JP2005146121A - 半導体封止用熱硬化性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】40℃においてずり速度5〔1/S〕と50〔1/S〕で測定される粘度(V)の比(V5/V50)が0.9〜1.1であり、
(A)1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂
(B)1分子中に2個以上の水酸基を有するフェノール樹脂
(C)潜在性硬化促進剤、および
(D)最大粒子径が5μm以下であって、平均粒子径が0.1〜3μmである表面処理シリカ粒子
を含んでなる半導体封止用熱硬化性樹脂組成物。
【選択図】なし
Description
(1)40℃においてずり速度5〔1/S〕と50〔1/S〕で測定される粘度(V)の比(V5/V50)が0.9〜1.1であり、
(A)1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂
(B)1分子中に2個以上の水酸基を有するフェノール樹脂
(C)潜在性硬化促進剤、および
(D)最大粒子径が5μm以下であって、平均粒子径が0.1〜3μmである表面処理シリカ粒子
を含んでなる半導体封止用熱硬化性樹脂組成物、
(2)前記表面処理シリカ粒子が、一般式:
R1−Si(OR2)3
(式中、R1は1価の有機基であり、R2は低級アルキル基である)
で表される表面処理剤を用いて表面処理されてなる、前記(1)記載の樹脂組成物、ならびに
(3)前記(1)または(2)記載の樹脂組成物で封止してなる半導体装置
に関する。
(A)1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂
(B)1分子中に2個以上の水酸基を有するフェノール樹脂
(C)潜在性硬化促進剤、および
(D)最大粒子径が5μm以下であって、平均粒子径が0.1〜3μmである表面処理シリカ粒子
を含んでなるものであり、40℃においてずり速度5〔1/S〕と50〔1/S〕で測定される粘度(V)の比(V5/V50)が0.9〜1.1である樹脂組成物である。
エポキシ樹脂として、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量:158g/eq、25℃での粘度:1000mPa・s)を使用した。
フェノール樹脂として、フェノールノボラック樹脂(水酸基当量:104g/eq、150℃での粘度:400mPa・s、軟化点:62℃)を使用した。
潜在性硬化促進剤として、マイクロカプセル化トリフェニルホスフィン(シェル:ウレア、シェル/触媒比:80/20重量%)を使用した。
表面処理および表面未処理シリカ粒子として、表1に示すようなシリカ粒子(アドマテックス社製)を使用した。
カップリング剤として、エポキシシランカップリング剤(信越化学社製:KBM−403)を使用した。
まず、樹脂組成物1gを、プレートの直径を35mm、ギャップを100μm、ずり速度を5(1/s)および50(1/s)に設定したE型粘度計(HAAKE社製:RS1)を用いて、40℃にて測定した。次に、ずり速度5(1/s)における粘度(V5)をずり速度50(1/s)における粘度(V50)で割ることで、粘度比を計算した。
製造した半導体装置中の封止樹脂層に存在するボイドを超音波顕微鏡(ソノスキャン社製:D6000)を用いて、周波数:100MHzにて観察し、以下の評価基準に従って評価した。
〔評価基準〕
ボイドの発生が0.05面積%未満:○
ボイドの発生が0.05面積%以上:×
製造した半導体装置中の封止樹脂層のひけを超音波顕微鏡(ソノスキャン社製:D6000)を用いて、周波数:100MHzにて観察し、以下の評価基準に従って評価した。
〔評価基準〕
ひけなし:○
ひけあり:×
デイジーチェーン(ADVANTEST社製:デジタルマルチメーターTR6847)で半導体装置の電気抵抗値を測定し、抵抗値表示なしのものを不良品としてカウントした。
半導体装置を−55℃で5分間維持後、125℃で5分間維持する操作を1000回行い、その後、デイジーチェーン(ADVANTEST社製:デジタルマルチメーターTR6847)にて半導体装置の電気抵抗値を測定し、抵抗値表示なしのものを不良品としてカウントした。
冷熱衝撃試験後の、封止樹脂層のクラックを目視にて確認し、クラックの発生しているものを不良品としてカウントした。
