JP2008311565A - Composite filter for display - Google Patents

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Nobuo Naito
暢夫 内藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composite filter for a display, which is used mainly for a plasma display, is excellent in production efficiency by reducing the number of lamination steps, does not easily generate color irregularities of a filter even by use for a long period of time under a high temperature or under high humidity, has a high blackness and an excellent appearance, and is provided with functions such as an electromagnetic wave shielding function, a near infrared ray absorbing function and an antiglare function. <P>SOLUTION: For the composite filter for the display, an adhesive layer containing composite tungsten oxide particulates having the near infrared ray absorbing function is formed on one surface of an electromagnetic wave shielding sheet provided with a conductive mesh layer including a blackened layer including an alloy containing nickel, copper and oxygen on one surface of a transparent resin base material, and a surface protective layer having functions such as an antireflection function and the antiglare function is formed on the other surface. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、PDP(プラズマディスプレイパネル)などのディスプレイ(画像表示装置)の前面に配置する複合フィルタに関し、さらに詳しくは、ディスプレイから発生する電磁波を遮蔽(シールド)する電磁波遮蔽機能と共に、近赤外線吸収機能、及び表面保護機能を有する、ディスプレイ用複合フィルタに関するものである。   The present invention relates to a composite filter disposed on the front surface of a display (image display device) such as a PDP (plasma display panel). More specifically, the present invention relates to an electromagnetic wave shielding function for shielding electromagnetic waves generated from a display, and near infrared absorption. The present invention relates to a composite filter for display having a function and a surface protection function.

近年、電気電子機器の機能高度化と利用増加に伴い、電磁気的なノイズ妨害(Electro Magnetic Interference;EMI)が増え、陰極線管(CRTという)、プラズマディスプレイパネル(PDPという)などのディスプレイでも電磁波が発生する。プラズマディスプレイパネルは、データ電極と蛍光層を有するガラスと透明電極を有するガラスとの組合体であり、作動すると電磁波、及び近赤外線が大量に発生する。   In recent years, with the advancement of functions and increase in the use of electrical and electronic equipment, electromagnetic noise interference (EMI) has increased, and electromagnetic waves are also generated in displays such as cathode ray tubes (referred to as CRT) and plasma display panels (referred to as PDP). appear. The plasma display panel is a combination of a glass having a data electrode, a fluorescent layer, and a glass having a transparent electrode, and generates a large amount of electromagnetic waves and near infrared rays when operated.

通常、電磁波を遮蔽するためにプラズマディスプレイパネルの前面に、電磁波遮蔽用シートが前面板として設けられる。ディスプレイ前面から発生する電磁波の遮蔽性は、日本では30MHz〜1GHzにおいてVCCI(情報処理装置等電波障害自主規制協議会)が規定する家庭環境、住宅環境で使用する情報処理装置に適用される規格(クラスB)を達成することが必要である。なお、本発明において単に電磁波と言った場合は、周波数が上記範囲を中心とするMHz〜GHz帯の電磁波のことを言い、赤外線、可視光線、紫外線、X線等は含まないものとする(例えば、赤外線帯域の周波数の電磁波は赤外線と呼称する)。さらに、ディスプレイの表示画像を視認しやすくするため、電磁波遮蔽用の金属メッシュ(ライン部)部分が見えにくく、また、メッシュパターン精度がよくメッシュの乱れがなく、適度な透明性(可視光透過性)を有することが必要である。
また、プラズマディスプレイ前面より発生する波長800〜1,100nmの近赤外線も、他のVTRなどの機器を誤作動させるので、遮蔽する必要がある。また、プラズマディスプレイから放射する波長590nm付近の光(ネオン光)を遮断したり、画像の色相調整を行い色再現性を向上させる機能、更には外光の不要な反射を抑える機能等が求められる。
Usually, an electromagnetic wave shielding sheet is provided as a front plate on the front surface of the plasma display panel in order to shield electromagnetic waves. The shielding property of the electromagnetic wave generated from the front of the display is a standard applied to information processing devices used in home environments and residential environments specified by VCCI (Electromagnetic Interference Regulations for Information Processing Devices, etc.) at 30 MHz to 1 GHz in Japan ( It is necessary to achieve class B). In the present invention, the term “electromagnetic wave” means an electromagnetic wave in the MHz to GHz band whose frequency is centered on the above range, and does not include infrared rays, visible rays, ultraviolet rays, X-rays, etc. (for example, An electromagnetic wave having a frequency in the infrared band is called infrared rays). Furthermore, in order to make it easy to see the display image on the display, the metal mesh (line part) for shielding electromagnetic waves is difficult to see, the mesh pattern accuracy is good, the mesh is not disturbed, and it has moderate transparency (visible light transmission) ).
In addition, near infrared rays having a wavelength of 800 to 1,100 nm generated from the front surface of the plasma display also cause malfunction of other devices such as VTRs, and thus need to be shielded. In addition, there is a need for a function that blocks light (neon light) near a wavelength of 590 nm emitted from a plasma display, adjusts the hue of an image to improve color reproducibility, and further suppresses unnecessary reflection of external light. .

上記機能を実現するために、上記電磁波遮蔽用シートと、近赤外線吸収フィルタ、反射防止フィルタ等の複数の光学フィルタとを積層して、画像表示装置から発生する不要な電磁波及び特定波長の光を遮蔽し、且つ画像表示装置に必要とされる各種機能を付与することができる板状の複合フィルタをプラズマディスプレイパネルの前面板として用いることが検討されている(特許文献1)。このような複合フィルタは、通常、硝子基板(プラズマディスプレイパネル自体の前面保護板用硝子基板)の表裏両面に、透明基材を有するフィルタが多数貼り合わされて製造されるため(特許文献1の図5、図7、図8参照)、積層数や積層工程数が多く、裁断工程も硝子基板表面用のフィルタの裁断工程と硝子基板裏面用のフィルタの裁断工程との2工程必要で、生産効率上問題があった。また、フィルタ硝子基板の硝子を基板とする為、重量、体積ともに嵩み、更には破損し易いという問題も有った。   In order to realize the above function, the electromagnetic wave shielding sheet and a plurality of optical filters such as a near-infrared absorption filter and an antireflection filter are laminated to prevent unnecessary electromagnetic waves and specific wavelength light generated from the image display device. It has been studied to use a plate-like composite filter that can shield and give various functions required for an image display device as a front plate of a plasma display panel (Patent Document 1). Such a composite filter is usually manufactured by laminating a large number of filters having a transparent base material on both the front and back surfaces of a glass substrate (a glass substrate for a front protective plate of the plasma display panel itself) (FIG. 1 of FIG. 1). 5, Fig. 7 and Fig. 8), the number of laminations and the number of lamination processes are large, and the cutting process requires two processes, the cutting process of the filter for the glass substrate surface and the cutting process of the filter for the back surface of the glass substrate. There was a problem above. Further, since the glass of the filter glass substrate is used as the substrate, there is a problem that both the weight and the volume are increased, and further, the filter glass substrate is easily damaged.

また、前記複合フィルタの構成部材のうちの、メッシュ状の金属層を有する電磁波遮蔽用シートの製造方法としては、透明プラスチック基材に接着剤層を介して金属箔を貼り合わせた後に、金属箔をケミカルエッチングプロセス(フォトリソグラフィー工程)によって幾何学図形を形成する方法が知られている。しかしながら、この方法によれば、接着剤に起因する色ムラが生じ、また、メッシュ開口部の接着剤の表面には、金属箔の粗さが転写され凹凸状に残っているために、該粗さで光が乱反射して、メッシュ開口部の透明性が悪いという欠点がある。従って、従来、メッシュ開口部の接着剤表面の粗さを埋めるため、及び/又は気泡の混入を防止して透明化するため、透明化工程としてメッシュ開口部を予め平坦化樹脂と称される透明樹脂で充填して平坦化層を設ける工程の追加が必要であった(特許文献1の図7、図9参照)。   Moreover, as a manufacturing method of the electromagnetic wave shielding sheet having a mesh-like metal layer among the constituent members of the composite filter, the metal foil is bonded to the transparent plastic substrate via the adhesive layer, and then the metal foil A method of forming a geometric figure by a chemical etching process (photolithography process) is known. However, according to this method, color unevenness caused by the adhesive occurs, and the roughness of the metal foil is transferred and remains uneven on the surface of the adhesive in the mesh opening. There is a disadvantage that the light is irregularly reflected and the transparency of the mesh opening is poor. Therefore, conventionally, in order to fill the roughness of the adhesive surface of the mesh opening and / or to prevent the mixing of air bubbles and make the mesh transparent, the mesh opening is previously referred to as a flattening resin. It is necessary to add a process of filling with resin and providing a planarizing layer (see FIGS. 7 and 9 of Patent Document 1).

また、上記のような複合フィルタにおいては、電磁波遮蔽シートの金属メッシュを接地する必要が有る。そのために通常、導電性メッシュ層は、その周縁部に囲むように設けられた額縁状の開口部を形成し無い導電性層を有し、この額縁状の導電性層から接地することが一般的である。しかしながら、上記のような従来の通常の複合フィルタにおいては、金属メッシュ層が硝子基板乃至ディスプレイパネルとの間に挟まれる為(特許文献1の図5(b)参照)、接地作業の際には、電磁波遮蔽用シートの接地部近辺を再度硝子基板から剥離する煩雑さがあった。且つ再剥離の際に金属層まで剥離、損傷し易いという問題も有った。   In the composite filter as described above, the metal mesh of the electromagnetic wave shielding sheet needs to be grounded. Therefore, the conductive mesh layer usually has a conductive layer that does not form a frame-shaped opening provided so as to surround the periphery thereof, and is generally grounded from the frame-shaped conductive layer. It is. However, in the conventional normal composite filter as described above, the metal mesh layer is sandwiched between the glass substrate and the display panel (see FIG. 5B of Patent Document 1). In addition, there was a troublesome separation of the vicinity of the grounding portion of the electromagnetic wave shielding sheet from the glass substrate again. In addition, there is a problem that even the metal layer is easily peeled off and damaged during re-peeling.

また、導電体層に含まれる金属層をメッキ法により形成してメッシュ状とすることも知られている。例えば、(1)透明基材の上に導電インキをパターン状に印刷し、パターン状導電インキ層の上へ金属メッキする方法(例えば、特許文献2参照。)が挙げられる。また、(2)透明基材の上に導電インキ又は化学メッキ触媒含有感光性塗布液を全面に塗布し、該塗布層をフォトリソグラフィー法でメッシュ状とした後に、該メッシュの上へ金属メッキする方法(例えば、非特許文献1参照。)も挙げられる。さらに、(3)透明基材の上に導電処理層を施し、その上に電解メッキにより金属メッキ層を形成した後、金属メッキ層及び導電処理層をフォトリソグラフィー法でメッシュ状とする方法(例えば、特許文献3参照。)などが知られている。   It is also known that the metal layer included in the conductor layer is formed by a plating method into a mesh shape. Examples of the method include (1) a method of printing a conductive ink on a transparent substrate in a pattern, and metal plating on the patterned conductive ink layer (see, for example, Patent Document 2). Also, (2) a conductive ink or a photosensitive coating solution containing a chemical plating catalyst is applied on the entire surface of the transparent substrate, and the coating layer is meshed by a photolithography method, and then metal plating is performed on the mesh. The method (for example, refer nonpatent literature 1) is also mentioned. (3) A method in which a conductive treatment layer is applied on a transparent substrate, a metal plating layer is formed thereon by electrolytic plating, and then the metal plating layer and the conductive treatment layer are meshed by photolithography (for example, , See Patent Document 3).

PDPを使用する場合において、電磁波遮蔽シートへの外光を吸収させて外光反射(ぎらつき感)を抑えて、ディスプレイの画像の視認性を向上するために、導電体層の観察者側に黒色の層を形成することが行われている。この黒色の層は、黒化層と呼ばれ、通常は金属メッキ層上に形成される。黒化層としては、例えば金属や金属酸化物のメッキなどを用いることが知られている。金属酸化物は黒色性があり、その酸素含有量が多いほど黒色度は高くなるが、金属メッキ層との密着性が悪くなると言う問題が生じている。
透明基材と金属メッキ層との密着性が良好なことも電磁波遮蔽シートの耐久性を高めるために重要である。図9(A)は、上記(3)の形態に於いて、従来の電磁波遮蔽シートの導電体層の構成の一例を模式的に示した断面図であり、図9(B)は、該電磁波遮蔽シートの使用法の一例を模式的に示した図である。従来は、図9(A)に示すように透明基材11上に導電体層130の密着性を高め、且つメッキの際に必要な導電性を有する下地層131である合金スパッタ層を形成している。そして、電磁波遮蔽効果に優れる高導電性金属、例えば銅をスパッタ法で積層させて、金属スパッタ層132を形成している。その後に、積層速度が速い電解メッキ法により金属メッキ層133を形成して、高導電性金属層の厚みを厚くする。このような場合に下地層131は主に灰色に見えるが、これのみでは外光を吸収し、外光反射(ぎらつき感)を抑えるほど黒味を有しておらず、黒化層134が、金属メッキ層133上に設けられる。例えば、金属メッキ層133の上にメッキ処理によって黒化層134を形成する。
図9(B)では、その黒化層134を観察者50側に向けて電磁波遮蔽シート135をPDP40の前面に用いる使用形態を図示している。透明基材11上にメッシュ状導電体層130を形成した電磁波遮蔽シート135は、黒化層134を観察者50側に向け、透明基材11側をPDP40の前面板60の観察者50側に貼り付けて用いられる。
このような、電磁波遮蔽効果を有する高導電性金属は、そのままでは透明基材11との密着性が悪い。そこで、透明基材11上に銅を積層するためだけの機能を有する下地層131が必要となっており層構成が多層化すると言う問題も生じている。
尚、PDPの設計如何によっては、図9(B)とは逆に、透明基材11側が観察者50側を向く仕様も有る。此の場合は、黒化層134を透明基材上に形成する必要が生じる。此の場合には、下地層131として、更に、黒色の導電性金属薄膜をスパッタ形成する必要が生じる。
In the case of using a PDP, in order to absorb external light to the electromagnetic wave shielding sheet and suppress external light reflection (a feeling of glare) and improve the visibility of the image on the display, A black layer is formed. This black layer is called a blackened layer and is usually formed on a metal plating layer. As the blackening layer, it is known to use, for example, metal or metal oxide plating. The metal oxide has blackness, and the blackness increases as the oxygen content increases, but there is a problem that the adhesion with the metal plating layer is deteriorated.
Good adhesion between the transparent substrate and the metal plating layer is also important for enhancing the durability of the electromagnetic wave shielding sheet. FIG. 9 (A) is a cross-sectional view schematically showing an example of the configuration of the conductor layer of the conventional electromagnetic wave shielding sheet in the form (3), and FIG. 9 (B) shows the electromagnetic wave. It is the figure which showed typically an example of the usage method of a shielding sheet. Conventionally, as shown in FIG. 9A, an alloy sputter layer, which is a base layer 131 having a conductivity necessary for plating, is formed on the transparent substrate 11 to enhance the adhesion of the conductor layer 130. ing. Then, the metal sputter layer 132 is formed by laminating a highly conductive metal having excellent electromagnetic wave shielding effect, such as copper, by a sputtering method. Thereafter, the metal plating layer 133 is formed by an electrolytic plating method with a high lamination speed, and the thickness of the highly conductive metal layer is increased. In such a case, the base layer 131 looks mainly gray, but this alone absorbs external light and does not have blackness to suppress external light reflection (a feeling of glare). , Provided on the metal plating layer 133. For example, the blackening layer 134 is formed on the metal plating layer 133 by plating.
FIG. 9B illustrates a usage pattern in which the blackening layer 134 faces the viewer 50 and the electromagnetic wave shielding sheet 135 is used on the front surface of the PDP 40. The electromagnetic wave shielding sheet 135 in which the mesh-like conductor layer 130 is formed on the transparent base material 11 has the blackening layer 134 facing the viewer 50 side, and the transparent base material 11 side facing the viewer 50 side of the front plate 60 of the PDP 40. Used by pasting.
Such a highly conductive metal having an electromagnetic wave shielding effect has poor adhesion to the transparent substrate 11 as it is. Then, the base layer 131 which has a function only for laminating | stacking copper on the transparent base material 11 is needed, and the problem that the layer structure is multilayered also has arisen.
Depending on the design of the PDP, there is a specification in which the transparent base material 11 side faces the viewer 50 side, contrary to FIG. 9B. In this case, it is necessary to form the blackening layer 134 on the transparent substrate. In this case, it is necessary to further sputter a black conductive metal thin film as the base layer 131.

此の様な目的に応える為に、透明基体上に濃い灰色系の導電性金属薄膜と銅薄膜とを積層させた電磁波シールド用透明部材が開発されている(例えば、特許文献4参照)。この電磁波シールド用透明部材では、上記灰色系の導電性金属薄膜で透明性と電磁波シールド性能とを高めている。なお、導電性金属薄膜はスパッタ法で形成され、銅薄膜はスパッタ法でも形成されるが主にはメッキ法で形成される。更に、銅薄膜の保護及び灰色をより濃くするために、銅薄膜上に更に第2の灰色系導電性金属薄膜をスパッタ法で形成している形態も示されている。しかしながら、導電性金属薄膜は灰色なので黒色性が不充分であり、しかも金属光沢が残っているので、反射防止効果が不充分であり外光反射を充分に抑えられないと言う問題が残っている。   In order to meet such a purpose, an electromagnetic wave shielding transparent member in which a dark gray conductive metal thin film and a copper thin film are laminated on a transparent substrate has been developed (see, for example, Patent Document 4). In the transparent member for electromagnetic wave shielding, the gray conductive metal thin film enhances transparency and electromagnetic wave shielding performance. The conductive metal thin film is formed by sputtering, and the copper thin film is formed by sputtering, but is mainly formed by plating. Furthermore, in order to protect the copper thin film and darken the gray, a form in which a second gray conductive metal thin film is further formed on the copper thin film by a sputtering method is also shown. However, since the conductive metal thin film is gray, the blackness is insufficient, and the metallic luster remains, so that there is a problem that the antireflection effect is insufficient and external light reflection cannot be sufficiently suppressed. .

特開2002−311843号公報JP 2002-311843 A 特開2000−13088号公報JP 2000-13088 A 特開2004−241761号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2004-241761 特開平10−335883号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-335883 特開2006−154516号公報JP 2006-154516 A 住友大阪セメント株式会社新材料事業部新規材料研究所新材料研究グループ、“光解像性化学メッキ触媒”、[online]、掲載年月日記載なし、住友大阪セメント株式会社、[平成15年1月7日検索]、インターネット〈URL:http://www.socnb.com/product/hproduct/display.html〉Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. New Materials Division, New Materials Research Institute, New Materials Research Group, “Photoresolvable Chemical Plating Catalyst”, [online], date not listed, Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Month 7 Search], Internet <URL: http: // www. socnb. com / product / hproduct / display. html>

特許文献1には、電磁波遮蔽シートの基材と金属メッシュとの間の接着剤層や、金属メッシュの凹凸を平坦化する平坦化層や、ガラス基板との接着剤層に、可視光及び/又は近赤外の特定の波長を吸収する吸収剤が含有されている電磁波遮蔽シートが開示されている。このようにガラス基板、導電性メッシュ層、或いは、導電性メッシュ層と電磁波遮蔽シートの基材間の接着剤層に接触する箇所に有機系近赤外線吸収剤が含有されている場合には、当該近赤外線吸収剤が劣化しやすいという問題があった。これは、ガラス基板中に由来するナトリウムイオン等のアルカリ金属イオン、導電性メッシュに由来する銅等の金属原子(乃至金属イオン)、ウレタン系接着剤層に由来するウレタン結合と有機系色素とが反応する為である。また、粘着剤層として機能するような従来用いていたアクリル系粘着剤層に、有機系近赤外線吸収剤(色素)を含有させると、当該近赤外線吸収剤とこれら隣接層との反応による光学フィルタとしての分光特性の変化が促進するという問題が生じており、層構成の簡略化の為、粘着剤層中に近赤外線吸収剤を含有させ、且つ該層が金属メッシュ層或いは硝子層と接触する様な構成を実用化するのは困難であった。更に、近年プラズマディスプレイパネルの前面板表面に、別途硝子基板を間に介すること無く、直接配置されるための複合フィルタが求められるようになり、直接貼り付けされる複合フィルタとするのに必要な貼着加工や、可撓性が必要になった。更に、上述のように、生産効率の点から、さらなる改良が求められた。   In Patent Document 1, an adhesive layer between the base material of the electromagnetic wave shielding sheet and the metal mesh, a flattening layer for flattening the unevenness of the metal mesh, an adhesive layer with the glass substrate, visible light and / or Or the electromagnetic wave shielding sheet containing the absorber which absorbs a specific wavelength of near infrared is disclosed. When the organic near-infrared absorber is contained in a location in contact with the glass substrate, the conductive mesh layer, or the adhesive layer between the conductive mesh layer and the base material of the electromagnetic wave shielding sheet, There was a problem that the near-infrared absorber was easily deteriorated. This is because alkali metal ions such as sodium ions derived from the glass substrate, metal atoms (or metal ions) such as copper derived from the conductive mesh, urethane bonds derived from the urethane adhesive layer, and organic dyes This is to react. Further, when an organic near-infrared absorber (pigment) is contained in a conventionally used acrylic adhesive layer that functions as an adhesive layer, an optical filter based on a reaction between the near-infrared absorber and these adjacent layers In order to simplify the layer structure, a near-infrared absorber is contained in the adhesive layer, and the layer is in contact with the metal mesh layer or the glass layer. It was difficult to put such a configuration into practical use. Furthermore, in recent years, there has been a demand for a composite filter to be directly disposed on the surface of the front panel of the plasma display panel, without interposing a glass substrate, and is necessary for a composite filter to be directly attached. Adhesion processing and flexibility were required. Furthermore, as described above, further improvements have been demanded from the viewpoint of production efficiency.

一方、特許文献5には、複合タングステン酸化物微粒子を用いたPDP用近赤外線吸収フィルタが記載されている。しかしながら特許文献5には、プラズマディスプレイに必要とされる各種機能を全て併せ持つような複合フィルタを優れた生産効率で得るための手段は記載されていない。
複合タングステン酸化物微粒子は顔料であるため、複合タングステン酸化物微粒子を分散させた層は着色する。従って、特許文献5に記載されているような近赤外線吸収フィルタをそのままディスプレイの前面に配置される場合のように、複合タングステン酸化物微粒子を分散させた層が、ディスプレイ前面に配置した際に表面付近に配置される層として用いられると、ディスプレイを消している時にディスプレイ前面が複合タングステン酸化物微粒子の色で着色したように見えるため使用者に好まれないという問題がある。特許文献2には、複合タングステン酸化物微粒子が分散されている層を反射防止層の高屈折率層として用いることも記載されているが、この場合においても、最表面層となる反射防止層の低屈折率層は薄膜であるため、ディスプレイ前面に配置された場合にはディスプレイ前面が複合タングステン酸化物微粒子の色で着色したように見える。また、反射防止層のような比較的薄い膜として設けられる層に複合タングステン酸化物微粒子を含有させると、層における微粒子密度が高くなって、ヘイズが高くなるという問題も発生し易い。
On the other hand, Patent Document 5 describes a near-infrared absorption filter for PDP using composite tungsten oxide fine particles. However, Patent Document 5 does not describe means for obtaining a composite filter having all the various functions required for a plasma display with excellent production efficiency.
Since the composite tungsten oxide fine particles are pigments, the layer in which the composite tungsten oxide fine particles are dispersed is colored. Therefore, when the near-infrared absorbing filter as described in Patent Document 5 is disposed on the front surface of the display as it is, the layer in which the composite tungsten oxide fine particles are dispersed is disposed on the front surface of the display. When it is used as a layer disposed in the vicinity, there is a problem that when the display is turned off, the front surface of the display seems to be colored with the color of the composite tungsten oxide fine particles, which is not preferred by the user. Patent Document 2 also describes that a layer in which composite tungsten oxide fine particles are dispersed is used as the high refractive index layer of the antireflection layer. In this case, the antireflection layer serving as the outermost surface layer is also used. Since the low refractive index layer is a thin film, when it is disposed on the front surface of the display, the front surface of the display appears to be colored with the color of the composite tungsten oxide fine particles. In addition, when composite tungsten oxide fine particles are contained in a layer provided as a relatively thin film such as an antireflection layer, a problem that the fine particle density in the layer increases and haze increases easily occurs.

本発明は上記問題点を解消するためになされたものであり、積層工程数を減らして生産効率に優れ、少ない積層数で、複合フィルタとしての可撓性に優れ材料費も低減でき、且つ、長時間の使用、特に高温下や高湿下での長時間の使用によっても近赤外線吸収剤の劣化に帰属される分光特性変化や接着剤の変色に帰属されるフィルタの色ムラが起こり難く、導電性メッシュ層とその隣接層との密着性が高く、黒色度が高く外観も良好な電磁波遮蔽機能、近赤外線吸収機能、及び、表面保護機能の各機能を少なくとも有するディスプレイ用複合フィルタを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is excellent in production efficiency by reducing the number of laminating processes, excellent in flexibility as a composite filter with a small number of laminating, and can reduce material costs, and Even when used for a long time, especially under high temperature and high humidity, filter color unevenness attributed to the change in spectral characteristics attributed to the deterioration of the near-infrared absorber and the color change of the adhesive hardly occurs. Provided is a composite filter for a display having at least each of an electromagnetic wave shielding function, a near-infrared absorption function, and a surface protection function with high adhesion between a conductive mesh layer and its adjacent layer, high blackness and good appearance. For the purpose.

本発明に係る複合フィルタは、透明樹脂基材の一方の面に、少なくとも、複数の開口部とこれを囲繞し区画するライン部を有する導電性メッシュ層を備えた電磁波遮蔽シートの、一方の面に粘着剤層と、他方の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層が形成され、
前記導電性メッシュ層は、導電体層と、該導電体層の少なくとも透明樹脂基材側に設けられた黒化層とを含む積層構造を有し、該黒化層は、ニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)であり、
前記粘着剤層は、一般式MxWyOz(但し、M元素は、H、He、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類元素、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Iのうちから選択される1種類以上の元素、Wはタングステン、Oは酸素、0.001≦x/y≦1.1、2.2≦z/y≦3.0)で表される複合タングステン酸化物微粒子を含有することを特徴とする。
The composite filter according to the present invention is, on one surface of a transparent resin substrate, at least one surface of an electromagnetic wave shielding sheet provided with a conductive mesh layer having a plurality of openings and a line portion surrounding and partitioning the openings. A surface protective layer having at least one function selected from the group consisting of an antireflection function, an antiglare function, and an anti-scratch function is formed on the adhesive layer and the other surface;
The conductive mesh layer has a laminated structure including a conductor layer and a blackened layer provided on at least the transparent resin substrate side of the conductor layer, and the blackened layer is formed of nickel, copper, and oxygen. A blackened layer (Ni-Cu-O blackened layer) made of an alloy containing
The pressure-sensitive adhesive layer has a general formula MxWyOz (where M element is H, He, alkali metal, alkaline earth metal, rare earth element, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni) , Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, B, F, P, S, Se, Br, Te, Ti, Nb , V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi, I, one or more elements, W is tungsten, O is oxygen, 0.001 ≦ x / y ≦ 1.1, The composite tungsten oxide fine particles represented by 2.2 ≦ z / y ≦ 3.0) are contained.

本発明に係る複合フィルタは、実質的に1つの透明樹脂基材とその両面を用いて、電磁波遮蔽機能以外に、近赤外線吸収機能、防眩機能、及び/又は耐擦傷機能等の各種機能を複合化するように設計されている。
表面保護層又は粘着剤層を、電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層面上に直接、導電性メッシュ層の凹凸を平坦化するように設ける。これにより、導電性メッシュ層の凹凸の平坦化と、粘着剤層の場合は更に複合フィルタの貼付加工とを一つの工程で同時に行うことができるため、工程数や平坦化層を減らすことができる。
本発明において近赤外線吸収剤として用いられる前記複合タングステン酸化物微粒子は、耐熱性、耐湿性、耐光性が高く、又硝子層と直接接触する層に添加しても硝子から由来するナトリウムイオンによる色素の劣化も無い。その上、前記複合タングステン酸化物微粒子は、ディスプレイ前面より発生する波長800〜1,100nmの近赤外線帯域全般を当該複合タングステン酸化物微粒子のみで吸収し得るので、更に劣化しやすい有機系近赤外線吸収剤を併用しなくても良い。また、本発明において黒化層として用いられる前記ニッケルと銅と酸素を含む合金は、前記透明樹脂基材と前記金属層の両方に対する密着性が高く、外光吸収を行なうのに充分な黒色度を有している。従って、本発明のディスプレイ用複合フィルタによれば、長時間の使用、特に高温下や高湿下での長時間の使用によっても、近赤外線吸収剤劣化に帰属される分光特性変化や接着剤の変色に帰属されるフィルタの色ムラが起こり難い。また、近赤外線吸収剤の劣化防止のために、ディスプレイ表面等のガラス基板、導電性メッシュ層、或いは、導電性メッシュ層と電磁波遮蔽シートの基材間の接着剤層等から近赤外線吸収層を隔離する必要性がない。そのため、本発明に係るディスプレイ用複合フィルタのような黒色度が高く外観に優れた電磁波遮蔽機能、近赤外線吸収機能、及び、表面保護機能の各機能を有しながら、積層工程数を減らして生産効率に優れ、少ない積層数で厚みが薄く、複合フィルタとしての可撓性に優れ材料費も低減できる構成を実用化可能となった。
本発明のディスプレイ用複合フィルタは、前記複合タングステン酸化物微粒子を分散させた層をディスプレイ前面貼付時に観察側から見て電磁波遮蔽シートの裏側になるように配置したため、複合フィルタ表面は複合タングステン酸化物微粒子の色味を帯びず、ディスプレイ前面に配置されてディスプレイを消している場合にディスプレイ前面が着色したように見えて使用者に好まれないという従来の問題を解消できる。また、反射防止層のような比較的薄い膜として設けられる層に複合タングステン酸化物微粒子を含有させると、層における微粒子密度が高くなって、ヘイズが高くなるという問題も発生するが、本発明のように粘着剤層を兼ねるような樹脂層に含有させると反射防止層に比べて層が厚いため、ヘイズが高くなることを抑制できるというメリットもある。
The composite filter according to the present invention has various functions such as a near-infrared absorption function, an antiglare function, and / or an anti-scratch function in addition to the electromagnetic wave shielding function, using substantially one transparent resin substrate and both surfaces thereof. Designed to be composite.
A surface protective layer or an adhesive layer is provided directly on the conductive mesh layer surface of the electromagnetic wave shielding sheet so as to flatten the irregularities of the conductive mesh layer. As a result, the unevenness of the conductive mesh layer can be flattened, and in the case of the pressure-sensitive adhesive layer, the composite filter can be applied simultaneously in one step, so the number of steps and the flattening layer can be reduced. .
The composite tungsten oxide fine particles used as a near-infrared absorber in the present invention have high heat resistance, moisture resistance, and light resistance, and even when added to a layer that is in direct contact with the glass layer, a dye derived from sodium ions derived from the glass There is no deterioration. In addition, since the composite tungsten oxide fine particles can absorb the entire near-infrared band with a wavelength of 800 to 1,100 nm generated from the front surface of the display only by the composite tungsten oxide fine particles, the organic near-infrared absorption which is more easily deteriorated. It is not necessary to use the agent in combination. The alloy containing nickel, copper and oxygen used as a blackening layer in the present invention has high adhesion to both the transparent resin substrate and the metal layer, and has a blackness sufficient to absorb external light. have. Therefore, according to the composite filter for display of the present invention, even when used for a long time, particularly for a long time under high temperature or high humidity, the spectral characteristic change attributed to deterioration of the near-infrared absorber and the adhesive Color unevenness of the filter attributed to discoloration hardly occurs. In order to prevent deterioration of the near-infrared absorber, a near-infrared absorbing layer is formed from a glass substrate such as a display surface, a conductive mesh layer, or an adhesive layer between the conductive mesh layer and the base material of the electromagnetic shielding sheet. There is no need to isolate. For this reason, it has an electromagnetic shielding function, a near infrared absorption function, and a surface protection function with high blackness and excellent appearance, such as a composite filter for a display according to the present invention, and is produced by reducing the number of lamination processes. It has become possible to put into practical use a structure that is excellent in efficiency, thin in thickness with a small number of layers, excellent in flexibility as a composite filter, and can reduce material costs.
In the composite filter for display according to the present invention, since the layer in which the composite tungsten oxide fine particles are dispersed is disposed so as to be on the back side of the electromagnetic wave shielding sheet when viewed from the observation side when the front surface of the display is attached, The conventional problem that the front surface of the display appears to be colored and is not preferred by the user when the display is turned off without being tinted with fine particles can be solved. In addition, when the composite tungsten oxide fine particles are contained in a layer provided as a relatively thin film such as an antireflection layer, there is a problem that the fine particle density in the layer increases and haze increases. Thus, when it is made to contain in the resin layer which serves as an adhesive layer, since a layer is thick compared with an antireflection layer, there also exists a merit that it can control that haze becomes high.

本発明に係るディスプレイ用複合フィルタにおいては、前記導電性メッシュ層は、周縁部の一部を露出されていることが好ましい。このような実施形態の場合、接地のための剥離工程等を必要とせず、複合フィルタの貼付加工又は表面保護層形成と、平坦化と導電性メッシュ層周縁の接地用領域の確保を一つの工程で同時に行うことができるため、更に工程数を減らすことができ、生産性が向上する。   In the composite filter for display according to the present invention, it is preferable that a part of the peripheral edge of the conductive mesh layer is exposed. In the case of such an embodiment, it is not necessary to perform a peeling process for grounding, etc., and it is a single process for applying a composite filter or forming a surface protective layer, and flattening and securing a grounding area around the conductive mesh layer. The number of steps can be further reduced and productivity can be improved.

本発明に係る複合フィルタの好適な実施形態のうち第一の実施形態としては、前記電磁波遮蔽シートの前記導電性メッシュ層側の面に、他の層を介さずに直接、粘着剤層と、前記電磁波遮蔽シートの透明樹脂基材の導電性メッシュ層を有しない他方の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層が形成されており、且つ、前記電磁波遮蔽シートにおける導電性メッシュ層は、前記透明樹脂基材側の面がNi−Cu−O黒化処理されている実施形態が挙げられる。   Among preferred embodiments of the composite filter according to the present invention, as a first embodiment, the surface of the electromagnetic shielding sheet on the side of the conductive mesh layer, directly without any other layer, and an adhesive layer, A surface protective layer having at least one function selected from the group consisting of an antireflection function, an antiglare function, and an anti-scratch function on the other surface of the electromagnetic wave shielding sheet that does not have the conductive mesh layer of the transparent resin substrate. And the conductive mesh layer in the electromagnetic wave shielding sheet includes an embodiment in which the surface on the transparent resin base material side is subjected to Ni—Cu—O blackening treatment.

本発明に係る複合フィルタの好適な実施形態のうち第二の実施形態としては、前記電磁波遮蔽シートの前記導電性メッシュ層側の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層が形成され、前記電磁波遮蔽シートの透明樹脂基材の導電性メッシュ層を有しない他方の面に粘着剤層が形成されており、且つ、前記電磁波遮蔽シートにおける導電性メッシュ層は、少なくとも前記透明樹脂基材側と反対側の面がNi−Cu−O黒化処理されている実施形態が挙げられる。   Of the preferred embodiments of the composite filter according to the present invention, as a second embodiment, the surface of the electromagnetic shielding sheet on the side of the conductive mesh layer is composed of an antireflection function, an antiglare function, and an abrasion resistance function. A surface protective layer having one or more functions selected from the above, a pressure-sensitive adhesive layer is formed on the other surface of the electromagnetic wave shielding sheet that does not have a conductive mesh layer of the transparent resin substrate, and As for the electroconductive mesh layer in the said electromagnetic wave shielding sheet, embodiment by which the surface on the opposite side to the said transparent resin base material side is Ni-Cu-O blackening process is mentioned.

本発明に係るディスプレイ用複合フィルタにおいては、前記透明樹脂基材、表面保護層、及び/又は粘着剤層は、紫外線吸収剤を含有することが好ましい。このような実施形態の場合、前記複合タングステン酸化物微粒子を含有した前記粘着層に加え、透明樹脂基材及び/又は表面保護層が紫外線吸収機能を有するので、日光や照明光による光吸収材の変質や劣化を妨げることができる。また、本発明に係るディスプレイ用複合フィルタにおいては、前記粘着剤層は、ネオン光吸収剤、及び/又は色補正色素を含有することが好ましい。上記構成により、各機能層と基材からなる機能フィルタを貼り合わせる工程を減らすことができるため、生産効率に優れる。また、少ない積層数で厚みが減り、複合フィルタとしての可撓性に優れ、巻き取りも可能になり、材料費も低減できる。
また、本発明のような層構造を有する場合には、層数削減により界面反射を抑えることができるというメリットがある。
In the composite filter for display according to the present invention, it is preferable that the transparent resin substrate, the surface protective layer, and / or the pressure-sensitive adhesive layer contain an ultraviolet absorber. In the case of such an embodiment, in addition to the adhesive layer containing the composite tungsten oxide fine particles, the transparent resin base material and / or the surface protective layer has an ultraviolet absorbing function. Can prevent deterioration and deterioration. Moreover, in the composite filter for displays which concerns on this invention, it is preferable that the said adhesive layer contains a neon light absorber and / or a color correction pigment | dye. With the above configuration, it is possible to reduce the step of attaching the functional filter composed of each functional layer and the base material, and thus the production efficiency is excellent. In addition, the thickness is reduced with a small number of layers, excellent flexibility as a composite filter, winding is possible, and material costs can be reduced.
Moreover, when it has a layer structure like this invention, there exists a merit that interface reflection can be suppressed by the number of layers reduction.

