JP2005173195A - 光モジュール及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 光ファイバと、波長光を受光する受光素子との光結合を効率良くさせる光モジュールおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 上下斜め方向に延びる溝が形成された誘電体基板と、前記溝の上方に空間をもって端面１ｃ，１ｄが向き合わされて配置される光ファイバ１ａ，１ｂと、光硬化性樹脂４により前記溝に所定角度で固定され、特定の波長光λ₁以外の波長光λ₂を反射させる誘電体多層膜フィルタ２とを有し、光ファイバ１ａ，１ｂの端面１ｃ，１ｄに波長光λ₁，λ₂を収斂させるレンズ９をそれぞれ設け、レンズ９を通った波長光λ₁，λ₂を収斂させて伝搬させ、誘電体多層膜フィルタ２により反射させた波長光λ₂を受光素子で光結合させるようにした。
【選択図】 図２

Description

本発明は、光モジュール及びその製造方法に関し、例えば、ユビキタス通信をはじめとする情報通信処理装置などに適用されるものである。

インターネットの普及により、電話局と一般家庭との間に光ファイバを配設して双方向の高速通信を可能にする通信システムの導入が活発化しつつある。このような通信システムでは、波長の異なる信号を送信用信号及び受信用信号として用い、１本の光ファイバで双方向の通信が可能となっている。受信用信号の光波長と送信用信号の光波長とを分ける光モジュールは、局舎や家庭内に設置される。光モジュールでは、受信用信号を電気信号に変換し、送信用信号を局側まで光ファイバを通じて伝送するように構成されている。具体的には、光ファイバを横断するようにフィルタが設けられ、このフィルタにより波長の異なる信号の１方を屈折させ他方の信号を透過させることにより、波長の異なる信号を分けている（下記特許文献１、下記非特許文献１参照）。

図５及び図６に示す様に、従来の光モジュール１００は、上下斜め方向に延びる溝１０７と溝１０７と直交する方向に延び光ファイバを配置するＶ状の溝（以下Ｖ溝と略す）１０３ｂとが上面に形成された誘電体基板１０３と、溝１０７の上方に空間をもって端面１０１ｃ，１０１ｄが向き合わされて、誘電体基板１０３のＶ溝１０３ｂ上に搭載される２つの光ファイバ１０１ａ，１０１ｂと、溝１０７に配置され、１．３μｍ波長光λ₁₀₁以外の波長光、例えば１．５５μｍ波長光λ₁₀₂を反射する誘電体多層膜フィルタ１０２と、誘電体多層膜フィルタ１０２により反射された波長光λ₁₀₂を受光領域１０６で受光するように配置された面型受光素子１０５とを有する。誘電体多層膜フィルタ１０２は、光の照射により硬化する光硬化性樹脂１０４で溝１０７に固定される。

上り信号光である１．３μｍ波長光λ₁₀₁が一方側に配置される光ファイバ１０１ａに入射されたとき、波長光λ₁₀₁は光硬化性樹脂１０４、誘電体多層膜フィルタ１０２、光硬化性樹脂１０４を透過して、他方側に配置され、受け側である光ファイバ１０１ｂに光結合し、局側（図示せず）へ伝送される。
また、局側から伝送された下り信号光である１．５５μｍ波長光λ₁₀₂が他方側に配置される光ファイバ１０１ｂに入射されたとき、波長光λ₁₀₂は誘電体多層膜フィルタ１０２で反射して光ファイバ１０１ｂから跳ね上げられ、面型受光素子１０５の受光領域１０６で光結合し、面型受光素子１０５の先に接続される家庭などへ伝送される。よって、家庭などでインターネットブラウジング情報などを受信することができる。

特開２００３−２２２７５５号公報 山口章他、「樹脂パッケージを用いた小型・高信頼性光アクセスデバイス」、平成１４年度第５回ＯＥＩＣ光コネクション技術懇談会 講演論文 平成１４年１２月１７日開催

家庭内・外で取り扱われるデータ量は、ユビキタス通信の普及により、増加の一途をたどっている。これからも明らかなように、家庭と電話局との間に配設される光ファイバ中を伝送するデータ量も増加するので、光ファイバ中を伝送するデータの転送速度を高速化することが必要不可欠となってきている。
また、メディアコンバータをはじめとする光モジュールの価格は、市場競争もあいまって、低廉化の要求が益々高まっている。
しかし、低廉化を満たす技術であっても従来の機器構成を変更する必要があるときには、家庭内及び局舎内においてこの機器が配置されるスペースの問題、及び変更による工事に伴う工事費の問題などがあり、一旦普及した機器構成の更改を阻む要因となる。