表1に示すシリカ粒子を表2に示す割合で上記エポキシ樹脂に分散させたもの(シリカ分散エポキシ樹脂)を(株)アドマテックスから購入した。
表3に示す各原料を同表に示す割合で、ディスパー(特殊機化工業社製:T.K.ホモミキサーモデルM)を用いて溶融混合し、次いで、400メッシュのフィルターを用いて80℃で濾過した。その後、80℃で30分間、0.0026MPaで減圧脱泡し、これを室温にて冷却して樹脂組成物を作製した。得られた樹脂組成物の粘度比を求めた。その値を表3に示す。なお、溶融混合は以下のように実施した。
まず、シリカ分散エポキシ樹脂およびフェノール樹脂を仕込み、100℃で10分間、500rpmで混合し、固形分を充分に分散もしくは溶解させた。次に、70℃の温度に調整した後、潜在性硬化促進剤を加え、10分間、3000rpm、0.0026MPa下で混合した。
表4に従って、前記実施例と同様にして樹脂組成物を得、その粘度比を求めた。粘度比の値を表4に示す。
表4に示す各原料を同表に示す割合で、ディスパー(特殊機化工業社製:T.K.ホモミキサーモデルM)を用いて溶融混合し、次いで、400メッシュのフィルターを用いて80℃で濾過した。その後、80℃で30分間、0.0026MPaで減圧脱泡し、これを室温にて冷却して樹脂組成物を作製した。得られた樹脂組成物の粘度比を求めた。その値を表4に示す。なお、溶融混合は以下のように実施した。
まず、エポキシ樹脂およびフェノール樹脂を仕込み、100℃で10分間、500rpmで混合し、固形分をすべて溶解させた。次に、70℃の温度に調整した後、潜在性硬化促進剤を加え、10分間、3000rpm、0.0026MPa下で混合した。
以上のようにして得られた実施例1〜6および比較例1〜5の樹脂組成物を用い、前述の半導体装置の製造方法に従って半導体装置(図1に示す半導体装置に相当)を製造した。すなわち、配線回路基板(ガラスエポキシ基板厚さ:1mm)上に樹脂組成物を40℃に加温し溶融状態でポッティングした。これを100℃に加熱したステージ上に置き、樹脂組成物の上の所定の位置に、接続用電極(鉛フリーハンダ:融点220℃、電極高さ:80μm)を設けた半導体素子(厚さ:600μm、大きさ15mm×15mm)をフリップチップボンダー(九州松下社製:FB30T−M)を用いてチップ実装した。これにより、配線回路基板と半導体素子との空隙内に溶融状態の樹脂が充填される。その後、同フリップチップボンダーを用いて230℃にて5秒間ハンダ溶融を行い電気接続を得た。その後、同フリップチップボンダーを用いて180℃にて60分間樹脂キュアーを行い、目的とする半導体装置を作製した。得られた半導体装置について上記の評価を行った。その結果を表5および表6に示す。
2 接続用電極
3 半導体素子
4 封止樹脂層
5 熱可塑性樹脂組成物
Claims (3)
- 40℃においてずり速度5〔1/S〕と50〔1/S〕で測定される粘度(V)の比(V5/V50)が0.9〜1.1であり、
(A)1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂
(B)1分子中に2個以上の水酸基を有するフェノール樹脂
(C)潜在性硬化促進剤、および
(D)最大粒子径が5μm以下であって、平均粒子径が0.1〜3μmである表面処理シリカ粒子
を含んでなる半導体封止用熱硬化性樹脂組成物。 - 前記表面処理シリカ粒子が、一般式:
R1−Si(OR2)3
(式中、R1は1価の有機基であり、R2は低級アルキル基である)
で表される表面処理剤を用いて表面処理されてなる、請求項1記載の樹脂組成物。 - 請求項1または2記載の樹脂組成物で封止してなる半導体装置。
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---|---|---|---|---|
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JP2012182461A (ja) * | 2010-10-22 | 2012-09-20 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
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