JP2005158771A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電極端子と半田からなる外部端子との接合強度を向上させることによって信頼性に優れ、かつ放熱性に優れた半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体素子2と、該半導体素子2が搭載されるダイパッド1と、前記半導体素子2に電気的に接続される接続部を有する複数のCu合金からなる電極端子5と、該電極端子5の接続部を有する面の裏面が露出するように、前記半導体素子2とダイパッド1と電極端子5とを封止する樹脂封止体7と露出した電極端子5部分に形成された半田からなる外部端子8とを備える。樹脂封止体7から露出する電極端子5にはパラジウムメッキ6を施し、パラジウムメッキ6を介して半田からなる外部端子8を形成する。
【選択図】図1
【解決手段】半導体素子2と、該半導体素子2が搭載されるダイパッド1と、前記半導体素子2に電気的に接続される接続部を有する複数のCu合金からなる電極端子5と、該電極端子5の接続部を有する面の裏面が露出するように、前記半導体素子2とダイパッド1と電極端子5とを封止する樹脂封止体7と露出した電極端子5部分に形成された半田からなる外部端子8とを備える。樹脂封止体7から露出する電極端子5にはパラジウムメッキ6を施し、パラジウムメッキ6を介して半田からなる外部端子8を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、面実装用の樹脂封止型の半導体装置、およびその半導体装置の製造方法に関するものである。
近年、電子機器の小型化,高密度化に対応するために、半導体装置の小型化が進んでいる。小型の樹脂封止型半導体装置として、実質的に片面封止されたQFN(Quad Flat Non-leaded Package)やSON(Small Outline Non-leaded Package)と称される半導体装置が開発されている。また、これら小型の樹脂封止型半導体装置において基板実装後の線膨張差によるストレスに対して信頼性を向上させ、耐用年数を向上させるために、電極端子上に半田からなる外部電極を形成した半導体装置が提案されている。
以下、そのような従来例として、特許文献1に開示されている半導体装置について、図7を参照して説明する。図7は、従来のQFN型(SON型)の樹脂封止型半導体装置の電極端子に半田からなる外部端子を形成したものであり、概略的な構成を示す断面図である。
図7において、半導体装置は、ダイパッド1に接着剤3が塗布され、その上に半導体素子2が固着されている。ダイパッド1の周辺には複数の電極端子5が配置され電極端子5の上面と半導体素子2とは金属細線4により、それぞれ電気的に接続されている。ダイパッド1,半導体素子2,接着剤3,金属細線4および電極端子5は、樹脂封止体7で封止されている。
前記ダイパッド1は、その裏面がエッチング加工により半分の肉厚となって樹脂封止体7に埋没している。電極端子5の裏面は樹脂封止体7の底面より露出している。電極端子5の接続部分にはAgメッキ15が施されており、裏面には半田からなる外部端子8が形成されている。
このようにQFN型(SON型)の半導体装置に半田からなる外部電極を形成することにより、基板実装後の線膨張差によるストレスに対して信頼性を向上し、耐用年数を向上させた小型半導体装置の提供を可能としている。
特開平10−335566号公報
しかしながら、従来の半導体装置の構造では、電極端子の材料にCu合金を用いた場合、半導体装置の製造工程で加わる熱により電極端子表面に脆い酸化膜が形成され、半田との接合強度を低下させる。よって、高い放熱性を備えつつ、基板実装後の線膨張差によるストレスに対して信頼性を向上させ、耐用年数を向上させることは困難である。
本発明は、従来の前記問題点を解決するものであり、Cu合金からなる電極端子と半田からなる外部端子との接合強度を向上することにより、高い放熱性を備えつつ、基板実装後の線膨張差によるストレスに対して信頼性を向上させ、耐用年数を向上させる小型の半導体装置、およびその製造方法を提供することを目的とする。
