルイミダゾールなどを使うことができる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上混合して用いてもよい。これらの硬化剤の添加量は上記反応性樹脂100重量部に対して0.1〜50重量部が好ましく、特に1〜30重量部が好ましい。
反応性樹脂は、前記の熱可塑性樹脂と併用することができる。
Furthermore, as the reactive resin, epoxy acrylate (n = 1.48 to 1.60), urethane acrylate (n = 1.5 to 1.6), polyether acrylate (n = 1.48 to 1.49), Polyester acrylate (n = 1.48 to 1.54) or the like can also be used. In particular, urethane acrylate, epoxy acrylate, and polyether acrylate are excellent from the viewpoint of adhesiveness. As the epoxy acrylate, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, allyl alcohol diglycidyl ether, resorcinol (Meth) acrylic such as diglycidyl ether, adipic acid diglycidyl ester, phthalic acid diglycidyl ester, polyethylene glycol diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, pentaerythritol tetraglycidyl ether, sorbitol tetraglycidyl ether An acid adduct is mentioned. A polymer which reacts like an epoxy acrylate or originally has a hydroxyl group in the molecule is effective for improving the adhesion. These reactive resins can be used in combination of two or more as required.
As the resin having an epoxy group reactive with the amino-functional silane, those having an epoxy group can be used.
It is preferable that a curing agent is used in combination with the reactive resin. Such curing agents include amines such as triethylenetetramine, xylenediamine, N-aminotetramine, diaminodiphenylmethane, phthalic anhydride, maleic anhydride, dodecyl succinic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic anhydride, etc. Acid anhydride, diaminodiphenylsulfone, tris (dimethylaminomethyl) phenol, polyamide resin, dicyandiamide, ethylmethylimidazole, and the like can be used. These may be used alone or in combination of two or more. The addition amount of these curing agents is preferably 0.1 to 50 parts by weight, particularly 1 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the reactive resin.
The reactive resin can be used in combination with the thermoplastic resin.

本発明で使用する樹脂には、必要に応じて、赤外線吸収剤、紫外線吸収剤、充填剤、粘着付与剤分散剤、チクソトロピー性付与剤、消泡剤、レベリング剤、希釈剤、可塑剤、酸化防止剤、金属不活性化剤、カップリング剤や充填剤などの添加剤を配合してもよい。これらの樹脂又は樹脂組成物は通常の汎用溶剤に溶解させるか、または無溶剤のまま使用することができる。   For the resin used in the present invention, an infrared absorber, an ultraviolet absorber, a filler, a tackifier dispersant, a thixotropy imparting agent, an antifoaming agent, a leveling agent, a diluent, a plasticizer, and an oxidation, if necessary. You may mix | blend additives, such as an inhibitor, a metal deactivator, a coupling agent, and a filler. These resins or resin compositions can be dissolved in an ordinary general-purpose solvent or used without a solvent.

これらの樹脂又は添加剤を含んだ樹脂組成物の軟化温度は、取り扱い性から200℃以下が好適で、150℃以下がさらに好ましい。プラスチック支持体、樹脂層及び導電性金属箔を順次積層した構成体の製造、また、幾何学図形の上からの被覆の場合の加工性から80〜120℃が最も好ましい。前記反応性樹脂も硬化前には、このような温度で軟化又は流動するものが好ましい。軟化温度は、粘度が1012ポイズ以下になる温度のことで、通常その温度では1〜10秒程度の時間のうちに流動が認められる。
樹脂層は、加熱または加圧(例えば200℃以下の加熱または1Kgf/cm2以上の加圧)により流動性を示すにより流動し接着機能を有するものであることが好ましい。
The softening temperature of the resin composition containing these resins or additives is preferably 200 ° C. or less and more preferably 150 ° C. or less from the viewpoint of handleability. 80 to 120 ° C. is most preferable from the viewpoint of manufacturing a structure in which a plastic support, a resin layer, and a conductive metal foil are sequentially laminated, and workability in the case of covering from a geometric figure. The reactive resin is preferably softened or fluidized at such a temperature before curing. The softening temperature is a temperature at which the viscosity becomes 10 12 poises or less, and normally, the flow is recognized within a time of about 1 to 10 seconds at that temperature.
The resin layer is preferably one that flows and exhibits an adhesive function by exhibiting fluidity by heating or pressurization (for example, heating at 200 ° C. or lower or pressurization at 1 Kgf / cm 2 or higher).

本発明で用いる樹脂層の屈折率として、1.35〜1.70の範囲のものを使用することが好ましい。これは本発明で使用するプラスチック支持体と樹脂層の屈折率が異なると可視光透過率が低下するためであり、屈折率が1.35〜1.70であると可視光透過率の低下が少なく良好で上述したポリマーの屈折率はこの範囲内にある。
本発明で用いる被覆樹脂層の屈折率として、1.35〜1.70の範囲のものを使用することが好ましい。これは本発明で使用するプラスチック支持体又は樹脂層の屈折率と被覆樹脂層の屈折率が異なると可視光透過率が低下するためであり、屈折率が1.35〜1.70であると可視光透過率の低下が少なく良好で上述したポリマーの屈折率はこの範囲内にある。
As a refractive index of the resin layer used by this invention, it is preferable to use the thing of the range of 1.35-1.70. This is because when the refractive index of the plastic support and the resin layer used in the present invention is different, the visible light transmittance is lowered. When the refractive index is 1.35 to 1.70, the visible light transmittance is lowered. The refractive index of the above-mentioned polymer which is small and good is within this range.
The coating resin layer used in the present invention preferably has a refractive index in the range of 1.35 to 1.70. This is because the visible light transmittance is reduced when the refractive index of the plastic support or resin layer used in the present invention is different from the refractive index of the coating resin layer, and the refractive index is 1.35 to 1.70. The refractive index of the above-described polymer, which is good with little reduction in visible light transmittance, is within this range.

本発明で使用するプラスチック支持体としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、エチレン−ビニルアセテート共重合体(EVA)などのポリオレフィン類、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂などのプラスチックからなるフィルムで無色あるいは有色を含め全可視光透過率が70%以上で厚さが1mm以下のものが好ましい。これらは単層で使用することもできるが、2層以上を組み合わせた多層フィルムとして使用してもよい。このうち透明性、耐熱性、取り扱いやすさ、価格の点からポリエチレンテレフタレートフィルムまたはポリカーボネートフィルムが好ましい。プラスチックフィルムの厚さは、5〜500μmがより好ましい。5μm未満だと取り扱い性が悪くなり、500μmを超えると可視光の透過率が低下してくる。10〜200μmがさらに好ましい。プラスチック支持体の他面には、真空蒸着法、スパッタ法、CVD法、スプレー法、プリント印刷法などの方法で金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、コバルト、クロム、スズ、チタンなどやこれらの合金、あるいは酸化インジウム、酸化スズおよびその混合物(以下ITO)をはじめ、酸化チタン、酸化第二スズ、酸化カドミウムやこれらの混合物を用いて、導電性の薄膜層を形成してあってもよい。   Examples of the plastic support used in the present invention include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate, polyolefins such as polyethylene, polypropylene, polystyrene, and ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA), polyvinyl chloride, A film made of plastic such as vinyl resin such as polyvinylidene chloride, polysulfone, polyethersulfone, polycarbonate, polyamide, polyimide, acrylic resin, etc. It has a total visible light transmittance of 70% or more, including colorless or colored, and a thickness of 1 mm. The following are preferred. These can be used as a single layer, but may be used as a multilayer film in which two or more layers are combined. Among these, a polyethylene terephthalate film or a polycarbonate film is preferable from the viewpoint of transparency, heat resistance, ease of handling, and price. As for the thickness of a plastic film, 5-500 micrometers is more preferable. When the thickness is less than 5 μm, the handleability deteriorates, and when the thickness exceeds 500 μm, the visible light transmittance decreases. 10-200 micrometers is further more preferable. On the other side of the plastic support, gold, silver, copper, aluminum, nickel, iron, cobalt, chromium, tin, titanium, etc. can be used by methods such as vacuum deposition, sputtering, CVD, spraying, and printing. A conductive thin film layer may be formed using these alloys, or indium oxide, tin oxide and a mixture thereof (hereinafter referred to as ITO), titanium oxide, stannic oxide, cadmium oxide or a mixture thereof. Good.

樹脂層とプラスチック支持体との接着性を向上させるため、プラスチック支持体に種々の表面処理を施すことができる。表面処理としては、プライマ塗布による処理、プラズマ処理、コロナ放電処理等が有効である。これらの処理により処理後のプラスチック支持体の臨界表面張力が35dyn/cm以上になることが好ましく、40dyn/cm以上がさらに好ましい。臨界表面張力が35dyn/cm未満では樹脂層との接着性が低下してくる傾向にある。   In order to improve the adhesion between the resin layer and the plastic support, the plastic support can be subjected to various surface treatments. As the surface treatment, a primer coating treatment, a plasma treatment, a corona discharge treatment or the like is effective. With these treatments, the critical surface tension of the plastic support after treatment is preferably 35 dyn / cm or more, more preferably 40 dyn / cm or more. When the critical surface tension is less than 35 dyn / cm, the adhesiveness with the resin layer tends to decrease.