本発明に係るディスプレイ用複合フィルタにおいては、前記複合タングステン酸化物微粒子の平均分散粒径が800nm以下であることが、可視域の透過率が高く、ヘイズも小さくなる点から好ましい。   In the composite filter for display according to the present invention, the average dispersed particle size of the composite tungsten oxide fine particles is preferably 800 nm or less from the viewpoint of high transmittance in the visible region and low haze.

本発明に係るディスプレイ用複合フィルタにおいては、前記複合タングステン酸化物微粒子が、六方晶、正方晶、立方晶のいずれか1種類以上の結晶構造を含むことが、光学特性の耐久性向上の点から好ましい。   In the composite filter for display according to the present invention, the composite tungsten oxide fine particles include one or more crystal structures of hexagonal crystal, tetragonal crystal, and cubic crystal from the viewpoint of improving the durability of optical characteristics. preferable.

本発明に係るディスプレイ用複合フィルタにおいては、前記複合タングステン酸化物微粒子のM元素が、Cs(セシウム)元素であり、該複合タングステン酸化物微粒子が六方晶の結晶構造を有することが、光学特性の耐久性向上の点から好ましい。   In the composite filter for a display according to the present invention, the M element of the composite tungsten oxide fine particles is a Cs (cesium) element, and the composite tungsten oxide fine particles have a hexagonal crystal structure, It is preferable from the point of durability improvement.

本発明に係るディスプレイ用複合フィルタにおいては、前記複合タングステン酸化物微粒子の表面が、Si、Ti、Zr、Alから選択される1種類以上の元素を含有する酸化物で被覆されていることが、光学特性の耐久性向上の点から好ましい。   In the composite filter for display according to the present invention, the surface of the composite tungsten oxide fine particles is coated with an oxide containing one or more elements selected from Si, Ti, Zr, and Al. It is preferable from the viewpoint of improving the durability of optical characteristics.

本発明の一実施形態として、前記導電性メッシュ層は、前記透明樹脂基材に近い側から、前記Ni−Cu−O黒化層、気相成膜により形成された導電体層としての金属薄膜の層、及び前記金属層がこの順序で積層された積層構造を有するものとすることができる。該金属薄膜の層によって、前記透明樹脂基材と前記金属層の間の密着性を向上できる。
また、別の実施形態として、前記導電性メッシュ層は、前記透明樹脂基材に近い側から、前記気相成膜により形成された導電体層としての金属薄膜の層、前記金属層、及び前記Ni−Cu−O黒化層がこの順序で積層された積層構造を有するものとすることができる。
前記Ni−Cu−O黒化層は、気相成膜により形成された薄膜の層であることが好ましい。前記Ni−Cu−O黒化層の厚みが、80Å以上300Å以下であることが好ましい。前記金属層が銅メッキ層であることが、優れた電磁波遮蔽性が得られる観点から好ましい。
As one embodiment of the present invention, the conductive mesh layer is formed from the side close to the transparent resin substrate, the Ni-Cu-O blackening layer, a metal thin film as a conductor layer formed by vapor phase film formation. These layers and the metal layer may have a stacked structure in which they are stacked in this order. The adhesion between the transparent resin substrate and the metal layer can be improved by the metal thin film layer.
Moreover, as another embodiment, the conductive mesh layer is formed from the side close to the transparent resin base material, a metal thin film layer as a conductor layer formed by the vapor phase film formation, the metal layer, and the The Ni—Cu—O blackening layer may have a stacked structure in which these layers are stacked in this order.
The Ni—Cu—O blackening layer is preferably a thin film layer formed by vapor deposition. The thickness of the Ni—Cu—O blackening layer is preferably 80 to 300 mm. The metal layer is preferably a copper plating layer from the viewpoint of obtaining excellent electromagnetic shielding properties.

本発明の一実施形態として、前記銅メッキ層は、該銅メッキ層の表面に対して平行な結晶面の存在比をX線回折測定により特定された結晶面の面指数ピーク比で表したときに、(111)面強度に対する(200)面強度の比が50%以上であるものとすることができる。
また、別の実施形態として、前記銅メッキ層は、該銅メッキ層の表面に対して平行な結晶面の存在比をX線回折測定により特定された結晶面の面指数ピーク比で表したときに、(111)面強度に対する(220)面強度の比が50%以上であるものとすることができる。
さらに、別の実施形態として、前記銅メッキ層は、該銅メッキ層の表面に対して平行な結晶面の存在比をX線回折測定により特定された結晶面の面指数ピーク比で表したときに、(111)面強度に対する(200)面と(220)面の合計強度の比が70%以上であるものとすることができる。
As one embodiment of the present invention, when the copper plating layer represents the abundance ratio of crystal planes parallel to the surface of the copper plating layer as a plane index peak ratio of crystal planes specified by X-ray diffraction measurement Further, the ratio of the (200) plane strength to the (111) plane strength can be 50% or more.
As another embodiment, when the copper plating layer represents the abundance ratio of crystal planes parallel to the surface of the copper plating layer as a plane index peak ratio of crystal planes specified by X-ray diffraction measurement Furthermore, the ratio of the (220) plane strength to the (111) plane strength can be 50% or more.
Furthermore, as another embodiment, when the copper plating layer represents an abundance ratio of crystal planes parallel to the surface of the copper plating layer as a plane index peak ratio of crystal planes specified by X-ray diffraction measurement Furthermore, the ratio of the total strength of the (200) plane and the (220) plane to the (111) plane strength can be 70% or more.

本発明に係るディスプレイ用複合フィルタの製造方法は、透明樹脂基材の一方の面に、少なくとも、複数の開口部とこれを囲繞し区画するライン部を有する導電性メッシュ層を備えた電磁波遮蔽シートの、一方の面に粘着剤層と、他方の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層が形成され、該導電性メッシュ層は、導電体層としての金属層と、該金属層の少なくとも透明樹脂基材側に設けられた黒化層とを含む積層構造を有し、該黒化層は、ニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)であり、該粘着剤層は、一般式MxWyOz(但し、M元素は、H、He、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類元素、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Iのうちから選択される1種類以上の元素、Wはタングステン、Oは酸素、0.001≦x/y≦1.1、2.2≦z/y≦3.0)で表される複合タングステン酸化物微粒子を含有するディスプレイ用複合フィルタの製造方法であって、前記透明樹脂基材に対し、前記透明樹脂基材の一方の面に、該金属層としての金属メッキ層を形成する工程、酸素ガス存在下でNi−Cu合金をターゲットとするスパッタによってニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)を形成する工程、及び、該導電体層に含まれるべき他の層を形成する工程を所定の順序で行なって、金属メッキ層とNi−Cu−O黒化層とを含む積層構造を有する非メッシュ状の導電体層を形成した後、該導電体層を所定のメッシュ形状にエッチングする工程、表面保護層を形成する工程、及び粘着剤層を形成する工程を含むことを特徴とする。
前記金属層は、電解メッキ法で銅メッキを好適に形成することができる。
前記黒化層は、Ni−Cu合金をターゲットとし、酸素ガスを供給するスパッタ法(反応性スパッタリング)で好適に形成することができる。
The method for producing a composite filter for display according to the present invention includes an electromagnetic wave shielding sheet having a conductive mesh layer having at least a plurality of openings and a line portion surrounding and partitioning on one surface of a transparent resin substrate. A surface protective layer having one or more functions selected from the group consisting of an antireflection function, an antiglare function, and an anti-scratch function is formed on one surface and an adhesive layer on the other surface. The conductive mesh layer has a laminated structure including a metal layer as a conductor layer and a blackened layer provided on at least the transparent resin substrate side of the metal layer, and the blackened layer includes nickel and copper. It is a blackening layer (Ni-Cu-O blackening layer) made of an alloy containing oxygen, and the pressure-sensitive adhesive layer has a general formula MxWyOz (where M element is H, He, alkali metal, alkaline earth metal, Rare earth elements, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, u, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, B, F, P, S, One or more elements selected from Se, Br, Te, Ti, Nb, V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi, I, W is tungsten, O is oxygen, 0.001 ≦ x / y ≦ 1.1, 2.2 ≦ z / y ≦ 3.0), which is a method for producing a composite filter for display, comprising the composite tungsten oxide fine particles. On the other hand, a step of forming a metal plating layer as the metal layer on one surface of the transparent resin substrate, from an alloy containing nickel, copper and oxygen by sputtering using a Ni—Cu alloy as a target in the presence of oxygen gas A blackening layer (Ni-Cu-O blackening layer) is formed And a step of forming another layer to be included in the conductor layer in a predetermined order to form a non-mesh structure having a laminated structure including a metal plating layer and a Ni—Cu—O blackening layer After forming the conductor layer, the method includes a step of etching the conductor layer into a predetermined mesh shape, a step of forming a surface protective layer, and a step of forming an adhesive layer.
The metal layer can be suitably formed by copper plating by an electrolytic plating method.
The blackening layer can be suitably formed by a sputtering method (reactive sputtering) in which an oxygen gas is supplied using a Ni—Cu alloy as a target.

本発明のディスプレイ用複合フィルタは、電磁波遮蔽機能、近赤外線吸収機能、及び、表面保護機能の各機能を少なくとも有しながら、積層工程数を減らして生産効率に優れ、少ない積層数で厚みが薄く、導電性メッシュ層とその隣接層との密着性が高く、複合フィルタとしての可撓性に優れ材料費も低減でき、また、層数削減により界面反射を抑えることができるという効果を奏する。更に、本発明のディスプレイ用複合フィルタは、長時間の使用、特に高温下や高湿下での長時間の使用によっても近赤外線吸収剤劣化に帰属される分光特性変化や接着剤の変色に帰属されるフィルタの色ムラが起こり難く、フィルタ表面が着色されず、また、黒色度に優れ外光反射が少なく、プラズマディスプレイ前面に設置された際の外観も良好であるという効果を奏する。   The composite filter for display of the present invention has at least each function of an electromagnetic wave shielding function, a near-infrared absorption function, and a surface protection function, and is excellent in production efficiency by reducing the number of lamination processes, and is thin with a small number of laminations. In addition, the adhesiveness between the conductive mesh layer and the adjacent layer is high, the composite filter is excellent in flexibility, the material cost can be reduced, and the interface reflection can be suppressed by reducing the number of layers. Furthermore, the composite filter for display according to the present invention is attributed to the change in spectral characteristics and the discoloration of the adhesive attributed to the deterioration of the near-infrared absorber even when used for a long time, particularly for a long time under high temperature or high humidity. The color unevenness of the filter is hardly generated, the filter surface is not colored, the blackness is excellent, the external light reflection is small, and the appearance when installed on the front surface of the plasma display is excellent.

本発明に係るディスプレイ用複合フィルタは、透明樹脂基材の一方の面に、少なくとも、複数の開口部とこれを囲繞し区画するライン部を有する導電性メッシュ層を備えた電磁波遮蔽シートの、一方の面に粘着剤層と、他方の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層が形成され、
前記導電性メッシュ層は、金属層、導電インキ層等の導電体層と、該導電体層の少なくとも透明樹脂基材側(表面保護層側、即ち観察者側でも有る)に設けられた黒化層とを含む積層構造を有し、該黒化層は、ニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)であり、
前記粘着剤層は、一般式MxWyOz(但し、M元素は、H、He、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類元素、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Iのうちから選択される1種類以上の元素、Wはタングステン、Oは酸素、0.001≦x/y≦1.1、2.2≦z/y≦3.0)で表される複合タングステン酸化物微粒子を含有することを特徴とする。
本発明に係るディスプレイ用複合フィルタの製造方法は、透明樹脂基材の一方の面に、少なくとも、複数の開口部とこれを囲繞し区画するライン部を有する導電性メッシュ層を備えた電磁波遮蔽シートの、一方の面に粘着剤層と、他方の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層が形成され、
前記導電性メッシュ層は、導電体層としての金属層と、該金属層の少なくとも透明樹脂基材側に設けられた黒化層とを含む積層構造を有し、該黒化層は、ニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)であり、
前記粘着剤層は、一般式MxWyOz(但し、M元素は、H、He、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類元素、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Iのうちから選択される1種類以上の元素、Wはタングステン、Oは酸素、0.001≦x/y≦1.1、2.2≦z/y≦3.0)で表される複合タングステン酸化物微粒子を含有するディスプレイ用複合フィルタの製造方法であって、
前記透明樹脂基材に対し、前記透明樹脂基材の一方の面に、該金属層としての金属メッキ層を形成する工程、酸素ガス存在下でNi−Cu合金をターゲットとするスパッタによってニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)を形成する工程、及び、該導電体層に含まれるべき他の層を形成する工程を所定の順序で行なって、金属メッキ層とNi−Cu−O黒化層とを含む積層構造を有する非メッシュ状の導電体層を形成した後、該導電体層を所定のメッシュ形状にエッチングする工程、表面保護層を形成する工程、及び粘着剤層を形成する工程を含むことを特徴とする。
The composite filter for a display according to the present invention is an electromagnetic wave shielding sheet provided with a conductive mesh layer having at least a plurality of openings and a line portion surrounding and partitioning on one surface of the transparent resin substrate. A surface protective layer having one or more functions selected from the group consisting of an adhesive layer on the surface and an antireflection function, an antiglare function, and an anti-scratch function on the other surface;
The conductive mesh layer is a blackened layer provided on a conductive layer such as a metal layer or a conductive ink layer and at least the transparent resin substrate side (also on the surface protective layer side, that is, the observer side) of the conductive layer. And the blackening layer is a blackening layer (Ni-Cu-O blackening layer) made of an alloy containing nickel, copper, and oxygen,
The pressure-sensitive adhesive layer has a general formula MxWyOz (where M element is H, He, alkali metal, alkaline earth metal, rare earth element, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni) , Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, B, F, P, S, Se, Br, Te, Ti, Nb , V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi, I, one or more elements, W is tungsten, O is oxygen, 0.001 ≦ x / y ≦ 1.1, The composite tungsten oxide fine particles represented by 2.2 ≦ z / y ≦ 3.0) are contained.
The method for producing a composite filter for display according to the present invention includes an electromagnetic wave shielding sheet having a conductive mesh layer having at least a plurality of openings and a line portion surrounding and partitioning on one surface of a transparent resin substrate. A surface protective layer having one or more functions selected from the group consisting of an adhesive layer on one surface and an antireflection function, an antiglare function, and an anti-scratch function on the other surface,
The conductive mesh layer has a laminated structure including a metal layer as a conductor layer and a blackened layer provided on at least the transparent resin substrate side of the metal layer, and the blackened layer is made of nickel, It is a blackened layer (Ni-Cu-O blackened layer) made of an alloy containing copper and oxygen,
The pressure-sensitive adhesive layer has a general formula MxWyOz (where M element is H, He, alkali metal, alkaline earth metal, rare earth element, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni) , Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, B, F, P, S, Se, Br, Te, Ti, Nb , V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi, I, one or more elements, W is tungsten, O is oxygen, 0.001 ≦ x / y ≦ 1.1, 2.2 ≦ z / y ≦ 3.0), which is a method for producing a composite filter for display containing composite tungsten oxide fine particles,
A step of forming a metal plating layer as the metal layer on one surface of the transparent resin base material with respect to the transparent resin base material, nickel and copper by sputtering with a Ni—Cu alloy target in the presence of oxygen gas And a step of forming a blackening layer (Ni-Cu-O blackening layer) made of an alloy containing oxygen and a step of forming another layer to be included in the conductor layer in a predetermined order, After forming a non-mesh conductor layer having a laminated structure including a metal plating layer and a Ni—Cu—O blackening layer, etching the conductor layer into a predetermined mesh shape, forming a surface protective layer And a step of forming a pressure-sensitive adhesive layer.

本発明に係るプラズマディスプレイ用複合フィルタの層構成について図面を用いて説明する。
本発明による複合フィルタの一例の断面図を図1で概念的に示す。なお、図1以下の断面図において、説明の容易化のために、厚み方向(図の上下方向)を面方向(図の左右方向)の縮尺よりも大幅に拡大誇張して図示してある。図1に示す複合フィルタ1は、透明樹脂基材11の一方の面に導電性メッシュ層16を備えた電磁波遮蔽シート10の、一方の面に粘着剤層20と、他方の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層30が形成されている。ここで、導電性メッシュ層16は、黒化層13と、気相成膜により形成された金属薄膜の層としての銅スパッタ層14と(本発明に於いて、銅、銅合金、又は銅酸化物からスパッタ法で形成される膜を銅スパッタ層と称している)、金属層としての銅メッキ層15を含む積層構造を有し(本発明の主要な実施形態に於いては、金属層をメッキにて形成する為、以降、金属層を代表する語彙として、金属メッキ層の語を適宜用いる)、黒化層13は、ニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)であり、粘着剤層20は、一般式MxWyOz(但し、M元素は、H、He、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類元素、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Iのうちから選択される1種類以上の元素、Wはタングステン、Oは酸素、0.001≦x/y≦1.1、2.2≦z/y≦3.0)で表される複合タングステン酸化物微粒子を含有している。更に、本発明による複合フィルタ1は、粘着剤層20又は表面保護層30が導電性メッシュ層16上に導電性メッシュ層の凹凸を平坦化するように形成されている。更に、本発明による複合フィルタ1は、図1のように、粘着剤層20又は表面保護層30が導電性メッシュ層16上の全面にではなく導電性メッシュ層の周縁部の一部17を露出させる様に間欠塗工又は間欠貼合などで部分的にパターン状に形成されていることが好ましい。
本発明に係るディスプレイ用複合フィルタは、PDP等のディスプレイパネルの前面に配置されれば、ディスプレイパネル本体の前面硝子基板上に直接貼り付けられるものであっても、他の硝子等の透明基板に貼り付けた上で前面板として、ディスプレイパネルの前面に配置されるものであっても良い。また、粘着剤層20を介して別途光学機能等を有していても良い。
The layer structure of the composite filter for plasma display according to the present invention will be described with reference to the drawings.
A sectional view of an example of a composite filter according to the present invention is conceptually shown in FIG. In the cross-sectional views of FIG. 1 and subsequent figures, for ease of explanation, the thickness direction (vertical direction in the figure) is greatly enlarged and exaggerated from the scale in the plane direction (horizontal direction in the figure). The composite filter 1 shown in FIG. 1 has an adhesive layer 20 on one surface and an antireflection function on the other surface of an electromagnetic wave shielding sheet 10 having a conductive mesh layer 16 on one surface of a transparent resin substrate 11. A surface protective layer 30 having at least one function selected from the group consisting of an antiglare function and a scratch resistance function is formed. Here, the conductive mesh layer 16 includes a blackening layer 13 and a copper sputter layer 14 as a metal thin film layer formed by vapor deposition (in the present invention, copper, copper alloy, or copper oxide). A film formed from a material by sputtering is called a copper sputter layer), and has a laminated structure including a copper plating layer 15 as a metal layer (in the main embodiment of the present invention, a metal layer is In order to form by plating, hereinafter, the term “metal plating layer is used as appropriate” as a vocabulary representing the metal layer), the blackening layer 13 is a blackening layer (Ni—Cu) made of an alloy containing nickel, copper and oxygen. -O blackening layer), and the pressure-sensitive adhesive layer 20 has the general formula MxWyOz (where the M element is H, He, alkali metal, alkaline earth metal, rare earth element, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Cu, Ag, u, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, B, F, P, S, Se, Br, Te, Ti, Nb, V, Mo, Ta, Re, One or more elements selected from Be, Hf, Os, Bi, and I, W is tungsten, O is oxygen, 0.001 ≦ x / y ≦ 1.1, 2.2 ≦ z / y ≦ 3 .0) is contained. Furthermore, the composite filter 1 according to the present invention is formed such that the pressure-sensitive adhesive layer 20 or the surface protective layer 30 flattens the unevenness of the conductive mesh layer on the conductive mesh layer 16. Furthermore, in the composite filter 1 according to the present invention, as shown in FIG. 1, the pressure-sensitive adhesive layer 20 or the surface protective layer 30 exposes a part 17 of the peripheral portion of the conductive mesh layer instead of the entire surface on the conductive mesh layer 16. It is preferable that it is partially formed in a pattern by intermittent coating or intermittent bonding so as to make it happen.
If the composite filter for display according to the present invention is disposed on the front surface of a display panel such as a PDP, even if it is directly attached on the front glass substrate of the display panel body, it is applied to a transparent substrate such as another glass. It may be disposed on the front surface of the display panel as a front plate after being attached. Moreover, you may have an optical function etc. separately through the adhesive layer 20. FIG.

図1は、本発明に係る複合フィルタの好適な実施形態のうちの第一の実施形態であり、前記電磁波遮蔽シート10の導電性メッシュ層16側の面に粘着剤層20が形成され、前記電磁波遮蔽シート10の透明樹脂基材11の導電性メッシュ層16を有しない他方の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層30が形成されており、且つ、前記電磁波遮蔽シートにおける導電性メッシュ層16は、前記透明樹脂基材11側に近い側から黒化層13、導電体層として、気相成膜により形成された金属薄膜である銅スパッタ層14と、銅メッキ層15が形成されている。   FIG. 1 is a first embodiment of a preferred embodiment of a composite filter according to the present invention, in which an adhesive layer 20 is formed on the surface of the electromagnetic shielding sheet 10 on the conductive mesh layer 16 side, and Surface having at least one function selected from the group consisting of an antireflection function, an antiglare function, and a scratch resistance function on the other surface of the electromagnetic wave shielding sheet 10 that does not have the conductive mesh layer 16 of the transparent resin substrate 11 The protective layer 30 is formed, and the conductive mesh layer 16 in the electromagnetic wave shielding sheet is formed by vapor deposition as the blackening layer 13 and the conductor layer from the side close to the transparent resin substrate 11 side. A copper sputter layer 14 and a copper plating layer 15 which are the formed metal thin films are formed.

図2は、本発明に係る複合フィルタの好適な実施形態のうちの第二の実施形態であり、前記電磁波遮蔽シート10の前記透明樹脂基材11の導電性メッシュ層16を有しない面に前記粘着剤層20が形成され、前記電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層16側の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層30が形成されており、且つ、前記電磁波遮蔽シートにおける導電性メッシュ層16は、透明樹脂基材11側に近い側から、導電体層として、気相成膜により形成された金属薄膜である銅スパッタ層14、銅メッキ層15と、黒化層13が形成されている。   FIG. 2 is a second embodiment among the preferred embodiments of the composite filter according to the present invention, and the surface of the electromagnetic wave shielding sheet 10 that does not have the conductive mesh layer 16 of the transparent resin base material 11. Surface protection having an adhesive layer 20 and having at least one function selected from the group consisting of an antireflection function, an antiglare function, and an abrasion resistance function on the surface of the electromagnetic wave shielding sheet on the conductive mesh layer 16 side. The conductive mesh layer 16 in the electromagnetic wave shielding sheet is a metal thin film formed by vapor-phase film formation as a conductor layer from the side close to the transparent resin substrate 11 side. A copper sputter layer 14, a copper plating layer 15, and a blackening layer 13 are formed.

本発明のディスプレイ用複合フィルタによれば、実質的に1つの透明樹脂基材11とその両面を用いて、電磁波遮蔽機能以外に、近赤外線吸収機能、更には、反射防止機能、防眩機能、及び/又は耐擦傷機能等の各種機能を複合化するように設計されている。そのため、光学機能発現部分は、従来のように、各個に透明基材を有し合計で複数(2乃至3層程度)の透明基材を有する積層構成をとらない。従って、従来複数含まれていた光学フィルタの透明基材やそれらを貼り合わせるための接着剤層を減らすことができる。その結果、本発明のディスプレイ用複合フィルタは、材料費が低減できる上、少ない積層数で厚みを薄くできるので複合フィルタとしての可撓性にも優れる。また、本発明のような層構成を有する場合には、層数削減により界面反射を抑えることができるというメリットがある。
更に、電磁波遮蔽シート10の導電性メッシュ層16面上に別途平坦化層を設けることなく、図1の態様の場合は直接粘着剤層20を、当該導電性メッシュ層の凹凸を平坦化するように設けているため、電磁波遮蔽シート10のメッシュ面の平坦化機能も有する当該粘着剤層20が複合フィルタの貼付面となり、例えば、当該複合フィルタ1をプラズマディスプレイパネル40の前面(観察者50側)に直接貼り付けることが可能である。また、図1の態様の場合は導電性メッシュ層16の露出させた周縁部の一部17を接地用領域としてそのまま使用することができる。このようにして本発明は、複合フィルタの貼着加工と導電性メッシュ層の平坦化と導電性メッシュ層周縁の接地用領域の確保を一つの工程で同時に行うことができるため、工程数や平坦化層を減らすことができる。
また、本発明に係るディスプレイ用複合フィルタは、各層の配置を最適化したので、従来のように上記光学フィルタと上記電磁波遮蔽シートにおける基材フィルム同士を貼り合わせる工程が不要であり、生産効率に優れる。
According to the composite filter for display of the present invention, using substantially one transparent resin substrate 11 and both surfaces thereof, in addition to the electromagnetic wave shielding function, the near infrared ray absorbing function, further, the antireflection function, the antiglare function, And / or it is designed to combine various functions such as a scratch resistance function. Therefore, the optical function developing part does not take a laminated structure having a transparent base material in each piece and a plurality of transparent base materials (about 2 to 3 layers) in total, as in the past. Therefore, the transparent base material of the optical filter which was conventionally contained in multiple numbers, and the adhesive bond layer for bonding them together can be reduced. As a result, the composite filter for display of the present invention can be reduced in material cost, and can be reduced in thickness with a small number of layers, and thus has excellent flexibility as a composite filter. Moreover, when it has a layer structure like this invention, there exists a merit that interface reflection can be suppressed by the number of layers reduction.
Furthermore, without providing a separate flattening layer on the surface of the conductive mesh layer 16 of the electromagnetic wave shielding sheet 10, in the case of the embodiment of FIG. 1, the pressure-sensitive adhesive layer 20 is directly flattened so that the unevenness of the conductive mesh layer is flattened. Therefore, the pressure-sensitive adhesive layer 20 that also has a function of flattening the mesh surface of the electromagnetic wave shielding sheet 10 serves as an affixing surface of the composite filter. ) Directly. Further, in the case of the embodiment of FIG. 1, a part 17 of the exposed peripheral edge portion of the conductive mesh layer 16 can be used as it is as a grounding region. As described above, the present invention can simultaneously perform the bonding process of the composite filter, the flattening of the conductive mesh layer, and the grounding area around the periphery of the conductive mesh layer in one process. The formation layer can be reduced.
In addition, since the composite filter for display according to the present invention has optimized the arrangement of each layer, there is no need for a step of pasting the base films in the optical filter and the electromagnetic wave shielding sheet as in the past, and the production efficiency is improved. Excellent.

本発明において近赤外線吸収剤として用いられる前記複合タングステン酸化物微粒子は、耐熱性、耐湿性、耐光性が高い。特に、斯かる複合タングステン酸化物微粒子は、従来の有機系近赤外線吸收色素を劣化させる要因となっていた導電性メッシュの金属層、ディスプレイ前面板の硝子層、或いはウレタン結合を有する接着剤層と接触する層に含有させても、これらの層との反応による特性劣化を生じ難い。その上、前記複合タングステン酸化物微粒子は、ディスプレイ前面より発生する波長800〜1,100nmの近赤外線帯域全般を当該複合タングステン酸化物微粒子のみで吸収し得るので、更に劣化しやすい有機系近赤外線吸収剤を併用しなくても良い。また、本発明において黒化層として用いられる前記ニッケルと銅と酸素を含む合金は、前記透明樹脂基材と前記金属層の両方に対する密着性が高く、外光吸収を行なうのに充分な黒色度を有している。また、前記導電性メッシュ層は、一般的には金属箔のエッチングで形成した物が代表的であり、電磁波遮蔽機能においては意義を有する。しかし、前記導電性メッシュ層を前記透明樹脂基材上に形成する際に、メッキ法により金属層を形成すると、金属箔を貼り合わせるための接着剤が不要となる。特に、極薄い銅層(例えば5μm以下)を形成したい場合には、銅箔を貼合わせる工程での銅箔の取り扱いが非常に面倒であり、破損を生じやすいが、メッキ法による場合には極薄い銅メッキ層を容易に形成することができる。従って、本発明のディスプレイ用複合フィルタによれば、長時間の使用、特に高温下や高湿下での長時間の使用によっても、近赤外線吸収剤劣化に帰属される分光特性変化や接着剤の変色に帰属されるフィルタの色ムラが起こり難い。また、近赤外線吸収剤の劣化防止のために、ディスプレイ表面等のガラス基板、導電性メッシュ層、或いは、導電性メッシュ層と電磁波遮蔽シートの基材間の接着剤層等から近赤外線吸収層を隔離する必要性がない。また、金属箔を除去した開口部が粗面となって光の乱反射が生じたりするという問題が生じない。そのため、本発明に係るディスプレイ用複合フィルタのような黒色度が高く外観に優れた電磁波遮蔽機能、近赤外線吸収機能、及び、表面保護機能の各機能を有しながら、積層工程数を減らして生産効率に優れ、少ない積層数で厚みが薄く、複合フィルタとしての可撓性に優れ材料費も低減できる構成を実用化可能となった。
本発明のディスプレイ用複合フィルタは、前記複合タングステン酸化物微粒子を分散させた層をディスプレイ前面貼付時に観察側から見て電磁波遮蔽シートの裏側になるように配置したため、複合フィルタ表面は複合タングステン酸化物微粒子の色味を帯びず、ディスプレイ前面に配置されてディスプレイを消している場合にディスプレイ前面が着色したように見えて使用者に好まれないという従来の問題を解消できる。また、反射防止層のような比較的薄い膜として設けられる層に複合タングステン酸化物微粒子を含有させると、層における微粒子密度が高くなって、ヘイズが高くなるという問題も発生するが、本発明のように粘着剤層を兼ねるような樹脂層に含有させると反射防止層に比べて層が厚いため、ヘイズが高くなることを抑制できるというメリットもある。
以下、本発明に用いられる複合フィルタについて、電磁波遮蔽シート、粘着剤層、及び表面保護層を順に説明する。
The composite tungsten oxide fine particles used as a near-infrared absorber in the present invention have high heat resistance, moisture resistance, and light resistance. In particular, the composite tungsten oxide fine particles include a metal layer of a conductive mesh, a glass layer of a display front plate, or an adhesive layer having a urethane bond, which has been a cause of deteriorating conventional organic near infrared absorbing dyes. Even if it is contained in the contacting layer, characteristic deterioration due to reaction with these layers hardly occurs. In addition, since the composite tungsten oxide fine particles can absorb the entire near-infrared band with a wavelength of 800 to 1,100 nm generated from the front surface of the display only by the composite tungsten oxide fine particles, the organic near-infrared absorption which is more easily deteriorated. It is not necessary to use the agent in combination. The alloy containing nickel, copper and oxygen used as a blackening layer in the present invention has high adhesion to both the transparent resin substrate and the metal layer, and has a blackness sufficient to absorb external light. have. The conductive mesh layer is typically formed by etching a metal foil, and is significant in the electromagnetic wave shielding function. However, when the conductive mesh layer is formed on the transparent resin base material, if a metal layer is formed by a plating method, an adhesive for attaching the metal foil becomes unnecessary. In particular, when it is desired to form an extremely thin copper layer (for example, 5 μm or less), handling of the copper foil in the process of laminating the copper foil is very troublesome and easily damaged. A thin copper plating layer can be easily formed. Therefore, according to the composite filter for display of the present invention, even when used for a long time, particularly for a long time under high temperature or high humidity, the spectral characteristic change attributed to deterioration of the near-infrared absorber and the adhesive Color unevenness of the filter attributed to discoloration hardly occurs. In order to prevent deterioration of the near-infrared absorber, a near-infrared absorbing layer is formed from a glass substrate such as a display surface, a conductive mesh layer, or an adhesive layer between the conductive mesh layer and the base material of the electromagnetic shielding sheet. There is no need to isolate. Further, there is no problem that the opening from which the metal foil is removed becomes a rough surface and irregular reflection of light occurs. For this reason, it has an electromagnetic shielding function, a near infrared absorption function, and a surface protection function with high blackness and excellent appearance, such as a composite filter for a display according to the present invention, and is produced by reducing the number of lamination processes. It has become possible to put into practical use a structure that is excellent in efficiency, thin in thickness with a small number of layers, excellent in flexibility as a composite filter, and can reduce material costs.
In the composite filter for display according to the present invention, since the layer in which the composite tungsten oxide fine particles are dispersed is disposed so as to be on the back side of the electromagnetic wave shielding sheet when viewed from the observation side when the front surface of the display is attached, The conventional problem that the front surface of the display appears to be colored and is not preferred by the user when the display is turned off without being tinted with fine particles can be solved. In addition, when the composite tungsten oxide fine particles are contained in a layer provided as a relatively thin film such as an antireflection layer, there is a problem that the fine particle density in the layer increases and haze increases. Thus, when it is made to contain in the resin layer which serves as an adhesive layer, since a layer is thick compared with an antireflection layer, there also exists a merit that it can control that haze becomes high.
Hereinafter, the electromagnetic wave shielding sheet, the pressure-sensitive adhesive layer, and the surface protective layer will be described in order for the composite filter used in the present invention.

1.電磁波遮蔽シート
「電磁波遮蔽シートの層構成」
本発明に用いられる電磁波遮蔽シートは、透明樹脂基材の一方の面に少なくとも、複数の開口部とこれを囲繞し区画するライン部を有する導電性メッシュ層を備えたものが用いられる。
本発明に用いられる電磁波遮蔽シートの一例を図3に示す。図3(A)は、本発明に用いられる電磁波遮蔽シートの一例の平面図であり、図3(B)は、本発明に用いられる電磁波遮蔽シートの一例の断面図である。但し、図3(B)に於いては、図示と見易さの都合上、厚み方向の縮尺を面内方向の縮尺よりも大きくし、且つライン部の幅を開口部の幅よりも大きな縮尺に誇張して図示してある。
本発明に用いられる電磁波遮蔽用シート10における導電性メッシュ層は、図3(A)の平面図で概念的に例示する導電性メッシュ層16のように、その平面方向において、メッシュ領域101以外に、該メッシュ状領域の周縁部の少なくとも一部に非メッシュ状領域102を備えた層とするのが、接地をとり易い点でより好ましい。
メッシュ状領域101は、適用されるディスプレイの画像表示領域を全て覆うことが可能な寸法及び形状を有し、適用されるディスプレイの画像表示領域に対峙する部分70が必ず含まれる。当該ディスプレイの画像表示領域に対峙する部分70の外の領域となる外縁部は、メッシュ状領域101が含まれても良いし、非メッシュ状領域102のみからなっても良い。非メッシュ状領域102は、通常、メッシュ状領域101と同じ層構成を有しながら開口部を形成しないものであり、接地用領域としてディスプレイへ設置した場合にアース(接地)をとり易いために設けられる。なお、接地用領域は基本的にはメッシュは不要だが、接地用領域の反り防止等の目的から、開口部から成るメッシュが存在しても良い。接地用領域(図3(A)の例では、非メッシュ状領域102に相当)は、通常四角形のディスプレイの画像表示領域に対峙する部分70の外の領域となる外縁部である画像表示に影響しない部分に、四辺周囲の額縁状に設けられることが多いが、メッシュ状領域101の全周囲でなくても、周囲の一部に設ける形態でもよく、三辺、二辺、或いは一辺のみに設ける形態でも良い。
1. Electromagnetic wave shielding sheet "Layer structure of electromagnetic wave shielding sheet"
As the electromagnetic wave shielding sheet used in the present invention, a sheet provided with a conductive mesh layer having at least a plurality of openings and a line portion surrounding and partitioning on one surface of the transparent resin substrate is used.
An example of the electromagnetic wave shielding sheet used in the present invention is shown in FIG. FIG. 3A is a plan view of an example of the electromagnetic wave shielding sheet used in the present invention, and FIG. 3B is a cross-sectional view of an example of the electromagnetic wave shielding sheet used in the present invention. However, in FIG. 3B, for the sake of illustration and ease of viewing, the scale in the thickness direction is made larger than the scale in the in-plane direction, and the width of the line portion is larger than the width of the opening. Is exaggerated.
The conductive mesh layer in the electromagnetic wave shielding sheet 10 used in the present invention is other than the mesh region 101 in the plane direction as in the conductive mesh layer 16 conceptually illustrated in the plan view of FIG. The layer having the non-mesh region 102 in at least a part of the peripheral edge of the mesh region is more preferable in terms of easy grounding.
The mesh area 101 has a size and shape that can cover the entire image display area of the applied display, and always includes a portion 70 that faces the image display area of the applied display. The outer edge portion that is an area outside the portion 70 that faces the image display area of the display may include the mesh area 101 or may include only the non-mesh area 102. The non-mesh region 102 usually has the same layer structure as the mesh region 101 but does not form an opening, and is provided for easy grounding when installed on a display as a grounding region. It is done. The grounding region basically does not require a mesh, but a mesh composed of openings may be present for the purpose of preventing warpage of the grounding region. The grounding area (corresponding to the non-mesh area 102 in the example of FIG. 3A) has an influence on the image display which is the outer edge part which is an area outside the part 70 facing the image display area of the normal rectangular display. In many cases, the frame is provided in a frame shape around the four sides, but may be provided in a part of the periphery of the mesh-like region 101, or may be provided on only three sides, two sides, or one side. Form may be sufficient.