前記目的を達成するため、本発明は、半導体素子と、前記半導体素子が搭載されたダイパッドと、前記半導体素子と電気的に接続された接続部を有する複数のCu合金からなる電極端子と、前記電極端子の前記接続部を有する面の裏面が露出するように、前記半導体素子と前記ダイパッドと前記電極端子とを封止する樹脂封止体とを備えた半導体装置であって、前記電極端子の露出部にパラジウム(Pd)メッキを施し、これを介して半田からなる外部端子を形成するようにしたものである。
本発明によれば、Cu合金からなる電極端子の露出部にはPdメッキが施されているため、半導体装置の製造工程で加わる熱による電極端子表面の脆い酸化膜の形成を防止でき、半田からなる外部端子との接合強度を向上させることができるので、高い放熱性を備えつつ、基板実装後の線膨張差によるストレスに対して信頼性を向上させ、耐用年数を向上させた小型の半導体装置を提供することができる。
以下、本発明の半導体装置およびその製造方法の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図1(a)〜(c)を参照して本発明の実施形態1における半導体装置について説明する。図1(a)は半導体装置の概略的な構成を示す平面図、図1(b)は半導体装置の断面図、図1(c)は半導体装置の背面図である。
実施形態1の半導体装置では、サポートリード9によって支持されたダイパッド1に接着剤3が塗布され、その上に半導体素子2が固着されている。ダイパッド1の周辺には複数のCu合金からなる電極端子5が配置されている。電極端子5は、その上面に半導体素子2と金属細線4により電気的に接続された接続部を有する。
ダイパッド1,半導体素子2,接着剤3,金属細線4および電極端子5は、樹脂封止体7で封止されている。樹脂封止体7は4辺形状の平板状に形成され、電極端子5の半導体素子2と接続された面の裏面のハーフエッチング加工が施されていない部分が、樹脂封止体7の底面より露出している。また、サポートリード9は、図1(c)から判るように、裏面にハーフエッチング加工が施されることにより、樹脂封止体7に埋没している。
電極端子5の表面にはPdメッキ6が施され、これを介して半田からなる外部端子8が形成されている。Pdメッキ6は、半導体装置の製造工程で加わる熱による脆い酸化膜の形成を防止するので、放熱性の高いCu合金を電極端子5として用いることができ、かつ半田からなる外部端子8との接合強度を向上させることができる。これにより、高い放熱性を備えつつ、基板実装後の線膨張差によるストレスに対して信頼性を向上させ、耐用年数を向上させることができる。
また、Pdメッキ6の下地にNiメッキを施すことで、リードフレーム素材主成分であるCuが半田中へ拡散するのを防止するため、より強固なSn(半田の成分)とNiとの合金を形成することができ、電極端子5と半田からなる外部端子8との接合強度を更に向上させることができる。また、最外層に薄いAuメッキを施すことにより、Pdの酸化を防止し、外部端子8となる半田との濡れ性が向上し、電極端子5と半田からなる外部端子との接合面積が安定するため、接合強度を安定させることができる。
樹脂封止体7から露出する電極端子5の形状を円形状とすることにより、さらに半田濡れ性を向上させることができ、かつ基板実装後の線膨張差によるストレスの集中を防止することができる。
図1(c)に示すように、更なる高放熱化を目的として、ダイパッド1の半導体素子2搭載面の裏面が樹脂封止体7から露出する構造としてもよい。また、図示しないが、ダイパッド1を支えるサポートリード9を屈曲させて、樹脂封止体7の底面からダイパッド1が露出しないように埋没させてもよい。
図2(a)〜(c)を参照して本発明の実施形態2における半導体装置について説明する。図2(a)は半導体装置の概略的な構成を示す平面図、図2(b)は半導体装置の断面図、図2(c)は半導体装置の背面図である。実施形態2の半導体装置は、実施形態1の装置と同様の基本構成を有するので、主に実施形態1との相違点について説明する。
実施形態1では、半導体素子2の裏面と電極端子5の表面の高さはほぼ同一である。これに対して本実施形態は、ダイパッド1の下面に凹部1aを形成すると共に、ダイパッド1の上面において前記凹部1aと中心が一致するように凸部1bが形成され、前記凸部1bに半導体素子2を搭載している。これにより、半導体素子2の裏面の高さは電極端子5の表面の高さより高くなり、基板実装後の線膨張差のストレスが大きくなる係る半導体素子2の外周部において、電極端子5との間の樹脂封止体7の体積を増加させることができるため、この部分での曲げ応力が緩和される。これにより、高い放熱性を備えつつ、実施形態1よりさらに基板実装後の線膨張差によるストレスに対して信頼性を向上させ、耐用年数を向上させることができる。
