JP2005144377A - 超音波洗浄ホーン - Google Patents

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JP2005144377A
JP2005144377A JP2003387683A JP2003387683A JP2005144377A JP 2005144377 A JP2005144377 A JP 2005144377A JP 2003387683 A JP2003387683 A JP 2003387683A JP 2003387683 A JP2003387683 A JP 2003387683A JP 2005144377 A JP2005144377 A JP 2005144377A
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Yuuichi Asayama
由宇市 朝山
Yoshio Ozawa
喜夫 小澤
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Honda Electronics Co Ltd
Original Assignee
Honda Electronics Co Ltd
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Abstract

【課題】 ネジ山を切削する時に発生する切り屑がネジ山に残っても洗浄液とともに噴出して被洗浄体を傷つけたりすることがなく、洗浄液がネジ山に入らず、雑菌が発生することがない超音波洗浄ホーンを提供する。
【解決手段】ノズル部７の円筒部７ａの内側の円筒空洞７ｂの上部に形成されたネジ山７ｃは円筒帯のネジ山１ｄに嵌合され、円筒体１の下面１ｆとノズル部７の平行面７ｅの間にパッキン８を介在させて円筒体１とノズル部７を連結するように構成している。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体製造工程又は液晶製造工程において利用するポイントタイプの超音波洗浄ホーンに関するものである。
従来、超音波洗浄ホーンとしては、図２に示すように、円筒体１の一端の内部に段付き部１ａを形成した振動子装着部１ｂを形成し、この段付き部１ａの下方に空洞部１ｃを形成し、この空洞部１ｃの下端近傍にネジ山１ｄを形成し、又、段付き部１ａの下方に洗浄液供給口１ｅを設け、この洗浄液供給口１ｅは空洞部１ｃに連結され、さらに、円筒体１に接続されるノズル部２はネジ山１ｄに嵌合するネジ山２ａを形成し、該ネジ山２ａの下方につば部２ｂを形成し、又、円筒体１の空洞部１ｃと対向する部分に傾斜空洞２ｃを形成し、この傾斜空洞２ｃの下方にノズル２ｄが形成され、円筒体１の下面１ｆとノズル部２のつば部２ｂの上面の間にパッキン３が介在されて液漏れを防ぎ、又、円筒体１の段付き部１ａと超音波振動子４との間にパッキン５を設けて超音波振動子４への液漏れを防ぎ、さらに、超音波振動子４の背部にバック材６を設けて、超音波振動子４を振動子装着部１ｂに装着することにより、超音波振動子４からの超音波が超音波洗浄ホーンの上部から漏れないように形成されている。
このように構成された従来の超音波洗浄ホーンでは、洗浄液供給口１ｅから洗浄液が供給されると、超音波振動子４に発振器（図示せず）から発振出力が供給されることにより、供給された洗浄液に超音波が照射され、この超音波とともに洗浄液がノズル部２のノズル２ｅから噴出されて、ノズル２ｅの前面に配置された被洗浄体（図示せず）を洗浄するように構成されている。
しかしながら、この超音波洗浄ホーンでは、空洞部１ｃ、傾斜空洞２ｄ及びノズル２ｅの内部の洗浄液を排出しても、円筒体１の内側のネジ山１ｄにノズル部２のネジ山２ａに嵌合されているので、これらのネジ山１ｄと２ａの隙間に洗浄液が残り易く、残液に雑菌が発生し、又、ネジ山を切削する時に発生する切り屑がネジ山に残ることにより、洗浄液を噴出する時にネジ山に残っていた切り屑がノズルから噴出して被洗浄体を傷つけたりするという問題があった。
特開