プラスチック支持体と導電性金属箔を接着するには、プラスチック支持体又は導電性金属箔に前記の樹脂又は樹脂組成物を塗布する方法、フィルム状の樹脂又は樹脂組成物を積層する方法により、樹脂層を形成し、樹脂層を介して両者を圧着する方法がある。この場合、樹脂層はプラスチック支持体又は導電性金属箔の両方に形成されていてもよく、導電性金属箔の貼り合わせ面又は樹脂層形成面は前記した滑らかな面である。
樹脂又は樹脂組成物の塗布方法としては、樹脂又は樹脂組成物を溶剤に溶解又は分散させたワニスをキスコーター、ロールコーター、コンマコーター等を用いて塗布する方法がある。その後、加熱ならびに乾燥させるが、条件は常温〜200℃の温度(より好ましくは50℃以上)で1〜30分とするのが適当であり、加熱、乾燥後の樹脂組成物中における残留溶剤量は、0.2〜10%程度が適当である。なお、反応性樹脂を使用した場合には、完全に硬化させることなく、半硬化の状態にしておくことが好ましい。
前記の圧着する条件としては、温度50〜150℃、圧力0.1〜5MPa、減圧下又は大気圧下が適当である。樹脂層の厚さは10〜300μm程度が好適である。
In order to adhere the plastic support and the conductive metal foil, the resin or the resin composition is applied to the plastic support or the conductive metal foil, or the film-like resin or the resin composition is laminated. There is a method in which a layer is formed and both are bonded through a resin layer. In this case, the resin layer may be formed on both the plastic support or the conductive metal foil, and the bonding surface or the resin layer forming surface of the conductive metal foil is the smooth surface described above.
As a method for applying the resin or the resin composition, there is a method in which a varnish obtained by dissolving or dispersing the resin or the resin composition in a solvent is applied using a kiss coater, a roll coater, a comma coater or the like. Thereafter, heating and drying are performed, and it is appropriate that the temperature is from room temperature to 200 ° C. (more preferably, 50 ° C. or more) for 1 to 30 minutes. The amount of residual solvent in the resin composition after heating and drying Is suitably about 0.2 to 10%. In addition, when reactive resin is used, it is preferable to make it a semi-hardened state, without making it harden | cure completely.
As the conditions for the pressure bonding, a temperature of 50 to 150 ° C., a pressure of 0.1 to 5 MPa, a reduced pressure or an atmospheric pressure are appropriate. The thickness of the resin layer is preferably about 10 to 300 μm.

樹脂層は、活性エネルギー線を照射することにより硬化する層(感光性樹脂層)であることが好ましい。活性エネルギー線としてが、紫外線、電子線等の放射線がある。り硬化する接着剤組成物のことで、感光性樹脂層は、好適には、プラスチック支持体、樹脂層及び導電性金属箔を順次積層した構成体にkついて導電性金属で描かれる幾何学図形を形成後、活性エネルギー線を照射して硬化させることが望ましい。その後であれば、電磁波シールド性接着フィルムの被着体である電磁波遮蔽体又はディスプレイに構成した後に活性エネルギー線を照射して、感光性樹脂層を硬化させてもよい。被着体に接着させる前に照射して予め硬化の程度を少し進めておくこともできる。この場合、硬化の程度を進めた後の樹脂層の溶融粘度が、200℃における回転粘度計により測定した数値で、10000ポイズ以下であることが好ましい。これは、樹脂層の硬化の程度を進めた後でも貼り付けによる接着等の加工を可能とするため樹脂層の流動性を確保しておくためである。硬化を完全にした状態でも接着剤層が流動性や接着性を発現できるものであればそれでも良い。   It is preferable that a resin layer is a layer (photosensitive resin layer) hardened | cured by irradiating an active energy ray. Active energy rays include radiation such as ultraviolet rays and electron beams. The photosensitive resin layer is preferably a geometric figure drawn with a conductive metal for a structure in which a plastic support, a resin layer and a conductive metal foil are sequentially laminated. After forming, it is desirable to cure by irradiating with active energy rays. After that, the photosensitive resin layer may be cured by irradiating an active energy ray after constituting an electromagnetic wave shielding body or display which is an adherend of the electromagnetic wave shielding adhesive film. It is also possible to slightly advance the degree of curing in advance by irradiation before adhering to the adherend. In this case, the melt viscosity of the resin layer after progressing the degree of curing is a numerical value measured with a rotational viscometer at 200 ° C. and is preferably 10000 poise or less. This is because the fluidity of the resin layer is secured in order to enable processing such as adhesion by pasting even after the degree of curing of the resin layer has been advanced. Any adhesive layer may be used as long as the adhesive layer can exhibit fluidity and adhesiveness even in a completely cured state.

本発明で使用する活性エネルギー線である紫外線、電子線等により硬化する樹脂層の材料としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂等をベースポリマとし、各々にラジカル重合性あるいはカチオン重合性官能基を付与させた材料が例示できる。ラジカル重合性官能基として、アクリル基(アクリロイル基),メタクリル基(メタクリロイル基),ビニル基,アリル基などの炭素−炭素二重結合があり、反応性の良好なアクリル基(アクリロイル基)が好適に用いられる。カチオン重合性官能基としては、エポキシ基(グリシジルエーテル基、グリシジルアミン基)が代表的であり、高反応性の脂環エポキシ基が好適に用いられる。具体的な材料としては、アクリルウレタン、エポキシ(メタ)アクリレート、エポキシ変性ポリブタジエン、エポキシ変性ポリエステル、ポリブタジエン(メタ)アクリレート、アクリル変性ポリエステル等が挙げられる。   As the material of the resin layer that is cured by ultraviolet rays, electron beams, etc., which are active energy rays used in the present invention, an acrylic resin, epoxy resin, polyester resin, urethane resin, etc. are used as the base polymer, and each is radically polymerizable or cationically polymerized. Examples thereof include materials provided with a functional functional group. As radically polymerizable functional groups, there are carbon-carbon double bonds such as acrylic group (acryloyl group), methacryl group (methacryloyl group), vinyl group, allyl group, etc., and highly reactive acrylic group (acryloyl group) is suitable. Used for. As the cationically polymerizable functional group, an epoxy group (glycidyl ether group, glycidylamine group) is representative, and a highly reactive alicyclic epoxy group is preferably used. Specific materials include acrylic urethane, epoxy (meth) acrylate, epoxy-modified polybutadiene, epoxy-modified polyester, polybutadiene (meth) acrylate, and acrylic-modified polyester.

活性エネルギー線が紫外線の場合、紫外線硬化時に添加される光増感剤あるいは光開始剤としては、ベンゾフェノン系、アントラキノン系、ベンゾイン系、スルホニウム塩、ジアゾニウム塩、オニウム塩、ハロニウム塩等の公知の材料を使用することができる。   When the active energy ray is ultraviolet, photosensitizers or photoinitiators added at the time of ultraviolet curing include known materials such as benzophenone, anthraquinone, benzoin, sulfonium salt, diazonium salt, onium salt, and halonium salt. Can be used.

本発明で幾何学図形を描く際に用いられる方法としては、幾何学図形に相当する回路の加工の精度および回路の加工の効率の点から有効であるマイクロリソグラフ法を用いることができる。この際、フォトレジスト等のエッチングに対するマスク材料によるパターン形成の工程があるが、これには、フォトレシスト層の形成工程、露光工程及びエッチングによるパターン形成工程を含む方法、エッチングに対するマスク材料であるインクレジストを用いる印刷法(例えば、凸版反転オフセット印刷法、スクリーン印刷法、平版オフセット印刷、凹版オフセット印刷法等)などを利用することができる。フォトリソグラフ法は50μm以下の高精度のライン形成性に優れており、好適である。凸版反転オフセット法は、版の凹部にインクレジストを詰め、一旦ブランケットにインクレジストを移し、これから導電性金属箔上に印刷する方法である。   As a method used when drawing a geometric figure in the present invention, a microlithographic method that is effective in terms of the accuracy of processing a circuit corresponding to the geometric figure and the efficiency of processing the circuit can be used. At this time, there is a pattern forming process using a mask material for etching such as a photoresist. This includes a method including a photo resist layer forming process, an exposure process and a pattern forming process by etching, and an ink that is a mask material for etching. A printing method using a resist (for example, a letterpress reverse offset printing method, a screen printing method, a planographic offset printing method, an intaglio offset printing method, etc.) can be used. The photolithographic method is excellent because it is excellent in line formation with high accuracy of 50 μm or less. The relief reversal offset method is a method in which an ink resist is filled in a concave portion of a plate, the ink resist is once transferred to a blanket, and then printed on a conductive metal foil.