また、図3(B)に示すように、本発明に用いられる電磁波遮蔽シート10は、後に、当該導電性メッシュ層16上に導電性メッシュ層の凹凸を平坦化するように、粘着剤層20又は表面保護層30が設置される。前記粘着剤層20又は表面保護層30は、図3(A)に示すように、通常、少なくとも通常四角形のディスプレイの画像表示領域に対峙する部分70を全て覆い、且つ、前記導電性メッシュ層の周縁部の一部を露出させるように積層されていることが好ましく、非メッシュ状領域102のうち、四辺周囲の額縁状に接地用領域を露出するように設けられることが好ましい。図3(B)の例では、導電性メッシュ層16は、透明樹脂基材11に近い側から、黒化層13、気相成膜により形成された金属薄膜としての銅スパッタ層14、及び、金属層としての銅メッキ層15が、この順序で積層した層構造を有している。
また、本発明に用いられる電磁波遮蔽用シート10は、導電性メッシュ層16と透明樹脂基材11の間に、導電性メッシュ層16を透明樹脂基材11に貼り付けるための接着剤層(図示せず)を有していても良い。導電性メッシュ層16には、黒化層13以外にも防錆層等の他の層を含んでいても良い。また、本発明に用いられる電磁波遮蔽用シートは、導電性メッシュ層の表裏面上に、導電性を有しない層が更に積層されて形成されていても良い。当該導電性を有しない層としては、例えば、導電性を有しない防錆層や黒化層等が挙げられる。防錆層や黒化層等であっても、導電性を有する限り、本発明において導電性メッシュ層16に含まれる。導電体層の表裏面上に更に積層された導電性を有しない層は、導電性メッシュ層と一体となって、メッシュ状領域や接地用領域を形成する。
Further, as shown in FIG. 3B, the electromagnetic wave shielding sheet 10 used in the present invention is a pressure-sensitive adhesive layer 20 so as to flatten the unevenness of the conductive mesh layer on the conductive mesh layer 16 later. Or the surface protection layer 30 is installed. As shown in FIG. 3 (A), the pressure-sensitive adhesive layer 20 or the surface protective layer 30 usually covers at least the portion 70 facing the image display area of a normal quadrangular display, and the conductive mesh layer. The non-mesh region 102 is preferably laminated so as to expose a part of the peripheral portion, and is preferably provided so that the grounding region is exposed in a frame shape around the four sides. In the example of FIG. 3 (B), the conductive mesh layer 16 has a blackened layer 13, a copper sputtered layer 14 as a metal thin film formed by vapor deposition, from the side close to the transparent resin substrate 11, and The copper plating layer 15 as a metal layer has a layer structure in which the layers are stacked in this order.
Moreover, the electromagnetic wave shielding sheet 10 used in the present invention has an adhesive layer (see FIG. 5) for attaching the conductive mesh layer 16 to the transparent resin substrate 11 between the conductive mesh layer 16 and the transparent resin substrate 11. (Not shown). In addition to the blackening layer 13, the conductive mesh layer 16 may include other layers such as a rust prevention layer. Moreover, the electromagnetic wave shielding sheet used in the present invention may be formed by further laminating a non-conductive layer on the front and back surfaces of the conductive mesh layer. Examples of the layer that does not have conductivity include a rust preventive layer and a blackened layer that do not have conductivity. Even if it is a rust prevention layer, a blackening layer, etc., as long as it has electroconductivity, it is contained in the electroconductive mesh layer 16 in this invention. The non-conductive layer further laminated on the front and back surfaces of the conductor layer is integrated with the conductive mesh layer to form a mesh-like region and a grounding region.

「電磁波遮蔽シートの層構成の変形例」
図4A乃至図4Cは、本発明に係る導電体層の層構成の他の例を模式的に示した断面図である。
図4Aには、透明樹脂基材11上に本発明に係る黒化層13、銅スパッタ層14、銅メッキ層15、本発明に係る第2黒化層80の順で積層されている導電性メッシュ層16Bが図示されている(以下、第2黒化層と称し、第2黒化層80については、後述する)。
図4Bには、透明樹脂基材11上に本発明に係る黒化層13、銅スパッタ層14、銅メッキ層15、公知の黒化層81の順で積層されている導電性メッシュ層16Cが図示されている(以下、公知の黒化層と称し、公知の黒化層81については後述する)。
図4Cには、透明樹脂基材11上に下地層(通常は、Ni−Cr合金層)18、銅スパッタ層14、銅メッキ層15、本発明に係る黒化層13の順で積層されている導電性メッシュ層16Dが図示されている。
本発明において、銅スパッタ層14を省略できる。また、図示は省略するが、透明樹脂基材上に、少なくともNi−Cr合金の下地層、銅スパッタ層、本発明に係る黒化層、銅メッキ層の各層がこの順で積層している導電体層であっても良い。さらに、前記各導電体層上には、防錆層などの他の層が形成されていても良い。
"Modification of layer structure of electromagnetic shielding sheet"
4A to 4C are cross-sectional views schematically showing another example of the layer configuration of the conductor layer according to the present invention.
FIG. 4A shows a conductive layer in which a blackening layer 13 according to the present invention, a copper sputtered layer 14, a copper plating layer 15, and a second blackening layer 80 according to the present invention are laminated in this order on a transparent resin substrate 11. The mesh layer 16B is illustrated (hereinafter referred to as a second blackened layer, and the second blackened layer 80 will be described later).
FIG. 4B shows a conductive mesh layer 16C in which the blackening layer 13, the copper sputtered layer 14, the copper plating layer 15, and the known blackening layer 81 according to the present invention are laminated on the transparent resin substrate 11 in this order. It is illustrated (hereinafter referred to as a known blackened layer, and a known blackened layer 81 will be described later).
In FIG. 4C, a base layer (usually a Ni—Cr alloy layer) 18, a copper sputter layer 14, a copper plating layer 15, and a blackening layer 13 according to the present invention are laminated in this order on the transparent resin base material 11. A conductive mesh layer 16D is shown.
In the present invention, the copper sputter layer 14 can be omitted. Although not shown in the drawings, on the transparent resin base material, at least a Ni—Cr alloy underlayer, a copper sputter layer, a blackening layer according to the present invention, and a copper plating layer are laminated in this order. It may be a body layer. Furthermore, other layers such as a rust prevention layer may be formed on each of the conductor layers.

黒化層の導電性メッシュ層内での位置は、通常は、図1に示すように、導電性メッシュ層16の透明樹脂基材11が接する側に黒化層13が設けられるか(これを正転仕様と称する場合がある)、図2に示すように、導電性メッシュ層16の透明樹脂基材11が接する側とは反対側に黒化層13が設けられる(これを反転仕様と称する場合がある)。
正転仕様または反転仕様のどちらにしても、電磁波遮蔽シートの使用状態においては、黒化層による外光吸収の機能を発揮させるために、電磁波遮蔽シートの黒化層が設けられた側が観察者を向くように配置される。ディスプレイ装置側は、必要に応じ、黒化層は有り又は無し何れを選択することも可能である。
As shown in FIG. 1, the position of the blackened layer in the conductive mesh layer is usually determined by whether the blackened layer 13 is provided on the side of the conductive mesh layer 16 that contacts the transparent resin base material 11 (this is the As shown in FIG. 2, a blackening layer 13 is provided on the side of the conductive mesh layer 16 opposite to the side on which the transparent resin base material 11 is in contact (this is called the reverse specification). Sometimes).
Regardless of the forward rotation specification or the reverse rotation specification, when the electromagnetic wave shielding sheet is in use, the side on which the blackened layer of the electromagnetic wave shielding sheet is provided is the observer in order to exhibit the function of absorbing external light by the blackened layer. It is arranged to face. The display device side can select whether or not the blackening layer is present, as required.

なお、図示している電磁波遮蔽シートは、いずれも枚葉化されたものであるが、本発明において電磁波遮蔽シートは、ディスプレイ前面に設置する前の段階では、枚葉シート2枚分以上の区画を含む連続帯状シートの状態であってもよい。そして、好ましくは、電磁波遮蔽シートに後述の粘着剤層や表面保護層を積層する迄の段階では、電磁波遮蔽シート、粘着剤層、表面保護層は共に連続帯状のシートの形態で加工することが、高生産性を確保する上で好ましい。   In addition, although the electromagnetic wave shielding sheet | seats shown in figure are all sheet-fed, in this invention, the electromagnetic wave shielding sheet | seat is a division | segmentation more than two sheet | seat sheets in the stage before installing in the front surface of a display. The state of the continuous strip | belt-shaped sheet | seat containing may be sufficient. Preferably, in the stage until the later-described pressure-sensitive adhesive layer and surface protective layer are laminated on the electromagnetic wave shielding sheet, the electromagnetic wave shielding sheet, the pressure-sensitive adhesive layer, and the surface protective layer can all be processed in the form of a continuous belt-like sheet. It is preferable for ensuring high productivity.

(1)透明樹脂基材
透明樹脂基材は電磁波遮蔽シートを構成する一部の層であり、必要に応じて接着剤層を介して導電性メッシュ層を積層するための基材となる層である。
透明樹脂基材11は、機械的強度が弱い導電性メッシュ層を補強するための層であり、必要に応じて紫外線吸収機能を付加され得る層の1つである。従って、透明樹脂基材としては、機械的強度、光透過性と共に、適宜紫外線吸収能を有すれば、その他、耐熱性等の性能を適宜勘案したものを用途に応じて選択すればよい。このような、透明樹脂基材の具体例としては、樹脂等の有機材料からなるシート(乃至フィルム。以下同様。)が挙げられる。透明樹脂基材の透明性は高いほどよいが、好ましくは可視光域380〜780nmにおける光線透過率が70%以上、より好ましくは80%以上となる光透過性が良い。なお、光透過率の測定は、分光光度計(例えば、(株)島津製作所製 UV−3100PC)を用い、室温、大気中で測定した値を用いることができる。
(1) Transparent resin base material The transparent resin base material is a part of the layer constituting the electromagnetic wave shielding sheet, and is a layer serving as a base material for laminating a conductive mesh layer through an adhesive layer as necessary. is there.
The transparent resin base material 11 is a layer for reinforcing the conductive mesh layer having a low mechanical strength, and is one of the layers to which an ultraviolet absorbing function can be added if necessary. Accordingly, as the transparent resin base material, it is possible to select a transparent resin base material that appropriately considers performance such as heat resistance as long as it has an ultraviolet absorbing ability as well as mechanical strength and light transmittance. As a specific example of such a transparent resin base material, a sheet (or film, the same applies hereinafter) made of an organic material such as a resin can be given. The higher the transparency of the transparent resin substrate, the better. However, the light transmittance in the visible light region of 380 to 780 nm is preferably 70% or more, more preferably 80% or more. The light transmittance can be measured using a spectrophotometer (for example, UV-3100PC manufactured by Shimadzu Corporation) and a value measured in the air at room temperature.

透明樹脂基材の材料として用いる透明樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、テレフタル酸−イソフタル酸−エチレングリコール共重合体、テレフタル酸−シクロヘキサンジメタノール−エチレングリコール共重合体などのポリエステル系樹脂、ナイロン6などのポリアミド系樹脂、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、シクロオレフィン重合体などのポリオレフィン系樹脂、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル系樹脂、ポリスチレン、スチレン−アクリロニトリル共重合体などのスチレン系樹脂、トリアセチルセルロースなどのセルロース系樹脂、イミド系樹脂、ポリカーボネート樹脂等が挙げられる。   Examples of the transparent resin used as the material for the transparent resin substrate include polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, terephthalic acid-isophthalic acid-ethylene glycol copolymer, terephthalic acid-cyclohexanedimethanol-ethylene glycol copolymer Polyester resins such as nylon 6, polyamide resins such as nylon 6, polyolefin resins such as polypropylene, polymethylpentene and cycloolefin polymers, acrylic resins such as polymethyl methacrylate, styrene such as polystyrene and styrene-acrylonitrile copolymers Resin, cellulose resin such as triacetyl cellulose, imide resin, polycarbonate resin and the like.

なお、これらの樹脂は、単独、又は複数種類の混合樹脂(ポリマーアロイを含む)として用いられ、透明基材の層構成は、単層、又は2層以上の積層体として用いられる。また、樹脂フィルムの場合、1軸延伸や2軸延伸した延伸フィルムが機械的強度の点でより好ましい。また、これら樹脂中には、必要に応じて適宜、紫外線吸収剤、充填剤、可塑剤、帯電防止剤などの添加剤を加えても良い。   These resins are used alone or as a plurality of types of mixed resins (including polymer alloys), and the layer structure of the transparent substrate is used as a single layer or a laminate of two or more layers. In the case of a resin film, a uniaxially stretched or biaxially stretched film is more preferable in terms of mechanical strength. Moreover, you may add additives, such as a ultraviolet absorber, a filler, a plasticizer, an antistatic agent, in these resins suitably as needed.

透明樹脂基材の厚さは、基本的には用途に応じ選定すればよく、特に制限はないが、通常は12〜1,000μm、好ましくは50〜500μm、より好ましくは50〜200μmである。このような厚み範囲ならば、機械的強度が充分で、反り、弛み、破断などを防ぎ、連続帯状で供給して加工する事も容易である。
なお、本発明では、透明樹脂基材とは、樹脂シート(樹脂フィルムも含む)以外に樹脂板と呼ばれるものも含めて呼ぶことにする。但し、近赤外線(NIR)吸収、ネオン光吸収、色補正を各フィルタフィルム毎に積層することによる総厚増加を回避して複合フィルタの薄型化を図る観点から、透明樹脂基材は薄いものが好ましい。
The thickness of the transparent resin substrate may basically be selected according to the use and is not particularly limited, but is usually 12 to 1,000 μm, preferably 50 to 500 μm, more preferably 50 to 200 μm. Within such a thickness range, the mechanical strength is sufficient, warping, slackening, breakage, etc. are prevented, and it is easy to supply and process in a continuous belt shape.
In the present invention, the transparent resin base material is referred to as including a resin plate in addition to the resin sheet (including the resin film). However, from the viewpoint of reducing the total thickness by stacking near-infrared (NIR) absorption, neon light absorption and color correction for each filter film, the transparent resin substrate should be thin. preferable.

この様な点で、透明樹脂基材の形態としては樹脂板よりは透明樹脂フィルムが好ましい。該樹脂フィルムのなかでも特に、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂フィルムが、透明性、耐熱性、コスト等の点で好ましく、より好ましくは2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが最適である。   In this respect, the transparent resin film is preferably a transparent resin film rather than a resin plate. Among these resin films, polyester resin films such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable in terms of transparency, heat resistance, cost, and the like, and more preferably a biaxially stretched polyethylene terephthalate film.

また、本発明においては、透明樹脂基材が紫外線吸収機能を有する場合、該透明樹脂基材は、該透明樹脂基材の樹脂中に紫外線吸収剤をフィルム中に練り込んだり、該透明樹脂基材の構成層の一部として紫外線吸収剤を含む表面コート層を表面に設けたり、或いはこれら両方を併用した、構成とする。なお、表面コート層を設ける表面は表裏面のいずれか片側、両側のいずれでもよい。
また、透明樹脂基材の一方の面に表面保護層を設ける関係上、該表面保護層形成面側に、紫外線吸収剤を含む前記表面コート層を形成する場合には、該表面コート層と表面保護層とを兼用してこれを表面保護層とする形態としても良い。
In the present invention, when the transparent resin base material has an ultraviolet absorbing function, the transparent resin base material is prepared by kneading an ultraviolet absorbent into a film of the transparent resin base material or the transparent resin base material. As a part of the constituent layers of the material, a surface coat layer containing an ultraviolet absorber is provided on the surface, or both are used in combination. In addition, the surface on which the surface coat layer is provided may be either one side or both sides of the front and back surfaces.
Further, in the case of forming the surface coating layer containing an ultraviolet absorber on the surface protective layer forming surface side in view of providing a surface protective layer on one surface of the transparent resin substrate, the surface coating layer and the surface The protective layer may also be used as a surface protective layer.

紫外線吸収剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール、ベンゾフェノン等の有機系化合物、微粒子状の酸化亜鉛、酸化セリウム等からなる無機系化合物からなる公知の化合物を用いることができる。
また、紫外線吸収剤を含む表面コート層(紫外線吸収層)は、このような紫外線吸収剤をバインダ樹脂に添加した組成物を公知の方法で塗布形成すれば良い。バインダ樹脂としては、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、アクリル樹脂等の熱可塑性樹脂や、エポキシ、アクリレート、メタアクリレート等の単量体、プレポリマー等から成る熱硬化型樹脂或いは電離放射線硬化型樹脂、2液硬化型ウレタン樹脂等の硬化性樹脂などが挙げられる。
As the ultraviolet absorber, for example, a known compound composed of an organic compound such as benzotriazole or benzophenone, an inorganic compound composed of particulate zinc oxide, cerium oxide or the like can be used.
Moreover, the surface coat layer (ultraviolet absorption layer) containing an ultraviolet absorber may be formed by applying a composition obtained by adding such an ultraviolet absorber to a binder resin by a known method. As binder resin, thermoplastic resin such as polyester resin, polyurethane resin, acrylic resin, thermosetting resin or ionizing radiation curable resin composed of monomers such as epoxy, acrylate and methacrylate, prepolymer, etc. Examples thereof include curable resins such as curable urethane resins.

また、透明樹脂基材の樹脂中には、更に必要に応じて適宜、公知の添加剤、例えば、充填剤、可塑剤、帯電防止剤などを本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で加えることができる。   In addition, a known additive, for example, a filler, a plasticizer, an antistatic agent, or the like may be added to the resin of the transparent resin base as necessary within the range not departing from the gist of the present invention. it can.

また、透明樹脂基材は、その表面に適宜、コロナ放電処理、プラズマ処理、オゾン処理、フレーム処理、プライマー処理、予熱処理、除塵埃処理、蒸着処理、アルカリ処理、などの公知の易接着処理を行ってもよい。   The transparent resin base material is appropriately subjected to known easy adhesion treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, ozone treatment, flame treatment, primer treatment, preheat treatment, dust removal treatment, vapor deposition treatment, alkali treatment, etc. You may go.

(2)導電性メッシュ層
導電性メッシュ層16は、導電性を有することで電磁波遮蔽機能を担える層であり、それ自体は不透明性だがメッシュ状の形状で多数の開口部が存在するメッシュにより、電磁波遮蔽性能と光透過性を両立させている層である。また、本発明の代表的な実施形態においては、導電性メッシュ層16は、主たる層として銅メッキ層15と黒化層13とを含み、場合により、更に銅スパッタ層14や、銅メッキ層15上に更に第2黒化層80(図4A参照)、公知の黒化層81(図4B参照)や防錆層を形成しても良い。
(2) Conductive mesh layer The conductive mesh layer 16 is a layer that can have an electromagnetic wave shielding function by having conductivity, and is itself an opaque but mesh-like shape having a large number of openings, It is a layer that achieves both electromagnetic shielding performance and light transmittance. Moreover, in the typical embodiment of this invention, the electroconductive mesh layer 16 contains the copper plating layer 15 and the blackening layer 13 as a main layer, and also depending on the case, the copper sputter layer 14 and the copper plating layer 15 are further included. A second blackening layer 80 (see FIG. 4A), a known blackening layer 81 (see FIG. 4B), and a rust prevention layer may be further formed thereon.

(金属メッキ層)
金属メッキ層15は、導電性に優れた材質で形成され、導電性メッシュ層16のなかで電磁波遮蔽機能が発現する主たる部分として好適な代表例である。金属メッキ層の上側又は下側に積層された他の層も導電性があり、優れた導電体として一体化している場合には、それらの他の層を含めて電磁波遮蔽機能が発現する主たる部分が構成される。例えば、図1に示す例では、Ni−Cu−O系合金からなる黒化層13、気相成膜により形成された金属薄膜の層としての銅スパッタ層14は、導電性を有しているため、金属メッキ層としての銅メッキ層15と共に電磁波遮蔽機能が発現する主たる部分を構成する。
金属メッキ層を形成するためのメッキ法としては、電解メッキ又は無電解メッキのいずれを行なってもよいが、生産性の観点からは、膜の成長速度が早い電解メッキを行なうことが好ましい。
(Metal plating layer)
The metal plating layer 15 is formed of a material having excellent conductivity, and is a representative example suitable as a main portion in which the electromagnetic wave shielding function is expressed in the conductive mesh layer 16. Other layers laminated on the upper or lower side of the metal plating layer are also conductive, and when integrated as an excellent conductor, the main part that exhibits the electromagnetic wave shielding function including those other layers Is configured. For example, in the example shown in FIG. 1, the blackened layer 13 made of a Ni—Cu—O-based alloy and the copper sputter layer 14 as a metal thin film layer formed by vapor deposition have conductivity. Therefore, it constitutes a main part where the electromagnetic wave shielding function is exhibited together with the copper plating layer 15 as the metal plating layer.
As a plating method for forming the metal plating layer, either electrolytic plating or electroless plating may be performed, but from the viewpoint of productivity, it is preferable to perform electrolytic plating with a high film growth rate.

本発明においてで導電体層の好適な形態は、金属層、特に好ましい例は金属メッキ層であるが、該金属メッキ層を形成する金属としては、高導電性金属であり電磁波遮蔽性に優れる銅を用いることが好ましく、得られるメッキ層を銅メッキ層15と称している。また、本発明において銅メッキ層15としては、銅スパッタ層14の表面上又は他の層を形成した後に電解メッキ法により形成することが好ましい。電解メッキ法によって銅メッキ層15を形成することにより、銅箔を貼り合わせるための接着剤が不要となる。特に、極薄い銅層(例えば5μm以下)を形成したい場合には、銅箔を貼合わせる工程での銅箔の取り扱いが非常に面倒であり、破損を生じやすいが、メッキ法による場合には極薄い銅メッキ層を容易に形成することができる。本発明において銅メッキ層15としては、典型的には銅単体から構成されるが、銅が主体であり且つ後述する結晶配向性さえ備えているのであれば、金、銀、白金、銅、アルミニウム、錫、鉄、ニッケル、クロムのような他の金属を含んでいても良い。銅メッキ層15が、銅と他の金属との混合物また銅合金である場合には、銅の含有量が全金属成分の90重量%以上であることが好ましく、95重量%以上であることがさらに好ましい。
銅メッキ層15の厚みは、充分な遮蔽性能と加工プロセス中に破損しない物性を有し得る範囲内で可能な限り薄くすることが好ましいが、銅メッキ層15を含む導電体層全体の厚みの範囲内で他の層の厚みを考慮のうえ決定される。かかる観点から、導電性メッシュ層16に含まれる銅メッキ層15の厚みは、10μm以下であることが好ましく、5μm以下であることがさらに好ましく、3μm以下であることが特に好ましい。また、該銅メッキ層15の厚みは、1μm以上であることが好ましく、2μm以上であることがさらに好ましい。なお、本発明に係る黒化層13は、前述したが特に銅との密着性に優れている。
In the present invention, the preferred form of the conductor layer is a metal layer, and a particularly preferred example is a metal plating layer. The metal forming the metal plating layer is a highly conductive metal and excellent in electromagnetic wave shielding properties. Is preferably used, and the resulting plating layer is referred to as a copper plating layer 15. In the present invention, the copper plating layer 15 is preferably formed by electrolytic plating after the surface of the copper sputter layer 14 or another layer is formed. By forming the copper plating layer 15 by the electrolytic plating method, an adhesive for bonding the copper foil becomes unnecessary. In particular, when it is desired to form an extremely thin copper layer (for example, 5 μm or less), handling of the copper foil in the process of laminating the copper foil is very troublesome and easily damaged. A thin copper plating layer can be easily formed. In the present invention, the copper plating layer 15 is typically composed of a single copper, but if it is mainly composed of copper and has crystal orientation described later, gold, silver, platinum, copper, aluminum Other metals such as tin, iron, nickel, and chromium may be included. When the copper plating layer 15 is a mixture of copper and another metal or a copper alloy, the copper content is preferably 90% by weight or more, and 95% by weight or more of the total metal components. Further preferred.
The thickness of the copper plating layer 15 is preferably as thin as possible within a range where sufficient shielding performance and physical properties that do not break during the processing process can be obtained. However, the thickness of the entire conductor layer including the copper plating layer 15 is not limited. It is determined in consideration of the thickness of other layers within the range. From this viewpoint, the thickness of the copper plating layer 15 included in the conductive mesh layer 16 is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, and particularly preferably 3 μm or less. Further, the thickness of the copper plating layer 15 is preferably 1 μm or more, and more preferably 2 μm or more. The blackening layer 13 according to the present invention is particularly excellent in adhesion with copper as described above.

(黒化層)
本発明において黒化層13としては、Ni−Cu−Oの3元素からなる化合物(以下、(Ni−Cu−O)化合物と称する)を用いる。電磁波遮蔽用シート10への外光を吸収させて、ディスプレイの画像の視認性を向上するために、図4Aや図4Bのように直接又は図4Cのように他の層を介して透明樹脂基材11上に黒化層13を形成する。黒化層13の形成方法は特に限定されないが、スパッタ法、真空蒸着法などの気相成膜によって好適に形成することができる。堆積速度が速く密着性にすぐれることから特にスパッタ法が好ましい。
スパッタ法では、Ni−Cu(ニッケル−銅合金)をターゲットとし、所望量の酸素ガスを供給しながら高電圧をかけてイオン化したアルゴンをぶつけて、ターゲットをイオン化して弾き飛ばして透明樹脂基材11上に堆積させて黒化層13を形成する。この黒化層13は、透明樹脂基材11及び後述する銅スパッタ層14、前述した銅メッキ層15との密着性に優れ下地層としての機能を有することから下地層を形成する工程を省略することもできる。本発明に係る黒化層13は黒色度が高いため、外光を吸収して外光反射(ぎらつき感)を抑えることができる。
(Blackening layer)
In the present invention, as the blackening layer 13, a compound composed of three elements of Ni—Cu—O (hereinafter referred to as (Ni—Cu—O) compound) is used. In order to absorb the external light to the electromagnetic wave shielding sheet 10 and improve the visibility of the image on the display, the transparent resin base is used directly as shown in FIGS. 4A and 4B or via another layer as shown in FIG. 4C. A blackening layer 13 is formed on the material 11. Although the formation method of the blackening layer 13 is not specifically limited, It can form suitably by vapor phase film-forming, such as a sputtering method and a vacuum evaporation method. Sputtering is particularly preferred because of its high deposition rate and excellent adhesion.
In the sputtering method, Ni—Cu (nickel-copper alloy) is used as a target, and argon is ionized by applying a high voltage while supplying a desired amount of oxygen gas. 11 is deposited to form a blackened layer 13. The blackening layer 13 has excellent adhesion to the transparent resin substrate 11, a copper sputter layer 14, which will be described later, and the copper plating layer 15 described above, and has a function as a base layer. Therefore, the step of forming the base layer is omitted. You can also. Since the blackening layer 13 according to the present invention has high blackness, it can absorb external light and suppress external light reflection (glare feeling).

黒化層13の厚みは特に限定されるものではないが、80〜1000Å程度の範囲が適用可能であるが、実用上の諸条件(生産性、性能等)を勘案すると、80Å(=8nm)以上300Å(=30nm)以下が好ましく、より好ましくは120Å以上160Å以下である。80Å未満であると光透過性が高く、銅スパッタ層14の金属色が顕著であり充分な黒化度を得るのが困難であり、1000Åを超えると厚みによる光の干渉があると思われ、厚ければ良い訳でない。また、従来の下地層の膜厚0.001μm〜1μmと同程度又はより薄い膜であっても、黒化層としての機能を発現するための黒色度を有することが本発明の特徴である。なお、本発明に係る黒化層の厚みは、蛍光X線測定装置を用いて測定される数値を基に検量線で換算した換算値である。   The thickness of the blackening layer 13 is not particularly limited, but a range of about 80 to 1000 mm is applicable, but considering practical conditions (productivity, performance, etc.), 80 mm (= 8 nm) The thickness is preferably 300 mm (= 30 nm) or less, more preferably 120 mm or more and 160 mm or less. If it is less than 80 mm, the light transmittance is high, the metal color of the copper sputter layer 14 is remarkable and it is difficult to obtain a sufficient degree of blackening, and if it exceeds 1000 mm, it seems that there is light interference due to the thickness, It is not a good idea if it is thick. In addition, it is a feature of the present invention that the film has a blackness for expressing a function as a blackening layer even if the film is about the same as or thinner than the conventional film thickness of 0.001 μm to 1 μm. In addition, the thickness of the blackening layer based on this invention is the conversion value converted with the analytical curve based on the numerical value measured using a fluorescent X ray measuring apparatus.

黒化層の黒濃度は0.6以上であることが好ましい。なお、黒濃度の測定方法は、COLOR CONTROL SYSTEMのGRETAG・SPM100−11(キモト社製、商品名)を用いて、観察視野角10度、観察光源D65、照明タイプとして濃度標準ANSITに設定し、白色キャリブレイション後に、試験片を測定する。また、黒化層の光線反射率(単に反射率とも称される)としては20%以下が好ましい。   The black density of the blackened layer is preferably 0.6 or more. In addition, the measurement method of the black density is set to the density standard ANSIT as the observation viewing angle 10 degrees, the observation light source D65, and the illumination type using GRETAG SPM100-11 (trade name, manufactured by Kimoto Co., Ltd.) of COLOR CONTROL SYSTEM. Test specimens are measured after white calibration. Further, the light reflectance of the blackened layer (also simply referred to as reflectance) is preferably 20% or less.

(気相成膜により形成された金属薄膜の層)
気相成膜により形成された金属薄膜の層は、金属層の透明樹脂基材側の接合界面の密着性を向上させるために、必要に応じて設けられる層である。金属薄膜の層を形成するための気相成膜とは、金属をガス化し、被着面に堆積させて膜を形成する技術であり、例えば、スパッタ法や蒸着法などを挙げることが出来る。気相成膜による金属薄膜の材質は、単体金属、合金、金属酸化物など特に限定されず、上記密着性向上の観点から、金属メッキ層や透明樹脂基材の材質との関係を考慮して適宜選択すればよい。
かかる金属薄膜の層14は、図2に示すように、透明樹脂基材と金属メッキ層の間に介在する唯一の層であっても良いし、図1に示すように、透明樹脂基材11上に黒化層13のような他の層が形成されている場合において、そのような他の層と金属メッキ層15との間に介在して、金属メッキ層の透明樹脂基材側の接合界面の密着性を向上させるものであってもよい。また、気相成膜により形成された金属薄膜の層は2層以上設けられていても良い。例えば、図示しないが、透明樹脂基材上に、気相成膜により形成された第一の金属薄膜の層として合金スパッタ層を設け、該合金スパッタ層の上に、気相成膜により形成された第二の金属薄膜の層として銅スパッタ層を儲け、さらにその上に金属メッキ層としての銅メッキ層を設ける層構成とすることができる。
(Metal thin film layer formed by vapor deposition)
The metal thin film layer formed by vapor deposition is a layer provided as necessary in order to improve the adhesiveness of the bonding interface of the metal layer on the transparent resin substrate side. The vapor phase film formation for forming a metal thin film layer is a technique for forming a film by gasifying and depositing a metal on a deposition surface, and examples thereof include a sputtering method and a vapor deposition method. The material of the metal thin film formed by vapor phase deposition is not particularly limited, such as a single metal, an alloy, or a metal oxide. What is necessary is just to select suitably.
The metal thin film layer 14 may be the only layer interposed between the transparent resin base material and the metal plating layer as shown in FIG. 2, or the transparent resin base material 11 as shown in FIG. When other layers such as the blackening layer 13 are formed on the transparent resin base material side of the metal plating layer, the metal plating layer 15 is interposed between the other layer and the metal plating layer 15. It may improve the adhesion at the interface. Further, two or more metal thin film layers formed by vapor deposition may be provided. For example, although not shown, an alloy sputter layer is provided as a first metal thin film layer formed by vapor deposition on a transparent resin substrate, and formed by vapor deposition on the alloy sputtering layer. In addition, a copper sputter layer may be provided as the second metal thin film layer, and a copper plating layer as a metal plating layer may be further provided thereon.

本発明において気相成膜により形成された金属薄膜の層としては、導電性が高く、黒化層及び金属層との密着性に優れたもの(但し、図4Cの如き層構成の形態の場合は、透明基材11及び下地層18との密着性に優れたもの)を用いることが好ましい。具体的には銅を用いることが好ましく、密着性の点からスパッタ法で銅の薄膜を形成することが好ましい。銅スパッタ層14のターゲットとしては、純度が99.99重量%以上の銅を用いることが好ましい。なお、銅スパッタ層14は、気相成膜により形成された金属薄膜の層の一例である。銅スパッタ層14の厚みは特に限定されるものではないが、0.05μm以上2μm以下が好ましく、より好ましくは0.05μm以上0.2μm以下である。   In the present invention, the metal thin film layer formed by vapor deposition is one having high conductivity and excellent adhesion to the blackened layer and the metal layer (however, in the case of the layer configuration as shown in FIG. 4C). Is preferably one having excellent adhesion to the transparent substrate 11 and the underlayer 18. Specifically, copper is preferably used, and a copper thin film is preferably formed by sputtering from the viewpoint of adhesion. As a target of the copper sputter layer 14, it is preferable to use copper having a purity of 99.99% by weight or more. The copper sputter layer 14 is an example of a metal thin film layer formed by vapor deposition. The thickness of the copper sputter layer 14 is not particularly limited, but is preferably 0.05 μm or more and 2 μm or less, more preferably 0.05 μm or more and 0.2 μm or less.

(防錆層)
導電性メッシュ層16としては、必要に応じ適宜その他の層の形成、乃至は処理を施しても良い。例えば、錆びに対する耐久性が不充分な場合は、防錆層を設けると良い。防錆層は、前述した黒化層と同様に、それがメッシュ層の形状的特徴であるメッシュ形状を維持する限り、導電性メッシュ層に含まれる構成層として本発明では捉える。
(Rust prevention layer)
As the conductive mesh layer 16, other layers may be appropriately formed or processed as necessary. For example, when the durability against rust is insufficient, a rust prevention layer may be provided. As in the case of the blackening layer described above, the rust preventive layer is regarded as a constituent layer included in the conductive mesh layer in the present invention as long as it maintains the mesh shape that is a shape characteristic of the mesh layer.

防錆層は、それで被覆する導電性メッシュ層よりも錆び難いものであれば、金属等の無機材料、樹脂等の有機材料、或いはこれらの組合せ等、特に限定されるものではない。また場合によっては、黒化層をも防錆層で被覆することで、黒化層の粒子の脱落や変形を防止し、黒化層の黒さを高めることもできる。従って、本発明においては、黒化層の脱落や変質防止の点から、黒化層上に防錆層が設けられることが好ましい。   The rust preventive layer is not particularly limited as long as it is less likely to rust than the conductive mesh layer covered with it, such as an inorganic material such as metal, an organic material such as resin, or a combination thereof. In some cases, the blackened layer is also covered with a rust-preventing layer, so that the particles of the blackened layer can be prevented from falling off and deformed, and the blackness of the blackened layer can be increased. Therefore, in the present invention, it is preferable to provide a rust-preventing layer on the blackened layer from the viewpoint of preventing the blackened layer from dropping or preventing alteration.

防錆層は、従来公知のものを適宜採用すれば良く、例えば、クロム、亜鉛、ニッケル、スズ、銅等の金属乃至は合金、或いは金属酸化物の金属化合物の層等である。これらは、公知のメッキ法等で形成できる。ここで、防錆効果及び密着性等の点で好ましい防錆層の一例を示せば、亜鉛メッキした後、クロメート処理して得られるクロム化合物層が、挙げられる。また、防錆層中には、エッチングや酸洗浄時の耐酸性向上の為に、シランカップリング剤等のケイ素化合物を含有させることもできる。
なお、防錆層の厚さは通常0.07μm〜20μm程度である。
A conventionally well-known thing should just be employ | adopted for a rust prevention layer suitably, for example, is a metal thru | or alloys, such as chromium, zinc, nickel, tin, copper, or the layer of a metal compound of a metal oxide. These can be formed by a known plating method or the like. Here, if an example of a preferable antirust layer is shown by points, such as a rust prevention effect and adhesiveness, the chromium compound layer obtained by carrying out a chromate process after galvanizing will be mentioned. In addition, the rust preventive layer may contain a silicon compound such as a silane coupling agent in order to improve acid resistance during etching or acid cleaning.
In addition, the thickness of a rust prevention layer is about 0.07 micrometer-20 micrometers normally.

(メッシュ形状)
図5は本発明に用いられる、電磁波遮蔽シートの一例の斜視図である。メッシュ状領域101を形成している導電性メッシュ層16は、開口部103が密に配列したメッシュ状であり、該メッシュ状領域は開口部103と枠をなしている第一ライン部104Aと第二ライン部104Bとから構成されている。
メッシュの形状は、任意で特に限定されないが、開口部の形状としては正方形が代表的である。開口部の形状は、例えば、正三角形等の三角形、正方形、長方形、菱形、台形等の四角形、六角形、等の多角形、或いは、円形、楕円形などが挙げられる。
(Mesh shape)
FIG. 5 is a perspective view of an example of the electromagnetic wave shielding sheet used in the present invention. The conductive mesh layer 16 forming the mesh region 101 has a mesh shape in which the openings 103 are densely arranged. The mesh region has a first line portion 104A that forms a frame with the opening 103 and the first line portions 104A. It is comprised from the two line part 104B.
The shape of the mesh is arbitrary and not particularly limited, but a square is typical as the shape of the opening. Examples of the shape of the opening include a triangle such as a regular triangle, a square such as a square, a rectangle, a rhombus, and a trapezoid, a polygon such as a hexagon, a circle, and an ellipse.