図3を参照して本発明の実施形態3における半導体装置について説明する。図3は概略的な構成を示す断面図である。この半導体装置は、実施形態1の装置と同様の基本構成を有するので、主に実施形態1との相違点について説明する。
実施形態1では、ダイパッド1に接着剤3が塗布され、その上に半導体素子2が固着されている。ダイパッド1の周辺には複数の電極端子5が配置されている。これに対して本実施形態は、半導体素子2の裏面に絶縁接着剤16が形成されており、絶縁接着剤16を介して半導体素子2がダイパッド1および電極端子5に固着されている。これにより、基板実装後の線膨張差のストレスが大きくなる係る半導体素子2の外周部において、剛性の低い絶縁接着剤16が基板実装後の線膨張差によるストレスに対して変形し、応力を緩和し、高い放熱性を備えつつ、実施形態1よりさらに基板実装後の線膨張差によるストレスに対して信頼性を向上させ、耐用年数を向上させることができる。
次に、図4を参照して本発明の半導体装置に用いるリードフレームを説明する。図4は概略的な構成を示す平面図である。
リードフレーム10は、サポートリード9によって支持されたダイパッド1と、その周辺に配置された電極端子5と、電極端子5およびサポートリード9を支持する内枠12と、内枠12と繋がってリードフレーム10の外形を成す外枠11と、外枠11に設けられた孔13とによって構成される。
図5(a)〜(c)を参照して本実施形態の半導体装置に用いるリードフレームを製造する工程を説明する。
図5(a)に示すように、リードフレーム10の素材を用意する。リードフレーム素材としては、0.1mm〜0.2mm程度の厚みで、比較的熱伝導が良好で強度の高いCu合金を使用する。熱伝導の良好な素材を使用することによって、ダイシング加工で発熱した熱を逃がし易く、また、強度の高い素材を用いることにより、ダイシング加工時のブレードへの目詰まりを防止することができる。
その後、図5(b)に示すように、リードフレーム素材に対して、エッチング加工によりダイパッド1,電極端子5などを形成する。
次に、図5(c)に示すように、ダイパッド1,電極端子5などにPdメッキ6を施す。Pdメッキ6は下地にNiメッキを施すことで、リードフレーム素材主成分であるCuが、後に電極端子5上に形成される半田からなる外部端子の半田中へ拡散するのを防止するため、より強固なSn(半田の成分)とNiとの合金を形成することができ、電極端子5と半田からなる外部端子との接合強度をさらに向上させることができる。また、最外層に薄いAuメッキを施すことによってPdの酸化を防止することにより、外部端子となる半田との濡れ性が向上し、電極端子5と半田からなる外部端子との接合面積が安定するので、接合強度を安定させることができる。この際、Niメッキ層の厚さは0.5μm〜2.0μm程度の厚さであれば、バリアメタルとしての効果と強固なSnとNiを形成させる効果を得ることができる。また、Pdメッキ層の厚さは0.005μm〜0.2μm程度の厚さでAuメッキ層の厚さが0.003μm〜0.01μm程度の厚さであれば、良好な耐酸化性を得ることができる。
次に、図5(d)に示すように、ダイパッド1の下面に凹部1aを形成すると共に、ダイパッド1の上面において前記凹部と中心が一致するように凸部1bを形成する。これにより、後にダイパッド1に搭載される半導体素子の裏面の高さは電極端子5の表面の高さより高くなり、基板実装後の線膨張差のストレスが大きくなる半導体素子の外周部において、電極端子5との間の樹脂封止体の体積を増加させることができ、この部分での曲げ応力が緩和される。なお、図5(d)の凹凸部を形成する工程は実施形態1,3では不要である。
次に、図5(e)に示すように、リードフレーム全体の裏面に熱可塑性などの接着剤と2層構造のポリイミドテープ(以下、テープと称す)14を貼り付ける。このテープ14は、樹脂封止する際に、電極端子5の裏面へ封止樹脂が洩れないようにするためのものである。