一方、図５及び図６に示す様に、従来の機器構成では誘電体多層膜フィルタ１０２によって反射される波長光λ₁₀₂は、光硬化性樹脂１０４、光ファイバ１０１ｂのクラッド１０１ｂ₂、及び空気層を経て面型受光素子１０５と光結合する。このように、波長光λ₁₀₂は種々の媒体を通って伝搬すると共に、波長光λ₁₀₂の伝搬距離が長くなるため、面型受光素子１０５と光結合するまでに、光ファイバ１０１ｂの端面１０１ｄから出射されてなる波長光λ₁₀₂の出射ビームが広がり、高速化に適した小さな受光領域を持つ面型受光素子と光結合することが困難になってしまい、高速化を阻む結果となる。

出射ビームの広がりを抑えて、この出射ビームを収斂させるためには、レンズを光ファイバ１０１ｂのクラッド１０１ｂ₂の受光面側上部、即ち誘電体多層膜フィルタ１０２によって反射されてなる光行路における光ファイバ１０１ｂのクラッド１０１ｂ₂と面型受光素子１０５との間に搭載する構成となる。このような構成とした場合には、レンズを搭載するスペースを設ける必要があるため、従来の機器構成を変更しなければならない。さらに、レンズ部品のアライメント（光軸）を調整するための調整費用及びレンズ部品単体の部品コストなどが増えるので、価格の低減を阻む要因となる。

このようなことから、本発明は、光ファイバと、波長光を受光する受光素子との光結合を効率良くさせる光モジュールおよびその製造方法を提供することを目的としてなされたものである。

上述した課題を解決する第１の発明に係る光モジュールは、空間をもって端面同士が向き合わされて配置される２つの光ファイバと、光硬化性樹脂により前記空間に所定の角度で固定され、特定の波長光以外の波長光を反射する光反射手段とを有し、前記光ファイバの端面に波長光を収斂させるレンズをそれぞれ設けたことを特徴とする。

上述した課題を解決する第２の発明に係る光モジュールは、第１の発明に記載される光モジュールにおいて、前記光硬化性樹脂は、紫外光が照射され硬化してなることを特徴とする。

上述した課題を解決する第３の発明に係る光モジュールは、第１の発明又は第２の発明に記載される光モジュールにおいて、前記光信号反射手段が誘電体多層膜フィルタであることを特徴とする。

上述した課題を解決する第４の発明に係る光モジュールは、２つの光ファイバと、上下斜め方向に延びる溝が上面に設けられ、当該溝の上方に空間をもって、前記２つの光ファイバの端面同士を向き合わせて搭載する誘電体基板と、前記誘電体基板に搭載された前記光ファイバの位置決めを行うファイバガイドと、前記溝に挿入され、光硬化性樹脂により当該溝に固定され、特定の波長光以外の波長光を反射する誘電体多層膜フィルタとを有し、前記光ファイバの端面に波長光を収斂させるレンズをそれぞれ設けたことを特徴とする。

上述した課題を解決する第５の発明に係る光モジュールの製造方法は、空間をもって端面同士を向き合わせて２つの光ファイバを配置し、特定の波長光以外の波長光を反射する光反射手段を前記空間に所定の角度で配置し、前記光ファイバと前記光反射手段との間に光硬化性樹脂を入れた後、前記光硬化性樹脂を硬化させる光を前記光ファイバに入射して、前記光ファイバの端面に前記光硬化性樹脂によるレンズをそれぞれ形成することを特徴とする。

上述した課題を解決する第６の発明に係る光モジュールの製造方法は、第５の発明に記載される光モジュールの製造方法において、前記光硬化性樹脂を硬化させる光は、紫外光であることを特徴とする。