メッシュ状領域101は、これら形状からなる複数の開口部103を有し、開口部103間は通常、幅均一で、互いに交差する、ライン状の第1ライン部104Aと第2ライン部104Bとからなる。通常は、開口部103及び第1ライン部104Aと第2ライン部104Bとは全面で同一形状同一サイズである。具体的サイズを例示すれば、開口率及びメッシュの非視認性の点で、図5に示すように開口部103間の第1ライン部104Aの幅W1は、25μm以下が好ましく、より好ましくは20μm以下である。また、電磁波遮蔽効果の発現、破断防止のためには、少なくとも5μm以上のライン幅W1を確保することが好ましい。また、第2ライン部104Bの幅W2は、25μm以下が好ましく、より好ましくは20μm以下である。また、電磁波遮蔽効果の発現、破断防止のためには、少なくとも5μm以上のライン幅W1,W2を確保することが好ましい。
また、開口部103の第1間口幅は(ラインピッチP1)−(ライン幅W1)で表され、本発明においては150μm以上が好ましく、200μm以上とするのが、光透過性、及び後述する光学フィルタとの積層時に開口部内に気泡が残留し難い点から好ましい。但し、MHz帯の電磁波遮蔽性発現のためには、最大3000μm以下とする。さらに、開口部103の第2間口幅も(ラインピッチP2)−(ライン幅W2)で表され、第1開口幅と同様の理由で150μm以上が好ましく、より好ましくは200μm以上とすることであり、最大3000μm以下とする。
The mesh region 101 has a plurality of openings 103 having these shapes, and the openings 103 are generally uniform in width and intersect with each other from the line-shaped first line portion 104A and the second line portion 104B. Become. Normally, the opening 103, the first line portion 104A, and the second line portion 104B have the same shape and the same size on the entire surface. To illustrate the specific size, the width W1 of the first line portion 104A between the openings 103 is preferably 25 μm or less, more preferably 20 μm, as shown in FIG. 5 in terms of the aperture ratio and the invisibility of the mesh. It is as follows. Further, it is preferable to secure a line width W1 of at least 5 μm or more in order to exhibit the electromagnetic wave shielding effect and prevent breakage. Further, the width W2 of the second line portion 104B is preferably 25 μm or less, and more preferably 20 μm or less. Moreover, it is preferable to secure line widths W1 and W2 of at least 5 μm or more for the expression of the electromagnetic wave shielding effect and prevention of breakage.
Also, the first width of the opening 103 is represented by (line pitch P1) − (line width W1), and in the present invention, it is preferably 150 μm or more, and 200 μm or more is the light transmission property and the optical described later. It is preferable from the point that air bubbles hardly remain in the opening during lamination with the filter. However, in order to express the electromagnetic wave shielding property in the MHz band, the maximum is 3000 μm or less. Furthermore, the second frontage width of the opening 103 is also expressed by (line pitch P2) − (line width W2), and is preferably 150 μm or more, more preferably 200 μm or more for the same reason as the first opening width. The maximum is 3000 μm or less.

また、本発明においては、最終的に得られるメッシュ状領域101におけるライン部104A、104Bの総厚みHは、10μm以下とすることが好ましく、5μm以下とすることがさらに好ましく、3μm以下とすることが特に好ましい。
なお、メッシュ状領域101のライン部104A、104Bの高さHは、ライン部を形成する層の厚みを全て含む総厚みをいう。例えば、図5に示しているようにライン部104A、104Bが黒化層13と銅スパッタ層14と銅メッキ層15とからなる場合は、それら3層の厚みの合計値となる。また、図示しないが、銅メッキ層の上に防錆層や第2黒化層を形成した場合には、防錆層や第2黒化層を含めた厚みが、総厚みとなる。
ライン部104A、104Bの総厚みが大きすぎると、メッシュに加工した際にライン部104A、104Bと開口部103の段差が大きくなり、接着剤層を積層する際に気泡が残留し易くなる。また、ライン部104A、104Bの厚みが更に厚くなるとエッチング加工時のサイドエッチング等により所望する高精細なメッシュの形状が得られ難くなる。
これに対して、銅メッキ層15を含むライン部104A、104Bの総厚みHを10μm以下とすることで、銅使用量の節約及びメッシュ面の平坦化が可能となる。特に、ライン部104A、104Bの総厚みを3μm以下とする場合には、平坦化の効果が大きい。
一方、ライン部104A、104Bの総厚みHが小さ過ぎると、導電性メッシュ層16の厚みも小さくなりすぎる為、金属の電気抵抗値が増え電磁波遮蔽効果が損なわれやすくなる。電磁波遮蔽機能の点を考慮すると、銅メッキ層15を含む導電性メッシュ層16の厚みは前記のライン幅及びラインピッチの場合に於いて、1μm以上であることが好ましく、更に2μm以上であることが好ましい。故に、メッシュ状領域のライン部の高さHは、1μm以上とすることが好ましく、2μm以上となるようにすることが更に好ましい。また、メッシュ状領域101のバイアス角度(メッシュのライン部と電磁波遮蔽シート10の外周辺とのなす角度)は、ディスプレイの画素ピッチや発光特性を考慮して、モアレ(干渉縞)が出難い角度に適宜設定すれば良い。
In the present invention, the total thickness H of the line portions 104A and 104B in the finally obtained mesh region 101 is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, and 3 μm or less. Is particularly preferred.
Note that the height H of the line portions 104A and 104B of the mesh region 101 refers to the total thickness including all the thicknesses of the layers forming the line portions. For example, when the line portions 104A and 104B are composed of the blackened layer 13, the copper sputtered layer 14, and the copper plated layer 15, as shown in FIG. Moreover, although not shown in figure, when a rust prevention layer and a 2nd blackening layer are formed on a copper plating layer, the thickness including a rust prevention layer and a 2nd blackening layer becomes a total thickness.
If the total thickness of the line portions 104A and 104B is too large, the level difference between the line portions 104A and 104B and the opening 103 becomes large when processed into a mesh, and bubbles tend to remain when the adhesive layer is laminated. Further, when the thickness of the line portions 104A and 104B is further increased, it becomes difficult to obtain a desired high-definition mesh shape by side etching or the like during etching.
On the other hand, when the total thickness H of the line portions 104A and 104B including the copper plating layer 15 is 10 μm or less, it is possible to save the amount of copper used and flatten the mesh surface. In particular, when the total thickness of the line portions 104A and 104B is 3 μm or less, the flattening effect is great.
On the other hand, if the total thickness H of the line portions 104A, 104B is too small, the thickness of the conductive mesh layer 16 is too small, and the electrical resistance value of the metal is increased and the electromagnetic wave shielding effect is easily impaired. In consideration of the electromagnetic shielding function, the thickness of the conductive mesh layer 16 including the copper plating layer 15 is preferably 1 μm or more, and more preferably 2 μm or more in the case of the above line width and line pitch. Is preferred. Therefore, the height H of the line part of the mesh region is preferably 1 μm or more, and more preferably 2 μm or more. In addition, the bias angle of the mesh region 101 (the angle formed between the line portion of the mesh and the outer periphery of the electromagnetic wave shielding sheet 10) is an angle at which moire (interference fringes) is difficult to occur in consideration of the pixel pitch of the display and the light emission characteristics. May be set as appropriate.

(接着剤層)
透明樹脂基材と導電性メッシュ層とを接着するのに、図1〜図2の電磁波遮蔽シートにおいて図示していないが、接着剤層(又は粘着剤層)が用いられても良い。接着剤層は、導電性メッシュ層と透明樹脂基材を接着することが可能な層であれば、その種類等は特に限定されるものではないが、本発明において、上記導電性メッシュ層を構成する金属箔及び透明樹脂基材を接着剤層を介して貼り合わせた後、金属箔をエッチングによりメッシュ状とする際には、接着剤層も耐エッチング性を有することが好ましい。具体的には、ポリエステルウレタン、アクリルウレタン、ポリエーテルウレタン等のポリウレタン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリビニルアルコール単独もしくはその部分鹸化品、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。また、当該接着に用いられる接着剤層(又は粘着剤層)は、紫外線硬化型であってもよく、また熱硬化型であってもよい。特に、透明樹脂基材との密着性や、ネオン光吸収剤等との相溶性、分散性などの観点からポリウレタン樹脂、アクリル樹脂もしくはポリエステル樹脂が好ましい。
また、接着剤層中にネオン光吸収剤及び/又は色補正色素を1種以上含有させてもよい。
(Adhesive layer)
Although not illustrated in the electromagnetic wave shielding sheet of FIGS. 1 to 2, an adhesive layer (or a pressure-sensitive adhesive layer) may be used to bond the transparent resin base material and the conductive mesh layer. The adhesive layer is not particularly limited as long as it is a layer capable of bonding the conductive mesh layer and the transparent resin base material. In the present invention, the conductive mesh layer is configured as described above. When the metal foil and the transparent resin base material to be bonded are bonded to each other through the adhesive layer, and then the metal foil is meshed by etching, the adhesive layer preferably has etching resistance. Specifically, polyurethane resins such as polyester urethane, acrylic urethane, polyether urethane, acrylic resin, polyester resin, polyvinyl alcohol alone or a partially saponified product thereof, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer , Polyimide resin, epoxy resin and the like. Further, the adhesive layer (or pressure-sensitive adhesive layer) used for the adhesion may be an ultraviolet curable type or a thermosetting type. In particular, a polyurethane resin, an acrylic resin, or a polyester resin is preferable from the viewpoints of adhesion to a transparent resin base material, compatibility with a neon light absorber, dispersibility, and the like.
One or more neon light absorbers and / or color correction dyes may be contained in the adhesive layer.

接着剤層を介してドライラミネーション法等により透明樹脂基材及び導電性メッシュ層を形成するための金属箔を接着することができる。また、この接着剤層の膜厚が0.5μm〜50μmの範囲内、中でも1μm〜20μmであることが好ましい。これにより、透明樹脂基材及び導電性メッシュ層を強固に接着することができ、また、導電性メッシュ層を形成するエッチングの際に透明樹脂基材が塩化鉄等のエッチング液の影響を受けること等を防ぐことができるからである。   A metal foil for forming the transparent resin base material and the conductive mesh layer can be bonded via the adhesive layer by a dry lamination method or the like. Moreover, it is preferable that the film thickness of this adhesive bond layer is in the range of 0.5 μm to 50 μm, especially 1 μm to 20 μm. Thereby, the transparent resin base material and the conductive mesh layer can be firmly bonded, and the transparent resin base material is affected by an etching solution such as iron chloride at the time of etching to form the conductive mesh layer. This is because it can be prevented.

(電磁波遮蔽シートの製造方法)
図6は、本発明に係る電磁波遮蔽シート10の製造方法の一例を示したフローシートである。PETフィルムなどの透明樹脂基材11上に黒化層を形成する黒化層形成工程90を行い、その後スパッタ法により銅を堆積させる銅スパッタ層形成工程91を行う。その後に銅メッキ層形成工程92を行う。この銅メッキ層形成工程92の際に、銅結晶の結晶配向性を調節することにより、銅層の硬度と伸び率が上昇するために、銅層の薄膜化を図ることができる。さらに、PDPパネル光の乱反射、裏面反射を抑制して画像のコントラストをより向上させる目的で、銅メッキ層上に更に第2黒化層80を形成する第2黒化層形成工程95を行っても良いが、省略しても良い。また、銅スパッタ層形成工程91も省略できる。最後に、パターニング工程93で所望の形状の開口部を形成することで、電磁波遮蔽シート10が得られる。
(Method for producing electromagnetic wave shielding sheet)
FIG. 6 is a flow sheet showing an example of a method for producing the electromagnetic wave shielding sheet 10 according to the present invention. A blackened layer forming step 90 for forming a blackened layer on the transparent resin substrate 11 such as a PET film is performed, and then a copper sputtered layer forming step 91 for depositing copper by a sputtering method is performed. Thereafter, a copper plating layer forming step 92 is performed. By adjusting the crystal orientation of the copper crystal during the copper plating layer forming step 92, the hardness and elongation of the copper layer are increased, so that the copper layer can be made thinner. Further, a second blackening layer forming step 95 for further forming a second blackening layer 80 on the copper plating layer is performed for the purpose of further improving image contrast by suppressing irregular reflection and back surface reflection of the PDP panel light. May be omitted. Also, the copper sputter layer forming step 91 can be omitted. Finally, the electromagnetic wave shielding sheet 10 is obtained by forming an opening having a desired shape in the patterning step 93.

黒化層形成工程90では、透明樹脂基材11をスパッタリング装置のチャンバ内に設置して、ターゲットであるNi−Cu合金をチャンバ内にセットする。そして、真空引きを開始して、1×10−4Pa以下となったらチャンバ内にアルゴン−酸素混合ガス(例えば、純度99.8%以上が好ましい)を供給する。アルゴン:酸素の比率は、95%:5%〜30%:70%であることが好ましく、より好ましくは90%:10%〜70%:30%である(いずれもモル比である)。なお、混合ガス供給量は、チャンバのサイズ、真空装置の性能及び必要とする酸素雰囲気などを検討して決定される。
スパッタ時のチャンバ内の圧力は、黒化層13の均一性、積層速度及び(Ni−Cu−O)化合物の含有酸素量にも大きく影響する。本発明においては、0.05Pa以上0.5Pa以下であることが好ましい。前記実験条件を選定することで、黒化層13としての黒色度を充分に有し外光を吸収して外光反射(ぎらつき感)を抑えることができる化合物が形成される。さらに、透明樹脂基材11と銅スパッタ層14との密着性に優れ、エッチング性も良い(Ni−Cu−O)化合物が得られる。また、本発明に係る黒化層13は、透明樹脂基材11と銅スパッタ層14との何れとも密着性が高いが、特に銅スパッタ層14との密着性が高いのが電磁波遮蔽の作用が有効に発現する点から有利である。
In the blackening layer forming step 90, the transparent resin base material 11 is placed in the chamber of the sputtering apparatus, and the Ni—Cu alloy as a target is set in the chamber. Then, evacuation is started, and when the pressure becomes 1 × 10 −4 Pa or less, an argon-oxygen mixed gas (for example, a purity of 99.8% or more is preferable) is supplied into the chamber. The ratio of argon: oxygen is preferably 95%: 5% to 30%: 70%, more preferably 90%: 10% to 70%: 30% (all are molar ratios). The supply amount of the mixed gas is determined in consideration of the size of the chamber, the performance of the vacuum apparatus, the required oxygen atmosphere, and the like.
The pressure in the chamber at the time of sputtering greatly affects the uniformity of the blackened layer 13, the stacking speed, and the amount of oxygen contained in the (Ni—Cu—O) compound. In the present invention, it is preferably 0.05 Pa or more and 0.5 Pa or less. By selecting the experimental conditions, a compound that has sufficient blackness as the blackening layer 13 and can absorb external light and suppress external light reflection (glare feeling) is formed. Furthermore, a (Ni—Cu—O) compound having excellent adhesion between the transparent resin substrate 11 and the copper sputter layer 14 and good etching properties can be obtained. Further, the blackening layer 13 according to the present invention has high adhesion to both the transparent resin base material 11 and the copper sputter layer 14, but particularly high adhesion to the copper sputter layer 14 has an action of shielding electromagnetic waves. This is advantageous from the viewpoint of effective expression.

ターゲットであるNi−Cu合金の組成比は特に限定されるものではない。しかしながら、Ni:Cu=80重量%:20重量%〜65重量%:35重量%を用いることが好ましく、純度は99.99重量%以上が好ましい。また、ターゲットであるNi−Cu合金の組成比を適宜選択することで、(Ni−Cu−O)化合物中のNiとCuとの組成比を決めることができる。また、酸素ガスの供給量を調整することで(Ni−Cu−O)化合物中の酸素の含有量を調整できる。
なお、ターゲットはNi−Cu合金に限定されず、Ni−Cu−Xであり、Xは任意の1種又は2種以上の元素である、例えば、3元系合金、4元系合金など、NiとCuとを含む多元系物質を用いても良い。
The composition ratio of the target Ni—Cu alloy is not particularly limited. However, it is preferable to use Ni: Cu = 80 wt%: 20 wt% to 65 wt%: 35 wt%, and the purity is preferably 99.99 wt% or more. Moreover, the composition ratio of Ni and Cu in the (Ni—Cu—O) compound can be determined by appropriately selecting the composition ratio of the target Ni—Cu alloy. Moreover, the oxygen content in the (Ni—Cu—O) compound can be adjusted by adjusting the supply amount of the oxygen gas.
The target is not limited to a Ni—Cu alloy, but is Ni—Cu—X, where X is one or more elements, for example, a ternary alloy, a quaternary alloy, Ni, etc. A multi-element material containing Cu and Cu may be used.

本発明に係る黒化層13を形成する際に、チャンバ内の酸素供給量を増加させることで、黒化層13を形成する(Ni−Cu−O)化合物の酸素の含有率が向上する。通常の化合物であると、酸素含有率が向上すると反射率が低下して黒色度が高まるが、透明樹脂基材又は金属メッキ層との密着性が悪くなり、更に別の問題として導電性が悪化するために電磁波遮蔽性も悪化する傾向がある。しかしながら、本発明に係る黒化層13を形成する(Ni−Cu−O)化合物は、黒色度が充分に高まる量の酸素を含有させた場合でも隣接する層との密着性が充分得られ、且つ導電性の低下が生じ難い。   When the blackening layer 13 according to the present invention is formed, the oxygen content of the (Ni—Cu—O) compound forming the blackening layer 13 is improved by increasing the oxygen supply amount in the chamber. When it is a normal compound, the reflectance decreases and the blackness increases when the oxygen content increases, but the adhesion with the transparent resin substrate or the metal plating layer deteriorates, and the conductivity deteriorates as another problem. Therefore, the electromagnetic wave shielding property tends to deteriorate. However, the (Ni—Cu—O) compound that forms the blackening layer 13 according to the present invention has sufficient adhesion with an adjacent layer even when the amount of oxygen that sufficiently increases the blackness is included. In addition, it is difficult for the conductivity to decrease.

本発明に係る黒化層13の成分である(Ni−Cu−O)化合物は、パターニング工程93におけるフォトリソグラフィー法を行う場合、エッチング性に優れると言う長所も有する。エッチングの際には、メッシュパターンとして残って欲しい箇所はレジスト材料が塗布されて腐蝕液から保護し、除去したい箇所のみが該腐蝕液に溶解することが必要である。本発明に係る(Ni−Cu−O)化合物は、塩化第二鉄、硝酸アンモニウムセリウムなどの腐蝕液に溶解しやすいためにエッチング性に優れる。なお、本発明に係る電磁波遮蔽シート10の製造方法においては、フォトリソグラフィーのプロセスにおいてアルカリ性溶液に製造中間物を浸漬する場合が有る。そのために、該製造中間物は、レジストを除去する際にアルカリ溶液を使用する場合が有る。其の為、場合によっては耐アルカリ性を有することが必要であるが、本発明に係る黒化層13を形成する(Ni−Cu−O)化合物は、耐アルカリ性にも優れている。   The (Ni—Cu—O) compound, which is a component of the blackening layer 13 according to the present invention, also has an advantage of being excellent in etching property when performing the photolithography method in the patterning step 93. At the time of etching, it is necessary that a portion desired to remain as a mesh pattern is coated with a resist material to be protected from the corrosive liquid, and only a portion to be removed is dissolved in the corrosive liquid. Since the (Ni—Cu—O) compound according to the present invention is easily dissolved in a corrosive liquid such as ferric chloride and ammonium cerium nitrate, it has excellent etching properties. In addition, in the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding sheet 10 according to the present invention, a manufacturing intermediate may be immersed in an alkaline solution in a photolithography process. Therefore, the manufacturing intermediate may use an alkaline solution when removing the resist. Therefore, in some cases, it is necessary to have alkali resistance, but the (Ni—Cu—O) compound forming the blackening layer 13 according to the present invention is also excellent in alkali resistance.

黒化層13の上面に、銅スパッタ層14を形成する銅スパッタ層形成工程91を行うが、この銅スパッタ工程91は省略することもできる。銅スパッタ層14は、ターゲットに銅を用いて、アルゴン−酸素ガスに高電圧(例えば、0.3kV以上0.6kV以下;2kW以上10kW以下)を与えてアルゴンをイオン化する。このイオン化アルゴンをターゲットである銅にあてることで、ターゲットから銅イオンが透明樹脂基材11上に向けて飛び出して、透明樹脂基材11上の黒化層13の表面に銅の層(銅スパッタ層)14を形成する。   A copper sputter layer forming step 91 for forming the copper sputter layer 14 is performed on the upper surface of the blackening layer 13, but the copper sputter step 91 may be omitted. The copper sputter layer 14 uses copper as a target, and applies a high voltage (for example, 0.3 kV to 0.6 kV; 2 kW to 10 kW) to the argon-oxygen gas to ionize argon. By applying this ionized argon to the target copper, copper ions jump out of the target onto the transparent resin substrate 11, and a copper layer (copper sputter) is formed on the surface of the blackened layer 13 on the transparent resin substrate 11. Layer) 14.

銅メッキ層15を積層させるためには、電解メッキ法、無電解メッキ法などが挙げられるが、生産スピードの点から電解メッキ法で行うことが好ましい。透明樹脂基材11上に形成された銅メッキ層15は、下地面から上方に向かって銅結晶が成長することによって堆積していくと考えられる。
銅結晶は面心立方格子であり、その結晶面を面指数で表したときに、少なくとも3つの結晶、すなわち面心立方格子の結晶軸に対して面指数(111)で表される結晶面を有する結晶、面指数(200)で表される結晶面を有する結晶、及び面指数(220)で表される結晶面を有する結晶が存在し得る。
ここで、結晶面の面指数とは、結晶軸に対する結晶面の方向を表す手段である。結晶面が結晶軸を切り取る長さを格子定数の単位として表し、表された長さの逆数を求める。この逆数の比を、同じ比をなす3個の整数(通常は最小の整数の組み合わせ)に簡約する。その簡約した整数を括弧でくくって結晶面の面指数として決定する。
In order to laminate the copper plating layer 15, an electrolytic plating method, an electroless plating method, and the like can be mentioned, but it is preferable to perform the electrolytic plating method from the viewpoint of production speed. It is considered that the copper plating layer 15 formed on the transparent resin base material 11 is deposited as the copper crystal grows upward from the base surface.
The copper crystal has a face-centered cubic lattice, and when the crystal plane is represented by a plane index, at least three crystals, that is, a crystal plane represented by a plane index (111) with respect to the crystal axis of the face-centered cubic lattice. There may be a crystal having, a crystal having a crystal plane represented by a plane index (200), and a crystal having a crystal plane represented by a plane index (220).
Here, the plane index of the crystal plane is a means for expressing the direction of the crystal plane with respect to the crystal axis. The length by which the crystal plane cuts the crystal axis is expressed as a unit of lattice constant, and the reciprocal of the expressed length is obtained. The reciprocal ratio is reduced to three integers (usually the smallest integer combination) that make up the same ratio. The reduced integer is enclosed in parentheses and determined as the plane index of the crystal plane.

従って、銅メッキ層15中には、(111)面が上方を向いて(メッキ層の表面と平行になった状態で)成長した結晶、(200)面が上方を向いて(メッキ層の表面と平行になった状態で)成長した結晶、及び、(220)面が上方を向いて(メッキ層の表面と平行になった状態で)成長した結晶が存在し得る。
そして、銅メッキ層15の表面に対して平行な結晶面の存在数比は、同じ結晶面がメッキの堆積方向を向く結晶の単位格子の数の比であり、別の言い方をすれば、結晶軸との関係で結晶の成長方向が同じである結晶の単位格子の数の比でもあり、銅メッキ層15を構成している銅結晶の配向状態を示す手段となる。
Accordingly, in the copper plating layer 15, crystals grown with the (111) surface facing upward (in a state parallel to the surface of the plating layer), the (200) surface facing upward (the surface of the plating layer) There may be a crystal grown in a state parallel to the surface and a crystal grown in a state where the (220) plane faces upward (in a state parallel to the surface of the plating layer).
The ratio of the number of crystal planes parallel to the surface of the copper plating layer 15 is the ratio of the number of unit lattices of crystals in which the same crystal plane faces the deposition direction of the plating. It is also the ratio of the number of unit lattices of crystals whose crystal growth directions are the same in relation to the axis, and is a means for indicating the orientation state of the copper crystals constituting the copper plating layer 15.

本発明においては、透明樹脂基材11上に形成された銅メッキ層15が電磁波遮蔽シート10の加工プロセス中に破損しないように、銅メッキ層15を構成する銅の結晶配向性を調節して、銅メッキ層15の硬度及び伸び率を向上させる。具体的には、銅メッキ層15の表面に対して平行な結晶面の存在数比を、銅メッキ層15の表面にX線を照射するXRD測定により特定された結晶面の面指数ピーク比で表したときに、(111)面強度に対する(200)面または(220)面強度の比が50%以上となるように銅の結晶配向性を調節する。または、(111)面強度に対する(200)面及び(220)面の合計強度の比が70%以上となるように銅の結晶配向性を調節する。   In the present invention, the crystal orientation of copper constituting the copper plating layer 15 is adjusted so that the copper plating layer 15 formed on the transparent resin base material 11 is not damaged during the processing of the electromagnetic wave shielding sheet 10. The hardness and elongation rate of the copper plating layer 15 are improved. Specifically, the ratio of the number of crystal planes parallel to the surface of the copper plating layer 15 is the plane index peak ratio of the crystal plane specified by XRD measurement in which the surface of the copper plating layer 15 is irradiated with X-rays. When expressed, the crystal orientation of copper is adjusted so that the ratio of the (200) plane or (220) plane strength to the (111) plane strength is 50% or more. Alternatively, the crystal orientation of copper is adjusted so that the ratio of the total strength of the (200) plane and the (220) plane to the (111) plane strength is 70% or more.

ここで、XRD測定とは、X線回折(X−Ray Diffraction)測定による結晶の解析法のことを云う。X線を被測定結晶に入射し、結晶中の(111)面等の各結晶面でのブラッグ(Bragg)反射の強度を測定する。これより、該結晶中に存在する結晶面の種類、及び其の強度比から各結晶面の存在比率を求めるものである。具体的な測定法としては、既に結晶格子解析の分野で確立された公知の手法、装置を用いれば良い。
そのようなXRD測定により特定される結晶面のピーク比は、多結晶系において、特定の方向を向いている結晶面の存在数比または結晶軸との関係で特定の結晶成長方向を有する結晶格子の存在数比を表す。
Here, the XRD measurement refers to a crystal analysis method based on X-ray diffraction (X-Ray Diffraction) measurement. X-rays are incident on the crystal to be measured, and the intensity of Bragg reflection on each crystal plane such as the (111) plane in the crystal is measured. From this, the abundance ratio of each crystal plane is obtained from the type of crystal plane present in the crystal and its intensity ratio. As a specific measurement method, a known method or apparatus already established in the field of crystal lattice analysis may be used.
The peak ratio of crystal planes identified by such XRD measurement is a crystal lattice having a specific crystal growth direction in relation to the ratio of the number of crystal planes facing a specific direction or the crystal axis in a polycrystalline system. The abundance ratio of.

このようにして、面方向にある程度の広がりを持つ領域に存在する、特定の配向性を持つ結晶面の存在数比、即ち、多結晶体を構成する各単結晶粒子の結晶配向の比率(分布)を測定することができる。   In this way, the ratio of the number of crystal planes having a specific orientation existing in a region having a certain extent in the plane direction, that is, the ratio of crystal orientation of each single crystal particle constituting the polycrystal (distribution). ) Can be measured.

粉末X線回折のための標準データであるJCPDS(Joint Committee on Powder Diffraction standards)によれば、銅結晶の標準的なXRDピーク比(ランダム配向のピーク比)は、(111)面:(200)面:(220)面=100:46:20である。この場合、最もピークが大きいのは(111)面である。この状態を(111)配向と呼ぶ。 (111)面強度100%に対して(200)面強度は46%であり、50%に達していないため後述する第1のメッキ方法で50%以上となるように銅の結晶配向性を調節する。
(111)面強度と(220)面強度の関係では、(111)面強度100%に対して(220)面強度はわずか20%であり、50%に達していないため後述する第2のメッキ方法で50%以上となるように銅の結晶配向性を調節する。
(111)面強度と、(200)面及び(220)面の合計強度の関係では、(111)面強度100%に対して(200)面と(220)面の合計強度の比は、46%+20%=66%であり、70%に達していないため後述する第3のメッキ方法で70%以上となるように銅の結晶配向性を調節する。
According to JCPDS (Joint Committee on Powder Diffraction standards), which is standard data for powder X-ray diffraction, the standard XRD peak ratio (peak ratio of random orientation) of copper crystals is (111) plane: (200) Plane: (220) plane = 100: 46: 20. In this case, the (111) plane has the largest peak. This state is called (111) orientation. Since the (200) plane strength is 46% with respect to the (111) plane strength of 100% and does not reach 50%, the crystal orientation of copper is adjusted to 50% or more by the first plating method described later. To do.
Regarding the relationship between the (111) plane strength and the (220) plane strength, the (220) plane strength is only 20% with respect to the (111) plane strength of 100%, and does not reach 50%. The crystal orientation of copper is adjusted to 50% or more by the method.
In the relationship between the (111) plane strength and the total strength of the (200) plane and the (220) plane, the ratio of the total strength of the (200) plane and the (220) plane with respect to 100% of the (111) plane strength is 46. % + 20% = 66%, and since it has not reached 70%, the crystal orientation of copper is adjusted to 70% or more by the third plating method described later.

電解メッキ法による銅メッキ液としては、硫酸銅浴、青化銅浴、硼弗化銅浴、ピロ燐酸銅浴等公知のメッキ浴が使用できるが、代表的なメッキ浴としては硫酸銅浴が用いられる。硫酸銅浴の組成としては、例えば、硫酸銅、及び硫酸を含む水溶液をベースとして、銅結晶の配向性を調節するためのメッキ添加剤を加えたものを用いる。硫酸濃度は、150〜220g/L(リットル)程度、硫酸銅濃度は、5水和物で50〜85g/L程度である。以下に銅メッキ層15の結晶配向性を調節するための好ましい方法として、第1乃至第3のメッキ方法を特に説明する。   As a copper plating solution by the electrolytic plating method, a known plating bath such as a copper sulfate bath, a copper bromide bath, a copper borofluoride bath, a copper pyrophosphate bath can be used, but a copper sulfate bath is a typical plating bath. Used. As the composition of the copper sulfate bath, for example, a copper sulfate and an aqueous solution containing sulfuric acid and a plating additive for adjusting the orientation of copper crystals are used. The sulfuric acid concentration is about 150 to 220 g / L (liter), and the copper sulfate concentration is about 50 to 85 g / L for pentahydrate. Hereinafter, first to third plating methods will be particularly described as preferable methods for adjusting the crystal orientation of the copper plating layer 15.

第1乃至第3のメッキ方法では、メッキ添加剤に含まれる配向性調節成分としては、例えば炭化水素系高分子化合物、含硫黄炭化水素化合物、蛋白質、膠(にかわ)、アミン、アルカロイド、メルカプタン、スルフィド、或いは各種染料系化合物等公知のものが挙げられる。このような配向性調節成分を1種又は2種以上、適宜選択して用いる。添加量は1〜100g/L程度である。又、必要に応じて、銅メッキ層15の表面を粗面化する為に、塩酸を塩素濃度40〜80mg/L程度添加しても良い。メッキ条件は一般的な設定でよく、例えば、浴温を20〜30℃、電流密度を1〜3A/dm、メッキ時間を30分から2時間とし、メッキ浴を攪拌する。メッキ層の堆積後、結晶配向を安定化するために必要に応じてアニール処理を行うことが好ましい。アニール処理の条件としては、例えば、100〜200℃、30分から2時間とする。
銅結晶(200)面、(220)面の銅メッキ層表面への平行配列性は、添加剤の構成成分の配合比に依存することが知られている。銅メッキ層表面に平行な結晶面が(200)面、(220)面であるものの比率を高めるためには、メッキ添加剤の構成成分の配合比を加減すると良い。
In the first to third plating methods, examples of the orientation control component contained in the plating additive include hydrocarbon polymer compounds, sulfur-containing hydrocarbon compounds, proteins, glue, amines, alkaloids, mercaptans, Known compounds such as sulfide or various dye-based compounds can be used. One or more of these orientation adjusting components are appropriately selected and used. The addition amount is about 1 to 100 g / L. Further, if necessary, hydrochloric acid may be added at a chlorine concentration of about 40 to 80 mg / L in order to roughen the surface of the copper plating layer 15. The plating conditions may be general settings. For example, the bath temperature is 20 to 30 ° C., the current density is 1 to 3 A / dm 2 , the plating time is 30 minutes to 2 hours, and the plating bath is stirred. After the plating layer is deposited, it is preferable to perform an annealing treatment as necessary in order to stabilize the crystal orientation. The annealing conditions are, for example, 100 to 200 ° C., 30 minutes to 2 hours.
It is known that the parallel alignment of the copper crystal (200) plane and the (220) plane on the surface of the copper plating layer depends on the blending ratio of the constituent components of the additive. In order to increase the ratio of the crystal planes parallel to the surface of the copper plating layer being the (200) plane and the (220) plane, the blending ratio of the components of the plating additive may be adjusted.

第1のメッキ方法では、銅メッキ層15の表面に平行な結晶面が(200)面であるものの比率を高め、特に50%以上とする為に好ましい添加剤の例としては、例えば、炭化水素系高分子化合物を主成分とし、必要に応じて含硫黄炭化水素化合物等他の添加剤を混合した配合等が挙げられ、銅結晶の(200)面強度が前記標準的な強度値(46%)よりも大きい状態、すなわち(200)面に優先的に配向している状態となる。そして、その優先的配向の程度を、(111)面強度に対する(200)面強度の比が50%以上となるように調節される。
第2のメッキ方法では、銅メッキ層15の表面に平行な結晶面が(220)面であるものの比率を高め、特に50%以上とする為に好ましい添加剤の例としては、炭化水素系高分子化合物を主成分とし、含硫黄炭化水素化合物を含まない配合が挙げられる。特に、炭化水素系高分子化合物のみからなる配合物が特に好ましく、これにより銅結晶の(220)面強度が前記標準的な強度値(20%)よりも大きい状態、すなわち(220)面に優先的に配向している状態となる。そして、その優先的配向の程度を、(111)面強度に対する(220)面強度の比が50%以上となるように調節される。
In the first plating method, the ratio of the crystal plane parallel to the surface of the copper plating layer 15 is the (200) plane is increased, and particularly as an example of a preferable additive for 50% or more, for example, hydrocarbon And the like, and the (200) plane strength of the copper crystal is the standard strength value (46%). ), That is, a state preferentially oriented in the (200) plane. The degree of the preferential orientation is adjusted so that the ratio of the (200) plane strength to the (111) plane strength is 50% or more.
In the second plating method, the ratio of the crystal plane parallel to the surface of the copper plating layer 15 is the (220) plane is increased. Examples thereof include a compound containing a molecular compound as a main component and not containing a sulfur-containing hydrocarbon compound. In particular, a blend composed only of a hydrocarbon-based polymer compound is particularly preferable, whereby the (220) plane strength of the copper crystal is higher than the standard strength value (20%), that is, priority is given to the (220) plane. It will be in the state where it is oriented. The degree of the preferential orientation is adjusted so that the ratio of the (220) plane strength to the (111) plane strength is 50% or more.

第1又は第2のメッキ方法では、銅メッキ層15中の銅結晶の(200)面強度又は(220)面強度が(111)面強度に対して50%以上となるように優先的に配向してさえいれば、(200)面配向(強度が最も大きい配向面が(200)面である状態)又は(220)面配向(強度が最も大きい配向面が(220)面である状態)でなくとも効果が得られるが、(200)面配向又は(220)面配向であると、銅メッキ層15がより高い硬度または伸び率を得ることができるので更に好ましい。   In the first or second plating method, the (200) plane strength or (220) plane strength of the copper crystal in the copper plating layer 15 is preferentially oriented so as to be 50% or more with respect to the (111) plane strength. As long as it is, (200) plane orientation (state where the orientation plane with the highest strength is the (200) plane) or (220) plane orientation (state where the orientation plane with the highest strength is the (220) plane) The effect can be obtained even if it is not, but the (200) plane orientation or (220) plane orientation is more preferable because the copper plating layer 15 can obtain higher hardness or elongation.

第3のメッキ方法では、銅メッキ層15の表面に平行な結晶面が(200)面又は(220)面であるものの比率を高め、特に、これらの合計強度を70%以上とする為に好ましい添加剤の例としては、炭化水素系高分子化合物を主成分とし、含硫黄炭化水素化合物を含まない配合が挙げられる。特に、炭化水素系高分子化合物のみからなる配合物が特に好ましく、これにより銅結晶の(200)面と(220)面の合計強度が、前記標準的な強度値(66%)よりも大きい状態、具体的には該合計強度が70%以上となるように調節される。
そして、銅メッキ層15中の銅結晶の(200)面と(220)面の合計強度が、(111)面強度に対して70%以上に達していれば銅メッキ層15の硬度と伸び率を向上させる効果が得られるが、より優れた効果を得る観点から、(200)面と(220)面の合計強度が、(111)面強度に対して100%以上であることが好ましい。また、(200)面又は(220)面のうち、どちらかが標準的な強度((200)面については46%、(220)面については20%)よりも大きくなった結果、これら2つの結晶面の合計強度が70%以上に達していれば充分に効果が得られるが、より優れた効果を得る観点から、少なくとも(200)面強度が46%よりも大きいことが好ましい。さらに、(200)面強度が46%よりも大きく、且つ、(220)面強度が20%よりも大きいことが、特に好ましい。
In the third plating method, the ratio of the crystal plane parallel to the surface of the copper plating layer 15 being the (200) plane or the (220) plane is increased, and in particular, the total strength is preferably 70% or more. As an example of an additive, the mixing | blending which has a hydrocarbon type polymer compound as a main component and does not contain a sulfur-containing hydrocarbon compound is mentioned. In particular, a blend composed only of a hydrocarbon-based polymer compound is particularly preferred, whereby the total strength of the (200) plane and (220) plane of the copper crystal is greater than the standard strength value (66%). Specifically, the total strength is adjusted to be 70% or more.
If the total strength of the (200) plane and the (220) plane of the copper crystal in the copper plating layer 15 reaches 70% or more with respect to the (111) plane strength, the hardness and elongation of the copper plating layer 15 From the viewpoint of obtaining a more excellent effect, the total strength of the (200) plane and the (220) plane is preferably 100% or more with respect to the (111) plane strength. Moreover, as a result of which one of the (200) plane and the (220) plane is larger than the standard strength (46% for the (200) plane and 20% for the (220) plane), these two A sufficient effect can be obtained if the total strength of the crystal planes reaches 70% or more, but from the viewpoint of obtaining a more excellent effect, it is preferable that at least the (200) plane strength is greater than 46%. Furthermore, it is particularly preferable that the (200) plane strength is greater than 46% and the (220) plane strength is greater than 20%.