以上のようにして、本実施形態の半導体装置に用いるリードフレームを完成することができる。
次に、図6(a)〜(g)を参照して前記リードフレームを用いた本実施形態の半導体装置を製造する工程を説明する。図6(a)は接着剤を塗布する工程、図6(b)は半導体素子を搭載する工程、図6(c)は金属細線を接続する工程、図6(d)は樹脂封止する工程、図6(e)はリードフレーム裏面のテープを剥離する工程、図6(f)は半田からなる外部端子8を形成する工程、図6(g)は半導体装置を個別に分割する工程を各々示す。
まず、図6(a)に示すように、ダイパッド1の上にディスペンサ(図示せず)などを用いて接着剤3を塗布する。接着剤3は、一例として熱硬化性のエポキシ樹脂にAg粉を混合させた銀ペーストからなる。次に、図6(b)に示すように、接着剤3を塗布したダイパッド1上にコレット(図示せず)などを用いて半導体素子2を搭載した後、ヒートステージ(図示せず)上で加熱し、接着剤3を硬化させる。一例として、半導体素子2は0.1〜0.2mm程度の厚さのシリコン単結晶である。また、加熱条件は200〜250℃、30〜60秒程度である。なお、実施形態3の場合では、図6(a)の工程に代えて、あらかじめ半導体素子2の裏面に熱可塑性の接着剤(図示せず)が塗布されたものを用いる。熱硬化性の接着剤は、半導体素子2を個別に分離する際に使用するダイシングテープ(図示せず)上に形成されていたものが半導体素子2に転写されたものである。
次に、図6(c)に示すように、ダイパッド1上に固着された半導体素子2のボンディングパッド(図示せず)と電極端子5とを金属細線4を用いて電気的に接続する。ワイヤーボンド装置のヒートステージ(図示せず)には、真空孔が開いており、リードフレーム10裏面のテープ14を吸引固定する。また、リードフレーム10のボンディングエリア外周部を押さえ治具(図示せず)により固定した状態で、ワイヤーボンディングを実施する。一例として、金属細線4としては、直径20μm〜25μmのAuワイヤーを用いる。
その後、図6(d)に示すように、シリンダにより型締めされる180℃程度に加熱した封止金型(図示せず)を搭載したトランスファー装置により、複数の半導体装置を一括して樹脂封止する。リードフレームの裏面にはテープ14が貼り付けられているので、樹脂封止の際、電極端子5の裏面に封止樹脂が洩れることはない。封止樹脂が硬化して樹脂封止体7が形成された後、型開きされると共にトランスファー装置より脱装される。そして、オモリなどで加圧しながら硬化炉などで樹脂封止体7の本硬化を実施する。一例として、加圧力は1g/mm2程度である。
次に、図6(e)に示すように、封止成型体に200℃程度の熱を加えながらテープ14を剥離する。テープ14を剥離する場合、樹脂封止体7に対してできるだけ小さな角度で剥離を行うことで、剥離時の応力を抑制することができる。
その後、図6(f)に示すように、表面にパラジウムメッキ6が施された電極端子5上にフラックス(図示せず)を転写ピン(図示せず)などで一括転写し、半田ボールを前記フラックス上に搭載し、リフロー装置(図示せず)により加熱して半田ボールを溶融させてから常温に戻すことで電極端子5に接合され外部端子6を形成する。一例として半田ボール組成は3%〜4%のAgと1%未満のCuを含み、残りはSnで構成される。この他の半田ボールの組成としては、SnとPdで構成されたもの、SnとBiで構成されたもの、SnとZnで構成されたものなどがあり、いずれを用いてもよい。また、組成がSn−Ag−Cuの半田ボールを用いる場合、240℃程度の温度で10秒〜20秒程加熱すれば良好な接合を得ることができる。また、水溶性のフラックスを用いれば、70℃程度の温水でフラックスを除去することができる。
次に、図6(g)に示すように、ダイシング装置(図示せず)により個々の半導体装置に分割する。封止成型体を、リングに貼り付けたUVシート(図示せず)上に貼り付け固定し、ブレードにより切断する。ブレードとしては、例えば電鋳製で0.25mm〜0.3mm程度の厚みのものを用いる。
本発明は、小型でありながら電極端子と半田からなる外部端子との接合強度を向上させることで信頼性に優れており、かつ放熱性においても優れているため、情報通信機器あるいは家電機器などに用いられる半導体装置に用いて有用である。