マイクロリソグラフ法には、フォトリソグラフ法、X線リソグラフ法、電子線リソグラフ法、イオンビームリソグラフ法などがある。これらの中でも、その簡便性、量産性の点からフォトリソグラフ法が最も効率がよい。なかでも、ケミカルエッチング法を使用したフォトリソグラフ法は、その簡便性、経済性、回路加工精度などの点から最も好ましい。フォトリソグラフ法の中ではエッチャント液を用いるケミカルエッチング法の他にも、レジストパターン上から必要部分に無電解めっきや電気めっきによって導電性回路を形成する方法、または無電解めっきや電気めっきによって導電性回路を形成する方法とケミカルエッチング法を組み合わせることも可能である。   Examples of the microlithographic method include a photolithographic method, an X-ray lithographic method, an electron beam lithographic method, and an ion beam lithographic method. Among these, the photolithographic method is the most efficient in terms of its simplicity and mass productivity. Of these, the photolithographic method using the chemical etching method is most preferable from the viewpoint of its simplicity, economy, and circuit processing accuracy. In the photolithographic method, in addition to the chemical etching method using an etchant solution, a conductive circuit is formed on the resist pattern by electroless plating or electroplating on the resist pattern, or conductive by electroless plating or electroplating. It is also possible to combine the method of forming a circuit with the chemical etching method.

前記印刷法を利用する場合、エッチングに対するマスク材料としてのインクレジストが使用される。そのバインダポリマーとしては、以下に示すものが挙げられる。天然ゴム、ポリイソプレン、ポリ−1,2−ブタジエン、ポリイソブテン、ポリブテン、ポリ−2−ヘプチル−1,3−ブタジエン、ポリ−2−t−ブチル−1,3−ブタジエン、ポリ−1,3−ブタジエンなどの(ジ)エン類、ポリオキシエチレン、ポリオキシプロピレン、ポリビニルエチルエーテル、ポリビニルヘキシルエーテル、ポリビニルブチルエーテルなどのポリエーテル類、ポリビニルアセテート、ポリビニルプロピオネートなどのポリエステル類、ポリウレタン、エチルセルロース、ポリ塩化ビニル、ポリアクリロニトリル、ポリメタクリロニトリル、ポリスルホン、ポリスルフィド、ポリエチルアクリレート、ポリブチルアクリレート、ポリ−2−エチルヘキシルアクリレート、ポリ−t−ブチルアクリレート、ポリ−3−エトキシプロピルアクリレート、ポリオキシカルボニルテトラメタクリレート、ポリメチルアクリレート、ポリイソプロピルメタクリレート、ポリドデシルメタクリレート、ポリテトラデシルメタクリレート、ポリ−n−プロピルメタクリレート、ポリ−3,3,5−トリメチルシクロヘキシルメタクリレート、ポリエチルメタクリレート、ポリ−2−ニトロ−2−メチルプロピルメタクリレート、ポリ−1,1−ジエチルプロピルメタクリレート、ポリメチルメタクリレートなどのポリ(メタ)アクリル酸エステルを使用することができる。さらにアクリル樹脂とアクリル以外との共重合可能なモノマーとしては、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ポリエステルアクリレートなども使用できる。特に導電性金属箔への濡れ性の点から、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエーテルアクリレートが優れており、エポキシアクリレートとしては、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、アリルアルコールジグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、フタル酸ジグリシジルエステル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等の(メタ)アクリル酸付加物が挙げられる。エポキシアクリレートなどのように反応して又は元々分子内に水酸基を有するポリマーは濡れ性や密着性向上に有効である。これらの共重合樹脂は必要に応じて、2種以上併用することができる。これらの他にも、フェノール樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、キシレン樹脂のような熱硬化性樹脂などが適用可能で、これらのポリマーは必要に応じて、2種以上共重合してもよいし、2種類以上をブレンドして使用することも可能である。これらのバインダポリマーは通常、汎用溶剤に溶解させるか、または無溶剤のまま下記の添加剤とともに攪拌・混合して使用することができる。本発明で使用するインクレジストには、バインダポリマーの他、必要に応じて、分散剤、チクソトロピー性付与剤、消泡剤、レベリング剤、希釈剤、可塑化剤、酸化防止剤、金属不活性化剤、カップリング剤、充填剤、導電性粒子などの添加剤を配合しても良い。そして、インクレジストには、紫外線(UV)または熱で硬化するインクを用いることが、レジストの取扱性、ケミカルエッチング時の耐薬品性、レジストを設けて使用する場合に有利であるので好ましい。印刷配線板分野で使用されている感光性樹脂や導電性ペーストなどの組成を変形させて適用することができる。   When the printing method is used, an ink resist is used as a mask material for etching. Examples of the binder polymer include those shown below. Natural rubber, polyisoprene, poly-1,2-butadiene, polyisobutene, polybutene, poly-2-heptyl-1,3-butadiene, poly-2-t-butyl-1,3-butadiene, poly-1,3- (Di) enes such as butadiene, polyoxyethylene, polyoxypropylene, polyvinyl ethyl ether, polyvinyl hexyl ether, polyethers such as polyvinyl butyl ether, polyesters such as polyvinyl acetate and polyvinyl propionate, polyurethane, ethyl cellulose, poly Vinyl chloride, polyacrylonitrile, polymethacrylonitrile, polysulfone, polysulfide, polyethyl acrylate, polybutyl acrylate, poly-2-ethylhexyl acrylate, poly-t-butyl acrylate, poly-3- Toxipropyl acrylate, polyoxycarbonyl tetramethacrylate, polymethyl acrylate, polyisopropyl methacrylate, polydodecyl methacrylate, polytetradecyl methacrylate, poly-n-propyl methacrylate, poly-3,3,5-trimethylcyclohexyl methacrylate, polyethyl methacrylate, Poly (meth) acrylic acid esters such as poly-2-nitro-2-methylpropyl methacrylate, poly-1,1-diethylpropyl methacrylate, and polymethyl methacrylate can be used. Furthermore, epoxy acrylate, urethane acrylate, polyether acrylate, polyester acrylate, or the like can be used as a copolymerizable monomer other than acrylic resin and acrylic. In particular, urethane acrylate, epoxy acrylate, and polyether acrylate are excellent in terms of wettability to conductive metal foil. As epoxy acrylate, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, allyl Alcohol diglycidyl ether, resorcinol diglycidyl ether, adipic acid diglycidyl ester, phthalic acid diglycidyl ester, polyethylene glycol diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, pentaerythritol tetraglycidyl ether, sorbitol tetraglycidyl ether (Meth) acrylic acid adducts such as A polymer which reacts like an epoxy acrylate or originally has a hydroxyl group in the molecule is effective for improving wettability and adhesion. These copolymer resins can be used in combination of two or more as required. In addition to these, thermosetting resins such as phenol resins, melamine resins, epoxy resins, xylene resins, etc. are applicable, and these polymers may be copolymerized in two or more types, if necessary. Two or more kinds can be blended and used. These binder polymers can usually be used by dissolving in a general-purpose solvent or stirring and mixing with the following additives without solvent. In addition to the binder polymer, the ink resist used in the present invention includes a dispersant, a thixotropic agent, an antifoaming agent, a leveling agent, a diluent, a plasticizer, an antioxidant, and a metal deactivator as necessary. You may mix | blend additives, such as an agent, a coupling agent, a filler, and electroconductive particle. As the ink resist, it is preferable to use an ink that is cured by ultraviolet rays (UV) or heat because it is advantageous in handling the resist, chemical resistance during chemical etching, and when using the resist. The composition of a photosensitive resin or a conductive paste used in the printed wiring board field can be modified and applied.

前記したマスク材料によるパターン(レジストパターン)の形成法の一つである凸版反転オフセット印刷法によれば、インクレジストがキャップコ−タの毛細管現象等を利用してロ−ル形状の回転胴上の離型性面(ブランケット)に供給・塗布され、数分間乾燥された後、ロ−ル状又は平板状の凸版を押圧して不要なインクレジストは転写除去され、ロ−ル形状の離型性面(ブランケット)に残ったインクレジストが導電性金属箔、樹脂層、プラスチック支持体からなる構成体の導電性金属箔に転写される。これによって、所望のレジストパタ−ンが形成される。   According to the relief reversal offset printing method, which is one of the methods for forming a pattern (resist pattern) using the mask material described above, the ink resist is formed on a roll-shaped rotating cylinder by utilizing the capillarity of the cap coater. After being supplied and applied to the mold release surface (blanket) and dried for several minutes, the roll-shaped or flat relief is pressed to transfer and remove unnecessary ink resist. The ink resist remaining on the conductive surface (the blanket) is transferred to the conductive metal foil of the structure composed of the conductive metal foil, the resin layer, and the plastic support. As a result, a desired resist pattern is formed.