銅メッキ層15の硬度と伸び率を向上させる方法として、第1乃至第3のメッキ方法について説明したが、本発明はこれら方法に限定されるものではない。銅メッキ層15の硬度が向上することによって、特に加工プロセス中のこすれに強くなり、耐傷性が向上する。また、銅メッキ層15の伸び率が向上することによって、特に加工プロセス中の引っ張りに強くなり、耐亀裂性が向上する。そして、銅メッキ層15の耐傷性と耐亀裂性とが共に向上することで、電磁波遮蔽シートの製造プロセス中に銅メッキ層15が破損しにくくなり、スループットを向上させることが期待できる。
従って、銅メッキ層を薄く形成して、銅の使用量を節約したり、メッシュパターンの凹凸段差を小さくしたりして表面平坦化を容易にすることができる。
前述した銅メッキ層15の硬度の向上及び伸び率については、下記のビッカース硬度と伸び率の測定方法により知ることができる。
ビッカース硬度は、一般的なビッカース硬度測定装置(例えば、AKASHI Co., LTD製、機種名MVK−G2)を用いて、圧子荷重を10g、保持時間を15秒として測定することができる。
Although the first to third plating methods have been described as methods for improving the hardness and elongation rate of the copper plating layer 15, the present invention is not limited to these methods. As the hardness of the copper plating layer 15 is improved, the copper plating layer 15 is particularly resistant to rubbing during the processing process, and scratch resistance is improved. Further, by improving the elongation rate of the copper plating layer 15, it becomes particularly resistant to tension during the processing process, and crack resistance is improved. And by improving both the flaw resistance and crack resistance of the copper plating layer 15, it becomes difficult to damage the copper plating layer 15 during the manufacturing process of the electromagnetic wave shielding sheet, and it can be expected to improve the throughput.
Therefore, it is possible to facilitate surface flattening by forming a thin copper plating layer to save the amount of copper used and reducing the uneven step of the mesh pattern.
The above-described improvement in hardness and elongation of the copper plating layer 15 can be known by the following measurement method of Vickers hardness and elongation.
The Vickers hardness can be measured using a general Vickers hardness measuring device (for example, model name MVK-G2 manufactured by AKASHI Co., LTD) with an indenter load of 10 g and a holding time of 15 seconds.

また、伸び率は、JIS Z−2241(1980)「金属材料引張試験法」に従って行うことができ、一般的な引張試験装置(例えば、SHIMADZU Co., LTD製)を用いて、試験片寸法を厚み18μm×幅10mm×長さ50mm、引張り速度を10mm/minとして測定することができる。   Further, the elongation can be performed in accordance with JIS Z-2241 (1980) “Metal Material Tensile Test Method”, and using a general tensile test apparatus (for example, manufactured by SHIMADZU Co., LTD) It can be measured with a thickness of 18 μm × width of 10 mm × length of 50 mm and a tensile speed of 10 mm / min.

銅メッキ層15上に電磁波遮蔽シート10の黒色度を更に出すために、更に第2黒化層80を形成しても良い(図4A参照)。第2黒化層80を形成する際には、銅メッキ層形成工程92の後に第2黒化層形成工程95を行い、その第2黒化層形成工程95の後にパターニング工程93を行う。なお、素材、形成方法などは前述した黒化層13のものを適用できる。第2黒化層80も前記黒化層13と同様のスパッタ法により、Ni−Cu−O系の化合物を用いて行う。実験条件は先の黒化層13とほぼ同一であるが、銅メッキ層15の銅結晶の結晶配向性(111)面、(200)面、(220)面の関係を崩さない点に注意を払う必要がある。   In order to further increase the blackness of the electromagnetic wave shielding sheet 10 on the copper plating layer 15, a second blackening layer 80 may be further formed (see FIG. 4A). When forming the second blackened layer 80, a second blackened layer forming step 95 is performed after the copper plating layer forming step 92, and a patterning step 93 is performed after the second blackened layer forming step 95. In addition, the material of the blackening layer 13 mentioned above can be applied for a raw material, a formation method, etc. The second blackened layer 80 is also formed using a Ni—Cu—O-based compound by the same sputtering method as the blackened layer 13. The experimental conditions are almost the same as the previous blackening layer 13, but note that the crystal orientation of the copper crystal of the copper plating layer 15 does not break the relationship between the (111) plane, the (200) plane, and the (220) plane. I need to pay.

銅メッキ層15が形成されている透明樹脂基材11をスパッタリング装置のチャンバ内に設置して、ターゲットであるNi−Cu合金をチャンバ内にセットする。そして、真空引きを開始して、1×10−4Pa以下となったらチャンバ内にアルゴン−酸素混合ガスを供給する。なお、アルゴン:酸素の比率やチャンバサイズ、混合ガス供給量などの各実験条件は前述した黒化層13の形成方法と同じ条件である。第2黒化層80の厚みは特に限定されるものではないが、80Å(=8nm)以上300Å(=30nm)以下が好ましく、より好ましくは120Å以上160Å以下である。第2黒化層80の黒濃度は0.6以上が好ましく、第2黒化層80の光線反射率としては20%以下が好ましく、反射のY値は20以下が好ましい。これらの測定は、前記黒化層13の形成の際に記載したものが適用できる。 The transparent resin base material 11 on which the copper plating layer 15 is formed is placed in a chamber of a sputtering apparatus, and a Ni—Cu alloy as a target is set in the chamber. Then, evacuation is started, and when the pressure becomes 1 × 10 −4 Pa or less, an argon-oxygen mixed gas is supplied into the chamber. Each experimental condition such as the ratio of argon: oxygen, chamber size, mixed gas supply amount, and the like is the same as the method for forming the blackened layer 13 described above. The thickness of the second blackening layer 80 is not particularly limited, but is preferably from 80 mm (= 8 nm) to 300 mm (= 30 nm), more preferably from 120 mm to 160 mm. The black density of the second blackened layer 80 is preferably 0.6 or more, the light reflectance of the second blackened layer 80 is preferably 20% or less, and the Y value of reflection is preferably 20 or less. For these measurements, those described in the formation of the blackening layer 13 can be applied.

本発明において、銅メッキ層15の上面又は第2黒化層80の上面など、導電性メッシュ層16の最上面に公知の黒化層81を形成して、その公知の黒化層81を含めた導電性メッシュ層とすることもできる。
図4Bに示した公知の黒化層81の形成は、銅メッキ層15面を粗化するか、全可視光スペクトルに亘って光吸収性材料を付与する(黒化)か、或いは両者を併用するかの何れかにより行なうことが出来る。銅メッキ層15を粗化して公知の黒化層81を形成する場合には、銅を硫酸、硫酸銅及び硫酸コバルトなどからなる電解液中で、陰極電解処理を行って、カチオン性粒子を付着させるカソーディック電着が挙げられる。カチオン性粒子を設けることでより粗化し、同時に黒色が得られる。カチオン性粒子としては、銅粒子、銅と他の金属との合金粒子が適用できるが、好ましくは銅−コバルト合金の粒子である。該カチオン性粒子の粒径は、黒濃度の点から、平均粒径0.1μm〜1μm程度が好ましい。その他、黒化層形成法として、ニッケル−亜鉛合金、硫化ニッケル、或いはこれらの複合体からなる黒化ニッケルメッキ、並びに酸化銅も好適に使用できる。
In the present invention, a known blackening layer 81 is formed on the uppermost surface of the conductive mesh layer 16 such as the upper surface of the copper plating layer 15 or the upper surface of the second blackening layer 80, and the known blackening layer 81 is included. A conductive mesh layer can also be used.
The known blackening layer 81 shown in FIG. 4B is formed by roughening the surface of the copper plating layer 15, applying a light absorbing material over the entire visible light spectrum (blackening), or using both in combination. This can be done by either When roughening the copper plating layer 15 to form the known blackening layer 81, the cathode is subjected to cathodic electrolysis in an electrolytic solution composed of sulfuric acid, copper sulfate, cobalt sulfate, etc., and the cationic particles are adhered. Cathodic electrodeposition that can be used. By providing cationic particles, the particles become rougher and at the same time black is obtained. As the cationic particles, copper particles and alloy particles of copper and other metals can be applied, but copper-cobalt alloy particles are preferable. The average particle size of the cationic particles is preferably about 0.1 μm to 1 μm from the viewpoint of black density. In addition, as the blackening layer forming method, nickel-zinc alloy, nickel sulfide, or blackening nickel plating made of a composite of these, and copper oxide can also be suitably used.

上述する各工程を経て黒化層を含む導電体層が形成される。導電体層は、導電体層を構成する全ての層を順次形成した後でパターニングしても良いし、導電体層の一部を形成した段階又は形成している途中でパターニングしても良い。
パターニング工程93の一方法としては、例えば、次の3つの方法が挙げられる。
(1)透明基材上へ導電インキをパターン状に印刷する方法。該導電インキとしては、銀、黒鉛等の導電性粒子をアクリル樹脂、ポリエステル樹脂等の樹脂バインダー中に分散した組成物が用いられる。印刷法としては、シルクスクリーン、凹版、フレキソ等の方式が適用出来る。導電インキのみで導電性が不足の場合は、該導電インキ層の上へ銅、銀等の金属層をメッキする方法も有る(例えば、特開2000−13088号公報参照)。
(2)透明基材へ、導電インキ又は化学メッキ触媒含有感光性塗布液を全面に塗布して塗布層を形成し、塗布層をフォトリソグラフィー法でメッシュ状とした後に、該メッシュの上へ銅メッキする方法(例えば、住友大阪セメント株式会社新材料事業部新規材料研究所新材料研究グループ、“光解像性化学メッキ触媒”、[online]、掲載年月日記載なし、住友大阪セメント株式会社、[平成15年1月7日検索]、インターネット〈URL:http://www.socnb.com/product/hproduct/display.html〉)。
(3)透明基材の一方の面へ、金属薄膜をスパッタなどにより形成して導電処理層などを形成し、その上に電解メッキにより銅メッキ層を形成し、さらに、その上に第2黒化層や公知の他の黒化層を形成して、導電体層の全ての層の形成を完了させた透明基材を準備し、該透明基材上の導電体層を、フォトリソグラフィー法でメッシュ状とする(例えば、特許第3502979号公報、特開2004−241761号公報参照)。
(4)透明基材の一方の面へ、金属箔をドライラミネート法により接着して導電体層とし、該透明基材上の導電体層を、フォトリソグラフィー法でメッシュ状とする(例えば、特許第3388682号公報等参照)。
A conductor layer including a blackened layer is formed through the above-described steps. The conductor layer may be patterned after sequentially forming all the layers constituting the conductor layer, or may be patterned at the stage of forming a part of the conductor layer or during the formation.
As one method of the patterning process 93, the following three methods are mentioned, for example.
(1) A method of printing conductive ink in a pattern on a transparent substrate. As the conductive ink, a composition in which conductive particles such as silver and graphite are dispersed in a resin binder such as an acrylic resin and a polyester resin is used. As a printing method, methods such as silk screen, intaglio and flexo can be applied. When the conductivity is insufficient only with the conductive ink, there is also a method of plating a metal layer such as copper or silver on the conductive ink layer (see, for example, JP-A-2000-13088).
(2) Apply a conductive ink or a photosensitive coating solution containing a chemical plating catalyst to the entire surface of the transparent substrate to form a coating layer. After forming the coating layer into a mesh by photolithography, copper is applied onto the mesh. Method of plating (for example, Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd., New Materials Division, New Materials Research Institute, New Materials Research Group, “Photoresolvable Chemical Plating Catalyst”, [online], date not listed, Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. [Search January 7, 2003], Internet <URL: http://www.socib.com/product/hproduct/display.html>).
(3) A metal thin film is formed on one surface of the transparent substrate by sputtering or the like to form a conductive treatment layer, and a copper plating layer is formed thereon by electrolytic plating. Forming a transparent layer or other known blackening layer to prepare a transparent substrate that has completed the formation of all the layers of the conductor layer, and the conductor layer on the transparent substrate is prepared by a photolithography method. The mesh shape is used (see, for example, Japanese Patent No. 3502979 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-241761).
(4) A metal foil is bonded to one surface of a transparent substrate by a dry lamination method to form a conductor layer, and the conductor layer on the transparent substrate is meshed by a photolithography method (for example, patent No. 3388682).

中でも、本発明においては特に、開口部への黒化層付着防止の為の工程が不要なこと、透明性及びメッシュ精度に優れるのでディスプレイ画像を良好に視認性でき、さらに、既存の設備を使用でき、製造工程においてその多くを連続的に行え、反りや気泡の混入などが少なく、短い工程(生産効率が高い)で歩留りがよく安価で、且つ品質がよく製品を生産できる点から、上記(3)の方法を用いることが特に好ましい。上記(3)の方法により導電体層を形成する方法を詳細に説明する。   Among them, in the present invention, in particular, a process for preventing the blackened layer from adhering to the opening is unnecessary, and since the transparency and mesh accuracy are excellent, the display image can be satisfactorily viewed, and the existing equipment is used. From the point that many of them can be continuously performed in the manufacturing process, there is little warping or mixing of air bubbles, etc., and the yield is good, the yield is low, and the quality is good in a short process (high production efficiency). It is particularly preferable to use the method 3). A method for forming the conductor layer by the method (3) will be described in detail.

上述のように設けられた透明樹脂基材11上の導電体層16をフォトリソグラフィー法でメッシュ状とするパターニング工程93について説明する。上記のように準備した透明樹脂基材11上の導電体層16の表面へ、レジスト層を設け、メッシュパターン化し、レジスト層で覆われていない部分の導電体層16をエッチングにより除去した後に、レジスト層を除去して、メッシュ状の導電体層16とする。   The patterning process 93 which makes the conductor layer 16 on the transparent resin substrate 11 provided as described above into a mesh shape by photolithography will be described. After providing a resist layer on the surface of the conductor layer 16 on the transparent resin substrate 11 prepared as described above, forming a mesh pattern, and removing the portion of the conductor layer 16 not covered with the resist layer by etching, The resist layer is removed to form a mesh-like conductor layer 16.

透明樹脂基材11の導電体層16側の面をフォトリソグラフィー法でメッシュ状とし、メッシュ状領域101を形成する。このパターニング工程93も、帯状で連続して巻き取られたロール状の積層体(透明樹脂基材11と導電体層16。なお、以下の説明において透明樹脂基材上に少なくとも一層が形成されているものを積層体と称する)を加工して行く(巻取り加工、ロールツーロール加工という)ことが好ましい。該積層体を連続的又は間歇的に搬送しながら、緩みなく伸張した状態で、マスキング、エッチング、レジスト剥離する。
次に、マスキングは、例えば、メッシュ状領域を形成する導電体層上へ感光性レジストを塗布し、乾燥した後に、所定のパターンを有するフォトマスクにて密着露光し、水現像し、硬膜処理などを施し、ベーキングする。なお、感光性レジストのネガ型、ポジ型の何れも使用可である。感光性レジストがネガ型の場合は、フォトマスクのメッシュパターンは第1ライン部及び第2ライン部(導電体層)が透明なものとする。又感光性レジストがポジ型の場合は、フォトマスクのメッシュパターンは開口部が透明なものとする。また、露光パターンとしては、電磁波遮蔽用シートとして所望のパターンであり、最低限メッシュ状領域のパターンから構成される。更に必要に応じて、メッシュ状領域の外周に接地用領域のパターンを追加する。
レジストの塗布は、巻取り加工では、帯状の積層体を連続又は間歇で搬送させながら、メッシュ状領域を形成する導電体層面へ、カゼイン、PVA、ゼラチンなどのレジストをディッピング(浸漬)、カーテンコート、掛け流しなどの方法で行う。また、レジストは塗布ではなく、ドライフィルムレジストを用いてもよく、作業性が向上できる。ベーキングはカゼインレジスト(乳タンパク質の一種)の場合、200〜300℃で行うが、該透明樹脂基材の反りを防止するために、できるだけ低温度が好ましい。
The surface on the conductor layer 16 side of the transparent resin base material 11 is made into a mesh shape by a photolithography method, and the mesh-like region 101 is formed. This patterning step 93 is also a roll-shaped laminated body (transparent resin base material 11 and conductor layer 16 that is continuously wound in a band shape. In the following description, at least one layer is formed on the transparent resin base material. (Referred to as a laminated body) is preferably processed (winding processing, roll-to-roll processing). While the laminate is conveyed continuously or intermittently, masking, etching, and resist peeling are performed in a stretched state without looseness.
Next, for masking, for example, a photosensitive resist is applied onto a conductor layer forming a mesh-like region, dried, and then closely exposed with a photomask having a predetermined pattern, water-developed, and hardened. Etc. and baking. Note that either a negative type or a positive type of photosensitive resist can be used. When the photosensitive resist is a negative type, the first line portion and the second line portion (conductor layer) of the mesh pattern of the photomask are transparent. When the photosensitive resist is a positive type, the mesh pattern of the photomask has a transparent opening. Moreover, as an exposure pattern, it is a desired pattern as an electromagnetic wave shielding sheet, and is composed of a pattern of a mesh area at a minimum. Further, if necessary, a grounding area pattern is added to the outer periphery of the mesh area.
In the winding process, resists such as casein, PVA, and gelatin are dipped (dipped) on the surface of the conductor layer forming the mesh-like region while being transported continuously or intermittently in the winding process, curtain coating , Do it by a method such as pouring. Moreover, a dry film resist may be used instead of application | coating, and workability | operativity can be improved. In the case of a casein resist (a kind of milk protein), baking is performed at 200 to 300 ° C., but in order to prevent warping of the transparent resin substrate, a low temperature is preferable.

マスキングと露光の後にエッチングを行う。エッチングに用いるエッチング液としては、エッチングを連続して行う本発明においては、循環使用が容易にできる塩化第二鉄、塩化第二銅の水溶液が好ましい。また、エッチングは、帯状で連続する鋼材、特に厚み20μm以上80μm以下の薄板をエッチングするカラーTVのブラウン管用のシャドウマスクを製造する設備と、基本的に同様の工程である。即ち、シャドウマスクの既存の製造設備を流用でき、マスキングからエッチングまでが一貫して連続生産できて、極めて効率が良い。エッチング後は、水洗、アルカリ液によるレジスト剥離、洗浄を行ってから乾燥すればよい。このようにして形成された、メッシュ開口部の表面は透明樹脂基材が露出しているので、メッシュ開口部の透明性がよい。以上のメッシュ加工により、導電体層16がメッシュ状となり、電磁波遮蔽シート10が得られる。   Etching is performed after masking and exposure. As an etchant used for etching, an aqueous solution of ferric chloride or cupric chloride that can be easily circulated is preferable in the present invention in which etching is continuously performed. Etching is basically the same process as a facility for manufacturing a shadow mask for a color TV cathode ray tube that etches a strip-like continuous steel material, particularly a thin plate having a thickness of 20 μm to 80 μm. That is, existing manufacturing equipment for shadow masks can be diverted, and from masking to etching can be produced consistently and continuously, which is extremely efficient. After etching, the substrate may be dried after washing with water, stripping the resist with an alkaline solution, and washing. Since the transparent resin base material is exposed on the surface of the mesh opening formed in this way, the transparency of the mesh opening is good. By the above mesh processing, the conductor layer 16 becomes a mesh shape, and the electromagnetic wave shielding sheet 10 is obtained.

本発明に係る電磁波遮蔽シート10は、粘着剤層20に様々な光学フィルタ機能を併せ持たせることが好ましいが、そのメッシュ状導電体層16を有する側に、さらに光学フィルタを積層、接着してもよい。光学フィルタとしては、光学フィルタの透明樹脂基材上に、様々な機能発現層、例えば近赤外線吸収層、ネオン光吸収層、紫外線吸収層、反射防止層、ハードコート層、防眩層、防汚層などのなかから1つまたは2つ以上を積層したものが用いられる。   The electromagnetic wave shielding sheet 10 according to the present invention preferably has various optical filter functions in the pressure-sensitive adhesive layer 20, but an optical filter is further laminated and bonded to the side having the mesh-like conductor layer 16. Also good. As an optical filter, on the transparent resin substrate of the optical filter, various function expressing layers such as a near infrared absorbing layer, a neon light absorbing layer, an ultraviolet absorbing layer, an antireflection layer, a hard coat layer, an antiglare layer, an antifouling layer. A layer in which one or two or more layers are laminated is used.

(電磁波遮蔽シートの製造方法の変形例)
図7は、本発明に係る電磁波遮蔽シートの製造方法の他の例を示したフローシートであり、図4Cは、上記図7に示したフローシートに従って形成したメッシュ状導電体層の層構成の例を模式的に示した断面図である。図4Cのメッシュ状導電体層16Dは、下地層(通常は、Ni−Cr合金層)18、銅スパッタ層14、銅メッキ層15、本発明に係る黒化層13の順で透明樹脂基材11上に積層しており、特に説明しない点は図3及び図5に示した導電性メッシュ層16と同様である。
(Modification of manufacturing method of electromagnetic wave shielding sheet)
FIG. 7 is a flow sheet showing another example of the method for producing an electromagnetic wave shielding sheet according to the present invention, and FIG. 4C shows a layer structure of a mesh-like conductor layer formed according to the flow sheet shown in FIG. It is sectional drawing which showed the example typically. The mesh-shaped conductor layer 16D of FIG. 4C is a transparent resin base material in the order of an underlayer (usually a Ni—Cr alloy layer) 18, a copper sputter layer 14, a copper plating layer 15, and a blackening layer 13 according to the present invention. 11 is the same as the conductive mesh layer 16 shown in FIG. 3 and FIG.

PETフィルムなどの透明樹脂基材11上に必要に応じて下地層形成工程110で下地層18を形成した後に、スパッタ法により銅を堆積させる銅スパッタ層形成工程111を行って、銅スパッタ層14を形成した後に銅メッキ層形成工程112を行う。銅メッキ層形成工程112の際に、銅結晶の結晶配向性((110)面、(200)面、(220)面)を調節することにより、銅層の硬度と伸び率が上昇するために、銅層の薄膜化を図ることができることは前記導電体層16と同じである。そして、銅メッキ層15の上に黒化層13を形成する黒化層形成工程113を行う。最後に、パターニング工程114で所望の形状の開口部を形成することで、電磁波遮蔽シート115が得られる。   After forming the underlayer 18 in the underlayer forming step 110 as necessary on the transparent resin substrate 11 such as a PET film, a copper sputter layer forming step 111 for depositing copper by a sputtering method is performed, and the copper sputter layer 14 After forming, a copper plating layer forming step 112 is performed. In order to increase the hardness and elongation of the copper layer by adjusting the crystal orientation ((110) plane, (200) plane, (220) plane) of the copper crystal during the copper plating layer forming step 112 As in the case of the conductor layer 16, the copper layer can be made thin. Then, a blackened layer forming step 113 for forming the blackened layer 13 on the copper plating layer 15 is performed. Finally, the electromagnetic wave shielding sheet 115 is obtained by forming an opening having a desired shape in the patterning step 114.

スパッタ法や金属電解メッキ法に先立ち導電処理を行い、図4Cに示す下地層18を形成する下地層形成工程110を行う。
下地層18の形成方法としては、公知の導電性を持つ材料の薄膜を形成すればよい。導電性を持つ材料としては、例えば金、銀、白金、銅、アルミニウム、錫、鉄、ニッケル、クロムなどの金属、或いはこれらの金属の合金(例えば、ニッケル−クロム合金)から成る。また、酸化スズ、ITO、ATOなどの透明な金属酸化物でもよい。導電処理は単層あるいは多層(例えば、ニッケル−クロム合金と銅層との積層)であってもよく、これらの材料を公知の真空蒸着法、スパッタリング法、無電解メッキ法などの方法で形成し下地層とする。下地層の厚みは、メッキ時に必要な導電性が得られればよいので、0.001〜1μm程度の極薄い層であることが好ましい。
Conductive treatment is performed prior to sputtering or metal electroplating, and a base layer forming step 110 for forming the base layer 18 shown in FIG. 4C is performed.
As a method for forming the underlayer 18, a thin film made of a known conductive material may be formed. Examples of the conductive material include metals such as gold, silver, platinum, copper, aluminum, tin, iron, nickel, and chromium, or alloys of these metals (for example, nickel-chromium alloy). Moreover, transparent metal oxides, such as a tin oxide, ITO, and ATO, may be sufficient. The conductive treatment may be a single layer or multiple layers (for example, a laminate of a nickel-chromium alloy and a copper layer). The underlayer is used. The thickness of the underlayer is preferably an extremely thin layer of about 0.001 to 1 μm, as long as necessary conductivity can be obtained at the time of plating.

そして、銅スパッタ層形成工程111で銅スパッタ層14を形成する。なお、銅スパッタ層14の形成を省略して、下地層18の上に直接銅メッキ層15を電解メッキ法で形成しても良い。銅スパッタ層14は、前述した条件(銅スパッタ層形成工程91参照)で行うことができる。銅メッキ層15を積層させるために電解メッキ法で銅メッキ層形成工程112を行うことも、前記条件(銅メッキ層形成工程92参照)と同様であり、電解メッキ法などの銅メッキを行い、銅メッキ層15を形成する。銅メッキ層15は、前述した条件で行うことができる。なお銅結晶の配向度(111)面、(200)面、(220)面の関係を調整することも前記導電体層16と同様である。   Then, a copper sputter layer 14 is formed in a copper sputter layer forming step 111. Alternatively, the formation of the copper sputter layer 14 may be omitted, and the copper plating layer 15 may be formed directly on the base layer 18 by an electrolytic plating method. The copper sputter layer 14 can be performed under the conditions described above (see the copper sputter layer forming step 91). The copper plating layer forming step 112 by the electrolytic plating method for laminating the copper plating layer 15 is the same as the above-described condition (see the copper plating layer forming step 92), and copper plating such as the electrolytic plating method is performed. A copper plating layer 15 is formed. The copper plating layer 15 can be performed under the conditions described above. The degree of orientation of the copper crystal (111), (200), and (220) are adjusted in the same manner as in the conductor layer 16.

黒化層13の形成は、導電体層16B(図4A参照)における第2黒化層80とほぼ同じ条件の黒化層形成工程113で行う(第2黒化層形成工程95参照)。銅メッキ層15が形成されている透明樹脂基材11をスパッタリング装置のチャンバ内に設置して、ターゲットであるNi−Cu合金をチャンバ内にセットする。そして、真空引きを開始して、1×10−4Pa以下となったらチャンバ内にアルゴン−酸素混合ガスを供給する。なお、アルゴン:酸素の比率やチャンバサイズ、混合ガス供給量などの各実験条件は前述した第2黒化層80の形成方法と同じ条件である。
これにより、図4Cに示すように導電体層16Dの最上面に黒化層13が形成される。黒化層13の厚みは特に限定されるものではないが、80Å(=8nm)以上1000Å(=100nm)以下が適用可能であるが、100Å以上300Å以下が好ましく、より好ましくは120Å以上160Å以下である。黒化層13の黒濃度は0.6以上が好ましく、黒化層13の光線反射率としては20%以下が好ましく、反射のY値は20以下が好ましい。これらの測定は、第2黒化層80の形成の際に記載したものが適用できる。
The blackened layer 13 is formed in the blackened layer forming step 113 under substantially the same conditions as the second blackened layer 80 in the conductor layer 16B (see FIG. 4A) (see the second blackened layer forming step 95). The transparent resin base material 11 on which the copper plating layer 15 is formed is placed in a chamber of a sputtering apparatus, and a Ni—Cu alloy as a target is set in the chamber. Then, evacuation is started, and when the pressure becomes 1 × 10 −4 Pa or less, an argon-oxygen mixed gas is supplied into the chamber. The experimental conditions such as the ratio of argon: oxygen, chamber size, and mixed gas supply amount are the same as the method for forming the second blackening layer 80 described above.
As a result, the blackened layer 13 is formed on the uppermost surface of the conductor layer 16D as shown in FIG. 4C. The thickness of the blackening layer 13 is not particularly limited, but 80 mm (= 8 nm) or more and 1000 mm (= 100 nm) or less is applicable, but 100 mm or more and 300 mm or less is preferable, and more preferably 120 mm or more and 160 mm or less. is there. The black density of the blackened layer 13 is preferably 0.6 or more, the light reflectance of the blackened layer 13 is preferably 20% or less, and the Y value of reflection is preferably 20 or less. For these measurements, those described in the formation of the second blackening layer 80 can be applied.

最後に、パターニング工程114を行い、開口部を形成する。パターニングは、前述したフォトリソグラフィー法(パターニング工程93参照)により行うことが好ましい。腐蝕液(エッチング液)には、(Ni−Cu−O)化合物を容易に溶解する塩化第二鉄、塩化第二銅の水溶液が好ましい。   Finally, a patterning step 114 is performed to form an opening. The patterning is preferably performed by the above-described photolithography method (see the patterning step 93). The corrosion solution (etching solution) is preferably an aqueous solution of ferric chloride or cupric chloride that easily dissolves the (Ni—Cu—O) compound.

2.粘着剤層
本発明に係る粘着剤層は、一般式MxWyOz(但し、M元素は、H、He、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類元素、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Iのうちから選択される1種類以上の元素、Wはタングステン、Oは酸素、0.001≦x/y≦1.1、2.2≦z/y≦3.0)で表される複合タングステン酸化物微粒子、及び粘着剤を含有し、更に他の成分を含有していても良いものである。
本発明に係る粘着剤層においては、粘着剤層中に複合タングステン酸化物微粒子が分散されて、複合フィルタに必要な透明性と、近赤外線吸収機能を確保している。
2. Adhesive layer The adhesive layer according to the present invention has a general formula MxWyOz (where M element is H, He, alkali metal, alkaline earth metal, rare earth element, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co) , Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, B, F, P, S, Se, Br , Te, Ti, Nb, V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi, I, one or more elements, W is tungsten, O is oxygen, 0.001 ≦ x / The composite tungsten oxide fine particles represented by y ≦ 1.1 and 2.2 ≦ z / y ≦ 3.0) and the pressure-sensitive adhesive may be contained, and further other components may be contained.
In the pressure-sensitive adhesive layer according to the present invention, composite tungsten oxide fine particles are dispersed in the pressure-sensitive adhesive layer, and the transparency required for the composite filter and the near infrared absorption function are ensured.

(1)複合タングステン酸化物微粒子
前記一般式MxWyOz(但し、M元素は、H、He、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類元素、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Iのうちから選択される1種類以上の元素、Wはタングステン、Oは酸素、0.001≦x/y≦1.1、2.2≦z/y≦3.0)で示される複合タングステン酸化物微粒子は、本発明において近赤外線吸収剤として機能する。従って本発明にかかる粘着剤層は、プラズマディスプレイパネルがキセノンガス放電を利用して発光する際に生じる近赤外線領域、即ち、800nm〜1,100nmの波長域を吸収するものであり、該帯域の近赤外線の透過率が20%以下、更に15%以下であることが好ましい。
(1) Composite tungsten oxide fine particles The general formula MxWyOz (wherein M element is H, He, alkali metal, alkaline earth metal, rare earth element, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, B, F, P, S, Se, Br, Te, One or more elements selected from Ti, Nb, V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi, and I, W is tungsten, O is oxygen, 0.001 ≦ x / y ≦ 1 .1, 2.2 ≦ z / y ≦ 3.0) function as a near infrared absorber in the present invention. Therefore, the pressure-sensitive adhesive layer according to the present invention absorbs a near infrared region generated when the plasma display panel emits light using xenon gas discharge, that is, a wavelength region of 800 nm to 1,100 nm. The near infrared transmittance is preferably 20% or less, more preferably 15% or less.

前記一般式MxWyOzで表記される複合タングステン酸化物微粒子は、六方晶、正方晶、立方晶の結晶構造を有する場合に耐久性に優れることから、該六方晶、正方晶、立方晶から選ばれる1つ以上の結晶構造を含むことが好ましい。例えば、六方晶の結晶構造を持つ複合タングステン酸化物微粒子の場合であれば、好ましいM元素として、Cs、Rb、K、Tl、In、Ba、Li、Ca、Sr、Fe、Snの各元素から選択される1種類以上の元素を含む複合タングステン酸化物微粒子が挙げられる。中でも、M元素としては、耐久性の点から、Cs(セシウム)であることが好ましい。   The composite tungsten oxide fine particles represented by the general formula MxWyOz is excellent in durability when it has a hexagonal, tetragonal or cubic crystal structure, and is therefore selected from the hexagonal, tetragonal and cubic crystals. Preferably it contains more than one crystal structure. For example, in the case of composite tungsten oxide fine particles having a hexagonal crystal structure, preferable M elements include Cs, Rb, K, Tl, In, Ba, Li, Ca, Sr, Fe, and Sn. Examples thereof include composite tungsten oxide fine particles containing one or more selected elements. Among them, the M element is preferably Cs (cesium) from the viewpoint of durability.

このとき、添加されるM元素の添加量xは、0.001以上1.0以下が好ましく、更に好ましくは0.33付近が好ましい。これは六方晶の結晶構造から理論的に算出されるxの値が0.33であり、この前後の添加量で好ましい光学特性が得られるからである。一方、酸素の存在量zは、2.2以上3.0以下が好ましい。例えば、Cs0.33WO、Rb0.33WO、K0.33WO、Ba0.33WOなどを挙げることができるが、x、zが上記の範囲に収まるものであれば、有用な近赤外線吸収特性を得ることができる。 At this time, the addition amount x of M element to be added is preferably 0.001 or more and 1.0 or less, and more preferably around 0.33. This is because the value of x calculated theoretically from the hexagonal crystal structure is 0.33, and preferable optical characteristics can be obtained with the addition amount before and after this. On the other hand, the abundance z of oxygen is preferably 2.2 or more and 3.0 or less. For example, Cs 0.33 WO 3 , Rb 0.33 WO 3 , K 0.33 WO 3 , Ba 0.33 WO 3 and the like can be mentioned, provided that x and z fall within the above ranges. Useful near infrared absorption characteristics can be obtained.

このような複合タングステン酸化物微粒子は、各々単独で使用してもよいが、混合して使用することも好ましい。
また、上記複合タングステン酸化物微粒子の表面を、Si、Ti、Zr、Alのいずれか1種類以上の元素を含有する酸化物で被覆することが、耐候性をより向上させることができる点から、好ましい。
Such composite tungsten oxide fine particles may be used alone or in combination.
In addition, coating the surface of the composite tungsten oxide fine particles with an oxide containing one or more elements of Si, Ti, Zr, and Al can further improve the weather resistance. preferable.

また、複合タングステン酸化物微粒子の平均分散粒子径は、粘着剤層の透明性の点から800nm以下であることが好ましく、更に好ましくは200nm以下、特に好ましくは100nm以下である。尚、ここでの平均分散粒径は、体積平均粒径をいい、粒度分布・粒子径分布測定装置(例えば、日機装株式会社製、ナノトラック粒度分布測定装置)を用いて測定することができる。   Further, the average dispersed particle size of the composite tungsten oxide fine particles is preferably 800 nm or less, more preferably 200 nm or less, particularly preferably 100 nm or less, from the viewpoint of the transparency of the pressure-sensitive adhesive layer. Here, the average dispersed particle size refers to a volume average particle size, and can be measured using a particle size distribution / particle size distribution measuring device (for example, Nanotrack particle size distribution measuring device manufactured by Nikkiso Co., Ltd.).

複合タングステン酸化物微粒子の含有量は、特に限定されないが、粘着剤層中に、1〜25重量%であることが好ましい。含有量が1重量%より多ければ、充分な近赤外線吸収機能を発現でき、25重量%以下であれば、充分な量の可視光線を透過できる。   Although content of composite tungsten oxide microparticles | fine-particles is not specifically limited, It is preferable that it is 1-25 weight% in an adhesive layer. If the content is more than 1% by weight, a sufficient near-infrared absorbing function can be exhibited, and if it is 25% by weight or less, a sufficient amount of visible light can be transmitted.

(2)粘着剤
本発明において用いられる粘着剤は、上記複合タングステン酸化物微粒子等を均一に分散し、且つ成膜性を与え、更に複合フィルタの貼付面として機能する。粘着剤は、成膜性と透明性と粘着性と上記複合タングステン酸化物微粒子等の分散性を実現するものであれば特に限定されることなく、粘着剤層と隣接する層構成によって適宜選択して用いることができる。粘着剤層としての透明性は、高いほどよいが、好ましくは可視光域380〜780nmにおける光線透過率が70%以上、より好ましくは80%以上となる光透過性が良い。用いられる粘着剤や厚みを最適化することにより、本発明の粘着剤層は、耐衝撃層としても機能するものである。
(2) Adhesive The adhesive used in the present invention uniformly disperses the composite tungsten oxide fine particles and the like, imparts film-forming properties, and further functions as an application surface of the composite filter. The pressure-sensitive adhesive is not particularly limited as long as it achieves film formability, transparency, pressure-sensitive adhesiveness, and dispersibility of the composite tungsten oxide fine particles, and is appropriately selected depending on the layer configuration adjacent to the pressure-sensitive adhesive layer. Can be used. The higher the transparency as the pressure-sensitive adhesive layer is, the better. However, the light transmittance in the visible light region of 380 to 780 nm is preferably 70% or more, more preferably 80% or more. By optimizing the pressure-sensitive adhesive used and the thickness, the pressure-sensitive adhesive layer of the present invention also functions as an impact resistant layer.