第１の発明に係る光モジュールによれば、空間をもって端面同士が向き合わされて配置される２つの光ファイバと、光硬化性樹脂により前記空間に所定の角度で固定され、特定の波長光以外の波長光を反射する光反射手段とを有し、前記光ファイバの端面に波長光を収斂させるレンズをそれぞれ設けたことにより、前記光ファイバの端面から前記レンズを通った波長光は収斂され、前記波長光の広がり角を抑制して、コリメートビーム形態で伝搬するので、光ファイバと、前記光反射手段により反射された波長光を受光する受光素子との光結合を効率良くすることができる。

第２の発明に係る光モジュールによれば、第１の発明に記載される光モジュールにおいて、前記光硬化性樹脂は、紫外光が照射され硬化してなることにより、前記光ファイバに前記紫外光を入射し、前記光硬化性樹脂を硬化させて、前記光ファイバの端面にレンズを形成させることができるので、前記光ファイバに対し前記レンズの光軸の位置決めを行う必要が無く、また、前記光ファイバの端面と前記レンズの端面とを高効率で結合させることができるので、安価に製造することができる。

第３の発明に係る光モジュールによれば、第１の発明又は第２の発明に記載される光モジュールにおいて、前記光信号反射手段が誘電体多層膜フィルタであることにより、透過させる波長光に合わせて容易に製造することができるので、製造コストを抑制することができる。

第４の発明に係る光モジュールによれば、２つの光ファイバと、上下斜め方向に延びる溝が上面に設けられ、当該溝の上方に空間をもって、前記２つの光ファイバの端面同士を向き合わせて搭載する誘電体基板と、前記誘電体基板に搭載された前記光ファイバの位置決めを行うファイバガイドと、前記溝に挿入され、光硬化性樹脂により当該溝に固定され、特定の波長光以外の波長光を反射する誘電体多層膜フィルタとを有し、前記光ファイバの端面に波長光を収斂させるレンズをそれぞれ設けたことにより、前記光ファイバの端面から前記レンズを通った波長光は収斂され、前記波長光の広がり角を抑制して、コリメートビーム形態で伝搬するので、光ファイバと、前記誘電体多層膜フィルタにより反射された波長光を受光する受光素子との光結合を効率良くすることができる。

第５の発明に係る光モジュールの製造方法によれば、空間をもって端面同士を向き合わせて２つの光ファイバを配置し、特定の波長光以外の波長光を反射する光反射手段を前記空間に配置し、前記光ファイバと前記光反射手段との間に光硬化性樹脂を入れた後、前記光硬化性樹脂を硬化させる光を前記光ファイバに入射して、前記光ファイバの端面に前記光硬化性樹脂によるレンズをそれぞれ形成することにより、前記光ファイバに対し前記レンズの光軸の位置決めを行う必要が無く、前記光ファイバの端面と前記レンズの端面とを高効率で結合させることができるので、安価に製造することができる。

第６の発明に係る光モジュールの製造方法によれば、第５の発明に記載される光モジュールの製造方法において、前記光硬化性樹脂を硬化させる光は、紫外光であることにより、前記光ファイバに前記紫外光を入射し、前記光硬化性樹脂を硬化させて、前記光ファイバの端面にレンズを形成させることができるので、前記光ファイバに対し前記レンズの光軸の位置決めを行う必要が無く、また、前記光ファイバの端面と前記レンズの端面とを高効率で結合させることができるので、安価に製造することができる。

以下に、本発明を実施するための最良の形態について図を用いて説明する。なお、本発明はこの形態に限定されるものではない。

図１は、本発明の一実施形態に係る光モジュールの斜視図、図２は、本発明の一実施形態に係る光モジュールの要部拡大平面図、図３は、本発明の一実施形態に係る光モジュールの製造工程図を示す。図４は、本発明の一実施形態に係る光モジュールの解析結果を示し、（ａ）はその解析座標、（ｂ）はその屈折率差の分布、（ｃ）は１．５５μｍ波長光を伝搬させたときの光強度の分布図である。なお、図４では、縦軸ｚに光ファイバの端面からの距離、横軸ｘに光ファイバの端部の位置座標を示す。横軸ｘには、光ファイバのコアの中心位置を０μｍとし、中心位置から一側側に＋１０μｍ、中心位置から他側側に−１０μｍの範囲が示される。