導電性金属箔の幾何学図形としては、正三角形、二等辺三角形、直角三角形などの三角形、正方形、長方形、ひし形、平行四辺形、台形などの四角形、(正)六角形、(正)八角形、(正)十二角形、(正)二十角形などの(正)n角形、円、だ円、星型などを組み合わせた模様であり、これら単位の単独の繰り返し、あるいは2種類以上組み合わせで使用することも可能である。電磁波シールド性の観点からは三角形が最も有効であるが、可視光透過性の点からは同一のライン幅なら(正)n角形のn数が大きいほど開口率が上がるが、可視光透過性の点から開口率は50%以上が必要で、60%以上がさらに好ましい。開口率は、電磁波シールド性透明フィルムの有効面積に対する有効面積から導電性金属箔で描かれた幾何学図形の導電性金属箔の面積を引いた面積の比の百分率である。ディスプレイ画面の面積を電磁波シールド性透明フィルムの有効面積とした場合、その画面が見える割合となる。   Geometric figures of conductive metal foil include triangles such as regular triangles, isosceles triangles, right triangles, squares such as squares, rectangles, rhombuses, parallelograms, trapezoids, (positive) hexagons, (positive) octagons , (Regular) dodecagons, (positive) n-decagons such as (decorative) dodecagons, circles, ellipses, star shapes, etc., these units can be repeated alone or in combination of two or more It is also possible to use it. From the viewpoint of electromagnetic shielding properties, the triangle is the most effective, but from the point of view of visible light transmittance, the aperture ratio increases as the n number of (positive) n-gons increases with the same line width. In view of this, the aperture ratio needs to be 50% or more, and more preferably 60% or more. The aperture ratio is a percentage of the ratio of the area obtained by subtracting the area of the conductive metal foil of the geometric figure drawn with the conductive metal foil from the effective area with respect to the effective area of the electromagnetic wave shielding transparent film. When the area of the display screen is the effective area of the electromagnetic shielding transparent film, the screen is visible.

このような幾何学図形のライン幅は40μm以下、ライン間隔は100μm以上、ライン厚みは40μm以下の範囲とするのが好ましい。また幾何学図形の非視認性の観点からライン幅は25μm以下、可視光透過率の点からライン間隔は120μm以上、ライン厚み18μm以下がさらに好ましい。ライン厚みは、薄くなると抵抗が増加しシールド性が低下するので0.5μm以上が好ましい。ライン間隔は、大きいほど開口率は向上し、可視光透過率は向上するが、電磁波シールド性が低下するため、ライン幅は1mm以下とするのが好ましい。ライン間隔は、大きすぎると電磁波シールド性が低下しやすくなるため500μm以下が好ましい。なお、ライン間隔は、幾何学図形等の組合せで複雑となる場合、繰り返し単位を基準として、その面積を正方形の面積に換算してその一辺の長さをライン間隔とする。   Such a geometric figure preferably has a line width of 40 μm or less, a line interval of 100 μm or more, and a line thickness of 40 μm or less. The line width is more preferably 25 μm or less from the viewpoint of non-visibility of the geometric figure, and the line interval is more preferably 120 μm or more and the line thickness is 18 μm or less from the viewpoint of visible light transmittance. The line thickness is preferably 0.5 μm or more because the resistance increases and the shielding performance decreases as the line thickness decreases. The larger the line interval, the better the aperture ratio and the visible light transmittance, but the electromagnetic wave shielding property is lowered. Therefore, the line width is preferably 1 mm or less. If the line spacing is too large, the electromagnetic wave shielding property tends to be lowered, and therefore it is preferably 500 μm or less. When the line interval is complicated by a combination of geometric figures or the like, the area is converted into a square area with the repetition unit as a reference, and the length of one side is set as the line interval.

本発明中に用いられる導電性金属箔上に金属めっきを施すことによって、さらに電磁波シールド性を向上させることもできる。金属めっきを施す方法として常法による電解めっき、無電解めっき等のいずれの方法でも可能である。めっき金属の種類は金、銀、銅、ニッケル、アルミ等が可能であるが、導電性、価格の点から銅、またはニッケルが好ましい。めっき厚みの範囲は0.1〜100μmが適当で、0.1μm未満では導電性が不十分なため、十分なシールド性が発現しないおそれがある。まためっき厚みが100μmを超えると、視野角が狭くなるため好ましくない。0.5〜50μmがさらに好ましい。導電性金属箔が黒化処理された導電性金属箔であると、後に形成した幾何学図形の表面が黒色であり、コントラストが高くなり好ましい。また経時的に酸化され退色されることが防止できる。また、幾何学図形を形成した後に黒化処理を施すこともできる。例えば、黒化処理は、プリント配線板分野で行われている方法を用いて行うことができ、導電性金属箔が銅である場合、亜塩素酸ナトリウム(31g/l)、水酸化ナトリウム(15g/l)、燐酸三ナトリウム(12g/l)の水溶液中、95℃で2分間処理することにより行うことができる。   The electromagnetic wave shielding property can be further improved by performing metal plating on the conductive metal foil used in the present invention. As a method of performing metal plating, any method such as electrolytic plating or electroless plating by a conventional method is possible. The type of plating metal can be gold, silver, copper, nickel, aluminum, etc., but copper or nickel is preferable from the viewpoint of conductivity and cost. The range of the plating thickness is suitably from 0.1 to 100 μm, and if it is less than 0.1 μm, the conductivity is insufficient, so that sufficient shielding properties may not be exhibited. On the other hand, if the plating thickness exceeds 100 μm, the viewing angle becomes narrow, which is not preferable. More preferably, it is 0.5-50 micrometers. It is preferable that the conductive metal foil is a blackened conductive metal foil because the surface of the geometric figure formed later is black and the contrast is high. Further, it can be prevented from being oxidized and fading over time. Further, the blackening process can be performed after the geometric figure is formed. For example, the blackening treatment can be performed using a method performed in the printed wiring board field. When the conductive metal foil is copper, sodium chlorite (31 g / l), sodium hydroxide (15 g / L) and a treatment in an aqueous solution of trisodium phosphate (12 g / l) at 95 ° C. for 2 minutes.

プラスチック支持体に樹脂層を介して導電性金属箔をその滑らかな面を樹脂層側にして積層し、その導電性金属箔を開口率が50%以上となるように一部除去して幾何学図形を形成する際、又はその後、この幾何学図形と導通しているアース部をその周りに額縁状に形成することが好ましい。この額縁部は幾何学図形の一部として形成されることが好ましいが、プラスチック支持体上又は樹脂層の上に幾何学図形に接続するように別個に額縁部を形成しても良い。額縁部は導電性金属のめっき、導電性金属箔の貼り付け、導電性導電性塗料の塗布等により行うことができる。   A conductive metal foil is laminated on a plastic support through a resin layer with the smooth side facing the resin layer, and part of the conductive metal foil is removed so that the aperture ratio is 50% or more. When forming a figure, or after that, it is preferable to form the earth | ground part which is connected with this geometric figure in the shape of a frame around it. The frame portion is preferably formed as a part of the geometric figure, but the frame part may be separately formed on the plastic support or the resin layer so as to connect to the geometric figure. The frame portion can be formed by plating a conductive metal, attaching a conductive metal foil, applying a conductive conductive paint, or the like.

プラスチック支持体に樹脂層を介して導電性金属箔をその滑らかな面を樹脂層側にして積層し、その導電性金属箔を開口率が50%以上となるように一部除去して幾何学図形を形成した後、さらに、樹脂層を積層してもよい。この樹脂層は前記した樹脂層と同様のものであり、その形成方法も前記と同様にできる。これにより、電磁波シールドフィルムの透明性を優れたものとすることができる。本発明において、滑らかな面を有する導電性金属箔を使用しているため、これを前記の樹脂層に貼着し、不要部分を除去しても、その部分の透明性(電磁波シーリドフィルムとしての透明性)は、大きくは損なわれないが、金属箔の積層と除去工程の間に損なわれた透明性を、その上に樹脂層を積層することにより回復することができる。   A conductive metal foil is laminated on a plastic support through a resin layer with the smooth side facing the resin layer, and part of the conductive metal foil is removed so that the aperture ratio is 50% or more. After forming the figure, a resin layer may be further laminated. This resin layer is the same as the resin layer described above, and the formation method can be the same as described above. Thereby, the transparency of the electromagnetic wave shielding film can be made excellent. In this invention, since the conductive metal foil which has a smooth surface is used, even if this is stuck to the said resin layer and an unnecessary part is removed, the transparency of the part (as an electromagnetic shielding film) The transparency of the metal foil is not greatly impaired, but the transparency lost during the lamination and removal process of the metal foil can be recovered by laminating a resin layer thereon.

本発明における電磁波シールド性透明フィルムには、反射防止層、近赤外線遮蔽層等が積層されていてもよい。プラスチック支持体又樹脂層(若しくは被覆樹脂層)そのものが反射防止層、近赤外線遮蔽層を兼ねていてもよい。プラスチック支持体又樹脂層(若しくは被覆樹脂層)と別に反射防止層、近赤外線遮蔽層等を積層するときは、その積層位置としては、プラスチック支持体の導電性金属箔の存在する面と逆側の面。プラスチック支持体と樹脂層の間、被覆樹脂層の上など任意である。これら層の形成方法は、前記樹脂層と同様に行うことができる。   In the electromagnetic wave shielding transparent film of the present invention, an antireflection layer, a near infrared shielding layer, and the like may be laminated. The plastic support or the resin layer (or coating resin layer) itself may also serve as an antireflection layer and a near infrared shielding layer. When laminating an antireflection layer, near-infrared shielding layer, etc. separately from the plastic support or resin layer (or coating resin layer), the laminating position is the opposite side of the surface of the plastic support where the conductive metal foil is present. Plane. It is optional between the plastic support and the resin layer, or on the coating resin layer. The formation method of these layers can be performed similarly to the said resin layer.