また、本発明に用いられる粘着剤は、前記複合タングステン酸化物微粒子を良好に分散させることができるものであることが好ましい。
具体的には、前記複合タングステン酸化物微粒子を樹脂に分散させて、膜厚25μmの塗膜を形成し、JIS K7136に準拠したヘイズ値を測定したときに、ヘイズ値が15以下となるような樹脂を選択し、ヘイズ値が5以下となる混合割合で用いられることが好ましい。当該ヘイズ値はより好ましくは3以下、特に好ましくは2以下である。複合タングステン酸化物微粒子を分散する際に分散を向上するための添加剤を用いる場合には、当該添加剤も合わせて上記ヘイズ値となるような混合割合で樹脂、添加剤が用いられることが好ましい。
The pressure-sensitive adhesive used in the present invention is preferably one that can favorably disperse the composite tungsten oxide fine particles.
Specifically, the composite tungsten oxide fine particles are dispersed in a resin to form a coating film having a film thickness of 25 μm, and when the haze value according to JIS K7136 is measured, the haze value is 15 or less. It is preferable that a resin is selected and used at a mixing ratio at which the haze value is 5 or less. The haze value is more preferably 3 or less, and particularly preferably 2 or less. In the case of using an additive for improving dispersion when dispersing the composite tungsten oxide fine particles, it is preferable that the resin and the additive are used in such a mixing ratio that the above haze value is obtained together with the additive. .

上記第一の実施形態のように(図1参照)、電磁波遮蔽シート10において導電性メッシュ層16が粘着剤層20側に存在する場合には、当該粘着剤層は、上記導電性メッシュ層の凹凸を平坦化し、且つ上記導電性メッシュ層の周縁部の一部を露出させるように、導電性メッシュ層上に設けられ、導電性メッシュ層の平坦化層も兼務する。   As in the first embodiment (see FIG. 1), when the conductive mesh layer 16 is present on the pressure-sensitive adhesive layer 20 side in the electromagnetic wave shielding sheet 10, the pressure-sensitive adhesive layer is formed of the conductive mesh layer. It is provided on the conductive mesh layer so as to flatten the unevenness and expose a part of the peripheral edge of the conductive mesh layer, and also serves as a flattening layer of the conductive mesh layer.

ここで粘着剤とは、接着剤の1種をいい、接着剤のうち、接着の際には単に適度な、通常、軽く手で押圧する程度の加圧のみにより、表面の粘着性のみで接着可能なものをいう。粘着剤の接着力発現には、通常特に、加熱、加湿、放射線(紫外線や電子線等)照射といった物理的なエネルギー乃至作用が不要で、且つ重合反応等の化学反応も不要である。又、粘着剤は、接着後も再剥離可能な程度の接着力を経時的に維持し得るものである。このような粘着剤としては、特に制限は無く、公知の粘着剤として慣用されているものの中から、適度な粘着性(接着力)、透明性、塗工適性を有し、本発明の複合フィルタの透過スペクトルを実質的に変化させることの無いものを適宜選択する。   Here, the pressure-sensitive adhesive refers to one type of adhesive. Of the adhesives, the adhesive is bonded only by the pressure on the surface, only by pressing moderately, usually by light pressure. Say what you can. In order to develop the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive, usually, physical energy or action such as heating, humidification, radiation (ultraviolet ray, electron beam, etc.) irradiation is unnecessary, and chemical reaction such as polymerization reaction is also unnecessary. In addition, the pressure-sensitive adhesive can maintain the adhesive strength to the extent that it can be re-peeled after bonding. There is no restriction | limiting in particular as such an adhesive, It has moderate adhesiveness (adhesive force), transparency, and coating suitability from what is conventionally used as a well-known adhesive, The composite filter of this invention A transmission spectrum that does not substantially change the transmission spectrum is appropriately selected.

粘着剤としては、例えば、天然ゴム系、合成ゴム系、アクリル樹脂系(以後、アクリル系とも略称)、ポリビニルエーテル系、ウレタン樹脂系、シリコーン樹脂系等が挙げられる。合成ゴム系の具体例としては、スチレン−ブタジエンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、ポリイソブチレンゴム、イソブチレン−イソプレンゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体、スチレン−ブタジエンブロック共重合体、スチレン−エチレン−ブチレンブロック共重合体が挙げられる。シリコーン樹脂系の具体例としては、ジメチルポリシロキサン等が挙げられる。これらの粘着剤は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the pressure-sensitive adhesive include natural rubber, synthetic rubber, acrylic resin (hereinafter also abbreviated as acrylic), polyvinyl ether, urethane resin, and silicone resin. Specific examples of synthetic rubbers include styrene-butadiene rubber, acrylonitrile-butadiene rubber, polyisobutylene rubber, isobutylene-isoprene rubber, styrene-isoprene block copolymer, styrene-butadiene block copolymer, styrene-ethylene-butylene block. A copolymer is mentioned. Specific examples of the silicone resin system include dimethylpolysiloxane. These pressure-sensitive adhesives can be used alone or in combination of two or more.

好適に用いられる粘着剤としては、アクリル系粘着剤が挙げられる。アクリル系粘着剤は、少なくとも(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマーを含んで重合させたものである。炭素原子数1〜18程度のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマーとカルボキシル基を有するモノマーとの共重合体や、炭素原子数1〜18程度のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマーの2種以上を用いた共重合体であるのが一般的である。なお、本発明において(メタ)アクリル酸とは、アクリル酸及び/又はメタクリル酸をいう。   An acrylic adhesive is mentioned as an adhesive suitably used. The acrylic pressure-sensitive adhesive is a polymer containing at least a (meth) acrylic acid alkyl ester monomer. A copolymer of a (meth) acrylic acid alkyl ester monomer having an alkyl group having about 1 to 18 carbon atoms and a monomer having a carboxyl group, or (meth) acrylic acid having an alkyl group having about 1 to 18 carbon atoms A copolymer using two or more kinds of alkyl ester monomers is generally used. In the present invention, (meth) acrylic acid means acrylic acid and / or methacrylic acid.

ここで使用される(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマーの例としては、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸sec−プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸sec−ブチル、(メタ)アクリル酸tert−ブチル、(メタ)アクリル酸イソアミル、(メタ)アクリル酸n−ヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸n−オクチル、(メタ)アクリル酸イソオクチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ウンデシル及び(メタ)アクリル酸ラウリル等を挙げることができる。また、上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルは、アクリル系粘着剤中に30〜99.5重量部の量で共重合されていることが好ましい。   Examples of (meth) acrylic acid alkyl ester monomers used here include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, sec-propyl (meth) acrylate, N-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, Examples thereof include n-octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, undecyl (meth) acrylate and lauryl (meth) acrylate. Moreover, it is preferable that the said (meth) acrylic-acid alkylester is copolymerized in the quantity of 30-99.5 weight part in the acrylic adhesive.

また、アクリル系粘着剤を形成するカルボキシル基を有するモノマーとしては、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、マレイン酸モノブチル及びβ−カルボキシエチルアクリレート等のカルボキシル基を含有するモノマーを挙げることができる。
更に、本発明で用いられるアクリル系粘着剤には、上記の他に、アクリル系粘着剤の特性を損なわない範囲内で他の官能基を有するモノマーが共重合されていても良い。他の官能基を有するモノマーの例としては、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル及びアリルアルコール等の水酸基を含有するモノマー;(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド及びN−エチル(メタ)アクリルアミド等のアミド基を含有するモノマー;N−メチロール(メタ)アクリルアミド及びジメチロール(メタ)アクリルアミド等のアミド基とメチロール基とを含有するモノマー;アミノメチル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート及びビニルピリジン等のアミノ基を含有するモノマーのような官能基を有するモノマー;アリルグリシジルエーテル、(メタ)アクリル酸グリシジルエーテルなどのエポキシ基含有モノマーなどが挙げられる。この他にもフッ素置換(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリロニトリルなどのほか、スチレン及びメチルスチレンなどのビニル基含有芳香族化合物、酢酸ビニル、ハロゲン化ビニル化合物などを挙げることができる。
Moreover, as a monomer which has a carboxyl group which forms an acrylic adhesive, monomers containing a carboxyl group such as (meth) acrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, monobutyl maleate and β-carboxyethyl acrylate are used. Can be mentioned.
Furthermore, in addition to the above, the acrylic pressure-sensitive adhesive used in the present invention may be copolymerized with a monomer having another functional group within a range that does not impair the characteristics of the acrylic pressure-sensitive adhesive. Examples of monomers having other functional groups include monomers containing hydroxyl groups such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate and allyl alcohol; (meth) acrylamide, N-methyl Monomers containing amide groups such as (meth) acrylamide and N-ethyl (meth) acrylamide; Monomers containing amide groups and methylol groups such as N-methylol (meth) acrylamide and dimethylol (meth) acrylamide; Monomers having functional groups such as monomers containing amino groups such as (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate and vinylpyridine; epoxy group-containing monomers such as allyl glycidyl ether and (meth) acrylic acid glycidyl ether It is below. In addition to these, fluorine-substituted (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylonitrile, and the like, vinyl group-containing aromatic compounds such as styrene and methylstyrene, vinyl acetate, and vinyl halide compounds can be used.

さらに、本発明で用いられるアクリル系粘着剤には、上記のような他の官能基を有するモノマーの他に、他のエチレン性二重結合を有するモノマーを使用することができる。ここでエチレン性二重結合を有するモノマーの例としては、マレイン酸ジブチル、マレイン酸ジオクチル及びフマル酸ジブチル等のα,β−不飽和二塩基酸のジエステル;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等のビニルエステル;ビニルエーテル;スチレン、α−メチルスチレン及びビニルトルエン等のビニル芳香族化合物;(メタ)アクリロニトリル等を挙げることができる。
また、上記のようなエチレン性二重結合を有するモノマーの他に、エチレン性二重結合を2個以上有する化合物を併用することもできる。このような化合物の例としては、ジビニルベンゼン、ジアリルマレート、ジアリルフタレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、メチレンビス(メタ)アクリルアミド等を挙げることができる。
Furthermore, in the acrylic pressure-sensitive adhesive used in the present invention, in addition to the monomer having other functional groups as described above, another monomer having an ethylenic double bond can be used. Examples of the monomer having an ethylenic double bond include diesters of α, β-unsaturated dibasic acids such as dibutyl maleate, dioctyl maleate and dibutyl fumarate; vinyl esters such as vinyl acetate and vinyl propionate. Vinyl ether; vinyl aromatic compounds such as styrene, α-methylstyrene and vinyl toluene; (meth) acrylonitrile and the like.
In addition to the monomer having an ethylenic double bond as described above, a compound having two or more ethylenic double bonds may be used in combination. Examples of such compounds include divinylbenzene, diallyl malate, diallyl phthalate, ethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, methylenebis (meth) acrylamide, and the like.

さらに、上記のようなモノマーの他に、アルコキシアルキル鎖を有するモノマー等を使用することができる。(メタ)アクリル酸アルコキシアルキルエステルの例としては、(メタ)アクリル酸2−メトキシエチル、(メタ)アクリル酸メトキシエチル、(メタ)アクリル酸2−メトキシプロピル、(メタ)アクリル酸3−メトキシプロピル、(メタ)アクリル酸2−メトキシブチル、(メタ)アクリル酸4−メトキシブチル、(メタ)アクリル酸2−エトキシエチル、(メタ)アクリル酸3−エトキシプロピル、(メタ)アクリル酸4−エトキシブチルなどを挙げることができる。   Furthermore, in addition to the above-described monomers, monomers having an alkoxyalkyl chain can be used. Examples of alkoxyalkyl esters of (meth) acrylic acid include 2-methoxyethyl (meth) acrylate, methoxyethyl (meth) acrylate, 2-methoxypropyl (meth) acrylate, and 3-methoxypropyl (meth) acrylate. , 2-methoxybutyl (meth) acrylate, 4-methoxybutyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate, 3-ethoxypropyl (meth) acrylate, 4-ethoxybutyl (meth) acrylate And so on.

また、(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマーの単独重合体であっても良い。例えば、(メタ)アクリル酸エステル単独重合体としては、ポリ(メタ)アクリル酸メチル、ポリ(メタ)アクリル酸エチル、ポリ(メタ)アクリル酸プロピル、ポリ(メタ)アクリル酸ブチル、ポリ(メタ)アクリル酸オクチル等が挙げられる。   Moreover, the homopolymer of a (meth) acrylic-acid alkylester monomer may be sufficient. For example, (meth) acrylic acid ester homopolymers include poly (meth) acrylate methyl, poly (meth) ethyl acrylate, poly (meth) acrylate propyl, poly (meth) acrylate butyl, poly (meth) Examples include octyl acrylate.

アクリル酸エステル単位2種以上を含む共重合体としては、(メタ)アクリル酸メチル−(メタ)アクリル酸エチル共重合体、(メタ)アクリル酸メチル−(メタ)アクリル酸ブチル共重合体、(メタ)アクリル酸メチル−(メタ)アクリル酸2ヒドロキシエチル共重合体、(メタ)アクリル酸メチル−(メタ)アクリル酸2ヒドロキシ3フェニルオキシプロピル共重合体等が挙げられる。
(メタ)アクリル酸エステルと他の官能性単量体との共重合体としては、(メタ)アクリル酸メチル−スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸メチル−エチレン共重合体、(メタ)アクリル酸メチル−(メタ)アクリル酸2ヒドロキシエチル−スチレン共重合体が挙げられる。
As a copolymer containing 2 or more types of acrylate units, methyl (meth) acrylate- (meth) ethyl acrylate copolymer, (meth) methyl acrylate- (meth) butyl acrylate copolymer, ( Examples include methyl (meth) acrylate- (meth) acrylic acid 2-hydroxyethyl copolymer, methyl (meth) acrylate- (meth) acrylic acid 2-hydroxy-3-phenyloxypropyl copolymer, and the like.
As a copolymer of (meth) acrylic acid ester and other functional monomers, (meth) methyl acrylate-styrene copolymer, (meth) methyl acrylate-ethylene copolymer, (meth) acrylic An acid methyl- (meth) acrylic acid 2-hydroxyethyl-styrene copolymer may be mentioned.

アクリル系粘着剤の市販品としては、例えば、商品名:TU−41A(巴川製紙所製)、商品名:No.591、No.5915、No.5919M、CS9621、LA−50、LA−100、HJ−9210、No.595B(日東電工(株)製)、商品名:SKダインSK2094(綜研化学株式会社製)等が、ヘイズが低くなり、且つ、粘着力の点から、好適に用いられる。   As a commercial item of an acrylic adhesive, for example, trade name: TU-41A (manufactured by Yodogawa Paper Mill), trade name: No. 591, no. 5915, no. 5919M, CS9621, LA-50, LA-100, HJ-9210, No. 595B (manufactured by Nitto Denko Corporation), trade name: SK Dyne SK2094 (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.) and the like are preferably used from the viewpoint of low haze and adhesive strength.

(3)ネオン光吸収剤
ネオン光吸収機能は、プラズマディスプレイパネルから放射されるネオン光即ちネオン原子の発光スペクトルを吸収するべく設置される。ネオン光吸収剤が含まれる場合には、少なくともディスプレイからのオレンジ色発光が抑制可能で、鮮やかな赤色を得ることができる。ネオン光の発光スペクトル帯域は波長550〜640nmの為、ネオン光吸収層として機能する場合の分光透過率は波長590nmにおいて50%以下、更に25%以下になるように設計することが好ましい。ネオン光吸収剤は、少なくとも550〜640nmの波長領域内に吸収極大を有する色素を用いることができる。該色素の具体例としては、シアニン系、オキソノール系、メチン系、サブフタロシアニン系もしくはポルフィリン系等を挙げることができる。これらの中でもポルフィリン系が好ましい。その中でも特に、特許第3834479号公報に開示されるような、テトラアザポルフィリン系色素が、粘着剤層中でも分散性が良好で、且つ耐熱性、耐湿性、耐光性が良好な点から好ましい。
ネオン光吸収剤の含有量は、特に限定されないが、粘着剤層中に、0.05〜5重量%であることが好ましい。含有量が0.05重量%より多ければ、充分なネオン光吸収機能を発現でき、5重量%以下であれば、充分な量の可視光線を透過できる。
(3) Neon light absorber The neon light absorption function is installed to absorb neon light emitted from the plasma display panel, that is, the emission spectrum of neon atoms. When a neon light absorber is included, at least orange light emission from the display can be suppressed, and a bright red color can be obtained. Since the emission spectrum band of neon light has a wavelength of 550 to 640 nm, the spectral transmittance when functioning as a neon light absorbing layer is preferably designed to be 50% or less, more preferably 25% or less at a wavelength of 590 nm. As the neon light absorber, a dye having an absorption maximum in a wavelength region of at least 550 to 640 nm can be used. Specific examples of the dye include cyanine, oxonol, methine, subphthalocyanine or porphyrin. Of these, porphyrins are preferred. Among them, a tetraazaporphyrin-based dye as disclosed in Japanese Patent No. 3834479 is particularly preferable from the viewpoints of good dispersibility in the pressure-sensitive adhesive layer and good heat resistance, moisture resistance, and light resistance.
Although content of a neon light absorber is not specifically limited, It is preferable that it is 0.05 to 5 weight% in an adhesive layer. If the content is more than 0.05% by weight, a sufficient neon light absorbing function can be exhibited, and if it is 5% by weight or less, a sufficient amount of visible light can be transmitted.

(4)色補正色素
また、色補正機能とは、パネルからの発光の色純度や色再現範囲、電源OFF時のディスプレイ色などの改善の為にディスプレイ用フィルタの色を調整するために含有するものである。各ディスプレイ毎に色補正機能の要求が異なるため、適宜調整して用いられる。
色補正色素として用いることのできる公知の色素としては、特開2000−275432号公報、特開2001−188121号公報、特開2001−350013号公報、特開2002−131530号公報等に記載の色素が好適に使用できる。更にこのほかにも、黄色光、赤色光、青色光等の可視光を吸収するアントラキノン系、ナフタレン系、アゾ系、フタロシアニン系、ピロメテン系、テトラアザポルフィリン系、スクアリリウム系、シアニン系等の色素を使用することができる。
色補正色素の含有量は、補正すべき色に合わせて適宜調整され、特に限定されない。通常、粘着剤層中に0.01〜10重量%程度含有する。
(4) Color correction dye The color correction function is included to adjust the color of the display filter to improve the color purity of the light emitted from the panel, the color reproduction range, and the display color when the power is turned off. Is. Since each display has a different color correction function requirement, the display is appropriately adjusted and used.
Examples of known dyes that can be used as color correction dyes include the dyes described in JP 2000-275432 A, JP 2001-188121 A, JP 2001-350013 A, JP 2002-131530 A, and the like. Can be suitably used. In addition, other dyes such as anthraquinone, naphthalene, azo, phthalocyanine, pyromethene, tetraazaporphyrin, squarylium, and cyanine that absorb visible light such as yellow light, red light, and blue light. Can be used.
The content of the color correction dye is appropriately adjusted according to the color to be corrected and is not particularly limited. Usually, it contains about 0.01 to 10% by weight in the pressure-sensitive adhesive layer.

(5)その他の成分
本発明における粘着剤層には、所望に応じて、イソシアネート化合物等の架橋剤、粘着付与剤等が含まれていても良い。
また、粘着剤層が、電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層に直接積層される実施形態の場合には、粘着剤層には、ベンゾトリアゾール等の酸化防止剤を配合することが好ましい。この場合、上記導電性メッシュ層との界面で、樹脂に含まれ得る酸成分によって導電性メッシュ層が酸化され、色変化が起きるのを防ぐことができる。
その他、粘着剤層には、複合タングステン酸化物微粒子の分散性を向上するための分散剤として各種分散剤や、各種界面活性剤、シランカップリング剤等が含まれていても良い。また、本発明の効果を損なわない限り、複合タングステン酸化物微粒子以外の近赤外線吸収剤を含んでいても良い。複合タングステン酸化物微粒子以外の近赤外線吸収剤としては、上記一般式で表される以外のタングステン酸化物などの無機系近赤外線吸収剤や、フタロシアニン系化合物、ジイモニウム化合物等の有機系近赤外線吸収剤から適宜選択して用いられる。
また、粘着剤層中に紫外線吸収剤を添加して、粘着剤自身、或いは粘着剤中に添加するネオン光吸収剤等の色素の紫外線に対する耐久性を向上させることも出来る。紫外線吸収剤としては、透明樹脂基材のところで例示したものと同様のものが用いられる。
(5) Other components The pressure-sensitive adhesive layer in the present invention may contain a crosslinking agent such as an isocyanate compound, a tackifier, and the like as desired.
In the embodiment in which the pressure-sensitive adhesive layer is directly laminated on the conductive mesh layer of the electromagnetic wave shielding sheet, it is preferable to add an antioxidant such as benzotriazole to the pressure-sensitive adhesive layer. In this case, it is possible to prevent the conductive mesh layer from being oxidized by an acid component that can be contained in the resin at the interface with the conductive mesh layer and causing a color change.
In addition, the pressure-sensitive adhesive layer may contain various dispersants, various surfactants, silane coupling agents, and the like as dispersants for improving the dispersibility of the composite tungsten oxide fine particles. Moreover, as long as the effect of the present invention is not impaired, a near infrared absorber other than the composite tungsten oxide fine particles may be included. As near infrared absorbers other than the composite tungsten oxide fine particles, inorganic near infrared absorbers such as tungsten oxides other than those represented by the above general formula, and organic near infrared absorbers such as phthalocyanine compounds and diimonium compounds Are appropriately selected and used.
Further, by adding an ultraviolet absorber in the pressure-sensitive adhesive layer, durability against ultraviolet rays of the pressure-sensitive adhesive itself or a dye such as a neon light absorber added in the pressure-sensitive adhesive can be improved. As the ultraviolet absorber, those similar to those exemplified for the transparent resin substrate are used.

(6)粘着剤層の形成
粘着剤層は、例えば、前述したような特定の複合タングステン酸化物微粒子と粘着剤とを少なくとも含有する粘着剤層用塗工液を、上記第一の実施形態(図1参照)においては電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層上、上記第二の実施形態(図2参照)においては電磁波遮蔽シートの透明樹脂基材上に塗工する等の湿式成膜法により形成することができる。
粘着剤層用塗工液は、前記特定の複合タングステン酸化物微粒子の分散を良好にするために、前記特定の複合タングステン酸化物微粒子を、必要に応じて界面活性剤やシランカップリング剤を用いて、予め適宜溶剤中に分散させて複合タングステン酸化物微粒子分散液とした後、当該分散液と粘着剤と必要に応じて更に溶剤を混合して、微粒子の分散状態を均一で良好にすることが好ましい。
(6) Formation of pressure-sensitive adhesive layer The pressure-sensitive adhesive layer is, for example, a coating liquid for pressure-sensitive adhesive layers containing at least the specific composite tungsten oxide fine particles and the pressure-sensitive adhesive as described above in the first embodiment ( In FIG. 1), it is formed by a wet film forming method such as coating on the conductive mesh layer of the electromagnetic wave shielding sheet, and in the second embodiment (see FIG. 2) on the transparent resin substrate of the electromagnetic wave shielding sheet. can do.
In order to improve the dispersion of the specific composite tungsten oxide fine particles, the adhesive layer coating liquid uses the specific composite tungsten oxide fine particles, if necessary, a surfactant or a silane coupling agent. Then, after appropriately dispersing in a solvent to obtain a composite tungsten oxide fine particle dispersion, the dispersion and the pressure-sensitive adhesive and a solvent as necessary are further mixed to make the dispersion state of the fine particles uniform and good. Is preferred.

粘着剤層は、離型処理されたPETフィルムなどの離型シート上に上述粘着剤層用塗工液を塗工、乾燥して形成しても良い。この場合、電磁波遮蔽シートに貼り合わせられるまで、当該離型シート上に形成された粘着剤層を同様の離型シートを用いて上から保護しておくことが好ましい。
或いは、粘着剤層は、前記特定の複合タングステン酸化物微粒子を均一に分散させた粘着剤組成物を押し出し成型することにより、形成されても良い。この場合も粘着剤層の両面を離型シートにより保護しておくことが好ましい。
The pressure-sensitive adhesive layer may be formed by coating and drying the above-mentioned pressure-sensitive adhesive layer coating solution on a release sheet such as a release-treated PET film. In this case, it is preferable to protect the pressure-sensitive adhesive layer formed on the release sheet from above using the same release sheet until it is bonded to the electromagnetic wave shielding sheet.
Alternatively, the pressure-sensitive adhesive layer may be formed by extrusion molding a pressure-sensitive adhesive composition in which the specific composite tungsten oxide fine particles are uniformly dispersed. Also in this case, it is preferable to protect both surfaces of the pressure-sensitive adhesive layer with a release sheet.

特に、前記電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層面上に、当該導電性メッシュ層の凹凸を平坦化し、且つ当該導電性メッシュ層の周縁部の一部を露出させるように、粘着剤層を設ける場合には、粘着剤層を間欠塗工又は間欠貼合する。導電性メッシュ層の周縁部の一部を露出させるために、粘着剤層は全面形成するのではなく、パターン状に形成する。
当該粘着剤層20は、導電性メッシュ層の凹凸内に空気が入らないように、凹凸部分を完全に埋めつつ、粘着剤層表面が平坦化するように塗工又は貼合されることが、複合フィルタの透明性を向上する点から好ましい。また、露出させる導電性メッシュ層の周縁部の一部としては、前述のように接地用領域として用いられる部分とすれば充分である。中でも粘着剤層は、前記導電性メッシュ層の周縁部4辺全てを露出させるように設けられることが好ましい。
In particular, when an adhesive layer is provided on the conductive mesh layer surface of the electromagnetic shielding sheet so as to flatten the irregularities of the conductive mesh layer and expose a part of the peripheral edge of the conductive mesh layer. Is intermittent coating or intermittent bonding of the adhesive layer. In order to expose a part of the peripheral edge of the conductive mesh layer, the pressure-sensitive adhesive layer is not formed on the entire surface but is formed in a pattern.
The pressure-sensitive adhesive layer 20 may be coated or bonded so that the surface of the pressure-sensitive adhesive layer is flattened while completely filling the uneven portion so that air does not enter the unevenness of the conductive mesh layer. This is preferable from the viewpoint of improving the transparency of the composite filter. Further, as a part of the peripheral portion of the conductive mesh layer to be exposed, it is sufficient to use a portion used as a grounding region as described above. Among them, the pressure-sensitive adhesive layer is preferably provided so as to expose all the four peripheral edges of the conductive mesh layer.

(7)間欠塗工
導電性メッシュ層16上に導電性メッシュ層の凹凸内に空気が入らないように、凹凸部分を完全に埋めつつ、粘着剤層表面が平坦化するように塗工するためには、粘着剤層形成用塗工液は、前記導電性メッシュ層16上に積層時に流動性を有することが好ましい。このような場合は、電磁波遮蔽シートと粘着剤層の積層時にメッシュの開口部内の隅々にまで粘着剤層が行き渡るため、開口部内に気泡が残留することを防止できる。従って、メッシュ面への平坦化工程を省略しながら、気泡の光散乱による複合フィルタの曇価(ヘイズ)が上昇するという不都合を回避でき、透明性の高い複合フィルタを生産効率良く得ることができる。従って本発明における粘着剤層が有する流動性は、粘着剤層が流入してメッシュ状領域開口部内の空気と置換し、該開口部を充填し得る程度の流動性とする。本発明における粘着剤層が有する流動性とは、外力に対して復元力を持たないか、或いは持っても僅かで、事実上無制限に変形、変位する性質をいう。例えば水の様なNewton粘性、ダイラタンシー又はティキソトロピックの様な非Newton粘性、或いはクリープ変形性を包括していう。目安として、該粘着剤がメッシュ面に塗工される時に、1000cps以下、好ましくは5000cps以下程度の粘度を有するようにして用いることが好ましい(C型粘度計での測定値。接着時の温度における値)。但し、電磁波遮蔽シートのメッシュ開口部に積層した以降は、必要に応じて、該粘着剤層の流動性を低下させる方が好ましい。即ち、導電性メッシュ層との接着時においては、メッシュ開口部を確実に充填する都合上、粘着剤層の流動性は高い程好ましい。しかしながら、積層後は粘着剤層の流動性は不要であり、寧ろ粘着剤の流動性は積層界面から接着剤が流出したり、光吸収剤や色素の変褪色を促進する場合が有り、好ましくないからである。
(7) Intermittent coating To coat the conductive mesh layer 16 so that the surface of the pressure-sensitive adhesive layer is flattened while completely filling the irregularities so that air does not enter the irregularities of the conductive mesh layer. In addition, the pressure-sensitive adhesive layer forming coating liquid preferably has fluidity when laminated on the conductive mesh layer 16. In such a case, since the pressure-sensitive adhesive layer spreads to every corner in the mesh opening when the electromagnetic wave shielding sheet and the pressure-sensitive adhesive layer are laminated, it is possible to prevent bubbles from remaining in the opening. Therefore, it is possible to avoid the inconvenience of increasing the haze of the composite filter due to light scattering of bubbles while omitting the flattening step on the mesh surface, and to obtain a highly transparent composite filter with high production efficiency. . Therefore, the fluidity of the pressure-sensitive adhesive layer in the present invention is such that the pressure-sensitive adhesive layer can flow in and replace the air in the mesh-shaped region opening to fill the opening. The fluidity of the pressure-sensitive adhesive layer in the present invention refers to the property that it does not have a restoring force with respect to an external force, or has only a small amount, and deforms and displaces indefinitely. For example, Newton viscosity such as water, non-Newton viscosity such as dilatancy or thixotropy, or creep deformability is included. As a guide, when the pressure-sensitive adhesive is applied to the mesh surface, it is preferably used so as to have a viscosity of about 1000 cps or less, preferably about 5000 cps or less (measured value with a C-type viscometer. value). However, after laminating on the mesh opening of the electromagnetic wave shielding sheet, it is preferable to lower the fluidity of the pressure-sensitive adhesive layer as necessary. That is, at the time of adhesion with the conductive mesh layer, the fluidity of the pressure-sensitive adhesive layer is preferably as high as possible in order to reliably fill the mesh opening. However, the flowability of the pressure-sensitive adhesive layer is not required after lamination, but rather the flowability of the pressure-sensitive adhesive is not preferable because the adhesive may flow out from the lamination interface or the discoloration of the light absorber or the pigment may be promoted. Because.

粘着剤層形成用塗工液が流動性を有するようにするには、粘着剤層を構成する材料を溶剤で希釈しても良いし、溶剤を含有することなくそれ自体室温で流動性を有する天然ゴムや合成樹脂、或いは反応モノマー中にその重合体が溶解しているようなシロップ型の粘着剤からなる粘着剤材料を用いても良い。また、適宜温度をかけることにより溶融して流動性を有するホットメルト型の粘着剤を用いても良い。更に、室温で液状の重合反応性モノマーを含有する粘着剤層であって、積層後に光及び/又は熱により硬化させる形態をとる粘着剤層であっても良い。尚、粘着及び積層後に必要に応じて、粘着剤層の流動性を低下させる方法としては、例えば、希釈溶剤を乾燥させたり、予め粘着剤層中に架橋剤を添加し、加熱、紫外線照射等により、粘着剤を架橋乃至は重合せしめる方法等が挙げられる。   In order to make the coating liquid for forming the adhesive layer have fluidity, the material constituting the adhesive layer may be diluted with a solvent, or it itself has fluidity at room temperature without containing a solvent. You may use the adhesive material which consists of a natural rubber, a synthetic resin, or a syrup type adhesive in which the polymer is melt | dissolving in the reaction monomer. Further, a hot-melt type pressure-sensitive adhesive that melts and has fluidity by appropriately applying a temperature may be used. Furthermore, it may be a pressure-sensitive adhesive layer containing a polymerization reactive monomer that is liquid at room temperature, and is a pressure-sensitive adhesive layer that is cured by light and / or heat after lamination. In addition, as a method of reducing the fluidity of the pressure-sensitive adhesive layer as necessary after adhesion and lamination, for example, the diluted solvent is dried, or a crosslinking agent is added to the pressure-sensitive adhesive layer in advance, heating, ultraviolet irradiation, etc. Can be used to crosslink or polymerize the pressure-sensitive adhesive.

間欠塗工を行う方法としては、ロールコータ、ダイコータ、ブレードコータ、スクリーン印刷等が挙げられる。特に本発明において、粘着剤層形成用塗工液を上記流動性を有するように調製して用いる場合には、溶剤希釈が好ましく用いられる。
間欠塗工を行う場合には、生産速度を上げやすく、生産性をより向上し易いというメリットがある。
Examples of the intermittent coating method include a roll coater, a die coater, a blade coater, and screen printing. In particular, in the present invention, when the pressure-sensitive adhesive layer forming coating solution is prepared and used so as to have the above fluidity, solvent dilution is preferably used.
In the case of performing intermittent coating, there is an advantage that the production speed can be easily increased and the productivity can be easily improved.

(8)間欠貼合
まず、上述のように粘着剤層を離型シート上に形成し、連続帯状の粘着剤層を得る。この場合の連続帯状の粘着剤層の幅は、貼り合わせる電磁波遮蔽シートの幅よりも小さく且つ導電性メッシュ層の幅よりも若干大きい幅に適宜調節することが好ましい。このようにすると、連続帯状の粘着剤層と連続帯状の電磁波遮蔽シートを貼り合わせた場合に、電磁波遮蔽シートにおける導電性メッシュ層の周縁のうち連続帯状の幅方向が露出して接地用領域となり得る。
メッシュ層の周縁のうち連続帯状の幅方向のみだけでなく、メッシュ層の周縁4辺を接地用領域とする場合には、連続帯状の流れ方向も露出させるために、間欠貼合を行う。
間欠貼合は、前記連続帯状の電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層面上に、電磁波遮蔽シートの幅よりも適宜狭い幅を有する連続帯状の粘着剤層を導電性メッシュ層の周縁4辺が露出するような大きさに切断しつつ、導電性メッシュ層上に位置合わせを行いながら、間欠的に貼り合わせを行う。
(8) Intermittent bonding First, the pressure-sensitive adhesive layer is formed on the release sheet as described above to obtain a continuous belt-shaped pressure-sensitive adhesive layer. In this case, the width of the continuous belt-shaped pressure-sensitive adhesive layer is preferably adjusted to a width that is smaller than the width of the electromagnetic shielding sheet to be bonded and slightly larger than the width of the conductive mesh layer. In this way, when the continuous belt-like pressure-sensitive adhesive layer and the continuous belt-like electromagnetic wave shielding sheet are bonded together, the width direction of the continuous belt of the periphery of the conductive mesh layer in the electromagnetic wave shielding sheet is exposed and becomes a grounding region. obtain.
When not only the continuous strip-shaped width direction among the peripheral edges of the mesh layer but also the four peripheral edges of the mesh layer are the grounding regions, intermittent bonding is performed to expose the continuous belt-shaped flow direction.
In the intermittent bonding, a continuous belt-like pressure-sensitive adhesive layer having a width appropriately narrower than the width of the electromagnetic wave shielding sheet is exposed on the conductive mesh layer surface of the continuous belt shaped electromagnetic wave shielding sheet, and the peripheral four sides of the conductive mesh layer are exposed. Bonding is performed intermittently while positioning on the conductive mesh layer while cutting into such a size.

ラミネーターは、ロール式、平板式等、粘着剤層及び電磁波遮蔽シートに対して加圧することができるものであればかまわないが、ロールツーロール方式に対応すること及び気泡の混入を防ぐことが容易である点や、連続生産が可能な点からロール式ラミネーターを用いることが好ましい。
積層時の加圧は特に限定されないが、例えばロール式ラミネーターを用いる場合、線圧で1〜20kgf/cmが好ましい。積層時の加圧部分の温度も特に限定されないが、設備負担の点からは低温であるほうが好ましく、20℃〜80℃であるほうが好ましい。但し、必要に応じて80℃以上に加熱しても良い。
The laminator may be a roll type, a flat type, etc., as long as it can pressurize the pressure-sensitive adhesive layer and the electromagnetic wave shielding sheet, but it can easily cope with the roll-to-roll method and prevent air bubbles from being mixed. It is preferable to use a roll-type laminator from the viewpoint of being able to be produced continuously and capable of continuous production.
Although the pressurization at the time of lamination is not particularly limited, for example, when a roll laminator is used, the linear pressure is preferably 1 to 20 kgf / cm. Although the temperature of the pressurization part at the time of lamination | stacking is also not specifically limited, From the point of an equipment burden, the one where it is low temperature is preferable and it is more preferable that it is 20 to 80 degreeC. However, you may heat to 80 degreeC or more as needed.

また、間欠貼合を行った場合、導電性メッシュ層の凹凸内に空気が入らないように、粘着剤層が凹凸部分を完全に埋めつつ、粘着剤層表面が平坦化するように、加熱加圧処理を行うことが好ましい。加熱真空処理の条件としては、例えば、0.2〜1.0MPaの真空中で、50〜100℃で、10〜90分間処理を行うことが挙げられる。
間欠貼合を行う場合には、間欠塗工に比べて装置が簡潔で、歩留まりが高いというメリットがある。また、粘着剤層とその保護フィルム層の大きさが同じになるので、当該保護フィルムの剥がれや歪みが生じ難いというメリットがある。
In addition, when intermittent bonding is performed, heating is applied so that the surface of the pressure-sensitive adhesive layer is flattened while the pressure-sensitive adhesive layer completely fills the uneven portions so that air does not enter the unevenness of the conductive mesh layer. It is preferable to perform pressure treatment. Examples of the heat vacuum treatment include performing the treatment at 50 to 100 ° C. for 10 to 90 minutes in a vacuum of 0.2 to 1.0 MPa.
When intermittent bonding is performed, there is an advantage that the apparatus is simpler and the yield is higher than that of intermittent coating. Moreover, since the magnitude | size of an adhesive layer and its protective film layer becomes the same, there exists a merit that peeling and distortion of the said protective film do not arise easily.