図１に示す様に、本発明の一実施形態に係る光モジュール２０は、上面３ａに上下斜め方向に延びる溝７と、溝７と直交する方向に延び光ファイバを配置するＶ状の溝（以下Ｖ溝と略す）３ｂとが形成された誘電体基板３を有する。溝７の上方に空間１１（図３（ａ）参照）をもって端面１ｃ，１ｄ（図２参照）が向き合わされた２つの光ファイバ１ａ，１ｂは、誘電体基板３のＶ溝３ｂ上に搭載される。特定の波長光以外の波長光を反射する光反射手段である誘電体多層膜フィルタ（以下、光フィルタと略す）２は、空間１１を通って溝７に配置される。誘電体基板３上で各光ファイバ１ａ，１ｂのコアの位置を決めるファイバガイド８は、光ファイバ１ａ，１ｂの端面１ｃ，１ｄの近傍に、且つ光ファイバ１ａ，１ｂの長手方向に沿って配置される。光フィルタ２により反射された波長光を受光領域６で受光するように、面型受光素子５は配置される。紫外光の照射により硬化する光硬化性樹脂４で、光フィルタ２は溝７内に固定される。図２に示す様に、光ファイバ１ａ，１ｂの端面１ｃ，１ｄにレンズ９がそれぞれ設けられる。なお、光ファイバ１ａ，１ｂは、垂直方向に平面となる端面１ｃ，１ｄ（図３参照）を有する。

光フィルタ２は、図２に示す様に、１．３μｍ波長光λ₁を透過し、１．５５μｍ波長光λ₂など波長光λ₁以外の波長光を反射する。ファイバガイド８は、誘電体基板３のＶ溝３ｂに光ファイバ１ａ，１ｂのコアを精度良く配置できるものである。なお、光ファイバ１ａ，１ｂの端面１ｃ，１ｄは、溝７の側壁７ａの延長上を含む溝７上の空間１１内に配置すれば良い。光ファイバ１ａは、図４（ａ）に示すように、軸中心に位置し、光が伝送されるコア１ａ₁と、その周りを覆うクラッド１ａ₂とを有する。なお、光ファイバ１ｂも、光ファイバ１ａと同様な構造を有し、軸中心に位置し、光が伝送されるコア１ｂ₁（図３参照）と、その周りを覆うクラッド１ｂ₂（図３参照）とを有する。Ｖ溝３ｂに光ファイバ１ａ，１ｂを配置すると、光ファイバ１ａ，１ｂのコア１ａ₁，１ｂ₁の位置が、誘電体基板３の上面３ａより下方となる。

１．３μｍ波長光λ₁が一方側に配置される光ファイバ１ａに入射されるとき、波長光λ₁はレンズ９によって収斂され、光硬化性樹脂４、光フィルタ２、光硬化性樹脂４、及びレンズ９を伝搬して、他方側に配置される光ファイバ１ｂに入射される。よって、一方側に配置される光ファイバ１ａと他方側に配置される光ファイバ１ｂとが光結合される。

１．５５μｍ波長光λ₂が他方側に配置される光ファイバ１ｂに入射されるとき、波長光λ₂はレンズ９によって収斂され、光硬化性樹脂４を伝搬し、光フィルタ２で反射して、光硬化性樹脂４、光ファイバ１ｂのクラッド１ｂ₂、空気層を伝搬し、面型受光素子５の受光領域６に入射される。よって、他方側に配置される光ファイバ１ｂと面型受光素子５とが光結合される。

したがって、レンズ９から出射される出射ビームは、収斂されているので、受光素子５と高効率に光結合できる。また、受光領域が小さく、広帯域の受光素子に適用することがきるようになる。ファイバガイド８を用いて光ファイバ１ａ，１ｂを誘電体基板３に搭載しているため、光ファイバ１ａ，１ｂのコア１ａ₁，１ｂ₁を容易に位置決めできる。

以下に、本発明に係る光モジュールの製造工程について、図３を用いて説明する。

最初に、図３（ａ）に示す様に、誘電体基板３の上面３ａを例えばダイシングソー（図示せず）、反応性イオンビームエッチング（図示せず）などで加工して、この上面３ａに上下斜め方向に延びる溝７を形成する。この溝７に光フィルタ２が配置されることにより、光フィルタ２が誘電体基板３上に所定の角度で配置される。次に、溝７の上方に空間１１をもって端面１ｃ，１ｄを向き合わせ、誘電体基板３のＶ溝３ｂ上に光ファイバ１ａ，１ｂが搭載され、図示しないファイバガイドにより位置決め固定される。Ｖ溝３ｂ上に光ファイバ１ａ，１ｂを搭載することによって、光ファイバ１ａ，１ｂのコア１ｃ，１ｄの位置が誘電体基板３の上面３ａ（図１参照）より下方となる。