1 ダイパッド
2 半導体素子
3 接着剤
4 金属細線
5 電極端子
6 パラジウムメッキ
7 樹脂封止体
8 外部端子
9 サポートリード
10 リードフレーム
11 外枠
12 内枠
13 孔
14 テープ
15 Agメッキ
16 絶縁接着剤
2 半導体素子
3 接着剤
4 金属細線
5 電極端子
6 パラジウムメッキ
7 樹脂封止体
8 外部端子
9 サポートリード
10 リードフレーム
11 外枠
12 内枠
13 孔
14 テープ
15 Agメッキ
16 絶縁接着剤
Claims (7)
- 半導体素子と、前記半導体素子が搭載されるダイパッドと、前記半導体素子と電気的に接続される接続部を有する複数の銅合金からなる電極端子と、前記電極端子の前記接続部を有する面の裏面が露出するように、前記半導体素子と前記ダイパッドと前記電極端子とを封止する樹脂封止体とを備えた半導体装置であって、
前記電極端子の露出部にパラジウムメッキ部を設け、前記パラジウムメッキ部を介して半田からなる外部端子を形成したことを特徴とする半導体装置。 - 前記パラジウムメッキを中間層として、ニッケル層と金層とを設けたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記電極端子の露出部を円形状にしたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記半導体素子と前記電極端子とを金属細線によって電気的に接続したことを特徴とする請求項1または3記載の半導体装置。
- 前記ダイパッドを前記樹脂封止体より露出させたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記ダイパッド下面に凹部を形成すると共に前記ダイパッドの上面において前記凹部と中心が一致するように凸部を形成し、前記凸部に半導体素子を搭載したことを特徴とする請求項1,3,4または5記載の半導体装置。
- ダイパッドと前記ダイパッドの周囲に配置された電極端子とを有するリードフレームを作製する工程と、前記ダイパッド上に半導体素子を搭載する工程と、前記半導体素子と前記電極端子とを電気的に接続する工程と、前記半導体素子と前記ダイパッドと前記電極端子とを樹脂封止する工程と、前記電極端子に半田からなる外部端子を形成する工程と、前記樹脂封止された前記半導体装置を前記リードフレームから分離する工程とを有する半導体装置の製造方法であって、
前記電極端子の少なくとも前記外部端子を形成する面にパラジウムメッキを施す工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003390559A JP2005158771A (ja) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | 半導体装置およびその製造方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007063042A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Hitachi Metals Ltd | セラミクス基板およびセラミクス基板を用いた電子部品 |
WO2013078753A1 (en) * | 2011-11-30 | 2013-06-06 | Jiangsu Changjiang Electronics Technology Co.Ltd | Barrel-plating quad flat no-lead(qfn) package structure and method for manufacturing the same |
JP2015072946A (ja) * | 2013-10-01 | 2015-04-16 | 大日本印刷株式会社 | リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置の製造方法 |
-
2003
- 2003-11-20 JP JP2003390559A patent/JP2005158771A/ja active Pending
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