形成された粘着剤層は貼着機能を有するため、ディスプレイに貼着するまでの間は、不用意な接着の防止のため、シリコーン処理した易剥離性のPETフィルム等の一時的な保護膜を積層しておくことが好ましい。   The formed pressure-sensitive adhesive layer has a sticking function, so a temporary protective film such as an easily peelable PET film treated with silicone is used to prevent inadvertent adhesion until sticking to the display. It is preferable to laminate.

(9)粘着剤層の物性等
また、本発明において粘着剤層は、表面平滑な硝子板に対する剥離抵抗値が5〜30N/25mmであり、更に5〜25N/25mm、特に10〜20N/25mmであることが、好ましい。
なお、表面平滑な硝子板としては、例えば具体的には通常のフロートガラスをはじめ、液晶、PDP用パネルで使用するガラスなどが挙げられる。
上記剥離抵抗値が上記範囲内の場合、得られる複合フィルタ−ディスプレイ界面で経時で自然剥離したり、気泡が生じたりする恐れがない。また、得られる複合フィルタとディスプレイとを貼り合わせる際に、何らかの不具合が生じた場合に、複合フィルタのみを再剥離し、再び複合フィルタを貼り合わせる必要が生じるが、上記剥離抵抗値が上記範囲内の場合、複合フィルタを再剥離する際に、凝集破壊及び界面破壊を起こすことなく、容易に剥離することが可能である。
(9) Physical properties of the pressure-sensitive adhesive layer Further, in the present invention, the pressure-sensitive adhesive layer has a peel resistance value of 5 to 30 N / 25 mm for a smooth glass plate, 5 to 25 N / 25 mm, particularly 10 to 20 N / 25 mm. It is preferable that
Examples of the glass plate having a smooth surface include normal float glass, liquid crystal, and glass used in PDP panels.
When the peel resistance value is within the above range, there is no possibility that the resulting composite filter-display interface will be spontaneously peeled over time or bubbles may be generated. In addition, when some trouble occurs when the obtained composite filter and the display are bonded together, it is necessary to peel off only the composite filter and paste the composite filter again, but the peeling resistance value is within the above range. In this case, when the composite filter is peeled off again, it can be easily peeled off without causing cohesive failure and interface failure.

ここで上記表面平滑な硝子板に対する剥離抵抗値は、以下のようにして測定することができる。厚さ100μmの2軸延伸PETフィルムの片面に接着剤層を25g/m(乾燥時)で塗工した物を、長さ150mm、幅25mmに切り抜いて、これをその接着剤層側が硝子板側を向くようにして、表面を脱脂した厚さ2mmの硝子板に貼り、これを引張り試験機を用いて、該硝子板と該PETフィルムとを両者の角度が180°となる方向に引張速度300mm/分で、20〜25℃の雰囲気中で引張って、剥離時抗張力として測定することができる。 Here, the peel resistance value with respect to the smooth glass plate can be measured as follows. An adhesive layer coated at 25 g / m 2 (when dried) on one side of a 100 μm-thick biaxially stretched PET film is cut out to a length of 150 mm and a width of 25 mm, and the adhesive layer side is a glass plate The glass plate and the PET film are attached to a glass plate having a thickness of 2 mm with a degreased surface facing the side, and this is pulled using a tensile tester so that the angle between the glass plate and the PET film is 180 °. It can be measured as tensile strength at the time of peeling by pulling in an atmosphere of 20 to 25 ° C. at 300 mm / min.

本発明において、粘着剤層の膜厚は、近赤外線吸収機能等の光学フィルタ機能や粘着剤層に更に追加される機能により適宜調節するが、通常乾燥時の厚さが20〜50μm程度である。例えば、導電性メッシュ層の平坦化層としても機能させる場合は、25〜40μmの範囲内であることがメッシュの凹凸を良好に平坦化する点から好ましい。また、粘着剤層を耐衝撃層としても機能させる場合、特に乾燥時の厚さを、後述する粘着剤層との合計で50〜5,000μmとなるようにすることが好ましい。また、このような場合、下記の衝撃試験による破壊エネルギーが0.5J以上、好ましくは0.6J以上という耐衝撃性を有することが望ましい。ここで衝撃試験は、図8に示す衝撃試験装置を用いて行い、直径50.8mmの鋼球125(質量534g)(JIS B1501 玉軸受用鋼球に規定されたもの)を電磁石124から落下させたときの、破壊エネルギーを測定して行う。鋼球の落下高さを変えることで破壊エネルギーを変化させることができる。試験台121としてステンレス鋼板を用いる。該試験台121上に、本発明の粘着剤層123が積層された表示装置用の前面ガラス板122として例えば旭硝子社製の高歪点ガラス板(PD−200:商品名、厚み2.8mm)を載置する。   In the present invention, the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is appropriately adjusted by an optical filter function such as a near-infrared absorption function or a function further added to the pressure-sensitive adhesive layer, but the thickness at the time of normal drying is about 20 to 50 μm. . For example, when functioning also as a planarization layer of a conductive mesh layer, it is preferable that it is in the range of 25 to 40 μm from the viewpoint of satisfactorily planarizing the mesh irregularities. Moreover, when making an adhesive layer function also as an impact-resistant layer, it is preferable to make it especially the thickness at the time of drying to be 50-5,000 micrometers in total with the adhesive layer mentioned later. In such a case, it is desirable that the fracture energy by the following impact test has an impact resistance of 0.5 J or more, preferably 0.6 J or more. Here, the impact test is performed using the impact test apparatus shown in FIG. 8, and a steel ball 125 (mass 534 g) having a diameter of 50.8 mm (specified in JIS B1501 ball bearing steel ball) is dropped from the electromagnet 124. This is done by measuring the fracture energy. Fracture energy can be changed by changing the drop height of the steel ball. A stainless steel plate is used as the test table 121. As a front glass plate 122 for a display device in which the pressure-sensitive adhesive layer 123 of the present invention is laminated on the test bench 121, for example, a high strain point glass plate manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. (PD-200: trade name, thickness 2.8 mm). Is placed.

3.表面保護層
本発明に用いられる表面保護層は、透明樹脂基材の表面を保護する層であり、反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有するものである。表面保護層は単層の他、多層として形成してもよい。但し、本発明の2層以上の表面保護層間には基材は介しない。画像表示装置表面での外来光の鏡面反射による背景の映り込み、画像の白化、及び画像コントラスト低下を低減する為の手段として、本発明の複合フィルタの最上層には、反射防止機能、防眩機能を付与することが好ましく、所謂防眩層及び/又は所謂反射防止層を形成することが好ましい。前者の防眩層としては、磨りガラスのように光を散乱もしくは拡散させて外来光による背景像を暈す手法である。また、後者の反射防止層としては、屈折率の高い材料と低い材料を交互に積層し、最表面が低屈折率層となるように多層化(マルチコート)し、各層界面での反射光を干渉によって相殺することで、表面の反射を抑え、良好な反射防止効果を得る手法であり、所謂狭義の反射防止層である。
また、複合フィルタに紫外線遮蔽機能をもたらす点から、表面保護層中に紫外線吸収剤を含有させても良い。
3. Surface Protective Layer The surface protective layer used in the present invention is a layer that protects the surface of the transparent resin substrate, and one or more functions selected from the group consisting of an antireflection function, an antiglare function, and an abrasion resistance function. It is what has. The surface protective layer may be formed as a multilayer in addition to a single layer. However, no substrate is interposed between the two or more surface protective layers of the present invention. The uppermost layer of the composite filter of the present invention has an anti-reflection function and anti-glare as a means for reducing the reflection of background due to specular reflection of extraneous light on the surface of the image display device, image whitening, and reduction in image contrast. It is preferable to impart a function, and it is preferable to form a so-called antiglare layer and / or a so-called antireflection layer. The former anti-glare layer is a technique in which light is scattered or diffused like a polished glass to make a background image by extraneous light. As the latter antireflection layer, a material with a high refractive index and a material with a low refractive index are alternately laminated and multilayered so that the outermost surface is a low refractive index layer (multi-coat), and the reflected light at the interface of each layer is reflected. This is a technique for suppressing surface reflection and obtaining a good antireflection effect by canceling out by interference, which is a so-called antireflection layer in a narrow sense.
Moreover, you may make a surface protective layer contain an ultraviolet absorber from the point which brings a ultraviolet-ray shielding function to a composite filter.

(1)防眩層
防眩層(Anti Glare層、略称してAG層)は、外来光を散乱もしくは拡散させるために、光の入射面を粗面化することが基本である。この粗面化処理には、サンドブラスト法やエンボス法等により基体表面に直接微細凹凸を形成して粗面化する方法;基体表面に放射線、熱の何れかもしくは組み合わせにより硬化する樹脂バインダ中に、光拡散性粒子としてシリカなどの無機フィラーや、樹脂粒子などの有機フィラーを含有させた塗膜により粗面化層を設ける方法;及び基体表面に海島構造による多孔質膜を形成する方法等を挙げることができる。樹脂バインダの樹脂としては、表面層として表面強度が望まれる関係上、硬化性アクリル樹脂や、上記ハードコート層同様に電離放射線硬化性樹脂等が好適に使用される。
防眩層の厚みは特に限定されるものではないが、0.07μm以上20μm以下が好ましい。
(1) Antiglare layer The antiglare layer (Anti Glare layer, abbreviated as AG layer) basically has a light incident surface roughened to scatter or diffuse extraneous light. For this roughening treatment, a method of forming a rough surface directly on the surface of the substrate by sandblasting or embossing or the like; and roughening the surface of the substrate with a resin binder that is cured by radiation or heat, or a combination thereof, Examples include a method of providing a roughened layer with a coating film containing an inorganic filler such as silica or an organic filler such as resin particles as light diffusing particles; and a method of forming a porous film with a sea-island structure on the surface of the substrate. be able to. As the resin for the resin binder, a curable acrylic resin, an ionizing radiation curable resin, or the like is preferably used in the same manner as the hard coat layer because surface strength is desired as the surface layer.
The thickness of the antiglare layer is not particularly limited, but is preferably 0.07 μm or more and 20 μm or less.

(2)反射防止層
反射防止層(Anti Reflection層、略称してAR層)は、低屈折率層の単層、或いは、低屈折率層と高屈折率層とを、該低屈折率層が最上層に位置する様に交互に積層した多層構成が一般的であり、蒸着やスパッタ等の乾式成膜法で、或いは塗工等の湿式成膜法も利用して形成することができる。なお、低屈折率層はケイ素酸化物、フッ化マグネシウム、フッ素含有樹脂等が用いられ、高屈折率層には、酸化チタン、硫化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ等が用いられる。尚、ここで高(低)屈折率層とは、該層と隣接する層(例えば、透明樹脂基材、或いは低(高)屈折率層)と比較して該層の屈折率が相対的に高(低)いという意味である。
反射防止層に更に耐擦傷機能を付与する場合には、耐擦傷機能(ハードコート)層の項で記載したような硬度の高い材料を適宜用いて形成する。
(2) Antireflective layer The antireflective layer (Anti Reflection layer, abbreviated as AR layer) is a single low refractive index layer or a low refractive index layer and a high refractive index layer. A multilayer structure in which layers are alternately stacked so as to be positioned at the uppermost layer is generally used, and can be formed by a dry film formation method such as vapor deposition or sputtering, or by using a wet film formation method such as coating. Note that silicon oxide, magnesium fluoride, fluorine-containing resin, or the like is used for the low refractive index layer, and titanium oxide, zinc sulfide, zirconium oxide, niobium oxide, or the like is used for the high refractive index layer. Here, the high (low) refractive index layer means that the refractive index of the layer is relatively higher than that of a layer adjacent to the layer (for example, a transparent resin substrate or a low (high) refractive index layer). It means high (low).
When the antireflection layer is further provided with a scratch resistance function, it is formed by appropriately using a material having high hardness as described in the section of the scratch resistance function (hard coat) layer.

反射防止効果を向上させるためには、低屈折率層の屈折率は、1.45以下であることが好ましい。これらの特徴を有する材料としては、例えばLiF(屈折率n=1.4)、MgF(屈折率n=1.4)、3NaF・AlF (屈折率n=1.4)、AlF(屈折率n=1.4)、NaAlF(屈折率n=1.33)、SiO(屈折率n=1.45)等の無機材料を微粒子化し、アクリル系樹脂やエポキシ系樹脂等に含有させた無機系低反射材料、フッ素系・シリコーン系の有機化合物、熱可塑性樹脂、熱硬化型樹脂、放射線硬化型樹脂等の有機低反射材料を挙げることができる。
また、低屈折率層には、空隙を有する微粒子を用いても良い。空隙を有する微粒子とは、微粒子の内部に気体が充填された構造及び/又は気体を含む多孔質構造体を形成し、微粒子本来の屈折率に比べて微粒子中の気体の占有率に反比例して屈折率が低下する微粒子を意味する。また、本発明にあっては、微粒子の形態、構造、凝集状態、塗膜内部での微粒子の分散状態により、内部、及び/又は表面の少なくとも一部にナノポーラス構造の形成が可能な微粒子も含まれる。空隙を有する微粒子は、無機物、有機物のいずれでもあってよく、例えば、金属、金属酸化物、樹脂からなるものが挙げられ、好ましくは、酸化珪素(シリカ)微粒子が挙げられる。
In order to improve the antireflection effect, the refractive index of the low refractive index layer is preferably 1.45 or less. Examples of the material having these characteristics include LiF (refractive index n = 1.4), MgF 2 (refractive index n = 1.4), 3NaF · AlF 3 (refractive index n = 1.4), AlF 3 ( Inorganic materials such as refractive index n = 1.4), Na 3 AlF 6 (refractive index n = 1.33), SiO 2 (refractive index n = 1.45) are made into fine particles, acrylic resin, epoxy resin, etc. Inorganic low-reflective materials, fluorine-based / silicone-based organic compounds, thermoplastic resins, thermosetting resins, radiation-curable resins, and the like can be used.
Further, fine particles having voids may be used for the low refractive index layer. The fine particles having voids form a structure in which fine particles are filled with gas and / or a porous structure containing gas, and are in inverse proportion to the gas occupancy ratio in the fine particles compared to the original refractive index of the fine particles. It means fine particles having a reduced refractive index. The present invention also includes fine particles capable of forming a nanoporous structure inside and / or at least part of the surface depending on the form, structure, aggregation state, and dispersion state of the fine particles inside the coating film. It is. The fine particles having voids may be either inorganic or organic, and examples thereof include metals, metal oxides, and resins, and preferably silicon oxide (silica) fine particles.

さらに、5〜30nmのシリカ超微粒子を水もしくは有機溶剤に分散したゾルとフッ素系の皮膜形成剤を混合した材料を使用することもできる。該5〜30nmのシリカ超微粒子を水もしくは有機溶剤に分散したゾルは、ケイ酸アルカリ塩中のアルカリ金属イオンをイオン交換等で脱アルカリする方法や、ケイ酸アルカリ塩を鉱酸で中和する方法等で知られた活性ケイ酸を縮合して得られる公知のシリカゾル、アルコキシシランを有機溶媒中で塩基性触媒の存在下に加水分解と縮合することにより得られる公知のシリカゾル、さらには上記の水性シリカゾル中の水を蒸留法等により有機溶剤に置換することにより得られる有機溶剤系のシリカゾル(オルガノシリカゾル)が用いられる。これらのシリカゾルは水系及び有機溶剤系のどちらでも使用することができる。有機溶剤系シリカゾルの製造に際し、完全に水を有機溶剤に置換する必要はない。前記シリカゾルはSiOとして0.5〜50質量%濃度の固形分を含有する。シリカゾル中のシリカ超微粒子の構造は球状、針状、板状等様々なものが使用可能である。また、皮膜形成剤としては、アルコキシシラン、金属アルコキシドや金属塩の加水分解物や、ポリシロキサンをフッ素変性したものなどを用いることができる。低屈折率層の好ましい態様によれば、「空隙を有する微粒子」を利用することが好ましい。 Furthermore, a material in which a sol obtained by dispersing ultrafine silica particles of 5 to 30 nm in water or an organic solvent and a fluorine-based film forming agent can be used. The sol in which the ultrafine silica particles of 5 to 30 nm are dispersed in water or an organic solvent is obtained by a method of dealkalizing alkali metal ions in alkali silicate salt by ion exchange or the like, or neutralizing alkali silicate salt with mineral acid. A known silica sol obtained by condensing active silicic acid known by the method, etc., a known silica sol obtained by condensing alkoxysilane with hydrolysis in an organic solvent in the presence of a basic catalyst, and the above-mentioned An organic solvent-based silica sol (organosilica sol) obtained by substituting water in the aqueous silica sol with an organic solvent by a distillation method or the like is used. These silica sols can be used in both aqueous and organic solvent systems. In producing the organic solvent-based silica sol, it is not necessary to completely replace water with the organic solvent. The silica sol contains solids 0.5 to 50 wt% concentration as SiO 2. Various structures such as a spherical shape, a needle shape, and a plate shape can be used for the structure of the ultrafine silica particles in the silica sol. As the film forming agent, alkoxysilane, metal alkoxide, hydrolyzate of metal salt, or fluorine-modified polysiloxane can be used. According to a preferred embodiment of the low refractive index layer, “fine particles having voids” are preferably used.

低屈折率層は、上記で述べた材料を例えば溶剤に希釈し、スピンコーティング、ロールコーティングや印刷等によるウェットコーティング法や、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVD、イオンプレーティング等による気相法で、高屈折率層上に設けて乾燥後、熱や放射線(紫外線の場合は上述の光重合開始剤を使用する)等により硬化させることによって得ることができる。   The low refractive index layer is obtained by diluting the above-described material into a solvent, for example, a wet coating method such as spin coating, roll coating or printing, or a vapor phase method such as vacuum deposition, sputtering, plasma CVD, or ion plating. After being provided on the high refractive index layer and dried, it can be obtained by curing with heat or radiation (in the case of ultraviolet rays, the above-mentioned photopolymerization initiator is used).

高屈折率層の形成は、屈折率を高くするために高屈折率のバインダ樹脂を使用するか、高い屈折率を有する超微粒子をバインダ樹脂に添加することによって行なうか、あるいはこれらを併用することによって行なう。高屈折率層の屈折率は1.55〜2.70の範囲にあることが好ましい。   The high refractive index layer is formed by using a binder resin having a high refractive index in order to increase the refractive index, adding ultrafine particles having a high refractive index to the binder resin, or using these in combination. To do. The refractive index of the high refractive index layer is preferably in the range of 1.55 to 2.70.

高屈折率層に用いる樹脂については、透明なものであれば任意の樹脂が使用可能であり、熱硬化型樹脂、熱可塑性樹脂、放射線(紫外線を含む)硬化型樹脂などを用いることができる。熱硬化型樹脂としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、尿素樹脂、ジアリルフタレート樹脂、グアナミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アミノアルキッド樹脂、メラミン−尿素共縮合樹脂、珪素樹脂、ポリシロキサン樹脂等を用いることができ、これらの樹脂に、必要に応じて架橋剤、重合開始剤等の硬化剤、重合促進剤、溶剤、粘度調整剤等を加えることができる。   As the resin used for the high refractive index layer, any resin can be used as long as it is transparent, and a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a radiation (including ultraviolet) curable resin, or the like can be used. Thermosetting resins include phenolic resin, melamine resin, polyurethane resin, urea resin, diallyl phthalate resin, guanamine resin, unsaturated polyester resin, aminoalkyd resin, melamine-urea cocondensation resin, silicon resin, polysiloxane resin, etc. A curing agent such as a crosslinking agent and a polymerization initiator, a polymerization accelerator, a solvent, a viscosity modifier and the like can be added to these resins as necessary.

高い屈折率を有する超微粒子としては、例えば、紫外線遮蔽の効果をも得ることができる、ZnO(屈折率n=1.9)、TiO(屈折率n=2.3〜2.7)、CeO(屈折率n=1.95)の微粒子、また、帯電防止効果が付与されて埃の付着を防止することもできる、アンチモンがドープされたSnO(屈折率n=1.95)又はITO(屈折率n=1.95)の微粒子が挙げられる。その他の微粒子としては、Al(屈折率n=1.63)、La(屈折率n=1.95)、ZrO(屈折率n=2.05)、Y(屈折率n=1.87)等を挙げることができる。これらの微粒子は単独又は混合して使用され、有機溶剤又は水に分散したコロイド状になったものが分散性の点において良好であり、その粒径としては、1〜100nm、塗膜の透明性から好ましくは、5〜20nmであることが望ましい。
高屈折率層を設けるには、上記で述べた材料を例えば溶剤に希釈し、スピンコーティング、ロールコーティング、印刷等の方法で基体上に設けて乾燥後、熱や放射線(紫外線の場合は上述の光重合開始剤を使用する)等により硬化させればよい。
反射防止層の厚みは特に限定されるものではないが、通常、反射防止すべき可視光線の波長(380nm〜780nm)の1/4程度(95〜195nm)である。
As the ultrafine particles having a high refractive index, for example, ZnO (refractive index n = 1.9), TiO 2 (refractive index n = 2.3 to 2.7), which can also obtain an ultraviolet shielding effect, Fine particles of CeO 2 (refractive index n = 1.95), antimony-doped SnO 2 (refractive index n = 1.95) or antistatic effect, which can prevent the adhesion of dust or Examples thereof include fine particles of ITO (refractive index n = 1.95). Other fine particles include Al 2 O 3 (refractive index n = 1.63), La 2 O 3 (refractive index n = 1.95), ZrO 2 (refractive index n = 2.05), Y 2 O 3. (Refractive index n = 1.87). These fine particles are used singly or in combination, and those in the form of a colloid dispersed in an organic solvent or water are good in terms of dispersibility, and the particle size is 1 to 100 nm, the transparency of the coating film To preferably 5 to 20 nm.
In order to provide the high refractive index layer, the material described above is diluted with a solvent, for example, provided on a substrate by a method such as spin coating, roll coating, or printing, dried, and then subjected to heat or radiation (in the case of ultraviolet rays, the above-mentioned). The photopolymerization initiator may be used for curing.
The thickness of the antireflection layer is not particularly limited, but is usually about ¼ (95 to 195 nm) of the wavelength of visible light (380 to 780 nm) to be antireflection.

(3)耐擦傷機能層
耐擦傷機能(ハードコート)層は、JISK5600−5−4(1999)で規定される鉛筆硬度試験で「H」以上の硬度を示すものであることが好ましく、このような硬度と上記透明樹脂基材と同様な透明性を実現できるものであれば、材料は特に限定されない。
耐擦傷機能(ハードコート)層は、通常樹脂硬化層として形成される。用いる硬化性樹脂としては、電離放射線硬化性樹脂、その他公知の硬化性樹脂などを要求性能などに応じて適宜採用すればよい。電離放射線硬化性樹脂としては、アクリレート系、オキセタン系、シリコーン系などが挙げられる。例えば、アクリレート系の電離放射線硬化性樹脂は、例えば、ポリエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレートプレポリマー、或いは、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の3官能以上の多官能(メタ)アクリレートモノマーを単独で或いはこれらの中から2種以上選択して組み合わせて配合した電離放射線硬化性樹脂を用いた塗膜として形成することができる。なおここで、(メタ)アクリレートとは、アクリレート又はメタクリレートを意味する複合的表記である。耐擦傷機能(ハードコート)は上記材料を必要に応じて溶剤で希釈して上記透明樹脂基材上に塗工等の湿式成膜法により形成することができる。
耐擦傷機能層の厚みは特に限定されるものではないが、1.0μm以上20μm以下が好ましく、より好ましくは3.0μm以上5μm以下である。
(3) Scratch-resistant functional layer The scratch-resistant (hard coat) layer preferably exhibits a hardness of “H” or higher in a pencil hardness test specified by JISK5600-5-4 (1999). The material is not particularly limited as long as it can achieve the same hardness and the same transparency as the transparent resin substrate.
The scratch-resistant (hard coat) layer is usually formed as a cured resin layer. As the curable resin to be used, an ionizing radiation curable resin, other known curable resins, or the like may be appropriately employed according to required performance. Examples of the ionizing radiation curable resin include acrylate-based, oxetane-based, and silicone-based resins. For example, acrylate-based ionizing radiation curable resins are, for example, polyfunctional (meth) acrylate prepolymers such as polyester (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, or trimethylolpropane tri (meth) ) Trifunctional or higher polyfunctional (meth) acrylate monomers such as acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, etc., alone or in combination of two or more selected from these It can be formed as a coating film using an ionizing radiation curable resin. Here, (meth) acrylate is a composite notation meaning acrylate or methacrylate. The scratch resistance function (hard coat) can be formed by a wet film formation method such as coating on the transparent resin substrate by diluting the material with a solvent as necessary.
The thickness of the scratch-resistant functional layer is not particularly limited, but is preferably 1.0 μm or more and 20 μm or less, more preferably 3.0 μm or more and 5 μm or less.

(4)紫外線吸収層
本発明において、紫外線吸収層は、上記本発明に係る粘着剤層に含有される光吸収剤の劣化を防止するために、粘着剤層自体に紫外線吸収剤を添加して紫外線吸収層と粘着剤層を兼用しても良いし、或いは上記粘着剤層とは独立した層(基材を含む)として粘着剤層よりも観察側に配置される層としても良い。上述のように電磁波遮蔽シートの透明樹脂基材に紫外線吸収機能を付与する態様の他、当該表面保護層として設ける。上記他の機能を有する表面保護層に紫外線吸収剤を含有させた、他の機能と紫外線吸収機能を兼ねる層であっても良いし、或いは独立した紫外線吸収層であっても良い。上記機能層に用いる紫外線吸収剤としては、上記本発明に係る電磁波遮蔽シートの透明樹脂基材において記載したものと同様の紫外線吸収剤を用いることができる。独立した層とする場合に用いられるバインダ樹脂としては、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂が用いられる。
また、市販の紫外線カットフィルタ、例えば、富士写真フィルム社製の「シャープカットフィルターSC−38」(商品名)、「同SC−39」、「同SC−40」、三菱レーヨン社製の「アクリプレン」(商品名)等を用いることもできる。
紫外線吸収層の厚みは特に限定されるものではないが、1.0μm以上30μm以下が好ましく、より好ましくは10μm以上20μm以下である。
(4) Ultraviolet absorbing layer In the present invention, the ultraviolet absorbing layer is prepared by adding an ultraviolet absorber to the pressure sensitive adhesive layer itself in order to prevent deterioration of the light absorbent contained in the pressure sensitive adhesive layer according to the present invention. The ultraviolet absorbing layer and the pressure-sensitive adhesive layer may be used together, or a layer (including a base material) independent of the pressure-sensitive adhesive layer may be disposed on the observation side of the pressure-sensitive adhesive layer. As described above, the surface protective layer is provided in addition to the aspect of imparting an ultraviolet absorbing function to the transparent resin substrate of the electromagnetic wave shielding sheet. The surface protective layer having the other functions described above may contain a UV absorber, and may be a layer having another function and an UV absorbing function, or may be an independent UV absorbing layer. As the ultraviolet absorber used in the functional layer, the same ultraviolet absorber as that described in the transparent resin substrate of the electromagnetic wave shielding sheet according to the present invention can be used. As the binder resin used for the independent layer, a resin such as a polyester resin, a polyurethane resin, an acrylic resin, or an epoxy resin is used.
Also, commercially available UV cut filters such as “Sharp Cut Filter SC-38” (trade name), “SC-39”, “SC-40” manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd., “Acryprene” manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd. (Product name) or the like can also be used.
Although the thickness of an ultraviolet absorption layer is not specifically limited, 1.0 micrometer or more and 30 micrometers or less are preferable, More preferably, they are 10 micrometers or more and 20 micrometers or less.

(5)その他の機能
また、上記の表面保護層は、耐汚染性向上の点で、シリコーン系化合物、フッ素系化合物などを添加するのもよい。
また表面保護層は、防汚染層として、複合フィルタを使用する際に、その表面に不用意な接触や環境からの汚染が原因でごみや汚染物質が付着するのを防止し、あるいは付着しても除去しやすくするために形成される層であっても良い。例えば、フッ素系コート樹脂、シリコン系コート剤、シリコン・フッ素系コート剤等が使用され、中でもシリコン・フッ素系コート剤が好ましく適用される。これらの防汚染層としての厚さは好ましくは100nm以下で、より好ましくは10nm以下であり、更に好ましくは5nm以下である。これらの防汚染層の厚さが100nmを超えると防汚染性の初期値は優れているが、耐久性において劣るものとなる。防汚染性とその耐久性のバランスから5nm以下が最も好ましい。
(5) Other functions In addition, the surface protective layer may be added with a silicone compound, a fluorine compound, or the like in terms of improving the stain resistance.
The surface protective layer also prevents or adheres to dirt and contaminants due to inadvertent contact and environmental contamination when using a composite filter as a pollution control layer. Alternatively, a layer formed to facilitate removal may be used. For example, a fluorine-based coating resin, a silicon-based coating agent, a silicon / fluorine-based coating agent, or the like is used, and among them, a silicon / fluorine-based coating agent is preferably applied. The thickness of these antifouling layers is preferably 100 nm or less, more preferably 10 nm or less, and even more preferably 5 nm or less. When the thickness of these antifouling layers exceeds 100 nm, the initial value of antifouling properties is excellent, but the durability is inferior. 5 nm or less is the most preferable from the balance of antifouling property and its durability.

また、本発明に用いられる表面保護層は、1層で複数の機能を兼ねる層として形成されることが好ましい。
例えば耐擦傷機能に加えて、更に外来光の鏡面反射防止機能を有していても良い。具体的には、耐擦傷機能層を防眩層或いは反射防止層とする形態である。例えば、防眩層とする場合は、表面保護層において最上層にある耐擦傷機能層中に上記のような光拡散性粒子を添加した形態、耐擦傷機能層の表面が粗面賦形された形態を挙げることができる。
なお、表面を賦形で粗面とするには、耐擦傷機能層を形成する為の樹脂組成物を、透明樹脂基材面又は電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ面上に適用した後或いは適用時に、樹脂を硬化させる場合は完全硬化前で賦形可能な流動性を有するうちに、賦形シートや賦形版で表面を賦形すれば良い。
また、反射防止層とする場合は、表面保護層において最上層にある耐擦傷機能層を前記の反射防止層のところで述べたような手法により、その直下の層よりも低屈折率化すれば良い。
Moreover, it is preferable that the surface protective layer used in the present invention is formed as a single layer having a plurality of functions.
For example, in addition to the scratch resistance function, it may have a function of preventing specular reflection of extraneous light. Specifically, the scratch-resistant functional layer is an antiglare layer or an antireflection layer. For example, in the case of an antiglare layer, the surface protective layer is formed with the above-described light diffusing particles in the uppermost scratch-resistant functional layer, and the surface of the scratch-resistant functional layer is roughened. The form can be mentioned.
In addition, in order to make the surface rough by shaping, after applying the resin composition for forming the scratch-resistant functional layer on the transparent resin base material surface or the conductive mesh surface of the electromagnetic wave shielding sheet, or at the time of application When the resin is cured, the surface may be shaped with a shaped sheet or a shaped plate while it has fluidity that can be shaped before complete curing.
Further, when the antireflection layer is used, it is only necessary to lower the refractive index of the scratch-resistant functional layer, which is the uppermost layer in the surface protective layer, by a method as described in the above antireflection layer than the layer immediately below the antireflection layer. .

(6)表面保護層の形成
表面保護層の形成は、上記粘着剤層の形成と同様に行うことができる。例えば電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層上に表面保護層が形成される場合には、上述のような条件で間欠塗工又は間欠貼合が行われることが好ましい。
(6) Formation of surface protective layer The surface protective layer can be formed in the same manner as the above-mentioned pressure-sensitive adhesive layer. For example, when the surface protective layer is formed on the conductive mesh layer of the electromagnetic wave shielding sheet, it is preferable that intermittent coating or intermittent bonding is performed under the above-described conditions.

4.複合フィルタの特性
以上、各層を例示して説明したが、本発明の複合フィルタは、代表的な用途であるプラズマディスプレイパネルの前面に適用される場合には、プラズマディスプレイパネルがキセノンガス放電を利用して発光する際に生じる近赤外線領域、即ち、800〜1100nmの波長域における光透過率が30%以下、更に20%以下、特に10%以下であることが好ましい。
また、本発明の複合フィルタは、代表的な用途であるプラズマディスプレイパネルの前面に適用される場合には、プラズマディスプレイパネルがキセノンガス放電を利用して発光する際、ネオン原子が励起された後、基底状態に戻るときに発光するネオン光、即ち、590nmの波長における光線透過率が50%以下、更に25%以下であることが好ましい。
また、本発明の複合フィルタは、可視光領域、即ち、380〜780nmの波長域で、充分な光線透過率、すなわち可視光透過率30%以上、更に40%以上を有することが望ましい。
なお、本発明における光透過率は、JIS−Z8701に準拠して分光光度計(例えば、品番:UV−3100PC、会社名:株式会社島津製作所)にて測定することができる。
4). Characteristics of Composite Filter As described above, each layer has been described as an example. However, when the composite filter of the present invention is applied to the front surface of a plasma display panel which is a typical application, the plasma display panel uses xenon gas discharge. The light transmittance in the near-infrared region generated when emitting light, that is, in the wavelength region of 800 to 1100 nm is preferably 30% or less, more preferably 20% or less, and particularly preferably 10% or less.
In addition, when the composite filter of the present invention is applied to the front surface of a plasma display panel which is a typical application, the neon atom is excited when the plasma display panel emits light using xenon gas discharge. The neon light emitted when returning to the ground state, that is, the light transmittance at a wavelength of 590 nm is preferably 50% or less, more preferably 25% or less.
In addition, the composite filter of the present invention desirably has a sufficient light transmittance, that is, a visible light transmittance of 30% or more, and further 40% or more in a visible light region, that is, a wavelength region of 380 to 780 nm.
The light transmittance in the present invention can be measured with a spectrophotometer (for example, product number: UV-3100PC, company name: Shimadzu Corporation) in accordance with JIS-Z8701.

本発明の複合フィルタは、優れた光学フィルタ機能の耐久性を有し、高温高湿下での長時間の使用によっても光吸収剤の劣化に帰属される分光特性の変化が起こり難い。具体的には、作製した複合フィルタの初期状態と、当該複合フィルタの常環境(23℃、湿度60%以下)、耐熱環境(80℃、湿度10%以下)、耐湿熱環境(60℃95%RH)の3条件下にて1000時間経過後との分光特性(透過率T、色度(x、y))を比較して、いずれも、380nm〜1000nmでの透過率変化ΔTが20%以下、更に10%以下であり、かつ800nm〜1000nmでの透過率変化ΔTは 10%以下、更に5%以下であることが好ましい。また、複合フィルタの色度(x、y)の変化ΔxおよびΔyは、いずれも0.03以下、更に好ましくは0.02以下であることが好ましい。   The composite filter of the present invention has an excellent optical filter function durability, and the spectral characteristics attributed to the deterioration of the light absorber hardly occur even when used for a long time under high temperature and high humidity. Specifically, the initial state of the produced composite filter, the normal environment of the composite filter (23 ° C., humidity 60% or less), the heat resistant environment (80 ° C., humidity 10% or less), and the moisture and heat resistant environment (60 ° C. 95%) Comparison of spectral characteristics (transmittance T, chromaticity (x, y)) after 1000 hours under three conditions (RH), the transmittance change ΔT at 380 nm to 1000 nm is 20% or less. Further, it is preferably 10% or less, and the transmittance change ΔT at 800 nm to 1000 nm is preferably 10% or less, and more preferably 5% or less. Further, the changes Δx and Δy in the chromaticity (x, y) of the composite filter are both 0.03 or less, more preferably 0.02 or less.

以上に述べた本発明に係るディスプレイ用複合フィルタの膜厚は、使用基材が実質上1層であることから薄くすることができ、100〜1000μmの範囲内、更に、200〜500μmの範囲内であることが好ましい。このような範囲にすることにより、連続帯状として最小直径が15センチ以下のロール状に巻くことが可能となるため生産効率が向上する。   The film thickness of the composite filter for display according to the present invention described above can be made thin because the substrate used is substantially one layer, and is within the range of 100 to 1000 μm, and further within the range of 200 to 500 μm. It is preferable that By setting it as such a range, since it becomes possible to wind in a roll shape whose minimum diameter is 15 centimeters or less as a continuous belt shape, production efficiency improves.

以上に述べた本発明に係るディスプレイ用複合フィルタは、導電性メッシュ層の凹凸内に空気が入らないように、凹凸部分を完全に埋めつつ表面が平坦化するように塗工されることにより、且つ、近赤外線吸収層もヘイズが少なくなるような樹脂を適宜選択することにより、透明性が高いものが得られ、具体的にはヘイズが10以下、更に好ましくは5以下であることが望ましい。ここでヘイズは、JIS K7136に準拠した方法により測定された値を意味する。   The composite filter for display according to the present invention described above is coated so that the surface is flattened while completely filling the uneven portion so that air does not enter the uneven portion of the conductive mesh layer, In addition, by appropriately selecting a resin that reduces the haze of the near-infrared absorbing layer, a highly transparent one can be obtained. Specifically, the haze is preferably 10 or less, more preferably 5 or less. Here, haze means a value measured by a method based on JIS K7136.