近赤外線遮蔽層とするためには、近赤外線吸収剤をその層に含有させる。近赤外線吸収剤としては、酸化鉄、酸化セリウム、酸化スズや酸化アンチモンなどの金属酸化物、またはインジウム−スズ酸化物(以下ITO)、六塩化タングステン、塩化スズ、硫化第二銅、クロム−コバルト錯塩、チオール−ニッケル錯体またはアミニウム化合物、ジイモニウム化合物(日本化薬株式会社製商品名)またはアントラキノン系(SIR−114)、金属錯体系(SIR−128、SIR−130、SIR−132、SIR−159、SIR−152、SIR−162)、フタロシアニン系(SIR−103)(以上、三井東圧化学株式会社製商品名)などの有機などが挙げられる。これらの近赤外線吸収性化合物のうち、最も効果的に赤外線を吸収する効果があるのは、硫化第二銅、ITO、アミニウム化合物、ジイモニウム化合物や金属錯体系などの近赤外線吸収剤である。有機系赤外線吸収剤以外の赤外線吸収剤の場合、これらの化合物の一次粒子の粒径に注意する必要がある。
粒径が赤外線の波長より大きすぎると遮蔽効率は向上するが、粒子表面で乱反射が起き、ヘイズが増大するため透明性が低下する。一方、粒径が赤外線の波長に比べて短かすぎると遮蔽効果が低下する。好ましい粒径は0.01〜5μmで0.1〜3μmがさらに好ましい。
In order to make a near-infrared shielding layer, a near-infrared absorber is contained in the layer. Near-infrared absorbers include metal oxides such as iron oxide, cerium oxide, tin oxide and antimony oxide, or indium-tin oxide (hereinafter referred to as ITO), tungsten hexachloride, tin chloride, cupric sulfide, chromium-cobalt. Complex salt, thiol-nickel complex or aminium compound, diimonium compound (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) or anthraquinone (SIR-114), metal complex (SIR-128, SIR-130, SIR-132, SIR-159) , SIR-152, SIR-162), organic compounds such as phthalocyanine (SIR-103) (trade name, manufactured by Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd.), and the like. Among these near-infrared absorbing compounds, those that are most effective in absorbing infrared rays are near-infrared absorbers such as cupric sulfide, ITO, aminium compounds, diimonium compounds, and metal complex systems. In the case of infrared absorbers other than organic infrared absorbers, it is necessary to pay attention to the particle size of the primary particles of these compounds.
When the particle size is too larger than the wavelength of infrared rays, the shielding efficiency is improved, but irregular reflection occurs on the particle surface and haze increases, so that the transparency is lowered. On the other hand, if the particle size is too short compared to the infrared wavelength, the shielding effect is reduced. The preferred particle size is 0.01-5 μm, more preferably 0.1-3 μm.

近赤外線吸収はバインダー樹脂に溶解又は分散させて使用される。バインダ樹脂としては前記した樹脂層用の樹脂が使用でき、前記した感光性樹脂であってもよい。
近赤外線吸収剤のバインダー樹脂として、特に例示するとビスフェノールA型エポキシ樹脂やビスフェノールF型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂などのエポキシ系樹脂、ポリイソプレン、ポリ−1,2−ブタジエン、ポリイソブテン、ポリブテンなどのジエン系樹脂、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、t−ブチルアクリレートなどからなるポリアクリル酸エステル共重合体、ポリビニルアセテート、ポリビニルプロピオネートなどのポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、EVAなどのポリオレフィン系樹脂などのバインダー樹脂中に均一に分散される。その配合の最適量は、バインダー樹脂100重量部に対して赤外線吸収剤が0.01〜10重量部であるが、0.1〜5重量部がさらに好ましい。0.01重量部未満では赤外線遮蔽効果が少なく、10重量部を超えると透明性が損なわれる。
Near infrared absorption is used by dissolving or dispersing in a binder resin. As the binder resin, the resin for the resin layer described above can be used, and the above-described photosensitive resin may be used.
Specific examples of binder resins for near infrared absorbers include epoxy resins such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, and novolak type epoxy resin, polyisoprene, poly-1,2-butadiene, polyisobutene, polybutene, and the like. Polyene acrylate copolymer consisting of diene resin, ethyl acrylate, butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, t-butyl acrylate, etc., polyester resins such as polyvinyl acetate, polyvinyl propionate, polyethylene, polypropylene, polystyrene, EVA It is uniformly dispersed in a binder resin such as a polyolefin resin. The optimum amount of the compound is 0.01 to 10 parts by weight of the infrared absorber with respect to 100 parts by weight of the binder resin, and more preferably 0.1 to 5 parts by weight. If it is less than 0.01 part by weight, the infrared shielding effect is small, and if it exceeds 10 parts by weight, the transparency is impaired.

本発明の電磁波遮蔽体で使用する透明基材は、ガラスやプラスチック等からなる板である。ガラスとしては、ソーダガラス、無アルカリガラス、強化ガラス等のガラスを使用することができる。プラスチックとしては、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂などの熱可塑性ポリエステル樹脂、酢酸セルロース樹脂、フッ素樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂、ポリウレタン樹脂、フタル酸ジアリル樹脂などの熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂が挙げられる。これらの中でも透明性に優れるポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂が好適に用いられる。
本発明で使用する透明基材の厚みは、0.5mm〜5mmがディスプレイの保護や強度、取扱性から好ましい。
The transparent substrate used in the electromagnetic wave shielding body of the present invention is a plate made of glass or plastic. As the glass, glass such as soda glass, non-alkali glass, and tempered glass can be used. Plastics include polystyrene resin, acrylic resin, polymethyl methacrylate resin, polycarbonate resin, polyvinyl chloride resin, polyvinylidene chloride resin, polyethylene resin, polypropylene resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polyetheretherketone Resin, polyarylate resin, polyacetal resin, polybutylene terephthalate resin, thermoplastic polyester resin such as polyethylene terephthalate resin, cellulose acetate resin, fluororesin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polymethylpentene resin, polyurethane resin, diallyl phthalate Examples thereof include thermoplastic resins such as resins and thermosetting resins. Among these, polystyrene resins, acrylic resins, polymethyl methacrylate resins, polycarbonate resins, and polyvinyl chloride resins that are excellent in transparency are preferably used.
The thickness of the transparent substrate used in the present invention is preferably 0.5 mm to 5 mm in view of display protection, strength, and handleability.

電磁波遮蔽体は、上記の透明基材と電磁波シールド性透明フィルムから構成され、透明基材の少なくとも片面に電磁波シールド性透明フィルムの何れかの面を積層する。この場合、電磁波シールド性透明フィルムの表面に接着層を積層し、この接着層を介して積層してもよい。接着層としては、前記したいずれかの樹脂層を接着層からなる樹脂層として用いてもよい。接着性を有する層としては、前記した樹脂層から接着性又は粘着性を有するものを選択して利用することができる。接着層は、それ自身加圧又は加熱により流動するもの、また前記樹脂層において加圧又は加熱(好ましくは80〜200℃に加熱する)により流動するものを使用することが好ましい。接着層の積層方法、前記した樹脂又は樹脂組成物の塗布方法、フィルム状の樹脂又は樹脂組成物を積層する方法と同様に行うことができる。透明基板と電磁波シールド性透明フィルムの貼り合わせ方法としては、前記したような圧着する方法と同様に行うことができる。   The electromagnetic wave shielding body is composed of the above transparent base material and an electromagnetic wave shielding transparent film, and any surface of the electromagnetic wave shielding transparent film is laminated on at least one surface of the transparent base material. In this case, an adhesive layer may be laminated on the surface of the electromagnetic wave shielding transparent film and laminated via this adhesive layer. As the adhesive layer, any of the resin layers described above may be used as a resin layer made of an adhesive layer. As the layer having adhesiveness, a layer having adhesiveness or tackiness can be selected from the above-described resin layers and used. The adhesive layer is preferably one that flows by pressure or heating itself, or one that flows by pressure or heating (preferably heated to 80 to 200 ° C.) in the resin layer. It can be performed in the same manner as the method for laminating the adhesive layer, the method for applying the resin or resin composition, and the method for laminating the film-like resin or resin composition. The method for laminating the transparent substrate and the electromagnetic wave shielding transparent film can be performed in the same manner as the above-described pressure bonding method.

電磁波シールドフィルムの幾何学図形が形成された側の面を透明基材と重ねて、プレス、ラミネート等により両者を接着することができる。   The surface on which the geometrical figure of the electromagnetic wave shielding film is formed can be overlapped with a transparent substrate, and both can be bonded by pressing, laminating or the like.

ディスプレイには、前記の電磁波シールド性透明フィルムを直接その画面に貼り付けることができる。この場合に、電磁波遮蔽体の製造法に準じて行うことができる。また、ディスプレイ前面に前記電磁波遮蔽体を取付けることができる。この場合、電磁波遮蔽体を取り付け枠に固定し、これをディスプレイ前面に取り付けるようにすることができる。   The electromagnetic wave shielding transparent film can be directly attached to the screen of the display. In this case, it can carry out according to the manufacturing method of an electromagnetic wave shielding body. In addition, the electromagnetic shielding body can be attached to the front surface of the display. In this case, the electromagnetic wave shielding body can be fixed to the attachment frame and attached to the front surface of the display.