解決しようとする問題点は、洗浄液が通過する円筒体の空洞部の内側とノズル部の外側に円筒体とノズル部を接続するネジ山があるため、ネジ山を切削する時に発生する切り屑がネジ山に残ることにより、洗浄液を噴出する時にネジ山に残っていた切り屑がノズルから噴出して被洗浄体を傷つけたり、さらに、洗浄液を洗浄液供給口から供給すると、洗浄液がネジ山に残るので、残液による雑菌が発生する点である。
本発明では、円筒体と外側とノズル部の内側に円筒体とノズル部を接続するネジ山を形成したので、ネジ山を切削する時に発生する切り屑がネジ山に残ってもネジ山が洗浄液を通過させる部分にないので、洗浄液とともに噴出することがなく、形成円筒体の下面とノズル部の平行面の間に介在させたパッキンにより洗浄液がネジ山に入らず、又、円筒体及びノズル部に隙間がないので、雑菌が発生することがない。
本発明の超音波洗浄ホーンは、ネジ山を切削する時に発生する切り屑がネジ山に残ってもネジ山が洗浄液を通過させる部分にないので、洗浄液とともに噴出することがなく、形成円筒体の下面とノズル部の平行面の間に介在させたパッキンにより洗浄液がネジ山に入らず、又、円筒体及びノズル部に隙間がないので、雑菌が発生しないという利点がある。
図１は本発明の実施例の超音波洗浄ホーンの側面断面図で、１は円筒体、１ａは段付き部１ａ、１ｂは振動子装着部、１ｃは空洞部、１ｅは洗浄液供給口、１ｆは円筒体１の下面、４は超音波振動子、５はパッキン、６はバック材であり、これらの構成は上記従来例と同じであるので、説明は省略するが、本発明では、円筒体１のネジ山１ｄは外側面の下端近傍に形成され、ノズル部７は円筒部７ａの内側に円筒空洞７ｂを形成し、この円筒空洞７ｂの上部にネジ山７ｃを形成し、円筒部７ａの下方に傾斜部７ｄを形成し、この傾斜部７ｄの内側に円筒体１の空洞部１ｃと連結する傾斜空洞７ｅを形成し、円筒空洞７ｂのネジ山７ｃの下方と傾斜空洞７ｅの間に、円筒１の下面１ｆとほぼ平行な平行面７ｆを形成し、さらに、傾斜空洞７ｄの下方にノズル７ｇを形成する。
このように構成された本実施例の超音波洗浄ホーンでは、ノズル部７の円筒部７ａの内側の円筒空洞７ｂの上部に形成されたネジ山７ｃは円筒体１のネジ山１ｄに嵌合され、円筒体１の下面１ｆとノズル部７の平行面７ｅの間にパッキン８を介在させて円筒体１とノズル部７を連結するように構成しているので、ネジ山１ｄと７ｃを切削する時に発生する切り屑がネジ山に残ってもネジ山が洗浄液を通過させる部分にないので、洗浄液とともに噴出することがなく、円筒体１の下面１ｆとノズル部７の平行面７ｅの間に介在させたパッキン８により洗浄液がネジ山１ｆ、７ｅの間に入らず、又、円筒体１及びノズル部７に隙間がないので、雑菌が発生することがない。
なお、上記実施例では、ノズル部７の円筒部７ａの下方に傾斜部７ｄを形成したが、円筒部７ａを下方に延長してもよい。
本発明の実施例の超音波洗浄ホーンの側面断面図である。 従来の超音波洗浄ホーンの側面断面図である。
符号の説明
１ 円筒部
４ 超音波振動子
５ パッキン
６ 液体
５ フロート
６ バック材
７ ノズル部

Claims (1)

  1. 一端に形成した振動子装着部に超音波振動子を装着し、該超音波振動子の前面に空洞を設け、側部に形成し洗浄液供給口を前面空洞と連結するように形成し、前記洗浄液供給口の下部側面にネジ山を形成した円筒体と、前記ネジ山に嵌合するネジ山を円筒部の内側に設け、前記円筒体の下面と平行に平行面を形成し、前記円筒部の下方の傾斜部の内側に平行面から下方に前記円筒体の前記空洞に連結する傾斜空洞を形成し、該傾斜空洞の下端にノズルを設けたノズル部と、前記円筒体の下面と前記ノズル部の平行面との間に介在したパッキンとからなることを特徴とする超音波洗浄ホーン。
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JP2009296969A (ja) * 2008-06-16 2009-12-24 Honda Electronic Co Ltd 超音波霧化装置
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