5.複合フィルタの製造方法
複合フィルタの製造方法としては、特に限定されるものではないが、好ましくは、透明樹脂基材として連続帯状のものを用意し、これを連続帯状で連続的又は間欠的に走行させて、連続的又は間欠的に必要な層を形成していくのが好ましい。つまり、いわゆるロールツーロール加工で製造するのが、生産性などの点で好ましい。その場合、最後の層積層までを一台の機械で全て連続的に行うのがより好ましい。
5. Production method of composite filter The production method of the composite filter is not particularly limited, but preferably, a continuous belt-like material is prepared as a transparent resin substrate, and this is continuously or intermittently run in a continuous belt shape. Thus, it is preferable to form necessary layers continuously or intermittently. That is, it is preferable in terms of productivity to manufacture by so-called roll-to-roll processing. In that case, it is more preferable to carry out all the steps up to the last layer lamination continuously with one machine.

また、各層の形成順も実施形態にあわせて適宜選択すれば特に制限はなく、仕様により適宜順で行えばよい。例えば、以下が挙げられる。
透明樹脂基材を先ず用意し、この透明樹脂基材に対して、
(A):1.表面保護層の形成、2.導電体層の形成とその後の導電性メッシュ層の形成、3.粘着剤層の形成。
(B):1.導電体層の形成とその後の導電性メッシュ層の形成、2.表面保護層の形成、3.粘着剤層の形成。
(C):1.導電体層の形成、2.表面保護層の形成、3.導電体層から導電体メッシュ層の形成、4.粘着剤層の形成。
などである。
The order of forming the layers is not particularly limited as long as it is appropriately selected according to the embodiment, and may be appropriately determined according to the specification. Examples include the following.
First, prepare a transparent resin base material.
(A): 1. 1. Formation of surface protective layer 2. formation of a conductor layer and subsequent formation of a conductive mesh layer; Formation of an adhesive layer.
(B): 1. 1. formation of a conductor layer and subsequent formation of a conductive mesh layer; 2. Formation of surface protective layer Formation of an adhesive layer.
(C): 1. 1. formation of a conductor layer; 2. Formation of surface protective layer 3. formation of a conductor mesh layer from the conductor layer; Formation of an adhesive layer.
Etc.

なお、粘着剤層や表面保護層を導電性メッシュ層上に部分的に形成する場合、接地用領域の一部、通常はメッシュ領域側となる内側の一部にも形成する。その理由は、多少の形成位置ズレがあっても機械的に弱いメッシュ領域を確実に保護できるようにするためである。
そして、このようにして連続帯状で製造した、適用するディスプレイ1単位に対応した1単位の複合フィルタが長手方向に複数連なったものを、該複合フィルタの1単位毎に裁断して枚葉化する。
In the case where the pressure-sensitive adhesive layer or the surface protective layer is partially formed on the conductive mesh layer, it is also formed on a part of the grounding region, usually on the inner part of the mesh region. The reason for this is to ensure that the mechanically weak mesh region can be reliably protected even if there is a slight misalignment.
Then, a plurality of one unit composite filters corresponding to one unit of display to be applied, which are manufactured in a continuous band shape in this way, are cut into single sheets by cutting each unit of the composite filter. .

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。   The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has any configuration that has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention and that exhibits the same effects. Are included in the technical scope.

以下、実施例を挙げて、本発明を更に具体的に説明する。これらの記載により本発明を制限するものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. These descriptions do not limit the present invention.

<実施例1>
(電磁波遮蔽シートの製造)
透明樹脂基材として、厚さ100μmで連続帯状の無着色透明な2軸延伸ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(A4300:商品名、東洋紡績社製)を用意した。次に、このPET表面に真空スパッタ法によりニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)を形成した。その上に銅蒸着を行い導電体層を積層した。尚、シート抵抗は0.01Ω/□であった。
次いで、上記積層体において、その導電体層及び黒化層をフォトリソグラフィー法を利用したエッチングにより、開口部及びライン部とから成るメッシュ状領域から成る透視性導電体層を使用するPDPの画像表示領域に対応させて形成し透視性導電体層とし、及びメッシュ状領域の4周を囲繞する外縁部に額縁状のメッシュ非形成の接地用領域を有する導電性メッシュ層を形成した。メッシュ形状は開口部が正方形の正方格子であり、線幅は10μm、開口部の間口幅(正方形の辺長)は290μmとした。該メッシュ形状を有する長方形領域1つがPDPの1画面分に対応する。斯かる長方形のメッシュ状領域が、連続帯状に30mm間隔で一方に配列し、又該メッシュ状領域の配列の両側には各々幅15mmの余白部を形成し、周縁部の接地用領域の幅を15mmとした。
エッチングは、具体的には、カラーTVシャドウマスク用の製造ラインを利用して、上記積層体に対して、レジスト形成、マスキングからエッチングまでを一貫して行った。すなわち、上記積層体の透視性導電体層面全面に感光性のエッチングレジストを塗布後、所望のメッシュパターンのマスクを密着露光し、現像、硬膜処理、ベーキングして、メッシュのライン部に相当する領域上にはレジスト層が残留し、開口部に相当する領域上にはレジスト層が無い様なパターンにレジスト層を加工した後、塩化第二鉄水溶液で、レジスト層非形成領域の導電体層及び黒化層を、エッチング除去してメッシュ状の開口部を形成し、次いで、水洗、レジスト剥離、洗浄、乾燥を順次行った。
<Example 1>
(Manufacture of electromagnetic shielding sheets)
As a transparent resin substrate, a continuous strip-shaped uncolored transparent biaxially stretched polyethylene terephthalate (PET) film (A4300: trade name, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 100 μm was prepared. Next, a blackened layer (Ni—Cu—O blackened layer) made of an alloy containing nickel, copper and oxygen was formed on the PET surface by vacuum sputtering. Copper conductors were deposited thereon to laminate a conductor layer. The sheet resistance was 0.01Ω / □.
Next, in the above laminate, the conductor layer and the blackened layer are etched using a photolithography method, and a PDP image display using a transparent conductor layer composed of a mesh-like region composed of openings and line portions is displayed. A transparent conductive layer was formed corresponding to the region, and a conductive mesh layer having a frame-shaped mesh-free grounding region was formed on the outer edge surrounding the circumference of the mesh region. The mesh shape was a square lattice having square openings, the line width was 10 μm, and the opening width (side length of the square) was 290 μm. One rectangular area having the mesh shape corresponds to one screen of the PDP. Such rectangular mesh-like regions are arranged on one side at intervals of 30 mm in the form of a continuous band, and margins having a width of 15 mm are formed on both sides of the arrangement of the mesh-like regions, and the width of the grounding region at the peripheral portion is increased. It was 15 mm.
Specifically, the etching was performed consistently from resist formation, masking to etching on the laminate using a production line for a color TV shadow mask. That is, after a photosensitive etching resist is applied to the entire surface of the transparent conductor layer of the laminate, a mask with a desired mesh pattern is closely exposed, developed, hardened, and baked to correspond to a mesh line portion. After processing the resist layer into a pattern in which the resist layer remains on the region and there is no resist layer on the region corresponding to the opening, the conductive layer in the region where the resist layer is not formed with an aqueous ferric chloride solution Then, the blackened layer was removed by etching to form a mesh-shaped opening, followed by sequential washing with water, stripping of the resist, washing and drying.

(電磁波遮蔽シートの透明樹脂基材側の面に防眩層を積層する工程)
防眩層を、前記電磁波遮蔽シートの透明樹脂基材側の面に形成した。具体的には、先ず、電離放射線硬化型樹脂として、ペンタエリスリトールトリアクリレートを70質量部(日本化薬(株)製、屈折率1.49)、イソシアヌル酸EO変性ジアクリレートを30質量部(東亞合成(株)製、屈折率1.51)、アクリル系ポリマー(三菱レイヨン(株)製、分子量75,000)を10.0質量部、光硬化開始剤である商品名イルガキュア184を5.0質量部(チバガイギ(株)製)配合してなる紫外線硬化型樹脂に、更に、透光性微粒子としてスチレンビーズを15.0質量部(綜研化学(株)製、粒径3.5μm、屈折率1.60)、レベリング剤として商品名「10−28」を0.01質量部(ザ・インクテック(株)製)、トルエンを127.5質量部、及び、シクロヘキサノン54.6質量部、を充分混合して塗布液とした。この塗布液を孔径30μmのポリプロピレン製フィルターでろ過して、防眩層形成用の塗布液を調製した。次に、前記電磁波遮蔽シートの透明樹脂基材側の面上に、該塗布液を、膜厚7μmとなるように塗工した後、50℃のオーブンで加熱乾燥させ、N雰囲気下でUV照射装置(フュージョンUVシステムジャパン(株)製)のHバルブを光源に用いて紫外線照射して硬化し(積算光量200mj)、防眩層を形成した。
(Process of laminating an antiglare layer on the surface of the electromagnetic shielding sheet on the transparent resin substrate side)
An antiglare layer was formed on the surface of the electromagnetic wave shielding sheet on the transparent resin substrate side. Specifically, first, as an ionizing radiation curable resin, 70 parts by mass of pentaerythritol triacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., refractive index 1.49) and 30 parts by mass of isocyanuric acid EO-modified diacrylate (Toago) 10.0 parts by mass of Synthetic Co., Ltd., refractive index 1.51), acrylic polymer (Mitsubishi Rayon Co., Ltd., molecular weight: 75,000), 5.0 of the trade name Irgacure 184 as a photocuring initiator In addition, 15.0 parts by mass of styrene beads (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd., particle size 3.5 μm, refractive index) as an ultraviolet curable resin blended with parts by mass (Ciba Gaigi Co., Ltd.) 1.60), 0.01 part by mass (made by The Inktec Co., Ltd.) as a trade name “10-28” as a leveling agent, 127.5 parts by mass of toluene, and 54.6 parts by mass of cyclohexanone, And a coating solution was thoroughly mixed. This coating solution was filtered through a polypropylene filter having a pore size of 30 μm to prepare a coating solution for forming an antiglare layer. Next, the coating solution is applied on the surface of the electromagnetic shielding sheet on the transparent resin substrate side so as to have a film thickness of 7 μm, and then heated and dried in an oven at 50 ° C., and UV is applied in an N 2 atmosphere. Using an H bulb of an irradiation apparatus (manufactured by Fusion UV System Japan Co., Ltd.) as a light source, it was cured by ultraviolet irradiation (integrated light amount 200 mj) to form an antiglare layer.

(粘着剤層の形成)
次に、上記防眩層形成済みで連続帯状の電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層側の面に対して、各種光吸収剤を添加した粘着剤層を形成した。アクリル系粘着剤(綜研化学株式会社製、SKダイン2094)100重量部に対して、硬化剤(綜研化学株式会社製、E−5XM)0.25重量部、セシウム含有タングステン酸化物(Cs0.33WO)含有量18.5重量%懸濁液(住友金属鉱山(株)製、YMF−02;平均分散粒径800nm以下)1.32重量部、ネオン光吸収剤(山田化学株式会社製、TAP−2;テトラアザポルフィリン系色素)0.045重量部、色補正色素(日本化薬株式会社、KAYASET RED A2G)0.3重量部を各々添加し、充分分散させて粘着剤層組成物を調製した。
次に、上記積層体の導電性メッシュ層側の面に対して、ダイコーターにより乾燥時の厚み25μmになるように塗布し、風速5m/secのドライエアーが当たるオーブンにて100℃で1分間乾燥して粘着剤層を形成し、連続帯状の状態で複合フィルタを得た。尚、粘着剤層の面には、更に再剥離可能な離型フィルムを貼り合わせて保護した。
また、粘着剤層の形成は、間欠塗工法によって、導電性メッシュ層の周縁部を囲繞する接地用領域は被覆せずメッシュ領域は被覆するように部分的に形成した。
(Formation of adhesive layer)
Next, the adhesive layer which added various light absorbers to the surface by the side of the electroconductive mesh layer of the electromagnetic wave shielding sheet with the antiglare layer already formed was formed. For 100 parts by weight of acrylic adhesive (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd., SK Dyne 2094), 0.25 parts by weight of curing agent (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd., E-5XM), cesium-containing tungsten oxide (Cs 0. 33 WO 3 ) 18.5 wt% suspension (manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd., YMF-02; average dispersed particle size 800 nm or less) 1.32 parts by weight, neon light absorber (manufactured by Yamada Chemical Co., Ltd.) , TAP-2; tetraazaporphyrin-based dye) 0.045 parts by weight, and color correction dye (Nippon Kayaku Co., Ltd., KAYASET RED A2G) 0.3 parts by weight are added and dispersed sufficiently to form an adhesive layer composition. Was prepared.
Next, it apply | coats with respect to the surface at the side of the electroconductive mesh layer of the said laminated body so that it may become thickness 25micrometer at the time of drying with a die coater, and it is 100 degreeC for 1 minute in the oven which hits dry air with a wind speed of 5 m / sec. The pressure-sensitive adhesive layer was formed by drying, and a composite filter was obtained in a continuous belt-like state. The surface of the pressure-sensitive adhesive layer was further protected by attaching a releasable release film.
The pressure-sensitive adhesive layer was partially formed by an intermittent coating method so as not to cover the grounding region surrounding the periphery of the conductive mesh layer but to cover the mesh region.

(PDPパネルへの貼合)
前記電磁波遮蔽シートの離型フィルムを剥がし、PDPパネルに直接貼合しプラズマTVを得た。
(Lamination on PDP panel)
The release film of the electromagnetic wave shielding sheet was peeled off and directly bonded to a PDP panel to obtain a plasma TV.

<実施例2>
電磁波遮蔽シートは実施例1と同様に作製した。
<Example 2>
The electromagnetic shielding sheet was produced in the same manner as in Example 1.

(電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層側の面に防眩層を積層する工程)
防眩層を、前記電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層側の面に形成した。具体的には、先ず、電離放射線硬化型樹脂として、ペンタエリスリトールトリアクリレートを70質量部(日本化薬(株)製、屈折率1.49)、イソシアヌル酸EO変性ジアクリレートを30質量部(東亞合成(株)製、屈折率1.51)、アクリル系ポリマー(三菱レイヨン(株)製、分子量75,000)を10.0質量部、光硬化開始剤である商品名イルガキュア184を5.0質量部(チバガイギ(株)製)配合してなる紫外線硬化型樹脂に、更に、透光性微粒子としてスチレンビーズを15.0質量部(綜研化学(株)製、粒径3.5μm、屈折率1.60)、レベリング剤として商品名「10−28」を0.01質量部(ザ・インクテック(株)製)、トルエンを127.5質量部、及び、シクロヘキサノン54.6質量部、を充分混合して塗布液とした。この塗布液を孔径30μmのポリプロピレン製フィルターでろ過して、防眩層形成用の塗布液を調製した。次に、前記電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層側の面上に、該塗布液を、膜厚10μmとなるように塗工した後、50℃のオーブンで加熱乾燥させ、N雰囲気下でUV照射装置(フュージョンUVシステムジャパン(株)製)のHバルブを光源に用いて紫外線照射して硬化し(積算光量200mj)、防眩層を形成した。
(Process of laminating an antiglare layer on the surface of the electromagnetic shielding sheet on the conductive mesh layer side)
An antiglare layer was formed on the surface of the electromagnetic wave shielding sheet on the conductive mesh layer side. Specifically, first, as an ionizing radiation curable resin, 70 parts by mass of pentaerythritol triacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., refractive index 1.49) and 30 parts by mass of isocyanuric acid EO-modified diacrylate (Toago) 10.0 parts by mass of Synthetic Co., Ltd., refractive index 1.51), acrylic polymer (Mitsubishi Rayon Co., Ltd., molecular weight: 75,000), 5.0 of the trade name Irgacure 184 as a photocuring initiator In addition, 15.0 parts by mass of styrene beads (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd., particle size 3.5 μm, refractive index) as an ultraviolet curable resin blended with parts by mass (Ciba Gaigi Co., Ltd.) 1.60), 0.01 part by mass (made by The Inktec Co., Ltd.) as a trade name “10-28” as a leveling agent, 127.5 parts by mass of toluene, and 54.6 parts by mass of cyclohexanone, And a coating solution was thoroughly mixed. This coating solution was filtered through a polypropylene filter having a pore size of 30 μm to prepare a coating solution for forming an antiglare layer. Next, the coating solution is applied on the surface of the electromagnetic shielding sheet on the side of the conductive mesh layer so as to have a film thickness of 10 μm, and then heated and dried in an oven at 50 ° C., and UV is applied in an N 2 atmosphere. Using an H bulb of an irradiation apparatus (Fusion UV System Japan Co., Ltd.) as a light source, it was cured by ultraviolet irradiation (integrated light amount 200 mj) to form an antiglare layer.

(粘着剤層の形成)
次に、上記防眩層形成済みで連続帯状の電磁波遮蔽シートの透明樹脂基材側の面に対して、各種光吸収剤を添加した粘着剤層を形成した。アクリル系粘着剤(綜研化学株式会社製、SKダイン2094)100重量部に対して、硬化剤(綜研化学株式会社製、E−5XM)0.25重量部、セシウム含有タングステン酸化物(Cs0.33WO)含有量18.5重量%懸濁液(住友金属鉱山(株)製、YMF−02;平均分散粒径800nm以下)1.32重量部、ネオン光吸収剤(山田化学株式会社製、TAP−2;テトラアザポルフィリン系色素)0.045重量部、色補正色素(日本化薬株式会社、KAYASET RED A2G)0.3重量部を各々添加し、充分分散させて粘着剤層組成物を調製した。
次に、上記積層体の導電性メッシュ層側の面に対して、ダイコーターにより乾燥時の厚み25μmになるように塗布し、風速5m/secのドライエアーが当たるオーブンにて100℃で1分間乾燥して粘着剤層を形成し、連続帯状の状態で複合フィルタを得た。尚、粘着剤層の面には、更に再剥離可能な離型フィルムを貼り合わせて保護した。
(Formation of adhesive layer)
Next, the adhesive layer which added various light absorbers was formed with respect to the surface at the side of the transparent resin base material of the above-mentioned continuous anti-glare sheet with the antiglare layer formed. For 100 parts by weight of acrylic adhesive (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd., SK Dyne 2094), 0.25 parts by weight of curing agent (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd., E-5XM), cesium-containing tungsten oxide (Cs 0. 33 WO 3 ) 18.5 wt% suspension (manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd., YMF-02; average dispersed particle size 800 nm or less) 1.32 parts by weight, neon light absorber (manufactured by Yamada Chemical Co., Ltd.) , TAP-2; tetraazaporphyrin-based dye) 0.045 parts by weight, and color correction dye (Nippon Kayaku Co., Ltd., KAYASET RED A2G) 0.3 parts by weight are added and dispersed sufficiently to form an adhesive layer composition. Was prepared.
Next, it apply | coats with respect to the surface at the side of the electroconductive mesh layer of the said laminated body so that it may become thickness 25micrometer at the time of drying with a die coater, and it is 100 degreeC for 1 minute in the oven which hits dry air with a wind speed of 5 m / sec. The pressure-sensitive adhesive layer was formed by drying, and a composite filter was obtained in a continuous belt-like state. The surface of the pressure-sensitive adhesive layer was further protected by attaching a releasable release film.

(PDPパネルへの貼合)
前記電磁波遮蔽シートの離型フィルムを剥がし、PDPパネルに直接貼合し、プラズマTVを得た。
(Lamination on PDP panel)
The release film of the electromagnetic wave shielding sheet was peeled off and directly bonded to a PDP panel to obtain a plasma TV.

<実施例3>
実施例1で作製した電磁波遮蔽シートの離型フィルムを剥がし、厚み2.5mmの青板ガラスに貼合し、PDPパネルの視聴者側にセットし、プラズマTVを得た。
<Example 3>
The release film of the electromagnetic wave shielding sheet produced in Example 1 was peeled off, bonded to a blue plate glass having a thickness of 2.5 mm, and set on the viewer side of the PDP panel to obtain a plasma TV.

<比較例1>
透明樹脂基材の一方の面に上記実施例1と同様に防眩層を積層し防眩フィルムを作製した。次に、上記実施例1で調製した粘着剤組成物を、防眩フィルムの透明樹脂基材面に塗布し風速5m/secのドライエアーが当たるオーブンにて100℃で1分間乾燥して粘着剤層を形成した。これを枚葉貼合機(サンテック製)を用いて、2.5mm厚のガラス板の一方の面に貼合した。
また、上記実施例1の電磁波遮蔽シートの透明樹脂基材側の面に、粘着剤TU−41A(巴川製紙所製)をラミネートし、先述の防眩フィルムを貼合したガラス板を表裏反転した上で、同様に当該ガラス板のもう一方の面に枚葉貼合機(サンテック製)を用いて貼合し、電磁波遮蔽シートの導電層がガラス板の外側を向く様に貼合した。これを、PDPパネルの視聴者側にセットし、プラズマTVを得た。
この比較例については透明樹脂基材を2枚使用する他、ガラス板に両面貼りするため工程数が増えて煩雑であった。
<Comparative Example 1>
An antiglare layer was laminated on one surface of the transparent resin substrate in the same manner as in Example 1 to prepare an antiglare film. Next, the pressure-sensitive adhesive composition prepared in Example 1 was applied to the transparent resin substrate surface of the antiglare film and dried at 100 ° C. for 1 minute in an oven exposed to dry air with a wind speed of 5 m / sec. A layer was formed. This was bonded to one surface of a 2.5 mm thick glass plate using a single wafer bonding machine (manufactured by Suntec).
Further, the adhesive TU-41A (manufactured by Yodogawa Paper Mill) was laminated on the surface of the electromagnetic wave shielding sheet of Example 1 on the side of the transparent resin substrate, and the glass plate on which the above-described antiglare film was bonded was reversed. Above, it bonded together so that the other surface of the said glass plate might be similarly stuck using the sheet | seat bonding machine (made by Suntec), and the electroconductive layer of an electromagnetic wave shielding sheet might face the outer side of a glass plate. This was set on the viewer side of the PDP panel to obtain a plasma TV.
About this comparative example, in addition to using two transparent resin base materials, since both sides were stuck on a glass plate, the number of processes increased and it was complicated.

本発明に係るディスプレイ用複合フィルタの一例を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically an example of the composite filter for a display which concerns on this invention. 本発明に係るディスプレイ用複合フィルタの他の一例を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically another example of the composite filter for a display which concerns on this invention. 図3Aは、本発明に用いられる電磁波遮蔽シートの一例を模式的に示した平面図である。FIG. 3A is a plan view schematically showing an example of an electromagnetic wave shielding sheet used in the present invention. 図3Bは、本発明に用いられる電磁波遮蔽シートの一例を模式的に示した断面図である。FIG. 3B is a cross-sectional view schematically showing an example of the electromagnetic wave shielding sheet used in the present invention. 図4Aは、本発明に係る導電体層の層構成の例を模式的に示した断面図である。FIG. 4A is a cross-sectional view schematically showing an example of a layer configuration of a conductor layer according to the present invention. 図4Bは、本発明に係る導電体層の層構成の他の一例を模式的に示した断面図である。FIG. 4B is a cross-sectional view schematically showing another example of the layer configuration of the conductor layer according to the present invention. 図4Cは、本発明に係る導電体層の層構成の他の一例を模式的に示した断面図である。FIG. 4C is a cross-sectional view schematically showing another example of the layer configuration of the conductor layer according to the present invention. 本発明に用いられる電磁波遮蔽シートのメッシュの一例を模式的に示した斜視図である。It is the perspective view which showed typically an example of the mesh of the electromagnetic wave shielding sheet used for this invention. 本発明に係る電磁波遮蔽シートの製造方法の一例を示したフローシートである。It is the flow sheet which showed an example of the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding sheet which concerns on this invention. 本発明に係る電磁波遮蔽シートの製造方法の他の一例を示したフローシートである。It is the flow sheet which showed another example of the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding sheet which concerns on this invention. 本発明の耐衝撃性試験をするのに用いられる衝撃試験装置を示す図である。It is a figure which shows the impact test apparatus used in performing the impact resistance test of this invention. 図9Aは、従来の電磁波遮蔽シートの導電体層の層構成の一例を模式的に示した断面図である。FIG. 9A is a cross-sectional view schematically showing an example of a layer configuration of a conductor layer of a conventional electromagnetic wave shielding sheet. 図9Bは、従来の電磁波遮蔽シートの使用方法の一例を模式的に示した図である。FIG. 9B is a diagram schematically illustrating an example of a method of using a conventional electromagnetic wave shielding sheet.

符号の説明Explanation of symbols

1 ディスプレイ用複合フィルタ
10 電磁波遮蔽シート
11 透明樹脂基材
13 黒化層
14 銅スパッタ層
15 銅メッキ層
16 導電性メッシュ層
18 下地層
20 粘着剤層
30 表面保護層
40 プラズマディスプレイ
50 観察者
101 メッシュ状領域
102 非メッシュ状領域
103 開口部
104A、104B ライン部
115 電磁波遮蔽シート
121 試験台
122 ガラス板
124 電磁石
125 鋼球
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Display composite filter 10 Electromagnetic wave shielding sheet 11 Transparent resin base material 13 Blackening layer 14 Copper sputter layer 15 Copper plating layer 16 Conductive mesh layer 18 Underlayer 20 Adhesive layer 30 Surface protective layer 40 Plasma display 50 Viewer 101 Mesh Area 102 Non-mesh area 103 Opening 104A, 104B Line 115 Electromagnetic wave shielding sheet 121 Test stand 122 Glass plate 124 Electromagnet 125 Steel ball

Claims (19)

透明樹脂基材の一方の面に、少なくとも、複数の開口部とこれを囲繞し区画するライン部を有する導電性メッシュ層を備えた電磁波遮蔽シートの、一方の面に粘着剤層と、他方の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層が形成され、
前記導電性メッシュ層は、導電体層と、該導電体層の少なくとも透明樹脂基材側に設けられた黒化層とを含む積層構造を有し、該黒化層は、ニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)であり、
前記粘着剤層は、一般式MxWyOz(但し、M元素は、H、He、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類元素、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Iのうちから選択される1種類以上の元素、Wはタングステン、Oは酸素、0.001≦x/y≦1.1、2.2≦z/y≦3.0)で表される複合タングステン酸化物微粒子を含有することを特徴とするディスプレイ用複合フィルタ。
On one surface of the transparent resin substrate, an electromagnetic wave shielding sheet having at least a plurality of openings and a conductive mesh layer having a line portion surrounding and partitioning the openings, an adhesive layer on one surface, and the other A surface protective layer having one or more functions selected from the group consisting of an antireflection function, an antiglare function, and a scratch resistance function is formed on the surface,
The conductive mesh layer has a laminated structure including a conductor layer and a blackened layer provided on at least the transparent resin substrate side of the conductor layer, and the blackened layer is formed of nickel, copper, and oxygen. A blackened layer (Ni-Cu-O blackened layer) made of an alloy containing
The pressure-sensitive adhesive layer has a general formula MxWyOz (where M element is H, He, alkali metal, alkaline earth metal, rare earth element, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni) , Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, B, F, P, S, Se, Br, Te, Ti, Nb , V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi, I, one or more elements, W is tungsten, O is oxygen, 0.001 ≦ x / y ≦ 1.1, A composite filter for a display comprising composite tungsten oxide fine particles represented by 2.2 ≦ z / y ≦ 3.0).
前記導電性メッシュ層は、周縁部の一部が露出していることを特徴とする、請求項1に記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The composite filter for display according to claim 1, wherein a part of a peripheral edge of the conductive mesh layer is exposed. 前記電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層側の面に、他の層を介さずに直接、複合タングステン酸化物微粒子を含有する前記粘着剤層が形成され、前記電磁波遮蔽シートの前記透明樹脂基材の導電性メッシュ層を有しない面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層が形成されており、且つ、前記電磁波遮蔽シートにおける前記導電性メッシュ層は、前記透明樹脂基材側の面が前記Ni−Cu−O黒化層を有していることを特徴とする、請求項1又は2に記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The pressure-sensitive adhesive layer containing composite tungsten oxide fine particles is formed directly on the surface of the electromagnetic wave shielding sheet on the conductive mesh layer side without any other layer, and the transparent resin base material of the electromagnetic wave shielding sheet A surface protective layer having at least one function selected from the group consisting of an antireflection function, an antiglare function, and an abrasion resistance function is formed on a surface that does not have a conductive mesh layer, and the electromagnetic wave shielding sheet The composite filter for display according to claim 1, wherein the surface of the conductive mesh layer in the transparent resin base material side has the Ni—Cu—O blackening layer. 前記電磁波遮蔽シートの導電性メッシュ層側の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層が形成され、前記電磁波遮蔽シートの前記透明樹脂基材の導電性メッシュ層を有しない他方の面に複合タングステン酸化物微粒子を含有する粘着剤層が形成されており、且つ、前記電磁波遮蔽シートにおける前記導電性メッシュ層は、少なくとも前記透明樹脂基材側と反対側の面が前記Ni−Cu−O黒化層を有していることを特徴とする、請求項1又は2に記載のディスプレイ用複合フィルタ。   A surface protective layer having at least one function selected from the group consisting of an antireflection function, an antiglare function, and a scratch resistance function is formed on the surface of the electromagnetic shielding sheet on the conductive mesh layer side, and the electromagnetic shielding sheet An adhesive layer containing composite tungsten oxide fine particles is formed on the other surface of the transparent resin substrate that does not have a conductive mesh layer, and the conductive mesh layer in the electromagnetic wave shielding sheet is at least 3. The composite filter for display according to claim 1, wherein the surface opposite to the transparent resin substrate side has the Ni—Cu—O blackening layer. 4. 前記透明樹脂基材、表面保護層、及び/又は粘着剤層は、紫外線吸収剤を含有することを特徴とする、請求項1乃至4のいずれかに記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The composite filter for display according to any one of claims 1 to 4, wherein the transparent resin substrate, the surface protective layer, and / or the pressure-sensitive adhesive layer contains an ultraviolet absorber. 前記粘着剤層は、ネオン光吸収剤、及び/又は色補正色素を含有することを特徴とする、請求項1乃至5のいずれかに記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The display-use composite filter according to claim 1, wherein the pressure-sensitive adhesive layer contains a neon light absorber and / or a color correction pigment. 前記複合タングステン酸化物微粒子の平均分散粒径が800nm以下であることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれかに記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The composite filter for display according to any one of claims 1 to 6, wherein an average dispersed particle size of the composite tungsten oxide fine particles is 800 nm or less. 前記複合タングステン酸化物微粒子が、六方晶、正方晶、立方晶のいずれか1種類以上の結晶構造を含むことを特徴とする、請求項1乃至7のいずれかに記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The composite filter for a display according to any one of claims 1 to 7, wherein the composite tungsten oxide fine particles include one or more kinds of crystal structures of hexagonal crystal, tetragonal crystal, and cubic crystal. 前記複合タングステン酸化物微粒子のM元素が、Cs(セシウム)元素であり、該複合タングステン酸化物微粒子が六方晶の結晶構造を有することを特徴とする、請求項1乃至8のいずれかに記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The element M in the composite tungsten oxide fine particles is a Cs (cesium) element, and the composite tungsten oxide fine particles have a hexagonal crystal structure. Composite filter for display. 前記複合タングステン酸化物微粒子の表面が、Si、Ti、Zr、Alから選択される1種類以上の元素を含有する酸化物で被覆されていることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれかに記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The surface of the composite tungsten oxide fine particles is coated with an oxide containing one or more elements selected from Si, Ti, Zr, and Al. A composite filter for display as described in 1. 前記導電性メッシュ層は、前記透明樹脂基材に近い側から、前記Ni−Cu−O黒化層、気相成膜により形成された金属薄膜の層、及び導電体としての金属層がこの順序で積層された積層構造を有することを特徴とする、請求項3に記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The conductive mesh layer is arranged in this order from the side close to the transparent resin substrate, the Ni—Cu—O blackening layer, the metal thin film layer formed by vapor deposition, and the metal layer as a conductor. The composite filter for a display according to claim 3, wherein the composite filter has a laminated structure laminated with each other. 前記導電性メッシュ層は、前記透明樹脂基材に近い側から、気相成膜により形成された金属薄膜の層、前記金属層、及び前記Ni−Cu−O黒化層がこの順序で積層された積層構造を有することを特徴とする、請求項4に記載のディスプレイ用複合フィルタ。   In the conductive mesh layer, the metal thin film layer formed by vapor deposition, the metal layer, and the Ni—Cu—O blackening layer are laminated in this order from the side close to the transparent resin substrate. The composite filter for display according to claim 4, wherein the composite filter has a laminated structure. 前記Ni−Cu−O黒化層は、気相成膜により形成された薄膜の層であることを特徴とする、請求項1乃至12のいずれかに記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The composite filter for display according to any one of claims 1 to 12, wherein the Ni-Cu-O blackening layer is a thin film layer formed by vapor deposition. 前記Ni−Cu−O黒化層の厚みが、80Å以上300Å以下であることを特徴とする、請求項1乃至13のいずれかに記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The composite filter for display according to any one of claims 1 to 13, wherein the Ni-Cu-O blackening layer has a thickness of 80 to 300 mm. 前記導電体層が銅メッキ層であることを特徴とする、請求項1乃至14のいずれかに記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The composite filter for display according to any one of claims 1 to 14, wherein the conductor layer is a copper plating layer. 前記銅メッキ層は、該銅メッキ層の表面に対して平行な結晶面の存在比をX線回折測定により特定された結晶面の面指数ピーク比で表したときに、(111)面強度に対する(200)面強度の比が50%以上であることを特徴とする、請求項15に記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The copper plating layer has a (111) plane strength when the abundance ratio of crystal planes parallel to the surface of the copper plating layer is expressed by a plane index peak ratio of crystal planes specified by X-ray diffraction measurement. The composite filter for display according to claim 15, wherein a ratio of (200) plane strength is 50% or more. 前記銅メッキ層は、該銅メッキ層の表面に対して平行な結晶面の存在比をX線回折測定により特定された結晶面の面指数ピーク比で表したときに、(111)面強度に対する(220)面強度の比が50%以上であることを特徴とする、請求項15に記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The copper plating layer has a (111) plane strength when the abundance ratio of crystal planes parallel to the surface of the copper plating layer is expressed by a plane index peak ratio of crystal planes specified by X-ray diffraction measurement. The composite filter for display according to claim 15, wherein the (220) surface intensity ratio is 50% or more. 前記銅メッキ層は、該銅メッキ層の表面に対して平行な結晶面の存在比をX線回折測定により特定された結晶面の面指数ピーク比で表したときに、(111)面強度に対する(200)面と(220)面の合計強度の比が70%以上であることを特徴とする、請求項15に記載のディスプレイ用複合フィルタ。   The copper plating layer has a (111) plane strength when the abundance ratio of crystal planes parallel to the surface of the copper plating layer is expressed by a plane index peak ratio of crystal planes specified by X-ray diffraction measurement. The composite filter for display according to claim 15, wherein the ratio of the total intensity of the (200) plane and the (220) plane is 70% or more. 透明樹脂基材の一方の面に、少なくとも、複数の開口部とこれを囲繞し区画するライン部を有する導電性メッシュ層を備えた電磁波遮蔽シートの、一方の面に粘着剤層と、他方の面に反射防止機能、防眩機能、及び耐擦傷機能よりなる群から選択される1種以上の機能を有する表面保護層が形成され、
前記導電性メッシュ層は、導電体としての金属層と、該金属層の少なくとも透明樹脂基材側に設けられた黒化層とを含む積層構造を有し、該黒化層は、ニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)であり、
前記粘着剤層は、一般式MxWyOz(但し、M元素は、H、He、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類元素、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Iのうちから選択される1種類以上の元素、Wはタングステン、Oは酸素、0.001≦x/y≦1.1、2.2≦z/y≦3.0)で表される複合タングステン酸化物微粒子を含有するディスプレイ用複合フィルタの製造方法であって、
前記透明樹脂基材に対し、前記透明樹脂基材の一方の面に、該金属層としての金属メッキ層を形成する工程、酸素ガス存在下でNi−Cu合金をターゲットとするスパッタによってニッケルと銅と酸素を含む合金からなる黒化層(Ni−Cu−O黒化層)を形成する工程、及び、該導電体層に含まれるべき他の層を形成する工程を所定の順序で行なって、金属メッキ層とNi−Cu−O黒化層とを含む積層構造を有する非メッシュ状の導電体層を形成した後、該導電体層を所定のメッシュ形状にエッチングする工程、表面保護層を形成する工程、及び粘着剤層を形成する工程を含むことを特徴とするディスプレイ用複合フィルタの製造方法。
On one surface of the transparent resin substrate, an electromagnetic wave shielding sheet having at least a plurality of openings and a conductive mesh layer having a line portion surrounding and partitioning the openings, an adhesive layer on one surface, and the other A surface protective layer having one or more functions selected from the group consisting of an antireflection function, an antiglare function, and a scratch resistance function is formed on the surface,
The conductive mesh layer has a laminated structure including a metal layer as a conductor and a blackened layer provided on at least the transparent resin substrate side of the metal layer, and the blackened layer is made of nickel and copper. And a blackening layer (Ni-Cu-O blackening layer) made of an alloy containing oxygen,
The pressure-sensitive adhesive layer has a general formula MxWyOz (where M element is H, He, alkali metal, alkaline earth metal, rare earth element, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni) , Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, B, F, P, S, Se, Br, Te, Ti, Nb , V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi, I, one or more elements, W is tungsten, O is oxygen, 0.001 ≦ x / y ≦ 1.1, 2.2 ≦ z / y ≦ 3.0), which is a method for producing a composite filter for display containing composite tungsten oxide fine particles,
A step of forming a metal plating layer as the metal layer on one surface of the transparent resin base material with respect to the transparent resin base material, nickel and copper by sputtering with a Ni—Cu alloy target in the presence of oxygen gas And a step of forming a blackening layer (Ni-Cu-O blackening layer) made of an alloy containing oxygen and a step of forming another layer to be included in the conductor layer in a predetermined order, After forming a non-mesh conductor layer having a laminated structure including a metal plating layer and a Ni—Cu—O blackening layer, etching the conductor layer into a predetermined mesh shape, forming a surface protective layer The manufacturing method of the composite filter for a display characterized by including the process of forming and the process of forming an adhesive layer.
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