厚さ50μm のポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東洋紡績株式会社製、商品名A−4100)を用い、その表面にプライマ(日立化成工業株式会社製商品名、HP−1、塗布厚1μm)を塗布し、さらにその上に樹脂層として、ポリビニルブチラール樹脂(電気化学工業株式会社製商品名、#6000PE、軟化点72℃、分子量2,400、n=1.52)を乾燥塗布厚が20μmになるように塗布した。一方、厚さ9μmの両面が光沢面(表面粗さRz=1.5μm)の電解銅箔(日本電解株式会社製、商品名NDGE)の片面に、常法により、ニッケルめっきを施し、ニッケル処理面(防錆処理面)側と樹脂面を貼り合わせた。その後、銅箔の表面に感光性レジストフィルム(日立化成工業株式会社製、商品名フォテック)を貼り合わせ、下記の格子パターンの逆の模様に対応する遮蔽パターンを有するマスクの上から高圧水銀ランプで紫外線を90mJ/cm照射(露光)し、感光性レジストフィルムを現像して形成し、銅箔をケミカルエッチングし、残存したレジストフィルムを剥離する工程を経て、導電性金属箔の格子パターン(ライン幅15μm、ライン間隔(ピッチ)250μm)を有する電磁波シールド性透明フィルムを作製した。本フィルムの開口率は88%、可視光線透過率は70%であった。 Using a polyethylene terephthalate (PET) film (product name: A-4100, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 50 μm, a primer (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., HP-1, coating thickness: 1 μm) is applied to the surface. Further, a polyvinyl butyral resin (trade name, # 6000PE, softening point 72 ° C., molecular weight 2,400, n = 1.52) manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. is applied as a resin layer thereon to a dry coating thickness of 20 μm. It was applied as follows. On the other hand, nickel plating is applied to one side of an electrolytic copper foil (product name: NDGE, manufactured by Nihon Electrolytic Co., Ltd.) with a glossy surface (surface roughness Rz = 1.5 μm) on both sides with a thickness of 9 μm by a conventional method. The surface (rust-proof surface) side and the resin surface were bonded together. Then, a photosensitive resist film (made by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name FOTEC) is bonded to the surface of the copper foil, and a high-pressure mercury lamp is applied on the mask having a shielding pattern corresponding to the reverse pattern of the following lattice pattern. The conductive metal foil lattice pattern (line) is formed through the process of irradiating (exposing) ultraviolet light 90 mJ / cm 2 , developing the photosensitive resist film, chemically etching the copper foil, and peeling off the remaining resist film. An electromagnetic shielding transparent film having a width of 15 μm and a line interval (pitch) of 250 μm was produced. The aperture ratio of this film was 88%, and the visible light transmittance was 70%.

厚さ25μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東洋紡績株式会社製、商品名A−4100)を用い、その表面にプライマ(日立化成工業株式会社製商品名、HP−1、塗布厚1μm)を塗布し、さらにその上に樹脂層として、ポリ酢酸ビニル樹脂(電気化学工業株式会社製商品名、SN−10、軟化点55℃、重合度1200〜1500、n=1.5)を乾燥塗布厚が30μmになるように塗布した。一方、厚さ5μmの両面が光沢面(表面粗さRz=1.0μm)の電解銅箔(日本電解株式会社製、商品名NDGE)の片面に、常法により、ニッケルめっきを施し、さらにクロメート処理を施した後、処理面側と樹脂面を貼り合わせた。その後銅箔の光沢面に、凸版反転オフセット法を用いてインクレジスト(太陽インキ株式会社製、商品名PHOTO FINER)を格子パターン(ライン幅10μm、ライン間隔(ピッチ)300μm)状に形成し、80℃で15分間プリベークした後、高圧水銀ランプで紫外線を70mJ/cm照射した。その後、銅箔のケミカルエッチング工程、インクレジスト剥離工程を経て、電磁波シールド性透明フィルムを作製した。出来上った銅の格子パターンに常法により電解銅めっきによって、3μm厚の銅めっき層を形成した。本フィルムの開口率は90%、可視光線透過率は74%であった。さらに本フィルムの導体が露出している面に、下記樹脂組成物を塗布し、90℃で10分間乾燥後、100℃で30分間硬化させ、銅の格子パターンを被覆した。このフィルムの可視光線透過率は85%であった。
(被覆に使用した樹脂組成物)
(1)YD−812(東都化成株式会社製商品名;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、Mw=30万) 100重量部、
(2)IPDI(日立化成工業株式会社製;マスクイソホロンジイソシアネート 12.5重量部、
(3)2−エチル−4−メチルイミダゾール 0.3重量部、
(4)メチルエチルケトン 330重量部、
及び
(5)シクロヘキサノン 15重量部
を含有するもの。
A 25 μm thick polyethylene terephthalate (PET) film (trade name A-4100, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) was used, and a primer (trade name, HP-1, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., coating thickness 1 μm) was applied to the surface. Furthermore, a polyvinyl acetate resin (trade name, SN-10, softening point 55 ° C., polymerization degree 1200 to 1500, n = 1.5) manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. is applied as a resin layer on the resin layer. It apply | coated so that it might become 30 micrometers. On the other hand, nickel plating is applied to one side of an electrolytic copper foil (trade name NDGE, manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd.) with a glossy surface (surface roughness Rz = 1.0 μm) on both sides with a thickness of 5 μm, and chromate. After processing, the processing surface side and the resin surface were bonded together. Thereafter, an ink resist (trade name PHOTO FINER, manufactured by Taiyo Ink Co., Ltd.) is formed on the glossy surface of the copper foil in a lattice pattern (line width: 10 μm, line interval (pitch): 300 μm) by using a letterpress reverse offset method. After pre-baking at 15 ° C. for 15 minutes, ultraviolet rays were irradiated at 70 mJ / cm 2 with a high-pressure mercury lamp. Then, the electromagnetic wave shielding transparent film was produced through the chemical etching process of copper foil, and the ink resist peeling process. A copper plating layer having a thickness of 3 μm was formed on the resulting copper lattice pattern by electrolytic copper plating by a conventional method. The aperture ratio of this film was 90%, and the visible light transmittance was 74%. Furthermore, the following resin composition was apply | coated to the surface where the conductor of this film is exposed, and it hardened | cured for 30 minutes at 100 degreeC after drying for 10 minutes at 90 degreeC, and coat | covered the copper lattice pattern. The visible light transmittance of this film was 85%.
(Resin composition used for coating)
(1) YD-812 (trade name, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd .; bisphenol A type epoxy resin, Mw = 300,000) 100 parts by weight,
(2) IPDI (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd .; 12.5 parts by weight of mask isophorone diisocyanate,
(3) 0.3 part by weight of 2-ethyl-4-methylimidazole,
(4) 330 parts by weight of methyl ethyl ketone,
And (5) containing 15 parts by weight of cyclohexanone.

厚さ50μmのポリカーボネートフィルム(旭硝子株式会社製商品名、レキサン)を用い、そのコロナ放電処理面(臨界表面張力54dyn/cm)に樹脂層として、ポリエステルポリウレタン樹脂(東洋紡績株式会社製商品名、バイロンUR−1400、軟化点83℃、平均分子量40,000、n=1.5)を乾燥塗布厚が25μmになるように塗布した。一方、厚さ5μmの両面が光沢面(表面粗さRz=1.0μm)の電解銅箔(日本電解株式会社製、商品名NDGE)の片面に、常法により、ニッケルめっきを施し、さらにクロメート処理を施した後、処理面側と樹脂面を貼り合わせた。その後銅箔の表面に、感光性レジストフィルム(日立化成工業株式会社製、商品名フォテック)を貼り合わせ、下記の格子パターンの逆の模様に対応する遮蔽パターンを有するマスクの上から高圧水銀ランプで紫外線を70mJ/cm照射し、現像し、銅箔をケミカルエッチングし、残存するレジストフィルムを剥離する工程を経て、銅箔の格子パターン(ライン幅10μm、ライン間隔(ピッチ)127μm)を有する電磁波シールド性透明フィルムを作製した。本フィルムの開口率は85%、可視光線透過率は72%であった。さらに本フィルムの導体が露出している面に、下記感光性樹脂組成物を塗布し、PETフィルムでラミネートした後、高圧水銀ランプで紫外線を700mJ/cm照射した。このフィルムの可視光線透過率は81%であった。
(感光性樹脂の組成)
(1)2、2−ビス(4−(4−N−マレイミジルフェノキシ)フェニル)プロパン 30重量部、
(2)エポキシ等量500のビスフェノールA型エポキシ樹脂に1当量のテトラヒドロ無水フタル酸を窒素雰囲気下、150℃で10時間反応させて得た酸変性エポキシ樹脂 45重量部、
(3)アクリロニトリルブタジエンゴム(PNR−1H、日本合成ゴム株式会社製商品名) 20重量部、
(4)1,7−ジ−9−アクリジニルヘプタン 5重量部
及び
(5)水酸化アルミニウム 10重量部
をシクロヘキサノン/メチルエチルケトン(1/1、重量比)に溶解し、45重量%ワニスとしたもの。
Polyester polyurethane resin (trade name, manufactured by Toyobo Co., Ltd., manufactured by Toyobo Co., Ltd.) was used as a resin layer on the corona discharge treated surface (critical surface tension 54 dyn / cm) using a polycarbonate film (trade name, Lexan, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) having a thickness of 50 μm. UR-1400, softening point 83 ° C., average molecular weight 40,000, n = 1.5) was applied so that the dry coating thickness was 25 μm. On the other hand, nickel plating is applied to one side of an electrolytic copper foil (trade name NDGE, manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd.) with a glossy surface (surface roughness Rz = 1.0 μm) on both sides with a thickness of 5 μm, and chromate. After processing, the processing surface side and the resin surface were bonded together. After that, a photosensitive resist film (made by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name FOTEC) is bonded to the surface of the copper foil, and a high-pressure mercury lamp is applied from above the mask having a shielding pattern corresponding to the reverse pattern of the following lattice pattern. An electromagnetic wave having a copper foil lattice pattern (line width 10 μm, line interval (pitch) 127 μm) through a process of irradiating 70 mJ / cm 2 with ultraviolet rays, developing, chemically etching the copper foil, and peeling off the remaining resist film. A shielding transparent film was prepared. The aperture ratio of this film was 85%, and the visible light transmittance was 72%. Further, the following photosensitive resin composition was applied to the surface of the film where the conductor was exposed, laminated with a PET film, and then irradiated with UV light at 700 mJ / cm 2 with a high-pressure mercury lamp. The visible light transmittance of this film was 81%.
(Composition of photosensitive resin)
(1) 2,2-bis (4- (4-N-maleimidylphenoxy) phenyl) propane 30 parts by weight,
(2) 45 parts by weight of an acid-modified epoxy resin obtained by reacting 1 equivalent of tetrahydrophthalic anhydride with bisphenol A type epoxy resin having an epoxy equivalent of 500 in a nitrogen atmosphere at 150 ° C. for 10 hours,
(3) Acrylonitrile butadiene rubber (PNR-1H, trade name, manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.) 20 parts by weight,
(4) 1,7-di-9-acridinylheptane (5 parts by weight) and (5) aluminum hydroxide (10 parts by weight) were dissolved in cyclohexanone / methyl ethyl ketone (1/1, weight ratio) to obtain a 45% by weight varnish. thing.