次に、図３（ｂ）に示す様に、光フィルタ２が誘電体基板３の溝７に挿入される。次に、誘電体基板３の溝７の中に光ファイバ１ａ，１ｂのコア１ａ₁，１ｂ₁に屈折率１．４８である光硬化性樹脂４が滴下される（入れられる）。この滴下により、図３（ｃ）に示す様に、光ファイバ１ａ，１ｂの端面１ｃ，１ｄと光フィルタ２との間が光硬化性樹脂４で満たされる。

次に、図３（ｃ）に示す様に、光ファイバ１ａ，１ｂのコア１ａ₁，１ｂ₁を通して、紫外光Ａ（波長：４８８ｎｍ）１０×１０^-6ｍＪが光硬化性樹脂４にそれぞれ照射される。この照射により、光ファイバ１ａ，１ｂの端面１ｃ，１ｄに、光フィルタ２側に凸となるレンズ９が形成される。

次に、図３（ｄ）に示す様に、高圧水銀ランプ１０から紫外光Ｂ（波長：３５８ｎｍ）が光硬化性樹脂４全体に照射され、光硬化性樹脂４全体が硬化される。

図４（ａ）に示す光ファイバ１ａの解析座標における屈折率差Δｎは、図４（ｂ）に示す様に、光ファイバ１ａの端面１ｃから外側（図２における光フィルタ２側）に向って凸となる放物線状に分布する。放物線状に分布する屈折率差Δｎは０．００２毎に示され、最内側の屈折率差Δｎは０．００８であり、最外側の屈折率差Δｎは０．０００である。よって、光ファイバ１ａの端面１ｃ（図２参照）にレンズ状の屈折率変化構造が形成されていることが判る。
なお、図２に示される光ファイバ１ｂの端面１ｄ近傍における屈折率差も、上記光ファイバ１ａと同様に、光ファイバ１ｂの端面１ｄから外側に向って凸となる放物線状に分布する。よって、光ファイバ１ｂの端面１ｄにレンズ状の屈折率変化構造が形成される。

１．５５μｍ波長光λ₂が光ファイバの端面から出射されるとき、図４（ａ）に示す光ファイバ１ａの解析座標における１．５５μｍ波長光λ₂の光強度は、図４（ｃ）に示す様に、略直線状に分布する。光強度は０．１毎に示され、最内側の光強度は０．４であり、最外側の光強度は０．１である。よって、波長光λ₂は光ファイバ１ａの端面１ｃからすぐに広がるのではなく、広がり角の無い収斂されたコリメートビーム形態で伝搬されることが判る。
なお、図２に示される光ファイバ１ｂの端面１ｄから１．５５μｍ波長光λ₂が出射されるときにも、上記光ファイバ１ａと同様に１．５５μｍ波長光λ₂の光強度は略直線状に分布し、波長光λ₂は光ファイバ１ｂの端面１ｄからすぐに広がるのではなく、広がり角の無い収斂されたコリメートビーム形態で伝搬される。
よって、この様な形態で波長光λ₂が伝搬されるので、光ファイバ１ｂのクラッド１ｂ₂、空気層を経て光ファイバ１ｂと面型受光素子５とを効率良く光結合することができる。

したがって、本発明の一実施形態に係る光モジュールによれば、光ファイバ１ａ，１ｂの端面１ｃ，１ｄから出射され、レンズ９を通った波長光は収斂され、この波長光の広がり角を抑制してコリメートビーム形態で伝搬するので、光ファイバ１ｂと面型受光素子５とを効率良く光結合できるようになる。また、受光領域の面積が小さく、広帯域な面型受光素子に適用することができるようになる。また、光モジュールの構成を大規模に変更することなく、高速且つ安価に製造することができる。さらに、光ファイバ１ａ，１ｂに対しレンズ９の光軸の位置あわせを行う必要が無く、また、光ファイバ１ａ，１ｂの端面１ｃ，１ｄとレンズ９の端面とを高効率で結合させることができるので、安価に製造することができる。