厚さ50μmのPETフィルム(東洋紡績株式会社製商品名、A−4100)を用い、その表面にプライマ(日立化成工業株式会社製商品名、HP−1、塗布厚1μm)を塗布し、さらにその上に樹脂層として、アクリル樹脂(帝国化学産業株式会社製商品名、HTR−811、軟化点−43℃、平均分子量42万、n=1.52)を乾燥塗布厚が20μm になるように塗布した。一方、厚さ9μmの両面が光沢面(表面粗さRz=1.5μm)の電解銅箔(ジャパンエナジー株式会社製、商品名JTC)の片面に、常法によりニッケルめっきを施し、さらにクロメート処理を施した後、3−アミノプロピルトリメトキシシラン(東レ・ダウコーニング(株)製)を使って、シランカップリング剤処理を施し、処理面側と樹脂面を貼り合わせた。その後銅箔の光沢面に、凸版反転オフセット法を用いて格子パターン(ライン幅20μm、ライン間隔(ピッチ)250μm)状に形成し、80℃で15分間プリベークした後、高圧水銀ランプで紫外線を100mJ/cm照射した。その後、銅箔ケミカルエッチング工程を経て、電磁波シールド性透明フィルムを作製した。本フィルムの開口率は84%、可視光線透過率は74%であった。さらに本フィルムの導体が露出している面に、下記樹脂組成物を塗布し、90℃で10分間乾燥後、100℃で30分間硬化させた。このフィルムの可視光線透過率は81%であった。
(被覆に使用した樹脂組成物)
(1)YD−812(東都化成株式会社製商品名;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、Mw=30万) 100重量部、
(2)IPDI(日立化成工業株式会社製;マスクイソホロンジイソシアネート 12.5重量部、
(3)2−エチル−4−メチルイミダゾール 0.3重量部、
(4)メチルエチルケトン 330重量部
及び
(5)シクロヘキサノン 15重量部
を含有するもの。
Using a 50 μm thick PET film (trade name, A-4100, manufactured by Toyobo Co., Ltd.), a primer (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., HP-1, coating thickness: 1 μm) was applied to the surface, and further Acrylic resin (trade name, HTR-811, softening point -43 ° C., average molecular weight 420,000, n = 1.52) manufactured by Teikoku Chemical Sangyo Co., Ltd. was applied as a resin layer to a dry coating thickness of 20 μm. did. On the other hand, nickel plating is applied to one side of an electrolytic copper foil (trade name JTC, manufactured by Japan Energy Co., Ltd.) with a glossy surface (surface roughness Rz = 1.5 μm) on both sides with a thickness of 9 μm, followed by chromate treatment. Then, using 3-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.), a silane coupling agent treatment was performed, and the treated surface side and the resin surface were bonded together. After that, a lattice pattern (line width 20 μm, line interval (pitch) 250 μm) is formed on the glossy surface of the copper foil using a letterpress inversion offset method, prebaked at 80 ° C. for 15 minutes, and then irradiated with ultraviolet light with a high-pressure mercury lamp to 100 mJ / Cm 2 irradiation. Then, the electromagnetic wave shielding transparent film was produced through the copper foil chemical etching process. The aperture ratio of this film was 84%, and the visible light transmittance was 74%. Furthermore, the following resin composition was apply | coated to the surface where the conductor of this film is exposed, and it was made to harden | cure at 100 degreeC for 30 minutes after drying at 90 degreeC for 10 minutes. The visible light transmittance of this film was 81%.
(Resin composition used for coating)
(1) YD-812 (trade name, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd .; bisphenol A type epoxy resin, Mw = 300,000) 100 parts by weight,
(2) IPDI (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd .; 12.5 parts by weight of mask isophorone diisocyanate,
(3) 0.3 part by weight of 2-ethyl-4-methylimidazole,
(4) A substance containing 330 parts by weight of methyl ethyl ketone and (5) 15 parts by weight of cyclohexanone.

厚さ100μmのPETフィルム(東洋紡績株式会社製商品名、A−4100)を用い、その表面にプライマ(日立化成工業株式会社製商品名、HP−1、塗布厚1μm)を塗布し、さらにその上に樹脂層として、ポリビニルブチラール樹脂(電気化学工業株式会社製商品名、#6000EP、軟化点72℃、分子量2,400、n=1.52)を乾燥塗布厚が20μmになるように塗布した。一方、厚さ5μmの両面が光沢面(表面粗さRz=1.5μm)の電解銅箔(三井金属株式会社製、商品名SQ−VLP)の片面に、常法によりニッケルめっきを施し、さらにクロメート処理を施した後、3−アミノプロピルトリメトキシシラン(東レ・ダウコーニング(株)製)を使って、シランカップリング剤処理を施し、処理面側と樹脂面を貼り合わせた。その後銅箔の表面に、感光性レジストフィルム(日立化成工業株式会社製、商品名フォテック)を貼り合わせ、下記の格子パターンの逆の模様に対応する遮蔽パターンを有するマスクの上から高圧水銀ランプで紫外線を70mJ/cm照射し、現像し、銅箔をケミカルエッチングし、残存するレジストフィルムを剥離する工程を経て、銅箔の格子パターン(ライン幅20μm、ライン間隔(ピッチ)250μm)を形成した。出来上がった銅の格子パターンに、常法により無電解銅めっきを1μm施し、さらにその無電解銅めっき上に、実施例3と同様にして、黒化処理を施した。本フィルムの開口率は84%、可視光線透過率は73%であった。さらに本フィルムの導体が露出している面に、UV硬化型樹脂(日立化成工業株式会社製商品名、ヒタトイド7983A、塗布厚20μm)を塗布し、PETフィルムでラミネートした後、高圧水銀ランプで紫外線を1000mJ/cm照射した。このフィルムの可視光線透過率は79%であった。 Using a PET film having a thickness of 100 μm (trade name, manufactured by Toyobo Co., Ltd., A-4100), a primer (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., HP-1, coating thickness of 1 μm) was applied to the surface. A polyvinyl butyral resin (trade name, # 6000EP, softening point 72 ° C., molecular weight 2,400, n = 1.52) manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. was applied as a resin layer so that the dry coating thickness was 20 μm. . On the other hand, nickel plating is applied to one side of an electrolytic copper foil (trade name SQ-VLP, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.) having a glossy surface (surface roughness Rz = 1.5 μm) on both sides with a thickness of 5 μm by a conventional method. After the chromate treatment, silane coupling agent treatment was performed using 3-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.), and the treated surface side and the resin surface were bonded together. After that, a photosensitive resist film (made by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name FOTEC) is bonded to the surface of the copper foil, and a high-pressure mercury lamp is applied from above the mask having a shielding pattern corresponding to the reverse pattern of the following lattice pattern. A copper foil lattice pattern (line width 20 μm, line interval (pitch) 250 μm) was formed through a process of irradiating 70 mJ / cm 2 with ultraviolet light, developing, chemically etching the copper foil, and peeling off the remaining resist film. . The finished copper lattice pattern was subjected to electroless copper plating by 1 μm by a conventional method, and further subjected to blackening treatment on the electroless copper plating in the same manner as in Example 3. The aperture ratio of this film was 84%, and the visible light transmittance was 73%. Furthermore, a UV curable resin (trade name, Hitachito 7983A, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., coating thickness 20 μm) is applied to the surface of the film where the conductor is exposed, laminated with a PET film, and then UV irradiated with a high-pressure mercury lamp. Was irradiated at 1000 mJ / cm 2 . The visible light transmittance of this film was 79%.

実施例1で得られた電磁波シールド性透明フィルムを格子パターンを有する面を内側にして、市販のアクリル板(株式会社クラレ製商品名、コモグラス、厚み3mm)又は厚さ3mmの市販のソーダライムガラスのそれぞれに、接着フィルム(積水化学工業株式会社製商品名、エスレック、厚さ250μm)を介して、又は接着フィルムを介さないで、熱プレス機により110℃、20Kgf/cm、15分の条件で加熱圧着し4種類の電磁波遮蔽体を得た(表1には接着フィルムを用い、アクリル板を使用した場合の特性を示した)。 Commercially available acrylic plate (Kuraray Co., Ltd., trade name, 3 mm thickness) or commercially available soda lime glass having a thickness of 3 mm with the electromagnetic shielding transparent film obtained in Example 1 having a lattice pattern inside. In each of the above, through an adhesive film (Sekisui Chemical Co., Ltd., trade name, ESREC, thickness 250 μm) or without an adhesive film, 110 ° C., 20 Kgf / cm 2 , 15 minutes with a hot press machine Was subjected to thermocompression bonding to obtain four types of electromagnetic wave shielding bodies (Table 1 shows characteristics when an adhesive film is used and an acrylic plate is used).

以上のようにして得られた電磁波シールド性透明フィルム、電磁波遮蔽体の幾何学図形の開口率、パターンの異常の有無、電磁波シールド性(300MHz)、樹脂被覆前後の可視光透過率、非視認性、ガラス板への密着性を測定した。その測定結果を表1に示した。導電性金属箔で描かれた幾何学図形の開口率は顕微鏡写真をもとに実測した。電磁波シールド性は、アドバンテスト法により、周波数300MHzで測定した。可視光透過率の測定は、ダブルビーム分光光度計(株式会社日立製作所製商品名、200−10型)を用いて、400〜700nmの透過率の平均値を用いた。パターンの異常の有無、及び非視認性は肉眼観察により判定した。非視認性は、電磁波シールド性透明フィルムを0.5m離れた場所から観察し、導電性材料で形成された幾何学図形を認識できないものを良好、認識できるものをNGとした。電磁波シールド性透明フィルムのガラスへの接着性は、サンプルを110℃・10kgf/cmで10分間ガラスに接着させ、接着力を測定した(実施例6を除く)。 The electromagnetic shielding transparent film obtained as described above, the aperture ratio of the geometric figure of the electromagnetic shielding body, the presence or absence of pattern abnormality, the electromagnetic shielding properties (300 MHz), the visible light transmittance before and after the resin coating, and the invisibility The adhesion to the glass plate was measured. The measurement results are shown in Table 1. The aperture ratio of the geometric figure drawn with the conductive metal foil was measured based on a micrograph. The electromagnetic wave shielding property was measured at a frequency of 300 MHz by the Advantest method. The visible light transmittance was measured using an average value of transmittance of 400 to 700 nm using a double beam spectrophotometer (trade name, manufactured by Hitachi, Ltd., model 200-10). Presence / absence of pattern abnormality and invisibility were determined by visual observation. The non-visibility was determined as NG when the electromagnetic wave shielding transparent film was observed from a place 0.5 m away, and those that could not recognize the geometric figure formed of the conductive material were good and could be recognized. For the adhesion of the electromagnetic wave shielding transparent film to glass, the sample was adhered to the glass at 110 ° C. and 10 kgf / cm 2 for 10 minutes, and the adhesive force was measured (except for Example 6).

Figure 2005175217
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実施例で示したように、粗化処理されていない導電性金属箔を使った場合は、樹脂上の表面散乱の程度を最小限度にすることができるため、格子パターン形成後も可視光透過率は十分大きい。格子パターン形成後、樹脂で被覆することによって、容易に可視光透過率を向上させることが可能であるため、安価に提供することが可能である。また厚さが薄い箔を使うことにより、オーバーエッチングの程度が最小限に押さえることができるため、回路加工の精度が飛躍的に向上する。この際、粗化処理が施されていない金属箔では、粗化銅箔の樹脂中への潜りこみが少ないため、この点においても、回路加工精度が飛躍的に向上する。   As shown in the examples, when a conductive metal foil that has not been roughened is used, the degree of surface scattering on the resin can be minimized, so that the visible light transmittance can be achieved even after the lattice pattern is formed. Is big enough. Since the visible light transmittance can be easily improved by covering with a resin after forming the lattice pattern, it can be provided at low cost. In addition, by using a thin foil, the degree of over-etching can be minimized, so that the accuracy of circuit processing is greatly improved. At this time, in the metal foil that has not been subjected to the roughening treatment, the roughened copper foil is less likely to sink into the resin, so that the circuit processing accuracy is also greatly improved in this respect.

銅箔として、粗化面を有するものを(表面粗さRz=5.5μm又はRz=5.0μmを用いると線幅ムラが発生しやすくなった。また、断線を完全になくするためには銅箔は防錆処理されたものであることが好ましかった。

When a copper foil having a roughened surface (surface roughness Rz = 5.5 μm or Rz = 5.0 μm was used, line width unevenness was likely to occur. In addition, in order to completely eliminate disconnection The copper foil was preferably rust-proofed.

Claims (13)

プラスチック支持体に樹脂層を介して導電性金属箔をその滑らかな面を樹脂層側にして積層し、その導電性金属箔を開口率が50%以上となるように一部除去して幾何学図形を形成することを特徴とする電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。 A conductive metal foil is laminated on a plastic support through a resin layer with the smooth side facing the resin layer, and part of the conductive metal foil is removed so that the aperture ratio is 50% or more. The manufacturing method of the electromagnetic shielding transparent film characterized by forming a figure. 導電性金属箔の滑らかな面の表面粗さRzが2.0μm以下であるの導電性金属箔を使うことを特徴とする請求項1に記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。 2. The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to claim 1, wherein a conductive metal foil having a smooth surface of the conductive metal foil having a surface roughness Rz of 2.0 μm or less is used. 導電性金属箔の滑らかな面が防錆処理された側の面である請求項1又は2に記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to claim 1 or 2, wherein the smooth surface of the conductive metal foil is the surface on the rust-proof side. 防錆処理がニッケル、錫、亜鉛、クロム、モリブデン、コバルトのいずれか、もしくはそれらの合金を使用していることを特徴とする請求項3に記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to claim 3, wherein the rust-proofing treatment uses nickel, tin, zinc, chromium, molybdenum, cobalt, or an alloy thereof. 導電性金属箔の滑らかな面がクロメート処理された側の面である請求項1〜4のいずれかに記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to any one of claims 1 to 4, wherein the smooth surface of the conductive metal foil is a surface on the side subjected to the chromate treatment. 導電性金属箔の滑らかな面がシランカップリング剤で処理された表面である請求項1〜5のいずれかに記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to any one of claims 1 to 5, wherein the smooth surface of the conductive metal foil is a surface treated with a silane coupling agent. シランカップリング剤が加熱により樹脂層と化学反応するものである請求項5に記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to claim 5, wherein the silane coupling agent chemically reacts with the resin layer by heating. シランカップリング剤がアミノ官能性シランであることを特徴とする請求項6又は7に記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding transparent film according to claim 6 or 7, wherein the silane coupling agent is an amino-functional silane. 導電性金属箔で描かれた幾何学図形のライン幅が1〜40μm、ライン間隔が50〜500μm、ライン厚さが1〜40μmである請求項1〜8のいずれかに記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。 The electromagnetic wave shielding transparent according to any one of claims 1 to 8, wherein a line width of a geometric figure drawn with a conductive metal foil is 1 to 40 µm, a line interval is 50 to 500 µm, and a line thickness is 1 to 40 µm. A method for producing a film. 導電性金属箔を開口率が50%以上となるように一部除去して幾何学図形を形成する方法がフォトリソグラフ法である請求項1〜9のいずれかに記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法。 The electromagnetic shielding transparent film according to any one of claims 1 to 9, wherein a method of forming a geometric figure by removing a part of the conductive metal foil so that the aperture ratio is 50% or more is a photolithographic method. Production method. 請求項1〜10のいずれかに記載の電磁波シールド性透明フィルムの製造方法により作製された電磁波シールド性透明フィルム。 The electromagnetic shielding transparent film produced by the manufacturing method of the electromagnetic shielding transparent film in any one of Claims 1-10. 請求項11に記載の電磁波シールド性透明フィルムと透明基材から構成された電磁波遮蔽体。 The electromagnetic wave shielding body comprised from the electromagnetic wave shielding transparent film of Claim 11, and a transparent base material. 請求項11に記載の電磁波シールド性透明フィルムまたは請求項12に記載の電磁波遮蔽体を用いたディスプレイ。

A display using the electromagnetic wave shielding transparent film according to claim 11 or the electromagnetic wave shielding body according to claim 12.

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