以上、本発明の一実施形態に係る光モジュールでは光反射手段として光フィルタ２を用いて説明したが、光反射手段として金属ミラー等、他の光学薄膜部品を用いても良く、上記と同様な作用効果を奏する。また、光ファイバとしてプラスチック光ファイバを用いても良い。この光ファイバの材料であるプラスチック自体は紫外光を吸収するので、可視光の照射により硬化する可視光硬化性樹脂を用いて光ファイバの端面にレンズを形成する。この場合にも、上記と同様な作用効果を奏する。

また、光反射手段として１．３μｍ波長光λ₁を透過し、１．５５μｍ波長光λ₂を反射する光フィルタ２を用いて説明したが、透過させる波長光に合わせて光フィルタを変えても良く、この光フィルタを容易に製造することができるので、製造コストを抑制することができる。

なお、上記では、垂直方向に平面となる端面１ｃ、１ｄを有する光ファイバ１ａ，１ｂを用いて説明したが、光硬化性樹脂４が光ファイバ１ａ，１ｂのコア１ａ₁，１ｂ₁と同一な屈折率を有するときには、光ファイバ１ａ，１ｂの端面１ｃ，１ｄを誘電体基板３に設けられた溝７と同じ角度をもつように傾斜させても良い。このような実施形態を有する光モジュールにおいても、上記光モジュール２０と同様に、光ファイバの端面に設けられたレンズから出射し、光フィルタを透過する波長光は、端面が向き合わされて配置される光ファイバと光結合する。また、光ファイバの端面に設けられたレンズから出射し、光フィルタにより反射した波長光は、受光素子と光結合する。このような場合には、誘電体基板の上面に光ファイバを配置し、上方から上下斜め方向に光ファイバを切断し、そのまま前記誘電体基板の上面に溝を形成することができるので、作業の簡易化を図ることができる。

本発明の一実施形態に係る光モジュールの斜視図である。 本発明の一実施形態に係る光モジュールの要部拡大平面図である。 本発明の一実施形態に係る光モジュールの製造工程図である。 本発明の一実施形態に係る光モジュールの解析結果を示し、（ａ）はその解析座標、（ｂ）はその屈折率差の分布、（ｃ）は１．５５μｍ波長光を伝搬させたときの光強度の分布図である。 従来の光モジュールの側面図である。 図５におけるＶＩ−ＶＩ矢視断面図である。

符号の説明

１ 光ファイバ
２ 誘電体多層膜フィルタ
３ 誘電体基板
４ 光硬化性樹脂
５ 面型受光素子
７ 溝
９ レンズ

Claims (6)

1. 空間をもって端面同士が向き合わされて配置される２つの光ファイバと、
   光硬化性樹脂により前記空間に所定の角度で固定され、特定の波長光以外の波長光を反射する光反射手段とを有し、
   前記光ファイバの端面に波長光を収斂させるレンズをそれぞれ設けたことを特徴とする光モジュール。
2. 前記光硬化性樹脂は、紫外光が照射され硬化してなることを特徴とする請求項１に記載される光モジュール。
3. 前記光信号反射手段が誘電体多層膜フィルタであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載される光モジュール。
4. ２つの光ファイバと、
   上下斜め方向に延びる溝が上面に設けられ、当該溝の上方に空間をもって、前記２つの光ファイバの端面同士を向き合わせて搭載する誘電体基板と、
   前記誘電体基板に搭載された前記光ファイバの位置決めを行うファイバガイドと、
   前記溝に挿入され、光硬化性樹脂により当該溝に固定され、特定の波長光以外の波長光を反射する誘電体多層膜フィルタとを有し、
   前記光ファイバの端面に波長光を収斂させるレンズをそれぞれ設けたことを特徴とする光モジュール。
5. 空間をもって端面同士を向き合わせて２つの光ファイバを配置し、
   特定の波長光以外の波長光を反射する光反射手段を前記空間に所定の角度で配置し、
   前記光ファイバと前記光反射手段との間に光硬化性樹脂を入れた後、前記光硬化性樹脂を硬化させる光を前記光ファイバに入射して、前記光ファイバの端面に前記光硬化性樹脂によるレンズをそれぞれ形成することを特徴とする光モジュールの製造方法。
6. 前記光硬化性樹脂を硬化させる光は、紫外光であることを特徴とする請求項５に記載される光モジュールの製造方法。

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